專利名稱：液晶面板基板的除電裝置的制作方法
液晶面板 的除電^鵬頁域本發(fā)明涉及一種除電體，在液晶面板鎌的庫IJ紅序中，除去在該液晶 面板皿的表面所帶電的電荷。
技術(shù)背景在液晶面板基板的各種制造工序中，與液晶面板基板的加工處理相伴隨的 帶電成為很大的問題。例如，用于在液晶面板基板的表面形成取向膜的研磨處 理工序中，用頓臓絕緣膜而形嗽勾槽，因此，由于摩擦而產(chǎn)生非常大的帶電。 并且，這樣帶電的電荷破壞液晶面板繊的電路，,生取向異常，導(dǎo)致各種 不良情況。作為應(yīng)對(duì)這樣問題的對(duì)策，對(duì)電路設(shè)計(jì)進(jìn)行研究等，但是，不是完全的對(duì) 策，需要除去所帶電的電荷本身。作為此目的的除電方法，有一種方法是，使用光電離器，利用i^6電離器產(chǎn)生的軟X射線對(duì)空氣進(jìn)行離子化，產(chǎn)生正負(fù)離 子，禾,該離子除去液晶面板基板的表面上所帶電的電荷(參照專利文獻(xiàn)l)。此外，提出利用針電極的電離器，在該電離器的情況下，在多個(gè)針電極間 進(jìn)行交流電暈放電，產(chǎn)生正負(fù)離子，除去液晶面板基板的表面所帶電的電荷(參 照專利文獻(xiàn)2)。另外，還有在液晶面板基板和電離器之間配置柵格(grid)電極，在液晶面 板基板的帶電量較大的情況下，液晶面板基板和柵格電極之間的電場(chǎng)變強(qiáng)，很 多離子到達(dá)液晶面板基板，相反，在液晶面板基板的帶電量小的情況下，電場(chǎng) 變?nèi)酰芏嚯x子從柵格電極流入到地，f頓過柵格電極的離子的量減少，根據(jù) 液晶面板基板的帶電量，調(diào)整離子的量(參見專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1:特開平7-294928號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開平6-208898號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:特許第3522586號(hào)公報(bào)在液晶面板基板的除電處理中，為了在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行較高效率的除電，需 要產(chǎn)生大量的離子。因此，在戰(zhàn)專利文獻(xiàn)1所公開的財(cái)中，是利用光電離器的軟X射線的肖遣得到正負(fù)離子的方式，因此，為了產(chǎn)生很多的離子，需要增大軟x射線的能量。但是，在增大該軟x射線的能量時(shí)，對(duì)人體的影響也變大，在與外部的遮蔽或^s管理等中產(chǎn)生駄的財(cái)。lt掛，在使用，專利文獻(xiàn)2所公開的針電極的電離器的情況下，增大供 給電力，從而使離子產(chǎn)生量增大，因此，成本的負(fù)擔(dān)不那么大，但是，除電存在場(chǎng)所性不均勻的缺點(diǎn)。艮卩，在該電離器的情況下成為如下結(jié)構(gòu)針電極以適當(dāng)?shù)拈g隔配置成一列，M置的針電極間產(chǎn)生交流電暈放電。對(duì)于該交流電暈放電的離子來說，離針電極^M多，距離針電極,越 少。因此，與針電極間的間距相比，不使從針電極到液晶面板基板的距離非常 大，就不肯嫩得到橫向的離子的均勻性。但是，抓針電極到液晶面板繊的距離較大時(shí)，存在如下問題液晶面板基板附近的離子變少，并且，液晶面板 ±所帶電的電荷的吸引離子的力變?nèi)?。為了解決上述問題，也考慮增大供給電力，但是，離子分也布伴隨著供給 電力的大小而變化，其結(jié)果是，從針電極到液晶面板基板的距離不進(jìn)一步增大 時(shí)，產(chǎn)生離子的不均勻性。作為彌補(bǔ)這個(gè)問題的方法，以使離子流向液晶面板 基板的方向的方式附設(shè)送風(fēng)的裝置，但是，現(xiàn)狀是由于離子的移動(dòng)時(shí)間延遲而 不能得到完全的除電效果。財(cái)卜，在戰(zhàn)專利文獻(xiàn)3所公開的駄中，使離子分布平均化，因此只使 除電所需的離子到達(dá)液晶面板基板。