專利名稱：缺陷修正方法及缺陷修正裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種缺陷修正方法及缺陷修正裝置，尤其涉及在基板上的微小 區(qū)域內(nèi)涂敷液態(tài)材料來修正缺陷的缺陷修正方法及缺陷修正裝置。
背景技術(shù)：
近年來，隨著LCD (液晶顯示器)的大型化、高清晰化，像素數(shù)目也在增 大，很難沒有缺陷地制造LCD，缺陷的發(fā)生概率也在增加。在這種狀況下，為 了提高成品率，通過對LCD的濾色片的制造工序中產(chǎn)生的缺陷進行修正來進行 合格品轉(zhuǎn)換的缺陷修正裝置在生產(chǎn)線中變得不可或缺。
另外，最近也有37 45英寸左右的LCD在市場上銷售，單個像素的尺寸 也從小型面板的60umX200um左右增大為200 u mX 600 u m左右。隨著像素 尺寸的增大，缺陷尺寸也在增大，修正尺寸也在增大。在這種狀況下，由于在 以往的較小的修正尺寸下并不成問題的修正等級在較大的修正尺寸下也成為 肉眼可見的區(qū)域，因此有時會存在問題。
圖5 (a) 圖5 (c)是表示在LCD的濾色片的制造工序中產(chǎn)生的缺陷的 圖。如圖5 (a) 圖5 (c)所示，濾色片包括透明基板；在其表面上形成 的稱作黑底300的格子狀的圖案；以及多組R (紅色)像素301、 G (綠色)像 素302和B (藍色)像素303。在濾色片的制造工序中會產(chǎn)生如圖5 (a)所示 的像素和黑底300掉色的白缺陷304、圖5 (b)所示的顏色與相鄰像素相混或 黑底300溢出到像素中的黑缺陷305以及圖5 (c)所示的在像素上附著有異物 的異物缺陷306等。
作為修正白缺陷304的方法，有一種使顏色與存在白缺陷304的像素相同 的油墨附著在涂敷針的前端部、并將附著在針前端的油墨轉(zhuǎn)移到白缺陷304上 來覆蓋白缺陷304的方法。此外，作為修正黑缺陷305和異物缺陷306的方法，有一種利用激光照射將缺陷部分除去而形成激光切割部、并將顏色與激光切割 部所在的像素相同的油墨涂敷在激光切割部上來形成油墨涂敷部的方法。例 如，在專利文獻1中提出了通過油墨涂敷來修正缺陷的裝置。
圖6 (a) 圖6 (e)是表示黑缺陷的修正方法的示意圖。如圖6 (a)所 示，例如，當在濾色片的透明基板的G像素302上產(chǎn)生了黑缺陷305時，對黑 缺陷305照射激光，將黑缺陷305及其周圍的G像素302除去，從而形成圖6 (b)所示的矩形的激光切割部310。之后，通過在激光切割部310上涂敷顏色 與G像素302相同的油墨來修正黑缺陷305。
以往，涂敷比激光切割部310的容積大的量的油墨，以油墨從激光切割部 310溢出的程度涂敷，從而進行修正。但是，隨著LCD的高精密化，對缺陷修 正后的品質(zhì)的要求也變得嚴格，要求進行沒有油墨從激光切割部310溢出的修 正。為了進行沒有油墨溢出的修正，如圖6 (c)所示，在激光切割部310的中 心附近涂敷油墨，從而形成油墨涂敷部311。
此時，若油墨的粘度高而流動性差，則例如在使前端部附著有油墨的涂敷 針與被涂敷物接觸而涂敷了油墨時，由于被涂敷的油墨的表面張力的作用，有 時無法將油墨涂敷到本應(yīng)涂敷的整個區(qū)域內(nèi)。例如，在圖6 (c)中，油墨涂敷 部311并未波及整個激光切割部310，在矩形的激光切割部310的角部附近產(chǎn) 生了未涂敷油墨的空隙312。 g卩，如表示沿圖6(c)的VID-VID線的截面的圖、 即圖6(d)所示，在激光切割部310的中心附近，在整個激光切割部310上形 成有油墨涂敷部311。另一方面，如表示沿圖6(c)的VIE-VIE線的截面的圖、 即圖6 (e)所示，在激光切割部310的角部附近產(chǎn)生了未涂敷油墨的空隙312， 基板2在空隙312處露出。
