專利名稱::著色組合物、濾色器的制造方法和濾色器的制作方法
技術領域:
:本發(fā)明涉及在彩色液晶顯示裝置、彩色攝像管元件等中使用的濾色器的制造中所使用的著色組合物、使用了該著色組合物的濾色器的制造方法、以及用該方法制造的濾色器。
背景技術:
:構成液晶顯示器(LCD)的濾色器由在玻璃等透明基板的表面上平行或交叉地配置2種以上的不同色相的微細帶(條)狀濾波器節(jié)而得到的元件、或按縱橫一定的排列配置微細的濾波器節(jié)而得到的元件構成。濾波器節(jié)為數(shù)微米數(shù)百微米,是微細的,且每個色相以規(guī)定的排列規(guī)整地配置。構成濾色器的濾波器節(jié)或黑色矩陣通過如下方法來形成在玻璃基板等上涂布感光性材料,干燥除去剩余的溶劑后,通過用于形成像素的光掩模,以接近式曝光(紫外光源曝光)等照射活性能量線,固化(負型)或提高堿溶解度(正型),去除用堿溶液等溶解的部分。例如對于紅、綠、藍的各顏色,通過反復此操作,可制作濾色器。近年來,彩色液晶顯示裝置作為液晶彩色電視機和汽車導航儀用以及液晶顯示裝置一體型的筆記本電腦,已形成了大規(guī)模的市場,并且作為發(fā)揮了節(jié)能、節(jié)省空間這樣的特點的桌上型電腦用顯示屏和電視機也已開始普及。雖然作為代替以往的CRT(陰極射線管電視)的顯示裝置而備受關注,但現(xiàn)狀是液晶顯示裝置的色再現(xiàn)特性不如CRT。因此,對配置了各色濾波器節(jié)的濾色器的高的色再現(xiàn)性的要求提高。另外,為了提高對比度,一般是在濾色器的各色濾波器節(jié)間配置黑色矩陣,關于該黑色矩陣的形成材料,近年來從環(huán)境問題、低反射化、低成本化的觀點出發(fā),在樹脂中分散遮光性色素而得到的樹脂制黑色矩陣取代了金屬鉻制黑色矩陣而受到注目。但是,樹脂制黑色矩陣與金屬鉻制黑色矩陣相比,存在遮光性(光密度)低的問題。為了提高濾色器的色再現(xiàn)特性和黑色矩陣的遮光性,需要增加感光性著色組合物中的色素的含量或增加膜厚。但是,若采用增加色素含量的方法,則在采用光刻方式的圖案化工序中會產生感度下降、顯影性、析像性惡化等問題。若采用增加膜厚的方法,則曝光的光不能到達膜底部,會出現(xiàn)圖案形狀不佳等問題。為了解決這樣的問題,必須提高感光性著色組合物的感度,在日本特開2003-156842號公報中公開了(1)向樹脂賦予反應性雙鍵、(2)光聚合引發(fā)劑、增感劑的選擇或增量、(3)單體的選擇或增量等。但是,僅僅通過向樹脂賦予雙鍵或者選擇光聚合引發(fā)劑、增感劑和單體,則感度提高有限。特別是若增加光聚合引發(fā)劑的量,則會出現(xiàn)光聚合引發(fā)劑特有的顏色引起的著色、耐熱性下降、透光率減少、析像力下降等。另外,若增加單體的量,則會出現(xiàn)粘性等問題。另一方面,伴隨著近年來使用濾色器的產品的大型化,用于形成濾波器節(jié)和黑色矩陣的光掩模也不可避免地大型化,導致制造成本的增加。若采用常用的接近式曝光法(紫外光源曝光法),則處理大型基板時需要與基板尺寸相應的大尺寸的昂貴的光掩模,但是,若采用激光曝光法,則可以使光掩模小型化或無需光掩模,可期待成本降低。在日本專利第3912405號公報中使用波長為405nm的半導體激光作為曝光光源對固化性組合物進行了研究,但并未對與波長為340380nm的激光匹配的著色組合物進行充分地研究,使用現(xiàn)有的著色組合物在波長為340380nm的激光下進行曝光時,無法得到高感度且優(yōu)異的圖案形狀。此外,為了提高濾色器的色再現(xiàn)特性和黑色矩陣的遮光性,在增加著色組合物中的色素的含量或增加膜厚的情況下更加困難。此外,通常在激光曝光法中存在如下問題用激光對由著色組合物形成的著色涂膜進行曝光時,著色涂膜的表面比涂膜內部容易固化,在涂膜內產生固化程度的差異,該差異導致涂膜表面剝離、涂膜表面皺紋以及主要是黑色矩陣與基板的密合性下降等。表面剝離是指,將著色涂膜顯影時,僅固化后的涂膜表面從涂膜剝離的現(xiàn)象。此外,涂膜表面皺紋是指,在著色涂膜顯影后的燒結時,涂膜因熱而收縮,但上述固化程度的差異使涂膜表面出現(xiàn)波狀的鈹紋。近年來為了謀求提高濾色器的色再現(xiàn)特性和黑色矩陣的遮光性,上述問題在增加著色組合物中的色素的含量或增加膜厚的情況下變得更加顯著。另一方面,在日本特開2003-156617號公報中,為了提高黑色矩陣與基板的密合性,研究了從基板的背面?zhèn)葘逭丈浠钚阅芰烤€的方法,但曝光方式不是激光曝光方式,且只研究了黑色矩陣的密合性的提高。另外,在日本特開平11-174221號公報中公開了在各著色涂膜的制作工序中具有下述第1曝光工序和第2曝光工序的濾色器的制造方法,所述第1曝光工序在顯影前從表面?zhèn)葘Ω髦磕みM行紫外光源曝光,對各著色涂膜描繪圖案,所述第2曝光工序在顯影后,在對各著色涂膜進行燒結前,再次對各著色涂膜進行紫外光源曝光;另外,上述第2曝光工序的紫外光源曝光可以從各著色涂膜的表面?zhèn)然驈母糁该骰宓谋趁鎮(zhèn)然驈谋砻姹趁鎯蓚冗M行。
發(fā)明內容本發(fā)明的目的在于提供在特定波長的激光曝光方式下即使色素含量高或膜厚較厚也能形成高感度、且圖案形狀優(yōu)異、不會發(fā)生涂膜表面剝離和涂膜表面皺紋、且與基板的密合性高的濾波器節(jié)和黑色矩陣的著色組合物、使用了這種著色組合物的濾色器的制造方法、以及采用這種方法制造的濾色器。本發(fā)明的第1方式提供如下的著色組合物,其是在下述濾色器的制造方法中使用的著色組合物,該濾色器的制造方法具備以下工序在基板上使用著色組合物來形成著色涂膜的工序;對上述著色涂膜的成為濾波器節(jié)或黑色矩陣的部分照射波長為340380nm的激光使其固化的工序;去除上述著色涂膜的未固化部分而形成濾波器節(jié)或黑色矩陣的工序;該著色組合物含有顏料、透明樹脂、具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體和光聚合引發(fā)劑,且具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的重量(M)相對于上述透明樹脂的重量(P)的比(M/P)在0.12以上且1.35以下的范圍。本發(fā)明的第2方式提供如下的濾色器的制造方法,其具備以下工序在基板上使用本發(fā)明第1方式的著色組合物來形成著色涂膜的工序;對上述著色涂膜的濾波器節(jié)或黑色矩陣的形成預定區(qū)域照射波長為340380nrn的激光使其固化的工序;去除上述著色涂膜的未固化部分而形成濾波器節(jié)或黑色矩陣的工序。本發(fā)明的第3方式提供如下的濾色器,具備黑色矩陣和/或至少1種顏色以上的濾波器節(jié),該黑色矩陣和/或至少1種顏色以上的濾波器節(jié)由本發(fā)明第2方式的方法形成。具體實施例方式以下,對本發(fā)明的著色組合物進行說明。本發(fā)明的第1實施方式涉及的著色組合物是在下述濾色器的制造方法中使用的著色組合物,該濾色器的制造方法具備以下工序在基板上使用著色組合物來形成著色涂膜的工序;對上述著色涂膜的成為濾波器節(jié)或黑色矩陣的部分照射波長為340380nm的激光使其固化的工序;去除上述著色涂膜的未固化部分而形成濾波器節(jié)或黑色矩陣的工序;該著色組合物含有顏料、透明樹脂、具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體和光聚合引發(fā)劑,且具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的重量(M)相對于上述透明樹脂的重量(P)的比(M/P)在0.12以上且1.35以下的范圍。