這是柵格電極以使除電不需要的離子不到 達(dá)液晶面板基板的方式進(jìn)行控制，從而根據(jù)液晶面板基板的帶電量來調(diào)整離子 量。但是，為了使該柵格電極的上述作用有效果，不能使掃描速度為所確定的 驗(yàn)以上，存在不肖,提高除電處理的效率的問題。齡卜，如圖5所示，對(duì)于交流電暈放電的特ta說，在放電電極上施加沒有直流電流成分的交流高電壓，負(fù)離子也為優(yōu)勢(shì)，負(fù)的直流電流成分被偏置的 放電電流流過。這會(huì)辦從針對(duì)該圖所示的正以及負(fù)的施加電壓的放電電流特性 判斷。在放電開始以后等的電壓值中，在同等電壓下負(fù)放電一方的電流大，所 以，對(duì)于不含直流電流成分的交流高電壓來說，盡管正、負(fù)都與以相似形進(jìn)行電壓變化，但是，M述交流電暈放電獨(dú)特的特ti^看，存在成為流過的電流含有負(fù)的直流電流成分的狀況的問題。此外，存在平板顯示器的需要逐年增大的傾向，液晶面板基板的制造中的節(jié)拍時(shí)間也縮短，因此，要求一種育辦在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行高效率的除電的除電裝置。但是，電離器的除電能力是液晶面板s^上所帶電的電荷吸引離子的力， 即，受帶電電壓的影響，這是除電中需要時(shí)間的因素，成為要解決的問題。此 夕卜，伴隨著顯示器的大型化，液晶面板 也大型化，在用于對(duì)其進(jìn)行除電的 電離器的放電電極是金屬細(xì)線的情況下，存在中央部分松弛而不能維持直線性、 離易受至IJ振動(dòng)的影響而使離子分布不均勻的問題。 發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明艦下述特段來解決戰(zhàn)問題。即，在方案1的發(fā)明中， 提供一種液晶面板基板的除電裝置，禾l」用電離器對(duì)液晶面板 進(jìn)行交流電暈 放電，育娜進(jìn)行帶電的液晶面板繊的除電，該電離器利用由金屬細(xì)線構(gòu)成的 放電電極和覆蓋該放電電極的導(dǎo)電殼體構(gòu)成、并且該導(dǎo)電殼體的與作為被除電 物體的液晶面板s^相面對(duì)的一側(cè)開放，其中，將，電離器以與液晶面板基 板的,方向正交的方式配置，對(duì)上述電離器的放電電極施加除去了直流電流 成分的交流高電壓。在方案2中的發(fā)明中，根據(jù)Jl^方案1的液晶面板 的除電裝置，電容器施加戰(zhàn)交流高電壓，由此，將交流電暈放電的直流電流成分除去。在方案3的發(fā)明中，根據(jù)戰(zhàn)權(quán)利要求l的液晶面板繊的除電裝置，將 與交流電暈放電的直流成分相對(duì)應(yīng)的相反極性的直流電流成分偏置到交流高電 壓上，由此，除去交流電暈電流的直流電流成分。在方案4的發(fā)明中，,一種液晶面板,的除電^§,禾ij用電離器對(duì)液 晶面板繊進(jìn)行交流電暈放電，育辦進(jìn)行帶電的液晶面板繊的除電，該電離 器利用由金屬細(xì)線構(gòu)成的放電電極和覆蓋該放電電極的導(dǎo)電殼胸成，其中， 在液晶面板基板的橫寬度方向，以與搬送方向正交的方式配置多個(gè)上述電離器, 對(duì)，電離器的各放電電極施加除去了直流電流成分的交流高電壓。根據(jù)本發(fā)明的方案1的液晶面板基板的除電裝置，將除去了直流電流成分 的交流高電壓施加在電離器的放電電極上，所以，使正離子以及負(fù)離子相等， 并且與液晶面板繊相面對(duì)的一側(cè)開放，所以，有助于除電的離子成為大量， 得到較高的除電效果，育灘提高除電工序中處理效率。此外，電離器的放電電 極是金屬細(xì)線，該放電電極由導(dǎo)電殼,蓋進(jìn)行放電，因此放電面積大并且產(chǎn) 生的離子量多，并且，髓金屬細(xì)線的方向的放電均勻。根據(jù)本發(fā)明的方案2的液晶面板,的除電裝置，只用電容器就肖娜除去直流電流成分，因此能夠以低^達(dá)至卿始的目的。根據(jù)本發(fā)明的方案3的液晶面板基板的除電裝置，禾,加到交流高電壓上 的直流電壓所弓胞的偏置量，肖嫩除去直流電流成分，能夠根據(jù)帶電的狀態(tài)實(shí) 現(xiàn)有效的除電。根據(jù)本發(fā)明的方案4的發(fā)明，禾傭多個(gè)電離器構(gòu)成除電驢，且放電電極 不是長條化，因此，不會(huì)松弛或受到振動(dòng)的影響，育灘使交流電暈放電的離子 分布均勻。


