專利名稱：感光性樹脂層壓體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將通過堿性水溶液可顯影的感光性樹脂組合物層壓在支撐層上的感 光性樹脂層壓體、使用該感光性樹脂層壓體在基板上形成抗蝕圖案的方法、以及該抗蝕圖 案的用途。進(jìn)一步詳細(xì)地說，涉及在如下的部件制造中提供適合的抗蝕圖案的感光性樹脂 組合物印刷線路板的制造、撓性印刷線路板的制造；IC芯片搭載用引線框(以下稱為引線 框)的制造；金屬掩模制造等的金屬箔精密加工、BGA (球柵陣列封裝)或CSP (芯片尺寸封 裝)等的半導(dǎo)體封裝體制造；以TAB (自動載帶鍵合Tape Automated Bonding)或COF(覆 晶薄膜(Chip On Film)在薄膜狀的微細(xì)線路板上搭載半導(dǎo)體IC的材料)為代表的帶狀 基板的制造；半導(dǎo)體凸塊的制造；平板顯示器領(lǐng)域中的ITO電極、尋址電極、或電磁波屏蔽 體等部件的制造。
背景技術(shù)：
以往，印刷線路板通過光刻法來制造。所謂的光刻法是指將感光性樹脂組合物涂 布在基板上，并通過圖案曝光使該感光性樹脂組合物的曝光部分聚合固化，通過顯影液除 去未曝光部分而在基板上形成抗蝕圖案，實(shí)施蝕刻或鍍敷處理形成導(dǎo)體圖案，然后將該抗 蝕圖案從該基板上剝離除去，從而在基板上形成導(dǎo)體圖案的方法。上述的光刻法中，將感光性樹脂組合物涂布在基板上時，可使用如下方法中的任 一種在基板涂布光致抗蝕劑溶液并使其干燥的方法，或者在基板上依次層壓由支撐層、感 光性樹脂組合物形成的層(下文也稱“感光性樹脂層”。)，和根據(jù)需要的保護(hù)層的感光性樹 脂層壓體(下文也稱“抗蝕干膜”。)的方法。并且在印刷線路板的制造中，多數(shù)使用后者 的抗蝕干膜。對于使用上述的抗蝕干膜來制造印刷線路板的方法簡述如下。首先，抗蝕干膜具有保護(hù)層例如聚乙烯膜的情況下，由感光性樹脂層將其剝離。接 著使用層壓機(jī)在基板例如覆銅層壓板上以該基板、感光性樹脂層、支撐層的順序?qū)訅焊泄?性樹脂層和支撐層。接著，通過隔著具有線路圖案的光掩模，用含有超高壓水銀燈發(fā)出的i 射線(365nm)的紫外線曝光該感光性樹脂層，從而使曝光部分聚合固化。然后剝離支撐層 例如聚對苯二甲酸乙二醇酯。然后通過顯影液，例如具有弱堿性的水溶液溶解或者分散除 去感光性樹脂層的未曝光部分，使其在基板上形成抗蝕圖案。使用這樣操作形成的基板上的抗蝕圖案，作為制作金屬導(dǎo)體圖案的方法大致分為 2種方法，將沒有被抗蝕劑包覆的金屬部分通過蝕刻除去的方法和通過鍍敷帶有金屬的方 法。尤其是最近從工藝簡便方面出發(fā)，多用前者的方法。在通過蝕刻除去金屬部分的方法中，對于用于基板的貫通孔(通孔)和層間連 接的導(dǎo)通孔，通過用固化抗蝕膜覆蓋來避免孔內(nèi)的金屬被蝕刻。該工藝方法稱為蓋孔 (tenting)法。在蝕刻工序中可使用例如氯化銅、氯化鐵、銅氨絡(luò)合物溶液。伴隨近年的印刷線路板中線路間隔的微細(xì)化，為了以良好的成品率來制造窄間距 的圖案，對抗蝕干膜要求高分辨率和高蓋孔性。作為提高分辨率的方法，通過使抗蝕干膜變
4薄，可以簡便地提高，而相反，通過由顯影工序、蝕刻工序的噴霧帶來的對薄膜的物理性外 力的抗力變?nèi)?，而存在在顯影工序、蝕刻工序中不能保護(hù)通孔、導(dǎo)通孔(蓋孔性不優(yōu)異)的 問題。專利文獻(xiàn)1公開了感光性樹脂組合物中的不飽和化合物中由于3官能單體多而優(yōu) 異的光致抗蝕劑。然而，僅記述了不飽和化合物中的3官能單體的比例，在某個范圍內(nèi)存在 蓋孔性不優(yōu)異的問題。專利文獻(xiàn)1后述在比較例中。專利文獻(xiàn)2公開了作為感光性樹脂組合物中的不飽和化合物利用4官能單體的優(yōu) 異的光致抗蝕劑。然而，在使用它們的直接描繪曝光中存在蓋孔性不優(yōu)異的問題。專利文獻(xiàn)3公開了感光性樹脂組合物中的不飽和化合物中利用3官能單體的優(yōu)異 的光致抗蝕劑。然而，利用使用了它們的薄膜的直接描繪曝光中存在蓋孔性不優(yōu)異的問題。然而，在感光性樹脂組合物中大量包含這些多官能單體時，也存在顯影時產(chǎn)生油 狀的聚集物的問題。因此，尋求即使在直接描繪曝光中蓋孔性也良好，另外，顯影時的聚集物不是油狀 的，且粉狀的聚集物也少的物質(zhì)。專利文獻(xiàn)1 日本特開平11-119422號公報專利文獻(xiàn)2 日本特開2000-347400號公報專利文獻(xiàn)3 日本特開2002-228871號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的目的在于提供一種感光性樹脂層壓體，感光性樹脂層的厚度即便薄至 3 15 μ m時，即便以直接描繪曝光進(jìn)行曝光時，蓋孔性也良好，另外，未發(fā)生顯影時的油狀 聚集物，且粉狀的聚集物也少。用于解決問題的方案上述課題可以通過本發(fā)明以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。S卩，本發(fā)明的內(nèi)容如下。1. 一種感光性樹脂層壓體，其特征在于，其為至少層壓支撐層和感光性樹脂層而 成的感光性樹脂層壓體，該感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成，該感光性樹脂組合物 至少包括(a)堿可溶性樹脂25 64質(zhì)量％、(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物、(c)光聚合弓I發(fā)劑0. 1 20質(zhì)量％，并且進(jìn)一步滿足以下⑴、(ii)和(iii)(i)作為所述(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物，相對于感光性樹脂組合 物的總量，含有30 55質(zhì)量％的選自由下述通式(I)表示的化合物和下述通式(II)表示 的化合物組成的組中的至少一種可光聚合的不飽和化合物；(ii)所述(a)堿可溶性樹脂的重均分子量為70000 220000、酸當(dāng)量為100 600 ；(iii)感光性樹脂層的厚度為3 15 μ m， (式中，禮、R2和R3各自獨(dú)立地為H或者CH3,Ii1、n2、n3和n4各自獨(dú)立地為O 的整數(shù)，也可以同時為O。