專利名稱：光罩盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是有關(guān)于一種光罩盒，特別是有關(guān)于一種具有樞紐裝置的 光罩盒。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical Lithogmphy)扮 演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattem)定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。 光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀 可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，則光源通過(guò)光罩投影至硅晶圓 (silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何在光罩上的微小損傷都會(huì)造 成投影成像的質(zhì)量劣化，所以用于產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對(duì)完好及潔 凈，因此光罩盒的平穩(wěn)程度，和是否能確實(shí)的提供一個(gè)安全的環(huán)境以放置 光罩就顯得十分重要。
公知光罩盒，在操作過(guò)程中需多次開(kāi)關(guān)以取放光罩，而傳統(tǒng)光罩盒在 蓋體連結(jié)處的連接樞軸無(wú)特殊設(shè)計(jì)，若沒(méi)有人力支持，僅能完全開(kāi)啟及或 是完全關(guān)閉蓋體，使用時(shí)無(wú)法呈現(xiàn)使用者所需的特定角度，隨時(shí)可能突然 關(guān)閉，不但使用不方便，且可能因蓋體的晃動(dòng)使放置于盒內(nèi)的光罩無(wú)法處 于穩(wěn)定平衡的狀態(tài)，而對(duì)光罩造成傷害，若光罩在操作過(guò)程中沒(méi)有質(zhì)量良 好的光罩盒確實(shí)保護(hù)，則損傷機(jī)會(huì)必然會(huì)提高，降低光罩的使用壽命，導(dǎo) 致影響產(chǎn)品良率，甚至無(wú)法繼續(xù)使用，而產(chǎn)生浪費(fèi)并導(dǎo)致使用成本提高。
同時(shí)，為了進(jìn)一步提升產(chǎn)品的良率及降低制造的成本，光罩盒除了達(dá) 到潔凈度的標(biāo)準(zhǔn)要求外，還要克服因?yàn)橥鈦?lái)氣體對(duì)于光罩的污染。這樣的 外來(lái)氣體除了大氣以外，還有兩個(gè)來(lái)源，其一是源自于高分子材料所制成 的光罩傳送盒本身所釋出的氣體(outgasing)，其二是源自于殘留在光罩表 面的微量化學(xué)溶液所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體。這些非期望氣體會(huì)對(duì)光罩的表面產(chǎn) 生霧化作用，使得光罩無(wú)法再使用而必須報(bào)廢的窘境，使得制造成本增加。在光罩傳送盒中充入氣體是目前解決光罩霧化的手段之一，其中如何保持 充入氣體的潔凈度，是一個(gè)重要的議題。
有鑒于此，本實(shí)用新型所提供的具有過(guò)濾裝置的光罩盒，乃針對(duì)公知 技術(shù)加以改良。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種針對(duì)公知技術(shù)中存在的缺陷而加以 改良的光罩盒。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的光罩盒，其包含 一第一蓋體；
一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納一光罩； 一樞紐，用以連結(jié)第一蓋體及第二蓋體，其包括 一第一連結(jié)座固定于第一蓋體上， 一第二連結(jié)座固定于第二蓋體上，以及；
一轉(zhuǎn)軸，其兩端卡設(shè)于些連結(jié)座，轉(zhuǎn)軸包含第一部份及與第一部份彼 此樞設(shè)的第二部份，第一部份及第二部份彼此接觸部份具有高摩擦力表 面。
所述的光罩盒，其中第一連結(jié)座及轉(zhuǎn)軸為一體成型。 所述的光罩盒，其中轉(zhuǎn)軸的第一部份具有復(fù)數(shù)個(gè)突起設(shè)于與第二部份 接觸的表面。