圖1是表示本發(fā)明的除電裝置的結(jié)構(gòu)的，的圖。 圖2是表示本發(fā)明的除電裝置的另一結(jié)構(gòu)的例子的圖。 圖3是表示本發(fā)明的除電裝置的船正實(shí)驗(yàn)的結(jié)果的圖。 圖4是表示本發(fā)明的除電裝置的又一結(jié)構(gòu)的例子的圖。圖5是說明交流電暈放電的特性的圖。
具體實(shí)施方式
以下，基于附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是表示本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)的一例的圖，在該圖中，電離器l由放電電 極2和覆蓋該放電電極2的導(dǎo)電殼體3構(gòu)成，該放電電極2由金屬細(xì)線構(gòu)成。 在^m載體C上tS液晶面板基板W，在該液晶面板基板W的上方，以與液 晶面板基板W的mit方向D正交的方式配置電離器1 。衝il電容器5向±^放 電電極2施加交流高壓電源4的交流高電壓，進(jìn)行直流電流成分利用該電容器5 被除去的放電。并且，在鵬載體C上載置的液晶面板繊W以與電離器1正 交的方式在導(dǎo)電殼體3的開口下搬送，進(jìn)行電離器l的掃描。圖2^^本發(fā)明的另一結(jié)構(gòu)的一例，與圖1所示的結(jié)構(gòu)不同僅在于，向電 離器1的放電電極2施加由直流電源6偏置的交流高電壓并進(jìn)行直流電流成分 被除去的放電。并且，在導(dǎo)電殼體3的開口下對(duì)在 載體(上放置的液晶面 板基板W進(jìn)行搬送，進(jìn)行電離器l的掃描。圖3示出用于驗(yàn)證本發(fā)明的電離器1的性能的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，實(shí)驗(yàn)裝置A是在 液晶面板,和電離器之間未配置柵格電極而直接在放電電極上施加交流高電6壓的結(jié)構(gòu)，實(shí)驗(yàn)縫B是在液晶面板繊和電離器之間配置了柵格電極、并且 直接向放電電極施加交流高電壓的結(jié)構(gòu)。此外，實(shí)驗(yàn)裝置C利用本發(fā)明的圖1結(jié)構(gòu)，不在液晶面板繊w和電離器i之間sas柵格電極，艦電織5施加交流高壓電源4的交流高電壓。此外，實(shí)驗(yàn)裝置D禾ij用圖2的結(jié)構(gòu)，不在液晶 面板繊W和電離器1之間隨柵格電極，施力口由直流電源6偏置的交流高電 壓。而且，在實(shí)驗(yàn)的所有錢中，從交流高壓電源4施加的交流高電壓相同， 是有效值5KV、 500Hz的正弦波。此外，各板電流是在與電離器1之下的液晶 面板基板W相當(dāng)?shù)奈恢蒙戏胖脤?dǎo)電板并測(cè)量其中流過的交流電流和直流電流成 分得到的電流，交流綜合放電電流是測(cè)量將M^文電電極2向?qū)щ姎んw3以及板 流過的電流相加后的綜合交流電流得到的電流。M31測(cè)量這些電流，從而獸辦 知道各實(shí)^g的基本特性。此外，"帶電(V)"—項(xiàng)是貼上被除電的膜厚50,的聚酯膜、并測(cè)量以各 ^置帶電時(shí)的帶電電位得到的值。這是測(cè)量各裝置中產(chǎn)生的放電電流引起怎 樣的帶電。 '對(duì)于實(shí)驗(yàn)1以及實(shí)驗(yàn)2的項(xiàng)來說，也同樣地是在板上貼上膜厚50曄的聚 酉旨膜，并且分別預(yù)先帶電為一1000V，在實(shí)驗(yàn)1中以較慢的掃描速度即50mm/sec 對(duì)板進(jìn)行掃描，在實(shí)驗(yàn)2中以較快的掃描艦即100mm/sec的MiS行掃描， 測(cè)量由實(shí)驗(yàn)裝置A D除電后的帶電電位。