專利名稱：一種藥液儲(chǔ)液裝置及藥液供給系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種藥液儲(chǔ)液裝置及藥液供給系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
平板顯示行業(yè)在玻璃基板技術(shù)圖形制作過程中，基本的過程為光刻工藝，光刻工藝大體 可以分為涂膠、曝光、顯影、刻蝕、去膠等工藝過程。其中，顯影、刻蝕、去膠工藝過程中 要使用藥液，藥液從調(diào)配到藥液使用設(shè)備，為藥液供給系統(tǒng)。
藥液供給系統(tǒng)是光刻工藝及工序系統(tǒng)的重要組成部分，對(duì)光刻圖形的質(zhì)量起著重要的作 用，在整個(gè)藥液供給系統(tǒng)當(dāng)中，供液管道中的殘余藥液的處理，是藥液供給系統(tǒng)的重要組成
部分，目前大多采用長(zhǎng)距離、雙管路循環(huán)的方式，參照?qǐng)D1、 2，藥液供給系統(tǒng)包括混液槽ll、 儲(chǔ)液槽12，兩槽之間采用雙管連接輸送藥液，混液槽11設(shè)置出液閥13，儲(chǔ)液操12設(shè)置進(jìn)液 閥14，同時(shí)，兩槽之間的雙管用于藥液循環(huán)，以均勻藥液濃度及溫度。此方案的設(shè)計(jì)，雖然 可以達(dá)到溫度和成分均勻，但是，設(shè)計(jì)上比較繁瑣，而且，在現(xiàn)場(chǎng)施工中， 一般混液槽與儲(chǔ) 液槽間距可達(dá)幾十米以上，雙管管路的造價(jià)非常高，在該工序的藥液供給系統(tǒng)不運(yùn)行的時(shí)候, 一直要循環(huán)工作，如此長(zhǎng)距離的循環(huán)運(yùn)行，對(duì)循環(huán)動(dòng)力要求非常高。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠保證高純度藥液供給的儲(chǔ)液裝置。 本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種能夠保證高純度藥液供給，造價(jià)成本低，節(jié)能省電 的藥液供給系統(tǒng)。
本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型之儲(chǔ)液裝置包括儲(chǔ)液槽, 及其進(jìn)液開關(guān)，其特征在于，所述儲(chǔ)液槽的進(jìn)液開關(guān)前端還設(shè)有排液開關(guān)。 所述進(jìn)液開關(guān)、排液開關(guān)可為手動(dòng)或電動(dòng)閥門。
本實(shí)用新型的另一目的是通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型之藥液供給系統(tǒng)包
括混液裝置及儲(chǔ)液裝置，所述混液裝置及儲(chǔ)液裝置之間通過管路連接，所述儲(chǔ)液裝置包括儲(chǔ) 液槽，及其進(jìn)液開關(guān)，其特征在于，所述儲(chǔ)液槽的進(jìn)液開關(guān)前端還設(shè)有排液開關(guān)。
所述混液裝置包括混液槽。
所述混液裝置還設(shè)有出液開關(guān)。
所述進(jìn)液開關(guān)、排液開關(guān)、出液開關(guān)可為手動(dòng)或電動(dòng)閥門。
所述混液槽與出液開關(guān)之間還設(shè)有循環(huán)單元。 所述循環(huán)單元包括循環(huán)泵及循環(huán)管路。
所述混液裝置及儲(chǔ)液裝置之間的管路為單向管路。 所述管路為雙層結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型每次使用前將儲(chǔ)液槽前的排液閥打開，同時(shí)，打開混液槽端得出液閥，通過 流量計(jì)算，排除管道中殘存的變質(zhì)藥液，待變質(zhì)藥液完全排盡，管道中為混液槽中新添加的 藥液，其純度即為所需配比，關(guān)閉排液閥，打開儲(chǔ)液槽前的進(jìn)液閼，藥液由管道流入儲(chǔ)液槽, 進(jìn)入光刻工藝流程；同時(shí)，混液槽端的循環(huán)單元開始工作，藥液在循環(huán)泵的作用下，在改循 環(huán)管道內(nèi)進(jìn)行小范圍循環(huán)，以提髙藥液純度及溫度的均勻性。待該光刻工藝進(jìn)行完畢后，同 時(shí)關(guān)閉儲(chǔ)液槽端的進(jìn)液閥及混液槽端的出液閥，及其循環(huán)單元，整個(gè)藥液供給系統(tǒng)停止工作。
本實(shí)用新型采用帶有排液閥的儲(chǔ)液槽，用于藥液供給系統(tǒng)，同時(shí)，由于增設(shè)排除廢液的 排液閥，該藥液供給系統(tǒng)的循環(huán)路徑大大縮短，兩槽之間的輸送管道縮短一半。因此，無論 該系統(tǒng)的基礎(chǔ)建設(shè)的設(shè)備成本，還是系統(tǒng)運(yùn)行的動(dòng)力成本，都得到了很大程度上的節(jié)省，同 時(shí)，由于在每次用藥之前，排除管道中殘余變質(zhì)藥液，使得藥液純度變化偏差非常小，在后 續(xù)的光刻工藝中，極大地提高了工藝精度，使得產(chǎn)品成品率得到顯著提高。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中儲(chǔ)液裝置結(jié)構(gòu)圖2為現(xiàn)有技術(shù)中采用圖1所示儲(chǔ)液裝置的藥液供給系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖； 圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1的儲(chǔ)液裝置結(jié)構(gòu)圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例1的采用圖3所示儲(chǔ)液裝置的藥液供給系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。 實(shí)施例1
參照?qǐng)Dl，為本實(shí)施例儲(chǔ)液裝置包括儲(chǔ)液槽22,及其進(jìn)液開關(guān)——進(jìn)液閥24，進(jìn)液閥24 前端還設(shè)有排液開關(guān)——排液閥25，兩閥均為電動(dòng)閥。