若采用這種著色組合物,則在能實現(xiàn)光掩模的小型化或無掩模、能期待成本降低的激光曝光方式下,即使色素含量高或膜厚較厚,也能得到高感度且圖案形狀優(yōu)異的濾波器節(jié)和黑色矩陣。以下,對所述著色組合物的各成分進行說明。(顏料)作為本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物中含有的顏料,可以使用一般市售的有機顏料,可以根據(jù)形成的濾波器節(jié)的色相來并用染料、天然色素、無機顏料。作為有機顏料,優(yōu)選采用發(fā)色性高且耐熱性、特別是耐熱分解性高的有機顏料。有機顏料可以單獨使用l種,也可以2種以上混合使用。另外,有機顏料還可以是通過鹽磨、酸溶法(acidpasting)等微細化而得到的有機顏料。以下,用顏色指數(shù)(C.I.)號表示本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物8中能使用的有機顏料的具體例子。使用本發(fā)明的著色組合物形成紅色濾波器節(jié)時,可以采用C丄顏料紅7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、122、123、146、149、168、177、178、179、184、185、187、192、200、202、208、210、216、220、223、224、226、240、254、255、264、272等紅色顏料。在紅色著色組合物中可以并用黃色顏料、橙色顏料。使用本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物形成綠色濾波器節(jié)時,可以采用C丄顏料綠7、10、36、37、58等綠色顏料。在綠色著色組合物中可以并用黃色顏料。使用本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物形成藍色濾波器節(jié)時,可以采用C丄顏料藍15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、64、80等藍色顏料。在藍色著色組合物中可以并用紫色顏料。使用本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物形成黃色濾波器節(jié)時,可以采用C.I.顏料黃1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、126、127、128、129、138、139、147、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、198、199、213、214等黃色顏料。使用本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物形成紫色濾波器節(jié)時,可以采用C.I.顏料紫1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50等顏料。使用本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物形成品紅色濾波器節(jié)時,可以采用C.I.顏料紅7、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、146、177、178、184、185、187、200、202、208、210、246、254、255、264、270、272等顏料。在品紅色著色組合物中可以并用黃色顏料。使用本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物形成青色濾波器節(jié)時,可以采用C丄顏料藍15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、80等顏料。使用本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物形成橙色濾波器節(jié)時,可以采用C.I.顏料橙36、43、51、55、59、61、71、73等顏料。使用本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物形成黑色矩陣時,可以采用炭黑、苯胺黑、蒽醌類黑色顏料、芘類黑色顏料,具體如C丄顏料黑1、6、7、12、20、31等。黑色著色組合物中還可以使用紅色顏料、藍色顏料、綠色顏料的混合物。作為黑色顏料,從價格、遮光性大小出發(fā),優(yōu)選炭黑,炭黑可以用樹脂等進行表面處理。另外,為了調節(jié)色調,可以在黑色著色組合物中并用藍色顏料或紫色顏料。本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物中,從得到充分的色再現(xiàn)性的觀點出發(fā),其總不揮發(fā)成分中的顏料成分的濃度優(yōu)選為1090重量%,進一步優(yōu)選為1585重量%,最優(yōu)選為2080重量%。若顏料成分的濃度不足10重量%,則很難得到充分的色再現(xiàn)性,若超過90重量%,則顏料載體的濃度降低,存在著色組合物的穩(wěn)定性惡化的傾向。為了在取得彩度和亮度的平衡的同時確保良好的涂布性、感度、顯影性等,在著色組合物中可以含有無機顏料。作為無機顏料,可以列舉氧化鈦、硫酸鋇、鋅華、硫酸鉛、鉻黃、鋅黃、鐵丹(紅色氧化鐵(III))、鎘紅、群青、普魯士藍、氧化鉻綠、鈷綠、棕土、鈦黑、合成鐵黑、炭黑等。無機顏料可以單獨使用1種,也可以2種以上混合使用。關于無機顏料,以顏料的總重量為基準(100重量%),可以采用0.110重量%的量。另外,為了調色,在本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物中可以在不降低耐熱性的范圍內含有染料。關于染料,以顏料的總重量為基準(100重量°/。),可以采用0.110重量%的量。(透明樹脂)著色組合物中含有的透明樹脂,是在可見光區(qū)域的400700nm的總波長區(qū)域內透射率優(yōu)選為80%以上、進一步優(yōu)選為95%以上的樹脂。作為透明樹脂,包含熱塑性樹脂、熱固性樹脂以及感光性透明樹脂,它們可以單獨使用,但優(yōu)選2種以上混合使用。作為熱塑性樹脂,例如可以列舉出縮丁醛樹脂、苯乙烯-馬來酸共聚物、氯化聚乙烯、氯化聚丙烯、聚氯乙烯、氯乙烯-乙酸乙烯基酯共聚物、聚乙酸乙烯基酯、聚氨酯類樹脂、聚酯樹脂、丙烯酸類樹脂、醇酸樹脂、聚苯200880016849.0乙烯樹脂、聚酰胺樹脂、橡膠類樹脂、環(huán)化橡膠類樹脂、纖維素類、聚丁二烯、聚乙烯、聚丙烯、聚酰亞胺樹脂等。作為熱固性樹脂,例如可以列舉出環(huán)氧樹脂、苯并胍胺樹脂、松香改性馬來酸樹脂、松香改性富馬酸樹脂、酚醛樹脂、三聚氰胺樹脂、尿素樹脂等。作為感光性透明樹脂,是具有烯鍵式不飽和雙鍵的樹脂,例如可以列舉出使具有羥基、羧基、氨基等反應性取代基的高分子與具有異氰酸酯基、酸基、環(huán)氧基、羧基等反應性取代基的(甲基)丙烯酸化合物或肉桂酸反應而在上述高分子中導入了(甲基)丙烯?;?、苯乙烯基等具有烯鍵式不飽和雙鍵的官能團所得到的樹脂。具體而言,有通過使由具有羥基的烯鍵式不飽和單體及其他烯鍵式不飽和單體共聚得到的共聚物與具有能與羥基反應的官能團以及烯鍵式不飽和雙鍵的化合物反應而得到的物質。作為能與羥基反應的官能團,可以列舉出異氰酸酯基、羧基等,特別是從反應性的觀點出發(fā),優(yōu)選異氰酸酯基,作為具有異氰酸酯基和烯鍵式不飽和雙鍵的化合物,具體可以列舉出2-丙烯?;一惽杷狨ァ?