專利名稱：有色光敏組合物,和使用該組合物的彩色濾光器陣列和固態(tài)圖像拾取裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本專利申請(qǐng)基于日本專利申請(qǐng)No.2008-14218(申請(qǐng)日為2008 年1月24日)要求巴黎公約的優(yōu)先權(quán)，上述申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容引入本文作為 參考。本發(fā)明涉及一種有色光敏組合物，其可用于制造彩色濾光器陣列， 所述彩色濾光器陣列將被形成在用于使固態(tài)圖像拾取裝置(CCD、 CMOS 傳感器等)顯色的裝置上。
背景技術(shù)：
對(duì)于使固態(tài)圖像拾取裝置和液晶顯示器裝置顯色的彩色濾光 器陣列來說，例如，已知這樣的彩色濾光器陣列，其中紅色濾光器層(R)、 綠色濾光器層(G)和藍(lán)色濾光器層(B)在所述裝置的相同面上彼此相鄰地 形成。適當(dāng)?shù)卦O(shè)置彩色濾光器陣列的各個(gè)濾光器層(R、 G和B)的平面圖 案。對(duì)于濾光器層來說，除紅色(R)、綠色(G)，和藍(lán)色(B)的原色組合外， 可以使用黃色(Y)、洋紅色(M)，和青色(C)的互補(bǔ)色的組合。彩色濾光器陣列通常通過彩色抗蝕劑(color resist)方法制造，
這些有色光敏組合物曝光和顯影而進(jìn)行圖案化。作為有色光敏組合物中 所含的著色劑，顏料被廣泛地使用。然而，顏料不溶于顯影液中而產(chǎn)生 顯影殘余物并且具有大顆粒直徑，因此導(dǎo)致粗糙的圖像質(zhì)量，并且因此 不利用形成精細(xì)圖案。因此，使用染料被建議作為著色劑，其溶解于顯 影液中(參見例如，日本的未經(jīng)審查的專利(Kokai)，公開號(hào)2002-14220)。
為了形成使用染料作為著色劑(顏料)的彩色濾光器陣列的紅 色濾光器層，通常通過使用與黃色著色劑結(jié)合的紅色著色劑來控制光譜 特性。例如，日本的未經(jīng)審查的專利(Kokai),公開號(hào)2002-14220的實(shí)施 例描述了通過使用特定的c占噸(xanthene)型顏料作為紅色著色劑和使用吡 唑啉酮偶氮(pyrazoloneazo)型顏料(C丄溶劑橙52等)以及吡啶酮偶氮型顏 料(C丄溶劑黃162)作為黃色著色劑，將紅色濾光器的在535nm波長(zhǎng)下的
4透射率控制到1%或以下以及將紅色濾光器的在650nm波長(zhǎng)下的透射率 控制到90%或以上。對(duì)于彩色濾光器陣列來說需要具有令人滿意的耐光性，即， 在正常使用下，不會(huì)由著色劑(顏料)的褪色引起消耗(buming)。濾光器陣 列(特別地，描述于實(shí)施例日本的未經(jīng)審查的專利(Kokai)，公開號(hào) 2002-14220中的紅色濾光器層)顯示出極好的耐光性，但留有一些改進(jìn)的 余地。

發(fā)明內(nèi)容
在這些情況下，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明并且其目的是進(jìn)一步改進(jìn) 彩色濾光器陣列(特別地，紅色濾光器層)的耐光性并且提供能夠產(chǎn)生這樣 的彩色濾光器陣列的有色光敏組合物。本發(fā)明人已經(jīng)進(jìn)行了深入研究，從而實(shí)現(xiàn)了上述目的并且發(fā)
物(i)":包括:形式的那些)4為與待紅色著色劑°結(jié)合^;的黃著色
劑，可進(jìn)一步改進(jìn)彩色濾光器陣列的耐光性，并且因此已經(jīng)完成了本發(fā) 明。即，本發(fā)明的有色光敏組合物具有這樣的特征，其包括選自 紅色著色劑，和由式(I)表示的化合物和其鹽的至少一種，作為著色劑。 除著色劑外，本發(fā)明的有色光敏組合物包括光敏化合物和堿可溶性樹脂。
(1)在式(I)中，z1和z"各自獨(dú)立地是氧原子或硫原子。 R^W各自獨(dú)立地是氫原子、Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)、被羥基取代的 Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)、被CL8烷氧基取代的Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)、 被C,-s硫代烷氧基取代的Cw。飽和脂肪族烴基團(tuán)、具有6-20個(gè)碳原子的 芳基、具有7-20個(gè)碳原子的芳烷基或具有2-10個(gè)碳原子的?；?。
5RS-R"各自獨(dú)立地是氫原子、卣素原子、Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)、囟
化的Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)、CVs烷氧基、羧基、磺基(sulfo group)、氨 磺?；鶊F(tuán)或N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)，并且R5-R12中的至少一個(gè)是N-取代的 氨磺酰基團(tuán)。如本文中使用的，"C^"是指碳原子的數(shù)目為a或更多，并 且為b或更少。偶氮化合物(I)優(yōu)選地是偶氮化合物，其中115-118中的至少一 個(gè)，和R、R。中的至少一個(gè)(特別地，RS和RS中的至少一個(gè)，和W和R12 中的至少一個(gè))是N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)。在偶氮化合物(I)中的N-取代的 氨磺?；鶊F(tuán)優(yōu)選地是-S02NHR"基團(tuán)(其中RU是Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)、 被C,.s烷氧基取代的Cw。飽和脂肪族烴基團(tuán)、具有6-20個(gè)碳原子的芳基、 具有7-20個(gè)碳原子的芳烷基或具有2-10個(gè)碳原子的?；?。偶氮化合物(I)還優(yōu)選地是偶氮化合物，其中至少一個(gè) R、W具有6個(gè)或更多個(gè)碳原子(特別地偶氮化合物，其中RLW中的 至少一個(gè)是具有6-20個(gè)碳原子的芳基)。待用于本發(fā)明的有色光敏組合物中的紅色著色劑優(yōu)選地是口占 噸型顏料，光敏化合物優(yōu)選地是肟型化合物。當(dāng)著色劑、光敏化合物和堿可溶性樹脂的總量?jī)?yōu)選地是100 質(zhì)量份時(shí)，著色劑的含量?jī)?yōu)選地是5-80質(zhì)量份；光敏化合物的含量?jī)?yōu)選 地是0.001-50質(zhì)量份；和堿可溶性樹脂的含量?jī)?yōu)選地是l-75質(zhì)量份。本 發(fā)明的有色光敏組合物可以進(jìn)一 步包括固化劑。本發(fā)明還提供一種通過使用有色光敏組合物而形成的彩色濾 光器陣列，和各自包括彩色濾光器陣列的固態(tài)圖像拾取裝置和照相機(jī)系 統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明，通過使用偶氮化合物(I)作為待用于與紅色色素 結(jié)合的黃色色素，進(jìn)一步改善了彩色濾光器陣列的耐光性。


圖i是顯示ccd圖像傳感器的實(shí)例的部分放大示意剖視圖。
圖2是顯示用于制造圖1的圖像傳感器的方法的第一視圖。 圖3是顯示用于制造圖1的圖像傳感器的方法的第二視圖。 圖4是顯示用于制造圖1的圖像傳感器的方法的第三視圖。 圖5是顯示用于制造圖1的圖像傳感器的方法的第四視圖。
6圖6是顯示用于制造圖1的圖像傳感器的方法的第五視圖。
圖7是顯示用于制造圖1的圖像傳感器的方法的第六視圖。 圖8是顯示照相機(jī)系統(tǒng)的實(shí)例的方框圖。
具體實(shí)施例方式在本發(fā)明的光敏組合物中，待用于作為黃色色素的偶氮化 合物(I)具有這樣的特征，其具有在聯(lián)苯骨架的兩端鍵合至偶氮基的 巴比土酸(Z(即Z1、 Z勺二0)和/或硫代巴比土酸(Z(即z1、 zz^s)結(jié)構(gòu)的 骨架。巴比土酸和硫代巴比土酸部分包括，除由式(I)表示的酮類型 的一種之外，烯醇類型一種。具有這樣的結(jié)構(gòu)的偶氮化合物(I)的使 用能夠進(jìn)一步改進(jìn)彩色濾光器陣列的耐光性，與描述于日本的未經(jīng) 審查的專利(Kokai)，公開號(hào)2002-14220中的吡啶酮偶氮型顏料相比 (C丄溶劑黃162,在實(shí)施例中)(參見以下描述的實(shí)施例)。
首先，詳細(xì)描述式(I)。在式(I)中，Z'和ZZ各自獨(dú)立地是氧原子 或硫原子。Z'和Z 可以相同或不同，優(yōu)選地是相同的。
