專利名稱：雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料及其制作方法，屬于金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材 料技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在自然界中，除少數(shù)幾種的磁性材料沒有有效磁導(dǎo)率(下簡稱磁導(dǎo)率)&ff= 1的限制外，
再也找不到一種材料能夠突破這種限制，自Veselago提出了負(fù)磁導(dǎo)率的概念以來，pendry利用 開口環(huán)人工金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)獲得微波波段磁導(dǎo)率的調(diào)制，實(shí)現(xiàn)了負(fù)的磁導(dǎo)率。繼后又有采用這 種基于LC共振耦合理論的金屬結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了太赫茲(THz)以上，以及在紅外波段的磁響應(yīng)，實(shí) 現(xiàn)了負(fù)的磁導(dǎo)率。為了實(shí)現(xiàn)可見光波段的磁響應(yīng)，人們想利用類開口環(huán)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)可見光波段 的磁響應(yīng)，由于其局部的電容特征尺寸需要結(jié)構(gòu)減小至iJlOnm以下,以目前的加工技術(shù)而言，在
技術(shù)上是很難實(shí)現(xiàn)的。還有一種方法是采用相鄰金屬結(jié)構(gòu)^r平行極化電^r的反對稱模式等離
子共振耦合，基于這種方法也需要很小的特征尺寸，都存在著不可實(shí)現(xiàn)的技術(shù)難題，同時(shí)又 都是單波段磁響應(yīng)，沒有實(shí)現(xiàn)雙波段磁響應(yīng)。為克服上述特征尺寸小，又都是單波段磁響應(yīng) 的問題，同時(shí)實(shí)現(xiàn)可見光及紅外多波段的磁響應(yīng)，特提出一種新的人工金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料， 特征尺寸相對比較大，同時(shí)還可實(shí)現(xiàn)可見光和近紅外波段的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率 金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料及其制作方法，不僅結(jié)構(gòu)特征尺寸足夠大，而且一個(gè)復(fù)合結(jié)構(gòu)可同時(shí)實(shí)現(xiàn) 可見光和近紅外波段的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，其
特征在于由第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組或者由第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組與基底組成，其中第一金屬復(fù) 合結(jié)構(gòu)組或者第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組制作在基底上。
所述的第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組的縱向長度為有限長的結(jié)構(gòu)，它按照橫向周期T多組多排交 錯排列在基底上。
所述的第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組的縱向長度為無限長的結(jié)構(gòu)，它按照橫向周期T排列在基底上。所述的基底是透明的石英基板，也可以是透明的光學(xué)玻璃板。
所述的第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組由L形懸臂、支撐臂、第一空氣層、第二空氣層和金屬條組
成，L形懸臂包括緊密連接于下端的第一加強(qiáng)支撐法蘭與基底的上表面緊密連接，支撐臂與
L形懸臂的懸臂上下緊密連接，從而對L形懸臂的懸臂起支撐作用；支撐臂包括緊密連接于 下端的第二加強(qiáng)支撐法蘭與基底的上表面緊密連接；，金屬條在最里面，金屬條上表面與L
形懸臂的懸臂下表面之間是第二空氣層，金屬條的側(cè)面與L形懸臂的內(nèi)側(cè)面也有第一空氣層， 金屬條的另一側(cè)面與支撐臂的內(nèi)側(cè)面緊密連接，增加支撐臂的剛度，金屬條的下表面與基底 的上表面緊密相連。
所述第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組中的L形懸臂包括第一加強(qiáng)支撐法蘭的材料可以是金屬金或者 銀；支撐臂包括第二加強(qiáng)支撐法蘭的材料可以是介電常數(shù)e為0.90 1.15之間的介質(zhì)；金屬 條的材料可以是金屬金或者銀。
所述的第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組由L形懸臂、第一介質(zhì)層、第二介質(zhì)層和金屬條組成，L形 懸臂包括緊密連接于下端的第三加強(qiáng)支撐法蘭與基底的上表面緊密連接，在L形懸臂的下部 里面作有金屬條，在金屬條的上表面和L形懸臂的懸臂下面，以及金屬條的側(cè)面和L形懸臂 的內(nèi)側(cè)面之間，制作了第二介質(zhì)層和第一介質(zhì)層，兩介質(zhì)層把L形懸臂和金屬條緊密連接起 來，金屬條的下表面與基底的上表面緊密相連。
