專(zhuān)利名稱(chēng)：：光刻膠組合物及使用其形成光刻膠圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻膠組合物以及使用該光刻膠組合物形成光刻膠圖案的方法。具體而言，在實(shí)施方式中公開(kāi)了一種能夠防止光刻膠圖案的倒錐形形狀的光刻膠組合物以及使用該光刻膠組合物形成光刻膠圖案的方法。
背景技術(shù)：
：液晶顯示(LCD)裝置利用液晶的光學(xué)和電學(xué)性質(zhì)(例如各向異性的折射率和各向異性的介電常數(shù))顯示圖像。與其它類(lèi)型的顯示器例如陰極射線管(CRT)或等離子體顯示面板(PDP)相比，LCD裝置合意的特性包括更輕的重量、更低的能耗和更低的驅(qū)動(dòng)電壓。通常，LCD裝置包括LCD面板和為L(zhǎng)CD面板提供光的光源。LCD面板包括多個(gè)像素和多個(gè)薄膜晶體管(TFT)。像素和TFT利用使用光刻膠組合物的光刻方法形成。光刻膠組合物可分為正性光刻膠組合物或負(fù)性光刻膠組合物。當(dāng)將負(fù)性光刻膠組合物用于形成精細(xì)圖案時(shí)，優(yōu)選降低曝光過(guò)程中的光能以減少來(lái)自光衍射的鄰近圖案的干擾。然而，當(dāng)曝光過(guò)程中的光能降低時(shí)，光刻膠膜的下部未提供有足夠的光能。因此，光刻膠圖案可具有倒錐形形狀，其中光刻膠圖案上部的寬度大于光刻膠圖案下部的寬度。具有倒錐形形狀的光刻膠圖案可易于被外界壓力損壞，例如，在制造過(guò)程中干燥時(shí)由于施加的壓力增加而易于損壞。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明公開(kāi)了一種能夠防止光刻膠圖案具有倒錐形形狀的光刻膠組合物。實(shí)施方式還提供了一種利用上述光刻膠組合物形成光刻膠圖案的方法。在一種實(shí)施方式中，光刻膠組合物包括約0.5-約20重量份的光致產(chǎn)酸劑(photo-acidgenerator)、約10-約70重量4分的含有羥基的酚醛清漆樹(shù)脂(novolacresin)、約l-約40重量份的交聯(lián)劑、以及約10-約150重量份的溶劑，其中該交聯(lián)劑由烷氧基曱基三聚氰胺化合物構(gòu)成。該光致產(chǎn)酸劑可包括由以下化學(xué)式1表示的第一化合物，并且任選地包括由以下化學(xué)式2表示的第二化合物。<化學(xué)式1>其中R3表示具有1-4個(gè)碳原子的烷基。該交聯(lián)劑的實(shí)例可包括六曱氧基曱基三聚氰胺或六羥曱基三聚氰胺六曱基醚等、或前述化合物中的至少一種的組合。該光致產(chǎn)酸劑可進(jìn)一步包括重氮鹽、銨鹽、碘錯(cuò)鹽、锍鹽、轔鹽、鉀鹽(arsoniumsalt)、氧條鹽、囟代有機(jī)化合物、醌二疊氮(quinonediazide)化合物、二(磺酰基)重氮曱烷化合物、砜化合物、有機(jī)酸酯化合物、有機(jī)酸酰胺化合物、有機(jī)酸酰亞胺化合物等、或包括前述化合物中的至少一種的組合。此外，該交聯(lián)劑可包括烷氧基曱基化氨基樹(shù)脂、烷基醚化三聚氰胺樹(shù)脂、苯并胍胺樹(shù)脂、烷基醚化苯并胍胺樹(shù)脂、脲醛樹(shù)脂、烷基醚化脲醛樹(shù)脂、氨基曱酸酯-曱醛樹(shù)脂、曱階段酚醛樹(shù)脂型酚醛樹(shù)脂、烷基醚化曱階段酚醛樹(shù)脂型酚醛樹(shù)脂、或環(huán)氧樹(shù)脂等、或包括前述樹(shù)脂中的至少一種的組合。該溶劑的實(shí)例可包括二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、或二甘醇等、或包括前述溶劑中的至少一種的組合。該光刻膠組合物可進(jìn)一步包括約0.1-約10重量份的添加劑，該添加劑包括助粘劑、表面活性劑和任選的光敏劑。該光敏劑的實(shí)例可包括氫氧化四其中R4和R2獨(dú)立地表示具有1-4個(gè)碳原子的烷基。<化學(xué)式2>丁基銨、三乙醇胺、二乙醇胺、三辛胺、正辛胺、氫氧化三曱基锍、或氬氧化三苯基锍等、或包括前述光敏劑中的至少一種的組合。如以上所解釋的，該光刻膠組合物可減小光刻膠圖案具有倒錐形形狀的可能性。因此，可防止和減少對(duì)光刻膠圖案的損壞，并改善光刻膠圖案的分辨率。當(dāng)結(jié)合附圖考慮時(shí)，通過(guò)參照以下詳細(xì)描述，本發(fā)明實(shí)施方式的以上和其它優(yōu)點(diǎn)將變得容易顯現(xiàn)。圖1為說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式形成光刻膠圖案的示例性方法的截面圖。圖2為說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式形成光刻膠圖案的示例性方法的截面圖。圖3為說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式形成光刻膠圖案的示例性方法的截面圖。具體實(shí)施方式在下文中參照附圖更全面地描述本發(fā)明的實(shí)施方式。本發(fā)明可以許多不同的形式體現(xiàn)，并且不應(yīng)理解為限于本文中所闡述的實(shí)施方式。相反，提供這些實(shí)施方式，使得該公開(kāi)內(nèi)容徹底且完整，并將本發(fā)明的范圍全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域技術(shù)人員。在附圖中，為了清楚起見(jiàn)，放大了各層及區(qū)域的厚度、尺寸和相對(duì)尺寸。應(yīng)理解，當(dāng)元件或?qū)臃Q(chēng)為"在"另一元件或?qū)?上"、與另一元件或?qū)?連接"或"結(jié)合"時(shí)，該元件或?qū)涌芍苯釉谒隽硪辉驅(qū)由?、與所述另一元件或?qū)舆B接或結(jié)合，或者在其間可存在中間元件或?qū)?。?dāng)元件稱(chēng)為"設(shè)置于"或"形成于"另一元件"上，，時(shí)，這些元件應(yīng)理解為至少部分地互相接觸，除非另外指明。