在為了消除空隙312而對激光切割部310再次涂敷油墨的場合，油墨的涂 敷量反而變得過多，從而會產(chǎn)生油墨從激光切割部310溢出、修正后的油墨涂 敷部311的顏色比G像素302深等缺陷修正后的品質(zhì)問題。因此，為了消除空 隙312，提出了對油墨涂敷部311噴射空氣來進行油墨膜厚的均勻化(校平) 的方法(例如參照專利文獻2)。此時，由于油墨會因空氣的噴射而從激光切 割部310溢出，因此在利用曝光使油墨涂敷部311固化后，設(shè)置通過清洗將溢出的油墨去除的工序。
專利文獻l:日本專利特開平9-236933號公報 專利文獻2:日本專利特開平1-96601號公報
在專利文獻2所提出的噴射空氣的校平方法中，由于空氣的噴射方向受到 限制，因此有時無法進行校平。圖7 (a) 圖7 (d)是表示空氣噴射前后的 油墨涂敷部的例子的示意圖。圖7 (a)是表示空氣噴射前的油墨涂敷部311 和空氣噴嘴的俯視示意圖。圖7 (b)是表示沿圖7 (a)的VIIB-VIIB線的截 面的示意圖。圖7 (c)是表示空氣噴射后的油墨涂敷部311的俯視示意圖。圖 7 (d)是表示沿圖7 (c)的VIID-VIID線的截面的示意圖。
如圖7 (b)所示，從空氣噴嘴121噴射的空氣沿著箭頭122流動。艮P， 如圖7 (b)所示，當空氣噴嘴121在相對于基板2的表面呈傾斜配置的狀態(tài)下 噴射空氣時，油墨涂敷部311表面的空氣流122從靠近空氣噴嘴121的一側(cè)(圖 7 (b)的右側(cè))朝著從空氣噴嘴121離開的另一側(cè)(圖7 (b)的左側(cè))流動。 其結(jié)果是，在空氣噴射后，如圖7 (c)所示，無法消除所述一側(cè)的空隙312。 另外，如圖7 (d)所示，在油墨涂敷部311的所述另一側(cè)產(chǎn)生偏倚部313。這 樣，在對油墨涂敷部311噴射空氣的校平方法中，存在大多情況下都無法在整 個激光切割部310上校平油墨的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種在被涂敷在缺陷部上的油墨的校平 (膜厚均勻化)促進方法中可始終進行穩(wěn)定的校平的技術(shù)。
在本發(fā)明的缺陷修正方法中，在基板上的微小區(qū)域內(nèi)涂敷液態(tài)材料來修正 缺陷。缺陷修正方法包括在微小區(qū)域內(nèi)涂敷液態(tài)材料的工序。另外，還包括將 具有與基板相對的平坦面的加壓頭按壓在基板上以使平坦面覆蓋遮住整個微 小區(qū)域、從而對涂敷后的液態(tài)材料進行加壓的工序。
此時，在想使油墨等液態(tài)材料擴散的區(qū)域、即整個微小區(qū)域內(nèi)，通過對涂 敷后的液態(tài)材料均勻地加壓，可進行使液態(tài)材料的厚度均勻化的校平。不存在 像以往的再次涂敷液態(tài)材料的方法那樣的、液態(tài)材料溢出或當液態(tài)材料為油墨時顏色變得過深的問題，另外，也不存在像從一個方向進行空氣噴射的方法那 樣的產(chǎn)生油墨偏倚部的不良情況，可進行高品質(zhì)的缺陷修正。