所述第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組中的L形懸臂包括第三加強(qiáng)支撐法蘭的材料可以是金屬金或者 銀；第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的材料是介電常數(shù)s為0.90 1.15的介質(zhì)；金屬條的材料可以 是金屬金或者銀。
雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料的制作方法，其特征在于所述的金屬復(fù)合結(jié) 構(gòu)材料制作方法和工藝流程是分四個(gè)步驟
(1) 、用微細(xì)加工工藝技術(shù)制作出金屬條；
(2) 、用臺階陰影法進(jìn)行定向蒸發(fā)，制作出犧牲層或介質(zhì)層；
(3) 、用與步驟(2)相同的定向蒸發(fā)制作出L形懸臂和支撐臂；
(4) 、最后用濕法腐蝕或者等離子體灰化技術(shù)除去犧牲層。 本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)
1、本發(fā)明所提出的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，克服了特征尺寸小到10納米 以下，十分難制作的不足，特征尺寸大大增大，達(dá)到30納米-百納米級制作工藝就可實(shí)現(xiàn)制作；
.2、本發(fā)明所提出的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，除了在可見光波段能實(shí)現(xiàn)反
對稱模式等離子共振耦合得到負(fù)磁導(dǎo)率，而且在近紅外波段也實(shí)現(xiàn)了磁響應(yīng)得到負(fù)磁導(dǎo)率，突破了過去的復(fù)合結(jié)構(gòu)都只有單波段磁響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)復(fù)合結(jié)構(gòu)可同時(shí)達(dá)到可見光和近紅 外波段的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率；這種結(jié)構(gòu)在人工負(fù)磁導(dǎo)率材料和材料的應(yīng)用方面有著廣泛的 用途。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例一局部結(jié)構(gòu)放大示意圖;.
圖2為實(shí)施例一第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組的A-A剖面結(jié)構(gòu)放大圖3為金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料的制作工藝流程圖4為本發(fā)明實(shí)施例二局部結(jié)構(gòu)放大示意圖5為實(shí)施例二第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組的B-B剖面結(jié)構(gòu)放大圖6為金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的位相譜和透射譜圖7為金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的Lc共振耦合電流環(huán)路圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
詳細(xì)介紹本發(fā)明。 實(shí)施例一
本實(shí)施例的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料由第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組1與基底2組 成，第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組1制作在基底2上。
如圖1所示是本發(fā)明實(shí)施例一局部結(jié)構(gòu)放大示意圖，它由第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組1和基底 2組成,第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組1縱向是一長h300nm的復(fù)合結(jié)構(gòu)，它按照橫向周期為T=400nm 多組多排交錯排列在基底2上，基底2是一透明的石英基板。
如圖2所示是實(shí)施例一中的第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組1的A-A剖面結(jié)構(gòu)放大圖，它由L形 懸臂IOI、支撐臂103、第一空氣層102、第二空氣層105和金屬條104組成，它們都制作在 基底2上，L形懸臂101包括緊密連接于下端的第一加強(qiáng)支撐法蘭106與基底2的上表面緊 密連接，L形懸臂101包括的第一加強(qiáng)支撐法蘭I06的材料是金，L形懸臂101高H產(chǎn)130nm , 長W=140nm， Z向長k=300nm， L形懸臂101的第一加強(qiáng)支撐法蘭106寬S尸30 nm，高 t產(chǎn)30nm;支撐臂103的懸臂下表面與L形懸臂101的懸臂上表面緊密連接，從而支撐臂103 