專利名稱：成型體及晶片透鏡的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及成型體及晶片透鏡(wafer lens)的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，在光學(xué)透鏡的制造領(lǐng)域，研究了通過(guò)在玻璃平板上設(shè)置由熱固性樹(shù)脂等的 固化性樹(shù)脂形成的透鏡部(光學(xué)部件)來(lái)得到耐熱性高的光學(xué)透鏡的技術(shù)(例如，參照專 利文獻(xiàn)1)。進(jìn)而，作為適用該技術(shù)的光學(xué)透鏡的制造方法，開(kāi)發(fā)有以下方法通過(guò)形成對(duì)于玻 璃平板設(shè)置了多個(gè)由固化樹(shù)脂形成的光學(xué)部件的所謂的“晶片透鏡”，以使多個(gè)透鏡一體化 的狀態(tài)同時(shí)成型，成型后切割玻璃平板部。根據(jù)該制造方法，可降低光學(xué)透鏡的制造成本。專利文獻(xiàn)1 特許第3926380號(hào)公報(bào)但是，由于在專利文獻(xiàn)1中沒(méi)有記載具體的成型、制造方法，因此實(shí)際上不能制造 光學(xué)透鏡。該方面，為了制作在玻璃平板的兩面設(shè)置了透鏡部的光學(xué)透鏡而單純地在玻璃平 板的一面、對(duì)于另一面按順序設(shè)置透鏡部時(shí)，由于一面(先設(shè)置透鏡部的面)上的樹(shù)脂固化 收縮而玻璃基板發(fā)生翹曲，設(shè)置于另一面的透鏡部的形狀精度降低、或性能劣化。進(jìn)而，在 玻璃基板的翹曲大的情況下，由于玻璃基板有時(shí)也破損，不能進(jìn)行成型。而且，這些問(wèn)題特 別是在增大玻璃基板效率良好地一起成型多個(gè)透鏡部的情況下變得顯著。本發(fā)明的主要目的在于提供一種在基板的兩面設(shè)置光學(xué)部件的情況下可使光學(xué) 部件的形狀精度提高的晶片透鏡的制造方法。用于解決課題的手段根據(jù)本發(fā)明的第1方式，提供一種成型體的制造方法，其特征在于，其是在玻璃基 板的表面形成了與由固化性樹(shù)脂構(gòu)成的凸或凹的多個(gè)成型部對(duì)應(yīng)的形狀的成型體的制造 方法，具有以下工序準(zhǔn)備具有多個(gè)與所述多個(gè)成型部對(duì)應(yīng)的形狀的負(fù)形狀的成型面的第1成型模的
工序；在所述第1成型模的形成了多個(gè)成型面的面上涂布固化性樹(shù)脂的工序；進(jìn)行被涂布了的所述固化性樹(shù)脂的固化的固化工序，所述固化工序含有以下工序?qū)τ谒龉袒詷?shù)脂通過(guò)光照射而進(jìn)行固化的光固 化工序；通過(guò)對(duì)于在所述光固化工序中進(jìn)行了固化的所述固化性樹(shù)脂進(jìn)行加熱處理而進(jìn) 一步進(jìn)行固化的加熱固化工序。在該成型體的制造方法中，優(yōu)選所述加熱固化工序在第1溫度下進(jìn)行所述固化性樹(shù)脂的固化后，在比所述第 1溫度還高的第2溫度下進(jìn)一步進(jìn)行所述固化性樹(shù)脂的固化。另外，在該成型體的制造方法中，
優(yōu)選所述第1溫度為70 90°C的范圍內(nèi)、所述第2溫度為100 250°C的范圍內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明的其它方式，提供一種晶片透鏡的制造方法，其特征在于，其是對(duì)于基 板的兩面設(shè)置了第1固化性樹(shù)脂制的光學(xué)部件的晶片透鏡的制造方法，具有以下工序由具有多個(gè)與設(shè)置于基板的一面的所述光學(xué)部件的光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的正形狀的 成型面的第1成型模，形成具有多個(gè)與該光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀的成型面的由第2固化 性樹(shù)脂形成的第1復(fù)制成型部，同時(shí)在該第1復(fù)制成型部?jī)?nèi)襯第1復(fù)制成型用基板，由此形 成第1復(fù)制成型模的工序；由具有多個(gè)與設(shè)置于基板的另一面的所述光學(xué)部件的光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的正形狀 的成型面的第2成型模，形成具有多個(gè)與該光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀的成型面的由第2固 化性樹(shù)脂形成的第2復(fù)制成型部，同時(shí)在該第2復(fù)制成型部?jī)?nèi)襯第2復(fù)制成型用基板，由此 形成第2復(fù)制成型模的工序；在所述第1復(fù)制成型模和所述基板的一面之間填充所述第1固化性樹(shù)脂的第1填 充工序；在所述第2復(fù)制成型模和所述玻璃基板的另一面之間填充所述第1固化性樹(shù)脂的 第2填充工序；在所述第1及第2填充工序后，使所述基板的分別被填充了的所述第1固化性樹(shù) 脂固化的固化工序，同時(shí)，在所述固化工序內(nèi)，在所述基板的至少一面進(jìn)行的固化工序含有以下工序?qū)τ?被填充了的所述第1固化性樹(shù)脂通過(guò)光照射而進(jìn)行固化的光固化工序；通過(guò)對(duì)于在所述光 固化工序中進(jìn)行了固化的所述第1固化性樹(shù)脂進(jìn)行加熱處理而進(jìn)一步進(jìn)行固化的加熱固
化工序。在該晶片透鏡的制造方法中，所述加熱固化工序通過(guò)加熱進(jìn)行了所述光固化工序的填充于所述第1或第2復(fù)制 成型模和基板之間的狀態(tài)的第1固化性樹(shù)脂而進(jìn)行，優(yōu)選具有使通過(guò)所述加熱固化工序而 進(jìn)行了固化的所述第1固化性樹(shù)脂從所述復(fù)制成型模脫模的脫模工序。在該情況下，在所述脫模工序后，具有通過(guò)對(duì)于脫模了的所述第1固化性樹(shù)脂加 熱而進(jìn)行固化的第2加熱固化工序，所述加熱固化工序中的加熱溫度優(yōu)選比所述第2加熱 固化工序中的加熱溫度還低。另外，在該情況下，優(yōu)選所述加熱固化工序在70 90°C的范圍內(nèi)的加熱溫度下進(jìn) 行、所述第2加熱固化工序在100 250°C的范圍內(nèi)的加熱溫度下進(jìn)行。在該晶片透鏡的制造方法中，所述加熱固化工序優(yōu)選含有在第1加熱溫度下加熱而進(jìn)行固化的第1階段、在比 所述第1加熱溫度還高的加熱溫度下加熱而進(jìn)行固化的第2階段。在該晶片透鏡的制造方法中，所述基板為玻璃，所述第1或第2復(fù)制成型用基板也為玻璃，所述基板用玻璃的線 膨脹系數(shù)與所述第1或第2復(fù)制成型用基板用玻璃的線膨脹系數(shù)的差優(yōu)選為3Χ10_5[/Κ] 以下。在該晶片透鏡的制造方法中，所述第1或第2復(fù)制成型模在所述多個(gè)成型面間分別具有平坦部，優(yōu)選所述第1或第2填充工序時(shí)所述第1或第2復(fù)制成型模的平坦部與所述基板的間隔維持為100 μ m 以下。在該晶片透鏡的制造方法中，所述第1填充工序優(yōu)選形成如下?tīng)顟B(tài)將所述第1固化性樹(shù)脂滴加或排出在所述 基板的上面后，使該基板與配設(shè)于該基板的上方的所述第1復(fù)制成型模抵接，在這些基板 及第1復(fù)制成型模之間填充了所述第1固化性樹(shù)脂，所述第2填充工序優(yōu)選形成如下?tīng)顟B(tài)將所述第1固化性樹(shù)脂滴加或排出在所述 第2復(fù)制成型模的上面后，使該第2復(fù)制成型模和配設(shè)于該第2復(fù)制成型模的上方的所述 基板抵接，在這些基板及第2復(fù)制成型模之間填充了所述第1固化性樹(shù)脂。在該晶片透鏡的制造方法中， 所述第1填充工序優(yōu)選將所述第1固化性樹(shù)脂滴加或排出在所述第1復(fù)制成型模的上面后，使該第1復(fù) 制成型模和配設(shè)于該第1復(fù)制成型模的上方的所述基板抵接，在這些基板及第1復(fù)制成型 模之間填充所述第1固化性樹(shù)脂，其后，使所述基板及所述第1復(fù)制成型模在相互抵接的狀態(tài)下一體地上下反轉(zhuǎn)，其后，作為所述第2填充工序，將所述第1固化性樹(shù)脂滴加或排出在所述第2復(fù)制成型 模的上面后，使該第2復(fù)制成型模和配設(shè)于該第2復(fù)制成型模的上方的所述基板抵接，在這 些基板及第2復(fù)制成型模之間填充所述第1固化性樹(shù)脂。在該晶片透鏡的制造方法中，優(yōu)選所述固化工序同時(shí)使分別填充于所述第1、第2復(fù)制成型模和所述基板之間 的所述第1固化性樹(shù)脂固化。在該晶片透鏡的制造方法中，優(yōu)選將填充于所述第1復(fù)制成型模和所述基板之間的所述第1固化性樹(shù)脂增粘到 規(guī)定的粘度后，在所述第2復(fù)制成型模和所述基板之間填充所述第1固化性樹(shù)脂。在該晶片透鏡的制造方法中，優(yōu)選所述第1或第2復(fù)制成型模的成型面的一部分上為了應(yīng)力緩和而具備所述第 2固化性樹(shù)脂不存在的區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)以光固化工序和加熱固化工序的2個(gè)階段進(jìn)行形成為晶片狀的 由固化性樹(shù)脂形成的成型體的固化工序，即使如晶片狀這樣的寬的成型體也可充分地進(jìn)行 固化，通過(guò)其后的工序?qū)τ诔尚腕w的光學(xué)性能產(chǎn)生不良影響受到抑制。另外，在第1、第2副 母模(寸7 7 7々一)成型模和基板之間分別填充固化性樹(shù)脂的工序后，使該固化性樹(shù)脂 固化，因此不會(huì)僅在基板的單面樹(shù)脂固化收縮，而是在基板的兩面樹(shù)脂同時(shí)固化收縮而分 別形成光學(xué)部件。因此，與在各面依次設(shè)置光學(xué)部件的情況不同，可以防止基板的翹曲，因 此，可以使光學(xué)部件的形狀精度提高。


圖1是表示晶片透鏡的概略構(gòu)成的立體圖。圖2是表示母模(^夕一)、副母模的概略構(gòu)成的立體圖。圖3是用于說(shuō)明晶片透鏡的制造方法的圖。
圖4是表示母模、副母模、次副母模(寸7··寸7·· 7 ^夕一)的概略構(gòu)成的圖。圖5是用于說(shuō)明晶片透鏡的制造方法的圖。圖6是用于說(shuō)明圖5的后續(xù)的制造方法的圖。圖7是表示大直徑副母模的概略構(gòu)成的平面圖。
