專利名稱：一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜及其制造方法，屬于光學(xué)薄膜技術(shù)領(lǐng) 域，特別適用于共窗口光學(xué)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
-
隨著光學(xué)系統(tǒng)設(shè)備和裝置所處應(yīng)用環(huán)境的變化，特別是高精光電系統(tǒng)正朝著
多波段一體化方向發(fā)展，例如野外作業(yè)，特別是軍事等領(lǐng)城， 一些共窗口光學(xué)系 統(tǒng)的應(yīng)用越來(lái)越多，其中中波紅外(3 5uni)與長(zhǎng)波紅外(8 12liin)共窗口的光 學(xué)系統(tǒng)在制導(dǎo)、跟蹤、警戒等領(lǐng)域的應(yīng)用前景最為廣闊。與單波段紅外系統(tǒng)相比， 雙波段紅外系統(tǒng)更容易區(qū)別近處小目標(biāo)(如小鳥)與遠(yuǎn)處大目標(biāo)，可防止激光器致 盲，并顯著提高紅外系統(tǒng)在不同應(yīng)用場(chǎng)合環(huán)境下的作用距離。
紅外窗口是紅外光學(xué)系統(tǒng)中唯一與外部惡劣環(huán)境相接觸的光學(xué)零件，野外作 業(yè)的光學(xué)窗口長(zhǎng)期工作在高速或風(fēng)砂、鹽霧、海水等惡劣環(huán)境中，提高窗口抗惡 劣環(huán)境損傷的能力是保證紅外系統(tǒng)正常工作關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。常用的紅外窗口材料 鍺、硅、硫化鋅、硒化鋅等均較軟，抗惡劣環(huán)境損傷的能力差，如不鍍膜，鍺窗
口在海洋環(huán)境下使用一個(gè)月后即可使系統(tǒng)的透過(guò)率降至o，使系統(tǒng)無(wú)法工作。此外，
紅外窗口材料的折射率較大，如不鍍膜，外表面的反射損失將直接降低系統(tǒng)的技 術(shù)指標(biāo)。因此，在紅外窗口表面鍍制具有減反射效果的保護(hù)膜非常關(guān)鍵。常見的 單波紅外層保護(hù)膜是類金剛石膜(DLC),類金剛石膜的折射率約為2，只能用于單 波段紅外窗口中，對(duì)于雙波段紅外窗口必須尋找另一種或幾種不同折射率的保護(hù) 膜材料，并將其與類金剛石膜組合使用，從而制成雙波段紅外窗口。 在已有的紅外雙波段窗口保護(hù)膜技術(shù)中，主要有以下幾類 1)紅外減反射膜(AR)+類金剛石(DLC)結(jié)構(gòu)這種紅外雙波段窗口保護(hù)膜直接 在雙波段紅外減反射膜外加鍍一層類金剛石膜，在制備過(guò)程中，先使用電子束蒸 發(fā)設(shè)備鍍制減反射膜(AR)，然后再使用化學(xué)氣相沉積(CVD)或?yàn)R射(Sputtering)設(shè)備鍍制厚度在lOOmn以下的類金剛石膜。這種紅外雙波段窗口保護(hù)膜的優(yōu)點(diǎn)是透 過(guò)率較高，缺點(diǎn)是
① 保護(hù)效果差由于只鍍制了厚度小于100咖的硬膜(類金剛石膜)，膜的硬 度不高，抗惡劣環(huán)境損傷的能力差；
② 工藝流程復(fù)雜工藝中需至少使用兩種設(shè)備來(lái)鍍制，工藝流程復(fù)雜。
2) 磷化硼(BP)+類金剛石(DLC)結(jié)構(gòu)這種紅外窗口保護(hù)膜采用化學(xué)氣相法先 在基體上沉積一層折射率為3左右的磷化硼(BP)膜，然后，在BP外表面沉積一層 折射率為2左右的類金剛石膜。這種紅外雙波段窗口保護(hù)膜的優(yōu)點(diǎn)是保護(hù)效果極 佳，缺點(diǎn)是
① 透過(guò)率低在中波紅外和長(zhǎng)波紅外的平均透過(guò)率只能到80%;
