專利名稱：蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)及其制作方法，特別有關(guān)于一種蝕 刻機臺下電極結(jié)構(gòu)及其制作方法。
背景技術(shù)：
近年來光電相關(guān)技術(shù)不斷地推陳出新，加上數(shù)字化時代的到來，進(jìn)而推 動了液晶顯示器市場的蓬勃發(fā)展。液晶顯示器具有高畫質(zhì)、體積小、重量輕、
低驅(qū)動電壓、與低消耗功率等優(yōu)點，因此被廣泛應(yīng)用于個人數(shù)字助理(Personal Digital Assistant; PDA)、移動電話、攝錄放影機、筆記本電腦、臺式顯示器、 車用顯示器、及投影電視等消費性通訊或電子產(chǎn)品，并逐漸取代陰極射線管 而成為顯示器的主流。
液晶顯示器(Liquid Crystal Display; LCD)是一種利用液晶特性來達(dá)到顯 示效果的顯示裝置，由于其較傳統(tǒng)常用的陰極射線管顯示器在尺寸與重量方 面有更大的彈性，因此，液晶顯示器目前常被使用在各種的個人系統(tǒng)上，小 從移動電話、個人數(shù)字助理及數(shù)字相機上的顯示屏，大到電視機及廣告看板， 處處都可以見到液晶顯示器的影子。
在生產(chǎn)液晶顯示器的過程中，等離子體蝕刻工藝被大量的應(yīng)用以在基板 上形成所需要的元件。等離子體蝕刻工藝中，下電極長時間受到等離子體的 破壞，常會發(fā)生電弧放電(Arcing)的情況，以致于使下電極報廢或造成顯示 器面板污染。尤其是下電極周圍的氣孔，因保護(hù)不易，特別容易破損，以致 于產(chǎn)生電弧放電的現(xiàn)象，進(jìn)而成為下電極或顯示器面板報廢的重要原因。

發(fā)明內(nèi)容
在上述現(xiàn)有技術(shù)中，由于等離子體蝕刻工藝中，下電極長時間受到等離 子體的破壞，常會發(fā)生電弧放電的情況，特別是下電極的氣孔周圍最常產(chǎn)生 電弧放電的情況，以致于使下電極或顯示器面板報廢。 本發(fā)明的目的之一在于提供一種具有陶瓷通氣環(huán)的電極基板，以改善蝕 刻等離子體破壞下電極的氣孔的情況。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種具有陶瓷通氣環(huán)的電極基板，以增加蝕 刻機臺的電極壽命。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種具有陶瓷通氣環(huán)的電極基板，以降低液 晶顯示器制造過程中微粒污染的問題。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種具有陶瓷通氣環(huán)的電極基板，以提高液 晶顯示器的工藝合格率。
根據(jù)以上所述的目的，本發(fā)明提供一種蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其包含有電 極基板與多個陶瓷通氣環(huán)。電極基板具有多個氣孔，而陶瓷通氣環(huán)則分別安 裝于氣孔之中。
如上所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含表面處理層，該 表面處理層部分介于所述陶瓷通氣環(huán)與該電極基板之間。
如上所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板可為包含鋁材質(zhì)的電極 基板。
如上所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該表面處理層包含陽極處理層。 如上所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于該表面處理
層之上的第一陶瓷層。
如上所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于該第一陶瓷
層之上的金屬層。
如上所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于該金屬層之 上的第二陶瓷層。
如上所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該金屬層包含鎢。
本發(fā)明的另一方案揭示一種蝕刻機臺電極制作方法，其先提供電極基 板，然后形成多個氣孔于此電極基板，并將陶瓷通氣環(huán)分別安裝于氣孔之中。
如上所述的蝕刻機臺電極制作方法，還包含形成表面處理層于該電極基 板表面，且該表面處理層進(jìn)一步形成于所述氣孔內(nèi)的該電極基板表面。
如上所述的蝕刻機臺電極制作方法，還包含形成第一陶瓷層于該表面處 理層之上。
如上所述的蝕刻機臺電極制作方法，還包含形成金屬層于該第一陶瓷層
之上。