-甲基丙烯?;一惽杷狨サ取A硗?,還可以使用將苯乙烯-馬來酸酐共聚物或cx-烯烴-馬來酸酐共聚物等含有酸酐的高分子用羥基烷基(甲基)丙烯酸酯等具有羥基的(甲基)丙烯酸化合物進行半酯化得到的物質。(具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體)具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體是通過照射波長為340380nm的激光而固化的成分。作為具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的例子,可以列舉(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三環(huán)癸基(甲基)丙烯酸酯、三聚氰胺(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧基(甲基)丙烯酸酯等各種丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯等具有羥基的(甲基)丙烯酸酯化合物與六亞甲基二異氰酸酯等二異氰酸酯化合物的反應產物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯等具有羥基的(甲基)丙烯酸酯化合物與乙二醇等二醇類化合物的反應產物、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、乙酸乙烯酯、(甲基)丙烯酰胺、N-羥基甲基(甲基)丙烯酰胺、丙烯腈等。關于單體,從著色組合物的感度提高的觀點出發(fā),優(yōu)選具有412個烯鍵式不飽和雙鍵,進一步優(yōu)選為612個。具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體可以單獨使用,也可以2種以上混合使用。具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的含量,相對于顏料100重量份,優(yōu)選為10300重量份。若少于10重量份,則即使在使用了波長為340380nm的激光的情況下,感度也不理想,為了彌補這點,必須提高曝光能量(強度或時間),可能會導致像素粗糙。另一方面,若多于300重量份,則采用波長為340380nm的激光時,感度過強,存在像素的直線性下降或像素的截面形狀惡化的可能性。更優(yōu)選為10200重量份。另外,具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的重量(M)相對于透明樹脂的重量(P)的比(M/P)優(yōu)選為0.121.35。若M/P小于0.12,則即使在使用了波長為340380nm的激光的情況下,感度也不理想,發(fā)生像素剝離的可能性高,為了彌補這點,必須提高曝光能量(強度或時間),可能會導致像素粗糙。進一步優(yōu)選為0.20以上,特別優(yōu)選為0.30以上。另一方面,若M/P大于1.35,則采用波長為340380nm的激光時,感度過強,像素形狀有可能變差。進一步優(yōu)選為1.25以下。特別優(yōu)選為1.15以下。(光聚合引發(fā)劑)作為光聚合引發(fā)劑,可以采用4-苯氧基二氯苯乙酮、4-叔丁基-二氯苯乙酮、二乙氧基苯乙酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙垸-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙垸-l-酮、2-芐基-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-l-酮等苯乙酮類光聚合引發(fā)劑;苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶酰二甲縮酮等苯偶姻類光聚合引發(fā)劑;二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、羥基二苯甲酮、丙烯?;郊淄?-苯甲?;?4'-甲基二苯基硫化物等二苯甲酮類光聚合引發(fā)劑;噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2,4-二異丙基噻噸酮等噻噸酮類光聚合引發(fā)劑;2,4,6-三氯-s-三嗪、2-苯基-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對甲氧基苯基)-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對甲苯基)-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-胡椒基-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-苯乙烯基-s-三嗪、2-(萘-l-基)-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基_萘小基)_4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2,4-三氯甲基-(胡椒基)-6-三嗪、2,4-三氯甲基(4,-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪等三嗪類光聚合引發(fā)劑;1-[4-(苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-乙酸酯、1-[4-(2-甲基苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-乙酸酯、l匿[4-(2,4,6-三甲基苯硫基)苯基]-辛垸-l-酮-2-酮肟-0-乙酸酯、1-[4-(2-乙基苯硫基)苯基]-辛烷-1-酮-2-酮肟-O-乙酸酯、1-[4-(苯硫基)苯基]-辛垸-l-酮-2-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[4-(2-甲基苯硫基)苯基]-辛垸-l-酮-2-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[4-(2,4,6-三甲基苯硫基)苯基]-辛垸-l-酮-2-酮后-0-苯甲酸酯、1-[4-(2-乙基苯硫基)苯基]-辛垸-l-酮-2-酮月虧-0-苯甲酸酯、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基-、2-(O-苯甲酰躬)]、l-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H,咔唑-3-基]-辛垸-l-酮肟-0-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9凡-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(2,4,6-三甲基苯甲?;?-9,H,咔唑-3-蜀-乙烷-l-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-正丁基-6-(2-乙基苯甲?;?AH,咔唑-3-基]-乙垸-l-酮肟-O-苯甲酸酯、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-姐-咔唑-3-基]-,l-(O-乙酰肟)等肟酯類光聚合引發(fā)劑;硼酸鹽類光聚合引發(fā)劑、咔唑類光聚合引發(fā)劑、?;⒀趸镱惞饩酆弦l(fā)劑、咪唑類光聚合引發(fā)劑等。