圖8是表示通常的副母模的概略構(gòu)成的平面圖。圖9是用于示意性說(shuō)明使用大直徑副母模和通常的副母模而在玻璃基板的表背 兩面形成透鏡部的樣子的圖。圖10是用于說(shuō)明使用大直徑副母模時(shí)的不良情況的圖。圖11是表示大直徑副母模的變形例的圖。圖12是在末端作為可水解的官能團(tuán)的一個(gè)例子使用有烷氧基硅烷基的脫模劑、 和母模表面的OH基的反應(yīng)圖。圖13是用于說(shuō)明利用球頭立銑刀進(jìn)行的成型面的創(chuàng)制方法的圖。符號(hào)的說(shuō)明1晶片透鏡3玻璃基板5透鏡部5A 樹(shù)脂lO(lOAUOB)母模12基底部14 凸部16 凹部20副母模22副母模成型部22A 樹(shù)脂24 凹部25 凸部26副母模基板30副母模32副母模成型部32A 樹(shù)脂34 凸部36副母?；?0次副母模42次副母模成型部42A 樹(shù)脂44 凹部46次副母?；?0、52、54 光源60拉伸層(引張>9 * 口)
200大直徑副母模210應(yīng)力緩和部B球頭立銑刀
具體實(shí)施方式
以下，一邊參照附圖一邊對(duì)于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。[第1實(shí)施方式]如圖1所示，晶片透鏡1具有圓形狀的玻璃基板(基板)3和多個(gè)透鏡部(光學(xué)部 件)5，具有在玻璃基板3上以陣列狀配置有多個(gè)透鏡部5的構(gòu)成。透鏡部5可以形成于玻 璃基板3的表面，也可以形成于表背兩面。另外，在透鏡部5中也可以在光學(xué)面的表面具有 衍射槽、高低不平等的微細(xì)結(jié)構(gòu)。<透鏡部>透鏡部5由樹(shù)脂5A形成。作為該樹(shù)脂5A，可以使用固化性樹(shù)脂。作為固化性樹(shù) 月旨，可以大致分類為光固化性樹(shù)脂和熱固性樹(shù)脂。作為光固化性樹(shù)脂，如果為丙烯酸類樹(shù)脂 及烯丙基樹(shù)脂，可以通過(guò)自由基聚合使其反應(yīng)固化。如果為環(huán)氧系的樹(shù)脂，可以通過(guò)陽(yáng)離子 聚合使其反應(yīng)固化。另一方面，熱固性樹(shù)脂除上述自由基聚合、陽(yáng)離子聚合之外，也可以如 有機(jī)硅等通過(guò)加成聚合使其固化。下面，對(duì)于上述各樹(shù)脂進(jìn)行詳細(xì)記述。(丙烯酸類樹(shù)脂)用于聚合反應(yīng)的(甲基)丙烯酸酯沒(méi)有特別限制，可以使用通過(guò)一般的制造方法 制造的下述(甲基)丙烯酸酯?？梢耘e出酯(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯 酸酯、環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯、醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯 酸亞烷基酯、具有芳香環(huán)的(甲基)丙烯酸酯、具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯。可以 使用這些的一種或兩種以上。特別優(yōu)選具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯，也可以為含有氧原子、氮原子的 脂環(huán)結(jié)構(gòu)。例如可以舉出(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯 酸環(huán)庚酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)庚酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸酯、三環(huán)癸烷二甲醇(甲基) 丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、氫化雙酚類的二(甲基)丙烯酸酯等。另外，特別優(yōu) 選具有金剛烷骨架。例如可以舉出2_烷基-2-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯(參照特開(kāi) 2002-193883號(hào)公報(bào))、金剛烷基二(甲基)丙烯酸酯(參照特開(kāi)昭57-500785號(hào)公報(bào))、 金剛烷基二羧酸二烯丙酯(參照特開(kāi)昭60-100537號(hào)公報(bào))、全氟金剛烷基丙烯酸酯(參 照特開(kāi)2004-123687號(hào)公報(bào))、新中村化學(xué)制2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、1，3-金 剛烷二醇二丙烯酸酯、1，3，5_金剛烷三醇三丙烯酸酯、不飽和羧酸金剛烷基酯(參照特開(kāi) 2000-119220號(hào)公報(bào))、3，3' - 二烷氧基羰基_1，1' -二金剛烷(參照特開(kāi)2001-253835 號(hào)公報(bào))、1，1' -二金剛烷化合物(參照美國(guó)專利第3342880號(hào)說(shuō)明書)、四金剛烷(參照 特開(kāi)2006-169177號(hào)公報(bào))、2_烷基-2-羥基金剛烷、2-亞烷基金剛烷、1，3-金剛烷二羧酸 二叔丁酯等的不具有芳香環(huán)的具有金剛烷骨架的固化性樹(shù)脂(參照特開(kāi)2001-322950號(hào)公 報(bào))、雙(羥基苯基)金剛烷類及雙(縮水甘油氧基苯基)金剛烷(參照特開(kāi)平11-35522 號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平10-130371號(hào)公報(bào))等。
另外，也可能含有其它反應(yīng)性單體。如果為(甲基)丙烯酸酯，例如可以舉出丙烯 酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙 烯酸2-乙基己酯、丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、 丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸芐酯、丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸環(huán) 己酯等。作為多官能(甲基)丙烯酸酯，例如可以舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸 酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基) 丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇 三(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(力)(甲基) 丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇 四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等。(烯丙基酯樹(shù)脂) 在具有烯丙基、利用自由基聚合進(jìn)行固化的樹(shù)脂中，例如可以舉出如下樹(shù)脂，但并 不特別限定于如下樹(shù)脂?？梢耘e出不含芳香環(huán)的含溴(甲基)烯丙酯(參照特開(kāi)2003-66201號(hào)公報(bào))、 (甲基)丙烯酸烯丙酯(參照特開(kāi)平5-286896號(hào)公報(bào))、烯丙酯樹(shù)脂(參照特開(kāi)平5-286896 號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2003-66201號(hào)公報(bào))、丙烯酸酯和含有環(huán)氧基的不飽和化合物的共聚化合物 (參照特開(kāi)2003-128725號(hào)公報(bào))、丙烯酸酯化合物(參照特開(kāi)2003-147072號(hào)公報(bào))、丙烯 酸酯化合物(特開(kāi)2005-2064號(hào)公報(bào))等。(環(huán)氧樹(shù)脂)作為環(huán)氧樹(shù)脂，只要是具有環(huán)氧基、通過(guò)光或熱而進(jìn)行聚合固化的樹(shù)脂，就沒(méi)有特 別限定，作為固化引發(fā)劑，可以使用酸酐、陽(yáng)離子發(fā)生劑等。由于環(huán)氧樹(shù)脂的固化收縮率低， 因此在可以形成成型精度優(yōu)異的透鏡方面是優(yōu)選的。作為環(huán)氧樹(shù)脂的種類，可以舉出苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹(shù)脂、二環(huán) 戊二烯型環(huán)氧樹(shù)脂。作為其一個(gè)例子，可以舉出雙酚F 二縮水甘油醚、雙酚A 二縮水甘油 醚、2，2'-雙(4-縮水甘油氧基環(huán)己基)丙烷、3，4_環(huán)氧環(huán)己基甲基-3，4-環(huán)氧環(huán)己烷羧 酸酯、乙烯基環(huán)己烯二氧化物、2- (3，4-環(huán)氧環(huán)己基)-5，5-螺-(3，4-環(huán)氧環(huán)己烷)-1，3- 二
燒、雙(3，4_環(huán)氧環(huán)己基)己二酸酯、1，2_環(huán)丙烷二羧酸雙縮水甘油酯等。固化劑只要為在構(gòu)成固化性樹(shù)脂材料中可使用的材料，就沒(méi)有特別限定。另外，在 本發(fā)明中，在將固化性樹(shù)脂材料和添加添加劑后的光學(xué)材料的透射率進(jìn)行比較的情況下， 使固化劑不包含在添加劑中。作為固化劑，可以優(yōu)選使用酸酐固化劑及酚固化劑等。作為 酸酐固化劑的具體例，可以舉出鄰苯二甲酸酐、馬來(lái)酸酐、偏苯三酸酐、均苯四酸酐、六氫 鄰苯二甲酸酐、3-甲基-六氫鄰苯二甲酸酐、4-甲基-六氫鄰苯二甲酸酐、或3-甲基-六 氫鄰苯二甲酸酐和4-甲基-六氫鄰苯二甲酸酐的混合物、四氫鄰苯二甲酸酐、納迪克酸酐、 甲基納迪克酸酐等。另外，可以根據(jù)需要含有固化促進(jìn)劑。作為固化促進(jìn)劑，只要固化性良 好、沒(méi)有著色、不損害熱固性樹(shù)脂的透明性，就沒(méi)有特別限定，例如可以使用2_乙基-4-甲 基咪唑(2E4MZ)等的咪唑類、叔胺、季銨鹽、二氮雜雙環(huán)十一碳烯等的雙環(huán)式脒類及其衍生 物、膦、磷餓鹽等，也可以將這些中的一種、或兩種以上混合使用。(有機(jī)硅樹(shù)脂)