在式(I)中，R、R"各自獨(dú)立地是氫原子、Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)(包
括其中羥基、C,-8烷氧基或C,—8硫代烷氧基鍵合至Cwo飽和脂肪族烴
基團(tuán)的那些)、具有6-20個(gè)碳原子的芳基、具有7-20個(gè)碳原子的芳 烷基或具有2-10個(gè)碳原子的?；?。
由R、W表示的飽和脂肪族烴基團(tuán)可以是線性的、分枝的，或者 環(huán)狀的。取代基的碳原子的數(shù)目不包括在飽和脂肪族烴基團(tuán)的碳原 子的數(shù)目?jī)?nèi)。碳原子的數(shù)目通常是1-10，優(yōu)選地2-8，更優(yōu)選地3-6。 飽和脂肪族烴基團(tuán)的實(shí)例包括曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁 基、異丁基、仲丁基、叔丁基、乙基己基(2-乙基己基等)、環(huán)戊基、 環(huán)己基和環(huán)己基烷基。如上所述，飽和脂肪族烴基團(tuán)可以被取代基 如羥基、d.g(優(yōu)選地Cl-4)烷氧基或Q-s(優(yōu)選地Cl-4)硫代烷氧基取 代。被取代的飽和脂肪族烴基團(tuán)的實(shí)例包括羥乙基(2-羥乙基等)、乙 氧基乙基(2-乙氧基乙基等)、乙基己氧基丙基(3-(2-乙基己氧基)丙基 等)和甲基硫代丙基(3-曱基硫代丙基等)。
由R、I^表示的芳基可以不具有取代基，或者可以具有取代基如 飽和脂肪族烴基團(tuán)、烷氧基、羧基、磺基或酯基。芳基的碳原子的 數(shù)目包括取代基的碳原子的數(shù)目，和通常是6-20,和優(yōu)選地6-10。 芳基的實(shí)例包括未被取代的或被取代的苯基如苯基、2-， 3-, 4-曱基苯 基、2-， 3-， 4-曱氧苯基、2-， 3-， 4-磺苯基、和乙氧基羰基苯基 (4-(COOC2H5)Ph基團(tuán)等)。
由R、W表示的芳烷基(芳基烷基)的烷基部分可以是線性或分枝 的。芳烷基的碳原子的數(shù)目包括取代基的碳原子的數(shù)目，和通常是 7-20,和優(yōu)選地7-10。芳烷基典型地是苯基烷基如芐基。
由R'-I^表示的酰基可以不具有取代基，或者可以具有取代基如 與其鍵合的飽和脂肪族烴基團(tuán)或烷氧基。酰基的碳原子的數(shù)目包括 取代基的碳原子的數(shù)目，并且通常是2-10，和優(yōu)選地6-10。?；?實(shí)例包括乙?；⒈綍貂；?、和曱氧苯曱?；?p-曱氧苯曱酰基等)。
為了提高在有機(jī)溶劑中的偶氮化合物(I)的溶解性(油溶解度)，優(yōu) 選地選擇具有6個(gè)或更多個(gè)碳原子的基團(tuán)，特別地被取代的或者未 被取代的芳基(優(yōu)選地苯基)作為R1和R4中的至少一個(gè)(優(yōu)選地全 部)。在式(I)中，R、R"各自獨(dú)立地是氫原子、卣素原子(優(yōu)選地， 氟、氯或溴原子)、Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)(包括其中鹵素原子鍵合至Cwo 飽和脂肪族烴基團(tuán)的那些)、d-s烷氧基、羧基、磺基、氨磺?；鶊F(tuán)或N-取代的氨磺酰基團(tuán)，和R5-R12中的至少一個(gè)是N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)。類似于RLW的情況，由R、R"表示的飽和脂肪族烴基團(tuán)可以 是線性的、分枝的或者環(huán)狀的，碳原子的數(shù)目通常是1-10,優(yōu)選地2-8, 和更優(yōu)選地3-6。由R、R"表示的飽和脂肪族烴基團(tuán)的具體的實(shí)例與R、R4
8情況中的那些相同。由115-1112表示的飽和脂肪族烴基團(tuán)可以被卣素原子
取代，優(yōu)選地氟原子。鹵化的飽和脂肪族烴基團(tuán)的具體的實(shí)例包括三氟 曱基。由R5-R12表示的烷氧基的碳原子的數(shù)目通常是1-8,優(yōu)選地
1- 4。烷氧基的實(shí)例包括曱氧基、乙氧基、異丙氧基、正丙氧基、正丁氧 基、異丁氧基、仲丁氧基、和叔丁氧基。由R、rP表示的N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)例如是N-單取代的氨磺 ?；鶊F(tuán)并且可以由下式表示-S02NHR13。在該式中，R"是Cwo飽和脂
肪族烴基團(tuán)(包括其中C,-8烷氧基鍵合至Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)的那些)、
具有6-20個(gè)碳原子的芳基、具有7-20個(gè)碳原子的芳烷基，或者具有2-10 個(gè)碳原子的?；?。由R。表示的飽和脂肪族烴基團(tuán)可以是線性的、分枝的或者環(huán) 狀的。飽和脂肪族烴基團(tuán)的碳原子數(shù)目通常是1-10，優(yōu)選地6-10。由R13 表示的飽和脂肪族烴基團(tuán)的實(shí)例包括曱基、乙基、正丙基、異丙基、正 丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、曱基丁基(l，l，3，3-四甲基丁基等)、曱基 己基(l-曱基己基、1，5-二曱基己基等)、乙基己基(2-乙基己基等)、環(huán)戊基、 環(huán)己基、曱基環(huán)己基(2-曱基環(huán)己基等)和環(huán)己基烷基。如上所述，由R13 表示的飽和脂肪族烴基團(tuán)可以被取代基如d.8(優(yōu)選地CM)烷氧基取代。 被取代的飽和脂肪族烴基團(tuán)的實(shí)例包括丙氧基丙基(3-(異丙氧基)丙基 等)。由1113表示的芳基可以不具有取代基，或者可以具有取代基如 飽和脂肪族烴基團(tuán)或羥基。芳基的碳原子的數(shù)目通常為6-20，優(yōu)選地 6-10。芳基的實(shí)例包括被取代的或未被取代的苯基如苯基、羥苯基基團(tuán)(4-羥苯基基團(tuán)等)和三氟甲基苯基(4-三氟曱基苯基等)。由R"表示的芳烷基的烷基部分可以是線性或分枝的。芳烷基 的碳原子的數(shù)目通常是7-20,和優(yōu)選地7-10。芳烷基典型地是苯基烷基 如節(jié)基、苯基丙基(l-曱基-3-苯基丙基等)或苯基丁基(3-氨基-l-苯基丁基等)。由RU表示的?；梢圆痪哂腥〈?，或者可以具有取代基如 與其鍵合的飽和脂肪族烴基團(tuán)或烷氧基。酰基的碳原子的數(shù)目通常是
2- 10，和優(yōu)選地6-10。?；膶?shí)例包括乙?；?、苯甲?；?、和曱氧苯甲 酰基(p-甲氧苯曱?；?。
從提高偶氮化合物(I)的色密度、油溶解度和耐光性的觀點(diǎn)來看， 可以進(jìn)一步限制R5-R12。 RS-R"之一是N-取代的氨磺酰基團(tuán)。盡管該 偶氮化合物(I)顯示出高油溶解度，建議使用，除N-取代的氨磺酰基 團(tuán)之外，三氟甲基作為RS-R1中的一個(gè)或多個(gè)，以便進(jìn)一步提高油溶 解度。當(dāng)兩種或更多種的偶氮化合物(I)組合使用時(shí)，油溶解度高于 在單獨(dú)使用一種的情況下的油溶解度。因此，從油溶解度的觀點(diǎn)來看， 兩種或更多種的偶氮化合物(I)的組合使用也是優(yōu)選的方面。能夠改進(jìn)油 溶解度的組合的實(shí)例包括具有兩個(gè)N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)的偶氮化合物 (二砜酰胺)和具有一個(gè)N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)和一個(gè)磺基的偶氮化合物(單 砜酰胺)的組合。在這些組合中，優(yōu)選的是其中115-118之一和R、R。之一 是N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)和其余是氫原子的二砜酰胺和其中R、R8之一是 N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)、R9-R12之一是磺基和其余是氫原子的單砜酰胺的組 合。從提高油溶解度的觀點(diǎn)來看，建議選擇較大體積的基團(tuán)作為 R5-R12中的一個(gè)或多個(gè)(例如， 一個(gè)或多個(gè)(特別地一個(gè))R、R8和一個(gè)或多 個(gè)(特別地一個(gè))R、R12),并且R5-R12中的一個(gè)或多個(gè)(例如， 一個(gè)或多個(gè)(特 別地一個(gè))RS-RS和一個(gè)或多個(gè)(特別地一個(gè))R、R,被取代在偶氮基的間或 鄰位上。選擇大體積基團(tuán)和在偶氮基的間位上的取代能夠降低在聯(lián)苯位 點(diǎn)的堆疊并且改進(jìn)油溶解度。相比之下，選擇大體積基團(tuán)和在偶氮基的 鄰位上的取代能夠保護(hù)偶氮基并且改進(jìn)耐光性。體積大的R、R^的實(shí)例 包括，除N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)之外，分枝的飽和脂肪族烴基團(tuán)(特別地叔 飽和脂肪族烴基團(tuán)如叔丁基等)和含兩個(gè)或更多個(gè)(特別地3個(gè)或更多個(gè)) 與其鍵合的卣素原子的飽和脂肪族烴基團(tuán)(例如，三氟甲基等)。從更大地提高色密度和油溶解度的觀點(diǎn)來看，可以進(jìn)一步限 定N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)的R13。 R13的實(shí)例包括分枝的飽和脂肪族烴基團(tuán) 如曱基丁基(U，3,3-四曱基丁基等)、曱基己基(l，5-二曱基己基等)、乙基 己基(2-乙基己基等)、曱基環(huán)己基(2-甲基環(huán)己基等)、苯基丁基(3-氨基-1-
