專利名稱：液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置及其制造方法，特別涉及 具有瀉放靜電能力的靜電放電保護(hù)裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的CRT顯示器依靠陰極射線管發(fā)射電子撞擊屏幕上的磷光粉來顯示圖 像，但液晶顯示的原理則完全不同。通常，液晶顯示器(LCD)具有(也稱彩膜 基板)和下基板(也稱陣列基板)，彼此有一定間隔和互相正對，形成在兩個(gè)基 板上的多個(gè)電極相互正對，液晶夾在上基板和下基板之間，電壓通過基板上的 電極施加到液晶上，然后根據(jù)所作用的電壓改變液晶分子的排列從而顯示圖像、 因?yàn)槿缟纤鲆壕э@示器不發(fā)射光，它需要光源來顯示圖像。因此，液晶顯示 器具有位于液晶面板后面的背光源，根據(jù)液晶分子的排列控制從背光源入射的 光量從而顯示圖像。在兩塊偏光片之間夾有玻璃基板、彩色濾光片、電極、液 晶層和薄膜晶體管， 一薄膜晶體管包括柵極、漏極以及源極，液晶分子是具有 折射率及介電常數(shù)各向異性的物質(zhì)。背光源發(fā)出的光線經(jīng)過下偏光片，成為具 有一定偏振方向的偏振光。晶體管控制電極之間所加電壓，而該電壓作用于液 晶來控制偏振光的偏振方向，偏振光透過相應(yīng)的彩膜色層后形成單色偏振光， 如果偏振光能夠穿透上層偏光片，則顯示出相應(yīng)的顏色；電場強(qiáng)度不同，液晶 分子的偏轉(zhuǎn)角度也不同，透過的光強(qiáng)不一樣，顯示的亮度也不同，通過紅綠藍(lán) 三種顏色的不同光強(qiáng)的組合來顯示五顏六色的圖像。
目前常用的液晶顯示器陣列基板具有如下特征在由相互交叉的多條數(shù)據(jù)線 和多條柵極掃描線所圍成的區(qū)域內(nèi)排列有形成矩陣狀的多個(gè)像素。像素具有進(jìn) 行顯示操作的液晶電容器和響應(yīng)柵極導(dǎo)通電壓而導(dǎo)通以將數(shù)據(jù)信號加栽到液晶 電容器上的開關(guān)元件。在實(shí)際陣列基板產(chǎn)品的制造過程中，斷線不良占到了總 體不良的很大比重，為了提高生產(chǎn)的良率通常是對不良導(dǎo)線進(jìn)行修復(fù)。在陣列 基板工藝過程中，通過化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition， CVD)修復(fù)的方式對斷線進(jìn)行修補(bǔ)，而在成盒后的半成品則無法采用此方法。通常在成 盒后發(fā)現(xiàn)斷線不良都作為不良品來處理，加重成本負(fù)擔(dān)。而目前對成盒后的產(chǎn)
品進(jìn)行修復(fù)則采用了修復(fù)線工藝。如日本特開2004133390號專利采用修復(fù)線結(jié) 構(gòu)對斷線進(jìn)行修補(bǔ)，對修復(fù)線對屏內(nèi)部的斷線進(jìn)行補(bǔ)救，從而達(dá)到提高成品率 的目的。
另外，上述用于液晶顯示器制造的陣列側(cè)基板在制作過程中的每個(gè)工序都有 可能產(chǎn)生靜電。靜電累積(ESC)與靜電放電(ESD)狀況在陣列側(cè)基板工藝過程中 可能產(chǎn)生兩大主要的傷害，前者可能因電荷影響吸引塵粒(particles)的附著 形成缺陷(defects)，進(jìn)而導(dǎo)致組件漏電流(leakage current)的產(chǎn)生形成 短路；后者會(huì)造成過大電流而導(dǎo)致組件的損害。在靜電積累到一定程度容易在 金屬圖形的尖端等比較容易積聚的部位發(fā)生擊穿，發(fā)生在金屬導(dǎo)線部分容易導(dǎo) 致傳輸導(dǎo)線的短路或斷路，發(fā)生在顯示區(qū)域容易導(dǎo)致矩陣狀排列的作為開關(guān)元 件的晶體管擊穿而失去原有的開關(guān)功能，影響產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。