專利名稱：光波導(dǎo)及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有高分辨率芯圖形的光波導(dǎo)以及制造該光波導(dǎo)的方法。
背景技術(shù)：
為了應(yīng)對(duì)伴隨著因特網(wǎng)、LAN (Local Area Network 局域網(wǎng))的普及所帶來(lái)的信息 容量的增大，不僅是中繼線和存取系統(tǒng)等通信領(lǐng)域，就是路由器、服務(wù)器裝置內(nèi)的主板間或 者主板內(nèi)的短距離信號(hào)傳送方面，也一直推進(jìn)著使用光信號(hào)的光互連技術(shù)的開發(fā)。作為此 時(shí)的光傳送通路，希望使用與光纖相比，配線的自由度高且能夠高密度化的光波導(dǎo)，其中， 使用了加工性、經(jīng)濟(jì)性優(yōu)異的聚合物材料的光波導(dǎo)是很有前途的。聚合物光波導(dǎo)，具體來(lái) 講，為了用于路由器、服務(wù)器裝置內(nèi)的基板間或者基板內(nèi)的光信號(hào)傳送，開發(fā)與電氣配線板 共存的光電混載基板，作為其制造方法，利用印刷電路板用抗蝕劑等的通常的曝光和顯影 方式在生產(chǎn)率、成本方面是有利的(例如，專利文獻(xiàn)1)?，F(xiàn)在，對(duì)于用于光電混載基板中的光波導(dǎo)，考慮到與市售的光元件陣列(具體來(lái) 講，有 VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser 垂直腔面發(fā)射激光器)陣列、 PD (Photo Diode:光電二極管)陣列)或者多芯扁帶光纖的結(jié)合，要求有250 μ m間距(線 寬與線間距為50 μ m 200 μ m)的配線密度。但是，考慮到今后光配線的高密度化的不斷發(fā)展，認(rèn)為上述250 μ m被窄間距化， 為與之相適應(yīng)，光配線也要求更進(jìn)一步的高分辨率化。專利文獻(xiàn)1 日本特開2004-20767號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題作為光電混載基板所使用的印刷電路板，為了高彈性模量、高耐熱的目的，適合含 有無(wú)機(jī)填充材料。但是，根據(jù)本發(fā)明人等的研究了解到，在使用含有無(wú)機(jī)填充材料的基板的情況下， 由無(wú)機(jī)填充材料造成曝光光線的散射和反射，對(duì)光波導(dǎo)的分辨率造成影響，這在光配線的 高密度化中是需要解決的技術(shù)問(wèn)題。圖1表示以往的光波導(dǎo)的制造過(guò)程的示意圖。光波導(dǎo)1是在含有無(wú)機(jī)填充材料2 的基板3之上層疊下部包層4，并在其上層疊芯層5而成。芯層5為形成所希望的芯圖形 6，而利用光掩模7，曝光紫外線8，由此，形成所希望的芯圖形。曝光時(shí)，紫外線中的一部分 通過(guò)基板中的無(wú)機(jī)填充材料2被反射，使得連本來(lái)不應(yīng)該曝光的部分都有一部分被曝光。 以往要求的配線密度是，線寬/線間距為50 μ m/200 μ m左右，因此，這樣的紫外線反射并未 造成問(wèn)題。但是，例如，在制作線寬/線間距為50 μ m/50 μ m這樣狹窄節(jié)距的光波導(dǎo)的情況 下，這些反射紫外線會(huì)造成較大影響，不能得到足夠的分辨率。鑒于以上問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種具有高分辨率的芯圖形的光波導(dǎo)以及 制造該光波導(dǎo)的方法。
解決問(wèn)題的手段本發(fā)明人等為解決上述技術(shù)問(wèn)題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)在基板上設(shè)置 特定厚度的紫外線吸收層，就能夠解決上述技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明基于這種認(rèn)識(shí)而完成。即，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案。(1) 一種光波導(dǎo)，其為在含有無(wú)機(jī)填充材料的樹脂基板上至少依次層疊有紫外線 吸收層、下部包層、圖形化的芯層以及上部包層的光波導(dǎo)，其特征在于，芯層的圖形化是通 過(guò)曝光和顯影來(lái)進(jìn)行的，并且，紫外線吸收層的厚度為10 50 μ m。(2)根據(jù)上述⑴所述的光波導(dǎo)，其中，前述紫外線吸收層通過(guò)感光性樹脂組合物 構(gòu)成，所述感光性樹脂組合物含有(A)具有羧基的熱塑性聚合物；(B)分子內(nèi)具有能聚合 的乙烯性不飽和基團(tuán)的光聚合性化合物；以及(C)光聚合引發(fā)劑。(3)根據(jù)上述(2)所述的光波導(dǎo)，其中，前述⑶光聚合性化合物包含含有乙烯性 不飽和基團(tuán)的氨基甲酸酯化合物。(4)根據(jù)上述(3)所述的光波導(dǎo)，其中，前述含有乙烯性不飽和基團(tuán)的氨基甲酸酯 化合物是使在兩末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化合物與含有羥基的乙烯性不飽和化 合物進(jìn)行反應(yīng)而得到的，并且，該兩末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化合物是使在兩末 端具有羥基的聚碳酸酯化合物和二異氰酸酯化合物進(jìn)行反應(yīng)而得到的。(5)根據(jù)上述(1) (4)中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)，其中，前述紫外線吸收層的在曝 光波長(zhǎng)下的紫外線透過(guò)率為50%以下。(6)根據(jù)上述(1) (5)中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)，其中，前述無(wú)機(jī)填充材料的含量 為15 75體積％。(7)根據(jù)上述⑴ (6)中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)，其中，前述無(wú)機(jī)填充材料是二氧化硅。(8) 一種光波導(dǎo)的制造方法，其具有在含有無(wú)機(jī)填充材料的樹脂基板上形成紫 外線吸收層的工序；在該紫外線吸收層上形成下部包層的工序；在下部包層上形成芯層的 工序；對(duì)芯層進(jìn)行曝光來(lái)轉(zhuǎn)印規(guī)定形狀的圖形的工序；進(jìn)行顯影來(lái)形成芯圖形的工序；以 及在該圖形化的芯層上形成上部包層的工序。(9)根據(jù)上述(8)所述的光波導(dǎo)的制造方法，其中，前述形成紫外線吸收層的工序 中，在基板上層疊紫外線吸收膜并加熱、加壓。(10)根據(jù)上述(8)或者(9)所述的光波導(dǎo)的制造方法，其中，前述形成下部包層、 芯層以及上部包層的工序中，分別采用下部包層形成用膜、芯層形成用膜以及上部包層形 成用膜。發(fā)明效果本發(fā)明的光波導(dǎo)具有高分辨率的芯圖形，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)高密度的光配線。另外， 根據(jù)本發(fā)明的制造方法，能夠以高生產(chǎn)率制造具有高分辨率芯圖形的光波導(dǎo)。


圖1是表示以往的曝光方法的示意圖；圖2是表示本發(fā)明的曝光方法的示意圖；圖3是表示本發(fā)明的光波導(dǎo)的制造方法的一個(gè)實(shí)例的說(shuō)明4
圖4是表示紫外線吸收膜的示意圖；圖5是表示下部包層形成用樹脂膜的示意圖；圖6是表示芯層形成用樹脂膜的示意圖；圖7是表示上部包層形成用樹脂膜的示意圖。符號(hào)說(shuō)明1光波導(dǎo)2無(wú)機(jī)填充材料3 基板4下部包層4’下部包層形成用樹脂層5 芯層5’芯層形成用樹脂層6芯圖形7光掩模8紫外線9上部包層9’上部包層形成用樹脂層10、10，紫外線吸收層11紫外線吸收膜12基材膜13保護(hù)膜41下部包層形成用樹脂膜42基材膜43保護(hù)膜51芯層形成用樹脂膜52基材膜53保護(hù)膜91上部包層形成用樹脂膜92基材膜93保護(hù)膜
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的光波導(dǎo)是在含有無(wú)機(jī)填充材料的樹脂基板上，至少依次層疊有紫外線吸 收層、下部包層、圖形化的芯層以及上部包層而成，通過(guò)紫外線吸收層有效地抑制來(lái)自基板 的紫外線的反射，形成高分辨率的芯圖形。下面，結(jié)合圖2，對(duì)其作用機(jī)理加以說(shuō)明。本發(fā)明的光波導(dǎo)1，在含有無(wú)機(jī)填充材料2的基板3上層疊紫外線吸收層10，在其 上層疊下部包層4以及芯層5。芯層5為了能形成所希望的芯圖形6，而利用光掩模7，曝光 紫外線8，由此，形成所希望的芯圖形。在本發(fā)明中，在曝光時(shí)，由于紫外線不被基板中的無(wú) 機(jī)填充材料2反射，而以高分辨率得到所希望的芯圖形。具體來(lái)講，能夠得到線寬/線間距