苯基丁基等)和芳烷基。偶氮化合物(I)優(yōu)選地是偶氮化合物，其中在R、R^之中兩個(gè) 或更多個(gè)(例如， 一個(gè)或多個(gè)(特別地一個(gè))R、R8和一個(gè)或多個(gè)(特別地一個(gè))R、R^)是N-取代的氨磺酰基團(tuán)。更優(yōu)選的偶氮化合物(I)是偶氮化合
物，其中RS-RS中的至少一個(gè)和R、R"中的至少一個(gè)是-S02NHR^基團(tuán)并 且其余的RS-R。是氫原子。式(I)的優(yōu)選的實(shí)例包括式(I-l)-(I-7)。<formula>formula see original document page 11</formula>
[化學(xué)式3]
(卜7)本發(fā)明的有色光敏組合物不局限于由式(I)表示的化合物并且 還可包括其鹽。鹽的實(shí)例包括當(dāng)115-1112是磺基時(shí)，磺酸鹽，和當(dāng)R5-R'2 是羧基時(shí)，羧酸鹽。形成這些鹽的陽離子不被特別地限制并且優(yōu)選地是 堿金屬鹽如鋰鹽、鈉鹽或鉀鹽；銨鹽；或者有機(jī)胺鹽如乙醇胺鹽或烷基 胺鹽，考慮到在溶劑中的溶解性。有機(jī)胺鹽是非金屬鹽，因此從絕緣性 能的觀點(diǎn)來看是有用的。偶氮化合物(I)可以單獨(dú)地使用，或者它們的兩種或更多種可 以被結(jié)合在一起使用。偶氮化合物(I)的量通常是約10-70質(zhì)量份(優(yōu)選地 15-50質(zhì)量份，和更優(yōu)選地20-40質(zhì)量份)，基于IOO質(zhì)量份的著色劑的總
12和(例如，當(dāng)使用以下描述的n占噸顏坤十和吡唑啉酮偶氮(pyrazoloneazo)型顏 料時(shí)，IOO質(zhì)量份的這些顏料和偶氮化合物(I)的總和)。如在染料領(lǐng)域眾所周知的是，可以通過偶聯(lián)重氮鹽與巴比土 酸或硫代巴比土酸(以下縮寫成"硫代(巴比土酸)")來制備偶氮化合物(I)。 例如，通過用亞硝酸、硝酸鹽或硝酸酯重氮化由式(a)表示的聯(lián)苯胺化合 物(重氮組分)獲得由式(b)表示的重氮鹽，并且所得的重氮鹽可用于偶聯(lián)反 應(yīng)(在式(a)和(b)中，R、R。是如上所定義的，并且115-1112中的至少一個(gè)是 磺基或N-取代的氨磺?；鶊F(tuán))。
〖化學(xué)式4]
H2N~^^~^^)~NH2 (a〉
r7 R8 r9 R10
r6 r&卞2 r11
N=N~<^ ^~^ ^"N三N (b) r7 r8 r9 r10通過通常使重氮鹽(b)與由式(c)和(d)表示的(硫代)巴比土 酸(偶聯(lián)組分)在水溶劑中在ZO吒0。C(在式(c)和(d)中,Z'畫Z4、 R、R4是 如上所定義的)反應(yīng)，可以制備以下描述的偶氮化合物(I)或偶氮磺酸 (偶氮化合物(I)的前體)。由式(c)和(d)表示的(硫代)巴比土酸可以是相 同的或不同的。
R1、 j0
ZM〉 (c)
(d)其中R5-R'2中的至少一個(gè)是N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)的偶氮化合 物(I)可以通過使用具有N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)的化合物(a)來制備，但的確 地通過使用具有磺基的化合物(a)進(jìn)行偶聯(lián)反應(yīng)，隨后磺酰胺化 (sulfonamidation)來制備。例如，磺基的磺酰胺化(sulfonamidation)可以通 過預(yù)先合成式(I)的化合物，其中115-1112中的至少一個(gè)是磺基(以下縮寫成
13"偶氮磺酸(i)")，使用囟化亞硫?；衔飳⒒腔?-S03H)轉(zhuǎn)化為砜囟化物 (-S02X; X是卣素原子)，并且使砜卣化物與胺反應(yīng)來進(jìn)行。偶氮磺酸(i)的優(yōu)選的實(shí)例包括由(i-l)-(i-5)表示的化合物。
0 H03S O [化學(xué)式7]
卣化亞硫酰化合物的實(shí)例是亞硫酰氟，亞硫酰氯，亞硫酰溴，
和亞硫酰碘，優(yōu)選地亞硫酰氯和亞硫酰溴，和特別優(yōu)選地亞硫酰氯。鹵
化亞硫酰的量是，例如，約l-10mo1,基于1 mol的偶氮磺酸(i)。當(dāng)水在 反應(yīng)體系中引入時(shí)，優(yōu)選地過量地使用卣化亞硫?；衔铩＾D(zhuǎn)化為砜卣化物通常在溶劑中進(jìn)行。作為溶劑，有可能使用 醚(特別地環(huán)醚)如1，4-二氧雜環(huán)己烷；和卣代烴如氯仿，二氯曱烷，四氯 化碳，1,2-二氯乙烷，二氯乙烯，三氯乙烯，全氯乙烯，二氯丙烷，戊基 氯，和1，2-二溴乙烷。溶劑的量是，例如，約3質(zhì)量份或更多(優(yōu)選地5 質(zhì)量份或更多)并且約IO質(zhì)量份或更少(優(yōu)選地8質(zhì)量份或更少)，基于1 質(zhì)量份的偶氮磺酸(i)。在轉(zhuǎn)化為砜閨化物中，推薦組合地使用N，N-二烷基曱酰胺(例 如，N，N-二曱基曱酰胺，N，N-二乙基二酰胺等)。當(dāng)使用N，N-二烷基甲酰 胺時(shí)，數(shù)量是，例如，約0.05-lmo1，基于1 mol的鹵化亞硫酰。例如， 當(dāng)在溶劑中預(yù)先混合偶氮磺酸(i)與N,N-二烷基甲酰胺后添加卣化亞硫酰 時(shí)，可以抑制熱量產(chǎn)生。反應(yīng)溫度是，例如，0。C或更高(優(yōu)選地30。C或更高)和70。C 或更低(優(yōu)選地60。C或更低)。反應(yīng)時(shí)間是，例如，約0.5小時(shí)或更多(優(yōu) 選地3小時(shí)或更多)并且約8小時(shí)或更少(優(yōu)選地5小時(shí)或更少)。由此制備的石風(fēng)卣化物化合物可以在分離后與胺反應(yīng)，或者可 以在沒有分離的情況下以反應(yīng)混合物的形式與胺反應(yīng)。當(dāng)分離時(shí)，例如， 在反應(yīng)混合物與水混合后，可以通過過濾收集沉淀晶體。所得的砜鹵化 物化合物的晶體可以任選地用水洗滌并且干燥，然后與胺反應(yīng)。胺包括，例如，伯胺，并且伯胺由H2N-R^R"是如上所定義 的)表示。H2N-R13的具體的實(shí)例包括正丙胺，正丁胺，正己胺，二甲基 己胺(l,5-二甲基己胺等)，四甲基丁胺(U，3，3-四曱基丁胺等)，乙基己胺(2-乙基己胺等)，氨基苯基丁烷(3-氨基-l-苯基丁烷等)，和異丙氧基丙胺。 胺的量通常是約3mol或更多和約13mol或更少(優(yōu)選地10mol或更少)， 基于1 mol的砜卣化物化合物。如本文中使用的，胺可以被稱為反應(yīng)性胺， 以便區(qū)別以下描述的堿性催化劑。雖然不特別限制添加砜鹵化物化合物和胺的順序，但常常將 胺添力口(滴力口)到砜卣化物化合物。砜卣化物化合物和胺之間的反應(yīng)通常在
15溶劑中進(jìn)行。作為溶劑，有可能使用與制備砜卣化物化合物時(shí)使用的相 同的溶劑。
進(jìn)行。堿性催化劑的實(shí)例包括叔胺(特別地脂族叔胺如三乙胺，三乙醇胺 等)和吡啶堿類如吡啶和曱基吡啶。在這些中，優(yōu)選的胺是叔胺，特別地