可以使用具有以Si-O-Si為主鏈的硅氧烷鍵的有機(jī)硅樹(shù)脂。作為該有機(jī)硅樹(shù)脂， 可以使用由規(guī)定量的聚有機(jī)硅氧烷樹(shù)脂構(gòu)成的有機(jī)硅系樹(shù)脂(例如參照特開(kāi)平6-9937號(hào) 公報(bào))。熱固化性的聚有機(jī)硅氧烷樹(shù)脂只要為通過(guò)利用加熱的連續(xù)的水解_脫水縮合反 應(yīng)而形成由硅氧烷鍵骨架引起的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，就沒(méi)有特別限制，一般具有在高溫、長(zhǎng)時(shí)間 的加熱下顯示固化性、一旦固化就難以因過(guò)熱而再軟化的性質(zhì)。這樣的聚有機(jī)硅氧烷樹(shù)脂含有下述通式(A)作為構(gòu)成單位，其形狀可以為鏈狀、 環(huán)狀、網(wǎng)狀形狀的任何一種。((R1) (R2) SiO) n . . . (A)在上述通式㈧中，"R1 ”及"R2”表示同種或異種的取代或非取代的一價(jià)烴基。具體 來(lái)說(shuō)，作為"R1 ”及"R2”，可以例示甲基、乙基、丙基、丁基等的烷基；乙烯基、烯丙基等的烯 基；苯基、甲苯基等的芳基；環(huán)己基、環(huán)辛基等的環(huán)烷基；或鍵合于這些基團(tuán)的碳原子上的 氫原子被鹵原子、氰基、氨基等代替的基團(tuán)，例如氯甲基、3，3，3_三氟丙基、氰甲基、γ-氨 基丙基、Ν-( β -氨基乙基)-γ -氨基丙基等。"R1 ”及"R2”也可以為選自羥基及烷氧基的基 團(tuán)。另外，上述通式㈧中，“η”表示50以上的整數(shù)。聚有機(jī)硅氧烷樹(shù)脂通常溶解于甲苯、二甲苯、石油系溶劑這樣的烴系溶劑、或這些 溶劑與極性溶劑的混合物中使用。另外，在能相互溶解的范圍內(nèi)，也可以配合組成不同的物 質(zhì)使用。聚有機(jī)硅氧烷樹(shù)脂的制造方法沒(méi)有特別的限定，可以使用公知的任一種方法。例 如，可以將有機(jī)鹵代硅烷的一種或兩種以上的混合物通過(guò)水解或醇解而得到，聚有機(jī)硅氧 烷樹(shù)脂一般含有硅烷醇基或烷氧基等水解性基團(tuán)，將這些基團(tuán)換算為硅烷醇基含有1 10 質(zhì)量％。這些反應(yīng)一般在能熔融有機(jī)鹵代硅烷的溶劑的存在下進(jìn)行。另外，也可以通過(guò)將 在分子鏈末端具有羥基、烷氧基或商原子的直鏈狀的聚有機(jī)硅氧烷與有機(jī)三氯硅烷共水解 而合成嵌段共聚物的方法來(lái)得到。這樣得到的聚有機(jī)硅氧烷樹(shù)脂一般含有殘留的HCl，在本 實(shí)施方式的組合物中，從保存穩(wěn)定性良好考慮，可以使用IOppm以下、優(yōu)選Ippm以下的HC 1 的聚硅氧烷樹(shù)脂。在晶片透鏡1的制造中，作為成型用的模，可使用圖2的母模成型模(以下簡(jiǎn)稱為 “母?！?10、副母模成型模(以下簡(jiǎn)稱為“副母?！?20。〈母?！等鐖D2所示，母模10相對(duì)立方體狀的基底部12，以陣列狀形成了多個(gè)凸部14。凸 部14為與晶片透鏡1的透鏡部5對(duì)應(yīng)的部位，以大致半球形狀突出。予以說(shuō)明的是，母模 10的外形狀可以這樣為四角形，也可以為圓形。本發(fā)明的權(quán)利范圍不受該差異限制，以下以 四角形狀為例進(jìn)行說(shuō)明。母模10的光學(xué)面形狀(表面形狀)可以如圖2所示具有形成了凸部14的凸形 狀，也可以如圖4所示具有形成了多個(gè)凹部16的凹形狀。其中，這些凸部14、凹部16的表 面(成型面)形狀形成為與成型轉(zhuǎn)印于玻璃基板3上的透鏡部5的光學(xué)面形狀(與玻璃基 板3相反的面的形狀)對(duì)應(yīng)的正形狀。在以下的說(shuō)明中，使圖2的母模10為“母模10Α”、 使圖4的母模10為“母模10Β”而進(jìn)行區(qū)別。
作為母模IOA的材料，在通過(guò)切削、研削等的機(jī)械加工來(lái)創(chuàng)制光學(xué)面形狀的情況 下，可以使用金屬或金屬玻璃。作為分類，可以舉出鐵系材料、其它合金。作為鐵系可以 舉出熱模具、冷模具、塑料模具、高速度工具鋼、一般結(jié)構(gòu)用壓延鋼材、機(jī)械結(jié)構(gòu)用碳鋼、 鉻 鉬鋼、不銹鋼。其內(nèi)，作為塑料模具，有預(yù)硬鋼、回火鋼、時(shí)效處理鋼。作為預(yù)硬鋼，可以 舉出SC系、SCM系、SUS系。更具體而言，SC系有PXZ。SCM系可以舉出HPM2、HPM7、PX5、 IMPAX。SUS 系可以舉出 HPM38、HPM77、S-STAR、G-STAR、STAVAX、RAMAX-S、PSL。另外，作為 鐵系的合金，可以舉出特開(kāi)2005-113161號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2005-206913號(hào)公報(bào)。非鐵系的合 金主要熟知銅合金、鋁合金、鋅合金。作為例子，可以舉出特開(kāi)平10-219373號(hào)公報(bào)、特開(kāi) 2000-176970號(hào)公報(bào)中所示的合金。作為金屬玻璃的材料，PdCuSi, PdCuSiNi等由于在金 剛石切削中的被削性高、工具的磨損少而適合。另外，無(wú)電解、電解的鎳磷鍍敷等的非晶態(tài) 合金也由于在金剛石切削中的被削性良好而適合。這些高被削性材料可以構(gòu)成母模IOA全 體，也可以通過(guò)鍍敷、濺射等的方法特別是只覆蓋光學(xué)轉(zhuǎn)印面的表面。另外，作為母模IOA的材料，機(jī)械加工稍微難，但也可以使用玻璃。如果母模IOA 中使用玻璃，則也可以得到使UV光透過(guò)這樣的優(yōu)點(diǎn)。只要為一般使用的玻璃，就沒(méi)有特別 限定。特別是作為母模IOA的塑模成型用材料，可以舉出如低熔點(diǎn)玻璃、及金屬玻璃之 類的在低溫可以容易地確保流動(dòng)性的材料。如果使用低熔點(diǎn)玻璃，則在成型UV固化性 的材料時(shí)，也可以從樣品的模具側(cè)照射，因此是有利的。作為低熔點(diǎn)玻璃，可以舉出玻璃 化轉(zhuǎn)變溫度在600°c左右或其以下的玻璃、且玻璃組成為ZnO-PbO-B2Oy PbO-SiO2-B2O3、 PbO-P2O5-SnF2等。另外，作為在400°C以下熔融的玻璃，可以舉出PbF2-SnF2-SnO-P2O5及其類 似結(jié)構(gòu)品。作為具體的材料，可以舉出S-FPL51、S-FPL53、S-FSL5、S-BSL7、S-BSM2、S-BSM4、 S-BSM9、S-BSM10、S-BSM14、S-BSM15、S-BSM16、S-BSM18、S-BSM22、S-BSM25、S-BSM28、 S-BSM71、S-BSM81、S-NSL3、S-NSL5、S-NSL36、S-BAL2、S-BAL3、S-BAL11、S-BAL12、S-BAL14、 S-BAL35、S-BAL41、S-BAL42、S-BAM3、S-BAM4、S-BAMl2, S-BAH10、S-BAHlU S-BAH27、 S-BAH28、S-BAH32、S-PHM52、S-PHM53、S-TILl、S-TIL2、S-TIL6、S-TIL25、S-TIL26、S-TIL27、 S-TIMl、S-TIM2、S-TIM3、S-TIM5、S-TIM8、S-TIM22、S-TIM25、S-TIM27、S-TIM28、S-TIM35、 S-TIM39、S-TIHl、S-TIH3、S-TIH4、S-TIH6、S-TIH10、S-TI H11、S-TIH13、S-TIH14、S_TIH18、 S-TIH2 3、S-TIH5 3、S-LAL7、S-LAL8、S-LAL9、S-LAL10、S-LAL12、S-LAL13、S-LAL14、S-LAL18、 S-LAL54、S-LAL56、S-LAL58、S-LAL59、S-LAL61、S-LAM 2、S-LAM3、S-LAM7、S-LAM51、 S-LAM52、S-LAM54、S-LAM55、S-LAM58、S-LAM59、S-LAM60、S-LAM61、S-LAM66、S-LAH51、 S-LAH52、S-LAH53、S-LAH55、S-LAH58、S-LAH59、S-LAH60、S-LAH63、S-LAH64、S-LAH65、 S-LAH66、S-LAH71、S-LAH79、S-YGH51、S-FTMl6, S-NBM51、S-NBH 5、S-NBH8、S-NBH51、 S-NBH52、S-NBH53、S-NBH55、S-NPHU S-NPH 2、S-NPH53、P-FKOIS, P-FKH2S、P-SK5S、 P-SK12S、P-LAK13S、P-LASF03S、P-LASFHlIS, P-LASFHl2S 等，但不必特別限定于這些材料。另外，金屬玻璃同樣也可以通過(guò)塑模來(lái)容易地成型。作為金屬玻璃，可以舉出特開(kāi) 平8-109419號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平8-333660號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平10-81944號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平10-92619 號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2001-140047號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2001-303218號(hào)公報(bào)、特表2003-534925號(hào)公報(bào)所 述的結(jié)構(gòu)，但不必特別限定于這些。母模IOA的光學(xué)面可以為形成了單一的凸部14的面，也可以為如圖2所示的以陣列狀形成了多個(gè)凸部14的面。作為創(chuàng)制母模IOA的光學(xué)面的方法，有金剛石切削加工。如果母模IOA的光學(xué)面為形成了單一的凸部14的面，則可以通過(guò)將鎳磷、鋁合金、 易切削加工黃銅(真鑄)或金屬玻璃、非晶態(tài)合金等的材料用于模材料、用金剛石的工具進(jìn) 行切削加工來(lái)實(shí)現(xiàn)。