光聚合引發(fā)劑可以單獨使用l種,也可以2種以上混合使用。從提高感度的觀點出發(fā),上述光聚合引發(fā)劑中優(yōu)選肟酯類光引發(fā)劑。肟酯類光聚合引發(fā)劑通過吸收紫外線,引起肟的N-O鍵的裂解,產生亞胺基自由基與苯甲酰氧基自由基或烷氧基自由基。這些自由基通過進一步分解,生成活性高的自由基,因此可以以較少的曝光量來形成圖案。光聚合引發(fā)劑的含量,相對于顏料100重量份,優(yōu)選為5200重量份。若少于5重量份,則即使在使用了波長為340380nm的激光的情況下,感度也不理想,為了彌補這點,必須提高曝光能量(強度或時間),可能會導致像素粗糙。進一步優(yōu)選為10重量份以上。另一方面,若多于200重量份,則采用波長為340380nm的激光時,感度過強,存在像素的直線性下降或者像素的截面形狀惡化的可能性。更優(yōu)選為150重量份以下。此外,光聚合引發(fā)劑的重量(I)相對于具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體13的重量(M)的比(I/M)優(yōu)選為0.201.00。若I/M小于0.20,則即使在使用了波長為340380nrn的激光的情況下,感度也不理想,產生像素剝離的可能性高,為了彌補這點,必須提高曝光能量(強度或時間),可能會導致像素粗糙。進一步優(yōu)選為0.25以上,特別優(yōu)選為0.30以上。另一方面,若I/M大于1.00,則采用波長為340380nm的激光時,感度過強,存在像素形狀惡化的可能性。更優(yōu)選為0.90以下,特別優(yōu)選為0.80以下。在上述光聚合引發(fā)劑中可以并用增感劑,作為增感劑,可以列舉三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸異戊酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4,-二(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4,-二(二乙基氨基)二苯甲酮、4,4,-二(乙基甲基氨基)二苯甲酮等胺類化合物。這些增感劑可以單獨使用1種,或2種以上混合使用。增感劑的含量優(yōu)選相對于光聚合引發(fā)劑100重量份為0.160重量份。(多官能硫醇)'本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物可以含有多官能硫醇。作為多官能硫醇,只要是具有2個以上硫醇(SH)基的化合物即可。多官能硫醇通過與上述光聚合引發(fā)劑一起使用,在光照射后的自由基聚合過程中,作為鏈轉移劑起作用,產生不易受到由氧引起的阻聚的硫自由基,因此得到的著色組合物為高感度。特別優(yōu)選SH基與亞甲基、亞乙基等脂肪族基團結合而成的多官能脂肪族硫醇。例如,可以列舉己二硫醇、癸二硫醇、1,4-丁二醇二硫代丙酸酯、1,4-丁二醇二硫代乙醇酸酯、乙二醇二硫代乙醇酸酯、乙二醇二硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三(3-巰基丁酸酯)、季戊四醇四硫代乙醇酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、三巰基丙酸三(2-羥乙基)異氰脲酸酯、1,4-二甲基巰基苯、2,4,6-三巰基-s-三嗪、2-(N,N-二丁基氨基)-4,6-二巰基-s-三嗪等,優(yōu)選可以列舉乙二醇二硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯。這些多官能硫醇可以單獨使用1種,也可以2種以上混合使用。多官能硫醇的含量優(yōu)選相對于顏料100重量份為0.05100重量份,進一步優(yōu)選為1.050.0重量份。即使在使用波長為340380nm的激光的情況下,若不足0.05重量份,則鏈轉移劑的效果小,即使多于IOO重量份,不僅聚合引發(fā)功能不會提高,而且顯影性、密合性等也不充分。當對波長為310380nm的區(qū)域的光有強吸收的藍色顏料與上述肟酯類光引發(fā)劑和多官能硫醇組合的情況下,在波長為340380nm的激光曝光方式中,有時能得到高感度且不會產生涂膜表面皺紋的濾波器節(jié)。此時,使用的肟酯類光聚合引發(fā)劑優(yōu)選為下述式(1)或(2)所示的化合物。式(1)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>[式(1)和式(2)中,X廣X6表示氫原子、碳原子數(shù)為112的環(huán)狀、直鏈狀或支鏈狀的烷基、或苯基,各烷基和苯基可以被選自卣原子、碳原子數(shù)為16的垸氧基和苯基中的取代基取代。]作為本發(fā)明的式(1)的優(yōu)選化合物的具體例子,可以列舉出1-[4-(苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-乙酸酯、1-[4-(2-甲基苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-乙酸酯、1-[4-(2,4,6-三甲基苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-乙酸酯、1-[4-(2-乙基苯硫基)苯基]-辛浣-l-酮-2-酮肟-0-乙酸酯、1-[4-(苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[4-(2-甲基苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[4-(2,4,6-三甲基苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[4-(2-乙基苯硫基)苯基]-辛烷-l-酮-2-酮肟-0-苯甲酸酯、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基-、2-(O-苯甲酰肟)]等。此外,作為本發(fā)明的式(2)的優(yōu)選化合物的具體例子,可以列舉1-[9-乙基-6-苯甲?;?9.H,咔唑-3-基]-辛烷-l-酮肟-0-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9丑-咔唑-3-基]-乙垸-1-酮肟-0-苯甲酸酉旨、1-[9-乙基-6-(2,4,6-三甲基苯甲?;?-9丑-咔唑-3-基]-乙垸-1-酮肟-0-苯甲酸酯、l-[9-正丁基-6-(2-乙基苯甲?;?-9凡-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-0-苯甲酸酯、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9&咔唑-3-基]-,1-(O-乙酰肟)等。這些肟酯類光聚合引發(fā)劑中,特別優(yōu)選1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基-、2-(O-苯甲酰肟)]、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-犯-咔唑-3-基]-,1-(O-乙酰肟)等。本發(fā)明中,肟酯類光聚合引發(fā)劑還可以與1種或2種以上其他的光聚合引發(fā)劑混合使用。