良率是每個(gè)量 產(chǎn)廠所關(guān)切的主要問題，但除了產(chǎn)品本身設(shè)計(jì)及每道工藝的把關(guān)將影響產(chǎn)品良 率外，還需考慮環(huán)境中之靜電效應(yīng)也是影響良率的主因。目前的平面顯示其生 產(chǎn)設(shè)備上，多數(shù)已安裝去靜電裝置，但對于靜電去除的效果并不是十分完全。目 前常用的靜電防護(hù)方法主要有如下幾種第一種方法，參考圖1進(jìn)行說明，將 掃描線和數(shù)據(jù)線的末端設(shè)置成尖端并對應(yīng)尖端設(shè)置短路線，具體如日本特開平 10-3087號專利所述，在屏周邊制作數(shù)據(jù)線/掃描線的短路線，將掃描線101、 數(shù)據(jù)線102的末端制作成尖端，尖端對應(yīng)得是用于靜電瀉放的短路線103。當(dāng)有 靜電產(chǎn)生時(shí)，通過掃描線或者數(shù)據(jù)線的尖端向短路線進(jìn)行瀉;故，從而起到保護(hù) 走線及電氣元件不受損害，防止靜電過多積累的目的；但該方法亦存在有缺點(diǎn)， 例如當(dāng)有靜電在端子部發(fā)生時(shí)，可能會(huì)經(jīng)由導(dǎo)線破壞晶體管，另外如果采用同 層金屬制作則容易因刻蝕不完全而導(dǎo)致短路。第二種方法，參考圖2進(jìn)行說明。 通過靜電保護(hù)晶體管，如日本特開平05-088198號專利所述，在掃描線101和 數(shù)據(jù)線102相交之處且位于晶體管T對面設(shè)置一保護(hù)晶體管Tl，該保護(hù)晶體管 平時(shí)的微弱漏電對于正常驅(qū)動(dòng)來說可以忽略，但是在有靜電發(fā)生，并且達(dá)到開 啟值時(shí)導(dǎo)通，將靜電電荷通過其他導(dǎo)電途徑進(jìn)行分?jǐn)偦蛘邽a放，另外，上述的 微弱電流可以在一定程度上緩解靜電積累帶來的破壞，從而達(dá)到靜電保護(hù)的目
5的；但上述保護(hù)晶體管亦存在缺點(diǎn)，根據(jù)目前的制造工藝，在最上層的像素電 極層完成之后保護(hù)晶體管才真正起作用，但在之前仍處于靜電非保護(hù)狀態(tài)，而 此時(shí)陣列基板上的晶體管已經(jīng)完成。若在未受保護(hù)晶體管靜電保護(hù)之前受到靜 電影響，則很容易導(dǎo)致晶體管失效，導(dǎo)線短路，斷路等問題，降低了生產(chǎn)的良 率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置及其 制造方法，該靜電放電保護(hù)裝置具有瀉放靜電能力從而保護(hù)液晶顯示器顯示區(qū) 域中的晶體管不受靜電破壞。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置，該 液晶顯示器中具有相互交叉排列的多條數(shù)據(jù)線和掃描線，其實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)在于， 于液晶顯示器顯示區(qū)域周圍設(shè)置有相互平行的一條公共電極線和一條修復(fù)線， 位于該公共電極線和該修復(fù)線之間且與每一條數(shù)據(jù)線連接的一個(gè)放電尖端，位 于公共電極線一側(cè)設(shè)置一個(gè)晶體管保護(hù)環(huán)，該晶體管保護(hù)環(huán)與其相鄰的數(shù)據(jù)線、 公共電極線連接。
優(yōu)選地，所述放電尖端靠近所述修復(fù)線。
優(yōu)選地，所述放電尖端與所述修復(fù)線部分重疊。
優(yōu)選地，所述放電尖端與所述數(shù)據(jù)線的使用金屬材料相同。