如果母模IOA的光學(xué)面為以陣列狀形成了多個(gè)凸部14的面，則使用用金剛石形成 了切刃的球頭立銑刀B(參照?qǐng)D13)來(lái)切削加工光學(xué)面形狀。此時(shí)，由于工具的切刃不是完 全的圓弧，由于切刃的使用場(chǎng)所不同加工形狀產(chǎn)生誤差，因此期望對(duì)于光學(xué)面形狀的任一 部分進(jìn)行切削時(shí)，一邊調(diào)整工具的傾斜度使得使用的切刃的位置處于相同、一邊進(jìn)行加工。具體而言，首先，用并進(jìn)3軸將球頭立銑刀B的刃尖圓弧中心定位于被加工物和工 具相接點(diǎn)的加工面的法線上。進(jìn)而，使用旋轉(zhuǎn)軸將切刃的使用位置Bl定位于被加工物和工 具的接觸點(diǎn)。通過(guò)連續(xù)進(jìn)行這樣的工具位置控制，進(jìn)行光學(xué)面形狀的切削加工。由于在進(jìn)行這樣的加工時(shí)，加工機(jī)至少需要并進(jìn)自由度3、旋轉(zhuǎn)自由度1，如果不 是具有合計(jì)4以上的自由度的加工機(jī)就不能實(shí)現(xiàn)，因此在形成母模IOA的光學(xué)面的情況下， 使用具有4以上的自由度的加工機(jī)?！锤蹦改！等鐖D2所示，副母模20由副母模成型部22和副母?；?6構(gòu)成。在副母模成型 部22中以陣列狀形成多個(gè)凹部24。凹部24的表面(成型面)形狀形成為與晶片透鏡1中 的透鏡部5對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀，在該圖中以大致半球形狀凹陷。《副母模成型部》副母模成型部22由樹(shù)脂22A形成。作為樹(shù)脂22A，優(yōu)選脫模性良好的樹(shù)脂，特別優(yōu) 選透明樹(shù)脂。在即使不涂布脫模劑也可脫模方面優(yōu)異。作為樹(shù)脂，可以為光固化性樹(shù)脂、熱 固性樹(shù)脂、熱塑性樹(shù)脂中的任一種。作為光固化性樹(shù)脂，可以舉出氟系樹(shù)脂，作為熱固性樹(shù)脂，可以舉出氟系樹(shù)脂、有 機(jī)硅系樹(shù)脂。其中，優(yōu)選脫模性良好的樹(shù)脂，即其固化時(shí)的表面能低的樹(shù)脂。作為熱塑性樹(shù) 脂，可以舉出聚碳酸酯、環(huán)烯烴聚合物等的透明、脫模性比較良好的烯烴系樹(shù)脂。予以說(shuō)明 的是，以氟系樹(shù)脂、有機(jī)硅系樹(shù)脂、烯烴系樹(shù)脂的順序脫模性變得良好。該情況下，也可不具 有副母?；?6。通過(guò)使用這樣的樹(shù)脂，可以使其彎曲，因此在脫模時(shí)更成為優(yōu)勢(shì)。以下，對(duì)于氟系樹(shù)脂、有機(jī)硅系樹(shù)脂、熱塑性樹(shù)脂詳細(xì)進(jìn)行說(shuō)明。(氟系樹(shù)脂)作為氟系樹(shù)脂，可以舉出PTFE(聚四氟乙烯)、PFA(四氟乙烯-全氟烷基乙烯基 醚共聚物)、FEP (四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(4，6氟化))、ETFE (四氟乙烯-乙烯共聚物)、 PVDF (聚偏氟乙烯(2氟化))、PCTFE(聚三氟氯乙烯(3氟化))、ECTFE (三氟氯乙烯-乙烯 共聚物)、PVF(聚氟乙烯)等。作為氟系樹(shù)脂的優(yōu)勢(shì)，為脫模性、耐熱性、耐化學(xué)品性、絕緣性、低摩擦性等，作為 缺點(diǎn)，由于結(jié)晶性而透明性差。由于熔點(diǎn)高，因此，在成型時(shí)需要為高溫(300°C左右)。另外，成型方法為澆鑄成型、注射成型、擠出成型、吹塑成型、傳遞成型等，其中特 別優(yōu)選光透射性優(yōu)異、可以注射成型、擠出成型的FEP、PFA、PVDF等。作為可以熔融成型的級(jí)別，例如可以舉出旭硝子制Fluon PFA、住友3M社制 Dyneon PFA, Dyneon THV等。特別是Dyneon THV系列，由于低熔點(diǎn)(120°C左右)，因此可以在比較低的溫度下成型，由于高透明，因此優(yōu)選。另外，作為熱固化性的非晶態(tài)氟樹(shù)脂，旭硝子制寸^卜^ ，>一 K S也因高透 射率、良脫模性而優(yōu)選。(有機(jī)硅系樹(shù)脂)有機(jī)硅系樹(shù)脂中有1液濕氣固化型的樹(shù)脂，和2液加成反應(yīng)型、2液縮合型的樹(shù)脂。作為優(yōu)勢(shì)，具有脫模性、柔軟性、耐熱性、阻燃性、透濕性、低吸水性、透明級(jí)別多 等，但作為缺點(diǎn)，具有線膨脹率大等。特別是含有PDMS (聚二甲基硅氧烷)結(jié)構(gòu)這樣的裝模用途的有機(jī)硅樹(shù)脂由于脫模 性良好而優(yōu)選，期望RTV彈性體的高透明級(jí)別。例如優(yōu)選>〒4 7· · /、°7才一^ > ^ · r -J 7 X制TSE3450 (2液混合、加成型)、旭化成口力一 ” 二一 >制ELAST0SIL M 4647 (2液型RTV有機(jī)硅橡膠)、另外信越* U 二一 >制的KE-1603 (2液混合、加成型RTV 橡膠)、東 > 夕‘々一二 > 7制的SH-9555 (2液混合、加成型RTV橡膠)、SYLGARD 184、ν ^ 求7卜184、WL-5000系列(感光性有機(jī)硅緩沖材料、通過(guò)UV可以構(gòu)圖)等。成型方法在2液型RTV橡膠的情況下，為室溫固化或加熱固化。(熱塑性樹(shù)脂)作為熱塑性樹(shù)脂，可以舉出脂環(huán)式烴系樹(shù)脂、丙烯酸類樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、聚酯 樹(shù)脂、聚醚樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂及聚酰亞胺樹(shù)脂等的透明樹(shù)脂，其中，特別優(yōu)選使用脂環(huán)式烴 系樹(shù)脂。如果用熱塑性樹(shù)脂構(gòu)成副母模20，則可直接轉(zhuǎn)用一直以來(lái)實(shí)施的注射成型技術(shù)， 可以容易地制作副母模20。另外，如果熱塑性樹(shù)脂為脂環(huán)式烴系樹(shù)脂，則由于吸濕性非常 低，副母模20的壽命變長(zhǎng)。另外，環(huán)烯烴樹(shù)脂等的脂環(huán)式烴系樹(shù)脂由于耐光性·光透射性 優(yōu)異，因此在為了使活性光線固化性樹(shù)脂固化，即使在使用UV光源等的短波長(zhǎng)的光的情況 下，劣化也少，可以形成模具而長(zhǎng)期使用。作為脂環(huán)式烴系樹(shù)脂，可例示下述式(1)表示的樹(shù)脂。[化1]上述式(1)中，“x”、“y”表示共聚比，為滿足0/100彡y/x彡95/5的實(shí)數(shù)?！唉恰睘?0、1或2，表示取代基Q的取代數(shù)?！癛1”為選自碳數(shù)2 20的烴基組中的1種或2種以上 的(2+η)價(jià)的基團(tuán)。“R2”為氫原子、或?yàn)檫x自由碳及氫構(gòu)成的碳數(shù)1 10的結(jié)構(gòu)組中的1 種或2種以上的1價(jià)的基團(tuán)。“R3”為選自碳數(shù)2 20的烴基組中的1種或2種以上的2 價(jià)的基團(tuán)。“Q”為選自COOR4(R4為氫原子、或選自由烴構(gòu)成的碳數(shù)1 10的結(jié)構(gòu)組中的1 種或2種以上的1價(jià)的基團(tuán))表示的結(jié)構(gòu)組中的1種或2種以上的1價(jià)的基團(tuán)。在上述通式(1)中，R1優(yōu)選為選自碳數(shù)2 12的烴基組中的1種或2種以上的2 價(jià)的基團(tuán)，更優(yōu)選為下述通式(2)(式(2)中，ρ為0 2的整數(shù))表示的2價(jià)的基團(tuán)，進(jìn)一 步優(yōu)選為上述通式(2)中ρ為0或1的2價(jià)的基團(tuán)。
在本實(shí)施方式中，共聚的類型沒(méi)有特別限制，可以適用無(wú)規(guī)共聚、嵌段共聚、交替 共聚等的公知的共聚類型，優(yōu)選為無(wú)規(guī)共聚。另外，本實(shí)施方式中使用的聚合物在不損害通過(guò)本實(shí)施方式的成型方法得到的制 品的物性的范圍，根據(jù)需要也可以具有由其它可以共聚的單體衍生的重復(fù)結(jié)構(gòu)單元。其共 聚比沒(méi)有特別限定，優(yōu)選為20摩爾％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為10摩爾％以下，在該共聚比以上 進(jìn)行共聚的情況下，恐怕得不到不損害光學(xué)特性的高精度的光學(xué)零件。此時(shí)的共聚的類型 沒(méi)有特別限定，優(yōu)選為無(wú)規(guī)共聚作為適用于副母模20的優(yōu)選的熱塑性脂環(huán)式烴系聚合物的另一個(gè)例子，可例示 含有具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的重復(fù)單元以使得具有下述通式(4)表示的脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的重復(fù)單元 (a)和下述式(5)及/或下述式(6)及/或下述式(7)表示的鏈狀結(jié)構(gòu)的重復(fù)單元(b)的 合計(jì)含量達(dá)到90質(zhì)量％以上、而且重復(fù)單元(b)的含量為1質(zhì)量％以上、不足10質(zhì)量％的 聚合物。[化4][化5]
CN 101970220 A說(shuō) 明 書11/23 頁(yè)[化2]
Λ_/
J \Ti
GH-CH
/ V
HjG-CH2 ^ ( 2 >R1的結(jié)構(gòu)可以僅使用1種也可以2種以上并用。作為R2的例子，可以舉出氧原 子、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、2-甲基丙基等，優(yōu)選為氫原子、及/或甲基，最優(yōu)選 為氫原子。作為R3的例子，作為含有該基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的優(yōu)選的例子，在η = 0的情況下， 例如可以舉出(a)、(b)、(c)(其中，式(a) (c)中、R1如上所述)等。另外，η優(yōu)選為0。[化3]
14Fk
Ras .