對(duì)于液晶面板繊來說，在玻璃基板 上構(gòu)成半導(dǎo)體層或取向膜、電極等，材質(zhì)因廠商而不同，作為帶電體，具有怎 樣的容量不是唯一確定的，假想這些，以膜厚50pm的聚酯膜代替。根據(jù)該測(cè) 量，肯,測(cè)量各實(shí)^S的實(shí)質(zhì)的除電能力。在實(shí)皿置A的結(jié)果中，M流電流皿一2.0^A,表示與交流電流的正成 分相比負(fù)成微多。其結(jié)果是，在聚鵬上產(chǎn)生—60V —70V的帶電電位，在 實(shí)驗(yàn)1以及實(shí)驗(yàn)2中成為一250V 一300V的帶電電位，表示M放電電豐tt接 施加交流高電壓的情況下產(chǎn)生負(fù)電荷。在實(shí)驗(yàn)裝置B的結(jié)果中，tt流電流為O.OpA，表示取得交流電流的正成 分禾晚成分的平衡。但是，交流綜合放電電流為190pA，盡管比其它實(shí)驗(yàn)裝置 的結(jié)果大，但板中流過的交流電流為5.0nA，與其它實(shí)驗(yàn)裝置的結(jié)果相比，僅流 過一半以下的電流。這是因?yàn)?，放電電流流至娜格，交流綜合放電電流增多，但是，成為柵格屏蔽，流到板側(cè)的電流被限制。其結(jié)果是，實(shí)驗(yàn)1的以較慢的掃描速度除電后的帶電電位為一20V 一40V，具有除電效果，但是，在實(shí)驗(yàn)2 的較快的掃描3IiS下為一190V 一200V的帶電電位，，來不及除電。在實(shí)^gC的結(jié)果中，隨流電流為O.OnA,盡管取得交流電流的正成 分和負(fù)成分的平衡，但是，交流綜合放電電流為160nA，板電流為19.0pA,成 為與實(shí)驗(yàn)裝置A相比基本不變的電流值。其結(jié)果是，對(duì)于帶電電位來說，在實(shí) 驗(yàn)1的較慢的掃描速度下為+20V-+30V,在實(shí)驗(yàn)2的較決的掃描速度下為 —30V 一40V。艮卩，在除電裝置C中，由于是960V 970V的除電，因此實(shí)驗(yàn)裝 置C示出96 97X的除電能力。對(duì)于在實(shí)驗(yàn)l的較慢的掃描3Ut下偏移到正側(cè) 的原因來說，大概被認(rèn)為J^刑柳的電容器的特性弓胞的，但是，其影響較小, 不需要限定電容器的種類、性能。在實(shí)，置D的結(jié)果中，板直流電流也為O.OnA，取得交流電流的正成分 和負(fù)成分的平衡，交流綜合放電電流以及板交流電流都示出與實(shí)驗(yàn)^S C ， 相等的值。其結(jié)果是，對(duì)于帶電電位來說，在實(shí)驗(yàn)1的較慢的掃描速度下是 一30V 一40V，在實(shí)驗(yàn)2的較快的掃描iU^下是一50V~-70V。艮P，在實(shí)驗(yàn)裝 置D中，是930V巧50V的除電，因此實(shí)驗(yàn)裝置D示出93 95X的除電能力。從以上的實(shí)驗(yàn)結(jié)果可知，在與液晶面板基板W相面對(duì)的一側(cè)開放的電離器 中，如實(shí)驗(yàn)裝置A所示，在僅以交流高電jBS行放電的情況下，成為負(fù)的較高 的帶電，如實(shí)織置B所示，禾擁柵格加以限制時(shí)，示出電力增大而除電效果 較低。并且，如實(shí)皿置C或?qū)嵜笾肈所示，在與液晶面板基板W相面對(duì) 的一側(cè)開放的電離器中，禾U用電容器,流電壓偏置除去交流放電電流的直流 電流成分，由此，除電能力和效率較好，成為示出本發(fā)明的功能有效地起作用 的結(jié)果。財(cái)卜，在實(shí)驗(yàn)中，禾,一M屬細(xì)線的放電電極，行，但是，在要求進(jìn) 一步高速掃描的情況下等，也肯辦在一個(gè)導(dǎo)電殼體中以適當(dāng)?shù)拈g隔配置多個(gè)放 電電極，財(cái)卜，也可以是并列配置多個(gè)電離器的方法。財(cái)卜，在將大型的液晶面板基板(例如，寬度2500mm以上)作為對(duì)， 行除電的情況下，由一條長條狀的電離器來構(gòu)成，，這存在金屬細(xì)線的張力的極 限，數(shù)U松弛或振動(dòng)等的影響，確保穩(wěn)定性是很困難的。因此，在本發(fā)明中， 如圖4所示，采用多個(gè)電離器1A 1E解決這樣的問題。