所述的光罩盒，其中轉(zhuǎn)軸另包含一彈性組件夾設(shè)于轉(zhuǎn)軸的第一部份及 第二部份之間。
所述的光罩盒，其中彈性組件可為彈簧。
所述的光罩盒，其中連結(jié)座以金屬材質(zhì)或不銹鋼材質(zhì)制成。
所述的光罩盒，其中轉(zhuǎn)軸以金屬材質(zhì)或不銹鋼材質(zhì)制成。
本實(shí)用新型還提供一種光罩盒，其包含
一第一蓋體；
一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納一光罩； 一樞紐，用以連結(jié)第一蓋體及第二蓋體，其包括
一主體，其具有一中心板體固定于第一蓋體上，主體另具有一個(gè)水平延伸的中空?qǐng)A筒，
一轉(zhuǎn)軸，其穿設(shè)于主體的中空?qǐng)A筒內(nèi)且其一端固設(shè)于第二蓋體，以及； 一提高摩擦力組件，套設(shè)于轉(zhuǎn)軸上，位于主體的中空?qǐng)A筒與轉(zhuǎn)軸之間。 所述的光罩盒，其中轉(zhuǎn)軸與第二蓋體為一體成型。 所述的光罩盒，其中提高摩擦力組件為一彈性組件。 所述的光罩盒，其中提高摩擦力組件具有復(fù)數(shù)個(gè)突起。 所述的光罩盒，其中提高摩擦力組件與轉(zhuǎn)軸一體成型。 所述的光罩盒，其中提高摩擦力組件亦具有復(fù)數(shù)的凹槽。 所述的光罩盒，其中主體材質(zhì)為金屬。 所述的光罩盒，其中光罩盒為光罩保存盒或光罩運(yùn)送盒。
本實(shí)用新型還提供一種光罩盒，其包含 一第一蓋體；
一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納一光罩； 一樞紐，用以連結(jié)第一蓋體及第二蓋體，樞紐用以讓些蓋體在開(kāi)啟時(shí) 可任意停頓且固定。
本實(shí)用新型還提供一種光罩盒，其包含 一第一蓋體；
一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩； 至少一通孔，設(shè)于第一蓋體或第二蓋體的側(cè)邊，用以連通內(nèi)部空間以 及光罩盒的外部空間，以及；
至少一過(guò)濾裝置覆蓋通孔，過(guò)濾裝置包含 一扣件，覆蓋于通孔的上；
一夾持件，卡設(shè)于扣件中，其中夾持件具有至少一孔洞，孔洞設(shè)于對(duì) 應(yīng)于扣件的開(kāi)口的位置；以及
一過(guò)濾薄膜夾設(shè)于夾持件上具有孔洞的位置；
具有至少兩個(gè)卡榫點(diǎn)設(shè)于通孔周圍，扣件則具有至少兩個(gè)鎖扣部用以 卡設(shè)于卡榫點(diǎn)上。
簡(jiǎn)言之，本實(shí)用新型的光罩盒結(jié)構(gòu)，特別是有關(guān)于一種具有特殊設(shè)計(jì) 的樞紐的光罩盒。此一種光罩盒包含 一第一蓋體及一第二蓋體組合，兩 者形成一內(nèi)部空間可容納一光罩；以及一樞紐，用以連結(jié)第一蓋體及第二蓋體，樞紐包括一第一連結(jié)座固定于第一蓋體上，和一第二連結(jié)座固定于 第二蓋體上，此樞紐亦包含一轉(zhuǎn)軸，其兩端卡設(shè)于些連結(jié)座，轉(zhuǎn)軸包含第 一部份及第二部份彼此樞設(shè)，而第一部份及第二部份彼此接觸部份具有高 摩擦力。樞紐使兩蓋體結(jié)合時(shí)減少晃動(dòng)的可能。
此外，光罩盒另包括一種光罩盒，其包含 一第一蓋體及一第二蓋體 組合，兩者形成一內(nèi)部空間可容納光罩；光罩盒有至少一通孔，設(shè)于第一 蓋體或第二蓋體的側(cè)邊，用以連通內(nèi)部空間以及光罩盒的外部空間，而設(shè) 于通孔周圍至少兩個(gè)卡榫點(diǎn)，和至少一過(guò)濾裝置覆蓋通孔，過(guò)濾裝置包含 一扣件覆蓋于通孔上，扣件有至少兩個(gè)鎖扣部用以卡設(shè)于卡榫點(diǎn)，過(guò)濾裝 置亦具夾持件，卡設(shè)于扣件中，其中夾持件具有至少一孔洞，孔洞設(shè)于對(duì) 應(yīng)于扣件的開(kāi)口的位置，同時(shí)，過(guò)濾薄膜夾設(shè)于夾持件上具有孔洞的位置。
本實(shí)用新型的效果是
1) 本實(shí)用新型具有一樞紐，樞紐使光罩盒蓋體開(kāi)關(guān)時(shí)可停留至任意 點(diǎn)，可防止蓋體滑動(dòng)撞擊的情形發(fā)生。
2) 本實(shí)用新型具有一樞紐，樞紐使光罩盒在開(kāi)關(guān)操作的時(shí)降低光罩 損壞的風(fēng)險(xiǎn)，使得光罩壽命得以提高，并提高光罩安全性。