Rai
ι
(5)[化6]
(6 )[化7]
R雄H
%) P1
%
Bgt
p4
(7>
R33分別獨(dú)立地表示氫原子、鏈狀烴基、
HR33在式(4)、式(5)、式(6)及式(7)中，R21 鹵原子、烷氧基、羥基、醚基、酯基、氰基、氨基、酰胺基、甲硅烷基、及被極性基團(tuán)(鹵原子、 烷氧基、羥基、酯基、氰基、酰胺基、酰亞胺基、或甲硅烷基)取代了的鏈狀烴基等。具體而 言，作為鹵原子，可以舉出氟原子、氯原子、溴原子、及碘原子，作為被極性基取代了的鏈狀 烴基，例如可以舉出碳原子1 20、優(yōu)選1 10、更優(yōu)選1 6的鹵代烷基。作為鏈狀烴基， 例如可以舉出碳原子數(shù)1 20、優(yōu)選1 10、更優(yōu)選1 6的烷基；碳原子數(shù)2 20、優(yōu) 選2 10、更優(yōu)選2 6的烯基。上述式(4)中的X表示脂環(huán)式烴基，構(gòu)成其的碳數(shù)通常為4個(gè) 20個(gè)、優(yōu)選為4 個(gè) 10個(gè)、更優(yōu)選為5個(gè) 7個(gè)。通過(guò)使構(gòu)成脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的碳原子數(shù)為該范圍內(nèi)，可以降 低雙折射。另外，脂環(huán)式結(jié)構(gòu)不限于單環(huán)結(jié)構(gòu)，例如可以為降莰烷環(huán)等的多環(huán)結(jié)構(gòu)。脂環(huán)式烴基也可以具有碳-碳不飽和鍵，其含量為全部碳-碳鍵的10%以下、優(yōu) 選為5%以下、更優(yōu)選為3%以下。通過(guò)使脂環(huán)式烴基的碳-碳不飽和鍵為該范圍，透明性、 耐熱性提高。另外，在構(gòu)成脂環(huán)式烴基的碳上也可以鍵合氫原子、烴基、鹵原子、烷氧基、羥 基、酯基、氰基、酰胺基、酰亞胺基、甲硅烷基、及被極性基團(tuán)(鹵原子、烷氧基、羥基、酯基、 氰基、酰胺基、酰亞胺基、或甲硅烷基)取代了的鏈狀烴基等，其中，氫原子或碳原子數(shù)1 6個(gè)的鏈狀烴基在耐熱性、低吸水性的方面是優(yōu)選的。另外，上述式(6)在主鏈中具有碳-碳不飽和鍵，上述式(7)在主鏈中具有碳-碳 飽和鍵，但在強(qiáng)烈要求透明性、耐熱性的情況下，不飽和鍵的含有率為構(gòu)成主鏈的全部 碳-碳間鍵的通常10%以下、優(yōu)選為5%以下、更優(yōu)選為3%以下。在本實(shí)施方式中，脂環(huán)式烴系共聚物中的具有通式(4)表示的脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的重復(fù)
單元(a)和通式(5)及/或通式(6)及/或通式(7)表示的鏈狀結(jié)構(gòu)的重復(fù)單元(b)的合
計(jì)含量，以質(zhì)量基準(zhǔn)計(jì)，通常為90%以上、優(yōu)選為95%以上、更優(yōu)選為97%以上。通過(guò)使合
計(jì)含量為上述范圍，可以使低雙折射性、耐熱性、低吸水性、機(jī)械強(qiáng)度高度平衡。
作為制造上述脂環(huán)式烴系共聚物的制造方法，可以舉出使芳香族乙烯基系化合 物與可共聚的其它單體共聚、使主鏈及芳香環(huán)的碳_碳不飽和鍵氫化的方法。氫化前的共聚物的分子量，通過(guò)GPC測(cè)定的聚苯乙烯(或聚異戊二烯)換算重均 分子量(Mw)為1,000 1，000，000的范圍、優(yōu)選為5,000 500,000的范圍、更優(yōu)選為 10，000 300，000的范圍。在共聚物的重均分子量(Mw)過(guò)度小時(shí)，由其得到的脂環(huán)式烴系 共聚物的成型物的強(qiáng)度特性差，相反，過(guò)度大時(shí)，氫化反應(yīng)性差。作為在上述的方法中使用的芳香族乙烯基系化合物的具體例，例如可以舉出苯 乙烯、α -甲基苯乙烯、α -乙基苯乙烯、α -丙基苯乙烯、α -異丙基苯乙烯、α -叔丁基苯 乙烯、2-甲基苯乙烯、3-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、2，4_ 二異丙基苯乙烯、2，4_ 二甲基苯 乙烯、4-叔丁基苯乙烯、5-叔丁基-2-甲基苯乙烯、單氯苯乙烯、二氯苯乙烯、單氟苯乙烯、 4-苯基苯乙烯等，優(yōu)選苯乙烯、2-甲基苯乙烯、3-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯等。這些芳香 族乙烯基系化合物可以分別單獨(dú)使用，或組合2種以上使用。作為可共聚的其它單體，沒(méi)有特別限定，可以使用鏈狀乙烯基化合物及鏈狀共軛 二烯化合物等，在使用鏈狀共軛二烯的情況下，制造過(guò)程中的操作性優(yōu)異，另外得到的脂環(huán) 式烴系共聚物的強(qiáng)度特性優(yōu)異。作為鏈狀乙烯基化合物的具體例，例如可以舉出乙烯、丙烯、1-丁烯、1-戊烯、 4-甲基-1-戊烯等的鏈狀烯烴單體；1-氰基乙烯(丙烯腈)、1_氰基-1-甲基乙烯(甲基 丙烯腈)、1-氰基-I-氯乙烯(α -氯丙烯腈)等的腈系單體；1-(甲氧基羰基)-1-甲基乙 烯(甲基丙烯酸甲酯)、1_(乙氧基羰基)-ι-甲基乙烯(甲基丙烯酸乙酯)、1_(丙氧基羰 基)-1_甲基乙烯(甲基丙烯酸丙酯)、1_( 丁氧基羰基)-ι-甲基乙烯(甲基丙烯酸丁酯)、 1-甲氧基羰基乙烯(丙烯酸甲酯)、1-乙氧基羰基乙烯(丙烯酸乙酯)、1-丙氧基羰基乙烯 (丙烯酸丙酯)、1-丁氧基羰基乙烯(丙烯酸丁酯)等的(甲基)丙烯酸酯系單體、1-羧基 乙烯(丙烯酸)、1-羧基-1-甲基乙烯(甲基丙烯酸)、馬來(lái)酸酐等的不飽和脂肪酸系單體 等，其中，優(yōu)選鏈狀烯烴單體，最優(yōu)選乙烯、丙烯、1-丁烯。鏈狀共軛二烯例如可以舉出1，3-丁二烯、異戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯、 1，3_戊二烯、及1，3_己二烯等。在這些鏈狀乙烯基化合物及鏈狀共軛二烯中，優(yōu)選鏈狀共 軛二烯，特別優(yōu)選丁二烯、異戊二烯。這些鏈狀乙烯基化合物及鏈狀共軛二烯可以分別單獨(dú) 使用，也可以組合2種以上使用。聚合反應(yīng)可以為自由基聚合、陰離子聚合、陽(yáng)離子聚合等，沒(méi)有特別的限制，在考 慮聚合操作、后工序中氫化反應(yīng)的容易度、及最終得到的烴系共聚物的機(jī)械強(qiáng)度時(shí)，優(yōu)選陰
聞丁水口 7衣。在陰離子聚合的情況下，可以在引發(fā)劑的存在下、在通常0°C 200°C、優(yōu)選 20°C 100°C、特別優(yōu)選20°C 80°C的溫度范圍中、使用本體聚合、溶液聚合、淤漿聚合等 的方法，在考慮除去反應(yīng)熱時(shí)，優(yōu)選溶液聚合。在該情況下，使用可以溶解聚合物及其氫化 物的惰性溶劑。溶液反應(yīng)中使用的惰性溶劑例如可以舉出正丁烷、正戊烷、異戊烷、正己 烷、正庚烷、異辛烷等的脂肪族烴類；環(huán)戊烷、環(huán)己烷、甲基環(huán)戊烷、甲基環(huán)己烷、萘烷等的脂 環(huán)式烴類；苯、甲苯等的芳香族烴類等。作為上述陰離子聚合的引發(fā)劑，例如可以使用正丁 基鋰、仲丁基鋰、叔丁基鋰、己基鋰、苯基鋰等的單有機(jī)鋰，二鋰甲烷(di 1 ithiomethane)、1， 4-diobutaneU,4- 二鋰-2-乙基環(huán)己烷等的多官能性有機(jī)鋰化合物等。