脂族叔胺如三乙胺。堿性催化劑的量通常是約l.lmol或更多且約3mo1 或更少(優(yōu)選地2mo1或更少)，基于反應(yīng)性胺(與砜鹵化物反應(yīng)的胺)。當(dāng)將反應(yīng)性胺和堿性催化劑添加到砜卣化物化合物時(shí)，不特 別限制添加i威性催化劑的時(shí)間，可以在添加反應(yīng)性胺前后進(jìn)行添加并且 可以與添加反應(yīng)性胺的同時(shí)進(jìn)行添加。石威性催化劑可以在預(yù)先與反應(yīng)性 胺混合后進(jìn)行添加，或者堿性催化劑和反應(yīng)性胺可以單獨(dú)地添加。砜鹵化物和反應(yīng)性胺之間的反應(yīng)的溫度例如是0°C或更高且 50。C或更低(優(yōu)選地30。C或更低)。反應(yīng)時(shí)間通常是約1-5小時(shí)。不特別限制從反應(yīng)混合物獲得偶氮化合物(I)的方法，可以使 用各種已知的方法。例如，在混合反應(yīng)混合物與酸(乙酸)和水后通過過濾 可以收集沉淀晶體。酸和水常常在預(yù)先制備酸的水溶液之后使用，常常 將反應(yīng)混合物添加到酸的水溶液。添加反應(yīng)混合物時(shí)的溫度通常是10°C 或更高(優(yōu)選地20°C或更高)且50。C或更低(優(yōu)選地30°C或更低)。在添 加后，通常在相同溫度進(jìn)行攪拌約0.5-2小時(shí)。通過過濾獲得的晶體通常 用水洗滌并隨后干燥。如果必要的話，晶體可以進(jìn)一步通過已知方法如 重結(jié)晶來提純。接下來，將描述待用于本發(fā)明的有色光敏組合物中的紅色著 色劑。紅色著色劑包括在500-600nm波長(zhǎng)下具有最大吸收值的顏料，例 如，n占噸型顏料。a占噸型顏料優(yōu)選地是由式(II)表示的顏料(以下可縮寫成 "口占噸型顏料(II)")。
16
在式(II)中，Z-是BF、 PF6-、 X'、或X04-(其中X是鹵素原子)。 R"和R^各自獨(dú)立地是氫原子或Cw飽和脂肪族烴基團(tuán)。R"是磺基、磺 酸酯基團(tuán)、羧基、烷氧羰基(羧酸酯基團(tuán))、或由式(IIa)表示的氨磺酰基團(tuán)。
R25HN-S02- ■ . ■ (IIa)
在式(IIa)中，R"是氬原子、C2—2o飽和脂肪族烴基團(tuán)、被環(huán)己基取代
的Cm飽和脂肪族烴基團(tuán)、被CM飽和脂肪族烴基團(tuán)取代的環(huán)己基、被 C^2烷氧基取代的C2—,2飽和脂肪族烴基團(tuán)、可被C,.20飽和脂肪族烴基團(tuán)
取代的苯基、可被苯基取代的C,.2o飽和脂肪族烴基團(tuán)、由式(IIb)表示的 烷基羰基氧基烷基或由式(IIc)表示的烷氧基羰基烷基。
R26-CO-0-R
27
R28-0-CO-R
29
(lib)
(He)
在式(IIb)和(IIc)中，R26和R28各自獨(dú)立地是C2_12飽和脂肪族烴基團(tuán)， 和R"和R"各自獨(dú)立地是C2_12亞烷基。R加和R"各自獨(dú)立地是氫原子, C, _8飽和脂肪族烴基團(tuán)或由式(IId)表示的被取代的苯基。
(IId)
R202在式(IId)中，R，和R，各自獨(dú)立地是氫原子或Cw飽和脂肪 族烴基團(tuán)，和R，是磺基、磺酸酯基團(tuán)、羧基、烷氧羰基或由式(IIa)表示 的氨磺酰基團(tuán)。
鹽的實(shí)例包括石威金4鹽如i鹽，鈉L，和鉀鹽；和胺鹽如:乙、胺鹽、和1-
17氨基-3-苯基丁烷鹽。在由式(II)表示的化合物中，當(dāng)取代基R"是磺基或
羧基時(shí)，磺基或羧基形成其鹽。作為其中R^和R"是被取代的苯基的0占噸型顏料(II)(以下縮 寫成"(芳基)氨基坫噸型顏料(II)"),由下式(II-1 )和(II-2)表示的那些是優(yōu)選的。 [化學(xué)式10〗
市售可得的(芳基)氨基D占噸型顏料(II)的實(shí)例包括C丄酸性紅289。
與(芳基)氨基o占噸型顏料(II)相比，其中R20、 R21、 1123和1124 各自獨(dú)立地是C,.5(特別地C,.3)飽和脂肪族烴基團(tuán)的0占噸型顏料(II)(以下 縮寫成"(烷基)氨基a占噸型顏料(II)")是更優(yōu)選的。與(芳基)氨基坫噸型顏
料(n)相比較，(烷基)氨基。占噸型顏料(ii)可以進(jìn)一步提高色密度(吸光度) 以及可以進(jìn)一步改進(jìn)彩色濾光器陣列的光譜特性，而沒有引起彩色濾光 器陣列(紅色濾光器層)的任何顏色變化(最大吸收波長(zhǎng))。在(烷基)氨基口占 噸型顏料(n)中，其中R"是磺基(包括磺酸鹽的形式)，或(c,-5烷氧基)羰
基(特別地(Cw烷氧基)羰基)的那些是優(yōu)選的。在優(yōu)選的(烷基)氨基坫噸型 顏料(II)中包括C丄堿性酸289。ci占噸型顏料(n)可以單獨(dú)地使用，或者它們的兩種或更多種可 以被結(jié)合在一起使用。當(dāng)使用。占噸型顏料(II)時(shí)，量?jī)?yōu)選地是約0.1-70質(zhì) 量份(更優(yōu)選地10-60質(zhì)量份，和更加優(yōu)選地20-40質(zhì)量份)，基于100質(zhì)
量份的著色劑的總量。
其它顏料可以進(jìn)一步地組合使用，只要其不對(duì)本發(fā)明的效果 產(chǎn)生不利的影響。通過組合使用在400-550nm的波長(zhǎng)下具有最大吸收值 的顏料作為黃色著色劑，可以更加改善彩色濾光器陣列(紅色濾光器層) 的光語特性。顏料的實(shí)例包括吡唑啉酮偶氮(pyrazoloneazo)型顏料。作為 吡唑啉酮偶氮(pyrazoloneazo)型顏料，可以使用已知的吡唑啉酮偶氮 (pyrazoloneazo)型顏料。更具體地說，可以使用由式(III)表示的化合物， 或其鹽(堿金屬鹽、胺鹽等)，或其絡(luò)合物(鉻絡(luò)合物等)(以下縮寫成"P比唑 啉酮偶氮(pyrazoloneazo)型顏料(III)")。
在式(III)中，R"和R"各自獨(dú)立地是羥基或羧基。R30， R33， R34,和
R35各自獨(dú)立地是氫原子，鹵素原子，CM飽和脂肪族烴基團(tuán)，C卜4烷氧
基，磺基，或硝基。吡唑啉酮偶氮(pymzoloneazo)型顏料(III)的具體的實(shí)例包括
C丄酸性黃17， C.I.溶劑橙56,和C丄溶劑黃82。吡唑啉酮偶氮(pymzoloneazo)型顏料(III)可以單獨(dú)地使用，或 者它們的兩種或更多種可以被結(jié)合在一起使用。當(dāng)使用吡唑啉酮偶氮 (pyrazoloneazo)型顏料(III)時(shí)，量通常是約0.1-70質(zhì)量份(優(yōu)選地20-40質(zhì) 量份)，基于IOO質(zhì)量份的著色劑的總量。除著色劑外，在陽性組合物和陰性組合物兩種情況下，本發(fā) 明的有色光敏組合物通常包含光敏化合物和堿可溶性樹脂。根據(jù)陽性組合物或者陰性組合物，適當(dāng)?shù)剡x擇光敏化合物。用于陽性組合物的光敏化合物通常稱為光敏劑，并且可以使 用已知的各種光敏劑。光敏劑的具體的實(shí)例包括苯酚化合物和鄰萘醌二 疊氮基磺酸化合物(鄰萘醌二疊氮基-5-磺酸、鄰萘醌二疊氮基-4-磺酸等) 的酯。
苯酚化合物的實(shí)例包括二、三、四或五羥基二苯曱酮(例如 2,3,4，4'-四羥基二苯甲酮等)，和由式(11)-(21)表示的化合物。
[化學(xué)式12]
<formula>formula see original document page 20</formula>(21)光成酸劑(photo acid generator)可被用作用于陰性組合物的光 每文化合物。不特別限制光成酸劑(photo acid generator)的種類并且可以使用 已知的各種的光成酸劑(photo acid genemtor)(例如，碘鐵鹽化合物、锍鹽 化合物、有機(jī)囟素化合物(卣代烷基-s-三嗪化合物等)、磺酸酯化合物、二 砜化合物、重氮曱烷磺酰化合物、N-磺酰氧基酰亞胺化合物、肟型化合 物等)。光成酸劑(photo acid generator)優(yōu)選地是肟型化合物。