② 成本高、環(huán)保性差BP膜在鍍制過(guò)程中需使用硼垸和磷烷兩種劇毒氣體， 處理不當(dāng)會(huì)造成環(huán)境污染，設(shè)備固定投資和維護(hù)成本高。
3) 碳化鍺(GeC) +類金剛石(01^)結(jié)構(gòu)這種紅外窗口保護(hù)膜利用碳化鍺膜折 射率可變的特點(diǎn)進(jìn)行膜系設(shè)計(jì)，采用化學(xué)氣相沉積在窗口表面鍍制高低折射率交 替的碳化鍺膜，然后在最后一層鍍制類金剛石膜。這種保護(hù)膜的優(yōu)點(diǎn)是透過(guò)率 較高，保護(hù)效果也較好?，F(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)是-
① 工藝重復(fù)性差碳化鍺膜采用化學(xué)氣相沉積時(shí)，折射率控制穩(wěn)定性差，從 而直接影響工藝重復(fù)性；低折射率碳化鍺膜采用濺射法鍍制時(shí)，易導(dǎo)致因靶中毒 太深而使碳化鍺膜工藝失控；
② 成本高、環(huán)保性差碳化鍺膜在鍍制過(guò)程中需使用鍺烷這種劇毒氣體，處 理不當(dāng)時(shí)會(huì)造成環(huán)境污染，設(shè)備投資和維護(hù)成本高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，解決已有技術(shù)中存在的相關(guān)問(wèn)題并滿足實(shí)際需求，提供 了一種膜的硬度高、抗惡劣環(huán)境損傷的能力強(qiáng)、透光率高、及制造工藝簡(jiǎn)單、對(duì) 環(huán)境無(wú)污染、成本低的一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜及其制造方法。
本發(fā)明的一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜的技術(shù)方案它是一個(gè)由基體和在基體
上依次附著至少一組中間保護(hù)組合膜及一個(gè)最外層保護(hù)膜組成的膜系；所述的中
間保護(hù)組合膜由底層膜為碳化鍺膜而上層膜為類金剛石膜組成，或由底層為類金剛石膜而上層膜為碳化鍺膜組成；所述的最外層保護(hù)膜為類金剛石膜，它是在中 間保護(hù)組合膜最上層膜上再疊加的類金剛石膜，或即是中間保護(hù)組合膜最上層的 類金剛石上層膜。
所述的基體材料為鍺；中間保護(hù)組合膜為1 6組，每組底層膜為碳化鍺膜而 上層膜為類金剛石膜，或每組底層膜為類金剛石膜而上層膜為碳化鍺膜。
所述的基體材料為鍺，中間保護(hù)組合膜為2組，每組底層膜為類金剛石膜而 上層膜為碳化鍺膜。
所述的基體材料為鍺，中間保護(hù)組合膜為6組，每組底層膜為碳化鍺膜而上 層膜為類金剛石膜。
所述的基體材料為硫化鋅或硒化鋅；中間保護(hù)組合膜為1 6組，每組底層膜 為碳化鍺膜而上層膜為類金剛石膜。
所述的基體材料為硫化鋅；中間保護(hù)組合膜為2組，每組底層膜為碳化鍺膜 而上層膜為類金剛石膜。
所述的基體材料為硒化鋅；中間保護(hù)組合膜為6組，每組底層膜為碳化鍺膜而 上層膜為類金剛石膜。
所述的碳化鍺膜折射率為3. 0 3. 9。
所述的中間保護(hù)組合膜中的類金剛石膜為底層膜或上層膜，其厚度為10 2000nm:最外層保護(hù)膜厚度為100 2000mn 。
本發(fā)明的一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜的制造方法的技術(shù)方案它包括下述步
驟
A、 確定基體的材料選自鍺，或硫化鋅或硒化鋅；
B、 選擇底層膜和上層膜材料
基體材料為鍺時(shí)中間保護(hù)組合膜的每組底層膜為碳化鍺膜而上層膜為類金 剛石膜，或每組底層膜為類金剛石膜而上層膜為碳化鍺膜；
基體材料為硫化鋅或硒化鋅時(shí)；中間保護(hù)組合膜的每組底層膜為碳化鍺膜而 上層膜為類金剛石膜；
C、 選擇最外層保護(hù)膜材料為類金剛石膜；