在進(jìn)行氫化前的共聚物的芳香環(huán)、環(huán)烯烴環(huán)等的不飽和環(huán)的碳-碳雙鍵、主鏈的 不飽和鍵等的氫化反應(yīng)的情況下，反應(yīng)方法、反應(yīng)方式?jīng)]有特別的限制，可根據(jù)公知的方法 進(jìn)行，但優(yōu)選可以提高氫化率、而且與氫化反應(yīng)同時(shí)發(fā)生的聚合物鏈斷裂反應(yīng)少的氫化方 法，例如可以舉出在有機(jī)溶劑中使用含有選自鎳、鈷、鐵、鈦、銠、鈀、鉬、釕、及錸中的至少1 種的金屬的催化劑進(jìn)行的方法。氫化反應(yīng)通常為10°c 250°C，從可以提高氫化率、且可以 減小與氫化反應(yīng)同時(shí)發(fā)生的聚合物鏈斷裂反應(yīng)這樣的理由考慮，優(yōu)選為50°C 200°C、更 優(yōu)選為80°C 180°C。另外氫壓力通常為0. IMPa 30MPa，除了上述理由，從操作性的觀點(diǎn) 考慮，優(yōu)選為IMPa 20MPa、更優(yōu)選為2MPa lOMPa。這樣得到的氫化物的氫化率在利用1H-NMR的測(cè)定中，主鏈的碳-碳不飽和鍵、芳 香環(huán)的碳_碳雙鍵、不飽和環(huán)的碳_碳雙鍵的任一種通常均為90%以上、優(yōu)選95%以上、更 優(yōu)選97%以上。在氫化率低時(shí)，得到的共聚物的低雙折射性、熱穩(wěn)定性等下降。在氫化反應(yīng)結(jié)束后回收氫化物的方法沒(méi)有特別限定。通常，可以使用通過(guò)過(guò)濾、 離心分離等方法除去氫化催化劑殘?jiān)蟆⑷軇臍浠锏娜芤褐苯油ㄟ^(guò)干燥而除去的方 法；將氫化物的溶液注入對(duì)于氫化物而言為不良的溶劑中、使氫化物凝固的方法。《副母?；濉犯蹦改；?6為即使僅在副母模20的副母模成型部22中強(qiáng)度劣化的情況下，也 可以通過(guò)在基板上粘貼樹(shù)脂而副母模20的強(qiáng)度提高、可以多次成型這樣的內(nèi)襯材料。作為副母模基板26，如果為石英、有機(jī)硅晶片、金屬、玻璃、樹(shù)脂等、顯示平滑性的 材料，均可以。在透明性的觀點(diǎn)，考慮無(wú)論從副母模20的上面還是從下面都可以進(jìn)行UV照射的 方面時(shí)，優(yōu)選透明的模，例如石英、玻璃、透明樹(shù)脂等。透明樹(shù)脂可以為熱塑性樹(shù)脂、熱固性 樹(shù)脂、UV固化性樹(shù)脂的任一種，也可以在樹(shù)脂中添加微粒子而具有降低線膨脹系數(shù)等的效 果。這樣通過(guò)使用樹(shù)脂，由于與玻璃相比能彎曲，因此在脫模時(shí)更容易脫模，但由于樹(shù)脂的 線膨脹系數(shù)大，如果在UV照射時(shí)產(chǎn)生熱，則存在形狀變形而不能完美地進(jìn)行轉(zhuǎn)印的缺點(diǎn)。予以說(shuō)明的是，副母?；?6和形成了透鏡用的固化性樹(shù)脂的玻璃基板3，為了 抑制玻璃基板的面內(nèi)方向的尺寸誤差的產(chǎn)生，也優(yōu)選線膨脹系數(shù)接近。具體而言，優(yōu)選雙方 的線膨脹系數(shù)的差為3X 10_5[/K]以下，其意味著優(yōu)選副母模基板26也為玻璃基板。以下，一邊參照?qǐng)D3 —邊對(duì)于晶片透鏡1的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。如圖3(a)所示，在母模IOA上涂布樹(shù)脂22Α，將母模IOA的凸部14轉(zhuǎn)印于樹(shù)脂 22Α，使樹(shù)脂22Α固化，對(duì)于樹(shù)脂22Α形成多個(gè)凹部24。由此，形成副母模成型部22。予以說(shuō)明的是，在圖3中母模IOA和副母模成型部22形成了相同數(shù)量的凹部、凸 部，但由于副母模成型部22作為晶片透鏡需要面積廣、具有多個(gè)負(fù)形狀的成型部，因此可 以為通過(guò)一邊分步&反復(fù)形成小面積的母模IOA—邊進(jìn)行成型而成型為如副母模成型部這 樣面積廣、具有多個(gè)成型部的成型模的方法。例如，用具有如圖3所示的3X3個(gè)光學(xué)面形 狀的母模10Α，在構(gòu)成副母模成型部的樹(shù)脂22Α上一邊依次使位置錯(cuò)開(kāi)一邊進(jìn)行壓印成型， 由此可以在基板上形成具有與如圖9所示的6X6個(gè)光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的成型面的副母模成 型部。樹(shù)脂22Α可以為熱固化性、也可以為光固化性、也可以為揮發(fā)固化性(溶劑揮發(fā)而固 化的HSQ(氫化硅倍半氧烷類等)。在重視高精度的成型轉(zhuǎn)印性的情況下，由于在固化中不 施加熱，因此優(yōu)選樹(shù)脂22A的熱膨脹的影響少的利用UV固化性、揮發(fā)固化性樹(shù)脂的成型，但不限于此。由于與固化后的母模IOA的剝離性良好的樹(shù)脂22A在剝離時(shí)不需要大的力，因 此不會(huì)使成型光學(xué)面形狀等不注意地變形，更優(yōu)選。在樹(shù)脂22A (副母模成型部22的材料)、樹(shù)脂5A (透鏡部5的材料)為固化性樹(shù)脂 的情況下，母模IOA的光學(xué)面形狀(凸部14)優(yōu)選預(yù)測(cè)樹(shù)脂22k的固化收縮、樹(shù)脂5A的固 化收縮來(lái)設(shè)計(jì)。在母模IOA上涂布樹(shù)脂22A的情況下，使用噴涂、旋涂、滴加、排出等的手法。在該 情況下，也可以一邊抽真空一邊涂布樹(shù)脂22A。如果一邊抽真空一邊涂布樹(shù)脂22A，則可不 在樹(shù)脂22A中混入氣泡地使樹(shù)脂22A固化。予以說(shuō)明的是，在此表示出了在母模IOA上涂布樹(shù)脂的例子，也可以在另外配置 的基板上將形成副母模成型部的樹(shù)脂分別滴加或排出在母模IOA被壓印的位置，由母模 IOA進(jìn)行壓印，將其分別固化而形成。另外，為了容易地將固化了的樹(shù)脂22A從母模IOA剝離，優(yōu)選在母模IOA的表面涂 布脫模劑。在涂布脫模劑的情況下，進(jìn)行母模IOA的表面改性。具體而言，使OH基立在母模 IOA的表面。表面改性的方法可以為UV臭氧清洗、氧等離子體灰化等使OH基立在母模IOA 的表面上的任意的方法。作為脫模劑，可以舉出如硅烷偶聯(lián)劑結(jié)構(gòu)那樣在末端鍵合有可水解的官能團(tuán)的材 料，即具有在與存在于金屬的表面的OH基之間弓丨起脫水縮合或氫鍵合等而進(jìn)行鍵合這樣 的結(jié)構(gòu)的材料。在末端具有硅烷偶聯(lián)結(jié)構(gòu)、另一端具有脫模性功能的脫模劑的情況下，越在 母模IOA的表面形成OH基，母模IOA表面的進(jìn)行共價(jià)鍵合的位置越增多，可以形成更牢固 的鍵。其結(jié)果，即使進(jìn)行多次注射(〉3 7卜)成型，脫模效果也不變?nèi)?，耐久性增加。?外，由于不需要形成底漆(基底層、SiO2涂層等)，因此可以在保持薄膜的情況下得到耐久 性提高的效果。所謂在末端鍵合有可水解的官能團(tuán)的材料，優(yōu)選可舉出包含作為官能團(tuán)的烷氧基 硅烷基、鹵化硅烷基、季銨鹽、磷酸酯基等的材料。另外，末端基團(tuán)也可以為例如三嗪硫醇這 樣的與模具發(fā)生強(qiáng)的鍵合的基團(tuán)。具體而言，為具有如下通式所示的烷氧基硅烷基(8)或 鹵化硅烷基(9)的材料。-Si (ORl) nR2 (3_n) (8)-SiXmR3 (3_m) (9)其中，Rl及R2為烷基(例如，甲基、乙基、丙基、丁基等)，η及m為1、2或3，R 3 為烷基(例如，甲基、乙基、丙基、丁基等)或烷氧基(例如，甲氧基、乙氧基、丁氧基等)。X 為鹵原子(例如，Cl、Br、I)。另外，在R1、R2、R3或X的2個(gè)以上與Si鍵合的情況下，也可以在上述的基團(tuán)或原 子的范圍內(nèi)、例如2個(gè)Rm為如烷基和烷氧基這樣地不相同。烷氧基硅烷基-SiORl及鹵化硅烷基-SiX與水分反應(yīng)而形成-SiOH，進(jìn)而其與存在 于玻璃、金屬等的模材料的表面的OH基之間發(fā)生脫水縮合或氫鍵合等而進(jìn)行鍵合。圖12表示在末端使用作為可水解的官能團(tuán)的一個(gè)例子的烷氧基硅烷基的脫模 劑、和母模IOA表面的OH基的反應(yīng)圖。圖12(a)中，-OR表示甲氧基(-OCH3)、乙氧基(-OC2H5)，通過(guò)水解而產(chǎn)生甲醇(CH3OH)、乙醇(C2H5OH),形成圖12(b)的硅烷醇(-SiOH)。其后，部分脫水縮合，圖12 (c)所 示形成硅烷醇的縮合物。進(jìn)而，如圖12(d)所示，通過(guò)與母模10 (無(wú)機(jī)材料)表面的OH基 的氫鍵而吸附，最后，如圖12(e)所示脫水，形成-0-化學(xué)鍵(共價(jià)鍵)。予以說(shuō)明的是，圖 12顯示烷氧基硅烷基團(tuán)的情況，在鹵化硅烷基的情況下，也基本上發(fā)生同樣的反應(yīng)。即在本發(fā)明中使用的脫模劑，在其一端在母模IOA表面進(jìn)行化學(xué)鍵合，在另一端 將功能性基團(tuán)取向，覆蓋母模10A，可以形成薄、耐久性優(yōu)異的均勻的脫模層。作為具有脫模性功能側(cè)的結(jié)構(gòu)而優(yōu)選的是表面能低的結(jié)構(gòu)、例如氟取代烴基、烴 基。