月虧型化合物的實(shí)例包括氰化物如a-(4-曱苯磺酰氧基亞氨基) 芐基氰，a-(4-甲苯磺酰氧基亞氨基)-4-曱氧基芐基氰，a-(樟腦磺酰氧基亞 氨基)-4-曱氧基爺基氰，(x-三氟曱烷磺酰氧基亞氨基-4-甲氧基芐基氰， a-(l-己烷磺酰氧基亞氨基)-4-曱氧基節(jié)基氰，0^-萘磺酰氧基亞氨基-4-曱氧 基芐基氰，a-(4-甲苯磺酰氧基亞氨基)-4-N-二乙基縮苯胺氰(anilyl cyanide), a-(4-曱苯磺酰氧基亞氨基)-3,4-二曱氧基芐基氰，和a-(4-甲苯 磺酰氧基亞氨基)-4-噻吩基氰；和乙腈如a-[(4-曱苯磺酰氧基亞氨基)-4-甲氧苯基]乙腈，(5-曱苯磺酰氧基亞氨基-5H-噻吩-2-亞基)-(2-曱基苯基) 乙腈，(5-樟腦磺酰氧基亞氨基-5H-噻吩-2-亞基)-(2-曱基苯基)乙腈，(5-正 丙基氧基亞氨基-5H-噻吩-2-亞基)-(2-曱基苯基)乙腈，和(5-正辛基氧基亞 氨基-5-樟腦磺酰氧基亞氨基-51^-噻吩-2-亞基)-(2-曱基苯基)乙腈。作為石咸可溶性樹脂，可以4吏用用于光阻材料(photoresist material)中已知的各種堿可溶性樹脂，例如使用酚醛清漆樹脂和聚乙烯樹 脂。酚醛清漆樹脂的具體的實(shí)例包括對(duì)曱酚酚醛清漆樹脂、間曱酚酚醛 清漆樹脂、對(duì)甲酚和間甲酚的酚醛清漆樹脂以及具有由式(31 )表示的重復(fù) 結(jié)構(gòu)的酚醛清漆樹脂。聚乙烯樹脂的實(shí)例包括乙烯基苯酚(對(duì)乙烯基苯酚(也稱為對(duì) 羥基苯乙烯)等)的聚合物。這種聚合物可以是均聚物，或者共聚物(例如， 苯乙烯和對(duì)乙烯基苯酚的共聚物)。如果必要的話，乙烯基苯酚的羥基的 氬原子可以被有機(jī)基團(tuán)(例如，d-6烷基)取代(掩蔽)。當(dāng)羥基被有機(jī)基團(tuán) 掩蔽時(shí)，在使用光刻方法形成圖案時(shí)的曝光劑量可以被減小，此外，可 易于將圖案形狀制成矩形形狀，其優(yōu)選作為彩色濾光器。酚醛清漆樹脂的聚苯乙烯當(dāng)量平均分子量例如是約 3,000-20,000 ,聚乙烯樹脂的聚苯乙烯當(dāng)量平均分子量例如是約 1,000-20,000,優(yōu)選地約2,000-6,000。
著色劑、光敏化合物和堿可溶性樹脂的含量(基于100質(zhì)量份 的著色劑、光敏化合物和堿可溶性樹脂的總量(固體含量))如下。著色劑例如，通過將著色劑的量控制在約5-80質(zhì)量份、優(yōu) 選地約15-80質(zhì)量份、更優(yōu)選地約20-70質(zhì)量份和特別地約30-70質(zhì)量份 的范圍內(nèi)，彩色濾光器的色密度可以充分地被提高，并且此外，當(dāng)形成 圖案時(shí)在顯影步驟中的厚度損失可以被降低。光敏化合物例如，通過將光敏化合物的量控制在約0.001-50 質(zhì)量份、優(yōu)選地約0.01-40質(zhì)量份、更優(yōu)選地約0.1-30質(zhì)量份和特別地約 0.1-10質(zhì)量份的范圍內(nèi)，在形成圖案時(shí)在顯影步驟中的厚度損失可以被降 低，并且此外，在使用光刻方法形成圖案中投影曝光時(shí)間可以被縮短。堿可溶性樹脂當(dāng)堿可溶性樹脂的量在約l-75質(zhì)量份、優(yōu)選 地約5-60質(zhì)量份和更優(yōu)選地約10-50質(zhì)量份的范圍內(nèi)時(shí)，獲得了在顯影 溶液中的足夠的溶解度，并且此外在顯影步驟中很少可能會(huì)出現(xiàn)厚度損 失并且在使用使用光刻方法形成圖案時(shí)曝光劑量?jī)?yōu)選地降低。本發(fā)明的有色光敏組合物通常包含固化劑(交聯(lián)劑)以及包含 溶劑和表面活性劑，如果必要的話。具有熱固化作用的化合物可被用作 固化劑，例如，可能使用由式(41)表示的三聚氰胺化合物。
CH2OR41 H2OR42
R40OH2C々VN、CH2OR"
N丫N (41)
R45OH2C,、CH2OR44在式(41)中，R氣R"各自獨(dú)立地是氫原子、線性的Cwo(優(yōu)選 地CM)飽和脂肪族烴基團(tuán)或分枝的Qmo飽和脂肪族烴基團(tuán)(優(yōu)選地異丙 基、異丁基、仲丁基、叔丁基等)，條件是R氣R"中的至少兩個(gè)取代基不 是氫原子。固化劑的含量例如是約10-40重量％，和優(yōu)選地約15-30重量 %，基于有色光敏組合物的固體含量。當(dāng)固化劑的量在上述范圍內(nèi)時(shí)，在 使用光刻方法形成圖案的情況下的曝光劑量可以被降低。顯影后的圖案
22具有令人滿意的形狀并且通過加熱固化后的圖案具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度。 因?yàn)橄袼貓D案的厚度損失未在顯影步驟中形成，圖像的顏色不均勻性幾 乎不存在。根據(jù)有色光敏組合物中所含的著色劑(顏料)、光敏化合物、堿 可溶性樹脂和固化劑的溶解度(特別地著色劑的溶解度)，可以適當(dāng)?shù)剡x擇 溶劑。溶劑的實(shí)例包括乙二醇類(甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、曱基溶纖劑 乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二甘醇二曱醚、乙二醇單異丙醚等)、丙二
醇類(丙二醇單曱基醚、丙二醇單曱醚乙酸酯等)、n-甲基吡咯烷酮、y-丁 內(nèi)酯、二甲亞砜、n，n-二曱基曱酰胺、酮(4-羥基-4-曱基-2-戊酮、環(huán)己酮 等)和羧酸酯(乙酸乙酯、乙酸正丁酯、丙酮酸乙酯、乳酸乙酯、乳酸正丁 酯等)。這些溶劑可以單獨(dú)地使用，或者它們的兩種或更多種可以被結(jié)合 在一起使用。溶劑的含量例如是約65-95質(zhì)量％，和優(yōu)選地約70-90質(zhì)量％, 基于有色光敏組合物。當(dāng)溶劑的含量在上述范圍內(nèi)時(shí)，改進(jìn)了涂布薄膜 的均勻性。表面活性劑的實(shí)例包括硅酮型表面活性劑，例如，具有硅氧 烷鍵的表面活性劑如Toray Silicone DC3PA, SH7PA， DC11PA， SH21PA, SH28PA, 29SHPA, SH30PA和聚醚-改性的硅酮油SH8400(其全部由Toray Silicone Co" Ltd，，制造)KP321， KP322, KP323, KP324, KP326, KP340和 KP341 (其全部由Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.制造)，和TSF400, TSF401， TSF410， TSF4300， TSF4440， TSF4445, TSF國(guó)4446， TSF4452和TSF4460(其 全部由GE Toshiba Silicone Co., Ltd.制造)；氟型表面活性劑，例如，具有 氟烴鏈的表面活性劑如Florard FC430和FC431(其全部由Sumitomo 3M Ltd.制造)，MegafacF142D,F171，F(xiàn)172，F(xiàn)173，F(xiàn)177，F(xiàn)183和R30 (其全部 由Dainippon Ink and Chemicals, Incorporated制造)，F(xiàn) Top F301, EF303, EF351和EF352(其全部由Shinakita Kasei Co" Ltd.制造)，Surflon S381, S382，SC101和SC105(其全部由Asahi Glass Co., Ltd.制造)，E5844(其全 部由Daikin Fine Chemical Laboratory, Ltd.制造)，和BM-1000和 BM-1100(其全部由BMChemieCo.制造)；和具有氟原子的珪酮型表面活 性劑，例如，具有硅氧烷鍵和氟烴鏈的表面活性劑如MegafacR08，BL20, F475, F477和F443 (其全吾卩由Dainippon Ink and Chemicals, Incorporated
23制造)。這些表面活性劑可以單獨(dú)地使用，或者它們的兩種或更多種可以 被結(jié)合在一起使用。當(dāng)使用表面活性劑時(shí)，所述數(shù)量例如是約0.0005%-0.6質(zhì)量％, 優(yōu)選地約0001%-0.5質(zhì)量％，基于有色光敏組合物。當(dāng)表面活性劑以上述 范圍內(nèi)的量使用時(shí)，在涂布期間有色光敏組合物的平滑性被進(jìn)一步改進(jìn)。當(dāng)本發(fā)明的有色光敏樹脂組合物是陰性組合物時(shí)，它可進(jìn)一 步包含胺型化合物。胺型化合物的使用能夠防止在有色光敏組合物的長(zhǎng) 期保存前后在光刻法的情況中的曝光劑量的急劇變化。使用胺型化合物 能夠降低當(dāng)使得基板在曝光后靜置時(shí)由于光成酸劑(photo acid generator) 的鈍化造成的抗蝕劑圖案的尺寸。可用于產(chǎn)生穩(wěn)定曝光劑量的前一效果的胺型化合物的實(shí)例包 括氨基醇如3-氨基-l-丙醇，l-氨基-2-丙醇，2-氨基-l-丙醇，2-氨基-2-曱 基-l-丙醇，2-氨基-2-甲基-l-丙醇，2-氨基-2-曱基-l，3-丙二醇，和3-甲基 -2-氨基-1-丁醇；和具有二氮雜二環(huán)結(jié)構(gòu)的化合物，如1，4-二氮雜二環(huán)[2,2，2] 辛烷，1,8-二氮雜二環(huán)[5，4,0]-7-十一碳烯，和1,5-二氮雜二環(huán)[4，3，0]壬-5-烯?？捎糜诋a(chǎn)生后 一尺寸穩(wěn)定作用的胺型化合物的實(shí)例包括4-硝 基苯胺、乙二胺、四亞曱基二胺、六亞曱基二胺、4，4，-二氨基-1，2-二苯乙 烷、4，4，-二氨基-3，3，-二甲基二苯甲烷、4，4，-二氨基-3，3，-二乙基二苯曱烷、 4，4，-二氨基-3，3，，5，5，-四乙基二苯曱烷、8-喹啉醇、苯并咪唑、2-羥基苯并 咪唑、2-羥基喹唑啉、4-甲氧芐叉-4'-正丁基苯胺、水楊酸酰胺、水楊苯 胺、1，8-雙(N，N-二曱基氨基)萘、1,2-二氮雜苯(噠嗪)、哌啶、p-氨基苯曱 酸、N-乙?；叶?、2-曱基-6-硝基苯胺、5-氨基-2-曱基苯酚、4-正丁氧 基苯胺、3-乙氧基正丙胺、4-甲基環(huán)己胺、4-叔丁基環(huán)己胺、單吡啶(咪唑、 吡啶、4-曱基吡啶、4-甲基咪唑、2-二曱基氨基吡啶、2-曱基氨基吡啶、 1，6-二曱基吡啶等)、二吡咬(二吡啶、2，2'-二吡啶基胺、二-2-p比啶基酮、 1,2隱二(2-p比啶基)乙烷、1，2-二(4-p比啶基)乙烷、1，3-二(4-p比啶基)丙烷、1，2-雙(2-吡啶基)乙蜂、1，2-雙(4-p比啶基)乙烯、1，2-雙(4』比啶基氧基)乙烷、4，4，-二吡啶基硫醚、4,4，-二吡啶基二硫化物、1，2-雙(4-處啶基)乙烯、2，2'-二皮 考基胺、3，3，-二皮考基胺等)和銨鹽(四曱基氫氧化銨、四異丙基氫氧化銨、 四丁基氫氧化銨、四正己基氫氧化銨、四正辛基氫氧化銨、苯基三曱基 氫氧化銨、3-(三氟曱基)苯基三曱基氫氧化銨、膽堿等)。