優(yōu)選地，所述晶體管保護(hù)環(huán)包括位于所述數(shù)據(jù)線兩側(cè)的第一薄膜晶體管和第 二薄膜晶體管，該第一薄膜晶體管的漏極、柵極與所述數(shù)據(jù)線連接，該第二薄 膜晶體管的漏極與所述數(shù)據(jù)線連接，該第二薄膜晶體管的柵極與所述公共電極 線連接，該第一薄膜晶體管的源極、該第二薄膜晶體管的源極通過分別對應(yīng)的 一透明電極線與所述公共電極線連接。
優(yōu)選地，所述修復(fù)線位于一玻璃基板和一第一絕緣層之間，所述放電尖端位 于該第一絕緣層和一第二絕緣層之間。
本發(fā)明的另一技術(shù)方案在于提供一種用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置 的制造方法，其實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)在于，其包括以下步驟 提供一玻璃基板；在該玻璃基板上濺射一第一金屬層；
在該第一金屬層上均勻涂布一層光刻膠，利用第一張掩模版進(jìn)行曝光并顯 影出所需圖案，以在該第一金屬層中形成一公共電極線、 一修復(fù)線以及兩晶體 管的柵極；
在該玻璃基板上依次沉積一第一絕緣膜、 一有源層、 一有源摻雜層，使它 們覆蓋該第一金屬層表面，在該有源摻雜層之上均勻涂布一層光刻膠，利用第 二張掩模版進(jìn)行曝光并顯影出所需圖案，以在該有源層中形成兩晶體管的有源 區(qū)域；
在該玻璃基板上濺射一第二金屬層，在該第二金屬層之上均勻涂布一層光刻 膠；利用第三張掩^t版進(jìn)行曝光并顯影出所需圖案，以在該第二金屬層中形成 一數(shù)據(jù)線以及與數(shù)據(jù)線連接的放電尖端；
在該玻璃基板上沉積一第二絕緣膜，在該第二絕緣層之上均勻涂布一層光刻 膠，利用第四張掩模版進(jìn)行曝光并顯影出所需圖案，經(jīng)干法刻蝕形成連接通孔；
在該第二絕緣膜上濺射形成一透明電極層，該透明電極層填滿所述連接通
孔；
在該透明電極層上均勻涂布一層光刻膠，利用第五張掩模版進(jìn)行曝光并顯影 出所需圖案，經(jīng)濕法刻蝕形成像素電極圖案。 優(yōu)選地，所述透明電極層由氧化銦錫所構(gòu)成。
本發(fā)明由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn) 和積極效果本發(fā)明的用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置及其制造方法具有 瀉放靜電能力從而保護(hù)液晶顯示器顯示區(qū)域中的晶體管不受靜電破壞。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中第一種靜電防護(hù)裝置的示意圖2為現(xiàn)有技術(shù)中第二種靜電防護(hù)裝置的示意圖3是采用本發(fā)明靜電放電保護(hù)裝置的液晶顯示器的第一實(shí)施例的示意圖4為圖3中虛線區(qū)域C的局部放大示意圖5為圖4中沿a-a，方向的剖視圖6A至圖6D為本發(fā)明的靜電放電保護(hù)裝置的制造方法示意圖；圖7為本發(fā)明的靜電放電保護(hù)裝置的第二實(shí)施例示意圖； 圖8為圖7中沿b-b'方向的剖-〖見圖。
具體實(shí)施例方式
以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置及其制造方法 作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