5為50 μ m/50 μ m左右、或者在此以上的高分辨率的芯圖形。為了有效地抑制來(lái)自上述基板的紫外線的反射，優(yōu)選上述紫外線吸收層的在曝光 波長(zhǎng)下的紫外線透過(guò)率為50%以下。紫外線透過(guò)率被當(dāng)作表示紫外線吸收層的紫外線吸收 能力的指標(biāo)，認(rèn)為該值越小，越能夠抑制來(lái)自基板的紫外線的反射。紫外線透過(guò)率取決于所 使用的紫外線吸收劑的種類、含量以及紫外線吸收層的厚度，具體來(lái)講，當(dāng)該值為50%以下 時(shí)，能夠充分抑制來(lái)自基板的紫外線的反射，因此優(yōu)選。從以上觀點(diǎn)考慮，進(jìn)一步優(yōu)選曝光 波長(zhǎng)下的紫外線透過(guò)率為40%以下。這里，曝光波長(zhǎng)是在光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)中被確定的項(xiàng)目，根據(jù)所使用的引發(fā)劑等條件 適當(dāng)?shù)卮_定。具體來(lái)講，有254nm、333nm、365nm、406nm、426nm等，但并不限于這些。另外， 為了提高對(duì)基板安裝零件的自由度，優(yōu)選能夠利用光刻法進(jìn)行加工。為了得到與本發(fā)明同樣的效果，也可以考慮使基板中含有紫外線吸收劑的方法， 但是，存在所使用的基板的自由度受到限制這樣的問(wèn)題。與此相對(duì)，在本發(fā)明中，能夠不受 基板的制約，而更簡(jiǎn)便地得到本發(fā)明的效果。在本發(fā)明的光波導(dǎo)中使用的基板是由以熱固性樹脂等作為基體樹脂，在其中含有 無(wú)機(jī)填充材料的樹脂組合物所構(gòu)成的樹脂基板。通過(guò)含有無(wú)機(jī)填充材料，可改善機(jī)械特性、 熱特性。在本發(fā)明中，如上所述，重要的是抑制因基板中所含有的無(wú)機(jī)填充材料所引起的 紫外線的反射，其前提條件是采用含有無(wú)機(jī)填充材料的基板。作為無(wú)機(jī)填充材料，并無(wú)特別限制，例如，可采用碳酸鈣、氧化鋁、氧化鈦、云母、碳 酸鋁、氫氧化鋁、硅酸鎂、硅酸鋁、二氧化硅、玻璃短纖維；以及硼酸鋁晶須、碳化硅晶須等各 種晶須等。其中，從機(jī)械特性、熱特性的改善效果、容易處理等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為二氧化硅。另外，這些無(wú)機(jī)填充材料可以單獨(dú)使用1種，也可以并用2種以上。無(wú)機(jī)填充材料的配合量并無(wú)特別限制，無(wú)機(jī)填充材料相對(duì)于樹脂組合物(例如， 樹脂組合物清漆)中的固體成分的總量的比率，通常為15 75體積％左右。如果無(wú)機(jī)填充 材料的配合量為15 75體積％，則能夠得到足夠的機(jī)械特性、熱特性。從以上觀點(diǎn)出發(fā)， 無(wú)機(jī)填充材料的比率優(yōu)選為20 70體積％，更優(yōu)選為25 65體積％。無(wú)機(jī)填充材料的配合量的測(cè)定并無(wú)特別限制，通常是用如下方法算出的由含有 無(wú)機(jī)填充材料的樹脂組合物的固化物的質(zhì)量和在400 700°C左右下加熱處理數(shù)小時(shí)后殘 留的無(wú)機(jī)成分的質(zhì)量的比例，根據(jù)不含無(wú)機(jī)填充材料的樹脂組合物的固化物的比重以及無(wú) 機(jī)填充材料的比重的值，進(jìn)行體積換算，來(lái)算出無(wú)機(jī)填充材料的配合量。為了提高樹脂組合物的固化物中的無(wú)機(jī)填充材料的分散性，例如，可以如日本特 開2000-301534號(hào)公報(bào)的記載，配合有機(jī)硅聚合物。另外，優(yōu)選通過(guò)該有機(jī)硅聚合物對(duì)無(wú)機(jī) 填充材料進(jìn)行表面處理。該有機(jī)硅聚合物也可以直接添加于含有無(wú)機(jī)填充材料的樹脂組合物中，也可通過(guò) 該方法，利用有機(jī)硅聚合物對(duì)無(wú)機(jī)填充材料進(jìn)行表面處理。作為成為熱固性樹脂組合物的基體的熱固性樹脂，只要是作為光波導(dǎo)的基板所使 用的樹脂即可，并無(wú)特別限制，可以使用通用的熱固性樹脂。例如，可舉出環(huán)氧樹脂、雙馬來(lái) 酰亞胺樹脂、聚酰亞胺樹脂、酚醛樹脂、不飽和聚酯樹脂等。其中，優(yōu)選使用環(huán)氧樹脂。作為環(huán)氧樹脂，只要是分子內(nèi)具有2個(gè)以上的環(huán)氧基的化合物即可，例如，可舉出苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲階型環(huán)氧樹脂、雙酚型環(huán)氧樹脂等 酚類的縮水甘油醚的環(huán)氧樹脂(酚型環(huán)氧樹脂)、脂環(huán)式環(huán)氧樹脂、環(huán)氧化聚丁二烯、縮水 甘油酯型環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂、異氰尿酸酯型環(huán)氧樹脂、撓性環(huán)氧樹脂等。這些多官能環(huán)氧樹脂可以單獨(dú)使用，也可以并用2種以上。作為熱固性樹脂采用環(huán)氧樹脂的情況下，為了使環(huán)氧樹脂固化，可配合固化劑以 及固化促進(jìn)劑。作為固化劑，可舉出酚醛清漆型酚醛樹脂、雙氰胺、酸酐、胺類等，作為固化促進(jìn) 劑，可舉出咪唑類等。這些可以單獨(dú)使用，也可以并用2種以上。另外，根據(jù)使用的多官能環(huán)氧樹脂的量，在需要的范圍內(nèi)配合固化劑和固化促進(jìn) 劑，通常，相對(duì)于環(huán)氧樹脂100質(zhì)量份，采用0. 05 5質(zhì)量份的固化劑，采用0. 01 10質(zhì) 量份的固化促進(jìn)劑。本發(fā)明的紫外線吸收層，如后所述，其厚度為10 50 μ m,優(yōu)選的是，如果紫外線 吸收層的在曝光波長(zhǎng)下的紫外線透過(guò)率為50%以下，則對(duì)構(gòu)成的材料沒有特別限制，但優(yōu) 選具有以下構(gòu)成。即，優(yōu)選由含有下述成分的感光性樹脂組合物構(gòu)成，所述感光性樹脂組合 物含有作為粘合劑的(A)具有羧基的熱塑性聚合物；(B)分子內(nèi)具有能聚合的乙烯性不飽 和基團(tuán)的光聚合性化合物；以及(C)光聚合引發(fā)劑。在通過(guò)堿顯影對(duì)紫外線吸收層進(jìn)行成 圖時(shí)，這些感光性樹脂組合物特別優(yōu)選。作為(A)成分的熱塑性聚合物，優(yōu)選為乙烯基共聚物，作為用于乙烯基共聚物的 共聚性單體，例如，可舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙 烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸月桂酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸甲酯、苯乙烯、α -甲基苯乙烯、 乙烯基甲苯、N-乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酰胺、 丙烯腈、甲基丙烯腈、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯、丙烯酸二甲基氨基乙酯、苯乙烯/馬來(lái) 酸共聚物的半酯等。這些可以單獨(dú)使用或者組合2種以上來(lái)使用。這些聚合物之中，具有 羧基的聚合物可以單獨(dú)使用，另外，不具有羧基的聚合物作為與具有羧基的聚合物的共聚 物成分來(lái)使用。(A)成分的重均分子量?jī)?yōu)選為20000 300000。如果該重均分子量為20000以上， 則得到穩(wěn)定的紫外線吸收層，另外，使用紫外線吸收膜形成紫外線吸收層時(shí)，可得到足夠的 膜性。另一方面，如果(A)成分的重均分子量為300000以下，則在形成芯圖形時(shí)，可得到足 夠的顯影性。由以上觀點(diǎn)出發(fā)，該重均分子量進(jìn)一步優(yōu)選為40000 150000的范圍。另外，(A)成分的羧基含有率優(yōu)選為15 50摩爾％。如果該羧基含有率為15摩 爾％以上，則在形成芯圖形時(shí)，可得到足夠的顯影性。另一方面，如果為50摩爾％以下，則 芯圖形的形成性良好。另外，在考慮到利用堿顯影的情況下，優(yōu)選該(A)成分能夠堿水溶液中溶解或者 溶脹。接著，(B)成分是在分子內(nèi)具有能聚合的乙烯性不飽和基團(tuán)的光聚合性化合物，優(yōu) 選包含含有乙烯性不飽和基團(tuán)的氨基甲酸酯化合物。作為該含有乙烯性不飽和基團(tuán)的氨基 甲酸酯化合物的制造方法，可通過(guò)使在兩末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化合物與含有 羥基的乙烯性不飽和化合物反應(yīng)來(lái)得到，另外，該兩末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化 合物，可通過(guò)使在兩末端具有羥基的聚碳酸酯化合物和二異氰酸酯化合物反應(yīng)來(lái)得到。
下面，對(duì)于作為(B)成分優(yōu)選方式的含有乙烯性不飽和基團(tuán)的氨基甲酸酯化合物 的制造方法，加以詳細(xì)說(shuō)明。該制造方法的起始物質(zhì)如上所述，是(a)在兩末端具有羥基的聚碳酸酯化合物和 (b) 二異氰酸酯化合物。(a)在兩末端具有羥基的聚碳酸酯化合物，具有亞烷基通過(guò)碳酸酯鍵排列在主鏈 上的結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)公知的方法(光氣法等)使雙酚A等二烷基碳酸酯和二醇化合物反應(yīng) 來(lái)得到。作為二醇化合物，例如，可舉出二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、三丙二醇、聚丙二 醇、乙二醇、1，2-丙二醇、1，3-丁二醇、1，4-丁二醇、2-甲基-1，3-丁二醇、新戊二醇、2-甲 基戊二醇、3-甲基戊二醇、2，2，4_三甲基-1，6-己二醇、3，3，5-三甲基-1，6-己二醇、2，3， 5-三甲基-戊二醇、1，6_己二醇、1，5-戊二醇等，這些可以單獨(dú)使用或者組合2種以上來(lái)使 用。另外，也可以包括三羥甲基丙烷、三羥甲基乙烷、己三醇、庚三醇、季戊四醇等多元醇化 合物。在上述聚碳酸酯化合物中，優(yōu)選為將采用了 1，6_己二醇和1，5_戊二醇的六亞甲 基碳酸酯和五亞甲基碳酸酯作為重復(fù)單元使用的化合物。另外，六亞甲基碳酸酯和五亞甲 基碳酸酯的含有比例，優(yōu)選為六亞甲基碳酸酯/五亞甲基碳酸酯=1/9 9/1 (摩爾比)。 在該范圍內(nèi)時(shí)，能得到足夠的伸長(zhǎng)率和強(qiáng)度。另外，上述聚碳酸酯化合物的數(shù)均分子量(例 如，GPC測(cè)定，聚苯乙烯換算的分子量)優(yōu)選為600 1000。如果數(shù)均分子量處于該范圍 內(nèi)，則能得到足夠的伸長(zhǎng)率和強(qiáng)度。接著，作為(b) 二異氰酸酯化合物，例如，可舉出2，4-甲苯二異氰酸酯、2，6-甲苯 二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、六亞甲基二異氰酸酯、二苯基甲烷二異氰酸酯、(鄰、對(duì) 或間)_ 二甲苯二異氰酸酯、亞甲基雙(環(huán)己基)二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯、 1，3_或者1，4-(異氰酸酯甲基)環(huán)己烷、1，5_萘二異氰酸酯、三苯基甲烷三異氰酸酯、三 (異氰酸酯苯基)硫代磷酸酯、2，4-甲苯二異氰酸酯或者2，6-甲苯二異氰酸酯的二聚物、 有機(jī)異氰酸酯(前述有機(jī)異氰酸酯的異氰尿酸酯化改性物)、碳二亞胺化改性物、縮二脲化 改性物等，其中，優(yōu)選為異佛爾酮二異氰酸酯。接下來(lái)，使上述的(a)在兩末端具有羥基的聚碳酸酯化合物和(b) 二異氰酸酯化 合物進(jìn)行反應(yīng)，得到(c)在兩末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化合物。至于該反應(yīng)中的 (a)成分和(b)成分的配合量，相對(duì)于(a)成分1摩爾，優(yōu)選(b)成分為1. 01 2. 0摩爾， 更優(yōu)選為1. 1 2.0摩爾。如果該(b) 二異氰酸酯化合物的配合量處于該范圍內(nèi)，則能穩(wěn)定地得到(C)在兩 末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化合物。另外，作為該反應(yīng)的催化劑，優(yōu)選加入二月桂酸 二丁基錫。作為反應(yīng)溫度，優(yōu)選為60 120°C。如果為60°C以上，則反應(yīng)充分進(jìn)行，如果在 120°C以下，則不會(huì)存在由于劇烈放熱而導(dǎo)致操作變得危險(xiǎn)等的不良情況。接著，對(duì)于通過(guò)上述(a)成分和(b)成分而得到的(C)兩末端具有異氰酸酯基的 氨基甲酸酯化合物，使其與(d)含有羥基的乙烯性不飽和化合物進(jìn)行加成反應(yīng)，得到含有 乙烯性不飽和基團(tuán)的氨基甲酸酯化合物。作為這里所使用的(d)含有羥基的乙烯性不飽和化合物，優(yōu)選為在分子中具有羥 基和丙烯?；幕衔?，例如，可舉出甲基丙烯酸2-羥乙酯、丙烯酸2-羥乙酯、丙烯酸羥
