專利名稱：充氣設(shè)備與入氣端口裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種充氣設(shè)備與入氣端口裝置，特別是有關(guān)于一種用 以將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中的充氣 設(shè)備。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)扮演重要的角色，只要 是關(guān)于圖形定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用 上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透光的光罩。利用曝光原理， 則光源通過光罩投影至硅圓片可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩 上的塵埃顆粒(如微粒、粉塵或有機(jī)物)都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用 于產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對(duì)潔凈，而被投射的硅圓片或者其它半導(dǎo)體 投射體亦必須保持絕對(duì)清靜，因此在一般的圓片工藝中，都提供無塵室的 環(huán)境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無塵室也無法達(dá)到絕對(duì)無塵 的狀態(tài)。
因此，現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝皆利用抗污染的存放裝置進(jìn)行光罩與半導(dǎo)體組 件的保存與運(yùn)輸，以使光罩與半導(dǎo)體組件保持潔凈。存放裝置是在半導(dǎo)體
工藝中用于存放光罩或半導(dǎo)體組件，以利光罩與半導(dǎo)體組件在機(jī)臺(tái)之間的 搬運(yùn)與傳送，并隔絕光罩與半導(dǎo)體組件與大氣的接觸，避免光罩或半導(dǎo)體 組件被雜質(zhì)污染而產(chǎn)生變化。因此，在先進(jìn)的半導(dǎo)體廠中，通常會(huì)要求該
些存放裝置的潔凈度要符合機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口(Standard Mechanical Interface; SMIF)，也就是說保持潔凈度在Class 1以下。故，在該些存放裝置中充入 氣體便是目前解決的手段之一 。
因此，存放裝置需再連接充氣設(shè)備，使氣體由充氣設(shè)備導(dǎo)入該些存放 裝置。以往當(dāng)存放裝置與充氣設(shè)備連接后，不論是將存放裝置放置于充氣 設(shè)備上或其它方式，要使充氣設(shè)備開始將氣體導(dǎo)入存放裝置，多半使用人工開啟方式，之后進(jìn)步為使用感應(yīng)裝置，當(dāng)感應(yīng)到存放裝置已經(jīng)設(shè)置于充 氣設(shè)備上時(shí)，可以自動(dòng)幵啟氣體充填功能。
在氣體充填的過程中，不論是使用人工開啟方式或由感應(yīng)裝置自動(dòng)開 啟充氣，都是增加工藝的動(dòng)作或增加設(shè)備的結(jié)構(gòu)，其都是在增加成本。又 或是當(dāng)存放裝置放置不正確，而人工或感應(yīng)器仍開始充氣，則將造成氣體 外泄，亦是增加成本。另外，當(dāng)存放裝置與充氣裝置分開時(shí)，若人工停止 氣體充填的控制方式不妥，或感應(yīng)裝置無正確感應(yīng)時(shí)，則無法停止充氣， 氣體持續(xù)供應(yīng)，亦將造成成本的增加
發(fā)明內(nèi)容
'