圖3是采用本發(fā)明靜電放電保護(hù)裝置的液晶顯示器的第一實(shí)施例的示意圖， 圖4為圖3中虛線區(qū)域C的局部放大示意圖，如圖3、圖4所示，在該液晶顯示 器中，多條數(shù)據(jù)線105和掃描線106交叉排列形成若干個(gè)顯示單元，數(shù)據(jù)線106、 掃描線105與其對應(yīng)的端子部104連接，端子部104與外部的驅(qū)動(dòng)器連接以驅(qū) 動(dòng)數(shù)據(jù)線106和掃描線105;本發(fā)明的靜電放電保護(hù)裝置包括公共電極線、修復(fù) 線、放電尖端和晶體管保護(hù)環(huán)，其具體結(jié)構(gòu)如下位于顯示區(qū)域周圍設(shè)置有相 互平行的公共電極線109和修復(fù)線110，公共電極線109、修復(fù)線110與數(shù)據(jù)線 106相交，公共電極線109和修復(fù)線110之間設(shè)置有一放電尖端5,放電尖端5 設(shè)置于兩條相鄰數(shù)據(jù)線106之間且與其中一條數(shù)據(jù)線106連接，圖5為圖4中 沿a-a，方向的剖視圖，修復(fù)線110形成于玻璃基板21和第一絕緣層22之間， 放電尖端5形成于第一絕緣層22和第二絕緣層23之間，放電尖端5靠近修復(fù) 線110且不與修復(fù)線110重疊，放電尖端5與數(shù)據(jù)線106為同種金屬材料制成， 該放電尖端5可將數(shù)據(jù)線106形成的靜電通過其與修復(fù)線110之間的放電而將 靜電導(dǎo)走，從而保護(hù)顯示區(qū)域內(nèi)的晶體管及導(dǎo)線，起到靜電放電保護(hù)保護(hù)的目 的，而且在晶體管保護(hù)環(huán)Tp未起作用前，通過該放電尖端5瀉放靜電；在公共 電極線109與數(shù)據(jù)線106相交的一側(cè)還形成一晶體管保護(hù)環(huán)Tp,晶體管保護(hù)環(huán) Tp與公共電極線109、數(shù)據(jù)線106連接，晶體管保護(hù)環(huán)Tp中具有位于數(shù)據(jù)線106 兩側(cè)的第一薄膜晶體管3和第二薄膜晶體管30,第一薄膜晶體管3具有柵極3c、 源極3a、漏極3b,其中漏極3b與數(shù)據(jù)線106連接，柵極3c通過透明電極線4 與數(shù)據(jù)線106連接，源極3a通過透明電極線4與公共電極線109連接，第二薄 膜晶體管30具有柵極30c、源極30a、漏極30b,其中漏極3b與數(shù)據(jù)線106連 接，柵極30c的一端直接與公共電極線109連接，源極30a通過透明電極線40 與公共電極線109連接，當(dāng)數(shù)據(jù)線106等金屬線上發(fā)生靜電積累時(shí)，可通過該晶體管保護(hù)環(huán)Tp進(jìn)行瀉放。
本發(fā)明的靜電放電保護(hù)裝置制造方法具體如下
首先，如圖6A所示，在洗凈的玻璃基板上通過濺射設(shè)備全面'減射一層具有 低電阻率的第一金屬及合金層，該第一層金屬可以利用AlNd/MoNb合金雙層結(jié) 構(gòu)，在此第一層金屬之上均勻涂布一層光刻膠，待烘干硬化后，利用第一張掩 模版進(jìn)行曝光，顯影出所需圖案，經(jīng)濕法刻蝕形成柵極配線及柵極3c、 30c、公 共電極線109、修復(fù)線110,剝離光刻膠。
其次，如圖7所示，在完成上述工藝步驟之后的基板上依利用化學(xué)氣相沉積 (Chemical Vapour D印ositionCVD)工藝依次沉積第一絕緣膜、有源層、有源 摻雜層，使它們覆蓋第一金屬層表面。在有源摻雜層之上均勻涂布一層光刻膠， 待烘干硬化后，利用第二張掩模版進(jìn)行曝光，顯影出所需圖案，經(jīng)干法刻蝕法 刻蝕出晶體管部分有源區(qū)域lll,剝離光刻膠。
再次，如圖6B所示，在完成上述工藝步驟之后的基板上通過濺射設(shè)備全面 濺射一層具有低電阻率的第二金屬層，在此第二金屬層之上均勻涂布一層光刻 膠，待烘干硬化后，該第二金屬層的材料可以為Mo， Al, Cu等金屬及其合金， 利用第三張掩模版進(jìn)行曝光，顯影出所需圖案，經(jīng)濕法刻蝕形成帶有放電尖端5 的數(shù)據(jù)線106圖案，以及與晶體管的源極、漏極圖案，在保留光刻膠的狀態(tài)下 刻蝕形成溝道部，剝離光刻膠。