8丙酯、丙烯酸羥丁酯等羥基(甲基)丙烯酸酯；丙烯酸羥乙酯·己內(nèi)酯加成物、丙烯酸羥丙 酯·己內(nèi)酯加成物、丙烯酸羥丁酯·己內(nèi)酯加成物等己內(nèi)酯加成物；丙烯酸羥乙酯·環(huán)氧 烷加成物、丙烯酸羥丙酯 環(huán)氧丙烷加成物、丙烯酸羥乙酯 環(huán)氧丁烷加成物等環(huán)氧烷加成 物；以及，丙三醇單丙烯酸酯、丙三醇二丙烯酸酯、縮水甘油基甲基丙烯酸酯丙烯酸加成物、 三羥甲基丙烷單丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二-三羥甲基丙 烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷的環(huán)氧乙烷加成物的二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷的環(huán)氧丙烷 加成物的二丙烯酸酯等。在上述加成反應(yīng)中，至于(C)成分和(d)成分的配合量，相對(duì)于(C)成分1摩爾， 優(yōu)選(d)成分為2 2. 4摩爾。如果該配合量為2摩爾以上，則得到足夠的光聚合性，如果 為2. 4以下，則得到足夠的伸長(zhǎng)率和強(qiáng)度。該加成反應(yīng)，例如，優(yōu)選在對(duì)甲氧基苯酚、二叔丁 基-羥基甲苯等的存在下進(jìn)行，另外，作為催化劑，優(yōu)選加入二月桂酸二丁基錫。作為反應(yīng)溫度，優(yōu)選為60 90°C。如果為60°C以上，則反應(yīng)充分進(jìn)行，如果為90°C 以下，則不產(chǎn)生因劇烈放熱而造成的凝膠化等。反應(yīng)終點(diǎn)的確認(rèn)，例如，可通過(guò)用紅外線吸 收光譜確認(rèn)異氰酸酯基的消失來(lái)實(shí)現(xiàn)。另外，本發(fā)明的含有乙烯性不飽和基團(tuán)的氨基甲酸酯化合物的數(shù)均分子量?jī)?yōu)選為 1000 100000。如果該數(shù)均分子量為1000以上，則能得到足夠的伸長(zhǎng)率以及強(qiáng)度，如果為 100000以下，則與上述(A)具有羧基的熱塑性聚合物的相溶性優(yōu)異。接著，本發(fā)明涉及的感光性樹脂組合物通常含有(C)通過(guò)活性光線生成游離自由 基的光聚合引發(fā)劑。作為能夠用作(C)成分的光聚合引發(fā)劑，例如，可舉出2-乙基蒽醌、 2_叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2_苯并蒽醌、2，3_ 二苯基蒽醌等取代或者非取代的多核醌 類；苯偶姻、六甲基丙酮等α “縮酮醇類；醚類；α -苯基-苯偶姻、α，α -二乙氧基苯乙酮 等α-烴取代芳香族偶姻類；二苯甲酮、4，4’_雙二烷基氨基二苯甲酮等芳香族酮類；2-甲 基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、2-乙基噻噸酮等噻噸酮類； 2-甲基-1-(4-(甲基硫代)苯基)-2_嗎啉代-丙烷-1等，這些可以單獨(dú)使用或者組合2 種以上來(lái)使用。上述感光性樹脂組合物中的⑶成分的配合量，優(yōu)選為⑶成分和㈧成分的合 計(jì)量的10 70質(zhì)量％，另一方面，(A)成分的配合量?jī)?yōu)選為(A)成分和(B)成分的合計(jì)量 的30 90質(zhì)量％。如果(A)成分的配合量為30質(zhì)量％以上，則可得到合適的堿顯影性， 而且在制成感光性膜時(shí)，基材膜上的感光性樹脂組合物層具有適度的硬度，不從膜端面產(chǎn) 生滲出。另外，如果(A)成分的配合量為90質(zhì)量％以下，則能得到足夠的紫外線吸收能力， 并且，能得到將本發(fā)明的光波導(dǎo)用作電基板時(shí)所必要的足夠的焊錫耐熱性。作為本發(fā)明的(C)成分的配合量，相對(duì)于㈧成分以及⑶成分的合計(jì)量100質(zhì) 量份，優(yōu)選為0. 01 20質(zhì)量份。如果(C)成分的配合量為0. 01質(zhì)量份以上，則能得到光 聚合反應(yīng)中的足夠的靈敏度，如果為20質(zhì)量份以下，則能得到將本發(fā)明的光波導(dǎo)用作電基 板時(shí)所必要的足夠的焊錫耐熱性。另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，可以根據(jù)需要進(jìn)一步添加三聚氰胺樹脂等 熱固化成分、染料、顏料、增塑劑、穩(wěn)定劑等。作為這些添加成分，使用具有紫外線吸收能力 的物質(zhì)，可進(jìn)一步提高本發(fā)明的效果，因此優(yōu)選。作為在基板上形成紫外線吸收層的方法，可使用各種方法，例如，可使用的方法有將上述的紫外線吸收層形成用的感光性樹脂組合物清漆化，涂布在基板上的方法；預(yù) 先形成紫外線吸收膜(感光性膜)，將其干式層壓在基板上(包括一定條件下的加熱和加 壓的情況)的方法?？紤]到不產(chǎn)生因材料形態(tài)為液體而導(dǎo)致的問(wèn)題、容易大面積化、以及紫 外線吸收層的平滑性、操作的容易性等，更優(yōu)選采用紫外線吸收膜的方法。另外，在本發(fā)明 中，如上所述，優(yōu)選紫外線吸收層的在曝光波長(zhǎng)下的紫外線透過(guò)率為50%以下，采用紫外線 吸收膜時(shí)，在該紫外線吸收膜中，最好能控制曝光波長(zhǎng)下的紫外線透過(guò)率，因此，也具有容 易進(jìn)行該控制的優(yōu)點(diǎn)。采用清漆化后涂布的方法時(shí)，能夠采用可溶解上述感光性樹脂組合物的公知的溶 劑，并無(wú)特別限制。作為感光性樹脂組合物使用液態(tài)的物質(zhì)時(shí)，也可以是無(wú)溶劑狀態(tài)。作為溶劑，例如，可舉出水、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、丙酮、甲基乙基酮、甲苯、二甲 苯、二噁烷、N，N-二甲基甲酰胺、乙二醇單甲醚、乙二醇單甲醚等，這些溶劑可以單獨(dú)使用也 可以并用2種以上。紫外線吸收層形成用樹脂清漆中的固體成分濃度，通常為30 80質(zhì)量％，優(yōu)選為 35 75質(zhì)量％，更優(yōu)選為40 70質(zhì)量％。紫外線吸收膜，可通過(guò)下述方法容易地制造將上述紫外線吸收層形成用的樹脂 清漆涂布在基材膜上，除去溶劑。這里使用的基材膜是支撐紫外線吸收膜的支撐體，該材料并無(wú)特別限制，例如，從 容易剝離紫外線吸收膜，并且具有耐熱性和耐溶劑性的觀點(diǎn)出發(fā)，適合采用聚對(duì)苯二甲酸 乙二醇酯(PET)等聚酯、聚丙烯、聚乙烯等。可以對(duì)上述基材膜實(shí)施脫模處理、防靜電處理等，以使之后的剝離變得容易。該基材膜的厚度通常為5 50 μ m。如果基材膜的厚度為5 μ m以上，則具有容易 得到作為支撐體的強(qiáng)度的優(yōu)點(diǎn)，如果為50μπι以下，則具有制造成卷狀時(shí)的卷繞性得以提 高的優(yōu)點(diǎn)。從以上的觀點(diǎn)出發(fā)，該基材的膜厚度優(yōu)選為10 40 μ m,更優(yōu)選為15 30 μ m。此外，考慮到對(duì)膜的保護(hù)、制造成卷狀時(shí)的卷繞性等，可以對(duì)紫外線吸收膜貼合保 護(hù)膜。作為保護(hù)膜，可以使用與作為上述基材膜的例子所例舉的物質(zhì)同樣的物質(zhì)，可以 根據(jù)需要實(shí)施脫模處理、防靜電處理。本發(fā)明的紫外線吸收層的厚度需要處于10 50μπι的范圍內(nèi)。如果小于ΙΟμπι， 則不能充分地抑制來(lái)自基板的紫外線的反射，得不到高分辨率的芯圖形。另一方面，如果超 過(guò)50μπι，則存在如下問(wèn)題紫外線吸收層自身的固化需要時(shí)間；紫外線吸收層的固化收縮 造成翹曲增大；曝光顯影時(shí)，難以感光至紫外線吸收層的下部(與基板的粘接面)，在顯影 過(guò)程中從基板上脫離等，并且這種厚度在經(jīng)濟(jì)上也不劃算。從以上觀點(diǎn)出發(fā)，紫外線吸收層 的厚度優(yōu)選為20 40 μ m的范圍。由紫外線吸收膜形成紫外線吸收層的情況下，紫外線吸收膜的厚度與紫外線吸收 層的厚度同樣地處于10 50 μ m的范圍內(nèi)。本發(fā)明的光波導(dǎo)，作為其材料形態(tài)，優(yōu)選在下部包層、芯層、上部包層中的至少一 個(gè)中采用光波導(dǎo)形成用樹脂膜來(lái)制作。通過(guò)采用光波導(dǎo)形成用樹脂膜，能夠制造滿足大面積化的撓性光波導(dǎo)，而不產(chǎn)生 因材料形態(tài)是液體而引起的問(wèn)題。