本發(fā)明提供一種充氣設(shè)備與入氣端口裝置，以解決公知技術(shù)中氣體外 泄的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的充氣設(shè)備與供氣裝置連接，用以將氣 體導(dǎo)入具有入氣部分的半導(dǎo)體組件或光罩存放裝置中。充氣設(shè)備包含有承 載該存放裝置的承座以及至少一個(gè)入氣端口裝置，設(shè)于承座上且與存放裝 置的入氣部分，氣體自入氣端口裝置填充進(jìn)入存放裝置中。
入氣端口裝置具有第一基座、第二基座、第一彈性件、固定件與開關(guān) 裝置。第一基座與第二基座均具有一貫穿孔，且其等之貫穿孔相對(duì)應(yīng)。第 一彈性件，用以保持氣密性，設(shè)于第二基座上且對(duì)應(yīng)于與該存放裝置的入 氣部分接觸處。固定件，用以將彈性件固定于第二基座上。而開關(guān)裝置， 設(shè)于該第一基座與第二基座的孔內(nèi)，用以控制進(jìn)出該入氣端口裝置的氣 體。
關(guān)鍵在于開關(guān)裝置，包含有中空的管部與伸縮件，目的在于以機(jī)械結(jié) 構(gòu)隨著存放裝置的擺放或取出而控制氣體的進(jìn)出。中空管部的一端固接于 第二基座，另一端具有一擴(kuò)大部，可卡持于第一基座，由此封閉該第一基 座的貫穿孔，該管部靠近擴(kuò)大部的部分設(shè)有至少一孔隙，用以供氣體進(jìn)入
該管部的中空部分；另外，伸縮件，環(huán)設(shè)于管部的外側(cè)，卡設(shè)于第二基座 與第一基座之間；當(dāng)存放裝置放置于承座上時(shí)，存放裝置的入氣部分與入 氣端口裝置相接觸，存放裝置的重量將使第二基座向下移動(dòng)，帶動(dòng)開關(guān)裝 置向下移動(dòng)使得其擴(kuò)大部與第一基座分離，使管部的孔隙露出，由此使得氣體得以流入開關(guān)裝置并且充入至存放裝置中；當(dāng)該存放裝置離開該承座 時(shí)，該伸縮件會(huì)將該第二基座抬升，帶動(dòng)管部的擴(kuò)大部回復(fù)封閉第一基座 的貫穿孔的位置。
再詳細(xì)一點(diǎn)地說，本發(fā)明提供的充氣設(shè)備，與一供氣裝置連接，用以 將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中，該存放裝 置具有至少一入氣部分，該充氣設(shè)備包含
至少一承座，用以承載該存放裝置；以及
至少一入氣端口裝置，設(shè)于該承座上且與該存放裝置入氣部分對(duì)應(yīng)的 位置，其中，該入氣端口裝置包含有.-一第一基座，具有一貫穿孔；
一第二基座，設(shè)于該第一基座上，亦具有一貫穿孔對(duì)應(yīng)于該第一基座 的貫穿孔；
一第一彈性件，設(shè)于該第二基座上且對(duì)應(yīng)于與該存放裝置的入氣部分 接觸處，用以保持氣密性；
一固定件，固設(shè)于該第二基座上，用以將該第一彈性件固定于該第二 基座，，
一開關(guān)裝置，設(shè)于該第一基座與該第二基座的貫穿孔內(nèi)，用以控制進(jìn) 出該入氣端口裝置的氣體，其包含有
一中空的管部，該管部的一端固接于該第二基座，另一端具有一擴(kuò)大 部，可卡持于該第一基座由此封閉該第一基座的貫穿孔，該管部靠近該擴(kuò)
大部的部分設(shè)有至少一孔隙，用以供氣體進(jìn)入該管部的中空部分；
一伸縮件，環(huán)設(shè)于該管部的外惻，卡設(shè)于該第二基座與該第一基座之
間；
其中，當(dāng)該存放裝置設(shè)置于該承座上，該存放裝置的入氣部分與該入 氣端口裝置相接觸，該存放裝置的重量將使該第二基座向下移動(dòng)，帶動(dòng)該 開關(guān)裝置向下移動(dòng)使得該擴(kuò)大部與該第一基座分離，使該管部的孔隙露 出，由此使得氣體得以流入該開關(guān)裝置并且充入至該存放裝置；
當(dāng)該存放裝置離開該承座時(shí)，該伸縮件會(huì)將該第二基座抬升，帶動(dòng)該 管部的擴(kuò)大部回復(fù)封閉該第一基座的貫穿孔的位置。
所述的充氣設(shè)備，其中該固定件與該第二基座的固接方式為卡制或螺旋。