W為以CH3或者OH表示的基團(tuán)。)(化學(xué)式2) (式中，R5、R6、R7和R8各自獨(dú)立地為H或者CH3,Hipn^m3和m4各自獨(dú)立地為O 4的整數(shù)，也可以同時為O。)2.根據(jù)上述1所述的感光性樹脂層壓體，其中，作為所述(b)可光聚合的具有不 飽和雙鍵的化合物，相對于感光性樹脂組合物的總量，含有35 55質(zhì)量％的選自由所述通 式(I)表示的化合物和所述通式(II)表示的化合物組成的組中的至少一種可光聚合的不 飽和化合物。3.上述1或2所述的感光性樹脂層壓體，其中，(c)光聚合引發(fā)劑為9-苯基吖啶。4.上述1 3中任一項所述的感光性樹脂層壓體，其特征在于，設(shè)相對于感光性樹 脂組合物總量的上述(a)堿可溶性樹脂的比例為A質(zhì)量％、上述(b)可光聚合的具有不飽 和雙鍵的化合物的比例為B質(zhì)量％時，A/B為1. 1 1. 3。5. 一種抗蝕圖案的形成方法，其包括在基板上層壓上述1 4中任一項所述的 感光性樹脂層壓體的感光性樹脂層的層壓工序、曝光紫外線的曝光工序、除去未曝光部分 的顯影工序。
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6.上述5所述的抗蝕圖案的形成方法，其特征在于，在所述曝光工序中通過直接 描繪進(jìn)行曝光。7. 一種導(dǎo)體圖案的制造方法，其包括使用覆銅層壓板作為基板，對通過上述5或 6所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。8. 一種印刷線路板的制造方法，其特征在于，使用金屬包覆絕緣板作為基板，對通 過上述4 7中任一項所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷，剝離抗蝕圖案。9. 一種引線框的制造方法，其特征在于，使用金屬板作為基板，對通過上述4 8 任一項所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻，剝離抗蝕圖案。10. 一種半導(dǎo)體封裝的制造方法，其特征在于，使用完成了大規(guī)模集成電路的電路 形成的晶圓作為基板，對通過上述4 9任一項所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行鍍 敷，剝離抗蝕圖案。11. 一種具有凹凸圖案的基材的制造方法，其特征在于，使用玻璃肋作為基板，利 用噴砂工藝對通過上述4 10任一項所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行加工，剝離抗 蝕圖案。發(fā)明的效果本發(fā)明的感光性樹脂層壓體具有如下效果盡管感光性樹脂層的厚度薄至3 15 μ m,即便以直接描繪曝光進(jìn)行曝光時，蓋孔性也良好，另外，未產(chǎn)生顯影時的油狀聚集 物，且粉狀的聚集物也少。
具體實(shí)施例方式以下對本發(fā)明進(jìn)行具體說明。<感光性樹脂層壓體>本發(fā)明的感光性樹脂層壓體，其特征在于，其為至少層壓支撐層和感光性樹脂層 而成的感光性樹脂層壓體，該感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成，該感光性樹脂組合 物至少包括 (a)堿可溶性樹脂25 64質(zhì)量％、(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物、(c)光聚合弓I發(fā)劑0. 1 20質(zhì)量％，并且進(jìn)一步滿足以下⑴、(ii)和(iii)(i)作為所述(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物，相對于感光性樹脂組合 物的總量，含有30 55質(zhì)量％的選自由下述通式(I)表示的化合物和下述通式(II)表示 的化合物組成的組中的至少一種可光聚合的不飽和化合物；(ii)所述(a)堿可溶性樹脂的重均分子量為70000 220000、酸當(dāng)量為100 600 ；(iii)感光性樹脂層的厚度為3 15 μ m，[化學(xué)式3] (式中，禮、R2、和R3各自獨(dú)立地為H或者CH3,Ii1、n2、n3、和n4各自獨(dú)立地為0 4 的整數(shù)，也可以同時為0。W為以CH3、或者OH表示的基團(tuán)。)[化學(xué)式4] (式中，R5、R6、R7和R8各自獨(dú)立地為H或者CH3,Hi1、m2、m3和m4各自獨(dú)立地為0 4的整數(shù)，也可以同時為0。)對感光性樹脂組合物中的各成分的配合量記載時，各成分的配合量以將感光性樹 脂組合物中的固體成分總量為基準(zhǔn)時的質(zhì)量％來記載。(a)堿可溶性樹脂堿可溶性樹脂是指含有羧基的乙烯系樹脂，例如、(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸 酯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酰胺等的共聚物。(a)堿可溶性樹脂優(yōu)選含有羧基，且酸當(dāng)量為100 600。所謂的酸當(dāng)量是指其中 具有1當(dāng)量的羧基的線狀聚合物的質(zhì)量。酸當(dāng)量更優(yōu)選250以上450以下。提高耐顯影性、 提高分辨率和附著性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選100以上，從提高顯影性和剝離性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選 600以下。酸當(dāng)量的測定是使用平沼產(chǎn)業(yè)株式會社制造的平沼自動滴定裝置(C0M-555)，使 用0. lmol/L的氫氧化鈉利用電位差滴定法來進(jìn)行的。