相反，當(dāng)元件稱(chēng)為"直接在"另一元件或?qū)?上"、與另一元件或?qū)?直接連接"或"直接結(jié)合"時(shí)，則不存在中間元件或?qū)?。相同的?biāo)記始終指相同的元件。如本文中所使用的，術(shù)語(yǔ)"和/或"包括一個(gè)或多個(gè)關(guān)聯(lián)的列舉項(xiàng)的任意和全部組合。應(yīng)理解，盡管術(shù)語(yǔ)"第一"、"第二"、"第三，，等不暗含任何特定的順序，但它們可在本文中用來(lái)描述不同的元件、成分、區(qū)域、層和/或部分。這些元件、成分、區(qū)域、層和/或部分不應(yīng)被這些術(shù)語(yǔ)所限制。這些術(shù)語(yǔ)僅用來(lái)使一個(gè)元件、成分、區(qū)域、層或部分區(qū)別于另一區(qū)域、層或部分。因此，在不背離本發(fā)明的教導(dǎo)的情況下，可將以下討論的第一元件、成分、區(qū)域、層或部分稱(chēng)為第二元件、成分、區(qū)域、層或部分。為了便于說(shuō)明，在本文中可使用空間關(guān)系術(shù)語(yǔ)，例如"在......之下"、"在......下面"、"下部"、"在......之上"或"在......上方"等，來(lái)說(shuō)明如圖所示的一個(gè)元件或特征與另外的一個(gè)或多個(gè)元件或特征之間的關(guān)系。應(yīng)理解，除圖中所示的方位以外，空間關(guān)系術(shù)語(yǔ)還意圖涵蓋設(shè)備在使用中或工作中的不同方位。例如，如果翻轉(zhuǎn)圖中的設(shè)備，則描述為"在"其它元件或特征"下面"或"之下"的元件將位于其它元件或特征"之上"。因此，示例性術(shù)語(yǔ)"在......下面"可涵蓋在...之上和在...下面兩種方位。設(shè)備可以其他方式定向(旋轉(zhuǎn)90度或在其它方位上)，并相應(yīng)地解釋本文中所使用的空間關(guān)系描述詞。本文中所用的術(shù)語(yǔ)僅出于描述具體實(shí)施方式的目的，而非意圖限制本發(fā)明。如本文中所使用的，除非上下文另作清楚地說(shuō)明，單數(shù)形式的"一個(gè)"和"所述"也意圖包括復(fù)數(shù)形式。還應(yīng)理解，當(dāng)用在本說(shuō)明書(shū)中時(shí)，術(shù)語(yǔ)"包含"和/或"包括"表示存在所述特征、整體、步驟、操作、元件和/或成分，但不排除存在或添加一個(gè)或多個(gè)其它的特征、整體、步驟、操作、元件、成分和/或其集合。在此參考截面圖描述各實(shí)施方式，所述截面圖為本發(fā)明的理想化實(shí)施方式(以及中間結(jié)構(gòu))的示意圖。如jt匕，可預(yù)期這些圖的形狀由于例如制造才支術(shù)和/或公差而引起的變化。因此，本發(fā)明的實(shí)施方式不應(yīng)解釋為限于在此所圖示的區(qū)域的具體形狀，而是包括由例如制造所造成的形狀上的偏差。例如，圖示為長(zhǎng)方形的區(qū)域通常會(huì)具有圓形或曲面特征。同樣，由植入形成植入。因此，圖中所示的區(qū)域在本質(zhì)上是示意性的，并且它們的形狀不意示設(shè)備的區(qū)域的實(shí)際形狀，并且不意圖限制本發(fā)明的范圍。除非另外定義，在本文中所使用的所有術(shù)語(yǔ)(包括技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ))的含義與本發(fā)明所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的含義相同。還應(yīng)理解，術(shù)語(yǔ)，例如在常用字典中定義的那些，應(yīng)解釋為其含義與它們?cè)谙嚓P(guān)領(lǐng)域背景中的含義一致，并且將不對(duì)所述術(shù)語(yǔ)進(jìn)行理想化或過(guò)于正式的解釋?zhuān)窃诒疚闹忻鞔_定義。光刻膠組合物根據(jù)示例性實(shí)施方式的光刻膠組合物包括約0.5-約20重量份的光致產(chǎn)酸劑、約10-約70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹(shù)脂、約1-約40重量份的包括烷氧基曱基三聚氰胺化合物的交聯(lián)劑、以及約10-約150重量份的溶劑。該光致產(chǎn)酸劑可包括由以下化學(xué)式1表示的第一化合物和/或由以下化學(xué)式2表示的第二化合物<化學(xué)式1>其中R3表示具有1-4個(gè)碳原子的垸基。該光致產(chǎn)酸劑可用光照射以產(chǎn)生酸，例如質(zhì)子酸或路易斯酸。該第一化合物屬于錙類(lèi)化合物，該第二化合物屬于三溱化合物。出乎意料的是，已發(fā)現(xiàn)該第一化合物可防止和/或減少光刻膠圖案的倒錐形形狀并改善光刻膠圖案的分辨率。同樣出乎意料的是，已發(fā)現(xiàn)該第二化合物可改善所述光刻膠對(duì)光的感光度，并改善光刻膠圖案的殘留比，其中殘留比是對(duì)由于散粒噪聲而引起的圖案粗糙度的量度。具體而言，該光刻膠組合物可包括該第一化合物和該第二化合物兩者。該第一化合物與該第二化合物的重量之比可為約80:20-約20:80,具體為約60:40-約40:60，更具體為55:45-45:55。其中R,和R2獨(dú)立地表示具有卜4個(gè)碳原子的烷基；以及<化學(xué)式2>該光致產(chǎn)酸劑可進(jìn)一步包括不同于該第一化合物的镥類(lèi)化合物。該鏡類(lèi)化合物的實(shí)例包括重氮鹽、銨鹽、碘镥鹽(例如二苯基碘鏡三氟甲磺酸鹽)、锍鹽(例如三苯基锍三氟曱磺酸鹽)、轔鹽、紳鹽、氧鏡鹽等、或前述化合物中的至少一種的組合。該光致產(chǎn)酸劑可進(jìn)一步包括不同于該錙鹽的能在光照后產(chǎn)生酸的物質(zhì)。該物質(zhì)的實(shí)例可包括卣代有機(jī)化合物、醌二疊氮化合物、二(磺?