胺型化合物的含量例如是約0.01-10質(zhì)量％,優(yōu)選地約0.1-0.8 質(zhì)量％,基于有色光敏組合物的固體含量。此外，本發(fā)明的有色光敏組合物可以包含各種添加劑組分， 如環(huán)氧型樹脂，氧雜環(huán)丁烷化合物、紫外線吸收劑、抗氧化劑、螯合劑 等，只要不損害本發(fā)明的效果?？梢酝ㄟ^在溶劑中混合各組分來制備有色光壽文組合物。如此 制備的有色光敏組合物通常被濾過孔徑為約O.lpm或更小的過濾器。在 應(yīng)用有色光敏組合物的情況下的均勻性可以通過過濾來改善。根據(jù)類似于常規(guī)的光敏組合物的光刻方法，本發(fā)明的有色光 敏組合物可以被成形為彩色濾光器陣列。在光刻方法中，例如，像素可 以通過在基板上形成由本發(fā)明的有色光敏組合物組成的涂布薄膜，使該 涂布薄膜曝光和使該涂布薄膜顯影來形成。彩色濾光器陣列可以通過對(duì) 于每一種顏色重復(fù)涂布薄膜的形成、曝光和顯影來形成。已知的基板可被用作基板。例如，可以使用具有在其上形成 的圖像傳感器如固態(tài)圖像拾取裝置的硅晶片、透明玻璃板和石英板。不特別限制在基板上形成涂布薄膜的方法，能夠適當(dāng)?shù)厥褂?常規(guī)的涂布方法如旋涂法、輥涂法、棒涂法、才莫涂法、浸涂法、流延涂 布法、輥涂法和狹縫旋涂法?？梢酝ㄟ^在基板上施加本發(fā)明的有色光敏 組合物，和加熱(例如，加熱到70-120。C)有色光敏組合物，由此除去揮發(fā) 性組分如溶劑，而形成涂布薄膜。當(dāng)曝光涂布薄膜時(shí)，使用通過相應(yīng)于目標(biāo)圖案的掩模圖案的 射線來輻照涂布薄膜。作為射線，例如，可以使用g-射線和i-射線并且 可以使用步進(jìn)器如g-射線和i-射線步進(jìn)器。在輻照區(qū)域中，射線的曝光 劑量根據(jù)光敏化合物的種類和含量、固化劑的種類和含量、聚苯乙烯當(dāng) 量平均分子量、堿可溶性樹脂的單體比例和含量而適當(dāng)?shù)剡x擇?？梢约?熱由此形成的涂布薄膜。通過加熱來固化固化劑并且因此涂布薄膜的機(jī) 械強(qiáng)度增加。加熱溫度是例如約80-150°C。在顯影中，類似于使用常規(guī)的光敏組合物的情況，具有在其 上形成的涂布薄膜的基板可以與常規(guī)顯影液接觸。不特別限制顯影液。 例如，使用石咸水溶液并且其可以任選地與表面活性劑混合?？梢酝ㄟ^振 動(dòng)掉顯影液并且用水洗滌由此而除去顯影液，從而形成目標(biāo)像素?；蛘撸@影液被振動(dòng)掉，隨后用沖洗液沖洗，并且進(jìn)一步用水洗滌。在顯影期 間在基板上的有色光敏組合物的殘余物可以通過沖洗而除去。在顯影后，像素可以任選地用紫外線輻照。通過用紫外線輻 照，可以分解其余的光敏劑。在用水洗滌后，可以加熱像素?？梢蕴峁?br> 像素的機(jī)械強(qiáng)度。加熱溫度通常是約160。C-220。C。當(dāng)加熱溫度在上述范
圍內(nèi)，通過使用固化劑的固化令人滿意地進(jìn)行，而沒有引起顏料(著色劑) 的大量分解。這樣獲得的彩色濾光器陣列的厚度例如是約0.4-2.0pm。每一 個(gè)像素的縱向長(zhǎng)度和橫向長(zhǎng)度可以獨(dú)立地設(shè)置在約1.0-20pm的范圍內(nèi)。本發(fā)明的彩色濾光器陣列可以形成在裝置如固態(tài)圖像拾取裝 置(CCD、 CMOS傳感器等)和液晶顯示器裝置上，并且可用于這些裝置的 顯色。對(duì)于在CCD圖象傳感器上形成本發(fā)明的彩色濾光器陣列以及 使用其的照相機(jī)系統(tǒng)的典型實(shí)例現(xiàn)將參考附圖更詳細(xì)地描述。CCD圖像傳感器圖1是顯示CCD圖像傳感器的實(shí)例的部分 放大示意剖視圖，在所述CCD圖像傳感器上形成了本發(fā)明的彩色濾光器 陣列，和圖2-圖7是顯示用于在圖1中所示的CCD圖像傳感器上形成彩 色濾光器的程序的部分放大示意剖視圖。在所舉例說明的實(shí)例的CCD圖像傳感器中，光電二極管2是 這樣形成的將N型雜質(zhì)如P和As離子噴射到硅酮基板1中的P型雜質(zhì) 區(qū)域的一部分表面中，隨后熱處理。在硅酮基板1的表面(該區(qū)域不同于 光電二極管形成位點(diǎn))上，形成了由雜質(zhì)擴(kuò)散層組成的垂直電荷轉(zhuǎn)移部分 3,雜質(zhì)擴(kuò)散層具有比光電二極管2更高濃度的N型雜質(zhì)。垂直電荷轉(zhuǎn)移 部分3可以通過離子噴射N型雜質(zhì)如P和As并且隨后熱處理而形成，并 且當(dāng)光電二極管2在縱向中接收入射光時(shí)，實(shí)現(xiàn)作為所產(chǎn)生的轉(zhuǎn)移電荷 的CCD的作用。在所舉例說明的實(shí)例的CCD圖像傳感器中，硅酮基板1的雜 質(zhì)區(qū)域允許作為P型雜質(zhì)層，而光電二極管2和垂直電荷轉(zhuǎn)移部分3允 許作為N型雜質(zhì)層?；蛘?，硅酮基板1的雜質(zhì)區(qū)域允許作為N型雜質(zhì)層， 而光電二極管2和垂直電荷轉(zhuǎn)移部分3允許作為P型雜質(zhì)層。在硅酮基板1、光電二極管2和垂直電荷轉(zhuǎn)移部分3上，例如， 形成了由Si02組成的絕緣薄膜5a。由聚Si組成的垂直電荷轉(zhuǎn)移電極4形成通過絕緣薄膜5a，其在垂直電荷轉(zhuǎn)移部分3的上部以上形成。垂直 電荷轉(zhuǎn)移電極4實(shí)現(xiàn)作為在光電二極管2上形成的轉(zhuǎn)移電荷至垂直電荷 轉(zhuǎn)移部分3的轉(zhuǎn)移門的作用，并且還實(shí)現(xiàn)作為在CCD圖像傳感器的縱向 中被轉(zhuǎn)移到垂直電荷轉(zhuǎn)移部分3的轉(zhuǎn)移電荷的轉(zhuǎn)移電極的作用。通過由SK)2組成的絕緣薄膜5b，在垂直電荷轉(zhuǎn)移電極4以上 和在其側(cè)面形成光屏蔽薄膜6。光屏蔽薄膜6由金屬如鎢、硅化鎢、Al 或Al-硅化物組成，并且實(shí)現(xiàn)防止入射光入射到垂直電荷轉(zhuǎn)移電極4或垂 直電荷轉(zhuǎn)移部分3中的作用。在光屏蔽薄膜6的側(cè)面之中，在光電二極 管2以上，在光屏蔽薄膜6上提供突出部分，由此防止入射光入射到垂 直電荷轉(zhuǎn)移部分3中。以朝光電二極管2向下凸的形式，在光屏蔽薄膜6以上形成 BPSG薄膜7,并且在其上還層壓P-SiN薄膜8。層壓BPSG薄膜7和P-SiN 薄膜8以便這些薄膜間的界面在光電二極管2以上向下曲線，并且實(shí)現(xiàn) 用于有效地將入射光導(dǎo)向光電二極管2的內(nèi)層透鏡的作用。在P-SiN薄 膜8的表面上，形成了平整化薄膜9，以便使該表面或不平坦的部分(除 像素區(qū)域以外)平整化。在平整化薄膜層9上，形成了彩色濾光器陣列10。根據(jù)上述 光刻方法，可以形成彩色濾光器陣列10。如圖2-圖7所示，通過CCD圖 像傳感器作為實(shí)例進(jìn)行說明。雖然在這個(gè)所舉例說明的實(shí)例中，通過陰 性有色光敏組合物作為實(shí)例進(jìn)行說明，但是也可以使用陽性有色光敏組 合物作為實(shí)例。為形成彩色濾光器陣列，首先在平整化薄膜9上施加以第一 種顏色顯色的光敏樹脂組合物(在所舉例說明的實(shí)例中，綠色光敏樹脂組 合物IOG)(參見圖2)，然后通過光掩模13進(jìn)行圖案的投影曝光(參見圖3)。 這種曝光能夠使曝光區(qū)域14中的綠色光敏樹脂組合物不溶于顯影液中。 在未曝光區(qū)域15中的綠色光敏樹脂組合物是可溶于顯影液中的，并且隨 后被溶解在顯影液中而形成圖案。其后，在剩余的曝光區(qū)域14中的未溶 的綠色光敏樹脂組合物被熱固化而形成期望的綠色像素圖案IOG(圖4)。接著，相對(duì)于其他顏色的像素圖案(在所舉例說明的實(shí)例中， 紅色像素圖案IOR和藍(lán)色像素圖案10B),重復(fù)相同的步驟而在其上形成 圖像傳感器的基板的相同平面上形成三種顏色的像素圖案(圖5)。
