專利名稱：：光敏性糊劑組合物及用其形成等離子體顯示屏障壁的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及等離子體顯示屏(plasmadisplaypanel,以下稱為"PDP")障壁形成用光敏性糊劑組合物和PDP障壁形成方法，更詳細(xì)地說，本發(fā)明涉及如下PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物和PDP障壁形成方法，該組合物適合于利用紫外線照射的光刻(photolithography)法，利用一次光刻工序就能夠形成厚障壁并使障壁不損壞且具有優(yōu)異的燒制外形(profile)，不僅如此，該組合物還能夠?qū)崿F(xiàn)高強(qiáng)度和高分辨率，并確保燒制裕度(firingmargin),從而能夠形成安全的障壁圖案。
背景技術(shù)：
：在以PDP為代表的LCD、OLED等平板顯示器的市場需求增加的同時，在趨向大型化方面競爭正在加速，由此要求通過顯示元件的高精細(xì)化、高分辨率化來實現(xiàn)全高清(fWlHighDefmition)畫質(zhì)。PDP是利用如下現(xiàn)象的平板顯示器在上板和下板之間填充的Ne、Xe等氣體放電時產(chǎn)生等離子體，由該等離子體放出的真空紫外線(主要為147nm波長帶)與熒光體發(fā)生碰撞，變?yōu)榭梢姽鈪^(qū)域的紅、綠、藍(lán)色光。PDP中的障壁是為了確保放電空間并防止相鄰的單元(Cdl)之間在電、光學(xué)上相互串?dāng)_(Crosstalk)而形成于PDP的背面基板上的結(jié)構(gòu)物，其起到?jīng)Q定PDP的圖像顯示品質(zhì)的重要要素的作用。作為PDP障壁形成方法，己知有印刷法(printingmethod)、噴砂法(sandblastmethod)、濕式蝕刻法(wet-etchingmethod)等。但是，上述方法的工序復(fù)雜，難以形成滿足高縱橫比(highaspectratio)的結(jié)構(gòu)物。特別是，噴砂法和濕式蝕刻法不僅實現(xiàn)微細(xì)圖案是非常困難的，而且因環(huán)境污染問題嚴(yán)重而在綠色環(huán)境方面存在問題。從很早以前日本的松下社(Matushida)就有以下事例為了實現(xiàn)高分辨率，開發(fā)出光刻法及其材料以用于形成PDP障壁，并進(jìn)行批量應(yīng)用，由此成功地實現(xiàn)了產(chǎn)品化，但是以目前的標(biāo)準(zhǔn)來看，存在采用對光敏性障壁材料進(jìn)行兩次曝光的工序來實施該方法等工序上的繁瑣和材料的局限性。
發(fā)明內(nèi)容為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，該組合物不僅能夠利用一次光刻工序形成厚障壁并使障壁不損壞且具有優(yōu)異的燒制外形，而且能夠?qū)崿F(xiàn)高強(qiáng)度和高分辨率，并確保燒制裕度，從而能夠形成安全的障壁圖案。本發(fā)明的其他目的在于提供一種PDP障壁形成方法和以上述方法形成的障壁，該方法適合于利用紫外線照射的光刻法，并且能夠?qū)崿F(xiàn)工序的簡單化(能夠一次涂布、一次曝光等)和低成本化。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，該組合物包含a)無機(jī)成分以及b)光敏性有機(jī)成分，所述無機(jī)成分含有i)玻璃粉末和ii)填料，所述組合物的特征在于，所述填料包含至少70重量％的(x-石英(quartz)。優(yōu)選上述填料相對于100重量份PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物為0.1重量份20重量份。此外，本發(fā)明提供PDP障壁形成方法，其特征在于，該方法包括如下步驟-a)將上述PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物涂布到將要形成障壁的基板上并對涂布后的基板進(jìn)行干燥；和b)利用光刻法將上述經(jīng)干燥的基板形狀化為障壁；和c)對上述經(jīng)形狀化的障壁進(jìn)行燒制。此外，本發(fā)明提供以上述方法制造出的PDP障壁。本發(fā)明的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物適合于利用紫外線照射的光刻法，并且不僅能夠利用一次曝光工序形成障壁不損壞且具有優(yōu)異的燒制外形的障壁，而且能夠?qū)崿F(xiàn)高強(qiáng)度和高分辨率，并確保燒制裕度，從而能夠形成安全的障壁圖案。