本發(fā)明使用的(a)堿可溶性樹脂的重均分子量優(yōu)選70000以上220000以下。從 提高顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選220000以下。從蓋孔性、聚集物的性狀的觀點(diǎn)出發(fā)，重均分子 量優(yōu)選70000以上。進(jìn)一步優(yōu)選70000以上200000以下。更優(yōu)選70000以上120000以下。重均分子量利用日本分光株式會社制造的凝膠滲透色譜(GPC)(泵Gulliver、PU-1580 型；柱昭和電工株式會社制Shodex (注冊商標(biāo))(KF-807、KF-806M、KF-806M、KF-802. 5)4 根串聯(lián)；移動相溶劑四氫呋喃；利用聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)樣品(昭和電工株式會社制造的Shodex STANDARD SM-105)的標(biāo)準(zhǔn)曲線使用)以聚苯乙烯換算求得的。堿可溶性樹脂優(yōu)選由后述的第一單體中的至少一種以上和后述的第二單體中的 至少一種以上組成的共聚物。第一單體為分子中具有一個聚合性不飽和基團(tuán)的羧酸或者酸酐。可列舉例如，(甲 基)丙烯酸、富馬酸、桂皮酸、巴豆酸、衣康酸、馬來酸酐、和馬來酸半酯。其中特別優(yōu)選(甲 基)丙烯酸。在此，(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或者甲基丙烯酸。以下相同。第二單體為非酸性、分子中至少具有一個聚合性不飽和基團(tuán)的單體?？闪信e例如， (甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙 酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯 酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸芐 酯、乙烯醇的酯類、例如醋酸乙烯酯、(甲基)丙烯腈、苯乙烯、和苯乙烯衍生物。其中，優(yōu)選 (甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、苯乙烯、(甲基)丙烯酸芐酯。從蓋孔性、聚集物的性狀觀點(diǎn)出發(fā)，(a)堿可溶性樹脂為含有羧基、酸當(dāng)量為 100 600、重均分子量為70000 220000是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。(a)堿可溶性樹脂相對于感光性樹脂組合物的綜合的比例為25 64質(zhì)量％的范 圍，優(yōu)選40 60質(zhì)量％。從作為抗蝕劑的特性，例如蓋孔、蝕刻和各種鍍敷工序中具有足 夠的耐性的觀點(diǎn)出發(fā)，通過曝光、顯影形成的抗蝕圖案優(yōu)選25質(zhì)量％以上64質(zhì)量％以下。(b)可光聚合的不飽和化合物可光聚合的不飽和化合物是指分子內(nèi)具有至少1個烯屬不飽和鍵的化合物。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為(b)具有可光聚合的不飽和雙鍵化合物， 相對于感光性樹脂組合物的總量，含有30 55質(zhì)量％的選自由下述通式(I)表示的化合 物和下述通式(II)表示化合物組成的組中的至少一種的可光聚合的不飽和化合物。[化學(xué)式5] (式中，禮、R2、和R3各自獨(dú)立地為H或者CH3, Ii1、n2、n3、和n4各自獨(dú)立地為0 4的整數(shù)，也可以同時為0。W為以CH3、或者OH表示的基團(tuán)。)[化學(xué)式6] (式中，R5、R6、R7和R8各自獨(dú)立地為H或者CH3,Iiipn^m3和m4各自獨(dú)立地為O 4的整數(shù)，也可以同時為O。)作為選自由上述通式(I)表示的化合物和上述通式(II)表示的化合物組成的組 中的至少一種的可光聚合的不飽和化合物的具體例，可列舉例如在上述通式(I)中，Ri、R2、 和R3為H，叫、n2、和n3為1的整數(shù)，n4為O的整數(shù)，W為CH3的化合物(新中村化學(xué)工業(yè)株 式會社制造的NK酯A-TMPT-3P0)；相同的在上述通式(I)中，H、和R3為H，叫、n2、禾口 n3為3的整數(shù)，n4為O的整數(shù)，W為CH3的化合物(新中村化學(xué)工業(yè)株式會社制造的NK酯 A-TMPT-9P0)等。另外，可列舉在上述通式(II)中，R5、R6、R7、和&為!1，Hipn^m3、和m4為O 的整數(shù)的化合物(新中村化學(xué)工業(yè)株式會社制造的NK酯A-TMMT)，相同的在上述通式(II) 中，R5、R6、R7、和R8為H，m” m2、m3、和m4為1的整數(shù)的化合物(寸一卜？ 一夕\ “ > (株) 社制造的SR-494)。從蓋孔性的觀點(diǎn)出發(fā)，選自由上述通式(I)表示的化合物和上述通式(II)表示的 化合物組成的組中的至少一種的可光聚合的不飽和化合物的含量為35 55質(zhì)量％，更優(yōu) 選40 55質(zhì)量％。此外，(b)可光聚合的不飽和化合物中，除了上述通式(I)、上述通式 (II)表示的化合物以外，還可以使用下述表示的可光聚合的不飽和化合物?？闪信e例如，
1,6-己二醇二
基)丙烯酸酯 三羥甲基丙烷_ 三羥甲基丙烷_ 三羥甲基丙烷
(甲基)丙烯酸酯、1，4_環(huán)己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚二乙二醇二(甲 .2-二(ρ-羥基苯基)丙烷二(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、 三(甲基)丙烯酸酯、聚氧丙基三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙基 三丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、 Ξ縮水甘油醚三(甲基)丙烯酸酯、雙酚A 二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸
酯、羥基丙基，_(丙烯酰氧基)丙基對苯二甲酸酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯 酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚烷基二醇(甲基)丙烯酸酯、 聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯。 另外也可以列舉尿烷化合物。作為尿烷化合物，可列舉例如，六亞甲基二異氰酸 酯、芐叉二異氰酸酯、或者二異氰酸酯化合物、例如2，2，4_三甲基六亞甲基二異氰酸酯，和 一分子中具有羥基和(甲基)丙烯酸基的化合物例如丙烯酸2-羥丙酯、與低聚丙二醇單甲基丙烯酸酯的尿烷化合物。具體而言，有六亞甲基二異氰酸酯與低聚丙二醇單甲基丙烯酸 酯(日本油脂株式會社制造的O > 7 — PP1000)的反應(yīng)物。它們可單獨(dú)使用也可以2種 以上并用。相對于感光性樹脂組合物的總量，包含可光聚合的不飽和化合物的(b)具有可光 聚合的不飽和雙鍵化合物總體的含量為30 55質(zhì)量％，優(yōu)選35質(zhì)量％ 55質(zhì)量％。更 優(yōu)選40 55質(zhì)量％，其中，所述可光聚合的不飽和化合物(b)為選自由上述通式(I)表示 的化合物和上述通式(II)表示的化合物組成的組中的至少一種的可光聚合的不飽和化合 物。另外，設(shè)相對于感光性樹脂組合物總量的上述(a)堿可溶性樹脂的比例為A質(zhì) 量％、上述(b)具有可光聚合的不飽和雙鍵的化合物的比例為B質(zhì)量％時，A/B為1. 1 1. 3，這是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。從蓋孔性的觀點(diǎn)出發(fā)，A/B優(yōu)選1. 1以上，更優(yōu)選Α/Β 1. 3 以下。(c)光聚合引發(fā)劑感光性樹脂組合物中，作為(C)光聚合引發(fā)劑通?？梢允褂靡阎奈镔|(zhì)。感光 性樹脂組合物所含的(c)光聚合引發(fā)劑的量為0.1 20質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選的范圍是 0.5 10質(zhì)量％。從獲得充分的感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選0. 1質(zhì)量％以上，另外，從使光充 分地透射到抗蝕劑底面、得到良好的高分辨率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選20質(zhì)量％以下。作為這種光聚合引發(fā)劑，有2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、1，2_苯并蒽醌、2，3_苯并蒽 醌、2-苯基蒽醌、2，3- 二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1，4_萘醌、9，10-菲 醌、2-甲基-1，4-萘醌、9，10-菲醌、2-甲基-1，4-萘醌、2，3- 二甲基蒽醌、3-氯-2-甲基 蒽醌等醌類；芳香族酮類、例如二苯甲酮、米蚩酮[4，4'-雙(二甲氨基)二苯甲酮]、4， 4'-雙(二乙氨基)二苯甲酮、苯偶姻或者苯偶姻醚類、例如苯偶姻、苯偶姻乙醚、苯偶姻 苯基醚、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻、二烷基縮酮類、例如苯偶酰二甲基縮酮、苯偶酰二乙基 縮酮；噻噸酮類、例如二乙基噻噸酮、氯噻噸酮；二烷基氨基安息香酸酯類、例如二甲基氨 基安息香酸乙酯；肟酯類、例如1-苯基-1，2-丙二酮-2-0-苯甲酰肟、1-苯基-1，2-丙二 酮-2-(0-乙氧羰基)肟；洛芬堿(Lophine) 二聚物，例如2-(鄰氯苯基)-4，5-二苯基咪唑 二聚物、2-(鄰氯苯基)_4，5-雙-(間甲氧基苯基)咪唑二聚物、2- (ρ-甲氧苯基)-4，5- 二 苯基咪唑二聚物；吖啶化合物、例如9-苯基吖啶。這些化合物可單獨(dú)使用，也可以2種以上 并用。從提高蓋孔性，能夠抑制油狀聚集物的產(chǎn)生的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選吖啶化合物，特別優(yōu)選 9-苯基吖啶。認(rèn)為此處所謂的油狀聚集物表示粘性高的聚集物，具有不飽和雙鍵的化合物 為主要成分。另一方面，認(rèn)為粉狀的聚集物是將阻聚劑和引發(fā)劑為主要成分，與油狀聚集物 不同的凝聚物。(d)其它成分為了使本發(fā)明中的感光性樹脂組合物的操作性提高，也可以加入隱色染料、或者 熒烷染料和著色物質(zhì)。作為隱色染料，可列舉出三(4-二甲氨基苯基)甲烷[隱色結(jié)晶紫]、雙(4-二甲 氨基苯基)苯基甲烷[隱色孔雀石綠]。其中，使用隱色結(jié)晶紫時，對比度良好故優(yōu)選。含 有隱色染料時的含量在感光性樹脂組合物中優(yōu)選含有0. 1 10質(zhì)量％。從表現(xiàn)對比度的 觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選0. 1質(zhì)量％以上，另外，從維持保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選10質(zhì)量％以下。