對L形懸臂101的懸臂起支撐作用，支撐臂103包括緊密連接于下端的第二加強(qiáng)支撐法蘭107， 并通過第二加強(qiáng)支撐法蘭107加強(qiáng)與基底2的上表面緊密連接，支撐臂103高H2=160nm， Z 向長k-300nm,第二加強(qiáng)支撐法蘭107寬S2=30 nm，高t2=30nm，支撐臂103及其包括的第二 加強(qiáng)支撐法蘭107的材料是s-l的介質(zhì)；金屬條104作在最里面，材料是金，寬m=90nm， 高h(yuǎn)=80nm， Z向長k=300nm，金屬條104上表面與L形懸臂101的懸臂下表面保持了一定第二空氣層105，空氣層高度為d產(chǎn)30nm，金屬條104的側(cè)面與T形懸臂10T的丙側(cè)面也保 持了一定第一空氣層102，空氣層寬d產(chǎn)20nm，金屬條104的另一側(cè)面與支撐臂103的內(nèi)側(cè) 面緊密連接，增加支撐臂103的剛度，金屬條104的下表面與基底2緊密接觸。
對于在本實(shí)施例中，第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組1的L形懸臂101去掉下端第一加強(qiáng)支撐法蘭 106和支撐臂103去掉第二下端&l強(qiáng)支撐法蘭107，或?qū)Φ谝唤饘購?fù)合結(jié)構(gòu)組1相^^件的相關(guān) 尺寸在作出小量變動后，由它們分別組成的金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)，也同樣能實(shí)現(xiàn)可見光和近紅外波 段的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率。
如圖3所示是金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料的制作方法工藝流程圖。按照圖3所示的制作方法工藝 流程圖，制作由第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組1與基底2組成的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材 料，其具體方法和流程如下-
(1) 、在基底2上用微細(xì)加工常規(guī)工藝技術(shù)制作出材料是金，寬m-90nm，高h(yuǎn)-80nm， Z向長k-300nm多組多排交錯排列的金屬條104。
(2) 、利用臺階的陰影效應(yīng)定向蒸發(fā)，先通過使基底2與蒸發(fā)臺底面傾斜15。角，并在 對基底2不加溫的條件下進(jìn)行由上至下的定向蒸發(fā)，在金屬條104的靠左一邊蒸鍍上有機(jī)材 料(光刻膠)制作出犧牲層(即準(zhǔn)備為本實(shí)施例一制作第一空氣層102和第二空氣層105)。
(3) 、在作完?duì)奚鼘拥慕Y(jié)構(gòu)后，用和步驟(2)相類似方法使基底2與蒸發(fā)臺底面傾斜 26°角，在對基底2不加溫的條件下再進(jìn)行由上至下的定向蒸發(fā)，在犧牲層上蒸鍍上金，制作 出L形懸臂101;接著，使基底2與蒸發(fā)臺底面另外一方向傾斜33。角，同樣在對基底2不 加溫的條件下再進(jìn)行由上至下的定向蒸發(fā)，在L形懸臂101和金屬條104靠另一面的一邊蒸 鍍上介質(zhì)，制作出支撐臂103。
(4) 、用濕法腐蝕法把有機(jī)材料腐蝕掉，除去犧牲層，因而制作出第一空氣層102和第 二空氣層105;
對于犧牲層的制作和去除，除了上述的方法以外，根據(jù)制作的犧牲層材料的不同，還可 用等離子體灰化技術(shù)去除。 實(shí)施例二
本實(shí)施例的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料由第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組3與基底2組 成，第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組3制作在基底2上。
如圖4所示是本發(fā)明實(shí)施例二局部結(jié)構(gòu)放大示意圖，它由第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組3和基底 2組成，第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組3是Z縱向長度為無限長的結(jié)構(gòu)，它按照橫向周期T400nm排 列在基底2上，基底2也是透明的石英基板。如圖5所示是實(shí)施例二第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組3的B-B剖面結(jié)構(gòu)放大圖，它由L形懸臂 301、第一介質(zhì)層302、第二介質(zhì)層303和金屬條304組成，L形懸臂301包括緊密連接于下 端的第三加強(qiáng)支撐法蘭305與基底2的上表面緊密連接，第三加強(qiáng)支撐法蘭305寬s=30nm， 高t=30nm; L形懸臂301及其包括的第三加強(qiáng)支撐法蘭305的材料是金，L形懸臂301高 H=130nm ，長W=140nm， Z向長度為無限長；在L形懸臂301的下面作有金屬條304，它 與基底2緊密連接，材料是金，金屬條304寬m-90nm，高h(yuǎn)-80nm， Z向長度為無限長；在金 屬條304的上表面上面和L形懸臂301的懸臂下面，以及金屬條304的側(cè)面和L形懸臂301 的內(nèi)側(cè)面之間，作了 s-l的第二介質(zhì)層303和第一介質(zhì)層302,它們把L形懸臂301和金屬 條304緊密連接起來，從而L形懸臂301不需另外再作支撐，第二介質(zhì)層303高低方向厚度 d2=30nm，第一介質(zhì)層302豎直部分寬度d產(chǎn)20nm。