所述的充氣設(shè)備，其中該開關(guān)裝置的管部與該第二基座的固接方式為 卡制或螺旋。
所述的充氣設(shè)備，其中該開關(guān)裝置的擴(kuò)大部上可另設(shè)置一第二彈性 件，以保持該開關(guān)裝制與該第一基座之間的氣密性。
所述的充氣設(shè)備，其中該第一基座另包含有至少一鎖固位置，以至少 一鎖固件與該承座接合。
所述的充氣設(shè)備，其中該第一基座與該供氣裝置連接。
所述的充氣設(shè)備，其中該第一基座與該供氣裝置的連接方式為卡制或 螺旋。
本發(fā)明提供的入氣端口裝置，設(shè)于一充氣設(shè)備的承座上，該充氣設(shè)備 用以將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)置于該承座上的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的 存放裝置中，該存放裝置具有至少一入氣部分，其中該入氣端口裝置包含 有
一第一基座，具有一貫穿孔；
一-第二基座，設(shè)于該第一基座上，亦具有一貫穿孔對(duì)應(yīng)于該第一基座
的貫穿孔；
一第一彈性件，設(shè)于該第二基座上且對(duì)應(yīng)于與該存放裝置的入氣部分 接觸處，用以保持氣密性；
一固定件，固設(shè)于該第二基座上，用以將該第一彈性件固定于該第二 基座；
一開關(guān)裝置，設(shè)于該第一基座與該第二基座的貫穿孔內(nèi)，用以控制進(jìn) 出該入氣端口裝置的氣體，其包含有
一中空的管部，該管部的一端固接于該第二基座，另一端具有一擴(kuò)大 部，可卡持于該第一基座由此封閉該第一基座的貫穿孔，該管部靠近該擴(kuò) 大部的部分設(shè)有至少一孔隙，用以供氣體進(jìn)入該管部的中空部分；
一伸縮件，環(huán)設(shè)于該管部的外側(cè)，卡設(shè)于該第二基座與該第一基座之
間；
其中，當(dāng)該存放裝置設(shè)置于該承座上，該存放裝置的入氣部分與該入 氣端口裝置相接觸，該存放裝置的重量將使該第二基座向下移動(dòng)，帶動(dòng)該開關(guān)裝置向下移動(dòng)使得該擴(kuò)大部與該第一基座分離，使該管部的孔隙露 出，由此使得氣體得以流入該開關(guān)裝置并且充入至該存放裝置；
當(dāng)該存放裝置離開該承座時(shí)，該伸縮件會(huì)將該第二基座抬升，帶該動(dòng) 管部的擴(kuò)大部回復(fù)封閉該第一基座的貫穿孔的位置。
所述的入氣端口裝置，其中該開關(guān)裝置的擴(kuò)大部上可另設(shè)置一第二彈 性件，以保持該開關(guān)裝制與該第一基座之間的氣密性。
所述的入氣端口裝置，其中該第一基座與該供氣裝置連接。
本發(fā)明的效果是
1) 本發(fā)明的具開關(guān)裝置入氣端口裝置，可隨著存放裝置的放置與取 出而控制氣體的進(jìn)出，不需要另外以人工控制或增設(shè)感應(yīng)器，以達(dá)到自動(dòng) 化控制與節(jié)省成本的效果。
2) 本發(fā)明的具開關(guān)裝置入氣端口裝置，可隨著存放裝置的放置與離 而控制氣體的進(jìn)出，不會(huì)造成氣體的外泄，可達(dá)到節(jié)省成本的效果。


圖1是充氣設(shè)備的示意圖。
圖2A與圖2B是入氣端口裝置的示意圖。
圖3A與圖3B是第一彈性件的示意圖。
圖4A與圖4B是固定件與第二基座固接方式示意圖。
圖5A與圖5B是開關(guān)裝置的管部與第二基座固接方式的示意圖。
圖6是開關(guān)裝置的示意圖。
圖7A與圖7B是第一基座的示意圖。
圖8A至圖8C是第一基座與供氣裝置連接的示意圖。 附圖中主要組件符號(hào)說明
充氣設(shè)備1 承座2 供氣裝置3 存放裝置4 入氣部分41 入氣端口裝置5第一基座51
貫穿孔511 鎖固位置512 鎖固件513 鎖固頭5131 第二基座52 貫穿孔521 第一彈性件53
第一彈性件與入氣端口份接觸處531
固定件54
彈性裝置514
開關(guān)裝置6