用于本發(fā)明的包層的光波導(dǎo)形成用樹脂膜(下面，稱作包層形成用樹脂膜)是采 用包層形成用樹脂制造的膜，根據(jù)需要，通過(guò)在基材膜上涂布包層形成用樹脂來(lái)制造。另外，用于本發(fā)明的芯層的光波導(dǎo)形成用光波導(dǎo)形成用樹脂膜(下面，稱作芯層 形成用樹脂膜)，是采用芯層形成用樹脂來(lái)制造的膜，根據(jù)需要通過(guò)將芯層形成用樹脂涂布 于基材膜上來(lái)制造。就用于本發(fā)明的光波導(dǎo)的光波導(dǎo)形成用樹脂膜而言，芯層形成用樹脂膜的固化物 的折射率，被設(shè)計(jì)成比用于包層的光波導(dǎo)形成用樹脂膜的固化物的折射率高。作為用于本發(fā)明的包層形成用樹脂膜的包層形成用樹脂，只要是能使包層形成用 樹脂膜的固化物的折射率比芯層形成用樹脂膜的固化物的折射率低，并且可通過(guò)光或熱進(jìn) 行固化的樹脂即可，并無(wú)特別限制，可以采用熱固性樹脂、感光性樹脂。作為包層形成用樹脂，優(yōu)選由含有(i)基體聚合物、(ii)光聚合性化合物以及 (iii)光聚合引發(fā)劑的樹脂組合物來(lái)構(gòu)成。這里使用的(i)基體聚合物是用于形成包層并確保該包層強(qiáng)度的聚合物，只要是 能實(shí)現(xiàn)該目的的物質(zhì)即可，并無(wú)特別限制，可舉出苯氧樹脂、環(huán)氧樹脂、(甲基)丙烯酸樹 脂、聚碳酸酯樹脂、聚丙烯酸酯樹脂、聚醚酰胺、聚醚酰亞胺、聚醚砜等或者它們的衍生物寸。所說(shuō)的(甲基)丙烯酸樹脂是指丙烯酸樹脂以及甲基丙烯酸樹脂。這些基體聚合物可以單獨(dú)使用也可以并用2種以上。作為上述(i)基體聚合物，從耐熱性高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選主鏈具有芳香族骨架的 樹脂，特別優(yōu)選為苯氧樹脂。另外，從可以進(jìn)行三維交聯(lián)、提高耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為環(huán)氧樹脂，特別優(yōu)選 為在室溫下為固體的環(huán)氧樹脂。此外，作為⑴基體聚合物，為了確保包層形成用樹脂膜的透明性，與后述的(ii) 光聚合性化合物的相溶性是重要的，從該觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為苯氧樹脂和/或(甲基)丙烯酸 樹脂。在上述苯氧樹脂中，含有雙酚A或雙酚A型環(huán)氧化合物或它們的衍生物、以及雙酚 F或雙酚F型環(huán)氧化合物或它們的衍生物作為共聚成分的結(jié)構(gòu)單元的物質(zhì)，由于耐熱性、密 合性以及溶解性優(yōu)異，因此更優(yōu)選。作為雙酚A或雙酚A型環(huán)氧化合物的衍生物，可適當(dāng)舉出四溴雙酚A、四溴雙酚A 型環(huán)氧化合物等。另外，作為雙酚F或雙酚F型環(huán)氧化合物的衍生物，可適當(dāng)舉出四溴雙酚F、四溴雙 酚F型環(huán)氧化合物等。作為雙酚A/雙酚F共聚型苯氧樹脂的具體例子，可舉出東都化成(株)制造的 “Phenotohto YP-7O”(商品名)。另外，作為(i)基體聚合物，如上所述，從三維交聯(lián)而提高耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu) 選為環(huán)氧樹脂，特別優(yōu)選為在室溫下為固態(tài)的環(huán)氧樹脂。作為在室溫下為固態(tài)的環(huán)氧樹脂，例如，可舉出東都化學(xué)(株)制造的“Epotohto YD-7020、Epotohto YD-7019、Epotohto YD-7017” (都是商品名)、日本環(huán)氧樹脂(株)制 造的“Epikote 1010、Epikote 1009、Epikote 1008”(都是商品名)等的雙酚A型環(huán)氧樹
11脂。(i)基體聚合物的分子量，從膜成型性的觀點(diǎn)出發(fā)，通常，數(shù)均分子量為5000以 上。該數(shù)均分子量?jī)?yōu)選為10000以上，更優(yōu)選為30000以上。數(shù)均分子量的上限并無(wú)特別限制，從與(ii)光聚合性化合物的相溶性、曝光顯影 性的觀點(diǎn)出發(fā)，通常為1000000以下。數(shù)均分子量的上限優(yōu)選為500000以下，更優(yōu)選為200000以下。數(shù)均分子量是采用凝膠滲透色譜(GPC)進(jìn)行測(cè)定，標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯換算的值。(i)基體聚合物的配合量相對(duì)于⑴成分的基體聚合物以及(ii)成分的光聚合性 化合物的總量，通常為10 80質(zhì)量％左右。如果配合量為10質(zhì)量％以上，則具有容易形成對(duì)于光波導(dǎo)形成所需的50 500 μ m左右的厚度的膜的優(yōu)點(diǎn)，另一方面，如果為80質(zhì)量％以下，則光固化反應(yīng)充分進(jìn)行。從以上觀點(diǎn)出發(fā)，(i)成分的配合量?jī)?yōu)選為20 70質(zhì)量％，更優(yōu)選為25 65質(zhì)量％。接著，作為(ii)光聚合性化合物，只要是通過(guò)紫外線等的光照射聚合的物質(zhì)即 可，并無(wú)特別限制，可舉出在分子內(nèi)具有2個(gè)以上的環(huán)氧基的化合物、在分子內(nèi)具有乙烯性 不飽和基團(tuán)的化合物等。作為在分子內(nèi)具有2個(gè)以上的環(huán)氧基的化合物的具體例子，可舉出雙酚A型環(huán)氧 樹脂、四溴雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、雙酚AD型環(huán)氧樹脂、萘型環(huán)氧樹脂等2 官能芳香族縮水甘油醚；苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、二環(huán)戊二 烯-酚型環(huán)氧樹脂、四苯酚基乙烷型環(huán)氧樹脂等多官能芳香族縮水甘油醚；聚乙二醇型環(huán) 氧樹脂、聚丙二醇型環(huán)氧樹脂、新戊二醇型環(huán)氧樹脂、己二醇型環(huán)氧樹脂等2官能脂肪族縮 水甘油醚；加氫雙酚A型環(huán)氧樹脂等2官能脂環(huán)式縮水甘油醚；三羥甲基丙烷型環(huán)氧樹脂、 山梨糖醇型環(huán)氧樹脂、甘油型環(huán)氧樹脂等多官能脂肪族縮水甘油醚、鄰苯二甲酸二縮水甘 油酯等2官能芳香族縮水甘油酯；四氫鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、六氫鄰苯二甲酸二縮水 甘油酯等2官能脂環(huán)式縮水甘油酯；N，N- 二縮水甘油基苯胺、N，N- 二縮水甘油基三氟甲基 苯胺等2官能芳香族縮水甘油胺；N，N, N’，N’ -四縮水甘油基-4，4- 二氨基二苯基甲烷、1， 3-雙(N，N-縮水甘油基氨基甲基)環(huán)己烷、N，N, 0-三縮水甘油基-對(duì)氨基苯酚等多官能 芳香族縮水甘油胺；脂環(huán)族二環(huán)氧基縮醛、脂環(huán)族二環(huán)氧基己二酸酯、脂環(huán)族二環(huán)氧基羧酸 酯、二氧化乙烯基環(huán)己烯等2官能脂環(huán)式環(huán)氧樹脂；二縮水甘油基乙內(nèi)酰脲等2官能雜環(huán)式 環(huán)氧樹脂；三縮水甘油基異氰尿酸酯等多官能雜環(huán)式環(huán)氧樹脂；有機(jī)聚硅氧烷型環(huán)氧樹脂 等2官能或多官能含硅環(huán)氧樹脂等。這些分子內(nèi)具有2個(gè)以上的環(huán)氧基的化合物，通常采用其分子量為100 2000且 室溫下為液態(tài)的化合物。該分子量?jī)?yōu)選為150 1000，更優(yōu)選為200 800。另外，這些化合物可以單獨(dú)使用，也可以并用2種以上，也可以進(jìn)一步與其他光聚 合性化合物組合使用。分子量可以采用凝膠滲透色譜(GPC)法或者質(zhì)譜法進(jìn)行測(cè)定。另外，作為分子內(nèi)具有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物的具體例子，可舉出(甲基)丙 烯酸酯、偏鹵乙烯、乙烯基醚、乙烯基吡啶、乙烯基苯酚等，其中，從透明性、耐熱性的觀點(diǎn)出 發(fā)，優(yōu)選為(甲基)丙烯酸酯，可以采用1官能性的物質(zhì)、2官能性的物質(zhì)、3官能性以上的物質(zhì)中的任一種。作為1官能性(甲基)丙烯酸酯，可舉出甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯 氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、月桂基(甲基)丙烯酸酯、異硬脂基(甲基)丙烯酸酯、 2-(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸、對(duì)枯基苯氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、2-四氫吡喃 (甲基)丙烯酸酯、異冰片基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、 (甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸芐酯等。另外，作為2官能性(甲基)丙烯酸酯，可舉出乙氧基化2-甲基-1，3-丙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-甲 基-1，8-辛二醇二丙烯酸酯、1，9_壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，10_壬二醇二(甲基)丙 烯酸酯、乙氧基化聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化雙酚A 二丙烯酸酯、乙 二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚 乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A 二(甲基)丙 烯酸酯、三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化環(huán)己烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、2-羥 基-1-丙烯酰氧基-3-甲基丙烯酰氧基丙烷、2-羥基-1，3-二甲基丙烯酰氧基丙烷、9，9_雙 (4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基)芴、9，9_雙(3-苯基-4-丙烯?；垩跻已趸?芴、雙 酚A型、苯酚酚醛清漆型、甲酚酚醛清漆型以及縮水甘油醚型的環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯等。此外，作為3官能以上的(甲基)丙烯酸酯，可舉出乙氧基化異氰尿酸三(甲基) 丙烯酸酯、乙氧基化丙三醇三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧 基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲 基)丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇四(甲基)丙烯 酸酯、二-三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二(三羥甲基丙烷)四(甲基) 丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。這些可以單獨(dú)使用也可以并用2種以上。這里所說(shuō)的(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯以及甲基丙烯酸酯。(ii)光聚合性化合物的配合量，相對(duì)于⑴成分的基體聚合物以及(ii)成分的光 聚合性化合物的總量，通常為20 90質(zhì)量％左右。如果配合量為20質(zhì)量％以上，則可以容易地將基體聚合物組入光聚合性化合物， 使其固化，另一方面，如果為90質(zhì)量％以下，則容易形成足夠厚度的包層。從以上觀點(diǎn)出發(fā)，(ii)成分的配合量?jī)?yōu)選為25 85質(zhì)量％，更優(yōu)選為30 80質(zhì)量％。接著，作為(iii)成分的光聚合引發(fā)劑，并無(wú)特別限制，例如，作為環(huán)氧化合物的