3) 本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置，可用來(lái)過(guò)濾空氣中的微塵，以避免光罩 受到污染。
4) 本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置，可用來(lái)過(guò)濾空氣中的微塵，以保持光罩
盒盒內(nèi)的潔凈度。
5) 本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置，利用扣件方式卡設(shè)于光罩盒外，以減少 過(guò)濾裝置厚度。
6) 本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置，其扣件為不繡鋼材質(zhì)，靜電遮蔽效果佳。


圖1是本實(shí)用新型光罩盒的示意圖2是本實(shí)用新型光罩盒樞紐的一較佳實(shí)施例示意圖3是本實(shí)用新型光罩盒樞紐轉(zhuǎn)軸的示意圖4是本實(shí)用新型光罩盒樞紐的另一實(shí)施例示意圖5是本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置示意圖；圖6是本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置組裝示意圖。
附圖中主要組件符號(hào)說(shuō)明
1光罩盒 IO第一蓋體
20第二蓋體
30樞紐
32第一連結(jié)座
34第二連結(jié)座
36轉(zhuǎn)軸
38第一部份
40第二部分
44主體
46中心板體
48中空?qǐng)A筒
50轉(zhuǎn)軸
52提高摩擦力組件
54通孔
56卡榫點(diǎn)
58過(guò)濾裝置
60扣件
62鎖扣部
64夾持件
66過(guò)濾薄膜
68第一部份
70第二部份
72孔洞
具體實(shí)施方式
由于本實(shí)用新型公開(kāi)一種具有樞紐的光罩盒，其中所利用到的一些光 罩或光罩盒的詳細(xì)制造或處理過(guò)程，是利用現(xiàn)有技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)，故在下述說(shuō)明中，并不作完整描述。而且下述內(nèi)文中的圖式，亦并未依據(jù)實(shí)際的相關(guān) 尺寸完整繪制，其作用僅在表達(dá)與本實(shí)用新型特征有關(guān)的示意圖。
請(qǐng)參考圖1，為本實(shí)用新型光罩盒的示意圖， 一種光罩盒1，其包含
一第一蓋體10和一第二蓋體20，些蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納一 光罩(未示于圖中)；光罩盒1亦具有一樞紐30，用以連結(jié)第一蓋體10及 第二蓋體20。
請(qǐng)參考圖2，是本實(shí)用新型光罩盒樞紐的一較佳實(shí)施例示意圖，此樞 紐30包括一第一連結(jié)座32、 一第二連結(jié)座34、 一轉(zhuǎn)軸36，第一連結(jié)座 32固定于第一蓋體10上，而第二連結(jié)座34固定于第二蓋體20上。其中 第一連結(jié)座32及轉(zhuǎn)軸36可為一體成型，或轉(zhuǎn)軸36與第一連結(jié)座32及第 一蓋體10可為一體成型制成。
請(qǐng)參考圖3，是本實(shí)用新型光罩盒樞紐轉(zhuǎn)軸的示意圖，轉(zhuǎn)軸36的兩端 卡設(shè)于些連結(jié)座，轉(zhuǎn)軸36包含第一部份38及第二部份40彼此樞設(shè)，第 一部份38及第二部份40彼此接觸部份具有高摩擦力表面，根據(jù)本實(shí)用新 型一較佳實(shí)施例，轉(zhuǎn)軸36的第一部份38可具有復(fù)數(shù)個(gè)突起設(shè)于與第二部 份40接觸的表面。根據(jù)本實(shí)用新型另一較佳實(shí)施例，轉(zhuǎn)軸36可另包含一 彈性組件(未示于圖中)夾設(shè)于轉(zhuǎn)軸36的第一部份38及第二部份40之間， 而彈性組件可為彈簧制成。而些連結(jié)座可以以金屬材質(zhì)制成或不銹鋼材質(zhì) 制成，而轉(zhuǎn)軸36則可以以金屬制成或不銹鋼制成。