此外，本發(fā)明的光敏性糊劑組合物適合于利用紫外線照射的光刻法，并且能夠?qū)崿F(xiàn)工序的簡單化(能夠一次印刷、一次曝光等)和低成本化。具體實施方式下面，詳細(xì)說明本發(fā)明。本發(fā)明的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物為包含a)無機(jī)成分以及b)光敏性有機(jī)成分的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，所述無機(jī)成分含有i)玻璃粉末和ii)填料，所述組合物的特征在于，所述填料包含至少70重量％的a-石英。用作上述填料的a-石英以結(jié)晶質(zhì)石英、平均粒徑為0.5pm10pm的為宜。優(yōu)選使用的a-石英的比表面積(surfacearea)為1.0m2/g20m2/g且粒度分布為D1()=0，01(im5.0pm、D5()=0.5|im10.0|iim、D9Q=2jim20pm。當(dāng)a-石英的平均粒徑、比表面積、粒度分布處于上述范圍內(nèi)時，具有如下優(yōu)點高分辨率的障壁形狀和燒制外形優(yōu)異。此外，作為可與上述a-石英混合使用的填料，可以將鱗石英(Tridymite)、方石英(Cristobalite)、柯石英(coesite)、非晶質(zhì)石英、氧化鋁、氧化鈦、氧化鋅和超石英(stishovite)中的單獨1種或2種以上與上述a-石英混合來使用，并優(yōu)選混合鱗石英(Tridymite)或非晶質(zhì)二氧化硅來使用為宜。此外，優(yōu)選的是，使用填料的90重量％以上的01-石英，最優(yōu)選的是，單獨使用a-石英作為填料為宜。優(yōu)選在總共100重量份的光敏性糊劑組合物中含有0.1重量份20重量份的上述填料，進(jìn)一步優(yōu)選含有1重量份10重量份的上述填料為宜。當(dāng)所述填料的含量小于0.1重量份時，填料含量低，有可能在燒制工序中障壁形狀損壞或者使下層介電體發(fā)生變形，所形成的障壁的光反射率低，放電效率降低。在使用小于0.1重量份的a-石英并使用其他種類的填料的情況下，對180iam以上的較厚的涂布層進(jìn)行一次曝光來形成圖案時，由于透光性不足，因而不易形成具有優(yōu)異的上下寬度比例的高精細(xì)化障壁。此外，在填料含量大于20重量份時，填料含量高，燒制致密度和表面粗糙度降低，有時導(dǎo)致下部附著力低，分辨率不良。本發(fā)明的上述玻璃粉末可以使用用于PDP障壁的通常的玻璃粉末，并且球狀型或破碎型的玻璃粉末均可使用，但特別是在使用球狀型的玻璃粉末時，在分辨率和障壁燒制外形方面更好。進(jìn)一步優(yōu)選的是，上述玻璃粉末以粒度分布為D10=0.01|xm5,、D50=0.5,10.0,、D9o=2|im20的球形為宜。作為一個具體實例，對于玻璃粉末，可以使用玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)為350。C65(TC的Si02-B203-Al2OrZnO系或Si02-B203-Al203系無鉛玻璃粉末。優(yōu)選在總共100重量份的光敏性糊劑組合物中含有35重量份80重量份的上述玻璃粉末，進(jìn)一步優(yōu)選含有40重量份60重量份的上述玻璃粉末為宜。所述玻璃粉末的含量在上述范圍內(nèi)時，涂布性、顯影性、分辨率、燒制致密度、儲藏穩(wěn)定性方面均良好。含有這樣的玻璃粉末和填料的無機(jī)成分與光敏性有機(jī)成分一起形成光敏性糊劑組合物。在17(TC對光敏性糊劑組合物進(jìn)行了2小時干燥之時，以干燥重量計，優(yōu)選在100重量份經(jīng)干燥的光敏性糊劑中含有40重量份90重量份上述無機(jī)成分。所述無機(jī)成分的含量為上述范圍時，具有如下優(yōu)點糊劑的粘度、涂布性、干燥性是穩(wěn)定的，曝光、顯影均勻性較高，能夠得到優(yōu)異的障壁圖案。經(jīng)干燥的糊劑內(nèi)的無機(jī)成分含量小于40重量份時，無機(jī)粉末間的距離遠(yuǎn)，會發(fā)生因燒制收縮率增加而導(dǎo)致的裂紋和巻邊(EdgeCurl)。在所述無機(jī)成分的含量大于90重量份時，糊劑的粘度穩(wěn)定性、涂布性、干燥性降低，紫外線透過性降低，導(dǎo)致障壁圖案的下部寬度增加，從而有時不易形成高精細(xì)化障壁。在本發(fā)明的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物中，對于上述光敏性有機(jī)成分，可以使用用于PDP障壁形成的光敏性樹脂組合物，優(yōu)選的是，所述光敏性有機(jī)成分優(yōu)選含有i)有機(jī)粘結(jié)劑；ii)交聯(lián)性單體；iii)光引發(fā)劑；和iv)溶劑。