然后，如圖6C所示，在完成上述工藝步驟之后的基板上依利用CVD工藝次 沉積第二絕緣膜，在該第二絕緣層之上均勻涂布一層光刻膠，待烘干硬化后， 利用第四張掩模版進(jìn)行曝光，顯影出所需圖案，經(jīng)干法刻蝕形成連接通孔112 剝離光刻膠。
最后，如圖6D所示，在完成上述工藝步驟之后的第二絕緣層之上利用低溫 濺射形成一透明電極層(也就是上述的透明電極線4、 40),該透明電極層填滿 連接通孔112，且該透明電極層使用氧化銦錫(IT0)作為材料。在此透明電極 層之上均勻涂布一層光刻膠，待烘千硬化后，利用第五張掩模版進(jìn)行曝光，顯 影出所需圖案，經(jīng)濕法刻蝕形成像素電極圖案及周邊端子部、兩層金屬連接部 等圖案，剝離光刻膠，完成陣列側(cè)基板的制作，最后形成的靜電放電保護(hù)裝置 如圖4所示。
9在完成最后一步之前，當(dāng)有靜電發(fā)生時(shí)，保護(hù)晶體管部分并不起作用，此時(shí)， 若有靜電發(fā)生在數(shù)據(jù)導(dǎo)線或者柵極上，若不及時(shí)瀉放，很容易擊穿像素部分的 晶體管而導(dǎo)致晶體管失去效用。本實(shí)施例的作用在于，當(dāng)上述數(shù)據(jù)線或者柵極 線上有靜電發(fā)生時(shí)可以及時(shí)通過放電尖端瀉放到與尖端對向的修復(fù)線上，通過 這種保護(hù)機(jī)制在陣列側(cè)完成最后一道工序前保護(hù)電極線及晶體管。
圖7為本發(fā)明的靜電放電保護(hù)裝置的第二實(shí)施例示意圖，圖8為圖7中沿 b-b，方向的剖^L圖。如圖7、圖8所示，第二實(shí)施例與第一實(shí)施例相類似，它們 都具有放電尖端和晶體管保護(hù)環(huán)，其與第一實(shí)施例主要不同之處在于與數(shù)據(jù) 線連接106的放電尖端5與修復(fù)線有部分重疊，這樣的結(jié)構(gòu)可以進(jìn)一步提高靜 電防護(hù)能力。
本發(fā)明除了可以在數(shù)據(jù)線側(cè)制作該放電尖端部分之外亦可以在柵極線部分 制作該放電尖端等靜電保護(hù)裝置，結(jié)構(gòu)與工藝步驟與上述數(shù)據(jù)線部分之放電尖 端靜電保護(hù)結(jié)構(gòu)類似。
以上介紹的僅僅是基于本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不能以此來限定本發(fā)明的范 圍。任何對本發(fā)明的裝置或方法作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的步驟的替換、組合、分 立，以及對本發(fā)明實(shí)施步驟作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的等同改變或替換均不超出本 發(fā)明的揭露以及保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1. 一種用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置，該液晶顯示器中具有相互交叉排列的多條數(shù)據(jù)線和掃描線，其特征在于，于該液晶顯示器顯示區(qū)域周圍設(shè)置有相互平行的一條公共電極線和一條修復(fù)線，位于該公共電極線和該修復(fù)線之間且與每一條所述數(shù)據(jù)線連接的一個(gè)放電尖端，位于所述公共電極線一側(cè)設(shè)置一個(gè)晶體管保護(hù)環(huán)，該晶體管保護(hù)環(huán)與其相鄰的數(shù)據(jù)線、公共電極線連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置，其特征在于， 所述放電尖端靠近所述修復(fù)線。
3. 如權(quán)利要求1所述的用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置，其特征在于， 所述放電尖端與所述修復(fù)線部分重疊。