D、 膜系優(yōu)化對(duì)膜系層數(shù)和厚度進(jìn)行優(yōu)化，中間保護(hù)組合膜為1 6組，合 計(jì)為2 12層；最外層保護(hù)膜為一層類金剛石膜；E、 確定膜厚度；
F、 鍍制中間保護(hù)組合膜按上述B、 D、 E步驟中所確定的底層膜和上層膜層 數(shù)及厚度，然后進(jìn)行常規(guī)鍍制；
G、 鍍制最外層保護(hù)膜它是在中間保護(hù)組合膜最上層膜上再疊加類金剛石膜， 或即是中間保護(hù)組合膜最上層的類金剛石上層膜。
本發(fā)明的突出優(yōu)點(diǎn)在于-
1、 透光率高。按本發(fā)明得到的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，在3 51im、 8 12 ixm兩個(gè)波段同時(shí)具備良好的減反射效果，鍺、硫化鋅、灑化鋅窗口一面鍍紅外雙 波段窗口保護(hù)膜另一面不鍍膜時(shí)，在3.7 3. 8um和8 11.5iiin范圍內(nèi)的平均 透過(guò)率分別達(dá)到61%和59%;
2、 可抗風(fēng)砂、海水、高速、鹽霧等惡劣環(huán)境因素的損傷
3、 本發(fā)明有中間保護(hù)組合膜，即以碳化鍺和類金剛石兩種材料組成，其中， 采用一種具有較高折射率(3. 0 3. 9)的碳化鍺膜，避免了已有技術(shù)中低折射率碳 化鍺膜鍍制工藝不易控制的不足，從而提高了工藝的可控制性，工藝重復(fù)性好；
4、 采用高折射率、應(yīng)力小、彈性模量大的碳化鍺膜和低折射率、應(yīng)力大、硬 度高的類金剛石膜相互交替累加的結(jié)構(gòu)構(gòu)成中間保護(hù)組合膜，膜系的層數(shù)多，且 最外層保護(hù)膜為類金剛石膜，提高膜系的抗沖擊能力，并增加膜系整體硬度。
圖l為本發(fā)明基體l材料為鍺，中間保護(hù)組合膜2為2組，每組底層膜2. l為 類金剛石膜而上層膜2.2為碳化鍺膜的一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為鍺基體單面鍍紅外雙波段窗口保護(hù)膜的透過(guò)率曲線圖。 圖中1—基體，2—中間保護(hù)組合膜，2.1—底膜，2.2 —上膜，3 —最外層保 護(hù)膜。
具體實(shí)施例方式
1、結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜作進(jìn)一步說(shuō)明如
下
實(shí)施例1:如圖1所示， 一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜，它是一個(gè)由基體l和在基體l上 依次附著至少一組中間保護(hù)組合膜2及一個(gè)最外層保護(hù)膜3組成的膜系；所述的 中間保護(hù)組合膜2由底層膜2. 1為碳化鍺膜而上層膜2. 2為類金剛石膜組成，或 由底層膜2. 1為類金剛石膜而上層膜2. 2為碳化鍺膜組成；所述的最外層保護(hù)膜3 為類金剛石膜，它是在中間保護(hù)組合膜2最上層膜上再疊加的類金剛石膜，或即 是中間保護(hù)組合膜2最上層的類金剛石上層膜2.2。所述的碳化鍺膜折射率為 3. 0 3. 9;所述的中間保護(hù)組合膜2中的類金剛石膜為底層膜2. 1或上層膜2. 2， 其厚度為10 2000nin:最外層保護(hù)膜3厚度為100 2000nm ;具體地說(shuō)本實(shí)施 例所述的基體1材料為鍺；中間保護(hù)組合膜2為1 6組，每組底層膜2. 1為碳化 鍺膜而上層膜2.2為類金剛石膜，或每組底層膜2. 1為類金剛石膜而上層膜2.2 為碳化鍺膜，圖1中本實(shí)施例選擇為2組，第1組底層膜2. 1選擇厚度為64. 4rim 的類金剛石膜，而上層膜2.2為厚度805.8mn的碳化鍺膜；第2組底層膜2. 1選 擇厚度為339.5mn的類金剛石膜，而上層膜2. 2為厚度99. 7nm的碳化鍺膜，最外 層保護(hù)膜3為類金剛石膜，厚度為799.4nm,碳化鍺膜折射率為3. 6。