引發(fā)劑，可舉出對(duì)甲氧基苯重氮六氟磷酸鹽等芳基重氮鹽；二苯基碘鐺六氟鱗鹽、二苯基碘 鐺六氟銻酸鹽等二芳基碘鐺鹽；三苯基锍六氟鱗鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代 苯氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧 基苯基锍五氟羥基銻酸鹽等三芳基锍鹽；三苯基硒鐺六氟鱗鹽、三苯基硒鐺硼氟化鹽、三苯 基硒鐺六氟銻酸鹽等三芳基硒鐺鹽；二甲基苯甲酰甲基锍六氟銻酸鹽、二乙基苯甲酰甲基 锍六氟銻酸鹽等二烷基苯甲酰甲基锍鹽；4-羥基苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4-羥基苯基芐 基甲基锍六氟銻酸鹽等二烷基-4-羥基苯基锍鹽；α -羥基甲基苯偶姻磺酸酯、N-羥基酰亞 胺磺酸酯、α-磺酰氧基甲酮、β-磺酰氧基甲酮等磺酸酯等。
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另外，作為分子內(nèi)具有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物的引發(fā)劑，可舉出二苯甲酮、N， N’ -四甲基_4，4’ - 二氨基二苯甲酮(米蚩酮)、N，N’ -四乙基_4，4’ - 二氨基二苯甲酮、
4-甲氧基-4’- 二甲基氨基二苯甲酮、2-芐基-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代苯基)-丁 烷-1-酮、2，2_ 二甲氧基-1，2- 二苯基乙烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-甲 基-1-苯基丙烷-1-酮、1- (4- (2-羥基乙氧基)苯基)-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、 1，2_甲基-1-(4-(甲基硫代)苯基)-2_嗎啉代丙烷-1-酮等芳香族酮；2-乙基蒽醌、菲 醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2，3-二苯基 蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1，4_萘醌、9，10_菲醌、2-甲基-1，4-萘醌、2，3_ 二甲基蒽醌 等醌類；苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚化合物；苯偶姻、甲基苯 偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；苯偶酰二甲基縮酮等苯偶酰衍生物；2-(鄰氯苯基)-4，
5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4，5_二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯 基)-4，5- 二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚物、2-(對(duì)甲氧基 苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物等2，4，5-三芳基咪唑二聚物；雙(2，4，6-三甲基苯甲酰基) 苯基膦氧化物、雙(2，6_ 二甲氧基苯甲?；?-2，4，4_三甲基戊基膦氧化物、2，4，6_三甲基 苯甲?；交⒀趸锏褥⒀趸镱?；9-苯基吖啶、1，7_雙(9，9’_吖啶基)庚烷等吖 啶衍生物；N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物、香豆素系化合物等。另外，就2，4，5-三芳基咪唑二聚物來(lái)說(shuō)，芳基被取代時(shí)，可以是2個(gè)芳基的取代基 相同而對(duì)稱的二聚物，也可以是取代基不同而非對(duì)稱的二聚物。另外，也可以如二乙基噻噸酮和二甲基氨基安息香酸的組合那樣，將噻噸酮系化 合物和叔胺化合物組合。從提高芯層和包層的透明性的觀點(diǎn)考慮，上述光聚合引發(fā)劑中，優(yōu)選芳香族酮和 膦氧化物類。這些(iii)光聚合引發(fā)劑，可以單獨(dú)使用也可以2種以上并用。(iii)光聚合引發(fā)劑的配合量，相對(duì)于⑴成分的基體聚合物以及(ii)成分的光 聚合性化合物總量100質(zhì)量份，通常為0. 1 10質(zhì)量份左右。如果為0. 1質(zhì)量份以上，則光敏度充分，另一方面，如果為10重量份以下，則不會(huì) 有僅光波導(dǎo)的表面選擇性地固化而固化不充分的情況，而且，也沒有光聚合引發(fā)劑自身的 吸收引起的傳輸損耗增大的情況。從以上的觀點(diǎn)出發(fā)，(iii)成分的配合量?jī)?yōu)選為0. 5 5質(zhì)量份，更優(yōu)選為1 4
質(zhì)量份。另外，根據(jù)需要，除這些外，本發(fā)明的包層形成用樹脂中，也可以以對(duì)本發(fā)明的效 果沒有不良影響的比例來(lái)添加抗氧化劑、防黃變劑、紫外線吸收劑、可見光吸收劑、著色劑、 增塑劑、穩(wěn)定劑、填充劑等所謂的添加劑。包層形成用樹脂也可以將含有⑴基體聚合物、(ii)光聚合性化合物和(iii)光 聚合引發(fā)劑的樹脂組合物溶解于溶劑，形成包層形成用樹脂清漆來(lái)使用。包層形成用樹脂膜可以用如下方法容易地制造根據(jù)需要將包層形成用樹脂清漆 涂布在基材膜上，除去溶劑。在包層形成用樹脂膜的制造過(guò)程中，根據(jù)需要使用的基材膜是支撐光波導(dǎo)形成用 膜的支撐體，對(duì)其材料沒有特別限制，例如，從容易剝離包層形成用樹脂膜且具有耐熱性和
14耐溶劑性的觀點(diǎn)考慮，可以適當(dāng)?shù)厥褂镁蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)等聚酯、聚丙烯、聚乙 烯等?？梢詫?duì)上述基材膜實(shí)施脫模處理、防靜電處理等，以便之后容易剝離包層形成用 樹脂膜。該基材膜的厚度通常為5 50 μ m。如果基材膜的厚度為5 μ m以上，則具有容易 獲得作為支撐體的強(qiáng)度的優(yōu)點(diǎn)，如果為50 μ m以下，則具有制造成卷狀時(shí)的卷繞性提高的 優(yōu)點(diǎn)。從以上的觀點(diǎn)考慮，該基材膜的厚度優(yōu)選為10 40 μ m,更優(yōu)選為15 30 μ m。此外，對(duì)于包層形成用樹脂膜，考慮到膜的保護(hù)、制成卷狀時(shí)的卷繞性等，可以貼 合保護(hù)膜。作為保護(hù)膜，可以使用與上述作為基材膜的例子所例舉的物質(zhì)相同的物質(zhì)，根據(jù) 需要也可以進(jìn)行脫?；蚍漓o電處理。作為包層形成用樹脂清漆所用的溶劑，只要是能夠溶解含有(i) (iii)成分 的樹脂組合物的物質(zhì)就沒有特別限制，例如，可以使用丙酮、甲基乙基酮、甲基溶纖劑、乙 基溶纖劑、甲苯、N，N-二甲基乙酰胺、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、環(huán)己酮、N-甲 基-2-吡咯烷酮等溶劑或它們的混合溶劑。包層形成用樹脂清漆中的固體成分濃度，通常為30 80質(zhì)量％，優(yōu)選為35 75 質(zhì)量％，更優(yōu)選為40 70質(zhì)量％。對(duì)于包層形成用樹脂膜的厚度，并無(wú)特別限制，干燥后的包層的厚度通常調(diào)整為 50 500 μ m。如果包層的厚度為5 μ m以上，則能夠確保封入光所需要的包層厚度，如果 為500μπι以下，則容易將包層膜厚控制到均勻。從以上觀點(diǎn)考慮，包層的厚度優(yōu)選為10 100 μ m, Mitit為 20 ~ 90 μ m。另外，包層的厚度，就最初形成的下部包層和用于包埋芯圖形的上部包層來(lái)說(shuō)，可 以相同也可以不同，但為了包埋芯圖形，優(yōu)選上部包層的厚度比芯層的厚度更厚。另外，包層也可以通過(guò)如下方法容易地制造通過(guò)旋涂法等將包層形成用樹脂清 漆涂布于紫外線吸收層上，除去溶劑。接著，本發(fā)明中使用的芯層形成用樹脂膜，可以使用按照芯層比包層的折射率高 來(lái)設(shè)計(jì)的通過(guò)紫外線能夠形成芯圖形的樹脂組合物，感光性樹脂組合物是合適的。具體來(lái)說(shuō)，優(yōu)選使用與在上述包層形成用樹脂中所用的物質(zhì)相同的樹脂組合物。S卩，樹脂組合物含有上述(i)基體聚合物、(ii)光聚合性化合物以及(iii)光聚 合引發(fā)劑，并根據(jù)需要含有上述任意成分。芯層形成用樹脂也可以將含有(i)基體聚合物、(ii)光聚合性化合物和(iii)光 聚合引發(fā)劑的樹脂組合物溶解于溶劑，制成芯層形成用樹脂清漆來(lái)使用。芯層形成用樹脂膜可通過(guò)如下方法容易地制造根據(jù)需要將芯層形成用樹脂清漆 涂布在基材膜上，除去溶劑。在芯層形成用樹脂膜的制造過(guò)程中，根據(jù)需要使用的基材膜是 支撐光波導(dǎo)形成用膜的支撐體，對(duì)其材料沒有特別限制，可以使用與包層形成用樹脂膜的 制造過(guò)程中使用的基材膜相同的物質(zhì)。例如，從容易剝離芯層形成用樹脂膜且具有耐熱性和耐溶劑性的觀點(diǎn)考慮，可適 當(dāng)?shù)厥褂镁蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)等聚酯、聚丙烯、聚乙烯等。另外，為了提高曝光用光線的透過(guò)率和降低芯圖形的側(cè)壁粗糙，優(yōu)選使用高透明型的撓性的基材膜。