(阻聚劑)在本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物中可以含有阻聚劑。阻聚劑一般作為穩(wěn)定化劑用于防止組合物的凝膠化等,但是,本發(fā)明中,除上述目的以外,還用于防止在曝光時由掩模的衍射光引起的感光。掩模衍射光引起的感光所帶來的不良現(xiàn)象有像素的截面形狀變?yōu)閼掖剐?,在圖案邊緣部發(fā)生缺陷,錐體部分過長。作為感光性著色組合物中使用的阻聚劑,可以列舉出兒茶酚;間苯二酚;1,4-氫醌;2-甲基兒茶酚、3-甲基兒茶酚、4-甲基兒茶酚、2-乙基兒-乙基兒茶酚、2-丙基兒茶酚、3-丙基兒茶酚、4-丙基兒茶酚、2-正丁基兒茶酚、3-正丁基兒茶酚、4-正丁基兒茶酚、2-叔丁基兒茶酚、3-叔丁基兒茶酚、4-叔丁基兒茶酚、3,5-二叔丁基兒茶酚等烷基兒茶酚類化合物;2-甲基間苯二酚、4-甲基間苯二酚、2-乙基間苯二酚、4-乙基間苯二酚、2-丙基間苯二酚、4-丙基間苯二酚、2-正丁基間苯二酚、4-正丁基間苯二酚、2-叔丁基間苯二酚、4-叔丁基間苯二酚等烷基間苯二酚類化合物;甲基氫醌、乙基氫醌、丙基氫醌、叔丁基氫醌、2,5-二叔丁基氫醌等垸基氫醌類化合物;三丁基膦、三辛基膦、三環(huán)己基膦、三苯基膦、三芐基膦等膦化合物、三辛基膦氧化物、三苯基膦氧化物等膦氧化物化合物;三苯基磷酸酯、三壬基苯基磷酸酯等磷酸酯化合物;鄰苯三酚;間苯三酚等。當采用波長為340380nm的激光時,上述阻聚劑中優(yōu)選使用兒茶酚、間苯二酚、1,4-氫醌和烷基兒茶酚類化合物、烷基間苯二酚類化合物、烷基氫醌類化合物。特別優(yōu)選l,4-氫醌和烷基氫醌類化合物。它們以外的阻聚劑有時得不到所希望的效果。上述阻聚劑可以單獨使用1種,也可以2種以上混合使用。阻聚劑的含量優(yōu)選相對于感光性組合物的去除溶劑后的重量100重量份為0.010.4重量份。若少于0.01重量份,則當使用波長為340380nm的激光時,有時得不到防止衍射光引起的感光的效果。進一步優(yōu)選為0.05重量份以上。另一方面,若多于0.4重量份,則當使用波長為340380nm的激光時,有時感光性組合物的感度會下降。進一步優(yōu)選為0.3重量份以下。阻聚劑通??梢栽谑惺鄣耐该鳂渲蛳╂I式不飽和單體中微量地含有,但在本發(fā)明中,除了在市售的透明樹脂或烯鍵式不飽和單體中所含的阻聚劑之外,還含有上述阻聚劑。因此,這里所說的上述阻聚劑的重量是指,除去為賦予穩(wěn)定性而在市售的上述透明樹脂或烯鍵式不飽和單體中含有的化合物后的重量。(任意成分)在本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物中,可以含有儲藏穩(wěn)定劑以使組合物的經(jīng)時粘度穩(wěn)定。另外,為了提高與透明基板的密合性,還可以含有硅垸偶聯(lián)劑等密合提高劑。17作為儲藏穩(wěn)定劑,例如可以列舉出芐基三甲基氯化物、二乙基羥基胺等的季銨氯化物、乳酸、草酸等有機酸及其甲基醚、叔丁基焦兒茶酚、四乙基膦、四苯基膦等有機膦、亞磷酸鹽等。儲藏穩(wěn)定劑可以按相對于著色組合物中的顏料100重量份為0.110重量份的量使用。作為硅垸偶聯(lián)劑,可以列舉出乙烯基三(p-甲氧基乙氧基)硅烷、乙烯基乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅垸等乙烯基硅烷類、Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸等(甲基)丙烯酰基硅烷類、P-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、|3-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)甲基三甲氧基硅垸、|3-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三乙氧基硅烷、p-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)甲基三乙氧基硅垸、Y-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸、Y-環(huán)氧丙氧基丙基三乙氧基硅垸等環(huán)氧基硅垸類、N-p(氨乙基)Y-氨丙基三甲氧基硅烷、N-p(氨乙基)Y-氨丙基三乙氧基硅烷、N-J3(氨乙基)Y-氨丙基甲基二乙氧基硅烷、Y-氨丙基三乙氧基硅垸、,氨丙基三甲氧基硅烷、N-苯基-Y-氨丙基三甲氧基硅垸、N-苯基-Y-氨丙基三乙氧基硅烷等氨基硅烷類、Y-巰基丙基三甲氧基硅烷、Y-巰基丙基三乙氧基硅垸等硫代硅烷類等。硅烷偶聯(lián)劑相對于著色組合物中的顏料100重量份,按0.0110重量份、優(yōu)選按0.055重量份的量使用。在本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物中,為了容易地使顏料在組合物中充分分散、從而在玻璃基板等透明基板上按干燥膜厚為0.25pm的方式進行涂布來形成濾波器節(jié)或黑色矩陣,可以含有溶劑。作為溶劑,例如可以列舉出1,2,3-三氯丙烷、1,3-丁烷二醇、1,3-丁二醇、1,3-丁二醇二乙酸酯、1,4-二噁垸、2-庚酮、2-甲基-l,3-丙烷二醇、3,5,5-三甲基-2-環(huán)己烯-l-酮、3,5,5-三甲基環(huán)己酮、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲基-l,3-丁二醇、3-甲氧基-3-甲基-l-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁基乙酸酯、3-甲氧基丁醇、3-甲氧基丁基乙酸酯、4-庚酮、間二甲苯、間二乙基苯、間二氯苯、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、正丁醇、正丁基苯、正丙基乙酸酯、N-甲基吡咯垸酮、鄰二甲苯、鄰氯甲苯、鄰二乙基苯、鄰二氯苯、對氯甲苯、對二乙基苯、仲丁基苯、叔丁基苯、"丁內酯、異丁醇、異佛爾酮、乙二醇二乙基醚、乙二醇二丁基醚、乙二醇單異丙基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚乙酸酯、乙二醇單叔丁基醚、乙二醇單丁基醚、乙二醇單丁基醚乙酸酯、乙二醇單丙基醚、乙二醇單己基醚、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚乙酸酯、二異丁基酮、二甘醇二乙基醚、二甘醇二甲基醚、二甘醇單異丙基醚、二甘醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇單丁基醚、二甘醇單丁基醚乙酸酯、二甘醇單甲基醚、環(huán)己醇、環(huán)己醇乙酸酯、環(huán)己酮、二丙二醇二甲基醚、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二丙二醇單乙基醚、二丙二醇單丁基醚、二丙二醇單丙基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙酮醇、甘油三乙酸酯、三丙二醇單丁基醚、三丙二醇單甲基醚、丙二醇二乙酸酯、丙二醇苯基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單丁基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚丙酸酯、芐醇、甲基異丁基酮、甲基環(huán)己醇、乙酸正戊酯、乙酸正丁酯、乙酸異戊酯、乙酸異丁酯、乙酸丙酯、二元酸酯等,它們可以單獨使用或混合使用。