；?重氮曱烷化合物、砜化合物、有機(jī)酸酯化合物、有機(jī)酸酰胺化合物、有機(jī)酸酰亞胺化合物等、或前述化合物中的至少一種的組合。該卣代有機(jī)化合物的實(shí)例可包括含卣素的嚅二哇化合物、含卣素的三嗪化合物、含囟素的三。秦化合物、含面素的乙酰苯化合物、含卣素的二苯曱酮化合物、含囟素的亞砜化合物、含卣素的磺酸化合物、含卣素的三唑化合物、含卣素的p惡唑化合物、含卣素的三唑化合物、含卣素的2-吡喃酮化合物、含卣素的雜環(huán)化合物、含面素的脂肪烴、含囟素的芳香烴、磺酰卣化合物等、或前述卣代有機(jī)化合物中的至少一種的組合。具體而言，該卣代有機(jī)化合物的實(shí)例可包括磷酸三(2,3-二溴丙基酯)、磷酸三(2,3-二溴-3-氯丙基酯)、四溴氯丁烷、2-[2-(3,4_二曱氧基苯基)乙烯基]-4,6-二(三氯曱基)-S-三嗪、六氯苯、六溴苯、六溴環(huán)十二烷、六溴環(huán)十二烯、六溴聯(lián)苯、烯丙基三溴苯基醚、四氯雙酚A、四溴雙酚A、四氯雙酚A的二(氯乙基)醚、四氯雙酚S、四溴雙酚S、四氯雙酚A的二(2,3-二氯丙基)醚、四溴雙酚A的二(2,3-二溴丙基)醚、四氯雙酚S的二(氯乙基)醚、四溴雙酚S的二(溴乙基)醚、雙酚S的二(2,3-二氯丙基)醚、雙酚S的二(2,3-二溴丙基)醚、三(2,3-二溴丙基)異氰尿酸酯、2，2-二(4-羥基-3，5-二溴苯基)丙烷、2,2-二(4_(2_羥乙氧基)_3,5_二溴苯基)丙烷、二氯二苯基三氯乙烷、五氯苯酚、2，4,6-三氯苯基-4-硝基苯基醚、4,5,6,7-四氯苯酞、U-二(4-氯苯基)乙醇、1，1-二(4-氯苯基)-2，2，2-三氯乙醇、2，4，4，，5-四氯二苯硫、2,4,4，，5-四氯二苯基砜等、或前述卣代有機(jī)化合物中的至少一種的組合。該醌二疊氮化合物的實(shí)例可包括醌二疊氮衍生物的磺酸酯(例如1,2-苯醌二疊氮-4-磺酸酯、1，2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯)、醌二疊氮衍生物的磺酰氯(例如1,2-苯醌-2-二疊氮-4-磺酰氯、1，2-萘醌-2-二疊氮-4-磺酰氯、1，2-萘醌-2-二疊氮-5-磺酰氯、1，2-萘醌-1-二疊氮-6-磺酰氯、1，2-苯醌-1-二疊氮-5-磺酰氯)等、或前述醌二疊氮化合物中的至少一種的組合。該二(磺?；?重氮曱烷化合物的實(shí)例可包括含有可被對(duì)稱(chēng)取代、非對(duì)稱(chēng)取代或未取代的烷基、烯基、芳烷基、芳基或雜環(huán)基團(tuán)的a，a，-二(磺酰基)重氮曱烷等、或前迷二(磺酰基)重氮曱烷化合物中的至少一種的組合。該砜化合物的實(shí)例可包括包含可被對(duì)稱(chēng)取代、非對(duì)稱(chēng)取代或未取代的烷基、烯基、芳烷基、芳基或雜環(huán)基團(tuán)的砜化合物和二砜化合物等、或前述砜化合物中的至少一種的組合。有機(jī)酸酯的實(shí)例可包括羧酸酯、磺酸酯或磷酸酯等、或前述酸酯中的至少一種的組合。有機(jī)酸酰胺的實(shí)例可包括羧酸酰胺、磺酸酰胺、磷酸酰胺等、或前述酸酰胺中的至少一種的組合。此外，光致產(chǎn)酸劑的實(shí)例可進(jìn)一步包括環(huán)己基曱基(2-氧代環(huán)己基)锍三氟曱磺酸鹽、二環(huán)己基曱基(2-氧代環(huán)己基)锍三氟曱磺酸鹽、2-氧代環(huán)己基(2-降冰片烯基)锍三氟曱磺酸鹽、2-環(huán)己基磺?；h(huán)己酮、二曱基(2-氧代環(huán)己基)锍三氟曱磺酸鹽、三苯基锍三氟曱磺酸鹽、二苯基碘錙三氟甲磺酸鹽、N-羥基琥珀酰亞胺基三氟曱磺酸鹽、苯基對(duì)曱苯磺酸鹽、含有可被對(duì)稱(chēng)取代、非對(duì)稱(chēng)取代或未取代的烷基、烯基、芳烷基、芳基或雜環(huán)基團(tuán)的a-羰基-a-磺?；氐獣跬?、或前述化合物中的至少一種的組合。當(dāng)該光致產(chǎn)酸劑的濃度太小時(shí)，由于由曝光產(chǎn)生的酸的量不足，因此由該光刻膠組合物形成的光刻膠圖案具有差的分辨率。當(dāng)該光致產(chǎn)酸劑的濃度太大時(shí)，由該光刻膠組合物形成的光刻膠圖案具有圓形的邊緣，或者可在顯影工藝過(guò)程中損壞。該酚醛清漆樹(shù)脂可溶于堿性溶液。用于光刻中的市售酚醛清漆樹(shù)脂可用作根據(jù)示例性實(shí)施方式的光刻膠組合物的酚醛清漆樹(shù)脂。具體而言，該朌醛清漆樹(shù)脂可通過(guò)使酚類(lèi)化合物與醛類(lèi)化合物或酮類(lèi)化合物在酸性催化劑的存在下進(jìn)行反應(yīng)而制備。該酚類(lèi)化合物的實(shí)例可包括苯酚、鄰曱酚、間曱酚、對(duì)曱酴、2,3-二曱基苯酚、3，4-二曱基苯酚、3，5-二曱基苯酚、2，4-二曱基苯酚、2,6-二曱基苯酚、2,3,6-三曱基苯盼、2-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、4-叔丁基苯酚、2-曱基間苯二酚、4-曱基間苯二酚、5-曱基間苯二酚、4-叔丁基兒茶酚、2-曱氧基苯朌、3-甲氧基苯朌、2-丙基苯酚、3-丙基苯酚、4-丙基苯酚、2-異丙基苯酚、2-曱氧基-5-曱基苯酚、2-叔丁基-5-甲基苯酚、百里酚、異百里酚等、或前述化合物中的至少一種的組合。該醛類(lèi)化合物的實(shí)例可包括曱醛、福爾馬林、對(duì)曱醛、三喁烷、乙醛、苯曱醛、苯乙醛、a-苯基丙醛、p-苯基丙醛、鄰羥基苯曱醛、間羥基苯甲醛、對(duì)羥基苯曱醛、鄰氯苯曱醛、間氯苯曱醛、對(duì)氯苯曱醛、鄰曱基苯曱醛、間曱基苯曱醛、對(duì)曱基苯曱醛、對(duì)乙基苯曱醛、對(duì)正丁基苯曱醛、對(duì)苯二曱醛等、或前述化合物中的至少一種的組合。該酮類(lèi)化合物的實(shí)例可包括丙酮、曱基乙基酮、二乙基酮、二苯基酮等、或前述化合物中的至少一種的組合。具體而言，該酚醛清漆樹(shù)脂可通過(guò)使該醛類(lèi)化合物與間曱酚和對(duì)曱酚的混合物反應(yīng)來(lái)制備以控制該光刻膠組合物的感光度。