(功能性側(cè)為氟系的脫模劑)作為氟取代烴基，特別優(yōu)選在分子結(jié)構(gòu)的一端具有CF3(CF2)a-基、 CF3 · CF3 · CF (CF2) b-基等的全氟基團(tuán)(a及b為整數(shù))的氟取代烴基，另外，優(yōu)選全氟基團(tuán) 的長(zhǎng)度以碳數(shù)計(jì)為2個(gè)以上，接著CF3(CF2)a-的CF3上的CF2基團(tuán)的數(shù)為5以上是合適的。另外，全氟基團(tuán)為直鏈不是必要的，也可以具有支鏈結(jié)構(gòu)。進(jìn)而，作為近年的環(huán)境 問(wèn)題的應(yīng)對(duì)，也可以為CF3 (CF2) C-(CH2) Cl-(CF2)e-這樣的結(jié)構(gòu)。在該情況下，c為3以下，d 為整數(shù)(優(yōu)選為l)、e為4以下。上述的氟脫模劑通常為固體，將其涂布于母模IOA的表面，需要形成溶解于有機(jī) 溶劑的溶液。雖然根據(jù)脫模劑的分子結(jié)構(gòu)而不同，但多數(shù)情況下作為該溶劑優(yōu)選氟化烴系 的溶劑或在其中混合有若干有機(jī)溶劑的溶劑。溶劑的濃度沒(méi)有特別限定，由于需要的脫模 膜的特征為特別薄，因此濃度低的溶劑是充分的，可以為1 3質(zhì)量％。將該溶液涂布于母模IOA表面，可以使用浸漬涂布、噴涂、刷涂、旋涂等的通常的 涂布方法。涂布后通常通過(guò)自然干燥使溶劑蒸發(fā)而形成干燥涂膜，此時(shí)涂布的膜厚不應(yīng)該 特別規(guī)定，但20 μ m以下是適當(dāng)?shù)摹Ｗ鳛榫唧w例，可以舉出夕· 4 ^ >工業(yè)制才—卟DSX、〒·-，寸一 7 HD-1100, HD-2100、住友3M制^ ^ , ” EGC1720、竹內(nèi)真空被膜制三嗪硫醇的蒸鍍、AGC制非晶態(tài)氟寸 λ卜7 7°夕’l· 一卜、Μ、工3 7 4 于丨J 7卟制防污涂料0PC-800等。(功能性側(cè)為烴系的脫模劑)作為烴基，可以如CnH2n+1這樣為直鏈，也可以為支化。有機(jī)硅系脫模劑包含在該分 類中。以往，作為是以有機(jī)聚硅氧烷樹(shù)脂為主要成分的組合物、形成顯示拒水性的固化 皮膜的組合物，已知數(shù)量很多的組合物。例如在特開(kāi)昭55-48245號(hào)公報(bào)中提案有以下的組 合物包含含羥基的甲基聚硅氧烷樹(shù)脂、α，ω-二羥基二有機(jī)聚硅氧烷和有機(jī)硅烷的、固 化而形成脫模性、防污性優(yōu)異、顯示拒水性的皮膜的組合物。另外，特開(kāi)昭59-140280號(hào)公 報(bào)中提案有以下的組合物為將以含全氟烷基的有機(jī)硅烷和含氨基的有機(jī)硅烷為主要成分 的有機(jī)硅烷的部分共水解縮合物作為主劑的組合物、形成拒水性、拒油性優(yōu)異的固化皮膜 的組合物。作為具體例，可以舉出AGC七4 W笑力卟制毛一卟卜·、；^ “夕卜，夕毛卜7 7 A ^ \ * A制才A另午”卞SIC-330、434，東 > 夕·々夂笑力A制SR-2410等。另外，作 為自組裝單分子膜，可以舉出日本曹達(dá)制SAMLAY。在樹(shù)脂22A為光固化性樹(shù)脂的情況下，點(diǎn)亮配置于母模IOA的上方的光源50而進(jìn)行光照射。作為光源50，可以舉出高壓水銀燈、金屬鹵化物燈、氙燈、鹵素?zé)?、熒光燈、黑光燈?G燈、F燈等，可以為線狀光源，也可以為點(diǎn)狀光源。高壓水銀燈為在365nm、436nm具有窄 的光譜的燈。金屬鹵化物燈為水銀燈的一種，紫外區(qū)的輸出功率比高壓水銀燈高數(shù)倍。氙 燈為具有最接近太陽(yáng)光的光譜的燈。鹵素?zé)艉性S多長(zhǎng)波長(zhǎng)的光、是近紅外光為大部分的 燈。熒光燈具有光的三原色均等的照射強(qiáng)度。黑光燈為在351nm處具有峰頂、放射300nm 400nm的近紫外光的燈。在由光源50進(jìn)行光照射的情況下，可以將多個(gè)線狀或點(diǎn)狀的光源50以格子狀配 置并一次使光到達(dá)樹(shù)脂22A的整個(gè)面，也可以對(duì)于樹(shù)脂22A的表面平行地掃描線狀或點(diǎn)狀 的光源50，使得光依次到達(dá)樹(shù)脂22k。在該情況下，優(yōu)選對(duì)于光照射時(shí)的亮度分布、照度(強(qiáng) 度)分布進(jìn)行測(cè)定，基于其測(cè)定結(jié)果來(lái)控制照射次數(shù)、照射量、照射時(shí)間等。使樹(shù)脂22A進(jìn)行光固化后(副母模20的制作后)、也可以對(duì)于副母模20進(jìn)行后固 化(加熱處理)。即，如果進(jìn)行最初被填充的樹(shù)脂的光固化后進(jìn)行加熱處理，可以使副母模 20的樹(shù)脂22A完全固化，可以延長(zhǎng)副母模20的模壽命。另外，雖然在此以副母模的固化為 例進(jìn)行記述，當(dāng)然不必說(shuō)，在將形成光學(xué)形狀的樹(shù)脂進(jìn)行成型、固化的情況下也同樣可以適 用后固化。在該情況下，如果在成型模和基板之間填充樹(shù)脂、在成型模沒(méi)有脫模的狀態(tài)下進(jìn) 行加熱處理，則可以一同使成型模的轉(zhuǎn)印性和從成型模的脫模性提高。予以說(shuō)明的是，加熱處理將加熱溫度設(shè)定為多個(gè)階段，通過(guò)使第1階段的溫度為 低溫、使第2階段的溫度比第1階段的溫度高，可以使在第1階段模向樹(shù)脂的轉(zhuǎn)印性提高、 使在第2階段樹(shù)脂從模的脫模性進(jìn)一步提高，因此優(yōu)選。在該情況下，第1階段的溫度更優(yōu)選70 90°C、第2階段的溫度更優(yōu)選100 250 "C。另外，加熱處理可以將樹(shù)脂從模脫模后進(jìn)行，但在該情況下，也可以如在脫模前進(jìn) 行第1加熱處理、在脫模前進(jìn)行第2加熱處理這樣插入脫模工序而將加熱處理分開(kāi)來(lái)進(jìn)行。 通過(guò)這樣處理，特別是在用成型模成型透鏡(在此為副母模)的情況下，可以縮短占據(jù)成型 模的時(shí)間，縮短循環(huán)時(shí)間，生產(chǎn)率提高。予以說(shuō)明的是，脫模前的第1加熱處理和脫模后的第2加熱處理在與上述循環(huán)時(shí) 間的關(guān)系上也可以與上述同樣、使加熱溫度以低一高或高一低地進(jìn)行變化。在樹(shù)脂22A為熱固性樹(shù)脂的情況下，一邊將加熱溫度、加熱時(shí)間控制在最佳的范 圍一邊加熱樹(shù)脂22k。樹(shù)脂22A也可以通過(guò)注射成型、加壓成型、光照射之后進(jìn)行冷卻等的 手法進(jìn)行成型。如圖3(b)所示，對(duì)于副母模成型部22(樹(shù)脂22A)的背面(與凹部24相反的面) 安裝副母?；?6，內(nèi)襯副母模成型部22。副母?；?6可以為石英，也可以為玻璃板，重要的是具有充分的彎曲強(qiáng)度和UV 透射率。為了提高副母模成型部22和副母?；?6的密合性，也可以進(jìn)行對(duì)于副母?；?板26涂布硅烷偶聯(lián)劑等的處理。予以說(shuō)明的是，在如上所述，將母模IOA的凸部14轉(zhuǎn)印于樹(shù)脂22A、樹(shù)脂22k固化 后(即，形成副母模成型部22后)、安裝副母模基板26的情況下，使用粘接劑。相反，也可以可以將母模IOA的凸部14轉(zhuǎn)印于樹(shù)脂22A、樹(shù)脂22A固化前安裝副母模基板26。該情況下，不使用粘接劑，通過(guò)樹(shù)脂22A的付著力張貼副母?；?6，或在副母 模基板26上涂布偶聯(lián)劑而增強(qiáng)付著力，對(duì)于樹(shù)脂22k附著副母模基板26。作為一邊用副 母?；?6進(jìn)行內(nèi)襯一邊使其固化的方法，例如有以下方法等使用熱固性樹(shù)脂作為樹(shù)脂 22A，在母模IOA和副母?；?6之間在填充了該樹(shù)脂22A的狀態(tài)下將它們投入烘焙爐的 方法；使用UV固化性樹(shù)脂作為樹(shù)脂22A，同時(shí)使用UV透射性的基板作為副母?；?6，在 母模IOA和副母?；?6之間在填充了該樹(shù)脂22A的狀態(tài)下從副母?；?6側(cè)對(duì)于樹(shù)脂 22A照射UV光的方法。