27
在如此形成的彩色濾光器陣列IO的表面上，形成了平整化薄 膜ll(圖6)以便對(duì)不平坦部位進(jìn)行平整化。此外，用于有效地收集入射到 光電二極管2的光的微透鏡12在平整化薄膜11的上表面上形成(圖1、 圖7)，由此形成CCD圖像傳感器和使用其的照相機(jī)系統(tǒng)。圖8是方框圖，其顯示了固態(tài)圖像拾取裝置(圖像傳感器)結(jié)合 到其中的照相^f幾系統(tǒng)的實(shí)例。在這種照相^L系統(tǒng)中，入射光通過透4竟21 入射到圖像傳感器22。在圖像傳感器42的光入射側(cè)，形成上述微透鏡 12(芯片上的透鏡)和彩色濾光器陣列10,并且輸出相應(yīng)于入射光的各個(gè) 顏色的信號(hào)。來自圖像傳感器22的信號(hào)通過信號(hào)處理電路23進(jìn)行信號(hào) 處理，然后輸出到照相機(jī)。在所舉例說明的實(shí)例的照相機(jī)系統(tǒng)中，圖像傳感器22由裝置 驅(qū)動(dòng)電路25來驅(qū)動(dòng)?？梢酝ㄟ^從模式設(shè)置部分24發(fā)送模式信號(hào)如靜態(tài) 圖象模式或者運(yùn)動(dòng)圖像模式來控制裝置驅(qū)動(dòng)電路25的操作。本發(fā)明可能 不僅適用于CCD圖像傳感器，而且適用于放大固態(tài)圖像拾取裝置，如 CMOS圖像傳感器，和使用其的照相機(jī)系統(tǒng)和液晶顯示器裝置。
實(shí)施例在以下實(shí)施例中，進(jìn)一步舉例說明本發(fā)明。應(yīng)將理解的是本 發(fā)明不局限于所述實(shí)施例，根據(jù)以上和以下所描述的要旨進(jìn)行的各種設(shè) 計(jì)變化也包括在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。以下組分?jǐn)?shù)量的百分?jǐn)?shù)和份數(shù)是 按重量計(jì)算，除非另作說明。合成實(shí)施例1
向30份的2，2'-二氨基聯(lián)苯二磺酸(含30%水)中，添加300份的水并 且用30。/。氫氧化鈉水溶液將pH調(diào)節(jié)到7-8。在冰冷卻下進(jìn)行以下操作。 添加亞賄酸鈉(12.6份)，隨后攪拌30分鐘。按小份添加35%鹽酸(38.1份) 而得到棕色溶液，隨后攪拌2小時(shí)。將通過在57.4份的水中溶解5.3份 的酰胺硫酸制備的水溶液添加到反應(yīng)溶液，隨后攪拌而獲得含重氮鹽的 懸浮液。向18.6份的N，N-二曱基巴比土酸中，添加372份的水并且在 冰冷卻下用30。/。氪氧化鈉水溶液將pH調(diào)節(jié)到8-9。在冰冷卻下進(jìn)行以下操作。將巴比土酸的堿水溶液通過攪拌 轉(zhuǎn)變?yōu)闊o色溶液，然后使用泵滴加含重氮鹽的懸浮液，同時(shí)用30%氫氧 化鈉水溶液調(diào)節(jié)pH至8-9。在完成滴加后，進(jìn)一步攪拌溶液3小時(shí)而獲得黃色懸浮液。在減壓下在60。C干燥過濾所獲得的黃色固體而得到14.6 份的由式(i-l)表示的偶氮磺酸。在裝備有冷凝管和攪拌器的燒瓶中，放置10份的偶氮磺酸 (i-l)、 100份的氯仿和4.2份的N，N-二曱基曱酰胺并隨后在攪拌下滴加7 ^除的亞碌u酰氯，同時(shí)維持在20°C或更^f氐。在完成滴加并且加熱到50。C 后，進(jìn)行反應(yīng)，同時(shí)維持在相同的溫度5小時(shí)。在冷卻至20。C后，滴加 5份的1,5-二曱基己胺和15份的三乙胺的混合溶液，同時(shí)在攪拌下維持 反應(yīng)溶液在20。C或更低。然后，進(jìn)行反應(yīng)，同時(shí)在相同溫度攪拌5小時(shí)。 使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器蒸餾出所得的反應(yīng)混合物中的溶劑并且添加少量的甲 醇，隨后強(qiáng)烈攪拌。在58份的乙酸和600份的離子交換水的混合溶液中 添加這樣獲得的混合物，由此沉淀晶體。通過過濾分離沉淀晶體，用離 子交換水充分洗滌并隨后在60°C在減壓下干燥，而獲得10.9份(收率 82%)的由式(I-1)表示的偶氮化合物。聚(對(duì)羥基苯乙烯)[商品名"MARUKA LYNCUR M"(制造商 Maruzen Petrochemical Co., Ltd.)，重均分子量(目錄值)4100，分散度(目 錄值)1.98](36.0份)和丙酮(144份)裝入反應(yīng)容器中，并隨后溶解，同時(shí) 攪拌。向溶液中添加20.7份的無水碳酸鉀和9.35份的乙基碘，然后通過 加熱開始回流。在持續(xù)回流15小時(shí)后，添加72份的曱基異丁基酮，用 92.8份的2wt。/。草酸水溶液洗滌有機(jī)層。然后，添加96份的乙基異丁基 酮，用64.7份的離子交換水洗滌有機(jī)層。將洗滌前的有機(jī)層濃縮至78.3 份，在添加187.9份的丙二醇單甲醚乙酸酯后，進(jìn)一步將有機(jī)層濃縮至 117.4份。所得的濃縮溶液的固體含量為30.6%。 'H-NMR測(cè)量顯示反應(yīng) 后樹脂中的聚(對(duì)羥基苯乙烯)的19.5%的羥基被乙基醚化。這種樹脂稱為 樹脂A。實(shí)施例1
混合合成實(shí)施例1中獲得的偶氮化合物(1-1)(20份)、a-[(4-曱苯磺酰 氧基亞氨基)-4-曱氧苯基]乙腈(4份)(作為光敏化合物)、合成實(shí)施例2中獲 得的樹脂A(59份，按固體含量計(jì))(作為堿可溶性樹脂)、六曱氧基羥曱基 蜜胺(16,4份)(作為固化劑)、4-羥基-4-曱基-2-戊酮(392份)(作為溶劑)、丙 二醇單曱醚(98份)(作為溶劑)和2-氨基-2-甲基-1-丙醇(0.15份)(作為胺型 化合物)并隨后使用孔徑為0.2|am的膜式過濾器進(jìn)行過濾而獲得紅色-有 色光每丈組合物。
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使用旋涂法將有色光敏組合物施加到石英晶片上，以便控制
所得的薄膜的厚度為0.70(im，然后在100。C加熱1分鐘，由此除去揮發(fā)性組分，因而形成涂布薄膜。用紫外光輻照涂布薄膜，然后在200。C加熱3分鐘而獲得濾光器。沒有進(jìn)行通過曝光和顯影的圖案化，因?yàn)樵趯?shí)施例1中主要目的是評(píng)估光譜特性。然而，可以以和現(xiàn)有技術(shù)同樣的方式進(jìn)行通過曝光和顯影的圖案化。
只寸比例1
以和實(shí)施例1同樣的方式，區(qū)別在于使用C丄溶劑黃162代替偶氮化合物(I-1),獲得紅色有色光敏組合物和紅色濾光器。評(píng)估耐光性
用光輻照實(shí)施例1和對(duì)比例1中獲得的每一濾光器和在用光輻照前后測(cè)量在400-700nm波長(zhǎng)下的平均光透射率。通過用光輻照前后的平均光透射率的變化(差)來評(píng)估濾光器的耐光性。變化越小，耐光性變得更好。具體地說，使用光-褪色測(cè)試機(jī)(Sun Test CPS,由Atlas K.K.制造)，在400W/m"光強(qiáng)度下用光輻照濾光器15小時(shí)。從濾光器的波長(zhǎng)-光透射率譜計(jì)算在400-700nm的波長(zhǎng)下的平均光透射率，其是使用分光光度計(jì)("DU-640"，由Beckman Coulter, Inc.制造)用光輻照前后測(cè)量的并且然后由平均光透射率來計(jì)算所述變化(差)。使用UV-截止濾光器("L-38"，由HOYA公司制造)，相對(duì)于UV-截止和非-UV-截止部分兩者計(jì)算平均光透射率的變化。結(jié)果示于表1中。
表1
在用光輻照前后在400-700nm的波長(zhǎng)下的 透射率的平均變化UV-截止非-UV-截止
實(shí)施例12.3%16.3%
對(duì)比例19.1%17.2%如從表1中所示的結(jié)果顯而易見的，通過使用偶氮化合物(I-l)代替通常使用的C丄溶劑黃162，可以改進(jìn)濾光器的耐光性。
31
本發(fā)明的有色光敏組合物可用于制造待在用于固態(tài)圖像拾取裝置的顯色的裝置上形成的彩色濾光器陣列。本發(fā)明的主要的實(shí)施方案和優(yōu)選的實(shí)施方案是下列的。 一種有色光壽丈組合物，其包括著色劑、光*文化合物和堿可溶性樹脂，其中
著色劑包含選自紅色著色劑、和由式(I)表示的化合物和其鹽的至
少一種
N
卜Z2 (!)N