在加壓工序中，最好平坦面被樹脂膜覆蓋。此時，由于夾著樹脂膜進行加 壓，因此可防止液態(tài)材料附著在加壓頭上。由此，無需清洗加壓頭，可簡化工 序。
另外，在加壓工序后，最好還包括使樹脂膜相對于加壓頭相對移動、使樹 脂膜以與加壓工序?qū)嵤r曾經(jīng)覆蓋平坦面的部分不同的部分覆蓋平坦面的工 序。此時，即使是在液態(tài)材料附著在樹脂膜上的場合，也可通過使樹脂膜相對 于加壓頭相對移動而使覆蓋加壓頭的樹脂膜的部分更換，從而始終使干凈的樹 脂膜面與基板接觸來進行加壓。
另外，最好在涂敷工序與加壓工序之間還包括使液態(tài)材料固化的工序。此 時，在加壓前使液態(tài)材料干燥，使液態(tài)材料固化成可以進行塑性變形的程度， 從而使液態(tài)材料更難附著在加壓頭或樹脂膜上。由此，可減少為了清洗加壓頭 和更換樹脂膜而必需的工序數(shù)。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是在上述缺陷修正方法中的任一種中使用的缺陷 修正裝置。缺陷修正裝置包括在基板上的微小區(qū)域內(nèi)涂敷液態(tài)材料的涂敷機 構(gòu)。另外，還包括具有與基板相對的平坦面的加壓頭。另外，還包括使加壓頭 朝著與基板的表面交叉的方向移動的驅(qū)動部。另外，平坦面朝著基板的正投影 可覆蓋遮住整個微小區(qū)域。此時，通過在整個微小區(qū)域內(nèi)對液態(tài)材料均勻地加 壓，可進行使液態(tài)材料的厚度均勻化的校平，從而可進行高品質(zhì)的缺陷修正。
采用本發(fā)明的缺陷修正方法及缺陷修正裝置，可始終穩(wěn)定地對涂敷在缺陷 部上的油墨進行校平(膜厚均勻化)。


圖1是表示缺陷修正裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是表示缺陷修正裝置的構(gòu)成要素的方框圖。
圖3是表示缺陷修正方法的流程圖。
圖4 (a) 圖4 (e)是表示油墨加壓工序的示意圖。圖5 (a) 圖5 (c)是表示在濾色片的制造工序中產(chǎn)生的缺陷的圖。圖6 (a) 圖6 (e)是表示黑缺陷的修正方法的示意圖。圖7 (a) 圖7 (d)是表示空氣噴射前后的油墨涂敷部的例子的示意(符號說明) 1缺陷修正裝置 2基板3 X軸工作臺4 Y軸工作臺5 Z軸工作臺6觀察光學(xué)系統(tǒng)7 CCD攝像機8激光器9油墨涂敷機構(gòu)10油墨固化用照明11加壓機構(gòu)12控制用計算機13操作面板21加壓頭22樹脂膜121空氣噴嘴122空氣流300黑底301 R像素302 G像素303 B像素 304白缺陷 305黑缺陷306異物缺陷 310激光切割部 311油墨涂敷部 312空隙313油墨的偏倚部具體實施方式
下面參照附圖對本發(fā)明的實施形態(tài)進行說明。另外，在下面的附圖中， 對相同或相當?shù)牟糠謽擞浵嗤姆枠擞洠辉儋樖?。圖1是表示缺陷修正裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。如圖1所示，該缺陷修正 裝置l包括缺陷修正頭部，該缺陷修正頭部包括觀察光學(xué)系統(tǒng)6、 CCD攝 像機7、激光器8、油墨涂敷機構(gòu)9、油墨固化用照明10以及加壓機構(gòu)11。另外，缺陷修正裝置1還包括使缺陷修正頭部與基板工作臺相對移動 來進行定位的定位機構(gòu)。