專利名稱：主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于旋轉(zhuǎn)涂膠、顯影定影過程中真空吸附高速旋轉(zhuǎn)片料的 系統(tǒng)，具體涉及一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
涂膠顯影類設(shè)備是IC生產(chǎn)線上的關(guān)鍵設(shè)備之一，主要用于半導(dǎo)體集成電路、晶體 管、LED、MEMS等生產(chǎn)中基片的涂膠、顯影工藝。光刻的基本工藝是由光刻膠涂敷、曝光及顯 影等三大步驟構(gòu)成的，由于光刻膠內(nèi)含有溶劑，使得光刻膠本身能以液態(tài)的形式存在，因此 在光刻膠涂敷工序中大多利用高速旋轉(zhuǎn)的方式，借助離心力將光刻膠均勻的涂敷在片料襯 底上，襯底表面形成一層厚度均勻、附著性強(qiáng)，且無任何缺陷的光刻膠層。目前，對(duì)高速旋轉(zhuǎn) 片料的裝夾、固定設(shè)備普遍存在裝夾不牢固，在裝夾過程中很容易對(duì)片料造成污染等問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種主軸 真空動(dòng)密封系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)合理、生產(chǎn)工藝簡單、裝夾牢固、不對(duì)片料造成任何污染、自動(dòng)化程 度高、生產(chǎn)成本低，便于推廣使用。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)， 包括真空氣源，以及控制整個(gè)系統(tǒng)中真空啟閉及大小的精密真空度檢測(cè)開關(guān)，其特征在于 所述真空氣源出口通過真空管道與真空電磁閥入口相連接，所述真空電磁閥出口通過真空 管道與真空陷阱相連接，所述真空陷阱通過真空管道與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊入口相連接，所 述真空陷阱與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊之間的管道上設(shè)置有精密真空度檢測(cè)開關(guān)。所述主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊包括內(nèi)部設(shè)置有豎向貫通軸孔、上階梯槽及下階梯槽的密 封塊，所述密封塊內(nèi)部垂直于軸孔方向設(shè)置有真空通道，所述軸孔內(nèi)部安裝有空心軸，空心 軸的側(cè)壁上對(duì)應(yīng)真空通道的位置開有小孔，所述上階梯槽內(nèi)依次安裝有壓板一、底圈一和 密封圈一，所述底圈一與空心軸之間設(shè)置有密封套一，所述密封套一內(nèi)部安裝有密封圈二， 所述下階梯槽內(nèi)依次安裝有壓板二、底圈二和密封圈三，所述底圈二與空心軸之間設(shè)置有 密封套二，所述密封套二內(nèi)部安裝有密封圈四。所述真空電磁閥為兩位兩通真空電磁閥。所述壓板一和壓板二均通過螺紋與密封塊相連接。所述密封圈一、密封圈二、密封圈三和密封圈四均為0型密封圈。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)(1)結(jié)構(gòu)合理、生產(chǎn)工藝簡單。該主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)結(jié)構(gòu)合理，生產(chǎn)工藝簡單；(2)裝夾牢固、不對(duì)片料造成任何污染。該主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)采用真空吸附高速 旋轉(zhuǎn)片料，因此裝夾牢固、不對(duì)片料造成任何污染；(3)自動(dòng)化程度高。通過控制兩位兩通真空電磁閥的開閉，控制整個(gè)進(jìn)入系統(tǒng)中 的真空啟閉及大??；通過設(shè)置精密真空度檢測(cè)開關(guān)數(shù)據(jù)大小，判斷真空度是否滿足當(dāng)前要求； (3)制作簡單、生產(chǎn)成本低、便于推廣使用。該主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)很多部件都非 常便于生產(chǎn)、購買，因而其生產(chǎn)成本很低，便于推廣使用。
下面通過附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

圖1為本實(shí)用新型的真空管路控制系統(tǒng)原理圖。 圖2為本實(shí)用新型密封塊的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3為本實(shí)用新型主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。 附圖標(biāo)記說明
2-真空電磁閥；3-真空陷阱； 5_精密真空度檢測(cè)開關(guān)； 4-2-軸孔； 4-3-上階梯槽； 4-5-真空通道； 4-8-底圈一； 4-11-密封圈二 4-14-密封圈三
4-6-空心軸； 4-9-密封圈一 4-12-壓板二 4-15-密封套
1-真空氣源； 4-主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊 4-1-密封塊； 4-4-下階梯槽； 4-7-壓板一； 4-10-密封套一； 4-13-底圈二 ；4-16-密封圈四。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，包括真空氣源1，以及控制整 個(gè)系統(tǒng)中真空啟閉及大小的精密真空度檢測(cè)開關(guān)5，所述真空氣源1出口通過真空管道與 真空電磁閥2入口相連接，所述真空電磁閥2出口通過真空管道與真空陷阱3相連接，所述 真空陷阱3通過真空管道與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊4入口相連接，所述真空陷阱3與主軸旋轉(zhuǎn) 密封模塊4之間的管道上設(shè)置有精密真空度檢測(cè)開關(guān)5。