例如，間曱酚和對(duì)甲酚的混合物可與水楊醛反應(yīng)以制備具有相對(duì)高的耐熱性的酚醛清漆樹(shù)脂。或者，間曱酚和對(duì)曱酚的混合物可與曱醛、福爾馬林、對(duì)曱醛等、或前述化合物中的至少一種的組合反應(yīng)以制備具有相對(duì)低的耐熱性的酚醛清漆樹(shù)脂。間曱酚與對(duì)曱酚的重量比可為約80:20-約20:80,具體為約70:30-約30:70，更具體為約50:50。通過(guò)凝膠滲透色譜(GPC)測(cè)得的該酚醛清漆樹(shù)脂的折算為聚苯乙烯的重均分子量可為約1000道爾頓-約10000道爾頓，具體為約3000道爾頓-約9000道爾頓，更具體為約5000道爾頓至約7000道爾頓。出乎意料的是，已發(fā)現(xiàn)當(dāng)該酚醛清漆樹(shù)脂的分子量太小時(shí)，由該光刻膠組合物形成的光刻膠圖案可被堿性顯影溶液損壞。出乎意料的是，已發(fā)現(xiàn)當(dāng)該酚醛清漆樹(shù)脂的分子量太大時(shí)，由于曝光部分與未曝光部分之間的溶解性差別小，因此該光刻膠圖案可具有差的分辨率。該交聯(lián)劑由該光致產(chǎn)酸劑所產(chǎn)生的酸活化，并且與該酚醛清漆樹(shù)脂結(jié)合。因此，該酚醛清漆樹(shù)脂發(fā)生交聯(lián)。具體而言，該烷氧基甲基三聚氰胺化合物可包括由以下化學(xué)式3表示的六曱氧基甲基三聚氰胺和/或由以下化學(xué)式4表示的六羥曱基三聚氰胺六曱基醚。<化學(xué)式3><formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula><化學(xué)式4>六曱氧基曱基三聚氰胺可增大光刻膠圖案的感光度，六羥曱基三聚氰胺六曱基醚可減少具有倒錐形形狀的光刻膠圖案。具體而言，該交聯(lián)劑可同時(shí)包括六曱氧基曱基三聚氰胺和六羥曱基三聚氰胺六曱基醚。六甲氧基曱基三聚氰胺與六羥曱基三聚氰胺六曱基醚的重量之比可為約80:20-約20:80,具體為約70:30-約30:70，更具體為60:40-40:60。當(dāng)六甲氧基曱基三聚氰胺的比例太大時(shí)，由該光刻膠組合物形成的光刻膠圖案可具有倒錐形形狀。出乎意料的是，已發(fā)現(xiàn)當(dāng)六羥曱基三聚氰胺六曱基醚的比例太大時(shí)，該交聯(lián)反應(yīng)的速度減小，使得該光刻膠圖案的感光度和殘留比減小。該交聯(lián)劑可進(jìn)一步包括能夠起到交聯(lián)劑作用的不同物質(zhì)。該交聯(lián)劑的實(shí)例可包括烷氧基曱基化氨基樹(shù)脂，例如烷氧基曱基化脲醛樹(shù)脂、烷氧基曱基化烏龍(uron)樹(shù)脂、烷氧基曱基化二醇脲基(uryl)樹(shù)脂。此外，該交聯(lián)劑的實(shí)例可進(jìn)一步包括烷基醚化三聚氰胺樹(shù)脂、苯并胍胺樹(shù)脂、烷基醚化苯并胍胺樹(shù)脂、脲醛樹(shù)脂、烷基醚化脲醛樹(shù)脂、氨基曱酸酯-曱醛樹(shù)脂、曱階段酚醛樹(shù)脂型酚醛樹(shù)脂、烷基醚化曱階段酚醛樹(shù)脂型酚醛樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂等、或前述樹(shù)脂中的至少一種的組合。具體而言，可使用曱氧基曱基化氨基樹(shù)脂、曱氧基乙基化氨基樹(shù)脂、正丁氧基曱基化氨基樹(shù)脂等、或前述樹(shù)脂中的至少一種的組合。當(dāng)該交聯(lián)劑的濃度太小時(shí)，交聯(lián)度可不足。出乎意料的是，已發(fā)現(xiàn)在這種情況下，光刻膠圖案的殘留比可減小，或者光刻膠圖案可容易地變形。同樣出乎意料的是，已發(fā)現(xiàn)當(dāng)該交聯(lián)劑的含量太大時(shí)，光刻膠圖案的分辨率可降低，或者該光刻膠與基板之間的粘附力劣化?？紤]到分辨率、耐熱性以及與基板的粘附力，該光致產(chǎn)酸劑與該交聯(lián)劑的重量之比可為約1:1-約1:40,具體為約l:2陽(yáng)約l:20,更具體為約l:3-約1:10。該溶劑的實(shí)例包括醇，例如曱醇和乙醇；醚，例如四氫呋喃；乙二醇醚，例如乙二醇單曱基醚和乙二醇單乙基醚；乙二醇烷基醚乙酸酯，例如曱基溶纖劑乙酸酯和乙基溶纖劑乙酸酯；二甘醇，例如二甘醇單曱基醚、二甘醇單乙基醚和二甘醇二曱基醚；丙二醇單烷基醚，例如丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚和丙二醇丁基醚；丙二醇烷基醚乙酸酯，例如丙二醇曱基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯和丙二醇丁基醚乙酸酯；丙二醇烷基醚丙酸酯，例如丙二醇曱基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯和丙二醇丁基醚丙酸酯；芳族化合物，例如曱苯和二甲苯；酮，例如曱基乙基酮、環(huán)己酮和4-羥基-4-曱基-2-戊酮；以及酯化合物，例如乙酸曱酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-曱基丙酸曱酯、2-羥基-2-曱基丙酸乙酯、羥基乙酸曱酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、丙基乳酸酯硫酸酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸曱酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-曱基丁酸曱酯、曱氧基乙酸曱酯、曱氧基乙酸乙酯、曱氧基乙酸丙酉旨、曱氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸曱酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸曱酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸曱酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-曱氧基丙酸曱酯、2-曱氧基丙酸乙酯、2-曱氧基丙酸丙酯、2-曱氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸曱酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸曱酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-曱氧基丙酸曱酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-曱氧基丙酸丙酯、3-曱氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸曱酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸曱酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等、或前述醇中的至少一種的組合。在以上實(shí)例中，考慮到構(gòu)成光刻膠組合物并制造涂層的各組分的溶解性和反應(yīng)性，具體使用二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯和二甘醇。該光刻膠組合物可進(jìn)一步包括添加劑，例如助粘劑、表面活性劑或光敏劑等、或前述添加劑中的至少一種的組合。在示例性實(shí)施方式中，添加劑的含量可為約0.1-約10重量份。該助粘劑可改善基板與由該光刻膠組合物形成的光刻膠圖案之間的粘附力。該助粘劑的實(shí)例可包括含有反應(yīng)性取代基例如羰基、曱基丙烯酸類(lèi)基團(tuán)、異氰酸酯基團(tuán)或環(huán)氧基團(tuán)的硅烷偶聯(lián)劑。具體而言，該硅烷偶聯(lián)劑的實(shí)例可包括Y-曱基丙烯酰氧丙基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三曱氧基硅烷、，異氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、，縮水甘油氧基丙基三曱氧基硅烷、卩-(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三曱氧基硅烷等、或前述硅烷化合物中的至少一種的組合。表面活性劑可改善該光刻膠組合物的涂覆特性和顯影特性。該表面活性劑的實(shí)例可包括聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚；由日本的DainipponInk以商品名F171、F172和F173出售的表面活性劑；由日本的Sumitomo3M以商品名FC430和FC431出售的表面活性劑；或由日本的Shin-EtsuChemical以商品名KP341出售的表面活性劑等；或前述表面活性劑中的至少一種的組合。該光敏劑可將特定波長(zhǎng)的能量轉(zhuǎn)變?yōu)椴煌牟ㄩL(zhǎng)。該光敏劑的實(shí)例可包括胺、氫氧化銨、光敏性堿等、或前述光敏劑中的至少一種的組合。具體而言，光敏劑的實(shí)例可包括氫氧化四丁基銨、三乙醇胺、二乙醇胺、三辛胺、正辛胺、氬氧化三曱基锍、或氫氧化三苯基锍等、或前述光敏劑中的至少一種的組合。在下文中，將參照附圖更詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式形成光刻膠圖案的方法。形成光刻膠圖案的方法圖1、2和3是說(shuō)明根據(jù)示例性實(shí)施方式形成光刻膠圖案的方法的截面圖。圖1是說(shuō)明在基板100上形成光刻膠膜200的截面圖。參照?qǐng)D1，基板100可為例如硅片。將描述該示例性實(shí)施方式中的基板100?？稍诨?00上選擇性地進(jìn)行表面處理工藝以除去基板100上的水分和/或任何污染物?；?00上的水分和/或污染物可劣化光刻膠膜200的粘附特性。在表面處理過(guò)程中，基板100可固定在夾盤(pán)上，然后當(dāng)基板100以高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，可使織物刷與基板100接觸，由此迅速清潔基板100。因此，在表面處理過(guò)程中，水分和/或污染物可從基板100除去。光刻膠膜200可通過(guò)涂覆光刻膠組合物而形成于基板100上，該光刻膠組合物包括約0.5-約20重量份的光致產(chǎn)酸劑、約10-約70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹(shù)脂、約1-約40重量份的包括烷氧基曱基三聚氰胺化合物的交聯(lián)劑、以及約10-約150重量份的溶劑。該光致產(chǎn)酸劑可包括由以下化學(xué)式1表示的第一化合物(其中R!和R2獨(dú)立地表示具有1-4個(gè)碳原子的烷基)和/或由以下化學(xué)式2表示的第二化合物(其中R3表示具有1-4個(gè)碳原子的烷基)。光刻膠膜200可利用旋涂法、噴涂法或輥涂法等、或前述方法中的至少一種的組合而形成。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula><化學(xué)式1>在一個(gè)實(shí)施方式中，該光刻膠組合物可與前述的光刻膠組合物基本相同。第一烘干工藝可在其上設(shè)置有光刻膠膜200的基板100上進(jìn)行。第一烘干工藝可在約7(TC-約130°C,具體為8(TC-120。C,更具體為卯。C-11(TC的溫度下進(jìn)行。第一烘干工藝可提高光刻膠膜200與基板100之間的粘附特性。圖2是說(shuō)明曝光光刻膠膜200的截面圖。參照?qǐng)D2，將基板100曝光。具體而言，將其上可形成所選圖案的掩模300定位在曝光裝置的掩模臺(tái)上。