專利名稱：星型點陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備，特別是用以在半導(dǎo)體晶片上獲得均布光刻膠及 光刻膠圖形的涂膠顯影工藝處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體制造廠黃光區(qū)內(nèi)的涂膠顯影設(shè)備的結(jié)構(gòu)向模塊化， 高集成度，垂直高度方向發(fā)展。為適合中國大陸中小型生產(chǎn)線巿場對該產(chǎn)品的工 藝生產(chǎn)質(zhì)量、產(chǎn)能、技術(shù)拓展性和可維護性的需求，迫切需要一種既能保證各功 能模塊和單元體完成各自的工藝生產(chǎn)的實現(xiàn)，又能快速將晶片在各模塊與單元體
之間傳遞，保證各個工藝過程的有效銜接，滿足高產(chǎn)能的要求，并且該設(shè)備占地 面積小，能節(jié)省半導(dǎo)體生產(chǎn)的基本投入的涂膠顯影設(shè)備。
實用新型內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的涂膠顯影設(shè)備在結(jié)構(gòu)上進行了調(diào)整，主 要是將各模塊、單元體、傳送機器人按特定方式排列放置，滿足涂膠顯影生產(chǎn)中 對工藝生產(chǎn)質(zhì)量、產(chǎn)能、技術(shù)拓展性和可維護性的需要。
本實用新型的技術(shù)方案是 一種涂膠顯影設(shè)備的結(jié)構(gòu)，由盒站模塊、第一涂 膠或顯影模塊、第二涂膠或顯影模塊、第一熱處理模塊、第二熱處理模塊、傳送 機器人模塊6個功能模塊組成，所述的盒站模塊是由2個盒站單元和1個對中調(diào) 整單元組成；所述的第一熱處理模塊或第二熱處理模塊是由熱處理塔架和多個插 裝在塔架中的熱處理單元體組成；所述的2個盒站單元、2個熱處理模塊、2個涂 膠或顯影模塊分別占據(jù)六it^的六個頂點，1錯送機器人在中心，這樣的六邊 形模塊布局組成了星型點陣排布的涂膠顯影設(shè)備結(jié)構(gòu)。
所述的涂膠或顯影模塊在盒站單元對面，并排左右各一，對稱設(shè)計，可以全 部是涂膠模塊，也可以全部是顯影模塊。
所述的熱處理模塊是由熱處理塔架和多個插裝在塔架中的熱處理單元體 組成，設(shè)置在傳送機器人兩側(cè)。
所述的熱處理中單元體都可以拉出機器外。
所述第一盒站單元和第二盒站單元以110 ~ 130度夾角擺放在一個平板上，對中調(diào)整單元安裝在該平板下面，三者組成一個盒站模塊。 本實用新型的優(yōu)點及有益效果是
1、 本實用新型的工藝模塊和熱處理單元體是標準化的模塊設(shè)計產(chǎn)品，便于裝 載及拆卸，這樣不同功能的工藝模塊和熱處理單元體搭配組合，就可以完成不同 的生產(chǎn)工藝，機臺的技術(shù)拓展性表現(xiàn)優(yōu)秀。
2、 熱處理單元體都可以容易拉出機器外，便于維修，維修后也可以迅速回位, 大大減少了機器的維修時間，使得設(shè)備具有良好的可維護性。
3、 應(yīng)用本實用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)備，各工藝模塊堆疊放置，使得機器占地面積大 大減小，僅為1.7平方米，有效地減少了設(shè)備的投資成本。


圖l為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實用新型結(jié)構(gòu)立體圖。
其中，TP為對中調(diào)整單元、CS1為第一盒站單元、CS2為第二盒站單元、R 為傳送機器人、C0T為涂膠模塊、AD為增粘熱處理單元體、HP為熱板單元體、CP 為冷板單元體。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作詳細描述。
如圖1所示,第一盒站單元CS1和第二盒站單元CS2以110 ~ 130度的夾角擺 放在一個平板上，對中調(diào)整單元TP安裝在該平板下面，三者組成一個盒站模塊; 涂膠模塊C0T1和涂膠模塊C0T2是獨立的功能單元體；增粘熱處理單元體AD1、 熱板單元體HP1、冷板單元體CP1插裝在一個熱處理塔架組成第一熱處理模塊； 增粘熱處理單元體AD2、熱板單元體HP2、冷板單元體CP2插裝在另一個熱處理塔 架組成第二熱處理模塊；傳送機器人R是可以進行旋轉(zhuǎn)、升降及伸縮手臂的傳送 晶片的傳送機器人模塊。