管部61
孔隙612
擴(kuò)大部62
伸縮件63
第二彈性件6具體實(shí)施例方式
由于本發(fā)明公開一種具有入氣端口裝置的充氣設(shè)備，其中所利用到的 一些關(guān)于光罩、半導(dǎo)體組件、存放裝置或充氣裝置的詳細(xì)制造或處理過程， 是利用現(xiàn)有技術(shù)來完成，故在下述說明中，并不作完整描述。而且下述內(nèi) 文中的附圖，亦并未依據(jù)實(shí)際的相關(guān)尺寸完整繪制，其作用僅在表達(dá)與本 發(fā)明特征有關(guān)的示意圖。
首先，請(qǐng)先參閱圖1，本發(fā)明的充氣設(shè)備1的示意圖。充氣設(shè)備1與 供氣裝置3連接，用以將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的 存放裝置4中，存放裝置4具有至少一個(gè)入氣部分41。該充氣設(shè)備1 包含至少一個(gè)承座2，用以承載存放裝置4;以及至少一個(gè)入氣端口裝置 5，設(shè)于承座2上且與存放裝置4入氣部分41相對(duì)應(yīng)的位置，氣體自入 氣端口裝置4填充，經(jīng)入氣部分41進(jìn)入存放裝置4中。接著，請(qǐng)參閱圖2A，入氣端口裝置5包含有第一基座51，第二基
座52，第一彈性件53，固定件54，以及開關(guān)裝置6。第一基座51，具 有一貫穿孔511;第二基座52 ，設(shè)于該第一基座51上，亦具有一貫穿孔 521對(duì)應(yīng)于第一基座51的貫穿孔521;第一彈性件53，設(shè)于第二基座52 上且與存放裝置4的入氣部分41相接觸，用以保持氣密性；固定件54， 固設(shè)于第二基座52上，用以固定第一彈性件53于第二基座52 ;開關(guān)裝 置6，設(shè)于第一基座51與第二基座52的貫穿孔511,521內(nèi)，用以控制進(jìn) 出該入氣端口裝置5的氣體。開關(guān)裝置6包含有中空的管部61與伸縮件 63。管部61的一端固接于第二基座52，另一端具有擴(kuò)大部62，擴(kuò)大部62 可卡持于第一基座51，由此封閉第一基座51的貫穿孔511;管部61靠 近擴(kuò)大部62的部分設(shè)有至少一孔隙612，用以供氣體進(jìn)入管部61的中空 部分；伸縮件63，環(huán)設(shè)于管部61的外側(cè)，卡設(shè)于第二基座52與第一基 座51之間；當(dāng)存放裝置4放置于承座2上時(shí)，存放裝置4的入氣部分41 與該入氣端口裝置5相接觸，存放裝置4的重量將使第二基座52向下移 動(dòng)，帶動(dòng)開關(guān)裝置6向下移動(dòng)，使得開關(guān)裝置6的擴(kuò)大部62與第一基座51 分離，使管部61的孔隙612露出，由此使得氣體得以從孔隙612流入管 部61進(jìn)而充入至存放裝置4，請(qǐng)參閱圖2B所示，此為入氣端口裝置進(jìn)入 開啟的狀態(tài)，空氣可進(jìn)入入氣端口裝置5;當(dāng)存放裝置4離開該承座2 時(shí)，該伸縮件63會(huì)將該第二基座52抬升，帶動(dòng)管部61的擴(kuò)大部62回復(fù) 封閉第一基座51的貫穿孔511的位置，此時(shí)氣體將無法進(jìn)入入氣端口裝 置5。(回復(fù)到圖2A的關(guān)閉位置)
請(qǐng)參閱圖3A與圖3B，入氣端口裝置5中的第一彈性件53與存放裝 置4的入氣部分41的接觸處531可以是平面(圖3A)或弧面(圖3B)。
請(qǐng)參閱圖4A與圖4B，固定件54與第二基座52的固接方式可以是 卡制(圖4A)或螺旋(圖4B)方式固接。
請(qǐng)參閱圖5A與圖5B，開關(guān)裝置6的管部61與第二基座52的固接 方式為卡制(圖5A)或螺旋(圖5B)。
請(qǐng)參閱圖6，開關(guān)裝置6的擴(kuò)大部62上可另設(shè)置第二彈性件64，以 保持開關(guān)裝置6與第一基座51間的氣密性。