高透明型的基材膜的霧度值通常為5%以下，優(yōu)選為3%以下，更優(yōu)選 為2%以下。作為這樣的基材膜，能夠購(gòu)得東洋紡織公司制造的商品名“C0SM0SHINE A1517”和 "COSMO SHINE A4100”?？梢詫?duì)上述基材膜實(shí)施脫模處理、防靜電處理等，以使之后的芯層形成用樹脂膜 的剝離容易。該基材膜的厚度通常為5 50 μ m。如果基材膜的厚度為5 μ m以上，則具有容易 獲得作為支撐體的強(qiáng)度的優(yōu)點(diǎn)，如果為50 μ m以下，則具有與形成圖形時(shí)的掩模的間隙小， 可以形成更微細(xì)的圖形的優(yōu)點(diǎn)。從以上觀點(diǎn)考慮，該基材膜的厚度優(yōu)選為10 40μπι，更優(yōu) 選為15 30μπι。另外，考慮到芯層形成用樹脂膜的保護(hù)或制造成卷狀時(shí)的卷繞性等，也可以根據(jù) 需要對(duì)芯層形成用樹脂膜貼合保護(hù)膜。作為保護(hù)膜，可以使用與在包層形成用樹脂膜中所 用的基材膜相同的物質(zhì)，根據(jù)需要也可以進(jìn)行脫模處理或防靜電處理。作為芯層形成用樹脂清漆中所用的溶劑，只要是能夠溶解含有(i) (iii)成分 的樹脂組合物的物質(zhì)即可，沒有特別限制，例如，可以使用丙酮、甲基乙基酮、甲基溶纖齊 、 乙基溶纖劑、甲苯、N，N-二甲基乙酰胺、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、環(huán)己酮、N-甲 基-2-吡咯烷酮等溶劑或它們的混合溶劑。芯層形成用樹脂清漆中的固體成分濃度，通常為30 80質(zhì)量％，優(yōu)選為35 75 質(zhì)量％，更優(yōu)選為40 70質(zhì)量％。對(duì)于芯層形成用樹脂膜的厚度沒有特別限制，通常調(diào)整為干燥后的芯層厚度為 10 100 μ m。如果芯層的厚度為10 μ m以上，則具有在與光波導(dǎo)形成后的光收發(fā)元件或光 纖結(jié)合時(shí)位置對(duì)齊公差可以擴(kuò)大的優(yōu)點(diǎn)，如果為100 μ m以下，則具有在與光波導(dǎo)形成后的 光收發(fā)元件或光纖結(jié)合時(shí)結(jié)合效率提高的優(yōu)點(diǎn)。從以上觀點(diǎn)考慮，芯層的厚度優(yōu)選為29 90 μ m,更優(yōu)選為30 80 μ m。另外，芯層也可以通過(guò)如下方法容易地制造通過(guò)旋涂法等將芯層形成用樹脂清 漆涂布于包層上，除去溶劑。以下，對(duì)于本發(fā)明的光波導(dǎo)的制造方法中的一個(gè)實(shí)例加以說(shuō)明。圖3是表示本發(fā)明的光波導(dǎo)的制造方法的一個(gè)實(shí)例的說(shuō)明圖。首先，作為第1工序(參照?qǐng)D3(a)和圖4)，在含有無(wú)機(jī)填充材料2的基板3上形 成紫外線吸收層10。作為紫外線吸收層10的形成方法，如上所述，可以通過(guò)旋涂法等在基 板3上涂布紫外線吸收層形成用樹脂清漆，除去溶劑后，通過(guò)光或熱使其固化，形成紫外線 吸收層10，但在本發(fā)明中，優(yōu)選預(yù)先制造圖4所示的紫外線吸收膜11，將該膜11層疊在基 板3上的方法。紫外線吸收膜，如圖4所示是在基材膜12上層疊有紫外線吸收層10’的膜，而且 根據(jù)需求，在基材膜的背面層疊有保護(hù)膜13。在第1工序中，在基板3上熱壓接紫外線吸收膜11，通過(guò)光或加熱進(jìn)行固化，剝 離基材膜12，由此，層疊紫外線吸收層10，但從密合性和追隨性方面考慮，優(yōu)選在減壓下層 疊。層疊下的加熱溫度優(yōu)選為50 130°C，壓接壓力優(yōu)選為0. 1 1. 0MPa(l 10kgf/cm2) 左右，但并不限于這些條件。設(shè)置有保護(hù)膜13的情況下，剝離該保護(hù)膜13后，使紫外線吸
16收膜11熱壓接于基板3上。另外，為了容易從紫外線吸收膜10’上剝離，優(yōu)選不對(duì)保護(hù)膜13和基材膜12進(jìn)行 粘接處理，根據(jù)需要可實(shí)施脫模處理(參照?qǐng)D4的a和b)。接著，作為第2工序(參照?qǐng)D3(b))，將制作于基材膜上的第1包層形成用樹脂膜 層疊在紫外線吸收層上后，通過(guò)光或熱進(jìn)行固化，形成包層4。在該第2工序中，在上述紫外線吸收層上，通過(guò)熱壓接圖5所示的包層形成用樹脂 膜41，層疊包層4。這里，從密合性和追隨性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選在減壓下進(jìn)行層疊，該條件與 層疊前述的紫外線吸收層的情況相同。另外，就包層形成用樹脂膜而言，在基材膜42的相 反側(cè)設(shè)置保護(hù)膜43的情況下(參照?qǐng)D5)，剝離該保護(hù)膜43后，使包層形成用樹脂膜42熱 壓接于紫外線吸收層10上，通過(guò)光或加熱來(lái)固化，形成包層4。此時(shí)，為了容易從包層形成用樹脂膜41上剝離，優(yōu)選不對(duì)保護(hù)膜43和基材膜42 進(jìn)行粘接處理，可以根據(jù)需要實(shí)施脫模處理(參照?qǐng)D5的c和d)。另外，也可通過(guò)旋涂法等在紫外線吸收層10上涂布包層形成用樹脂清漆，除去溶 劑后，通過(guò)光或熱使其固化，形成包層4。接著，作為第3工序(參照?qǐng)D3(c))，在包層4上層疊芯層形成用樹脂膜51，層疊 芯層5。 在該第3工序中，在上述包層4上存在基材膜42時(shí)，將其剝離后，熱壓接芯層形成 用樹脂膜51，由此，層疊折射率比包層4高的芯層5。這里，從密合性和追隨性的角度考慮， 優(yōu)選在減壓下層疊。層疊時(shí)的加熱溫度優(yōu)選為50 130°C，壓接壓力優(yōu)選為0. 1 l.OMPa (1 IOkgf/ cm2)左右，但并不限于這些條件。芯層形成用樹脂膜51，如圖6所示，由芯層5和基材膜52構(gòu)成時(shí)因容易處理而優(yōu) 選，但也可以單獨(dú)由芯層5構(gòu)成?？赏ㄟ^(guò)旋涂法等將芯層形成用樹脂清漆涂布在包層4上，除去溶劑，由此形成芯層5。就芯層形成用樹脂膜51而言，在基材膜52的相反側(cè)設(shè)置保護(hù)膜53時(shí)(參照?qǐng)D 6)，剝離該保護(hù)膜53后，層疊芯層形成用樹脂膜51。此時(shí)，為了容易從芯層5上剝離，優(yōu)選 不對(duì)保護(hù)膜53和基材52實(shí)施粘接處理，也可根據(jù)需要實(shí)施脫模處理(參照?qǐng)D6的e和f)。接著，作為第4工序(參照?qǐng)D3(d)和(e))，對(duì)芯層5曝光顯影，形成光波導(dǎo)芯圖形 6。具體來(lái)講，通過(guò)光掩模圖形7，以呈圖像方式照射紫外線8。作為紫外線的光源，例如，可舉出碳弧燈、水銀蒸汽弧燈、超高壓水銀燈、高壓水銀 燈、氙燈等可有效放射紫外線的公知的光源。接著，在芯層5上殘留有基材膜52的情況下，剝離基材膜52，通過(guò)濕式顯影法等除 去未曝光部分進(jìn)行顯影，形成光波導(dǎo)芯圖形6。濕式顯影的情況下，使用適于芯層形成用樹脂膜或芯層形成用樹脂清漆的組成的 有機(jī)溶劑系顯影液或堿顯影液，通過(guò)噴射、搖動(dòng)浸漬、刷涂、刮涂等公知的方法來(lái)顯影。作為有機(jī)溶劑系顯影液，例如，可舉出N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、N， N- 二甲基乙酰胺、環(huán)己酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、Y _ 丁內(nèi)酯、甲基溶纖劑、乙基溶纖 劑、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯等。
為了防止起火，這些有機(jī)溶劑，可以在相對(duì)于有機(jī)溶劑100質(zhì)量份通常為1 20 質(zhì)量份的范圍內(nèi)添加水。作為堿顯影液，可使用堿性水溶液、水系顯影液等，作為堿性水溶液的堿，并無(wú)特 別限制，例如，可舉出鋰、鈉或鉀的氫氧化物等氫氧化堿；鋰、鈉、鉀或銨的碳酸鹽或碳酸氫 鹽等碳酸堿；磷酸鉀、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽；焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽；硼 砂、偏硅酸鈉等鈉鹽；四甲基氫氧化銨、三乙醇胺、乙二胺、二乙三胺、2-氨基-2-羥甲基-1， 3-丙二醇、1，3- 二氨基丙醇-2-嗎啉等有機(jī)堿等。用于顯影的堿性水溶液的pH優(yōu)選為9 11，其溫度根據(jù)芯部形成用樹脂組合物層 的顯影性來(lái)調(diào)節(jié)。另外，在堿性水溶液中，可以混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量的有 機(jī)溶劑等。其中，特別優(yōu)選為碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀水溶液，因?yàn)樗鼈儗?duì)人體的刺激少、對(duì)環(huán) 境的影響小。另外，根據(jù)需要，在上述堿水溶液中也可以并用有機(jī)溶劑。這里所說(shuō)的有機(jī)溶劑只 要能與堿水溶液混合即可，并無(wú)特別限制，例如，可舉出甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、乙二醇、 丙二醇等醇；丙酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等酮；乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單 甲醚、丙二醇單乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚等多元醇烷基醚寸。這些可以單獨(dú)使用也可以組合2種以上來(lái)使用。作為顯影后的處理，可以根據(jù)需要采用包含水和上述有機(jī)溶劑的洗滌液洗滌光波 導(dǎo)的芯部。有機(jī)溶劑可以單獨(dú)或者組合2種以上來(lái)使用。有機(jī)溶劑的濃度通常，優(yōu)選為2 90質(zhì)量％，其溫度根據(jù)芯部形成用樹脂組合物的顯影性來(lái)調(diào)節(jié)。作為顯影的方式，例如，可舉出浸漬方式、攪拌方式、高壓噴射方式等噴射方式、刷 涂、刮涂等，高壓噴射方式最合適用于提高分辨率。另外，根據(jù)需要可以并用2種以上的顯影方法。作為顯影后的處理，可以根據(jù)需要，通過(guò)進(jìn)行60 250°C左右的加熱或0. 1 lOOOmJ/cm2左右的曝光，使光波導(dǎo)芯圖形進(jìn)一步固化來(lái)使用。之后，作為第5工序(參照?qǐng)D3(f))，實(shí)施的工序有為了包埋芯圖形6而層疊上 部包層形成用樹脂膜91 (參照?qǐng)D7)的工序；固化該上部包層形成用樹脂膜91的包層形成 用樹脂層9’，形成上部包層9的工序。就層疊而言，在將包層形成用樹脂層9’制作于基材膜92上時(shí)，使包層形成用樹脂 層9’處于芯圖形6側(cè)。此時(shí)的上部包層9的厚度如上所述，優(yōu)選比芯層5的厚度大。固化通過(guò)光或者熱與上述同樣地進(jìn)行。就包層形成用樹脂膜91而言，在將保護(hù)膜93設(shè)置于基材膜92的相反側(cè)時(shí)(參照 圖7)，剝離該保護(hù)膜93后，熱壓接包層形成用樹脂膜91，通過(guò)光或熱使其固化，形成包層8。 此時(shí)，可以剝離基材膜92，也可以根據(jù)需要就這樣貼合著。在這樣貼合著的情況下，包層形成用樹脂層9’優(yōu)選在實(shí)施了粘接處理的基材膜 92上成膜。