傳送機器人R放置于各模塊中心，各模塊圍繞其排布。第一盒站單元CS1和 第二盒站單元CS2以110 ~ 130度夾角擺放在一個平板上，第一熱處理模塊和第二 熱處理模塊放置在傳送機器人R兩側(cè)，第一涂膠模塊C0T1和第二涂膠模塊C0T2 模塊并列放置在第一盒站單元CS1和第二盒站單元CS2對面，這樣的六邊形模塊布 局組成了星型點陣排布的涂膠顯影設(shè)備結(jié)構(gòu)。
為滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的不同生產(chǎn)制程工藝需求，涂膠顯影設(shè)備中的模塊及單元配置也要適應(yīng)不同的變化，本實用新型的涂膠顯影設(shè)備可以是雙涂膠模塊COT,
也可以是雙顯影DEV，這種變化會是使得熱處理模塊內(nèi)的AD、 HP、 CP等熱處理單 元體的配置發(fā)生變化，但總體結(jié)構(gòu)不會變化，各模塊都是按照星型點陣方式排布。
為便于維修及維修后可以迅速回位，熱處理模塊中的熱處理單元體都可以拉 出機器外，大大減少了機器的維修時間，使得設(shè)備具有良好的可維護性。
本實用新型的工作原理是傳送機器人將晶片從片盒站中取出，按照編制好 的程序?qū)⒕腿氲礁魍磕z/顯影模塊及熱處理單元體中，完成涂膠顯影的生產(chǎn)制 程后，將晶片送回到盒站中。
權(quán)利要求1、一種星型點陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是由盒站模塊、第一涂膠或顯影模塊、第二涂膠或顯影模塊、第一熱處理模塊、第二熱處理模塊、傳送機器人模塊6個功能模塊組成，所述的盒站模塊是由第一盒站單元、第二盒站單元和1個對中調(diào)整單元組成；所述的第一熱處理模塊或第二熱處理模塊是由熱處理塔架和多個插裝在塔架中的熱處理單元體組成；所述的2個盒站單元、2個熱處理模塊、2個涂膠或顯影模塊分別占據(jù)六邊形的六個頂點，1個傳送機器人在中心，這樣的六邊形模塊布局組成了星型點陣排布的涂膠顯影設(shè)備結(jié)構(gòu)。
2、 按權(quán)利要求1所述的一種星型點陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是:所 述的2個涂膠或顯影模塊在盒站單元對面，并排左右各一，對稱設(shè)計，可以全 部是涂膠模塊，也可以全部是顯影模塊。
3、 按權(quán)利要求1所述的一種星型點陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是:所 述的第 一或第二熱處理模塊是由熱處理塔架和多個插裝在塔架中的熱處理單元 體組成，設(shè)置在傳送機器人兩側(cè)。
4. 按權(quán)利要求1所述的一種星型點陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是所 述的第一或第二熱處理中單元體都可以拉出機器外。
5. 按權(quán)利要求1所述的一種星型點陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是-.所 述第一盒站單元和第二盒站單元以110-130度夾角擺放在一個平板上，對中 調(diào)整單元安裝在該平板下面，三者組成一個盒站模塊。
專利摘要本實用新型涉及用以在半導(dǎo)體晶片上獲得均布光刻膠及光刻膠圖形的涂膠顯影工藝處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)。設(shè)備由盒站模塊、第一涂膠或顯影模塊、第二涂膠或顯影模塊、第一熱處理模塊、第二熱處理模塊、傳送機器人模塊6個功能模塊組成，所述的盒站模塊是由2個盒站單元和1個對中調(diào)整單元組成；所述的第一熱處理模塊或第二熱處理模塊是由熱處理塔架和多個插裝在塔架中的熱處理單元體組成；所述的6個功能模塊組成六邊形的星形點陣結(jié)構(gòu)，2個盒站單元、2個熱處理模塊、2個涂膠或顯影模塊分別占據(jù)六邊形的六個頂點，1個傳送機器人在中心。這樣的結(jié)構(gòu)可滿足中國大陸中小型生產(chǎn)線市場對該產(chǎn)品的工藝生產(chǎn)質(zhì)量、產(chǎn)能、技術(shù)拓展性和可維護性的需求。
文檔編號G03F7/26GK201226082SQ20082001370
公開日2009年4月22日 申請日期2008年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月27日
發(fā)明者陽 王, 胡延兵 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司