實(shí)施例2:與上述實(shí)施例l不同的是，所述的基體l材料為鍺，中間保護(hù)組 合膜2為6組，第1組到第6組上層膜(類金剛石膜)的厚度分別為43. 89nm、59nin、 30nin、 802nm、 293nm和2000nm。最上層的類金剛石膜同時(shí)為最外層保護(hù)膜3;碳 化鍺膜折射率為3.9。
實(shí)施例3:與上述實(shí)施例l、 2不同的是，所述的基體l材料為硫化鋅；中間 保護(hù)組合膜2為1 6組，每組底層膜2. 1為碳化鍺膜而上層膜2. 2為類金剛石膜 10 2000nm，本實(shí)施例中間保護(hù)組合膜2為2組，第1組底層膜2. 1為碳化鍺膜 而上層膜2. 2為類金剛石膜其厚度為1563mn，第2組底層膜2. 1為碳化鍺膜而上 層膜2. 2同時(shí)為最外層保護(hù)膜3的類金剛石膜其厚度為100nm。碳化鍺膜折射率為 3. 5。
實(shí)施例4:與上述實(shí)施例3不同的是，所述的基體l材料為硒化鋅；中間保護(hù) 組合膜2為6組，每組底層膜2. 1為碳化鍺膜而上層膜2. 2為類金剛石膜；最上層 膜同時(shí)為最外層保護(hù)膜3，第1組到第6組上層膜(類金剛石膜)的厚度分別為 1894. 89nm、 69咖、561. 4nm、 78. 6nm、 101nm和1248nm。碳化鍺膜折射率為3。
2、結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜的制造方法作進(jìn)一步說(shuō)明，制造步驟如下
A、 確定基體l的材料選自鍺，或硫化鋅或硒化鋅
B、 選擇底層膜2. 1和上層膜2. 2材料
基體1材料為鍺時(shí)；中間保護(hù)組合膜2的每組底層膜2. 1為碳化鍺膜而上層 膜2. 2為類金剛石膜，或每組底層膜2. 1為類金剛石膜而上層膜2. 2為碳化鍺膜;
基體1材料為硫化鋅或曬化鋅時(shí)；中間保護(hù)組合膜2的每組底層膜2. 1為碳 化鍺膜而上層膜2. 2為類金剛石膜；
C、 選擇最外層保護(hù)膜3材料為類金剛石膜
D、 膜系優(yōu)化對(duì)膜系層數(shù)和厚度進(jìn)行優(yōu)化，中間保護(hù)組合膜2為1 6組， 合計(jì)為2 12層；最外層保護(hù)膜3為一層類金剛石膜；
E、 確定膜厚度各具體膜層厚度值由膜系優(yōu)化結(jié)果給出，但必須符合以下條 件中間保護(hù)組合膜2中的類金剛石膜為底層膜2. 1或上層膜2. 2，其厚度為10 2000nm:最外層保護(hù)膜3厚度為100 2000nm ;
F、鍍制中間保護(hù)組合膜2:按上述B、 D、 E步驟中所確定的底層膜2.1和 上層膜2.2層數(shù)及厚度，然后進(jìn)行常規(guī)鍍制，厚度誤差為確定厚度的20%;
G、鍍制最外層保護(hù)膜3:它是在中間保護(hù)組合膜2最上層膜2.2上再疊加類 金剛石膜，或即是中間保護(hù)組合膜2最上層的類金剛石上層膜2. 2。
3、以下對(duì)基體1材料為鍺時(shí)的紅外雙波段窗口保護(hù)膜的鍍制方法作進(jìn)一步舉 例說(shuō)明如下
1) 本實(shí)施例采用反應(yīng)濺射法對(duì)膜系進(jìn)行鍍制，基體1材料為鍺；中間保護(hù) 組合膜2為兩組4層，每組底層膜2.1為類金剛膜而上層膜2.2為碳化鍺膜，最 外層保護(hù)膜3為類金剛石膜。其中類金剛石膜的折射率為2. 2,碳化鍺膜的折射率 為3. 6，確定得到的各膜層厚度為64. 4mn、 805. 8nm、 339. 5nm、 99. 7 nm和799. 4nm， 各膜層實(shí)際鍍制厚度為65nm、 810. 2nm、 342. 5n加、98. 4 nm和797. lnm,各膜層的 厚度誤差均小于20%。