其中在式(I)中，Z1和Z2各自獨(dú)立地是氧原子或硫原子；R'-R4各自獨(dú)立地是氫原子、Cw。飽和脂肪族烴基團(tuán)、被羥基取代的d.,o飽和脂肪族烴基團(tuán)、被C,.s烷氧基取代的Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)、被d.s硫代烷氧基取代的C飽和脂肪族烴基團(tuán)、具有6-20個(gè)碳原子的芳基、具有7-20個(gè)碳原子的芳烷基或具有2-10個(gè)碳原子的?；?；和
R、R"各自獨(dú)立地是氫原子、卣素原子、d.,o飽和脂肪族烴基團(tuán)、卣化的Q-,o飽和脂肪族烴基團(tuán)、C"s烷氧基、羧基、磺基、氨磺?；鶊F(tuán)或N-取代的氨磺酰基團(tuán)，和RS-RU中的至少一個(gè)是N-取代的氨磺
酰基團(tuán)。的有色光敏組合物，其中RS-R8中的至少一個(gè)，和R9-R12中的至少 一個(gè)是N-取代的氨磺酰基團(tuán)。 根據(jù)[2]的有色光敏組合物，其中115和R8中的至少一個(gè)，和R9和R12中的至少 一個(gè)是N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)。
根據(jù)[l]-[3]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物，其中N-取代的氨磺酰基團(tuán)是-S02NHRU基團(tuán)，和1113是CMo飽和脂肪族烴基團(tuán)，被Cm烷氧基取代的d.k)飽和脂肪族烴基團(tuán)，具有6-20個(gè)碳原子的芳基，具有7-20個(gè)碳原子的芳烷基或具有2-10個(gè)碳原子的?；?br> 32[5] 根據(jù)[l ] -[4]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物，其中1^-114中的至少一個(gè)具有6個(gè)或更多個(gè)碳原子。 根據(jù)[5]的有色光敏組合物，其中R、R4中的至少一個(gè)是具有6-20個(gè)碳原子的芳基。 根據(jù)[l]-[6]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物，其中紅色著色劑是口占p屯型顏泮牛。 根據(jù)[l]-[7]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物，其中光敏化合物是將型化合物。 根據(jù)[l]-[8]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物，其中著色劑的含量為5-80質(zhì)量份，基于100質(zhì)量份的著色劑、光敏化合物和堿可溶性樹脂的總量。根據(jù)[l]-[9]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物，其中光敏化合物的含量為0.001-50質(zhì)量份，基于100質(zhì)量份的著色劑、光敏化合物和堿可溶性樹脂的總量。根據(jù)[1]-[10]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物，其中堿可溶性樹脂的含量為1-75質(zhì)量份，基于100質(zhì)量份的著色劑、光敏化合物和堿可溶性樹脂的總量。根據(jù)[l]-[ll]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物，進(jìn)一步包括固化劑。用根據(jù)[1]-[12]中任一項(xiàng)的有色光敏組合物形成的彩色濾光器陣列。包括根據(jù)[13]的彩色濾光器陣列的固態(tài)圖像拾取裝置。[15]包括根據(jù)[13 ]的彩色濾光器陣列的照相機(jī)系統(tǒng)。
權(quán)利要求
1.一種有色光敏組合物，其包括著色劑、光敏化合物和堿可溶性樹脂，其中著色劑包含選自紅色著色劑、和由式(I)表示的化合物和其鹽的至少一種[化學(xué)式1]其中在式(I)中，Z1和Z2各自獨(dú)立地是氧原子或硫原子；R1-R4各自獨(dú)立地是氫原子、C1-10飽和脂肪族烴基團(tuán)、被羥基取代的C1-10飽和脂肪族烴基團(tuán)、被C1-8烷氧基取代的C1-10飽和脂肪族烴基團(tuán)、被C1-8硫代烷氧基取代的C1-10飽和脂肪族烴基團(tuán)、具有6-20個(gè)碳原子的芳基、具有7-20個(gè)碳原子的芳烷基或具有2-10個(gè)碳原子的?；缓蚏5-R12各自獨(dú)立地是氫原子、鹵素原子、C1-10飽和脂肪族烴基團(tuán)、鹵化的C1-10飽和脂肪族烴基團(tuán)、C1-8烷氧基、羧基、磺基、氨磺?；鶊F(tuán)或N-取代的氨磺酰基團(tuán)，和R5-R12中的至少一個(gè)是N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，其中R、rS中的至少一個(gè)， 和R9-R12中的至少 一個(gè)是N-取代的氨磺酰基團(tuán)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2的有色光敏組合物，其中115和RS中的至少一 個(gè)，和W和R"中的至少一個(gè)是N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，其中N-取代的氨磺?；鶊F(tuán) 是-s02nhr"基團(tuán)，和1113是Cwo飽和脂肪族烴基團(tuán)，被C,.8烷氧基 取代的Cw。飽和脂肪族烴基團(tuán)，具有6-20個(gè)碳原子的芳基，具有7-20 個(gè)碳原子的芳烷基或具有2-10個(gè)碳原子的?；?。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，其中RLW中的至少一個(gè) 具有6或更多個(gè)碳原子。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5的有色光敏組合物，其中R^W中的至少一個(gè) 是具有6-20個(gè)碳原子的芳基。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，其中紅色著色劑是坫噸型顏料。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，其中光敏化合物是肟型化 合物。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，其中著色劑的含量為5-80 質(zhì)量份，基于i00質(zhì)量份的著色劑、光敏化合物和緘可溶性樹脂的總量。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，其中光敏化合物的含量 為0.001-50質(zhì)量份，基于100質(zhì)量份的著色劑、光敏化合物和堿可溶 性樹脂的總量。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，其中堿可溶性樹脂的含 量為1-75質(zhì)量份，基于100質(zhì)量份的著色劑、光敏化合物和堿可溶性 樹脂的總量。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物，進(jìn)一步包括固化劑。
13. 用根據(jù)權(quán)利要求1的有色光敏組合物形成的彩色濾光器陣列。
14. 包括根據(jù)權(quán)利要求13的彩色濾光器陣列的固態(tài)圖像拾取裝置。
15. 包括根據(jù)權(quán)利要求13的彩色濾光器陣列的照相機(jī)系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種能夠形成具有改進(jìn)的光譜特性的彩色濾光器陣列的有色光敏組合物。有色光敏組合物包括由式(I)表示的化合物或其鹽，其中在式(I)中，Z¹和Z²是氧或硫原子，R¹-R⁴是氫原子，飽和脂肪族烴基團(tuán)(其可以被羥基取代)，芳基，芳烷基或?；?；和R⁵-R¹²是氫原子，鹵素原子，(鹵代)飽和脂肪族烴基團(tuán)，烷氧基，羧基，磺基，或(N-取代的)氨磺?；?，和R⁵-R¹²中的至少一個(gè)是N-取代的氨磺?；鶊F(tuán)。
文檔編號(hào)G02B5/20GK101493652SQ20091000599
公開日2009年7月29日 申請(qǐng)日期2009年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月24日
發(fā)明者前田兼作, 名取太知, 宮芳子, 藤田拓麻 申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社;索尼株式會(huì)社