定位機構(gòu)包括作為第一副驅(qū)動部的Z軸工作臺5， 該Z軸工作臺5使缺陷修正頭部在相對于基板2垂直的方向(Z軸方向)上 移動。定位機構(gòu)還包括作為第二副驅(qū)動部的X軸工作臺3，在該X軸工作臺 3上裝設(shè)有Z軸工作臺5，使Z軸工作臺5在與基板2大致平行的X軸方向 上移動。定位機構(gòu)還包括作為基板工作臺的Y軸工作臺4，在該Y軸工作臺 4上裝設(shè)基板2，用于使基板2在與X軸方向正交并與基板大致平行的Y軸 方向上移動。缺陷修正裝置l還包括控制裝置整體的動作的控制用計算機12、以 及用于對控制用計算機12輸入來自操作者的指令的操作面板13。觀察光學(xué)系統(tǒng)6是用于觀察基板2的表面狀態(tài)(包括基板2表面上的 缺陷部)的裝置。利用觀察光學(xué)系統(tǒng)6觀察到的圖像由CCD攝像機7轉(zhuǎn)換 成電信號，并在控制用計算機12的顯示器畫面中顯示。激光器8是為了對 基板2照射激光而使用的。在基板2為形成有LCD的濾色片的情況下，通 過激光照射將在基板2上產(chǎn)生的黑缺陷或異物缺陷除去。油墨涂敷機構(gòu)9在基板2上的微小區(qū)域內(nèi)通過涂敷附著在涂敷針前端部的油墨來進行修正。即，油墨涂敷機構(gòu)9是將作為液態(tài)材料的油墨涂敷在基板上的微小區(qū)域內(nèi)的涂敷機構(gòu)。在基板2為形成有LCD的濾色片的情 況下，微小區(qū)域是指白缺陷、或者通過除去黑缺陷或異物缺陷而在基板2 上形成的凹狀的激光切割部。油墨固化用照明10照射用于使涂敷機構(gòu)9所 涂敷的油墨固化的光。在油墨屬于紫外線固化型時，選擇紫外線照明作為 油墨固化用照明IO并將其裝設(shè)在裝置上。在油墨屬于熱固化型時，選擇鹵 素?zé)糇鳛橛湍袒谜彰鱅O并將其裝設(shè)在裝置上。加壓機構(gòu)ll包括具有與基板2相對的平坦面的加壓頭、以及使加壓 頭朝著與基板2的表面交叉的方向移動的驅(qū)動部。加壓頭成形為使平坦面 朝著基板2的正投影可覆蓋遮住整個微小區(qū)域。即，例如在平坦面為矩形的 場合，加壓頭成形為使從矩形的四邊下降到基板2上的垂線的腳的集合、即正 投影在基板2的表面上覆蓋整個微小區(qū)域。由此，在驅(qū)動驅(qū)動部而使加壓頭朝 著基板2移動、在加壓頭與基板2接觸的場合，加壓頭的接觸基板2的部位、 即平坦面大于微小區(qū)域，因此，平坦面可覆蓋整個微小區(qū)域。此時，若在微小 區(qū)域內(nèi)已涂敷有液態(tài)材料，則可在整個微小區(qū)域內(nèi)對液態(tài)材料均勻地加壓。另外，加壓頭的平坦面的形狀并不局限于矩形，例如也可做成圓形或其它 的多邊形狀等任意形狀。平坦面的尺寸只要是能覆蓋整個微小區(qū)域的尺寸即 可。例如，在基板為濾色片的場合，可根據(jù)被黑底包圍的一個像素的尺寸(例 如，成為與一個像素的尺寸相同的尺寸的形態(tài))來確定平坦面的尺寸，另外，平坦面的尺寸也可以大于一個像素的尺寸。例如，平坦面的外周形狀可以是一 個像素的形狀的相似形，該形狀的尺寸既可以是能一下子按壓像素內(nèi)部那樣的 大小，也可以是對應(yīng)的像素的尺寸的95%。另外，加壓頭可以是樹脂成形品， 若像后述的那樣夾著樹脂膜使加壓頭與基板接觸，則加壓頭也可以由金屬形 成。圖2是表示缺陷修正裝置的構(gòu)成要素的方框圖。