請(qǐng)參閱圖7A，第一基座51可另包含至少一個(gè)鎖固位置512，以至少一個(gè)鎖固件513與該承座2接合。此外，鎖固件513具有一鎖固頭5131， 請(qǐng)參閱圖7B，入氣端口裝置5上可再增設(shè)一個(gè)彈性裝置514，設(shè)于該鎖固 件513的鎖固頭5131與該第一基座51間，用以使該入氣端口裝置5與該 承座2的相對(duì)位置可彈性調(diào)整，當(dāng)承座2或是存放裝置4傾斜或不正時(shí)， 該入氣端口裝置5可隨之調(diào)整，不會(huì)造成因?yàn)閮A斜或不正而導(dǎo)致氣體外泄。
請(qǐng)參閱圖8，第一基座51與供氣裝置3連接，而其連接方式可為卡 制(圖8A與圖8B)或螺旋(圖8C)的方式。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本發(fā)明的權(quán)利 范圍；同時(shí)以上的描述，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可明了及實(shí)施，因此其它 未脫離本發(fā)明所揚(yáng)示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包含在本發(fā) 明申請(qǐng)的權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求
1、一種充氣設(shè)備，與一供氣裝置連接，用以將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中，該存放裝置具有至少一入氣部分，該充氣設(shè)備包含至少一承座，用以承載該存放裝置；以及至少一入氣端口裝置，設(shè)于該承座上且與該存放裝置入氣部分對(duì)應(yīng)的位置，其特征在于，該入氣端口裝置包含有一第一基座，具有一貫穿孔；一第二基座，設(shè)于該第一基座上，亦具有一貫穿孔對(duì)應(yīng)于該第一基座的貫穿孔；一第一彈性件，設(shè)于該第二基座上且對(duì)應(yīng)于與該存放裝置的入氣部分接觸處，用以保持氣密性；一固定件，固設(shè)于該第二基座上，用以將該第一彈性件固定于該第二基座；一開關(guān)裝置，設(shè)于該第一基座與該第二基座的貫穿孔內(nèi)，用以控制進(jìn)出該入氣端口裝置的氣體，其包含有一中空管部，該管部的一端固接于該第二基座，另一端具有一擴(kuò)大部，卡持于該第一基座由此封閉該第一基座的貫穿孔，該管部靠近該擴(kuò)大部的部分設(shè)有至少一孔隙，用以供氣體進(jìn)入該管部的中空部分；一伸縮件，環(huán)設(shè)于該管部的外側(cè)，卡設(shè)于該第二基座與該第一基座之間；其中，當(dāng)該存放裝置設(shè)置于該承座上，該存放裝置的入氣部分與該入氣端口裝置相接觸，該存放裝置的重量將使該第二基座向下移動(dòng)，帶動(dòng)該開關(guān)裝置向下移動(dòng)使得該擴(kuò)大部與該第一基座分離，使該管部的孔隙露出，由此使得氣體得以流入該開關(guān)裝置并且充入至該存放裝置；當(dāng)該存放裝置離開該承座時(shí)，該伸縮件會(huì)將該第二基座抬升，帶動(dòng)該管部的擴(kuò)大部回復(fù)封閉該第一基座貫穿孔的位置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該固定件與該第 二基座的固接方式為卡制或螺旋。
3、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該開關(guān)裝置的管 部與該第二基座的固接方式為卡制或螺旋。
4、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該開關(guān)裝置的擴(kuò) 大部上另設(shè)置一第二彈性件，以保持該開關(guān)裝制與該第一基座之間的氣密 性。