上述i)有機(jī)粘結(jié)劑起到賦予燒制前糊劑成分的粘合和顯影性的作用，優(yōu)選丙烯酸酯系樹脂為宜，所述丙烯酸酯系樹脂可以通過將不飽和羧酸單體、芳香族單體以及丙烯酸單體聚合而制造。上述不飽和羧酸單體起到借助于高分子內(nèi)的氫鍵使高分子的彈性增加的作用，具體地說，可以使用丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、馬來酸、富馬酸、乙烯基乙酸或者它們的酸酐等。在制造丙烯酸酯系樹脂時所使用的全部單體中優(yōu)選含有10重量％70重量％的上述不飽和羧酸單體，所述不飽和羧酸單體的含量在上述范圍內(nèi)時，由于能夠使高分子的彈性特性、聚合時凝膠化的防止以及聚合度的調(diào)節(jié)全部令人滿意，因此是優(yōu)選的。上述芳香族單體實現(xiàn)與基材的密合性和形成穩(wěn)定的圖案的作用，具體地說，可以使用苯乙烯、甲基丙烯酸芐酯、丙烯酸芐酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸-2-硝基苯酯、丙烯酸-4-硝基苯酯、甲基丙烯酸-2-硝基苯酯、甲基丙烯酸-4-硝基苯酯、甲基丙烯酸-2-硝基芐酯、甲基丙烯酸-4-硝基芐酯、丙烯酸-2-氯苯酯、丙烯酸-4-氯苯酯、甲基丙烯酸-2-氯苯酯或者甲基丙烯酸-4-氯苯酯等。在制造丙烯酸酯系樹脂時所使用的全部單體中優(yōu)選含有5重量％40重量％的上述芳香族單體，進(jìn)一步優(yōu)選含有15重量％25重量％的上述芳香族單體為宜。所述芳香族單體的含量在上述范圍內(nèi)時，能夠使以下方面全部令人滿意，因此優(yōu)選，所述方面為與基材的密合性、圖案的粘結(jié)力、所形成的圖案的直進(jìn)性、穩(wěn)定圖案的實現(xiàn)和進(jìn)行燒制工序時容易除去。除上述不飽和羧酸單體和芳香族單體以外，制造丙烯酸酯系樹脂時所使用的丙烯酸單體起到調(diào)節(jié)高分子的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度和極性的作用。對于上述丙烯酸單體，可以使用(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基辛酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯或者丙烯酸正丁酯等，關(guān)于所述丙烯酸單體的含量，考慮到高分子的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度、耐熱性、與基材的密合性等，優(yōu)選在制造丙烯酸酯系樹脂時所使用的全部單體中含有10重量％60重量％的所述丙烯酸單體。將這樣的單體聚合而制造出的丙烯酸酯系樹脂可以通過在溶劑存在下進(jìn)行聚合來制造，以便能夠防止不飽和羧酸單體、芳香族單體以及丙烯酸單體的凝膠化并控制適當(dāng)?shù)膿]發(fā)性。特別是，優(yōu)選上述丙烯酸系共聚物樹脂含有的甲基丙烯酸和(甲基)丙烯酸甲酯的總量為用于制造丙烯酸系共聚物樹脂的單體的10重量％90重量％。作為上述溶劑，如下溶劑可以單獨使用或混合兩種以上來使用丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚丙酸酯、乙醚丙酸酯、萜品醇、丙二醇單甲醚乙酸酯、二甲氨基甲醛、丁酮、丁基卡必醇、丁基卡必醇乙酸酯、，丁內(nèi)酯或者乳酸乙酯等。此外，上述丙烯酸系共聚物還可以含有1重量％20重量％的含環(huán)氧基的不飽和化合物作為單體。作為含環(huán)氧基的不飽和化合物，可以使用如下化合物丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、a-乙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、(x-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-P-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-P-甲基縮水甘油酯、丙烯酸-P-乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-|3-乙基縮水甘油酯、丙烯酸-3,4-環(huán)氧丁酯、甲基丙烯酸-3，4-環(huán)氧丁酯、丙烯酸-6,7-環(huán)氧庚酯、甲基丙烯酸-6，7-環(huán)氧庚酯、a-乙基丙烯酸-6，7-環(huán)氧庚酉旨、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚或?qū)σ蚁┗S基縮水甘油基醚、甲基丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己酯等，可以單獨使用上述化合物或?qū)煞N以上混合使用。