如圖2所示，缺陷修 正裝置l的各構(gòu)成要素、即觀察光學(xué)系統(tǒng)6、激光器8、油墨涂敷機構(gòu)9、 油墨固化用照明10、加壓機構(gòu)11、定位機構(gòu)的動作由控制用計算機12來 控制。加壓機構(gòu)ll包括使加壓頭朝著與基板表面交叉的方向、例如垂直方向移動的作為驅(qū)動部的加壓頭驅(qū)動機構(gòu)；以及使樹脂膜相對于加壓頭相 對移動的樹脂膜移動機構(gòu)。采用本裝置構(gòu)成，可對基板上的微小區(qū)域的缺 陷、例如在濾色片上產(chǎn)生的白缺陷、黑缺陷、異物缺陷進行修正。下面對使用缺陷修正裝置1在基板2上的微小區(qū)域內(nèi)涂敷液態(tài)材料來修正缺陷的方法進行說明。圖3是表示缺陷修正方法的流程圖。圖4(a) 圖4 (e)是表示油墨加壓工序的示意圖。圖4 (a)是表示在通過激光照射 將濾色片的G像素302上產(chǎn)生的黑缺陷除去后對激光切割部涂敷了油墨的 狀態(tài)的俯視圖。圖4 (b)是沿圖4 (a)所示的IVB-IVB線的截面的基板2 的剖視圖，同時表示了與油墨涂敷部311接觸之前的加壓頭21。圖4(c) 表示的是加壓頭21與油墨涂敷部311接觸并對作為液態(tài)材料的油墨進行加 壓的狀態(tài)的基板2的剖視圖。圖4 (d)是表示油墨加壓后的狀態(tài)的俯視圖。 圖4 (e)是沿圖4 (d)所示的IVE-IVE線的截面的基板2的剖視圖。首先，在工序(S10)中，作為前處理，驅(qū)動定位機構(gòu)，使缺陷修正頭 部相對于載放在Y軸工作臺4上基板2相對移動。接著，將激光器8配置 在用觀察光學(xué)系統(tǒng)6觀察到的黑缺陷的正上方并對黑缺陷照射激光，從而 將黑缺陷及其周圍的濾色片的樹脂材料除去，形成激光切割部310(參照圖 6 (b))。接著，在工序(S20)中，將油墨涂敷機構(gòu)9配置在激光切割部310的 正上方，對基板上的微小區(qū)域、即激光切割部310涂敷作為液態(tài)材料的油 墨。圖4 (a)表示的是將油墨填充在激光切割部310上并形成了油墨涂敷 部311的狀態(tài)。將顏色與形成有激光切割部310的像素(即圖4 (a)時的 G像素302)相同的油墨涂敷在激光切割部310上。在圖4 (a)中，由于被 涂敷的油墨的粘性較高，因此油墨涂敷部311并未波及整個激光切割部 310，在矩形的激光切割部310的角部附近產(chǎn)生了未涂敷油墨的空隙312。接著，在工序(S30)中，將油墨固化用照明IO配置在油墨涂敷部311 的正上方。然后，對油墨涂敷部311照射用于使油墨固化的光(紫外光或 鹵素光)，使作為液態(tài)材料的油墨干燥，使油墨涂敷部311固化成油墨可 以塑性變形的程度。接著，在工序(S40)中，將加壓機構(gòu)11配置在油墨涂敷部311的正上方。在此，如圖4(b)所示，加壓頭21的與基板2相對的平坦面被樹脂 膜22覆蓋，該樹脂膜22例如是由聚酰亞胺膜那樣的耐彎曲性等機械特性 優(yōu)良的樹脂材料構(gòu)成的薄膜。接著，通過驅(qū)動未圖示的作為驅(qū)動部的加壓 頭驅(qū)動機構(gòu)來使加壓頭21在相對于基板2垂直的Z軸方向上移動，從而使 加壓頭21靠近基板2，并利用Z軸工作臺5使加壓頭21沿Z軸方向進一步 靠近基板2。然后，如圖4 (c)所示，使覆蓋平坦面的樹脂膜22接觸基板 2表面上的油墨涂敷部311。