如圖2、3所示，所述主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊4包括內(nèi)部設(shè)置有豎向貫通軸孔4-2、上階 梯槽4-3及下階梯槽4-4的密封塊4-1，所述密封塊4-1內(nèi)部垂直于軸孔4-2方向設(shè)置有真 空通道4-5，所述軸孔4-2內(nèi)部安裝有空心軸4-6，空心軸4-6的側(cè)壁上對(duì)應(yīng)真空通道4_5 的位置開有小孔，所述上階梯槽4-3內(nèi)依次安裝有壓板一 4-7、底圈一 4-8和密封圈一 4-9， 所述底圈一 4-8與空心軸4-6之間設(shè)置有密封套一 4-10，所述密封套一 4-10內(nèi)部安裝有密 封圈二 4-11，所述下階梯槽4-4內(nèi)依次安裝有壓板二 4-12、底圈二 4-13和密封圈三4_14， 所述底圈二 4-13與空心軸4-6之間設(shè)置有密封套二 4-15，所述密封套二 4-15內(nèi)部安裝有 密封圈四4-16。如圖1所示，所述真空電磁閥2為兩位兩通真空電磁閥。如圖3所示，所述壓板一 4-7和壓板二 4-12均通過螺紋與密封塊4_1相連接。如圖3所示，所述密封圈一 4-9、密封圈二 4-11、密封圈三4-14和密封圈四4_16 均為0型密封圈。本實(shí)用新型的工作過程是首先真空管路控制系統(tǒng)從真空氣源1開始、經(jīng)過兩位 兩通真空電磁閥2、真空陷阱3、精密真空度檢測(cè)開關(guān)5進(jìn)入主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊4的真空通 道4-5，經(jīng)空心軸4-6上的小孔即進(jìn)入空心軸4-6中部空腔內(nèi)，最終將真空傳到空心軸4-6 端部吸附片料。[0035]兩位兩通真空電磁閥2的開閉，控制整個(gè)進(jìn)入系統(tǒng)中的真空啟閉及大小；真空陷 阱3過濾管路中水氣及雜質(zhì)；精密真空度檢測(cè)開關(guān)4根據(jù)檢測(cè)到的數(shù)據(jù)大小，從而判斷系統(tǒng) 中真空度是否滿足當(dāng)前要求。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何限制，凡是根 據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變換，均仍 屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，包括真空氣源(1)，以及控制整個(gè)系統(tǒng)中真空啟閉及大小的精密真空度檢測(cè)開關(guān)(5)，其特征在于所述真空氣源(1)出口通過真空管道與真空電磁閥(2)入口相連接，所述真空電磁閥(2)出口通過真空管道與真空陷阱(3)相連接，所述真空陷阱(3)通過真空管道與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊(4)入口相連接，所述真空陷阱(3)與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊(4)之間的管道上設(shè)置有精密真空度檢測(cè)開關(guān)(5)。
2.按照權(quán)利要求1所述的主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，其特征在于所述主軸旋轉(zhuǎn)密封模 塊(4)包括內(nèi)部設(shè)置有豎向貫通軸孔(4-2)、上階梯槽(4-3)及下階梯槽(4-4)的密封 塊(4-1)，所述密封塊(4-1)內(nèi)部垂直于軸孔(4-2)方向設(shè)置有真空通道(4-5)，所述軸孔 (4-2)內(nèi)部安裝有空心軸(4-6)，空心軸(4-6)的側(cè)壁上對(duì)應(yīng)真空通道(4-5)的位置開有小 孔，所述上階梯槽(4-3)內(nèi)依次安裝有壓板一(4-7)、底圈一(4-8)和密封圈一(4-9)，所述 底圈一(4-8)與空心軸(4-6)間設(shè)置有密封套一(4-10)，所述密封套一(4-10)內(nèi)部安裝有 密封圈二(4-11)，所述下階梯槽(4-4)內(nèi)依次安裝有壓板二(4-12)、底圈二(4-13)和密封 圈三(4-14)，所述底圈二(4-13)與空心軸(4-6)之間設(shè)置有密封套二(4-15)，所述密封套 二 (4-15)內(nèi)部安裝有密封圈四(4-16)。
3.按照權(quán)利要求1所述的主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，其特征在于所述真空電磁閥(2)為 兩位兩通真空電磁閥。
4.按照權(quán)利要求2所述的主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，其特征在于所述壓板一(4-7)和壓 板二(4-12)均通過螺紋與密封塊(4-1)相連接。
5.按照權(quán)利要求2所述的主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，其特征在于所述密封圈一(4-9)、密 封圈二(4-11)、密封圈三(4-14)和密封圈四(4-16)均為0型密封圈。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，包括真空氣源，以及控制整個(gè)系統(tǒng)中真空啟閉及大小的精密真空度檢測(cè)開關(guān)，所述真空氣源出口通過真空管道與真空電磁閥入口相連接，所述真空電磁閥出口通過真空管道與真空陷阱相連接，所述真空陷阱通過真空管道與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊入口相連接，所述真空陷阱與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊之間的管道上設(shè)置有精密真空度檢測(cè)開關(guān)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理、生產(chǎn)工藝簡單、裝夾牢固、不對(duì)片料造成任何污染、自動(dòng)化程度高、生產(chǎn)成本低、便于推廣使用。
文檔編號(hào)G03F7/00GK201606497SQ20092024498
公開日2010年10月13日 申請(qǐng)日期2009年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月29日
發(fā)明者徐震, 王朝偉 申請(qǐng)人:西北機(jī)器有限公司