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另一方面，為了從包層形成用樹脂膜91上容易剝離，優(yōu)選不對(duì)保護(hù)膜93進(jìn)行粘接 處理，也可以根據(jù)需要實(shí)施脫模處理(參照?qǐng)D7的g和h)。包層9可通過(guò)如下方法形成通過(guò)旋涂法等涂布包層形成用樹脂清漆，除去溶劑 后，通過(guò)光或熱使其固化。實(shí)施例下面，通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體的說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例。下 述例子中的“ ％ ”只要沒有特別說(shuō)明就是指“質(zhì)量％ ”。另外，本發(fā)明中的(甲基)丙烯酸是 指丙烯酸以及與之對(duì)應(yīng)的甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯以及與之對(duì)應(yīng)的甲 基丙烯酸酯，(甲基)丙烯?；侵副；约芭c之對(duì)應(yīng)的甲基丙烯?；?評(píng)價(jià)方法)1.紫外線透過(guò)率紫外線吸收膜的透過(guò)率采用分光光度計(jì)(日立制作所(株)制造“U-3410”)進(jìn)行 測(cè)定。2.分辨率的評(píng)價(jià)通過(guò)光學(xué)顯微鏡對(duì)曝光、顯影后的圖形化的芯進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)如下。〇完全沒有顯影殘留Δ 僅有少量顯影殘留，但實(shí)用上不成問(wèn)題。X 可看出芯之間有橋接。實(shí)施例1(1)感光性樹脂組合物的制備準(zhǔn)備清漆(熱塑性聚合物的含量為40質(zhì)量％)(成分(A-I))，所述清漆是通過(guò) 將(A)具有羧基的熱塑性聚合物即甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸丁酯的共聚物 (22/57/21，重均分子量110000，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg) :66°C，酸值144)溶解于甲基溶纖 劑/甲苯的混合溶劑(質(zhì)量比60/40)而成。接著，準(zhǔn)備(B)光聚合性化合物即含有乙烯性不飽和基團(tuán)的氨基甲酸酯化合物 (共榮社化學(xué)(株)制造“UF-8003”(商品名)，80質(zhì)量％甲基乙基酮溶液，成分(B-I))以 及聚氧乙烯化雙酚A的甲基丙烯酸酯(成分(B-2))。接著，如表1所示，將上述成分(A-l)175質(zhì)量份、成分(B_l) 63質(zhì)量份、成分 (B-2)36質(zhì)量份、作為(C)成分的2-芐基-2-( 二甲基氨基)-4-嗎啉代丁基苯酮(汽巴精 化有限公司制造的“IrgaCUre369”) 2. 5質(zhì)量份以及作為其他成分的表1所示的各成分進(jìn)行 配合，制備感光性樹脂組合物的清漆。(2)紫外線吸收膜的制造采用涂布機(jī)((株)平野金屬制造的Mutilcoater M-200)，將上述(1)中制造的 感光性樹脂組合物的清漆涂布在作為基材(支撐)膜的厚度25 μ m聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯 (PET)膜4上，在80°C干燥10分鐘，然后，在100°C干燥10分鐘，得到在基材膜上層疊有感 光性樹脂層的紫外線吸收膜。此時(shí)，紫外線吸收膜中的感光性樹脂層的厚度可通過(guò)調(diào)節(jié)涂布機(jī)的間隙實(shí)現(xiàn)任意 調(diào)節(jié)，在本實(shí)施例中，調(diào)節(jié)為固化后的層厚是25 μ m。該紫外線吸收膜的紫外線的透過(guò)率示 于表1中。
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接著，在感光性樹脂層上貼合作為保護(hù)膜的聚乙烯膜。(3)芯層形成用樹脂膜以及包層形成用樹脂膜的制造接著，制備表2所示配合量的芯層形成用樹脂組合物以及包層形成用樹脂組合 物，在它們之中加入作為溶劑的甲基乙基酮，其相對(duì)于組合物總量100質(zhì)量份為40質(zhì)量份， 從而制備出芯層用和包層用的樹脂清漆。在表2中，(i)基體聚合物和(ii)光聚合性化合物的配合量為相對(duì)于(i)成分和 (ii)成分的總量的質(zhì)量％，(iii)光聚合引發(fā)劑的配合量是相對(duì)于(i)成分和(ii)成分的 總量100質(zhì)量份的比例(質(zhì)量份)。關(guān)于上部以及下部包層形成用樹脂膜，采用涂布機(jī)((株)平野金屬制造的 Mutilcoater M-200)，在作為基材(支撐)膜的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜(東洋紡 織(株)制造，商品名“COSMO SHINE A-4100”，厚度50 μ m，涂布面未處理面)上，涂布上 述包層用的樹脂清漆，在80°c干燥10分鐘，然后在iocrc干燥10分鐘，得到包層形成用樹脂膜。此時(shí)，包層形成用樹脂膜的厚度可通過(guò)調(diào)節(jié)涂布機(jī)的間隙而實(shí)現(xiàn)任意調(diào)節(jié)。在本 實(shí)施例中，關(guān)于固化后的膜厚，下部包層調(diào)節(jié)為30 μ m,上部包層調(diào)布為80 μ m。關(guān)于芯層形成用樹脂膜，采用涂布機(jī)((株)平野金屬制造的MutilcoaterM-200)， 在作為基材(支撐)膜的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜(東洋紡織(株)制造，商品名 "COSMO SHINE A-4100”，厚度50 μ m，涂布面未處理面)上，涂布上述芯層用的樹脂清漆， 在80°C干燥10分鐘，然后在100°C干燥10分鐘，得到芯層形成用樹脂膜。此時(shí)，芯層形成用樹脂膜的厚度可通過(guò)調(diào)節(jié)涂布機(jī)的間隙而實(shí)現(xiàn)任意調(diào)節(jié)。在本 實(shí)施例中，固化后的膜厚調(diào)節(jié)為50 μ m。采用棱鏡耦合測(cè)試儀(Metricon公司制造的Model2020)，對(duì)本實(shí)施例中的光波導(dǎo) 形成用樹脂膜(芯層形成用樹脂膜以及包層形成用樹脂膜)的固化后的折射率進(jìn)行測(cè)定 (測(cè)定波長(zhǎng)830nm)，結(jié)果，芯層形成用樹脂膜的折射率為1. 583，包層形成用樹脂膜的折射 率為1. 550。(4)光波導(dǎo)的制造對(duì)作為印刷電路板的部件所公知的玻璃布基材環(huán)氧樹脂基板(FR-4，日立化成工 業(yè)(株)制造的“MCL-E-679-F”，含有41體積％的作為無(wú)機(jī)填充材料的二氧化硅)的銅 箔進(jìn)行蝕刻，在其上利用真空加壓式層壓機(jī)((株)名機(jī)制作所制造的MVLP-500)在壓力 0. 5MPa、溫度60°C、加壓時(shí)間30秒鐘的條件下層疊上述紫外線吸收膜，剝離基材(支撐) 膜。接著，采用紫外線曝光機(jī)(大日本網(wǎng)屏(株)制造的MAP-1200)，以2000mJ/cm2的曝 光量對(duì)其照射紫外線(波長(zhǎng)365nm)，進(jìn)行光固化，然后，在160°C下在爐中熱固化1小時(shí)，由 此，形成紫外線吸收層10 (參照?qǐng)D3 (a))。接著，在紫外線吸收層10上層疊上述包層形成用樹脂膜(下部包層形成用樹脂 膜)，采用紫外線曝光機(jī)(大日本網(wǎng)屏(株)制造的MAP-1200)，以lOOOmJ/cm2的曝光量對(duì) 其照射紫外線(波長(zhǎng)365nm)，進(jìn)行光固化，由此，形成下部包層4 (參照?qǐng)D3 (b))。接著，剝離下部包層4上的基材膜即PET膜，在該包層4上通過(guò)同樣的方法層疊上 述芯層形成用樹脂膜(參照?qǐng)D3(c))。接著，隔著具有如表3所示的線寬/線間距的圖形的負(fù)型光掩模7，通過(guò)上述紫外線曝光機(jī)，以500mJ/cm2的曝光量照射紫外線(波長(zhǎng)365nm)后(參照?qǐng)D3 (d))，剝離作為基 材(支撐)膜的PET膜52，采用顯影液(乙基溶纖劑/N，N-二甲基乙酰胺=8/2(質(zhì)量比) 混合溶液)，對(duì)芯圖形6進(jìn)行顯影(參照?qǐng)D3(e))。接著，采用與下部包層4同樣的方法，層疊上述包層形成用樹脂膜，通過(guò)紫外線照 射和160°C下加熱處理60分鐘，形成上部包層9 (參照?qǐng)D3(f))，得到具有表3所示的線寬 /線間距的圖形的光波導(dǎo)。對(duì)于該光波導(dǎo)，用上述方法評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表3。實(shí)施例2在實(shí)施例1中，將紫外線吸收膜制造用的樹脂組合物變更為表1所示的組成以及 配合量，并且，使紫外線吸收層的層厚為38 μ m,除此以外，與實(shí)施例1同樣地操作，得到紫 外線吸收膜，與實(shí)施例1同樣地操作，得到波導(dǎo)。與實(shí)施例1同樣地操作進(jìn)行評(píng)價(jià)的結(jié)果示 于表3。實(shí)施例3在實(shí)施例1中，將紫外線吸收膜制造用的樹脂組合物變更為表1所示的組成以及 配合量，除此以外，與實(shí)施例1同樣地操作，得到紫外線吸收膜，與實(shí)施例1同樣地操作，得 到波導(dǎo)。