如上所述的蝕刻機臺電極制作方法，還包含形成第二陶瓷保護(hù)層于該金 屬層之上。
因此，本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，可以利用上述陶瓷通氣環(huán)，有效地 改善蝕刻等離子體破壞下電極氣孔的情況，以使電極及顯示器面板報廢的情 況有效地被降低。


圖1為本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)的示意圖2為本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)與玻璃基板的相關(guān)位置示意圖；以及 圖3為本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)的制作流程圖。
其中，附圖標(biāo)記說明如下
110:電極基板170:氣孔
120:陽極處理層210:氣孔
130:第一陶瓷層220:玻璃基板
140:金屬層230:下電極
150:第二陶瓷層310 -370:步驟
跳陶瓷通氣環(huán)
具體實施例方式
本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)及其制作方法利用陶瓷通氣環(huán)保護(hù)下電極 的氣孔，使電極及顯示器面板報廢的情況有效地被降低，進(jìn)而大幅降低液晶 顯示器的制造成本。以下將以附圖及詳細(xì)說明清楚說明本發(fā)明的精神，本領(lǐng) 域技術(shù)人員在了解本發(fā)明的優(yōu)選實施例后，當(dāng)可由本發(fā)明所教導(dǎo)的技術(shù)，加 以改變及修飾，其并不脫離本發(fā)明之精神與范圍。
一般而言，蝕刻機臺常因離子轟擊效應(yīng)的關(guān)系，導(dǎo)致玻璃基板的溫度偏 高，因此，蝕刻機臺的電極常設(shè)計有氣孔，以利用通氣方式來冷卻玻璃基板。 然而，因氣孔周圍的電極表面不易形成保護(hù)，以致于當(dāng)其破損后，即會造成 電弧放電的情況，尤其是分布于下電極基板周圍的氣孔區(qū)域，更容易受到等 離子體的破壞，導(dǎo)致下電極基板使用壽命的降低，且亦會造成液晶顯示器的
報廢與微粒污染的問題。
參閱圖2，其為本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)與玻璃基板的相關(guān)位置示意 圖。如圖中所示，玻璃基板220配置于蝕刻機臺的下電極230上方，而在下 電極230的周圍的氣孔210由于較易受到等離子體的破壞，且其表面的保護(hù) 層亦較脆弱，以致于容易裸露內(nèi)部的金屬基板，而產(chǎn)生電弧放電的現(xiàn)象。
參閱圖1，其示出本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖中所示， 本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)包含有電極基板110，其上形成有氣孔170，而 氣孔170之中則安裝有陶瓷通氣環(huán)160。而每一陶瓷通氣環(huán)160優(yōu)選地包含 有至少一個開口形成于其中。此外，通過陶瓷通氣環(huán)160的配置，電極基板 IIO可提供氣體，以冷卻蝕刻機臺上的玻璃基板。此氣體可以是氮氣或者任 何可以用來冷卻玻璃基板的氣體，其均不脫離本發(fā)明的范圍與精神。
電極基板IIO可以利用鋁金屬或其合金所構(gòu)成，而其表面則優(yōu)選形成有 一表面處理層，表面處理層進(jìn)一步形成于氣孔內(nèi)的電極基板表面，因此當(dāng)設(shè) 置陶瓷通氣環(huán)于氣孔之后，部分表面處理層介于陶瓷通氣環(huán)與該電極基板之 間，亦即，氣孔內(nèi)的表面處理層將完全被陶瓷通氣環(huán)所遮蔽或保護(hù)；本發(fā)明 的表面處理層優(yōu)選例如是陽極處理層120。而電極基板110上還可包含有第 一陶瓷層130與第二陶瓷層150，以用來保護(hù)電極基板110。而第一陶瓷層 130與第二陶瓷層150之間則還可以形成金屬層140，在本實施例中的金屬 層140優(yōu)選例如是金屬鎢層。
參閱圖3，其示出本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)的制作流程圖。如圖中所 示，首先執(zhí)行步驟310，提供電極基板，接著執(zhí)行步驟320，形成多個氣孔 于此電極基板中。然后，執(zhí)行步驟330，表面處理電極基板，在本發(fā)明的優(yōu) 選實施例中形成表面處理層，此表面處理層進(jìn)一步形成于氣孔內(nèi)的電極基板 表面；執(zhí)行步驟340，形成第一陶瓷層于電極基板上，在優(yōu)選實施例中，第 一陶瓷層形成于表面處理層之上；執(zhí)行步驟350，形成金屬層于電極基板上， 在優(yōu)選實施例中，金屬層形成于第一陶瓷層之上；執(zhí)行步驟360，形成第二 陶瓷層于電極基板上，在優(yōu)選實施例中，第二陶瓷層形成于金屬層之上。接 著，步驟370，將陶瓷通氣環(huán)設(shè)置于氣孔之中，用以完全遮蔽或保護(hù)氣孔中 的表面處理層。在本發(fā)明中并不限定執(zhí)行步驟330至步驟370的順序，本發(fā) 明的其它實施例也可以是例如先執(zhí)行步驟370將陶瓷通氣環(huán)置入氣孔之中，