在對(duì)準(zhǔn)過(guò)程中，掩模300可布置在基板100上方，其中光刻膠膜200設(shè)置在基板IOO上，因此光刻膠膜200設(shè)置在基板100與掩模300之間。將照明光照射到掩模300上達(dá)所選的時(shí)間，使得光刻膠膜200的一部分選擇性地與穿過(guò)掩模300的光進(jìn)行反應(yīng)。該光的實(shí)例可包括由汞-氙(Hg-Xe)燈產(chǎn)生的光、氟化氪激光或氟化氬激光；G-線射線、I-線射線、電子束或X-射線型的光等，或前述光中的至少一種的組合。光刻膠膜200的曝光部分210可具有與光刻膠膜200的未曝光部分不同的溶解性。在曝光工藝之后，可在基板IOO上另外進(jìn)行第二烘干工藝。第二烘干工藝可在約70。C-約160°C，具體為80°C-150°C，更具體為90。C-130。C的溫度下進(jìn)行。在第二烘干工藝中，曝光部分210的溶解性可進(jìn)一步變化，使得曝光部分210可容易地溶解在特定的溶劑中。圖3是說(shuō)明使曝光的光刻膠膜200顯影的截面圖。參照?qǐng)D3，使用顯影溶液除去曝光部分210以在基板100上形成光刻膠圖案220。例如，曝光部分210可使用;威性溶液例如氬氧化鉀溶液等除去?？汕鍧嵃ㄔO(shè)置在其上的光刻膠圖案220的基板100,然后可進(jìn)行其它普通工藝。器件例如液晶顯示裝置或半導(dǎo)體裝置的各種結(jié)構(gòu)可使用光刻膠圖案220作為掩模來(lái)形成。根據(jù)示例性實(shí)施方式的光刻膠組合物以及形成光刻膠圖案的方法將在下文中通過(guò)實(shí)施例和比較例進(jìn)行進(jìn)一步的描述。使包括重量比為約40:60的間曱酚和對(duì)曱酚的酚類(lèi)混合物與曱醛反應(yīng)以制備可溶于堿的重均分子量為約4000道爾頓的酚醛清漆樹(shù)脂。將約100重量份的可溶于堿的酚醛清漆樹(shù)脂、約2重量份作為光致產(chǎn)酸劑的由以下化學(xué)式5表示的化合物、約5重量份作為交聯(lián)劑的六羥曱基三聚氰胺六曱基醚、約0.6重量份作為基于偶氮的染料的UV黃1549、約1重量份的三辛胺、以及約400重量份作為溶劑的丙二醇曱基醚丙酸酯互相混合以制備光刻膠組合物。<化學(xué)式5>將該光刻膠組合物涂覆在基板上以形成光刻膠膜。將該光刻膠膜曝光、烘干、然后顯影以形成光刻膠圖案。曝光工藝的感光度為約140mJ。用在烘干工藝中的熱板的溫度為約130°C。該光刻膠圖案的臨界尺寸為約2(im。該光刻膠圖案的厚度為約1.5pm。實(shí)施例1實(shí)施例2通過(guò)與實(shí)施例l基本上相同的方法制備光刻膠組合物，除了該光刻膠組合物包括約0.4重量份的實(shí)施例1的由化學(xué)式5表示的化合物和約1.6重量份的由以下化學(xué)式6表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑。<化學(xué)式6>將該光刻膠組合物涂覆在基板上以形成光刻膠膜。將該光刻膠膜曝光、烘干、然后顯影以形成光刻膠圖案。曝光工藝的感光度為約30mJ。用在烘干工藝中的熱板的溫度為約13(TC。該光刻膠圖案的臨界尺寸為約2(im。該光刻膠圖案的厚度為約1.5nm。通過(guò)與實(shí)施例l基本上相同的方法制備光刻膠組合物，除了該光刻膠組合物包括約2重量份的六曱氧基曱基三聚氰胺和約3重量份的六羥曱基三聚氰胺六曱基醚作為交聯(lián)劑。將該光刻膠組合物涂覆在基板上以形成光刻膠膜。將該光刻膠膜曝光、烘千、然后顯影以形成光刻膠圖案。曝光工藝的感光度為約30mJ。用在烘干工藝中的熱板的溫度為約130°C。該光刻膠圖案的臨界尺寸為約2nm。該光刻膠圖案的厚度為約1.5pm。通過(guò)與實(shí)施例l基本上相同的方法制備光刻膠組合物，除了該光刻膠組合物包括約0.4重量份的實(shí)施例1的由化學(xué)式5表示的化合物和約1.6重量份的實(shí)施例2的由化學(xué)式6表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑、以及約2重量份的六曱氧基曱基三聚氰胺和約3重量份的六羥曱基三聚氰胺六甲基醚作為交聯(lián)劑。將該光刻膠組合物涂覆在基板上以形成光刻膠膜。將該光刻膠膜曝光、烘干、然后顯影以形成光刻膠圖案。曝光工藝的感光度為約30mJ。用在烘干工藝中的熱板的溫度為約130°C。該光刻膠圖案的臨界尺寸為約2imi。該光刻膠圖案的厚度為約1.5pm。通過(guò)與實(shí)施例l基本上相同的方法制備光刻膠組合物，除了該光刻膠組實(shí)施例實(shí)施例4實(shí)施例5合物包括約2重量份的實(shí)施例2的由化學(xué)式6表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑以及約5重量份的六曱氧基甲基三聚氰胺作為交聯(lián)劑。將該光刻膠組合物涂覆在基板上以形成光刻膠膜。將該光刻膠膜曝光、烘干然后顯影以形成光刻膠圖案。曝光工藝的感光度為約25mJ。用在烘干工藝中的熱板的溫度為約130°C。該光刻膠圖案的臨界尺寸為約2pm。該光刻膠圖案的厚度為約1.5)am。測(cè)量實(shí)施例1-5的各光刻膠圖案的錐角和分辨率，并評(píng)價(jià)基板與各光刻膠圖案之間的粘附特性。為了評(píng)價(jià)粘附特性，觀察了各光刻膠圖案的翹起(lifting),并將這些光刻膠圖案劃分為"良好"、"一般，，和"不良，，三個(gè)等級(jí)。結(jié)果報(bào)道于下表l。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage20</column></row><table>參照表l,實(shí)施例1的光刻膠圖案不具有清晰的形狀，使得未測(cè)量錐角和分辨率。實(shí)施例5的光刻膠圖案具有123度的錐角，并且在顯影工藝中該光刻膠圖案的一部分翹起且被損壞。然而，實(shí)施例2-4的光刻膠圖案具有97-111度的錐角。因此，可注意到實(shí)施例2-4的各光刻膠圖案的倒錐形程度減小，并且出乎意料的是，這些光刻膠圖案的粘附特性得以改善。