本實(shí)施例之藥液供給系統(tǒng)包括混液裝置及儲(chǔ)液裝置，即混液槽21、儲(chǔ)液槽22,混液槽 21及儲(chǔ)液槽22之間通過管路連接，儲(chǔ)液槽22的進(jìn)液閥24前端還設(shè)有排液閥25;混液槽21 還設(shè)有出液閥23。另外，混液槽21與出液閥23之間還設(shè)有循環(huán)單元，循環(huán)單元包括循環(huán)泵 26及循環(huán)管路。
本實(shí)施例混液槽21及儲(chǔ)液槽22之間的管路為單向管路，其為雙層結(jié)構(gòu)。 在該工序運(yùn)行前，開啟混液槽21前的出液阓23，同時(shí)開啟儲(chǔ)液槽22前的排液閥25,輸 送管道內(nèi)的液體會(huì)自動(dòng)經(jīng)過排液閥25下的管道放出，當(dāng)混液槽21至設(shè)備前管路當(dāng)中的殘余 藥液排放達(dá)到一定時(shí)間后，自動(dòng)關(guān)閉排液閥25，排出的廢液經(jīng)超凈廠房?jī)?nèi)設(shè)置的專用排液管 道回收處理；此時(shí)管道內(nèi)為符合生產(chǎn)要求標(biāo)準(zhǔn)的藥液，打開儲(chǔ)液槽22前的進(jìn)液閥24,藥液 油輸送管道進(jìn)入儲(chǔ)液槽22，進(jìn)行藥液供給。當(dāng)該步操作完成后，無需藥液輸送，同時(shí)關(guān)閉出 液閥23及進(jìn)液閥24,停止藥液供給。
雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而其并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉 此技術(shù)人士，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此，本實(shí) 用新型的保護(hù)范圍當(dāng)以申請(qǐng)的專利范圍所界定為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1、一種藥液儲(chǔ)液裝置，包括儲(chǔ)液槽，及其進(jìn)液開關(guān)，其特征在于，所述儲(chǔ)液槽的進(jìn)液開關(guān)前端還設(shè)有排液開關(guān)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的藥液儲(chǔ)液裝置，其特征在于，所述進(jìn)液開關(guān)、排液開關(guān)可為手動(dòng)或 電動(dòng)閥門。
3、 一種藥液供給系統(tǒng)，包括混液裝置及儲(chǔ)液裝置，所述混液裝置及儲(chǔ)液裝置之間通過管路連 接，所述儲(chǔ)液裝置包括儲(chǔ)液槽，及其進(jìn)液開關(guān)，其特征在于，所述儲(chǔ)液槽的進(jìn)液開關(guān)前端 還設(shè)有排液開關(guān)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述混液裝置包括混液槽。
5、 根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述混液裝置還設(shè)有出液開關(guān)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)液開關(guān)、排液開關(guān)為手動(dòng)或電 動(dòng)閥門。
7、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述出液開關(guān)為手動(dòng)或電動(dòng)閥門。
8、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述混液槽與出液開關(guān)之間還設(shè)有循 環(huán)單元。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的藥液供給系統(tǒng)，其特征在于,所述循環(huán)單元包括循環(huán)泵及循環(huán)管路。
10、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述混液裝置及儲(chǔ)液裝置之間的 管路為單向管路。
11、 根據(jù)權(quán)利要求10所述的藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述管路為雙層結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種藥液儲(chǔ)液裝置及藥液供給系統(tǒng)，儲(chǔ)液裝置包括儲(chǔ)液槽，及其進(jìn)液開關(guān)，儲(chǔ)液槽的進(jìn)液開關(guān)前端還設(shè)有排液開關(guān)；藥液供給系統(tǒng)包括混液裝置及儲(chǔ)液裝置，混液裝置及儲(chǔ)液裝置之間通過管路連接，儲(chǔ)液裝置包括儲(chǔ)液槽，及其進(jìn)液開關(guān)。本實(shí)用新型采用帶有排液閥的儲(chǔ)液槽，用于藥液供給系統(tǒng)，由于增設(shè)排除廢液的排液閥，該藥液供給系統(tǒng)的循環(huán)路徑大大縮短，兩槽之間的輸送管道縮短一半。因此，無論該系統(tǒng)的基礎(chǔ)建設(shè)的設(shè)備成本，還是系統(tǒng)運(yùn)行的動(dòng)力成本，都得到了很大程度上的節(jié)省，同時(shí)，由于在每次用藥之前，排除管道中殘余變質(zhì)藥液，使得藥液純度變化偏差非常小，在后續(xù)的光刻工藝中，極大地提高了工藝精度，使得產(chǎn)品成品率得到顯著提高。
文檔編號(hào)G03F7/16GK201188172SQ200820035590
公開日2009年1月28日 申請(qǐng)日期2008年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月24日
發(fā)明者明 張, 張紹林, 勇 邱, 陳劍雄 申請(qǐng)人:昆山維信諾顯示技術(shù)有限公司;清華大學(xué);北京維信諾科技有限公司