特別是，從使共聚反應(yīng)性和所得到的圖案的耐熱性提高方面出發(fā)，作為上述含環(huán)氧基的不飽和化合物，進(jìn)一步優(yōu)選使用甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸-P-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-6,7-環(huán)氧庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚或?qū)σ蚁┗S基縮水甘油基醚、甲基丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己酯等。在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下使這樣的單體發(fā)生自由基反應(yīng)，通過沉淀和過濾、真空干燥(VacuumDrying)工序除去未反應(yīng)單體而得到i)丙烯酸系共聚物樹脂，優(yōu)選該i)丙烯酸系共聚物樹脂的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)為20,000200,000，酸值為50mgKOH/g200mgKOH/g。上述聚苯乙烯換算重均分子量和酸值在上述范圍內(nèi)時，能夠同時使粘結(jié)性、顯影性和分辨率令人滿意。在本發(fā)明中，優(yōu)選在100重量份的本發(fā)明的糊劑組合物中含有5重量份30重量份的上述有機(jī)粘結(jié)劑，上述有機(jī)粘結(jié)劑的含量在上述范圍內(nèi)時，可操作性良好，燒制時不發(fā)生圖案聚集等。此外，優(yōu)選在100重量份的本發(fā)明的糊劑組合物中含有1重量份20重量份的上述ii)交聯(lián)性單體，進(jìn)一步優(yōu)選含有3重量份10重量份的上述ii)交聯(lián)性單體。所述ii)交聯(lián)性單體的含量在上述范圍內(nèi)時，能夠同時使圖案實現(xiàn)和粘結(jié)力令人滿意。特別是，作為交聯(lián)性單體，優(yōu)選官能團(tuán)數(shù)較少的低官能性單體，具體地說，可以使用選自由TMPTA(三羥甲基丙垸三丙烯酸酯)、HEA(丙烯酸-2-羥基乙酯)、HPA(丙烯酸羥基丙酯)、IBOA(丙烯酸異冰片酯)、DEGDA(二丙烯酸二甘醇酯)、HDDA(二甲基丙烯酸-l，6-己二醇酯)、AMA(甲基丙烯酸烯丙酯)、EDGMA(二甲基丙烯酸乙二醇酯)、DEGDMA(二甲基丙烯酸二甘醇酯)、TMP3EOTA(乙氧化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯)、TRGDMA(二甲基丙烯酸三甘醇酯)、DTGDMA(二甲基丙烯酸四甘醇酯)、BDDA(二甲基丙烯酸-l,3-丁二醇酯)和GDMA(二甲基丙烯酸甘油酯)組成的組中的一種以上的化合物，在這種情況下，能夠使糊劑的光固化致密度和障壁的致密度提高，因而更好。特別是，對于上述交聯(lián)性單體，使用將TMPTA和HDDA以70:30的重量比混合得到的單體為宜。此外，優(yōu)選在100重量份的本發(fā)明的糊劑組合物中含有1重量份20重量份的上述iii)光引發(fā)劑，進(jìn)一步優(yōu)選含有3重量份10重量份的上述iii)光引發(fā)劑為宜，作為上述光引發(fā)劑的具體實例，可以舉出，苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚等苯偶姻與苯偶姻烷基醚類；乙酰苯、2,2-二甲氧基-2-苯基乙酰苯、2,2-二乙氧基-2-苯基乙酰苯、l，l-二氯乙酰苯等乙酰苯類；2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-節(jié)基-2-二甲氨基-l-(4-嗎啉代苯基)-丁垸-l-酮、2-二甲氨基-2-(4-甲基節(jié)基)-l-(4-嗎啉代苯基)丁酮等氨基酮類；2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、l-氯蒽醌、2-戊基蒽醌等蒽醌類；2，4-二甲基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2,4-二異丙基噻噸酮等噻噸酮類；乙酰苯二甲基縮酮、芐基二甲基縮酮等縮酮類；二苯甲酮等二苯甲酮類；2，4-二乙基噻噸酮等氧雜蒽酮類；(2,6-二甲氧基苯甲?