對于在本實(shí)施例中，第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組3的L形懸臂301去掉下端第三加強(qiáng)支撐法蘭 305或?qū)Φ诙饘購?fù)合結(jié)構(gòu)組3相關(guān)件的相關(guān)尺寸在作出一定小量變動后，由它們分別組成 的金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)，也同樣能實(shí)現(xiàn)可見光和近紅外波段的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率。
按照如圖3所示金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料的制作方法工藝流程圖，制作由第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組 3與基底2組成的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，其具體方法和流程如下
(1 )、在基底2上用微細(xì)加工常規(guī)工藝技術(shù)制作出寬m-90nm,高h(yuǎn)=80nm, Z向長度無限 長的金屬條304;
(2) 、利用臺階的陰影效應(yīng)定向蒸發(fā)，先通過使基底2與蒸發(fā)臺底面傾斜15。角，并在 對基底2不加溫的條件下進(jìn)行由上至下的定向蒸發(fā)，在金屬條304的右邊蒸鍍上第一介質(zhì)層 302和第二介質(zhì)層303，制作出介質(zhì)層。
(3) 、在作完介質(zhì)層后，用和步驟(2)相類似方法使基底2與蒸發(fā)臺底面傾斜26°角， 在對基底2不加溫的條件下再進(jìn)行由上至下的定向蒸發(fā)，在第一介質(zhì)層302和第二介質(zhì)層303 上蒸鍍上金層、制作出L形懸臂301。
如圖6所示是金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的位相譜(上)和透射譜(下)圖，TM偏振正弦調(diào)制 脈沖光E(x)、 E(y)和K(z)如圖1、圖4所示方向入射，從得到的金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)透射譜(下)及 對應(yīng)位相譜(上)中可以看到，在可見光波段透射波6的人-0.61pm處和近紅外波段透射波7 的k-0.92pm處都出現(xiàn)透射低谷，與之相對應(yīng)波長的位相譜(上)中4、 5處也都出現(xiàn)了位相 突變，同時(shí)還注意到L形懸臂的豎直部分與之相鄰的金屬條之間(第一空氣層102或第一介 質(zhì)層302)，以及L形懸臂的水平部分與之相鄰的金屬條之間(第二空氣層105或第二介質(zhì)層 303)都各自在0.61pm處發(fā)生共振耦合(圖中未標(biāo)出)，這種共振耦合是一種反對稱的等離子共振耦合。布滿整個(gè)L形懸臂同相鄰金屬條的第一空氣層102或第一介質(zhì)層鄰2，以及第二 空氣層105或第二介質(zhì)層303之間位置共振最為強(qiáng)烈，產(chǎn)生了電流環(huán)路8，如圖7所示，這 與類開口環(huán)結(jié)構(gòu)的共振模式一致，是典型的Lc共振耦合，在近紅外波段透射波7的X-0.92^m 處出現(xiàn)透射低谷，對應(yīng)波長的位相譜中5處都出現(xiàn)了位相突變，得到近紅外波段的共振耦合， 同時(shí)實(shí)現(xiàn)了可見光和近紅外波段的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率。
權(quán)利要求
1、雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，其特征在于由第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(1)或者由第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(3)與基底(2)組成，其中第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(1)或者第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(3)制作在基底(2)上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，其特征還在于所 述的第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(1)的縱向長度為有限長的結(jié)構(gòu)，它按照橫向周期T多組多排交 錯排列在基底(2)上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，其特征還在于所 述的第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(3)的縱向長度為無限長的結(jié)構(gòu)，它按照橫向周期T排列在基底(2)上。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，其特征還在于所述的基底(2)是透明的石英基板，也可以是透明的光學(xué)玻璃板。