2) 鍺基體紅外雙波段保護(hù)膜性能測(cè)試結(jié)果 鍺基體紅外雙波段窗口保護(hù)膜所能達(dá)到的性能指標(biāo)如下
a)紅外透過(guò)率鍺基體單面鍍制紅外雙波段窗口保護(hù)膜后，得到如附圖2所 示，實(shí)測(cè)光譜曲線，在3.7 4.8um和8 11.5um范圍內(nèi)的平均透過(guò)率分別達(dá)到62%和60%。
b) 耐惡劣環(huán)境性能，上述實(shí)施例中紅外雙波段窗口保護(hù)膜依次通過(guò)了下列試 驗(yàn)，膜層無(wú)明顯開裂、脫膜等現(xiàn)象，膜層光學(xué)性能不下降
① 高低溫試驗(yàn)在-62lC和70"下各保持2h。
② 濕熱試驗(yàn)在相對(duì)濕度為95 100%、溫度為50"C士2"C的條件下，保持24h。
③ 鹽霧試驗(yàn)在鹽度為5%、溫度為35°C±2°C、 PH值為6.5 7. 2的NaCl 鹽霧下，連續(xù)噴霧24h。
鹽溶試驗(yàn)在室溫下，在鹽度為5W的NaCl溶液中浸泡24h。 ⑤熱水浸泡試驗(yàn)在溫度為7(TC的熱水中浸泡8h。 ◎鹽水浸泡在鹽水中浸泡l個(gè)月。
⑦ 酸蝕試驗(yàn)分別用濃鹽酸、濃硫酸、濃硝酸腐蝕24小時(shí)。
⑧ 堿蝕試驗(yàn)采用5%的氫氧化鈉溶液連續(xù)浸泡24小時(shí)。
◎摩擦試驗(yàn)采用膜層強(qiáng)度試驗(yàn)機(jī)，對(duì)膜層施加9.8牛頓的力，沿同一軌跡
摩擦io萬(wàn)次。
c) 均勻性膜表面無(wú)干涉圓環(huán)，厚度不均勻性在小200mm范圍內(nèi)低于5免。 本發(fā)明專利權(quán)保護(hù)范圍不限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求
1、一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其特征在于，它是一個(gè)由基體(1)和在基體(1)上依次附著至少一組中間保護(hù)組合膜(2)及一個(gè)最外層保護(hù)膜(3)組成的膜系；所述的中間保護(hù)組合膜(2)由底層膜(2.1)為碳化鍺膜而上層膜(2.2)為類金剛石膜組成，或由底層膜(2.1)為類金剛石膜而上層膜(2.2)為碳化鍺膜組成；所述的最外層保護(hù)膜(3)為類金剛石膜，它是在中間保護(hù)組合膜(2)最上層膜(2.2)上再疊加的類金剛石膜，或是中間保護(hù)組合膜(2)最上層的類金剛石上層膜(2.2)。
2、 按照權(quán)利要求1所述的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其特征在于，所述的基體 (1)材料為鍺；中間保護(hù)組合膜(2)為1 6組，每組底層膜(2.1)為碳化鍺膜而上層膜(2.2)為類金剛石膜，或每組底層膜(2.1)為類金剛石膜而上層膜 (2.2)為碳化鍺膜。
3、 按照權(quán)利要求2所述的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其特征在于，所述的中間 保護(hù)組合膜(2)為2組，底層膜(2.1)為類金剛石膜而上層膜(2.2)為碳化鍺 膜。
4、 按照權(quán)利要求2所述的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其特征在于，所述的中間 保護(hù)組合膜(2)為6組，每組底層膜(2.1)為碳化鍺膜而上層膜(2.2)為類金 剛石膜。
5、 按照權(quán)利要求l所述的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其特征在于，所述的基體 (1)材料為硫化鋅或硒化鋅；中間保護(hù)組合膜(2)為1 6組，每組底層膜(2. 1)為碳化鍺膜而上層膜(2.2)為類金剛石膜。