；?-2,4，4-苯基氧化膦、雙(2,4，6-三甲基苯甲?；?苯基氧化膦、乙基-(2,4,6-三甲基苯甲?；?苯基次膦酸酯等膦氧化物類；各種過氧化物類；1，7-雙(9-吖啶基)庚垸；2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯蜀-2-(4-嗎啉基)-1-丙醇等。這些公知慣用的光引發(fā)劑可以單獨使用，也可以組合2種以上來使用。特別是，作為上述光引發(fā)劑，優(yōu)選使用將2-二甲氨基-2-(4-甲基芐基)-l-(4-嗎啉代苯基)丁酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-(4-嗎啉基)-1-丙醇和2,4-二乙基噻噸酮以1:2:2的重量比混合得到的光引發(fā)劑。此外，必要時，這樣的光引發(fā)劑可以與公知的光敏劑一起使用。關(guān)于上述iv)溶劑，為了調(diào)節(jié)粘度并使糊劑的形成和糊劑的涂布工序容易進(jìn)行，可以適當(dāng)?shù)剡x擇與無機(jī)成分的親和性優(yōu)異的溶劑來使用。作為這樣的溶劑的具體實例，如下溶劑可以單獨使用或組合兩種以上來使用甲苯、IPA(異丙醇)、二甲苯、二甘醇單丁醚、二乙基酮、甲基丁基酮、二丙基酮、環(huán)己酮、正戊醇、4-甲基-2-戊醇、環(huán)己醇、雙丙酮醇、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚、乙酸正丁酯、乙酸戊酯、乳酸乙酯、乳酸正丁酯、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二甘醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯等。特別優(yōu)選使用將二丙二醇單甲醚和二甘醇單丁醚乙酸酯以3:1的重量比混合得到的溶劑。在100重量份的本發(fā)明的糊劑組合物中，上述溶劑的含量為5重量份30重量份為宜。在上述溶劑的含量過少或過多時，組合物的粘度不合適，有可能在糊劑的形成和涂布中發(fā)生困難。此外，為了無機(jī)成分和光敏性有機(jī)成分的均勻分布以及燒制后障壁的穩(wěn)定性和精密性，本發(fā)明的PDP障壁用糊劑組合物還可以進(jìn)一步含有分散劑。在100重量份的本發(fā)明的糊劑組合物中，上述分散劑的用量為0.1重量份10重量份為宜。此外，在本發(fā)明的PDP障壁形成用糊劑組合物中，為了使所述光敏性有機(jī)成分與基板的粘結(jié)力增大并且使顯影程度增大，還可以進(jìn)一步含有重均分子量為3001000的交聯(lián)性低聚物。優(yōu)選的是，上述交聯(lián)性低聚物為丙氧化甘油三丙烯酸酯(GPTA)、二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA)、五甲基哌啶基甲基丙烯酸酯(PMPMA)為宜，關(guān)于上述交聯(lián)性低聚物的用量，在100重量份的本發(fā)明的糊劑組合物中使用1重量份20重量份為宜。此外，必要時，本發(fā)明的PDP障壁形成用糊劑組合物可以含有UV吸收劑、增塑劑、增粘劑、表面張力調(diào)整劑、穩(wěn)定劑、消泡劑、聚丙二醇等各種添加劑作為任意成分。關(guān)于上述添加劑的含量，優(yōu)選的是，在100重量份的本發(fā)明的糊劑組合物中含有0.01重量份10重量份的上述添加劑為宜。在17(TC對上述光敏性糊劑組合物進(jìn)行了2小時干燥之時，以干燥重量計，優(yōu)選在IOO重量份光敏性糊劑中，含有10重量份60重量份的在本發(fā)明的PDP障壁形成用糊劑組合物中的上述光敏性有機(jī)成分。所述光敏性有機(jī)成分在上述范圍內(nèi)時，能夠同時使涂布性、顯影性、分辨率、燒制致密度以及燒制穩(wěn)定性令人滿意。經(jīng)干燥的糊劑內(nèi)的有機(jī)物含量為10重量份以下時，涂布性顯著降低，粘度穩(wěn)定性減少，導(dǎo)致過千燥引起的曝光、顯影不良。此外，經(jīng)干燥的糊劑內(nèi)的有機(jī)物含量大于60重量份時，由于有機(jī)物含量增加，在涂布面下部難以得到均勻干燥性，發(fā)生由此導(dǎo)致的附著力降低和咬邊(Undercut)，在燒制工序中不易脫(燒盡)粘結(jié)劑，從而使障壁破損、裂紋等缺陷出現(xiàn)。本發(fā)明的PDP障壁形成用糊劑組合物可以通過利用通常方法將上述無機(jī)成分、光敏性有機(jī)成分和必要時所添加的添加劑成分混煉來制造，作為具體方法，可以使用輥煉機(jī)、混合器、均相混合機(jī)、球磨機(jī)、珠磨機(jī)等混煉機(jī)。