請(qǐng)參考圖4，是本實(shí)用新型光罩盒樞紐的另一實(shí)施例示意圖， 一種光 罩盒l(wèi)，其包含一第一蓋體10和一第二蓋體20，些蓋體組合，形成一內(nèi) 部空間可容納一光罩；光罩盒1亦具有一樞紐30，用以連結(jié)第一蓋體10 及第二蓋體20。此樞紐30，用以連結(jié)第一蓋體10及第二蓋體20，此樞紐 30由一主體44、 一轉(zhuǎn)軸50以及一提高摩擦力組件52組成；主體44具有 一中心板體46固定于第一蓋體10上，主體44另具有一個(gè)水平延伸的中 空?qǐng)A筒48，而轉(zhuǎn)軸50則穿設(shè)于主體44的中空?qǐng)A筒48內(nèi)且其一端固設(shè)于 第二蓋體20，至于提高摩擦力組件52則套設(shè)于轉(zhuǎn)軸50上，位于主體44 的中空?qǐng)A筒48與轉(zhuǎn)軸50之間。
請(qǐng)繼續(xù)參考圖4，轉(zhuǎn)軸50兩端可各具有一固定部(未示于圖中)，以此 固定于第二蓋體上，或第二蓋體20具有兩個(gè)固定部，分別對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)軸的兩端，以此用以固定轉(zhuǎn)軸50于第二蓋體20上。而轉(zhuǎn)軸50與第二蓋體20可 為一體成型，提高摩擦力組件52可以為一彈性組件。提高摩擦力組件52 可具有復(fù)數(shù)個(gè)突起或與轉(zhuǎn)軸50 —體成型。中空?qǐng)A筒48面對(duì)提高摩擦力組 件52的表面亦可具有復(fù)數(shù)的突起或凹槽，以增強(qiáng)摩擦力。其中主體材質(zhì) 為金屬，而此光罩盒1可為光罩保存盒或光罩運(yùn)送盒。
同時(shí)，此樞紐30，用以連結(jié)第一蓋體10及第二蓋體20,并讓些蓋體
在無(wú)外力影響情形下，開(kāi)啟時(shí)可任意停頓且固定，而些蓋體的開(kāi)啟角度介 于0至270度之間。
接著看圖5，此圖為本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置示意圖，其為一種光罩盒 1，包含一第一蓋體10用以與第二蓋體20組合，形成一內(nèi)部空間可容納 光罩，而光罩盒1亦包含至少一通孔54,設(shè)于第一蓋體10或第二蓋體20 的側(cè)邊，用以連通內(nèi)部空間以及光罩盒1的外部空間；光罩盒1具有至少 兩個(gè)卡榫點(diǎn)56，設(shè)于通孔54周圍，以及至少一過(guò)濾裝置58覆蓋通孔54。
而圖6則是本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置組裝示意圖，過(guò)濾裝置58包含一 扣件60覆蓋于通孔54之上，扣件60有至少兩個(gè)鎖扣部62用以卡設(shè)于卡 榫點(diǎn)56，還有一夾持件64卡設(shè)于扣件60中，其中夾持件64具有至少一 孔洞72，孔洞72設(shè)于對(duì)應(yīng)于扣件60的開(kāi)口的位置，最后以及一過(guò)濾薄膜 66夾設(shè)于夾持件64上具有孔洞72的位置。
其中夾持件64是由一第一部份68以及一第二部份70組成，而過(guò)濾 薄膜66夾持(sandwiched)于第一部份68以及第二部份70之間。夾持件64 的第一部份68以及第二部份70至少其中之一具有一凹陷部面向第一部分 68與第二部份70之間，用以形成一空間容置過(guò)濾薄膜66，或可為夾持件 64的第一部份68以及第二部份70至少其中之一具有一凹陷部，另一則具 有一凸出部，凹陷部與凸出部面向第一部分68與第二部份70之間，且凹 陷部大于凸出部。
此圖中，第一部份68以及第二部分70可為對(duì)稱且一體成型，或其中 第一部份68以及第二部分70亦可為兩個(gè)分離的組件。設(shè)計(jì)上，第一部份 68以及第二部分70可為兩個(gè)相同的組件，同時(shí)第一部份68以及第二部分 70各具有孔洞72?？奂?0可為金屬材質(zhì)或不銹鋼材質(zhì)，過(guò)濾薄膜66可 為混合纖維所制成。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而己，并非用以限定本實(shí)用新