在透明樹脂中分散顏料時,可以適當使用表面活性劑、樹脂型顏料分散劑、色素衍生物等分散劑。分散劑由于適合顏料的分散、防止分散后的顏料再凝集的效果大,因此當采用使用分散劑將顏料分散到透明樹脂和有機溶劑中而得到的著色組合物時,能得到透明性優(yōu)異的濾色器。顏料分散劑按相對于著色組合物中的顏料100重量份為0.140重量份、優(yōu)選為0.130重量份的量使用。作為表面活性劑,例如可以列舉出聚氧乙烯烷基醚硫酸鹽、十二垸基苯磺酸鈉、苯乙烯-丙烯酸共聚物的堿鹽、烷基萘磺酸鈉、垸基二苯基醚二磺酸鈉、月桂基硫酸單乙醇胺、月桂基硫酸三乙醇胺、月桂基硫酸銨、硬脂酸單乙醇胺、硬脂酸鈉、月桂基硫酸鈉、苯乙烯-丙烯酸共聚物的單乙醇胺、聚氧乙烯烷基醚磷酸酯等陰離子型表面活性劑;聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚氧乙烯垸基醚磷酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐單硬脂酸酯、聚乙二醇單月桂酸酯等非離子型表面活性劑;垸基季銨鹽或它們的環(huán)氧乙烷加成物等陽離子型表面活性劑;垸基二甲基氨基乙酸甜菜堿等烷基甜菜堿、烷基咪唑啉等兩性表面活性劑、或者氟類或硅酮類表面活性劑。樹脂型顏料分散劑是包含具有吸附于顏料的性質的顏料親和性部位和與透明樹脂具有相容性的部位的樹脂,起到吸附于顏料使顏料在透明樹脂中穩(wěn)定分散的作用。作為樹脂型顏料分散劑,具體可以采用聚氨酯、聚丙烯酸酯等聚羧酸酯、不飽和聚酰胺、聚羧酸、聚羧酸(部分)胺鹽、聚羧酸銨鹽、聚羧酸烷基胺鹽、聚硅氧烷、長鏈聚氨基酰胺磷酸鹽、含羥基的聚羧酸酯或它們的改性物、聚(低級烷撐亞胺)與具有游離的羧基的聚酯反應形成的酰胺或其鹽等油性分散劑、(甲基)丙烯酸-苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸-(甲基)丙烯酸酯共聚物、苯乙烯-馬來酸共聚物、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯垸酮等水溶性樹脂或水溶性高分子化合物、聚酯類、改性聚丙烯酸酯類、環(huán)氧乙垸/環(huán)氧丙烷加成化合物、磷酸酯類等,它們可以單獨使用或2種以上混合使用。作為市售的樹脂型顏料分散劑,可以列舉BYKChemie公司制的Disperbyk-101、103、107、108、110、111、116、130、140、154、161、162、163、164、165、166、170、171、174、180、181、182、183、184、185、190、2000、2001、或Anti-Terra-U、203、204、或BYK-P104、P104S、220S、或Lactimon、Lactimon-WS或Bykumen等、日本Lubrizol公司制的SOLSPERSE-3000、9000、13240、13650、13940、17000、18000、20000、21000、24000、26000、27000、28000、31845、32000、32500、32600、34750、36600、38500、41000、41090、53095等、EfkaChemicals公司制的EFKA-46、47、48、452、LP4008、4009、LP4010、LP4050、LP4055、400、401、402、403、450、451、453、4540、4550、LP4560、120、150、1501、1502、1503等。色素衍生物是在有機色素中導入了取代基而得到的化合物。這樣的有機色素還包含一般不被稱為色素的萘類、蒽醌類等淡黃色的芳香族多環(huán)化合物。作為色素衍生物,可以使用在日本特開昭63-305173號公報、日本特公昭57-15620號公報、日本特公昭59-40172號公報、日本特公昭63-17102號公報、日本特公平5-9469號公報等中記載的化合物,它們可以單獨使用或2種以上混合使用。(著色組合物的制造方法)本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物可以通過如下方法來制造使用三輥磨、雙輥磨、砂磨、捏合機、磨碎機等各種分散裝置,將顏料以及根據(jù)需要而使用的上述顏料分散劑在透明樹脂和有機溶劑中微細地分散,添加光聚合引發(fā)劑,即可制造本發(fā)明的第1實施方式的著色組合物。此外,含有2種以上色素的著色組合物可以通過將各種色素分別微細地分散在透明樹脂和有機溶劑中而得到的物質混合來制造。對著色組合物,優(yōu)選使用離心分離、燒結過濾器、膜濾器等裝置,除去5(im以上的粗大粒子、優(yōu)選為l|im以上的粗大粒子、更優(yōu)選為0.5pm以上的粗大粒子以及混入的塵埃。接著,對使用了上述說明的著色組合物的本發(fā)明第2實施方式的濾色器的制造方法進行說明。本發(fā)明的第2實施方式的濾色器的制造方法包含在基板上使用上述著色組合物來形成著色涂膜的工序;對形成上述著色涂膜的濾波器節(jié)或黑色矩陣的部分照射波長為340380nrn的激光而使其固化的工序;去除上述著色涂膜的未固化部分而形成濾波器節(jié)或黑色矩陣的工序。根據(jù)上述濾色器的制造方法,通過短時間照射特定波長的激光,使感光性著色組合物在極短時間內固化,從而能使用小的光掩模或不使用光掩模,以低成本形成形狀優(yōu)異的濾波器節(jié)。以下,對本實施方式的濾色器的制造方法的各工序進行說明。(著色涂膜形成工序)在著色涂膜形成工序中,采用旋涂法或模涂法來涂布本發(fā)明的著色組合物,根據(jù)需要去除多余的溶劑,在基板上形成著色涂膜。作為濾色器的基板,采用對可見光的透射率高的鈉鈣玻璃(soda-limeglass)、低堿硼硅酸玻璃、無堿鋁硼硅酸玻璃等玻璃板、或聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯等樹脂板。另外,為了驅動面板化后的液晶,可以在玻璃板或樹脂板的表面形成由氧化銦、氧化錫等形成的透明電極。(曝光、固化工序)在曝光、固化工序中,對上述著色涂膜的成為濾波器節(jié)或黑色矩陣的部分,照射波長為340380nm的激光而使其固化。具體而言,對形成于大尺寸的基板上的著色涂膜,隔著比基板小的光掩模照射激光,使上述著色涂膜的成為濾波器節(jié)或黑色矩陣的部分固化。激光的波長優(yōu)選為340380nm。若采用比340nm短的波長的激光,21則光的能量過高,可能會引起涂膜的分解。此外,若采用比380nm長的波長的激光,則光的能量過小,根據(jù)涂膜的效果,需要長時間的曝光,因此生產率下降。具有340380nm的波長的激光光源中,在固體(YAG)激光的情況下,則采用343nm、355nm,在準分子激光的情況下,則采用351nm(XeF),在半導體激光的情況下,則采用375nm。其中,從穩(wěn)定性、成本等觀點出發(fā),優(yōu)選355nm。激光可以1次或分多次照射著色涂膜。關于著色涂膜,必須賦予不會使膜分解的程度的較弱的能量來使其固化。本發(fā)明使用的激光的每1脈沖的能量密度優(yōu)選為0.1mJ/cm2以上且10000mJ/cn^以下。為了使涂膜充分固化,進一步優(yōu)選為0.3mJ/cm2以上,最優(yōu)選為0.5mJ/ci^以上,為了避免因燒蝕現(xiàn)象引起著色涂膜分解,進一步優(yōu)選為1000mJ/cm2以下,最優(yōu)選為100mJ/cm2以下。此外,脈寬優(yōu)選為0.1nsec以上且30000nsec以下。