如此制造的本發(fā)明的PDP障壁形成用糊劑組合物為具有適合涂布的流動性的糊狀的組合物，該組合物的粘度優(yōu)選為1,000cps100，000cps，更優(yōu)選為10,000cps50,000cps。此外，本發(fā)明提供利用上述PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物的PDP障壁形成方法和利用上述方法形成的PDP障壁，可以通過本發(fā)明的PDP障壁形成方法來制造PDP障壁，所述PDP障壁形成方法包括如下步驟a)將上述PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物涂布到將要形成障壁的基板上并將經(jīng)涂布的基板進(jìn)行干燥；b)利用光刻法將上述經(jīng)干燥的基板形狀化為障壁；和c)對上述經(jīng)形狀化的障壁進(jìn)行燒制。在上述本發(fā)明的PDP障壁形成方法中，除使用上述PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物以外，涂布、干燥、光刻和燒制等工序當(dāng)然可以使用通常的PDP障壁形成方法中所使用的方法。本發(fā)明的PDP障壁形成方法不僅能夠利用一次光刻工序形成障壁不損壞而具有優(yōu)異的燒制外形的厚障壁，而且能夠?qū)崿F(xiàn)高強(qiáng)度和高分辨率，并確保燒制裕度，從而能夠形成安全的障壁圖案，并且能夠?qū)崿F(xiàn)工序的簡單化(能夠一次涂布、一次曝光等)和低成本化。以下，為了理解本發(fā)明而給出優(yōu)選的實施例，但是下述的實施例只不過是對本發(fā)明進(jìn)行舉例說明，本發(fā)明的范圍并不限于下述的實施例。實施例實施例1根據(jù)下表1的成分和組成，將有機(jī)成分定量計量成組成比后，攪拌12小時，從而制造出光敏性有機(jī)成分。將上述所制造的光敏性有機(jī)成分與玻璃粉末和a-石英計量后，使用行星式混合機(jī)(PlanetaryMixer)(INOUE社)，混合1小時，使用三輥磨(INOUE社)制造出呈均勻分散狀態(tài)的糊劑。利用旋轉(zhuǎn)式粘度計(Brookfidd，RBDB-II+)在溫度23。C下測定這樣制造的糊劑的粘度。使用可調(diào)式涂布器(AdjustableApplicator)(Sheen社，#1117)將上述所制造的糊劑涂布在背面形成有介電體的玻璃基板(200cmx200cm)的整個面上，然后使用熱風(fēng)式干燥爐，在11(TC干燥該玻璃基板30分鐘。將上述經(jīng)干燥的基板安裝在曝光器(SEIWA社)上，使用形成有障壁形狀(寬60pm)和分辨率(10|mi100ixm)以及感光度(感度)圖案(StoufferIndustries,R2110)的光掩模，以200mJ/cm2曝光量進(jìn)行一次UV照射。使用0.4%碳酸鈉(>^2(:03)水溶液來使完成了曝光的基板顯影，并以純水(DIwater)進(jìn)行清洗。使用帶式燒制爐對由上述過程形成了圖案的基板進(jìn)行燒制，在43(TC實施15分鐘脫粘結(jié)劑，在570'C進(jìn)行15分鐘燒制，此時升溫速度為15'C/分鐘。通過掃描電子顯微鏡(SEM，HITACHI社，S-4300)觀察這樣制造完成的障壁的形狀和內(nèi)部結(jié)構(gòu)。實施例25和比較例15根據(jù)下表1的成分和組成制造光敏性糊劑，除此以外，以與上述實施例1相同的方法制造光敏性糊劑，從而制造出試片。下表1中的組成的單位為重量份。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>[注]::丙烯酸系共聚物重均分子量40,000，酸值100mgKOH/g口交聯(lián)性單體以三羥甲基丙烷三丙烯酸酯己二醇二丙烯酸酯=70:30(重量比)混合得到的單體口交聯(lián)性低聚物丙氧化甘油三丙烯酸酯口光引發(fā)劑以2-二甲氨基-2-(4-甲基芐基)-l-(4-嗎啉代苯基)丁酮(IR-379，汽巴精化):2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-(4-嗎啉基)-1-丙醇(Ir-907，汽巴精化):2，4-二乙基-噻噸酮(DETX，汽巴精化)=1:2:2(重量比)混合來使用ci增塑劑鄰苯二甲酸二丁酯口溶劑以二丙二醇單甲醚:二甘醇單丁醚乙酸酯=3:1(重量比)混合得到的溶劑口玻璃粉末Si02-B203-Al203-ZnO系無鉛玻璃粉末(玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)為472°C,TMA軟化溫度(Tdsp)為529°C，熱膨脹系數(shù)(TEC)為79x10力。