在感光性樹脂組合物中，從附著性和對比度的觀點(diǎn)出發(fā)，將隱色染料和下述鹵素 化合物組合使用時，是本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式。作為著色物質(zhì)，可列舉例如堿性品紅、酞菁綠、金胺堿、副品紅、結(jié)晶紫、甲基橙、尼 羅藍(lán)-2B、維多利亞藍(lán)、孔雀石綠(保土》谷化學(xué)(株)制，7 Hf > (注冊商標(biāo))MALACHITE GREEN)、堿性藍(lán)20、鉆石綠(保土》谷化學(xué)(株)制，7 ^> (注冊商標(biāo))DIAMOND GREEN GH)。含有著色物質(zhì)時的添加量優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有0. 001 1質(zhì)量％。在0. 001 質(zhì)量％以上的含量時，具有操作性提高的效果，在1質(zhì)量％以下的含量時，具有維持保存穩(wěn) 定性的效果。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，從感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，也可以含有N-芳 基-α-氨基酸化合物。作為N-芳基-α-氨基酸化合物，優(yōu)選N-苯基甘氨酸。含有N-芳 基-α -氨基酸化合物時的含量優(yōu)選0. 01質(zhì)量％以上30質(zhì)量％以下。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，也可以含有鹵素化合物。作為鹵素化合物，可列 舉例如、溴代戊烷、溴代異戊烷、溴代異丁烯、溴代乙烯、溴代二苯基甲烷、亞芐基二溴、二溴 甲烷、三溴甲基苯基砜、四溴化碳、三(2，3_二溴丙基)磷酸酯、三氯乙酰胺、碘代戊烷、碘代 異丁烷、1，1，1_三氯-2，2-雙(對氯苯基)乙烷、鹵化三嗪化合物，其中，特別優(yōu)選使用三溴 甲基苯基砜。含有鹵素化合物時的含量在感光性樹脂組合物中為0. 01 3質(zhì)量％。進(jìn)而，為了提高本發(fā)明的感光性樹脂組合物的熱穩(wěn)定性、保存穩(wěn)定性，可以在感光 性樹脂組合物中加入選自由自由基阻聚劑、苯并三唑類、和羧基苯并三唑類組成的組中的 至少1種以上的化合物。作為這樣的自由基阻聚劑，可列舉出例如，對甲氧基苯酚、氫醌、連苯三酚、萘胺、 叔丁基鄰苯二酚、氯化亞酮、2，6_ 二叔丁基-對甲酚、2，2’ -亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基 苯酚)、2，2 ’ -亞甲基雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、亞硝基苯基羥胺鋁鹽、和二苯基亞硝胺。另外，作為苯并三唑類，可以列舉出例如，1,2,3-苯并三唑、I"氯-1，2，3-苯并三 唑、雙(Ν-2-乙基己基)氨基亞甲基-1，2，3-苯并三唑、雙(Ν-2-乙基己基)氨基亞甲基-1， 2，3-苯并三唑、和雙(Ν-2-羥基乙基)氨基亞甲基-1，2，3-苯并三唑。另外，作為羧基苯并三唑類，可以列舉出例如，4-羧基-1，2，3-苯并三唑、5-羧 基-1，2，3-苯并三唑、N-(N，N-二-2-乙基己基)氨基亞甲基羧基苯并三唑、Ν-(Ν， N-二-2-羥基乙基)氨基亞甲基羧基苯并三唑、和N-(N，N-二-2-乙基己基)氨基亞乙基 羧基苯并三唑。自由基阻聚劑、苯并三唑類、和羧基苯并三唑類的總和添加量優(yōu)選為0. 01 3質(zhì) 量％，更優(yōu)選為0. 05 1質(zhì)量％。從賦予感光性樹脂組合物保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，該量 優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，另外，從維持感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選為3質(zhì)量％以下。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要還可以含有增塑劑。作為此類增塑劑 可以列舉出例如，聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧化丙烯聚氧化乙烯醚、聚氧化乙烯單甲醚、聚氧 化丙烯單甲醚、聚氧化乙烯聚氧化丙烯單甲醚、聚氧化乙烯單乙醚、聚氧化丙烯單乙醚、聚 氧化乙烯聚氧化丙烯單乙醚等二醇和酯類，鄰苯二甲酸二乙酯等鄰苯二甲酸酯類，鄰甲基 苯磺酰胺、對甲基苯磺酰胺、檸檬酸三丁酯、檸檬酸三乙酯、乙?；鶛幟仕崛阴ァ⒁阴；鶛?檬酸三正丙酯、乙酰基檸檬酸三正丁酯。作為增塑劑的含量，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有5 50質(zhì)量％，更優(yōu)選5
1230質(zhì)量％。從抑制顯影時間的延遲、賦予固化膜柔軟性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選5質(zhì)量％以上，另 外，從抑制固化不足和冷流的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下。本發(fā)明的感光性樹脂層壓體含有由感光性樹脂組合物組成的感光性樹脂層和支 撐層。也可以根據(jù)需要在感光性樹脂層的支撐層側(cè)相反的一側(cè)的表面具有保護(hù)層。作為這 里使用的支撐層，理想的是能使由曝光光源放射出的光線透過的透明支撐層。作為這樣的 支撐體，可以列舉聚對苯二甲酸乙二酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物 薄膜、聚偏氯乙烯薄膜、偏氯乙烯共聚薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、 聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜和纖維素衍生物薄膜。這些薄膜還可以根據(jù) 需要使用經(jīng)拉伸的薄膜。優(yōu)選濁度為5以下。關(guān)于薄膜的厚度，厚度薄的薄膜在圖像形成 性和經(jīng)濟(jì)性的方面是有利的，由于必須維持強(qiáng)度，所以優(yōu)選使用10 30 μ m的厚度。此外，作為在感光性樹脂層壓體中所用的保護(hù)層的重要特性，就與感光性樹脂層 的附著力而言，相較于支撐層，保護(hù)層方面的附著力足夠小且可容易地剝離。