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料，其特征還在于所述 的第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(1)由L形懸臂(101)、支撐臂(103)、第一空氣層(102)、第二空 氣層(105)和金屬條(104)組成，L形懸臂(101)包括緊密連接于下端的第一加強(qiáng)支撐 法蘭(106)與基底(2)的上表面緊密連接，支撐臂(103)與L形懸臂(101)的懸臂上下 緊密連接，從而對L形懸臂(101)的懸臂起支撐作用；支撐臂(103)包括緊密連接于下端 的第二加強(qiáng)支撐法蘭(107)與基底(2)的上表面緊密連接；，金屬條(104)在最里面，金 屬條(104)上表面與L形懸臂(101)的懸臂下表面之間是第二空氣層(105)，金屬條(104) 的側(cè)面與L形懸臂(101)的內(nèi)側(cè)面也有第一空氣層(102)，金屬條(104)的另一側(cè)面與支 撐臂(103)的內(nèi)側(cè)面緊密連接，增加支撐臂(103)的剛度，金屬條(104)的下表面與基底(2)的上表面緊密相連。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(1)，其特征在于所述第一金屬復(fù)合結(jié) 構(gòu)組(1)中的L形懸臂(101)包括第一加強(qiáng)支撐法蘭(106)的材料可以是金屬金或者銀； 支撐臂(103)包括第二加強(qiáng)支撐法蘭(107)的材料可以是介電常數(shù)e為0.90 1.15之間的 介質(zhì)；金屬條(104)的材料可以是金屬金或者銀。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料,其特征還在于所述 的第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(3)由L形懸臂(301)、第一介質(zhì)層(302)、第二介質(zhì)層(303)和 金屬條(304)組成，L形懸臂(301)包括緊密連接于下端的第三加強(qiáng)支撐法蘭(305)與基底(2)的上表面緊密連接，在L形懸臂(301)的下部里面作有金屬條(304)，在金屬條(304) 的上表面和L形懸臂(301)的懸臂下面，以及金屬條(304)的側(cè)面和L形懸臂(301)的 內(nèi)側(cè)面之間，制作了第二介質(zhì)層(303)和第一介質(zhì)層(302)，兩介質(zhì)層把L形懸臂(301) 和金屬條(304)緊密連接起來，金屬條(304)的下表面與基底(2)的上表面緊密相連。
8、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組(3)，其特征在于所述第二金屬復(fù)合結(jié) 構(gòu)組(3)中的L形懸臂(301)包括第三加強(qiáng)支撐法蘭(305)的材料可以是金屬金或者銀； 第一介質(zhì)層(302)和第二介質(zhì)層(303)的材料是介電常數(shù)s為0.90 1.15的介質(zhì)；金屬條(304)的材料可以是金屬金或者銀。
9、 如權(quán)利要求1所述的雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料的制作方法，其特征在 于所述的金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料制作方法和工藝流程是分四個(gè)步驟(1) 、用微細(xì)加工工藝技術(shù)制作出金屬條；(2) 、用臺階陰影法進(jìn)行定向蒸發(fā)，制作出犧牲層或介質(zhì)層；(3) 、用與步驟(2)相同的定向蒸發(fā)制作出L形懸臂和支撐臂；(4) 、最后用濕法腐蝕或者等離子體灰化技術(shù)除去犧牲層。
全文摘要
雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料由第一金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組或第二金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組在基底上按周期T排列或多組交錯排列構(gòu)成，金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)組包含L形懸臂、金屬條、支撐臂、空氣層或介質(zhì)層；雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)材料的制作方法包括以下步驟(1)用微細(xì)加工工藝技術(shù)制作出金屬條；(2)用臺階陰影法進(jìn)行定向蒸發(fā)，制作出犧牲層或介質(zhì)層；(3)用上述相同的定向蒸發(fā)制作出L形懸臂和支撐臂；(4)最后用濕法腐蝕或者等離子體灰化技術(shù)除去犧牲層。本發(fā)明所述材料不僅實(shí)現(xiàn)了可見光和近紅外波段雙頻磁響應(yīng)負(fù)磁導(dǎo)率，而且特征尺寸也足夠大，用30納米-百納米級微細(xì)加工工藝即可實(shí)現(xiàn)制作。
文檔編號G02B1/00GK101295031SQ20081011546
公開日2008年10月29日 申請日期2008年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月24日
發(fā)明者羅先剛, 胡承剛, 陳旭南 申請人:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所