C，平均粒度D50=4.0—□a-石英比表面積為1.37m2/g，粒度分布D1()=0.13、D5o=2.04、D9()=5.11的粉末口非晶質(zhì)二氧化硅平均粒度(Dso)-1.57^im的粉末口氧化鋁平均粒度(05())=2.78jam的粉末口氧化鈦平均粒度(05())=0.11的粉末口氧化鋅平均粒度(Dso)-1.14^im的粉末_利用在上述實施例15和比較例15中制造得到的糊劑，在基板上形成了圖案，利用下述方法對形成了圖案的基板的涂布性、干燥性、顯影性、分辨率、感光度、下寬/上寬比、燒制致密度、燒制強(qiáng)度和粘度穩(wěn)定性進(jìn)行測定，其結(jié)果列于下表2。測定方法如下。-涂布性使用可調(diào)節(jié)式涂布器(AdjustableApplicator(Sheen社，弁1117))將所制造的糊劑涂布在玻璃基板(200x200)的整個面上，實施5分鐘平整后，進(jìn)行表面觀察，無針孔(Pinholl)和無沾污以^表示，針孔為3個以下以O(shè)表示，沾污和針孔為涂布面積10。/()以下以A表示，沾污和針孔為涂布面積10°/。30%以乂表示。-干燥性使用熱風(fēng)式干燥爐，在11(TC干燥30分鐘后，進(jìn)行表面觀察，干燥特性非常良好以O(shè)表示，涂布外圍面過干燥以A表示，過干燥占涂布面30。/。以上以X表示。-顯影性顯影液使用0.4。/。碳酸鈉(Na2C03)水溶液，在顯影時間為TTC(達(dá)到清晰的時間(Timetodear))的3.0倍的條件下實施顯影性的測定，障壁形狀良好以O(shè)表示，咬邊(undercut)以A表示，發(fā)生部分或整個面剝離以X表示。-分辨率對顯影后在基板上剩余的分辨率(線寬10pm100pm單位)的線寬數(shù)值進(jìn)行記錄。-感光度對顯影后在基板上剩余的感光度圖案(StoufferIndustries,R2110)的數(shù)值進(jìn)行記錄。-下寬/上寬比燒制后，對障壁形狀的下部寬/上部寬的比例進(jìn)行測定。-燒制致密度燒制后對障壁截面進(jìn)行SEM觀察(1500倍)，內(nèi)部孔隙率(Closepore)為1%以內(nèi)以表示，內(nèi)部孔隙率為1%5%以內(nèi)以〇表示，內(nèi)部孔隙率為5%10%以內(nèi)以厶表示，內(nèi)部孔隙率為10。/。以上以X表示。-燒制強(qiáng)度在高度50mm位置使金屬球(重量15g)自由落下，記錄破損的障壁數(shù)，對實施40次的結(jié)果進(jìn)行測定，列出平均值。-粘度穩(wěn)定性在23"C下保存10天后，測定粘度變化率。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>如上述表2所示，與a-石英的含量過多的比較例1、在填料中a-石英的含量較少的比較例2、使用非a-石英的其他填料的比較例35相比較，在基于本發(fā)明的實施例15的情況中，能夠確認(rèn)到涂布性、顯影性、分辨率顯著優(yōu)異，燒制致密度、燒制裂紋和粘度穩(wěn)定性均優(yōu)異。實施例6-7分別在上述實施例1和2中使用特別是粒度分布為D1Q=2.54pm、D50=4.06|im、D90=6.44pm的球狀的玻璃粉末作為Si02-B203-Al203-ZnO系，除此以外，以與上述實施例1和實施例2相同的方法制造實施例6和實施例7的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，從而制造出障壁。與實施例1和實施例2的情況相比較，對于使用了球狀的玻璃粉末的實施例6和實施例7的情況，涂布性、顯影性、干燥性和分辨率等所有方面更優(yōu)異，特別是，即使在43(TC進(jìn)行15分鐘脫粘結(jié)劑，每分鐘升溫15"C，并且在56(TC燒制15分鐘這樣的苛刻燒制條件下，可以確認(rèn)到也完全沒有發(fā)生障壁的損壞，在燒制的致密度和燒制裂紋方面顯示出顯著優(yōu)異的效果。以上說明的本發(fā)明并不受上述實施例所限定，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種替換、變形以及改變，這對于本發(fā)明所屬
技術(shù)領(lǐng)域：