再執(zhí)行步驟360形成第二陶瓷層。
因此，通過本發(fā)明的陶瓷通氣環(huán)的設(shè)置，可有效地保護(hù)氣孔周圍的電極 基板的表面處理層，避免產(chǎn)生電弧放電的現(xiàn)象，且更進(jìn)一步避免了金屬微粒 污染生產(chǎn)中的液晶顯示器基板，不僅提高電極的使用壽命，更可以提高液晶 顯示器生產(chǎn)的合格率，同時降低液晶顯示器生產(chǎn)的成本。
如本領(lǐng)域技術(shù)人員所了解的，以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已， 并非用以限制本發(fā)明的范圍。凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的 等效改變或修飾，均應(yīng)包含在后附的權(quán)利要求書所界定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，至少包含電極基板，具有多個氣孔；以及多個陶瓷通氣環(huán)，安裝于所述氣孔之中。
2. 如權(quán)利要求1所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含表面 處理層，該表面處理層部分介于所述陶瓷通氣環(huán)與該電極基板之間。
3. 如權(quán)利要求1所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板可為包含鋁 材質(zhì)的電極基板。
4. 如權(quán)利要求2所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該表面處理層包含陽極 處理層。
5. 如權(quán)利要求2所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于 該表面處理層之上的第一陶瓷層。
6. 如權(quán)利要求5所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于 該第一陶瓷層之上的金屬層。
7. 如權(quán)利要求6所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于 該金屬層之上的第二陶瓷層。
8. 如權(quán)利要求6所述的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，其中該金屬層包含鎢。
9. 一種蝕刻機臺電極制作方法，至少包含 提供電極基板；形成多個氣孔于該電極基板；以及 設(shè)置陶瓷通氣環(huán)于所述氣孔之中。
10. 如權(quán)利要求9所述的蝕刻機臺電極制作方法，還包含形成表面處理 層于該電極基板表面，且該表面處理層進(jìn)一步形成于所述氣孔內(nèi)的該電極基 板表面。
11. 如權(quán)利要求IO所述的蝕刻機臺電極制作方法，還包含形成第一陶瓷 層于該表面處理層之上。
12. 如權(quán)利要求11所述的蝕刻機臺電極制作方法，還包含形成金屬層于 該第一陶瓷層之上。
13. 如權(quán)利要求12所述的蝕刻機臺電極制作方法，還包含形成第二陶瓷 保護(hù)層于該金屬層之上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)及其制作方法，其中該蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)包含有電極基板具有多個氣孔，以及多個陶瓷通氣環(huán)分別安裝于氣孔之中。電極基板之上，還可形成表面處理層、陶瓷層以及金屬鎢層，以保護(hù)此電極基板。本發(fā)明的蝕刻機臺電極結(jié)構(gòu)，可以利用陶瓷通氣環(huán)，有效地改善蝕刻等離子體破壞下電極氣孔的情況，以使電極及顯示器面板報廢的情況有效地被降低。
文檔編號G02F1/1333GK101111121SQ20071014002
公開日2008年1月23日 申請日期2007年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月7日
發(fā)明者江泓慶, 洪國展, 游庭權(quán) 申請人:友達(dá)光電股份有限公司