因此，可注意到為了改善光刻膠圖案的倒錐形形狀，期望光刻膠組合物同時(shí)包括實(shí)施例1的由化學(xué)式5表示的化合物和實(shí)施例2的由化學(xué)式6表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑、以及六曱氧基曱基三聚氰胺和六羥曱基三聚氰胺六曱基醚作為交聯(lián)劑。實(shí)施例64吏包括重量比為約40:60的間曱酚和對(duì)曱酚的酚類(lèi)混合物與甲醛反應(yīng)以制備可溶于堿的重均分子量為約4000道爾頓的酚醛清漆樹(shù)脂。將約100重量份的可溶于堿的酚醛清漆樹(shù)脂、約1重量份實(shí)施例1的由化學(xué)式5表示的化合物和約1重量份實(shí)施例2的由化學(xué)式6表示的化合物(作為光致產(chǎn)酸劑)、約5重量份作為交聯(lián)劑的六曱氧基曱基三聚氰胺、約0.6重量份作為基于偶氮的染料的UV黃1549、約1重量份的三辛胺、以及約400重量份作為溶劑的丙二醇曱基醚丙酸酯互相混合以制備光刻膠組合物。將該光刻膠組合物涂覆在基板上以形成光刻膠膜。將該光刻膠膜曝光、烘干、然后顯影以形成光刻膠圖案。曝光工藝的感光度為約30mJ。用在烘干工藝中的熱板的溫度為約130°C。該光刻膠圖案的臨界尺寸為約2pm。該光刻膠圖案的厚度為約1.5(im。實(shí)施例7了該光刻膠組合物包括約1.5重量份的實(shí)施例1的由化學(xué)式5表示的化合物和約0.5重量份的實(shí)施例2的由化學(xué)式6表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑。實(shí)施例8了該光刻膠組合物包括約2重量份的實(shí)施例1的由化學(xué)式5表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑。實(shí)施例9通過(guò)與實(shí)施例6基本上相同的方法制備光刻膠組合物和光刻膠圖案，除了該光刻膠組合物包括約2重量份的實(shí)施例2的由化學(xué)式6表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑、以及約4重量份的六曱氧基曱基三聚氰胺和約1重量份的六羥曱基三聚氰胺六甲基醚作為交聯(lián)劑。實(shí)施例10通過(guò)與實(shí)施例8基本上相同的方法制備光刻膠組合物和光刻膠圖案，除了該光刻膠組合物包括約2.5重量份的六曱氧基曱基三聚氰胺和約2.5重量份的六羥曱基三聚氰胺六曱基醚作為交聯(lián)劑。實(shí)施例11通過(guò)與實(shí)施例6基本上相同的方法制備光刻膠組合物和光刻膠圖案，除了該光刻膠組合物包括約2重量份的實(shí)施例2的由化學(xué)式6表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑、以及約5重量份的六曱氧基曱基三聚氰胺作為交聯(lián)劑。測(cè)定實(shí)施例6-11的各光刻膠圖案的倒錐形指數(shù)，并將所得結(jié)果報(bào)道于下表2。倒錐形指數(shù)確定為光刻膠圖案的上端的臨界尺寸與光刻膠圖案的下端的相同臨界尺寸之間的差。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>參照表2,可注意到光刻膠圖案的倒錐形形狀可通過(guò)光致產(chǎn)酸劑和交聯(lián)劑的適當(dāng)組合而得以改善。具體而言，可注意到同時(shí)包括實(shí)施例1的由化學(xué)式5表示的化合物和實(shí)施例2的由化學(xué)式6表示的化合物作為光致產(chǎn)酸劑、以及六曱氧基曱基三聚氰胺和六羥曱基三聚氰胺六曱基醚作為交聯(lián)劑的光刻膠組合物是優(yōu)選的，以改善光刻膠圖案的倒錐形形狀。根據(jù)以上內(nèi)容，根據(jù)示例性實(shí)施方式的光刻膠組合物可減少光刻膠圖案的倒錐形形狀。因此，可防止和/或減少對(duì)光刻膠圖案的損壞，并改善光刻膠圖案的分辨率。盡管已描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，應(yīng)理解本發(fā)明不應(yīng)限于這些示例性實(shí)施方式，相反，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在不背離所要求保護(hù)的本發(fā)明的精神和范圍的情形下可進(jìn)行各種改變和修改。另外，在不背離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)范圍的情形下，根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)，可進(jìn)行各種修改以適應(yīng)具體情形或物質(zhì)。因此，本發(fā)明不擬限于作為意欲用于實(shí)施本發(fā)明的最佳模式而公開(kāi)的特定實(shí)施方式，而是本發(fā)明將包括落在所附權(quán)利要求的范圍中的所有實(shí)施方式。權(quán)利要求1.一種光刻膠組合物，包括0.5-20重量份的光致產(chǎn)酸劑，該光致產(chǎn)酸劑包括由以下化學(xué)式1表示的第一化合物和/或由以下化學(xué)式2表示的第二化合物；10-70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹(shù)脂；1-40重量份的交聯(lián)劑，該交聯(lián)劑包括烷氧基甲基三聚氰胺化合物；以及10-150重量份的溶劑，<化學(xué)式1>id="icf0001"file="S2008100911131C00011.gif"wi="70"he="41"top="112"left="33"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/><化學(xué)式2>id="icf0002"file="S2008100911131C00012.gif"wi="81"he="29"top="164"left="33"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>其中R1、R2和R3獨(dú)立地表示具有1-4個(gè)碳原子的烷基。