的普通技術(shù)人員而言是顯然的。權(quán)利要求1.一種PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，該組合物含有a)無機(jī)成分以及b)光敏性有機(jī)成分，所述無機(jī)成分含有i)玻璃粉末和ii)填料，所述組合物的特征在于，所述填料含有至少70重量％的α-石英。2.如權(quán)利要求1所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，在100重量份所述糊劑組合物中，所述填料為0.1重量份20重量份。3.如權(quán)利要求1所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，所述填料是將鱗石英或非晶質(zhì)二氧化硅單獨與所述a-石英混合而得到的，或者所述填料是將鱗石英和非晶質(zhì)二氧化硅混合后與所述a-石英混合而得到的。4.如權(quán)利要求1所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，所述a-石英的粒度分布為D1(H).01pm5.0pm、D5Q=0.5nm10.0萍、D90=2fim20(am。5.如權(quán)利要求1所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，所述玻璃粉末為球形。6.如權(quán)利要求5所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，所述玻璃粉末的粒度分布為D1()=0.01pm5pm、D5。=0.5(im10.0|jm、D90=2|j_m20|_im。7.如權(quán)利要求1所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，在17(TC對所述光敏性糊劑組合物進(jìn)行了2小時干燥之時，以干燥重量計，在100重量份光敏性糊劑中含有40重量份90重量份所述無機(jī)成分。8.如權(quán)利要求1所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，所述光敏性有機(jī)成分含有i)有機(jī)粘結(jié)劑；ii)交聯(lián)性單體；iii)光引發(fā)劑；禾口iv)溶劑。9.如權(quán)利要求8所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，所述光敏性有機(jī)成分含有-i)5重量份30重量份有機(jī)粘結(jié)劑；ii)1重量份20重量份交聯(lián)性單體；iii)1重量份20重量份光引發(fā)劑；和iv)5重量份30重量份溶劑。10.如權(quán)利要求8所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，所述有機(jī)粘結(jié)劑為將不飽和羧酸單體、芳香族單體以及丙烯酸單體聚合而制造得到的丙烯酸酯系共聚物樹脂。11.如權(quán)利要求8所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，所述光敏性有機(jī)成分還含有交聯(lián)性低聚物或增塑劑。12.如權(quán)利要求8所述的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，其特征在于，在17(TC對所述光敏性糊劑組合物進(jìn)行了2小時干燥之時，以干燥重量計，在100重量份光敏性糊劑中，所述光敏性有機(jī)成分為10重量份60重量份。13.—種PDP障壁形成方法，其特征在于，該方法包括如下步驟-a)將權(quán)利要求112任一項所述的光敏性糊劑組合物涂布到將要形成障壁的基板上并進(jìn)行干燥的步驟；和b)利用光刻法將所述經(jīng)干燥的基板形狀化為障壁的步驟；和c)對所述經(jīng)形狀化的障壁進(jìn)行燒制的步驟。14.一種PDP障壁，其是利用權(quán)利要求13的方法制造得到的。全文摘要本發(fā)明涉及等離子體顯示屏障壁形成用光敏性糊劑組合物和等離子體顯示屏障壁形成方法。本發(fā)明提供如下PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，該組合物適合于利用紫外線照射的光刻法，并且其不僅能夠利用一次光刻工序形成厚障壁并使障壁不損壞且具有優(yōu)異的燒制外形，而且能夠?qū)崿F(xiàn)高強(qiáng)度和高分辨率，并確保燒制裕度，從而能夠形成安全的障壁圖案。本發(fā)明特別是涉及含有無機(jī)成分以及光敏性有機(jī)成分的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，所述無機(jī)成分含有玻璃粉末和填料，所述組合物的特征在于，所述填料包含至少70重量％的α-石英。文檔編號G03F7/00GK101281371SQ20081009014公開日2008年10月8日申請日期2008年4月7日優(yōu)先權(quán)日2007年4月6日發(fā)明者樸贊碩,鄭熙俊,鄭鏞埈,金泰成,俊高,黃建鎬申請人:東進(jìn)世美肯株式會社