例如，可以 優(yōu)選使用聚乙烯薄膜和聚丙烯薄膜等作為保護(hù)層。此外，可以使用日本特開昭59-202457 號公報中所示的剝離性優(yōu)異的薄膜。保護(hù)層的膜厚優(yōu)選為10 100 μ m，更優(yōu)選為10 50 μ m0感光性樹脂層壓體中的感光性樹脂層的厚度根據(jù)用途而不同，優(yōu)選為5 ΙΟΟμπι， 更優(yōu)選為7 60 μ m。厚度越薄，分辨率越高，此外，厚度越厚，膜強(qiáng)度越提高。依次層壓支撐層、感光性樹脂層和根據(jù)需要設(shè)置的保護(hù)層而制備本發(fā)明的感光性 樹脂層壓體的方法，可以采用目前已知的方法。例如，預(yù)先將用于感光性樹脂層的感光性樹 脂組合物制成與溶解它們的溶劑混合均勻的溶液，先使用棒涂機(jī)或輥涂機(jī)將其涂布到支撐 層上，干燥，在支撐層上層壓由該感光性樹脂組合物組成的感光性樹脂層。然后，根據(jù)需要， 通過在該感光性樹脂層上層壓保護(hù)層，從而能制備感光性樹脂層壓體。作為上述溶劑，可列舉甲乙酮(MEK)為代表的酮類、以及以甲醇、乙醇和異丙醇 為代表的醇類。優(yōu)選以涂布在支撐層上的感光性樹脂組合物的溶液粘度在25 V為500 4000mPa的方式添加到感光性樹脂組合物中。〈抗蝕圖案形成方法〉使用了本發(fā)明的感光性樹脂層壓體的抗蝕圖案可通過包含層壓工序、曝光工序、 和顯影工序的工序來形成。下述示出具體的方法的一個例子。作為被加工基材，用于印刷線路板制造時可列舉覆銅層壓板，另外用于凹凸基材 的制造的玻璃基材，可列舉例如，等離子顯示器面板用基材和表面電解顯示器基材、有機(jī)EL 密封罩用或、形成貫通孔的硅晶圓和陶瓷基材。等離子顯示器用基材是指在玻璃上形成電 極后，涂布電介質(zhì)層，然后涂布隔壁用玻璃糊劑，在實(shí)施隔壁用玻璃糊劑部分進(jìn)行噴砂加工 并形成隔壁的基材。對這些被加工基材經(jīng)噴砂加工工序的產(chǎn)品為凹凸基材。首先，使用層壓機(jī)進(jìn)行層壓工序。在感光性樹脂層壓體具有保護(hù)層的情況下剝離 保護(hù)層，然后，使用層壓機(jī)將感光性樹脂層加熱壓接并層壓到基板表面上。此時，感光性樹 脂層可以僅層壓到基板表面的單面上，也可以根據(jù)需要層壓到兩面上。此時的加熱溫度通 常為40 160°C。此外，通過進(jìn)行二次以上的該加熱壓接，而提高附著力和耐化學(xué)藥品性。 此時，壓接可以使用具有二連輥的二段式層壓機(jī)，也可以反復(fù)多次通過輥來進(jìn)行壓接。然后，使用曝光機(jī)進(jìn)行曝光工序。需要時，剝離支撐體，并通過光掩模使用活性光 進(jìn)行曝光。曝光量由光源照度和曝光時間來決定。還可以使用光量計進(jìn)行測定。
另外在曝光工序中，還可以使用直接描繪曝光方法。直接描繪曝光是無需使用光 掩模，而在基板上通過直接描繪進(jìn)行曝光的方式。作為光源，例如使用波長為350 410nm 的半導(dǎo)體激光或超高壓汞燈等。描繪圖案由電腦控制，該情況下的曝光量由光源照度和基 板的移動速度來決定。接著，使用顯影裝置進(jìn)行顯影工序。在曝光后，感光性樹脂層上具有支撐體的情況 下將該支撐體除去。接著，使用堿性水溶液的顯影液，將未曝光部分顯影除去，獲得抗蝕圖 像。作為堿性水溶液，優(yōu)選使用Na2CO3或K2CO3的水溶液。這些可以根據(jù)感光性樹脂層的特 性適當(dāng)選擇，通常是濃度0. 2 2質(zhì)量％、20 40°C的Na2CO3水溶液。還可以在該堿性水 溶液中混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量有機(jī)溶劑等。通過上述工序獲得抗蝕圖案，但還可以根據(jù)情況進(jìn)行將該抗蝕圖案加熱到100 300°C的加熱工序。通過進(jìn)行該加熱工序，可以進(jìn)一步提高耐化學(xué)試劑性。加熱可以使用熱 風(fēng)、紅外線或遠(yuǎn)紅外線的方式的加熱爐。<導(dǎo)體圖案的制造方法·印刷線路板的制造方法>本發(fā)明的印刷線路板的制造方法是接著使用覆銅層壓板或撓性基板作為基板的 上述的抗蝕圖案形成方法，經(jīng)過以下的工序來進(jìn)行的。首先，將通過顯影露出的基板的銅面使用已知的方法例如蝕刻法或鍍敷法來形成 導(dǎo)體圖案。然后，使用具有比顯影液強(qiáng)的堿性的水溶液將抗蝕圖案從基板剝離，從而獲得期 望的印刷線路板。對于剝離用的堿性水溶液(以下也稱為“剝離液”。)沒有特別的限制， 通常使用2 5質(zhì)量％濃度、40 70°C的NaOH或KOH的水溶液。在剝離液中也可以加入 少量的水溶性溶劑。〈引線框的制造方法〉本發(fā)明的引線框制造方法是接著使用金屬板例如銅、銅合金、鐵系合金作為基板 的上述抗蝕圖案形成方法，經(jīng)過以下的工序進(jìn)行的。首先，對通過顯影露出的基板進(jìn)行蝕刻從而形成導(dǎo)體圖案。然后，通過與上述印刷 線路板的制造方法同樣的方法剝離抗蝕圖案，從而獲得期望的引線框。<半導(dǎo)體封裝的制造方法>本發(fā)明半導(dǎo)體封裝體的制造方法是接著使用完成了作為LSI的電路形成的晶圓 作為基板的上述抗蝕圖案的形成方法，經(jīng)過以下的工序進(jìn)行的。首先，對于通過顯影露出了的開口部，實(shí)施利用銅或錫焊的柱狀鍍敷，從而形成導(dǎo) 體圖案。然后，通過利用與上述印刷線路板的制造方法同樣的方法進(jìn)行剝離抗蝕圖案，再利 用蝕刻來除去柱狀鍍敷以外的部分的薄金屬層，從而獲得期望的半導(dǎo)體封裝體。實(shí)施例基于實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行說明。以下示出實(shí)施例和比較例的評價用樣品的制作方法以及得到的樣品的評價方法 和評價結(jié)果。1)評價用樣品的制作實(shí)施例和比較例中的感光性樹脂層壓體進(jìn)行如下的制作。<感光性樹脂層壓體的制作>