此時，加壓頭21的平坦面形成為可覆蓋作為微小區(qū)域的整個激光切割 部310,如圖4(c)所示，使加壓頭21移動，以使覆蓋平坦面的樹脂膜22 覆蓋整個激光切割部310。接著，將平坦面按壓在基板2上，以使加壓頭21 的平坦面覆蓋遮住整個激光切割部310。由此，由于被涂敷到激光切割部310 上的油墨以被封在由凹狀的激光切割部310和平坦面形成的空間的內(nèi)部的狀態(tài) 受到加壓頭21推壓，因此可被加壓。被加壓后的油墨擴展至整個激光切割部 310，從而可使油墨充填到整個激光切割部310。即，如圖4 (d)、圖4 (e) 所示，在油墨加壓后，空隙312消失。由于油墨在整個激光切割部310上均勻 地被加壓，因此可使油墨的厚度變得均勻。即，通過油墨加壓，可進行激光切 割部310內(nèi)的油墨的校平。加壓頭21以正常的濾色片的面為基準按壓在基板2上。即，如圖4(c) 所示，當對油墨加壓時，控制加壓頭21在Z軸方向上的位置，以使樹脂膜22 的與基板2相對的一側(cè)的面與正常的濾色片的面齊平。這樣，如圖4 (e)所示， 加壓后的油墨涂敷部311以正常的濾色片的面為基準被校平。即，可使油墨涂 敷部311的厚度與正常的濾色片的面(G像素302等)的厚度一致。在此，由于加壓頭21的平坦面被樹脂膜22覆蓋，夾著樹脂膜22對油 墨涂敷部311進行加壓，因此可防止油墨附著在加壓頭21上。雖然也可不 設(shè)置樹脂膜22而是使加壓頭21與油墨直接接觸，但油墨可能會附著在加 壓頭21上。若附著有油墨，則需要清理加壓頭21，每次都要清理至沒有殘 留物是很困難的。由此，最好是夾著樹脂膜22對油墨涂敷部311加壓，這樣就無需清洗加壓頭21，可簡化工序。另外，在上一工序(S30)中，由于 使油墨固化成可以進行塑性變形的程度，因此油墨更不容易附著在樹脂膜22上。若在不預(yù)先使油墨固化的情況下，油墨在加壓時對樹脂膜22的附著 不構(gòu)成問題的場合，也可省略使油墨固化的工序(S30)?；氐綀D3，接著，在工序(S50)中，使樹脂膜22相對于加壓頭21相 對移動。例如，可設(shè)置由供給筒和巻繞筒構(gòu)成的巻繞機構(gòu)。另外，若將樹 脂膜22做成帶狀，將帶狀的樹脂膜22的一端固定在供給筒上并將另一端 固定在巻繞筒上，使供給筒和巻繞筒以任意調(diào)整的同一速度旋轉(zhuǎn)，則可巻 繞樹脂膜22而使其相對于加壓頭21相對移動。通過使樹脂膜22相對于加壓頭21相對移動，從而樹脂膜22以與在加 壓工序(S40)實施時曾經(jīng)覆蓋平坦面的部分不同的部分覆蓋平坦面。由此， 即使作為液態(tài)材料的油墨在加壓工序(S40)中附著在樹脂膜22上，也可 更換覆蓋加壓頭21的樹脂膜22，因此可始終使干凈的樹脂膜22的面與基 板2接觸并進行加壓。當然，在樹脂膜22上并未附著油墨的場合，也可省 略本工序(S50)。接著，在工序(S60)中，作為后處理，通過定位機構(gòu)的驅(qū)動將油墨固 化用照明10配置在油墨涂敷部311的正上方并照射光，從而使被填充在油 墨涂敷部311上的油墨固化。由此，在曾經(jīng)產(chǎn)生黑缺陷305的部位形成與 其周圍相同品質(zhì)的G像素302，完成黑缺陷305的修正。如上所述，在該缺陷修正方法中，通過在作為微小區(qū)域的整個激光切割部 310上對油墨等液態(tài)材料均勻地加壓，可進行使液態(tài)材料的厚度變得均勻的校 平。