與實(shí)施例1同樣地操作進(jìn)行評(píng)價(jià)的結(jié)果示于表3。實(shí)施例4在實(shí)施例1中，作為感光性樹脂組合物，采用混合有1，3_雙(3-氨基苯氧 基)苯/N，N-二甲基乙酰胺/3，3’，4，4’ - 二苯甲酮四羧酸二酐的混合物(質(zhì)量比 360. 5/1200/439. 5) 100質(zhì)量份、苯氧樹脂(東都化成(株)制造的“YP50”，平均分子量 70000) 10質(zhì)量份、烷基苯酚(日立化成工業(yè)(株)制造的“H4010”)4質(zhì)量份以及作為溶劑 的N-甲基-2-吡咯烷酮114質(zhì)量份的組合物，除此以外，與實(shí)施例1同樣地操作，得到波導(dǎo)。 與實(shí)施例1同樣地操作進(jìn)行評(píng)價(jià)的結(jié)果示于表3。在實(shí)施例4中使用的紫外線吸收膜的紫 外線透過(guò)率(波長(zhǎng)365nm)為0%。比較例1在實(shí)施例1中，除了不形成紫外線吸收層以外，與實(shí)施例1同樣地操作，得到光波 導(dǎo)。與實(shí)施例1同樣地操作進(jìn)行評(píng)價(jià)的結(jié)果示于表3。參考例1在比較例1中，作為基板，采用不含有無(wú)機(jī)填充材料的玻璃布基材環(huán)氧樹脂基板 (FR-4，日立化成工業(yè)(株)制造的“MCL-E-67”)，除此以外，與比較例1同樣地操作，得到 光波導(dǎo)。與實(shí)施例1同樣地操作進(jìn)行評(píng)價(jià)的結(jié)果示于表3。表1
21 *1 將甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸丁酯的共聚物(22/57/21，重均分子 量110000，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg) :66°C，酸值144)溶解于甲基溶纖劑/甲苯的混合溶劑 (質(zhì)量比60/40)而得到的清漆(熱塑性聚合物的含量40質(zhì)量％ )*2 將甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯的共聚物(12/58/30，重均分子 量60000，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg) :61°C，酸值78)溶解于甲基溶纖劑/甲苯的混合溶劑(質(zhì) 量比60/40)而得到的清漆(熱塑性聚合物的含量40質(zhì)量％ )*3 將甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯/苯乙烯的共聚物 (26/34/20/20，重均分子量65000，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg) :84°C，酸值170)溶解于甲基溶 纖劑/甲苯的混合溶劑(質(zhì)量比60/40)而得到的清漆(熱塑性聚合物的含量40質(zhì)量％ )*4:UF_8003(商品名，共榮社化學(xué)(株)制造，80質(zhì)量％甲基乙基酮溶液，數(shù)均分 子量6400)；通過(guò)使聚碳酸酯化合物3摩爾和異佛爾酮二異氰酸酯4摩爾進(jìn)行加聚反應(yīng)所 得到末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化合物，進(jìn)一步與丙烯酸2-羥乙酯2摩爾進(jìn)行反應(yīng) 而得到的物質(zhì)，其中，所述聚碳酸酯化合物含有六亞甲基碳酸酯/五亞甲基碳酸酯(5/5 (摩 爾比))作為重復(fù)單元，數(shù)均分子量為790且末端上具有羥基。*5 聚氧乙烯化雙酚A的甲基丙烯酸酯*6 三(甲基丙烯酰氧基乙二醇異氰酸酯六亞甲基)異氰尿酸酯*7 :IrgaCure369(汽巴精化有限公司制造)；2_芐基_2_ ( 二甲基氨基)_4_嗎啉 代丁基苯酮
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*8 :N，N，-四乙基_4，4，- 二氨基二苯甲酮*9 使下述通式(I)表示的異氰酸酯化合物和作為嵌段劑的下述通式(II)表示的 甲基乙基酮肟反應(yīng)而得到的嵌段化異氰酸酯化合物的75質(zhì)量％甲基乙基酮溶液[化學(xué)式1] [化學(xué)式2] *10:2，2，-亞甲基雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)*11 顏料黃(大日精化工業(yè)(株)制造)*12:單偶氮系染料(保土 *谷化學(xué)(株)制造)*13 有機(jī)硅(東麗道康寧(株)制造)*14 甲基乙基酮、丙酮以及N，N- 二甲基甲酰胺的混合溶劑(質(zhì)量比20/3/6)表2 :PhenotohtoYP-70 ；雙酚A/雙酚F共聚型苯氧樹脂(東都化成(株)制造)*16 =A-BPEF ;9，9_雙(4_(2_丙烯酰氧基乙氧基)苯基)芴雙酚A型環(huán)氧丙烯酸 酯(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)
*17 :EA-1020 ；雙酚A型環(huán)氧丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)*18 :KRM-2110 ；脂環(huán)族二環(huán)氧羧酸酯((株)ADEKA制造)*19 Irgacure819 ；雙(2，4，6_三甲基苯甲?；?苯基氧化膦(汽巴精化有限公司 制造)*20 :Irgacure2959 ； 1-(4_(2_ 羥基乙氧基)苯基)_2-羥基-2-甲基 丙 烷-1-酮(汽巴精化有限公司制造)*21 :SP-170 ；三苯基锍六氟銻酸鹽((株)ADEKA制造)表 3 工業(yè)上的應(yīng)用性本發(fā)明的光波導(dǎo)具有高分辨率的芯圖形，因此能夠?qū)崿F(xiàn)高密度的光配線。另外，根 據(jù)本發(fā)明的制造方法，能夠以高生產(chǎn)率制造具有高分辨率芯圖形的光波導(dǎo)。
2權(quán)利要求
一種光波導(dǎo)，其為在含有無(wú)機(jī)填充材料的樹脂基板上至少依次層疊有紫外線吸收層、下部包層、圖形化的芯層以及上部包層的光波導(dǎo)，其特征在于，芯層的圖形化是通過(guò)曝光和顯影來(lái)進(jìn)行的，并且，紫外線吸收層的厚度為10～50μm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)，其特征在于，所述紫外線吸收層由感光性樹脂組合 物構(gòu)成，所述感光性樹脂組合物含有(A)具有羧基的熱塑性聚合物、(B)分子內(nèi)具有能聚合 的乙烯性不飽和基團(tuán)的光聚合性化合物以及(C)光聚合引發(fā)劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光波導(dǎo)，其特征在于，所述(B)光聚合性化合物包含含有乙烯 性不飽和基團(tuán)的氨基甲酸酯化合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光波導(dǎo)，其特征在于，所述含有乙烯性不飽和基團(tuán)的氨基甲 酸酯化合物是通過(guò)使在兩末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化合物與含有羥基的乙烯性 不飽和化合物進(jìn)行反應(yīng)而得到，并且，該兩末端具有異氰酸酯基的氨基甲酸酯化合物是通 過(guò)使兩末端具有羥基的聚碳酸酯化合物和二異氰酸酯化合物進(jìn)行反應(yīng)來(lái)得到。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)，其特征在于，所述紫外線吸收層的在曝 光波長(zhǎng)下的紫外線透過(guò)率為50%以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)，其特征在于，所述無(wú)機(jī)填充材料的含量 為15 75體積％。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)，其特征在于，所述無(wú)機(jī)填充材料是二氧化硅。
8.一種光波導(dǎo)的制造方法，其具有在含有無(wú)機(jī)填充材料的樹脂基板上形成紫外線吸 收層的工序；在該紫外線吸收層上形成下部包層的工序；在下部包層上形成芯層的工序； 對(duì)芯層曝光來(lái)轉(zhuǎn)印規(guī)定形狀圖形的工序；進(jìn)行顯影來(lái)形成芯圖形的工序；以及在該圖形化 的芯層上形成上部包層的工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光波導(dǎo)的制造方法，其特征在于，所述形成紫外線吸收層的 工序中，將紫外線吸收膜層疊在基板上，進(jìn)行加熱和加壓。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的光波導(dǎo)的制造方法，其特征在于，所述形成下部包層、芯 層以及上部包層的工序中，分別采用下部包層形成用膜、芯層形成用膜以及上部包層形成 用膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光波導(dǎo)，其為在含有無(wú)機(jī)填充材料的樹脂基板上，至少依次層疊有紫外線吸收層、下部包層、圖形化的芯層以及上部包層的光波導(dǎo)，其特征在于，芯層的圖形化是通過(guò)曝光和顯影來(lái)進(jìn)行的，并且，紫外線吸收層的厚度為10～50μm。本發(fā)明還提供一種光波導(dǎo)的制造方法，其具有在含有無(wú)機(jī)填充材料的樹脂基板上形成紫外線吸收層的工序；在該紫外線吸收層上形成下部包層的工序；在下部包層上形成芯層的工序；對(duì)芯層曝光來(lái)轉(zhuǎn)印規(guī)定形狀的圖形的工序；進(jìn)行顯影來(lái)形成芯圖形的工序；以及在該圖形化的芯層上形成上部包層的工序。根據(jù)本發(fā)明能夠制造具有高分辨率芯圖形的光波導(dǎo)。
文檔編號(hào)G02B6/122GK101903814SQ20088012101
公開日2010年12月1日 申請(qǐng)日期2008年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月17日
發(fā)明者大橋武志, 山口正利, 柴田智章, 高橋敦之 申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社