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調(diào)制表1示出的組合物的溶液以使固體成分量達(dá)到50質(zhì)量％，并進(jìn)行充分?jǐn)嚢琛?混合，在作為支持薄膜的16 μ m厚的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(三菱化學(xué)社制R340-G16) 上，使用混合涂布機(jī)均勻涂布表1示出的感光性樹脂組合物，在95°C下干燥1分鐘。干燥 后的感光性樹脂層的膜厚為10 μ m。接著在感光性樹脂層上的表面上，貼合作為保護(hù)層的 35μπι厚的聚乙烯膜(夕f -J社制GF-858)，得到感光性樹脂層壓體?！椿濉凳褂迷诮^緣樹脂上層壓了 35 μ m銅箔的0.4mm厚覆銅層壓板進(jìn)行評價。此外，以 下使用其他的基板時記載了其旨意?！磳訅骸颠厔冸x本發(fā)明的感光性樹脂層壓體的保護(hù)層邊通過熱輥層壓機(jī)(旭化成工> ” 二 7 U、” (株)社制造、AL-700)，在輥溫度105°C下進(jìn)行層壓。空氣壓力為0. 35MPa，層 壓速度為1. 5m/min。〈曝光〉利用直接描繪曝光機(jī)(才廣〒”社制、Paragon9000)在8W下以12mJ/cm2的 曝光量將感光性樹脂層進(jìn)行曝光?！达@影〉噴淋規(guī)定時間的30°C的1. 0質(zhì)量％ Na2CO3水溶液，溶解除去感光性樹脂層的未曝 光部分。實(shí)際顯影時間用24秒顯影，然后，水洗時間用36秒水洗。2)評價方法除了對上述評價樣品的制作進(jìn)行說明的方法以外，對各自的性能通過以下的方法 進(jìn)行評價?！瓷w孔性〉對在覆銅層壓板上通過上述方法進(jìn)行兩面層壓的基板，利用上述曝光方法進(jìn)行整 面直描曝光并得到固化膜，所述的覆銅層壓板為0. 2mm厚并制作有2500個的0. 3mm直徑的 通孔的500mmX 500mm的覆銅層壓板，通過上述顯影方法進(jìn)行顯影。在顯影后計算固化膜的 破裂個數(shù)，按照如下所述分級?！蚱屏训膫€數(shù)為25個以下〇破裂的個數(shù)超過25個、且為75個以下X 破裂的個數(shù)超過75個?！从蜖罹奂锏漠a(chǎn)生〉僅感光性樹脂層壓體的感光性樹脂層聚集2. 4m2，浸漬在200ml顯影液中，在30°C 下攪拌2小時，使其溶解。然后靜置，通過72小時后的溶液的情況進(jìn)行如下所述的分級。〇未產(chǎn)生油狀的聚集物、粉狀聚集物。Δ 油狀的聚集物、粉狀聚集物少。X :油狀的聚集物、粉狀聚集物多。<支撐層(PET)的剝離強(qiáng)度>準(zhǔn)備通過上述方法將感光性樹脂層壓體的感光性樹脂層進(jìn)行單面層壓的基板，在 23°C、50%相對濕度下放置24小時，然后對1英寸寬度的支撐層(此處為PET)進(jìn)行180° 剝離，其強(qiáng)度用f >〉α > RTM-500(東洋精機(jī)制造)進(jìn)行測定，進(jìn)行如下所述的分級。
〇剝離強(qiáng)度的極大平均值為3gf以上。Δ 剝離強(qiáng)度的極大平均值小于3gf。3)評價結(jié)果實(shí)施例和比較例的評價結(jié)果示于表1中。表1中的B-I B-4的質(zhì)量份為固體成 分的質(zhì)量份，不含溶劑。為了調(diào)制感光性樹脂組合物，事先制作B-I B-4的固體成分濃度 為50質(zhì)量％的甲乙酮溶液，配合各B-I B-4的溶液以達(dá)到表1的固體成分。[表1]
〈符號說明〉B-I 甲基丙烯酸25質(zhì)量％、甲基丙烯酸甲酯65質(zhì)量％、丙烯酸丁酯10質(zhì)量％的
三元共聚物(重均分子量100000、酸當(dāng)量344)B-2 甲基丙烯酸25質(zhì)量％、甲基丙烯酸甲酯65質(zhì)量％、丙烯酸丁酯10質(zhì)量％的 三元共聚物(重均分子量200000、酸當(dāng)量370)B-3 甲基丙烯酸25質(zhì)量％、甲基丙烯酸甲酯50質(zhì)量％、苯乙烯25質(zhì)量％的三元 共聚物(重均分子量50000、酸當(dāng)量344)B-4 甲基丙烯酸25質(zhì)量％、甲基丙烯酸甲酯50質(zhì)量％、丙烯酸丁酯25質(zhì)量％的 三元共聚物(重均分子量70000、酸當(dāng)量344)B-5 甲基丙烯酸芐酯80質(zhì)量％、甲基丙烯酸20質(zhì)量％的二元共聚物(重均分子 量100000、酸當(dāng)量430)M-I 對季戊四醇的4個末端分別加成1摩爾的環(huán)氧乙烷的四丙烯酸酯(寸一卜7 一 O (株)社制造SR-494)Μ-2 將季戊四醇的4個末端丙烯酸酯化的四丙烯酸酯Μ-3 對三羥甲基丙烷平均加成3摩爾的環(huán)氧乙烷的三丙烯酸酯(新中村化學(xué)制造
Α-ΤΜΡΤ-3Ε0)
酸酯
Μ-4 Μ-5
Μ-6 I-I 1-2 1-3對三羥甲基丙烷平均加成3摩爾的環(huán)氧丙烷的三丙烯酸酯 對雙酚A的兩端分別平均加成各2摩爾的環(huán)氧乙烷的聚乙二醇的二甲基丙烯聚丙二醇二丙烯酸酯 9-苯基吖啶 =N-苯基甘氨酸
:2_(鄰氯苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚物1-4 1-苯基-3- (4-叔丁基-苯乙烯基)_5_ (4_叔丁基-苯基)_吡唑啉1-5 :2_(鄰氯苯基)-4，5_雙(間甲氧基苯基)咪唑二聚物D-I 鉆石綠D-2:結(jié)晶紫F-I 甲乙酮在比較例1中，作為堿可溶性樹脂使用平均分子量不足7萬的聚合物時，顯影時產(chǎn) 生油狀聚集物，發(fā)生不良狀況。在比較例2中，感光性樹脂組合物中的上述通式(II)表示的化合物的比例小于30 質(zhì)量％，成為蓋孔性惡化的結(jié)果。在比較例3中，感光性樹脂組合物中的上述通式(II)表示的化合物的比例大于55 質(zhì)量％，另外，相對于感光性樹脂組合物總量設(shè)上述(a)堿可溶性樹脂的比例為A質(zhì)量％、 上述(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物的比例為B質(zhì)量％時，A/B小于1. 1，成為蓋 孔性惡化的結(jié)果。比較例4是日本特開平11-119422的追加實(shí)驗。在比較例4中，未使用 相當(dāng)于上述通式(I)表示的化合物和上述通式(II)表示的化合物的多官能的可光聚合的 不飽和化合物，所以蓋孔性惡化，成為產(chǎn)生油狀聚集物的結(jié)果。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的感光性樹脂層壓體通過在被層壓了的基板上曝光，來保護(hù)通孔不受堿性 顯影液、蝕刻液的影響，從而可簡化后續(xù)的工序，且由于在顯影液中油狀的聚集物少，所以