8艮P,具備與圖I所示的電離器1的情況相同鵬作用的放電電極2A 2E 的5個(gè)基本的電離器1A 1E以與液晶面板基板W的iii^方向D正交的方式配 置在橫寬度方向，并以在彼此鄰接的部分不產(chǎn)生非放電部分的方式配置。通過 電容器5A向J^^文電電極2A施加交流高電壓4A，艦電容器5B向放電電極 2B施加交流髙電壓4B，通過電容器5C向放電電極2C施加交流高電壓4B。此 夕卜，通過電容器5D向放電電極2D施加交流高電壓4C，艦電容器5E向放電 電極5E施加交流高電壓4C。這樣，進(jìn)行分割，使電離器變短，從而抑制放電電極細(xì)線的松弛，育灘提 高針對(duì)振動(dòng)的耐性，在電離器的制作中也育^進(jìn)很急定的組裝。由此，即使在 將大型的液晶面板基板作為對(duì)象的情況下，利用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，電暈放電的離 子分布均勻，肯灘進(jìn)行穩(wěn)定的除電。并且，作為本發(fā)明的其他實(shí)施例，可以作 成如下結(jié)構(gòu)艦三個(gè)圖2所示的直流電源6，將^h直流電源分別與圖5的交 流高電壓4A 4C串聯(lián)連接。符號(hào)說明l是電離器，1A 1E是電離器，2皿電電極，2A 2E是放電電 極，3是導(dǎo)電殼體，4是交流高M(jìn)， 4A一C是交流高電壓，5是電織，5C 5E 是電容器，6M流電源，C是鵬載體，D是液晶面板基板的搬送方向，W是 液晶面板,。
權(quán)利要求
1.一種液晶面板基板的除電裝置，利用電離器對(duì)液晶面板基板進(jìn)行交流電暈放電，能夠進(jìn)行帶電的液晶面板基板的除電，該電離器利用由金屬細(xì)線構(gòu)成的放電電極和覆蓋該放電電極的導(dǎo)電殼體構(gòu)成、并且該導(dǎo)電殼體的與作為被除電物體的液晶面板基板相面對(duì)的一側(cè)開放，其特征在于，將上述電離器以與液晶面板基板的搬送方向正交的方式配置，對(duì)上述電離器的放電電極施加除去了直流電流成分的交流高電壓。
2. 根據(jù)權(quán)禾腰求1的液晶面板繊的除電錢，其特征在于， 通過電容器施加上述交流高電壓，由此，將交流電暈電流的直流電流成分除去。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1的液晶面板基板的除電裝置，其特征在于， 將與交流電暈電流的直流成分相對(duì)應(yīng)的相反極性的直流電流成分偏置到交流高電壓上，由此，除去交流電暈電流的直流電流成分。
4 .一種液晶面板基板的除電^S,利用電離器對(duì)夜晶面板^it行交流電暈 放電，能夠進(jìn)行帶電的液晶面板基板的除電，該電離器利用由金屬細(xì)線構(gòu)成的 放電電極和覆蓋繊電電極的導(dǎo)電殼鵬成，其特征在于，在液晶面板基板的橫寬度方向，以與 方向正交的方式配置多個(gè)，電 離器，對(duì)Jd悉電離器的各放電電極施加交流高電壓。
全文摘要
本發(fā)明涉及液晶面板基板的除電裝置。在通過利用交流電暈放電產(chǎn)生離子的電離器對(duì)液晶面板基板進(jìn)行除電時(shí)，通過提高除電效率而提高了除電工序的處理效率。在液晶面板基板的除電裝置中，利用電離器對(duì)液晶面板基板進(jìn)行交流電暈放電，能夠進(jìn)行帶電的液晶面板基板的除電，該電離器利用由金屬細(xì)線構(gòu)成的放電電極和覆蓋該放電電極的導(dǎo)電殼體構(gòu)成、并且該導(dǎo)電殼體的與作為被除電物體的液晶面板基板相面對(duì)的一側(cè)開放，其中，將上述電離器以與液晶面板基板的搬送方向正交的方式配置，對(duì)上述電離器的放電電極施加除去了直流電流成分的交流高電壓。
文檔編號(hào)G02F1/133GK101581844SQ20081017142
公開日2009年11月18日 申請(qǐng)日期2008年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月13日
發(fā)明者小沼崇明, 森野晉也, 腰原元晴, 長田雅治 申請(qǐng)人:常陽工學(xué)株式會(huì)社