不存在像以往的再次涂敷液態(tài)材料的方法那樣的、液態(tài)材料溢出或當液態(tài) 材料為油墨時顏色變得過深的問題，另外，也不存在像從一個方向進行空氣噴 射的方法那樣的產(chǎn)生油墨偏倚部的不良情況，可進行高品質(zhì)的缺陷修正。另外， 在上面的說明中對將用于修正在LCD的濾色片的制造工序中產(chǎn)生的缺陷的油墨作為液態(tài)材料的例子進行了說明，但被涂敷的材料并不局限于此，若是粘性高 而流動性差的材料，則可應(yīng)用本發(fā)明的缺陷修正方法。例如，膠水狀的柔軟的 半固體或固體材料也可應(yīng)用本發(fā)明的缺陷修正方法。應(yīng)當理解，在此公開的實施形態(tài)在所有方面均為例示而并非限制。本 發(fā)明的范圍由權(quán)利要求書來表示，而并非由上述的說明來表示，旨在包括 與權(quán)利要求書具有均等的意思和范圍內(nèi)的所有變更。
權(quán)利要求
1.一種缺陷修正方法，通過在基板上的微小區(qū)域內(nèi)涂敷液態(tài)材料來修正缺陷，其特征在于，包括在所述微小區(qū)域內(nèi)涂敷所述液態(tài)材料的工序；以及將具有與所述基板相對的平坦面的加壓頭按壓在所述基板上以使所述平坦面覆蓋遮住整個所述微小區(qū)域、從而對涂敷后的所述液態(tài)材料進行加壓的工序。
2. 如權(quán)利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于，在所述加壓工序中， 所述平坦面被樹脂膜覆蓋。
3. 如權(quán)利要求2所述的缺陷修正方法，其特征在于，在所述加壓工序后， 還包括使所述樹脂膜相對于所述加壓頭相對移動、以使所述樹脂膜的與實施所 述加壓工序時覆蓋所述平坦面的部分不同的部分覆蓋所述平坦面的工序。
4. 如權(quán)利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于，在所述涂敷工序與 所述加壓工序之間還包括使所述液態(tài)材料固化的工序。
5. —種缺陷修正裝置，在權(quán)利要求1所述的缺陷修正方法中使用，其 特征在于，包括在基板上的微小區(qū)域內(nèi)涂敷液態(tài)材料的涂敷機構(gòu)、 具有與所述基板相對的平坦面的加壓頭、以及 使所述加壓頭朝著與所述基板的表面交叉的方向移動的驅(qū)動部， 所述平坦面朝著所述基板的正投影可覆蓋遮住整個所述微小區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可始終穩(wěn)定地對涂敷在缺陷部上的油墨進行校平(膜厚均勻化)的技術(shù)。本發(fā)明的缺陷修正方法包括在基板上的微小區(qū)域內(nèi)涂敷液態(tài)材料的工序(S20)。另外，還包括將具有與基板相對的平坦面的加壓頭按壓在基板上以使平坦面覆蓋遮住整個微小區(qū)域、從而對涂敷后的液態(tài)材料進行加壓的工序(S40)。由于通過在整個微小區(qū)域內(nèi)對液態(tài)材料均勻地加壓，可進行使液態(tài)材料的厚度變得均勻的校平，因此可進行高品質(zhì)的缺陷修正。
文檔編號G02B5/20GK101231393SQ200810001248
公開日2008年7月30日 申請日期2008年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月23日
發(fā)明者山中昭浩 申請人:Ntn株式會社