18裝置的洗滌少，除此以外，在通過堿顯影的印刷線路板制造上是有用的。
權(quán)利要求
一種感光性樹脂層壓體，其特征在于，其為至少層壓支撐層和感光性樹脂層而成的感光性樹脂層壓體，該感光性樹脂層由感光性樹脂組合物形成，該感光性樹脂組合物至少包括(a)堿可溶性樹脂25～64質(zhì)量％、(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物、(c)光聚合引發(fā)劑0.1～20質(zhì)量％，并且進(jìn)一步滿足以下(i)、(ii)和(iii)(i)作為所述(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物，相對于感光性樹脂組合物的總量，含有30～55質(zhì)量％的選自由下述通式(I)表示的化合物和下述通式(II)表示的化合物組成的組中的至少一種可光聚合的不飽和化合物；(ii)所述(a)堿可溶性樹脂的重均分子量為70000～220000、酸當(dāng)量為100～600；(iii)感光性樹脂層的厚度為3～15μm，[化學(xué)式1]式中，R1、R2和R3各自獨(dú)立地為H或者CH3，n1、n2、n3和n4各自獨(dú)立地為0～4的整數(shù)，也可以同時為0，W為以CH3或者OH表示的基團(tuán)，[化學(xué)式2]式中，R5、R6、R7和R8各自獨(dú)立地為H或者CH3，m1、m2、m3和m4各自獨(dú)立地為0～4的整數(shù)，也可以同時為0。FPA00001168024900011.tif,FPA00001168024900021.tif
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂層壓體，其中，作為所述(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物，相對于感光性樹脂組合物的總量，含有35 55質(zhì)量％的選自由所述通 式(I)表示的化合物和所述通式(II)表示的化合物組成的組中的至少一種可光聚合的不 飽和化合物。
3.權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂層壓體，其中，(c)光聚合引發(fā)劑為9-苯基吖啶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂層壓體，其特征在于，設(shè)相對于感光性樹脂組 合物總量的上述(a)堿可溶性樹脂的比例為A質(zhì)量％、上述(b)可光聚合的具有不飽和雙 鍵的化合物的比例為B質(zhì)量％時，A/B為1. 1 1. 3。
5.一種抗蝕圖案的形成方法，其包括在基板上層壓權(quán)利要求1或2所述的感光性樹 脂層壓體的感光性樹脂層的層壓工序、曝光紫外線的曝光工序、除去未曝光部分的顯影工 序。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗蝕圖案的形成方法，其特征在于，在所述曝光工序中通過 直接描繪進(jìn)行曝光。
7.一種導(dǎo)體圖案的制造方法，其包括使用覆銅層壓板作為基板，對通過權(quán)利要求5或 6所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。
8.—種印刷線路板的制造方法，其特征在于，使用金屬包覆絕緣板作為基板，對通過權(quán) 利要求5或6所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷，剝離抗蝕圖案。
9.一種引線框的制造方法，其特征在于，使用金屬板作為基板，對通過權(quán)利要求5或6 所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻，剝離抗蝕圖案。
10.一種半導(dǎo)體封裝的制造方法，其特征在于，使用完成了大規(guī)模集成電路的電路形成 的晶圓作為基板，對通過權(quán)利要求5或6所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行鍍敷，剝離 抗蝕圖案。
11.一種具有凹凸圖案的基材的制造方法，其特征在于，使用玻璃肋作為基板，利用噴 砂工藝對通過權(quán)利要求5或6所述的方法形成有抗蝕圖案的基板進(jìn)行加工，剝離抗蝕圖案。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性樹脂層壓體，感光性樹脂層的厚度即便薄至3～15μm時，即便以直接描繪曝光進(jìn)行曝光時，蓋孔性也良好，另外，顯影時的聚集物不是油狀的。所述感光性樹脂層壓體為至少層壓支撐層和感光性樹脂層而成的，該感光性樹脂層使用由感光性樹脂組合物形成的感光性樹脂層壓體，該感光性樹脂組合物的特征在于，其至少包括(a)堿可溶性樹脂25～64質(zhì)量％、(b)可光聚合的具有不飽和雙鍵的化合物、(c)光聚合引發(fā)劑0.1～20質(zhì)量％，并且進(jìn)一步滿足以下(i)、(ii)和(iii)(i)相對于感光性樹脂組合物的總量，含有30～55質(zhì)量％的特定的可光聚合的不飽和化合物；(ii)所述(a)堿可溶性樹脂的重均分子量為70000～220000、酸當(dāng)量為100～600；(iii)感光性樹脂層的厚度為3～15μm。
文檔編號G03F7/031GK101910943SQ20088012294
公開日2010年12月8日 申請日期2008年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月25日
發(fā)明者西本秀昭 申請人:旭化成電子材料株式會社