為了避免因燒蝕現(xiàn)象引起著色涂膜分解,進一步優(yōu)選為0.5nsec以上,最優(yōu)選為lnsec以上,為了在掃描曝光時提高精度,進一步優(yōu)選為1000nsec以下,最優(yōu)選為5nsec以上。激光的頻率優(yōu)選為1Hz以上且50000Hz以下。為了縮短曝光處理時間,進一步優(yōu)選為10Hz以上,最優(yōu)選為100Hz以上,為了在掃描曝光時提高精度,進一步優(yōu)選為10000Hz以下,最優(yōu)選為1000Hz以下。(未固化部分的去除工序)在未固化部分的去除工序中,去除上述著色涂膜的未固化部分而形成濾波器節(jié)或黑色矩陣。在去除未固化部分時,作為堿顯影液,使用碳酸鈉、氫氧化鈉等的水溶液,也可以使用二甲基芐基胺、三乙醇胺等有機堿。另外,在顯影液中還可以添加消泡劑或表面活性劑。作為顯影處理方法,可以采用噴淋顯影法、噴霧顯影法、浸漬顯影法、浸潤(puddle,水坑)顯影法等。(顯影后曝光工序)在本發(fā)明的第2實施方式的濾色器的制造方法中,根據(jù)需要,在顯影后,可以從基板的涂膜面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊闹辽僖粋冗M行曝光。在以顯影為目的的曝光、固化工序中,有時即使涂膜表面已充分固化,涂膜內部依然是未固化的狀態(tài),因此若在顯影后進行加熱燒結,則涂膜與基板的密合性會22下降,或會在涂膜表面產生皺紋。在藍色著色涂膜的情況下,由于藍色顏料對在以顯影為目的的曝光中使用的激光的吸收特別強,因此該傾向特別明顯。該現(xiàn)象可以通過在顯影后從基板的涂膜面?zhèn)群?或背面?zhèn)冗M行曝光來促進涂膜內部的固化而消除。在顯影后從基板的涂膜面?zhèn)群?或背面?zhèn)鹊钠毓夤ば蚴菑幕宓耐磕っ鎮(zhèn)然虮趁鎮(zhèn)日丈浠钚阅芰烤€來促進著色涂膜底部的固化的工序。作為活性能量線,可以使用電子射線、紫外線、400500nm的可見光以及上述各種激光。電子射線的線源可以使用熱電子放射槍、電場放射槍等,紫外線以及400500nm的可見光的線源(光源)例如可以使用高壓汞燈、超高壓汞燈、金鹵燈、鎵燈、氙燈、碳弧燈等。若使用對著色涂膜的透射率高的波長的能量線作為活性能量線,則對涂膜內部的固化特別有效。此外,關于活性能量線的照射,不限于從基板的涂膜面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊囊粋冗M行照射,還可以從基板的涂膜面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊膬擅孢M行。當從兩面進行時,可以從兩面同時進行,但是,也可以先從表面進行,然后再從背面進行,或先從背面進行,然后再從表面進行。本發(fā)明的第3實施方式的濾色器是采用本發(fā)明的第2實施方式的濾色器的制造方法來制造的,該濾色器具備黑色矩陣和/或至少1種顏色以上的濾波器節(jié),黑色矩陣和/或至少1種顏色以上的濾波器節(jié)在基板上由上述著色組合物形成。濾波器節(jié)的顏色可以從紅色、綠色、藍色、黃色、紫色、品紅色、青色、橙色等中選擇26種顏色左右。還可以形成同色系的顏色但濃度不同的濾波器節(jié)。這樣的濾色器品質高,價廉,能適用于液晶顯示裝置等。實施例以下,用實施例更詳細地說明本發(fā)明,但本發(fā)明只要不超出其主旨即可,不限于以下的實施例。另外,在實施例和比較例中,"份"和"%"分別意味著"重量份"和"重量%"。首先,對實施例和比較例中使用的非感光性樹脂溶液、感光性樹脂溶液以及顏料分散體的制備進行說明。樹脂的分子量是由GPC(凝膠滲透色譜法)測得的聚苯乙烯換算的重均分子量。(丙烯酸樹脂溶液的合成例)在反應容器中裝入環(huán)己酮370份,一邊向容器中注入氮氣一邊加熱至80°C,在同一溫度下,將甲基丙烯酸20.0份、甲基丙烯酸甲酯10.0份、甲基丙烯酸正丁酯55.0份、甲基丙烯酸2-羥乙酯15.0份、2,2'-偶氮二異丁腈4、0份的混合物用1小時進行滴加,進行聚合反應。滴加結束后,再在8(TC下反應3小時,然后添加在環(huán)己酮50份中溶解偶氮二異丁腈1.0份而得到的溶液,再在8(TC下繼續(xù)反應1小時,得到丙烯酸樹脂溶液。冷卻至室溫后,取丙烯酸樹脂溶液約2g作為樣品,在18(TC下加熱干燥20分鐘,測定不揮發(fā)成分,在己合成的丙烯酸樹脂溶液中添加環(huán)己酮使不揮發(fā)成分為20重量%,制備丙烯酸樹脂溶液。得到的丙烯酸樹脂的重均分子量Mw為40000。(顏料分散體的制備)將下述表1所示組成的混合物均勻地攪拌混合,使用直徑為lmm的玻璃珠,用砂磨機分散5小時后,用5pm的過濾器過濾,制備紅色顏料分散體R-l、綠色顏料分散體G-l、藍色顏料分散體B-l以及黑色顏料分散體BM-1。<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>PR254:二酮基吡咯并吡咯類顏料(C丄顏料紅254)(汽巴日本公司制"^T/i^f:7才一l^;/KB-CF")PR177:蒽醌類顏料(C.I.顏料紅177)(汽巴日本公司制"CromophtalRedA2B")PG36:鹵化酮酞菁類顏料(C.I.顏料綠36)(東洋油墨制造公司制"D才乂一少夕、']J一y6YK")PB15:6:S型銅酞菁顏料(C丄顏料藍15:6)(BASF制"U才^y:Z/l^—L-6700F")PY150:鎳偶氮絡合物類顏料(C.I.顏料黃150)(朗盛公司制"E4GN")CB:炭黑(C.I.顏料黑7)(三菱化學公司制"MA11")顏料分散劑日本Lubrizol公司制"Solsperse20000"丙烯酸樹脂溶液已制備的丙烯酸樹脂溶液溶劑環(huán)己酮將含有已制備的顏料分散體R-1、G-l、B-l、BM-1的、下述表2和表3所示的處方的混合物攪拌混合均勻后,用lpm的過濾器過濾,得到各顏色的著色組合物。<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>顏料分散體已制備的顏料分散體丙烯酸樹脂溶液已制備的丙烯酸樹脂溶液光聚合引發(fā)劑下述表4所示的光聚合引發(fā)劑單體下述表5所示的單體多官能硫醇三羥甲基丙垸三硫代丙酸酯阻聚劑1%溶液甲基氫醌(精工化學公司制"MH")1重量%環(huán)己酮溶液有機溶劑環(huán)己酮<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table>用旋涂器將得到的各色著色組合物以約2pm的厚度涂布到10cmX10cm的玻璃基板上,在70'C的烘箱內靜置15分鐘,干燥除去剩余的溶劑。然后,介由距離著色組合物涂膜為150pm的間隔,設置光掩模,濾波器節(jié)的情況下為lOOpm的條狀光掩模,黑色矩陣的情況下為20pm的條狀光掩模,照射下述表6所示的光源。另外,曝光量采用Coherent公司制的"3sigma(本體)PS-10(傳感頭)"來測定。此外,利用由2%的碳酸鈉水溶液形成的顯影液進行噴霧顯影,除去未曝光部分后,用離子交換水洗滌。<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>[顯影后曝光、固化工序]然后,對一部分的實施例,從基板的涂膜面?zhèn)然虮趁鎮(zhèn)认蚧逭丈渖鲜霰?所示的光源,進行顯影后的曝光、固化。此時,關于從涂膜面?zhèn)鹊钠毓?,以各波長下的曝光量為100mJ/cii^進行照射。關于從背面的曝光,以各波長下的曝光量為5mJ/cm2進行照射。曝光、固化工序的有無、曝光光源以及曝光面如下述表710所示。然后,將該基板在23(TC下加熱30分鐘,形成實施例132和比較例114的各色濾波器節(jié)(紅、綠、藍)和黑色矩陣(黑)。