5、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該第一基座另包含有至少一鎖固位置，以至少一鎖固件與該承座接合。
6、 依據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該第一基座與該 供氣裝置連接。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該第一基座與該 供氣裝置的連接方式為卡制或螺旋。
8、 一種入氣端口裝置，設(shè)于一充氣設(shè)備的承座上，該充氣設(shè)備用以 將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)置于該承座上用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝 置中，該存放裝置具有至少一入氣部分，其特征在于，該入氣端口裝置包 含有一第一基座，具有一貫穿孔；一第二基座，設(shè)于該第一基座上，亦具有一貫穿孔對(duì)應(yīng)于該第一基座 的貫穿孔；一第一彈性件，設(shè)于該第二基座上且對(duì)應(yīng)于與該存放裝置的入氣部分 接觸處，用以保持氣密性；一固定件，固設(shè)于該第二基座上，用以將該第一彈性件固定于該第二 基座；一開關(guān)裝置，設(shè)于該第一基座與該第二基座的貫穿孔內(nèi)，用以控制進(jìn) 出該入氣端口裝置的氣體，其包含有-一中空管部，該管部的一端固接于該第二基座，另一端具有一擴(kuò)大部， 卡持于該第一基座由此封閉該第一基座的貫穿孔，該管部靠近該擴(kuò)大部的 部分設(shè)有至少一孔隙，用以供氣體進(jìn)入該管部的中空部分；一伸縮件，環(huán)設(shè)于該管部的外側(cè)，卡設(shè)于該第二基座與該第一基座之間；其中，當(dāng)該存放裝置設(shè)置于該承座上，該存放裝置的入氣部分與該入氣端口裝置相接觸，該存放裝置的重量將使該第二基座向下移動(dòng)，帶動(dòng)該 開關(guān)裝置向下移動(dòng)使得該擴(kuò)大部與該第一基座分離，使該管部的孔隙露 出，由此使得氣體得以流入該開關(guān)裝置并且充入至該存放裝置；當(dāng)該存放裝置離開該承座時(shí)，該伸縮件會(huì)將該第二基座抬升，帶該動(dòng) 管部的擴(kuò)大部回復(fù)封閉該第一基座貫穿孔的位置。
9、 依據(jù)權(quán)利要求8所述的入氣端口裝置，其特征在于，該開關(guān)裝置 的擴(kuò)大部上另設(shè)置一第二彈性件，以保持該開關(guān)裝制與該第一基座之間的 氣密性。
10、 依據(jù)權(quán)利要求8所述的入氣端口裝置，其特征在于，該第一基座 與該供氣裝置連接。
全文摘要
一種充氣設(shè)備以及其入氣端口裝置。充氣設(shè)備與供氣裝置連接，用以將氣體導(dǎo)入具有入氣部分的半導(dǎo)體組件或光罩存放裝置中。充氣設(shè)備包含有承載該存放裝置的承座以及至少一個(gè)入氣端口裝置，設(shè)于承座上且與存放裝置的入氣部分，氣體自入氣端口裝置填充進(jìn)入存放裝置中。入氣端口裝置具有第一基座、第二基座、第一彈性件、固定件與開關(guān)裝置。第一基座與第二基座均具有一貫穿孔，且其等之貫穿孔相對(duì)應(yīng)。第一彈性件，用以保持氣密性，設(shè)于第二基座上且對(duì)應(yīng)于與該存放裝置的入氣部分接觸處。固定件，用以將彈性件固定于第二基座上。而開關(guān)裝置，設(shè)于該第一基座與第二基座的孔內(nèi)，用以控制進(jìn)出該入氣端口裝置的氣體。
文檔編號(hào)G03F1/66GK101582373SQ20081009952
公開日2009年11月18日 申請(qǐng)日期2008年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月13日
發(fā)明者潘勇順, 陳俞銘 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司