6、 按照權(quán)利要求5所述的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其特征在于，所述的基體 (1)材料為硫化鋅；中間保護(hù)組合膜(2)為2組，每組底層膜(2.1)為碳化鍺膜而上層膜(2.2)為類金剛石膜。
7、 按照權(quán)利要求5所述的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其特征在于，所述的基體 (1)材料為硒化鋅；中間保護(hù)組合膜(2)為6組，每組底層膜(2.1)為碳化鍺膜而上層膜(2.2)為類金剛石膜。
8、 按照權(quán)利要求1至7任何一個(gè)權(quán)利要求所述的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其特征在于，所述的碳化鍺膜折射率為3.0 3.9。
9、 按照權(quán)利要求1至7任何一個(gè)權(quán)利要求所述的紅外雙波段窗口保護(hù)膜，其 特征在于，所述的中間保護(hù)組合膜(2)中的類金剛石膜為底層膜(2.1)或上層 膜(2.2)，其厚度為10 2000nm;最外層保護(hù)膜(3)厚度為100 2000nm 。
10、 一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜的制造方法，其特征在于，它包括下述步驟-A、 確定基體(1)的材料選自鍺，或硫化鋅或硒化鋅；B、 選擇底層膜(2.1)和上層膜(2.2)材料基體(1)材料為鍺時(shí)中間保護(hù)組合膜(2)的每組底層膜(2.1)為 碳化鍺膜而上層膜(2.2)為類金剛石膜，或每組底層膜(2.1)為類 金剛石膜而上層膜(2.2)為碳化鍺膜；基體(1)材料為硫化鋅或硒化鋅時(shí)中間保護(hù)組合膜(2)的每組底 層膜(2.1)為碳化鍺膜而上層膜上層膜(2.2)為類金剛石膜；C、 選擇最外層保護(hù)膜(3)材料為類金剛石膜；D、 膜系優(yōu)化對(duì)膜系層數(shù)和厚度進(jìn)行優(yōu)化，中間保護(hù)組合膜(2)為1 6組，合計(jì)為2 12層；最外層保護(hù)膜(3)為一層類金剛石膜；E、 確定膜厚度；F、 鍍制中間保護(hù)組合膜(2):按上述B、 D、 E步驟中所確定的底層膜(2. 1)和上層膜(2.2)層數(shù)及厚度，然后進(jìn)行常規(guī)鍍制；G、 鍍制最外層保護(hù)膜3:它是在中間保護(hù)組合膜(2)最上層膜(2.2)上再疊加類金剛石膜，或即是中間保護(hù)組合膜(2)最上層的類金剛石 上層膜(2.2)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種紅外雙波段窗口保護(hù)膜及其制造方法。它是一個(gè)由基體和在基體上依次附著中間保護(hù)組合膜及一個(gè)最外層保護(hù)膜組成的膜系；中間保護(hù)組合膜由底層膜為碳化鍺膜而上層膜為類金剛石膜組成，或由底層膜為類金剛石膜而上層膜為碳化鍺膜組成；最外層保護(hù)膜為類金剛石膜。制造方法包括確定基體、選擇底層膜和上層膜及最外層保護(hù)膜材料、膜系優(yōu)化等步驟。優(yōu)點(diǎn)是透光率高，可抗風(fēng)砂、海水、高速、鹽霧等惡劣環(huán)境因素的損傷，抗沖擊能力強(qiáng)，并增加膜系整體硬度。工藝的可控制性及工藝重復(fù)性好。
文檔編號(hào)G02B1/10GK101414017SQ20081019795
公開日2009年4月22日 申請(qǐng)日期2008年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月1日
發(fā)明者何光宗, 吳小麗, 謐 朱, 李錢陶, 楊林峰, 熊長(zhǎng)新 申請(qǐng)人:中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一七研究所