2.權(quán)利要求1的光刻膠組合物，其中該交聯(lián)劑包括六曱氧基甲基三聚氰胺或六羥曱基三聚氰胺六曱基醚、或六曱氧基曱基三聚氰胺與六羥曱基三聚氰胺六曱基醚的組合。3.權(quán)利要求1的光刻膠組合物；其中該光致產(chǎn)酸劑進(jìn)一步包括重氮鹽、銨鹽、碘錯(cuò)鹽、锍鹽、轔鹽、紳鹽、氧條鹽、卣代有機(jī)化合物、醌二疊氮化合物、二(磺?；?重氮曱烷化合物、砜化合物、有機(jī)酸酯化合物、有機(jī)酸酰胺化合物、有機(jī)酸酰亞胺化合物、或前述化合物中的至少一種的<化學(xué)式2>組合。4.權(quán)利要求1的光刻膠組合物，其中該交聯(lián)劑進(jìn)一步包括烷氧基曱基化氨基樹(shù)脂、烷基醚化三聚氰胺樹(shù)脂、苯并胍胺樹(shù)脂、烷基醚化苯并胍胺樹(shù)脂、脲醛樹(shù)脂、烷基醚化脲醛樹(shù)脂、氨基曱酸酯-曱醛樹(shù)脂、曱階段酚醛樹(shù)脂型酚醛樹(shù)脂、烷基醚化曱階段酚醛樹(shù)脂型酚醛樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、或包括前述樹(shù)脂中的至少一種的組合。5.權(quán)利要求1的光刻膠組合物，其中該溶劑為二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇、或前述溶劑中的至少一種的組合。6.權(quán)利要求1的光刻膠組合物，進(jìn)一步包括0.1-10重量份的添加劑，該添加劑包括助粘劑、表面活性劑、光敏劑、或前述添加劑中的至少一種的組合。7.權(quán)利要求6的光刻膠組合物，其中該光敏劑為氫氧化四丁基銨、三乙醇胺、二乙醇胺、三辛胺、正辛胺、氫氧化三曱基^^、氫氧化三苯基锍、或前述光敏劑中的至少一種的組合。8.—種形成光刻膠圖案的方法，.該方法包括將光刻膠組合物涂覆到基板上以形成光刻膠膜，該光刻膠組合物包括0.5-20重量份的光致產(chǎn)酸劑，該光致產(chǎn)酸劑包括由以下化學(xué)式l表示的第一化合物和/或由以下化學(xué)式2表示的第二化合物<化學(xué)式1><formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula><化學(xué)式2><formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>其中R,、&和R3獨(dú)立地表示具有1-4個(gè)碳原子的烷基；10-70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹(shù)脂；1-40重量份的包括烷氧基曱基三聚氰胺化合物的交聯(lián)劑；以及10-150重量份的溶劑；使該光刻膠膜曝光；以及除去該光刻膠膜的一部分以形成光刻膠圖案。9.權(quán)利要求8的方法，其中該交聯(lián)劑包括六曱氧基甲基三聚氰胺或六羥曱基三聚氰胺六曱基醚、或六甲氧基甲基三聚氰胺與六羥甲基三聚氰胺六曱基醚的組合。10.權(quán)利要求8的方法，其中該光刻膠組合物進(jìn)一步包括0.1-10重量份的添加劑，該添加劑包括助粘劑、表面活性劑、或光敏劑、或前述添加劑中的至少一種的組合。11.權(quán)利要求8的方法，其中使該光刻膠膜曝光于由汞-氙(Hg-Xe)燈發(fā)出的光、氟化氪激光、或氟化氬激光；或電子束、X-射線、G-線射線、I-線射線光、或前述光中的一種的組合。12.權(quán)利要求8的方法，進(jìn)一步包括在70。C-130。C的溫度下烘干該光刻膠膜，并將該光刻膠膜曝光。13.權(quán)利要求8的方法，進(jìn)一步包括在70。C-160。C的溫度下烘千該光刻膠膜，并將該光刻膠膜曝光。14.一種光刻膠組合物，包括.0.5-20重量份的光致產(chǎn)酸劑，該光致產(chǎn)酸劑包括由以下化學(xué)式1表示的第一化合物和/或由以下化學(xué)式2表示的第二化合物，其中R。R2和R3獨(dú)立地表示具有1-4個(gè)碳原子的烷基；10-70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹(shù)脂；1-40重量份的交聯(lián)劑，該交聯(lián)劑包括六曱氧基曱基三聚氰胺或六羥曱基三聚氰胺六曱基醚；以及10-150重量份的溶劑，<化學(xué)式1><化學(xué)式2><formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>15.權(quán)利要求14的光刻膠組合物，進(jìn)一步包括其中該光致產(chǎn)酸劑由化學(xué)式5和/或化學(xué)式6表示<化學(xué)式5><化學(xué)式6><formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>全文摘要本發(fā)明涉及光刻膠組合物及使用其形成光刻膠圖案的方法，該光刻膠組合物包括約0.5-約20重量份的光致產(chǎn)酸劑、約10-約70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹(shù)脂、約1-約40重量份的交聯(lián)劑、以及約10-約150重量份的溶劑，其中該交聯(lián)劑包括烷氧基甲基三聚氰胺化合物。文檔編號(hào)G03F7/004GK101281369SQ20081009111公開(kāi)日2008年10月8日申請(qǐng)日期2008年4月2日優(yōu)先權(quán)日2007年4月2日發(fā)明者丘冀赫,尹赫敏,樸廷敏,李羲國(guó),鄭斗喜申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社;東進(jìn)瑟彌侃株式會(huì)社