型的申請(qǐng)專利權(quán)利；同時(shí)以上的描述，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可明了及實(shí) 施，因此其它未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神下所完成的等效改變或修 飾，均應(yīng)包含在申請(qǐng)的權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求1、一種光罩盒，包含一第一蓋體以及一第二蓋體，該第一蓋體與該第二蓋體由一樞紐連結(jié)，以形成一容納一光罩的內(nèi)部空間，其中該光罩盒的特征在于，該樞紐包括一第一連結(jié)座固定于該第一蓋體上，一第二連結(jié)座固定于該第二蓋體上，以及；一轉(zhuǎn)軸，其兩端卡設(shè)于該些連結(jié)座，該轉(zhuǎn)軸包含一第一部份及與該第一部份彼此樞設(shè)的一第二部份，該第一部份及該第二部份彼此接觸部份具有高摩擦力表面。
2、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，該第一連結(jié)座及該轉(zhuǎn) 軸為一體成型。
3、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，該轉(zhuǎn)軸的第一部份具 有復(fù)數(shù)個(gè)突起設(shè)于與第二部份接觸的表面。
4、 如權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，該轉(zhuǎn)軸另包含一彈性 組件夾設(shè)于該轉(zhuǎn)軸的第一部份及該第二部份之間。
5、 一種光罩盒，包含一第一蓋體以及一第二蓋體，該第一蓋體與該 第二蓋體由一樞紐連結(jié)，以形成一容納一光罩的內(nèi)部空間；其中該光罩盒 的特征在于，該樞紐包括一主體，具有一中心板體固定于該第一蓋體上，該主體另具有一水平 延伸的中空?qǐng)A筒；一轉(zhuǎn)軸，穿設(shè)于該主體的中空?qǐng)A筒內(nèi)且其一端固設(shè)于該第二蓋體，以及；一提高摩擦力組件，套設(shè)于該轉(zhuǎn)軸上，位于該主體的中空?qǐng)A筒與該轉(zhuǎn) 軸之間。
6、 如權(quán)利要求5所述的光罩盒，其特征在于，該轉(zhuǎn)軸與該第二蓋體 為一體成型。
7、 如權(quán)利要求5所述的光罩盒，其特征在于，該提高摩擦力組件為 一彈性組件。
8、 如權(quán)利要求'5所述的光罩盒，其特征在于，該提高摩擦力組件具有復(fù)數(shù)個(gè)突起。
9、 如權(quán)利要求5所述的光罩盒，其特征在于，該提高摩擦力組件與 該轉(zhuǎn)軸一體成型。
10、 如權(quán)利要求5所述的光罩盒，其特征在于，該提高摩擦力組件具有復(fù)數(shù)的凹槽。
11、 一種光罩盒，包含-一第一蓋體；一第二蓋體，與該第一蓋體組合，形成一容納一光罩的內(nèi)部空間，以及；一樞紐，連結(jié)該第一蓋體及該第二蓋體，其特征在于，且該第一蓋體 或第二蓋體可以任意停頓且固定于該樞紐上的任意位置。
12、 一種光罩盒，包含 一第一蓋體；一第二蓋體，與該第一蓋體組合，形成一容納光罩的內(nèi)部空間； 至少一通孔，設(shè)于該第一蓋體或該第二蓋體的側(cè)邊，連通該內(nèi)部空間 以及光罩盒的外部空間，以及；至少一過(guò)濾裝置，該過(guò)濾裝置包含-一扣件，覆蓋于該通孔上；一夾持件，卡設(shè)于該扣件中，其中該夾持件具有至少一孔洞，該孔洞 設(shè)于對(duì)應(yīng)于該扣件的開(kāi)口的位置；以及一過(guò)濾薄膜夾設(shè)于該夾持件上具有該孔洞的位置；其特征在于，具有至少兩個(gè)卡榫點(diǎn)設(shè)于該通孔周圍，該扣件具有至少 兩個(gè)鎖扣部用以卡設(shè)于該卡榫點(diǎn)。
專利摘要本實(shí)用新型是一種光罩盒結(jié)構(gòu)，特別是有關(guān)于一種具有樞紐裝置的光罩盒。此一種光罩盒包含一第一蓋體及一第二蓋體組合，兩者形成一內(nèi)部空間可容納一光罩，一樞紐，用以連結(jié)第一蓋體及第二蓋體，其包括一第一連結(jié)座固定于第一蓋體上，和一第二連結(jié)座固定于第二蓋體上，此樞紐亦包含一轉(zhuǎn)軸，其兩端卡設(shè)于些連結(jié)座，轉(zhuǎn)軸包含第一部分及與第一部分彼此樞設(shè)的第二部分，而第一部分及第二部分彼此接觸部分具有高摩擦力表面。
文檔編號(hào)G03F7/20GK201345032SQ20082020731
公開(kāi)日2009年11月11日 申請(qǐng)日期2008年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月20日
發(fā)明者邱銘乾, 陳建達(dá), 陳昶政 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司