對實施例和比較例中得到的著色組合物,用下述方法評價感度、圖案形狀。將上述實施例和比較例中得到的濾波器節(jié)或黑色矩陣的圖案根據(jù)光掩模的圖像尺寸完成的照射曝光量作為抗蝕劑的感度。評價的級別如下所述。結果如下述表710所示。不足30mJ/cm2〇30mJ/cm2以上但不足60mJ/cm2△:60mJ/cm2以上但不足100mJ/cm2X:100mJ/cm2以上對于在通過上述實施例、比較例在按光掩模的像素尺寸完成的照射曝光量下形成的濾波器節(jié)或黑色矩陣的(1)直線性,使用光學顯微鏡進行觀察,對于(2)截面形狀,使用掃描型電子顯微鏡(SEM)進行觀察,按4個等級評價圖案形狀。評價標準如下。結果如表710所示。直線性〇直線性良好局部直線性不佳X:直線性不佳XX:幾乎沒有形成像素(2)截面形狀〇正錐形(截面為梯形,第一次曝光的面小)倒錐形(截面為梯形,第一次曝光的面大)X:雖然有像素,但很難判斷形狀XX:幾乎沒有形成像素[涂膜表面剝離&涂膜表面鈹紋]使用光學顯微鏡觀察各色濾波器節(jié)或黑色矩陣的(1)涂膜表面剝離和(2)涂膜表面皺紋。評價標準如下,結果如下述表710所示。(1)涂膜表面剝離〇不發(fā)生剝離局部發(fā)生剝離X-發(fā)生剝離(2)涂膜表面鈹紋〇不產生皺紋局部產生皺紋X:產生皺紋[與基板的密合性]使用高壓鍋試驗器,在120'C、100%RH、2個大氣壓的條件下放置50小時后,通過根據(jù)JISK5400的劃格粘附性試驗法,評價實施例2532和比較例1214的黑色矩陣的密合性,測定劃格100個中的剝離個數(shù)。評價標準如下,結果如下述表10所示。〇IOO個中的剝離個數(shù)為0個△:IOO個中的剝離個數(shù)為1個以上但不足10個X:IOO個中的剝離個數(shù)為IO個以上30<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>表8<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>如上述表710所示,實施例132的著色組合物雖然因處方不同而多少有些差異,但感度、圖案形狀(直線性、截面形狀)、涂膜表面剝離、涂膜表面皺紋的評價結果均不影響實際應用。另外,關于黑色矩陣與基板的密合性,在具有顯影后固化工序的情況下結果好。另一方面,比較例1和比較例2的著色組合物由于具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的重量(M)相對于透明樹脂的重量(P)的比(M/P)在0.12以上且1.35以下的范圍外,且比較例314由于光源不采用波長為340380nm的激光,而是采用波長為308nm的準分子激光、405nm的半導體激光以及超高壓汞燈,因此在感度、圖案形狀(直線性、截面形狀)、涂膜表面剝離、涂膜表面皺紋的任一方面均不佳,得不到各方面均良好的濾波器節(jié)和黑色矩陣。權利要求1、一種著色組合物,其特征在于,其是在下述濾色器的制造方法中使用的著色組合物,該濾色器的制造方法具備以下工序在基板上使用著色組合物來形成著色涂膜的工序;對所述著色涂膜的成為濾波器節(jié)或黑色矩陣的部分照射波長為340~380nm的激光使該部分固化的工序;去除所述著色涂膜的未固化部分而形成濾波器節(jié)或黑色矩陣的工序,該著色組合物含有顏料、透明樹脂、具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體和光聚合引發(fā)劑,且具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的重量(M)相對于所述透明樹脂的重量(P)的比(M/P)在0.12以上且1.35以下的范圍。2、根據(jù)權利要求1所述的著色組合物,其特征在于,激光光源是波長為343nm的固體(YAG)激光、351nm(XeF)準分子激光、355nm的固體(YAG)激光、或375nm的半導體激光中的任一種激光光源。3、根據(jù)權利要求1所述的著色組合物,其特征在于,光聚合引發(fā)劑的重量(I)相對于具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的重量(M)的比(I/M)在0.20以上且l.OO以下的范圍。4、根據(jù)權利要求1所述的著色組合物,其特征在于,還含有阻聚劑。5、根據(jù)權利要求4所述的著色組合物,其于,阻聚劑是1,4-氫醌和/或烷基氫醌類化合物。6、根據(jù)權利要求1所述的著色組合物,其特征在于,顏料是藍色顏料,光聚合引發(fā)劑是肟酯類光聚合弓I發(fā)劑,且該著色組合物還含有多官能硫醇。7、根據(jù)權利要求6所述的著色組合物,其特征在于,肟酯類光聚合引發(fā)劑是下述式(1)或(2)所示的化合物,<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式(1)和式(2)中,X!X6表示氫原子、碳原子數(shù)為112的環(huán)狀、直鏈狀或支鏈狀的烷基、或者苯基,各烷基和苯基可以被選自鹵原子、碳原子數(shù)為16的垸氧基或苯基中的取代基取代。8、根據(jù)權利要求l所述的著色組合物,其特征在于,所述具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體是具有6個以上烯鍵式不飽和雙鍵的多官能單體。9、一種濾色器的制造方法,其特征在于,具備以下工序在基板上使用權利要求1所述的著色組合物來形成著色涂膜的工序;對所述著色涂膜的濾波器節(jié)或黑色矩陣的形成預定區(qū)域照射波長為340380nm的激光使該形成預定區(qū)域固化的工序;去除所述著色涂膜的未固化部分而形成濾波器節(jié)或黑色矩陣的工序。10、根據(jù)權利要求9所述的濾色器的制造方法,其特征在于,所述形成濾波器節(jié)或黑色矩陣的工序具備如下工序在去除著色涂膜的未固化部分后,進一步從基板的著色涂膜面?zhèn)然虮趁鎮(zhèn)葘逭丈浠钚阅芰烤€。11、根據(jù)權利要求9所述的濾色器的制造方法,其特征在于,所述激光的每1脈沖的能量密度為0.1mJ/cn^以上且10000mJ/cm2以下,脈寬為O.lnsec以上且30000nsec以下。12、根據(jù)權利要求9所述的濾色器的制造方法,其特征在于,所述激光的頻率為1Hz以上且50000Hz以下。13、一種濾色器,其特征在于,具備黑色矩陣和/或至少l種顏色以上的濾波器節(jié),該黑色矩陣和/或至少1種顏色以上的濾波器節(jié)由權利要求912中任一項所述的方法形成。全文摘要本發(fā)明提供了一種在下述濾色器的制造方法中使用的著色組合物,該濾色器的制造方法具備以下工序在基板上使用著色組合物來形成著色涂膜的工序;對上述著色涂膜的成為濾波器節(jié)或黑色矩陣的部分照射波長為340~380nm的激光使其固化的工序;去除上述著色涂膜的未固化部分而形成濾波器節(jié)或黑色矩陣的工序。該著色組合物含有顏料、透明樹脂、具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體和光聚合引發(fā)劑,且具有烯鍵式不飽和雙鍵的單體的重量(M)相對于上述透明樹脂的重量(P)的比(M/P)在0.12以上且1.35以下的范圍。文檔編號G02B5/20GK101681102SQ200880016849公開日2010年3月24日申請日期2008年12月16日優(yōu)先權日2007年12月19日發(fā)明者佐藤梓實,原田元氣,宮村護嗣,巖崎真理,池田武司,田中英世,砂原建朗,重森勛,青木英士,飯?zhí)镌=樯暾埲?東洋油墨制造株式會社;凸版印刷株式會社