4. 如權(quán)利要求1所述的用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置，其特征在于， 所述放電尖端與所述數(shù)據(jù)線的使用金屬材料相同。
5. 如權(quán)利要求1所述的用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置，其特征在于， 所述晶體管保護(hù)環(huán)包括位于所述數(shù)據(jù)線兩側(cè)的第一薄膜晶體管和第二薄膜晶體 管，該第一薄膜晶體管的漏極、柵極與所述數(shù)據(jù)線連接，該第二薄膜晶體管的 漏極與所述數(shù)據(jù)線連接，該第二薄膜晶體管的柵極與所述公共電極線連接，該 第一薄膜晶體管的源極、該第二薄膜晶體管的源極分別通過對應(yīng)的一透明電極 線與所述公共電極線連接。1
6. 如權(quán)利要求1所述的用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置，其特征在于， 所述修復(fù)線位于一玻璃基板和一第一絕緣層之間，所述放電尖端位于該第一絕 緣層和一第二絕緣層之間。1
7. —種用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置的制造方法，其特征在于，其 包括以下步驟提供一玻璃基板；在該玻璃基板上濺射一第一金屬層；在該第一金屬層上均勻涂布一層光刻膠，利用第一張掩模版進(jìn)行曝光并顯 影出所需圖案，以在該第一金屬層中形成一公共電極線、 一修復(fù)線以及兩晶體管的柵極；在該玻璃基板上依次沉積一第一絕緣膜、 一有源層、 一有源摻雜層，使它 們覆蓋該第一金屬層表面，在該有源摻雜層之上均勻涂布一層光刻膠，利用第 二張掩模版進(jìn)行曝光并顯影出所需圖案，以在該有源層中形成兩晶體管的有源區(qū)域；在該玻璃基板上賊射一第二金屬層，在該第二金屬層之上均勻涂布一層光刻 膠；利用第三張掩模版進(jìn)行曝光并顯影出所需圖案，以在該第二金屬層中形成 一數(shù)據(jù)線以及與該數(shù)據(jù)線連接的 一放電尖端；在該玻璃基板上沉積一第二絕緣膜，在該第二絕緣層之上均勻涂布一層光刻 膠，利用第四張掩模版進(jìn)行曝光并顯影出所需圖案，經(jīng)干法刻蝕形成連接通孔；在該第二絕緣膜上濺射形成一透明電極層，該透明電極層填滿所述連接通孔；在該透明電極層上均勻涂布一層光刻膠，利用第五張掩模版進(jìn)行曝光并顯影 出所需圖案，經(jīng)濕法刻蝕形成像素電極圖案。
8.如權(quán)利要求7所述的用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置的制造方法，其 特征在于，所述透明電極層由氧化銦錫所構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于液晶顯示器的靜電放電保護(hù)裝置及其制造方法，該液晶顯示器中具有相互交叉排列的多條數(shù)據(jù)線和掃描線，其中，于液晶顯示器顯示區(qū)域周圍設(shè)置有相互平行的一條公共電極線和一條修復(fù)線，位于該公共電極線和該修復(fù)線之間且與每一條數(shù)據(jù)線連接的一個(gè)放電尖端，位于公共電極線一側(cè)設(shè)置一個(gè)晶體管保護(hù)環(huán)，該晶體管保護(hù)環(huán)與其相鄰的數(shù)據(jù)線、公共電極線連接。本發(fā)明的靜電放電保護(hù)裝置及其制造方法具有瀉放靜電能力從而保護(hù)液晶顯示器顯示區(qū)域中的晶體管不受靜電破壞。
文檔編號G03F7/00GK101441372SQ200710170938
公開日2009年5月27日 申請日期2007年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月23日
發(fā)明者鋒 秦 申請人:上海廣電Nec液晶顯示器有限公司