另外，用副母?；?6內(nèi)襯副母模成型部22 (樹(shù)脂22A)時(shí)，優(yōu)選使用一直以來(lái) 公知的真空卡盤裝置260，一邊將副母?；?6吸引保持于該真空卡盤裝置260的吸引面 260A、一邊使該吸引面260A相對(duì)母模IOA中的凸部14的成型面為平行的狀態(tài)，用副母?；?板26內(nèi)襯副母模成型部22。由此，副母模20的背面20A(副母模基板26側(cè)的面)相對(duì)母 模IOA中的凸部14的成型面為平行，在副母模20中凹部24的成型面與背面20A平行。因 此，如后所述，在通過(guò)副母模20成型透鏡部5時(shí)，由于可以使副母模20的基準(zhǔn)面、即背面 20A與凹部24的成型面平行，因此可以防止透鏡部5偏心、或在厚度上具有不均，使透鏡部 5的形狀精度提高?？梢愿叩鼐S持透鏡性能。另外，由于通過(guò)真空卡盤裝置260吸引保持副 母模20，因此可以只通過(guò)真空排氣的開(kāi)/關(guān)來(lái)裝卸副母模20。因此，可以容易地進(jìn)行副母 模20的配置。另外，對(duì)于母模IOA也通過(guò)與上述真空卡盤裝置260的吸引面260A平行的 第2真空卡盤裝置而進(jìn)行吸引保持時(shí)，在將固化了的副母模20從母模IOA剝離這樣的最需 要慎重且注意的作業(yè)中，通過(guò)在兩者固化密合的狀態(tài)下將真空卡盤為OFF，可簡(jiǎn)單地從成型 裝置卸下，可以在裝置制約少的廣闊環(huán)境下、其它裝置上進(jìn)行可靠的剝離作業(yè)。另外，在該 作業(yè)中通過(guò)真空卡盤將其它母模和副母?；灏惭b于成型裝置時(shí)，可以連續(xù)進(jìn)行副母模的 成型。在此，所謂背面20A相對(duì)凹部24的成型面為平行，具體而言，是指背面20A相對(duì)凹 部24的成型面中的中心軸為垂直。另外，真空卡盤裝置260的吸引面260A優(yōu)選用陶瓷材料制作。在該情況下，吸引 面260A的硬度提高，難以因副母模20 (副母?；?6)的裝卸而對(duì)于該吸引面260A造成 損傷，因此，可以維持高的吸引面260A的面精度。另外，作為這樣的陶瓷材料，優(yōu)選使用氮 化硅、塞隆(寸4 7 口 > )。在該情況下，由于線膨脹系數(shù)小，為1.3X10_6[/K]，因此可相對(duì) 溫度變化而維持高的吸引面260Α的平面度。予以說(shuō)明的是，也可以通過(guò)使副母模20的內(nèi)襯有副母?；宓拿鏋槠教姑?、將玻 璃基板或副母模基板靜電卡盤而在真空中成型。予以說(shuō)明的是，在本實(shí)施方式中，作為使吸引面260Α相對(duì)母模IOA中的凸部14的 成型面為平行的狀態(tài)的手法，使用如下的手法。首先，將母模IOA的表背面高精度地平行化。由此，在母模IOA上，凸部14的成型 面和背面變得平行。另外，相對(duì)從背面(與凸部14相反側(cè)的面)側(cè)支撐該母模IOA的支持面260Β、和 吸引面260Α，分別突出設(shè)置基準(zhǔn)部件260C、260D。在此，這些基準(zhǔn)部件260C、260D的形狀設(shè) 定為以下形狀，即，以支撐面260B及吸引面260A相互平行的狀態(tài)母模IOA和副母模20抵 接時(shí)穩(wěn)定地相互抵接的形狀。
由此，通過(guò)使基準(zhǔn)部件260C、260D之間抵接，相對(duì)吸引面260A，母模IOA的支撐面 260B、甚至母模10中的凸部14的成型面變得平行。但是，在上述的手法中，基準(zhǔn)部件可以設(shè)置于支撐面260B及吸引面260A的至少一 者上，例如在只在支撐面260B設(shè)置基準(zhǔn)部件的情況下，該基準(zhǔn)部件的形狀可設(shè)定為以下形 狀，即，在支撐面260B及吸引面260A相互平行的狀態(tài)下母模IOA和副母模20抵接時(shí)，相對(duì) 吸引面260A穩(wěn)定地抵接的形狀。同樣，在只在吸引面260A設(shè)置基準(zhǔn)部件的情況下，該基準(zhǔn) 部件的形狀可形成為以下形狀，即，在支撐面260B及吸引面260A相互平行的狀態(tài)下母模 IOA和副母模20抵接時(shí)，相對(duì)支撐面260B穩(wěn)定地抵接的形狀。利用這樣的機(jī)械抵接的平行 度，可不具有特別的對(duì)準(zhǔn)裝置地實(shí)現(xiàn)數(shù)秒角度左右的再現(xiàn)性。如圖3 (c)所示，將副母模成型部22和副母?；?6從母模IOA脫模，形成副母 模20。如果作為樹(shù)脂22A使用PDMS (聚二甲基硅氧烷)等的樹(shù)脂，與母模10的脫模性非 常好，因此從母模10的剝離不需要大的力，不會(huì)使成型光學(xué)面變形，因此良好。如圖3(d)所示，在副母模20和玻璃基板3之間填充樹(shù)脂5A使其固化。更詳細(xì)而 言，對(duì)于副母模20的凹部24填充樹(shù)脂5A，從其上方一邊擠壓玻璃基板3 —邊使樹(shù)脂5A固 化。在副母模20的凹部24中填充樹(shù)脂5A的情況下，也可以一邊抽真空一邊填充樹(shù)脂 5A。如果一邊抽真空一邊填充樹(shù)脂5A，可以不在樹(shù)脂5A中混入氣泡地將樹(shù)脂5A固化。也可以代替在副母模20的凹部24中填充樹(shù)脂5A，在玻璃基板3上涂布樹(shù)脂5A， 形成將涂布有樹(shù)脂5A的玻璃基板3擠壓于副母模20上的構(gòu)成。在擠壓玻璃基板3的情況下，優(yōu)選玻璃基板3被賦予用于與副母模20軸對(duì)準(zhǔn)的結(jié) 構(gòu)。在玻璃基板3呈圓形狀的情況下，例如優(yōu)選形成D切口、I切口、印記、切去部等。也可 以將玻璃基板3形成為多角形狀，在該情況下，與副母模20的軸對(duì)準(zhǔn)容易。另外，也可以在 玻璃基板3的背面成型時(shí)將與表面?zhèn)鹊某尚凸鈱W(xué)面的同軸度的標(biāo)記圖案在表面?zhèn)鹊某尚?時(shí)與光學(xué)面同時(shí)成型轉(zhuǎn)印。予以說(shuō)明的是，在將副母模20擠壓于基板3時(shí)，連接作為副母模20的成型部的凹 部間的平坦部與玻璃基板3的間隔決定了之后被填充的樹(shù)脂的溢出導(dǎo)致的殘膜的厚度，這 樣的殘膜在固化時(shí)恐怕因向基板的面內(nèi)方向的收縮而引起尺寸誤差，因此不優(yōu)選。因此，該平坦部與玻璃基板的間隔為IOOym以下，進(jìn)一步可優(yōu)選50 μ m以下。在使樹(shù)脂5A固化的情況下，可以將配置于副母模20的下方的光源52點(diǎn)亮而從副 母模20側(cè)進(jìn)行光照射，也可以將配置于玻璃基板3的上方的光源54點(diǎn)亮而從玻璃基板3 側(cè)進(jìn)行光照射，也可以將光源52、54雙方同時(shí)點(diǎn)亮而從副母模20側(cè)和玻璃基板3側(cè)的兩側(cè) 進(jìn)行光照射。作為光源52、54，可以使用與上述光源50同樣的高壓水銀燈、金屬鹵化物燈、氙 燈、鹵素?zé)?、熒光燈、黑光燈、G燈、F燈等，可以為線狀光源，也可以為點(diǎn)狀光源。在從光源52、54進(jìn)行光照射的情況下，可以將多個(gè)線狀或點(diǎn)狀的光源52、54格子 狀以配置，使光一次到達(dá)樹(shù)脂5A，也可以將線狀或點(diǎn)狀的光源52、54對(duì)于副母模20、玻璃基 板3平行地掃描使得光依次到達(dá)樹(shù)脂5A。在該情況下，優(yōu)選對(duì)于光照射時(shí)的亮度分布、照度 (強(qiáng)度)分布進(jìn)行測(cè)定，根據(jù)該測(cè)定結(jié)果來(lái)控制照射次數(shù)、照射量、照射時(shí)間等。
在樹(shù)脂5A固化時(shí)，形成透鏡部5。其后，使透鏡部5和玻璃基板3從副母模20脫 模，制造晶片透鏡1 (該晶片透鏡1只在玻璃基板3的表面形成透鏡部5)。在將晶片透鏡1從副母模20脫模的情況下，也可以預(yù)先在晶片透鏡1 (玻璃基板 3)和副母模20之間設(shè)置拉伸層60，通過(guò)對(duì)于拉伸層60進(jìn)行拉伸使得晶片透鏡1從副母模 20脫模。在副母模20的副母?；?6為彈性原材料(樹(shù)脂)的情況下，也可以將其稍稍 折彎以將晶片透鏡1從副母模20脫模，在玻璃基板3代替玻璃而為彈性原材料(樹(shù)脂)的 情況下，也可以將其稍稍折彎使得晶片透鏡1從副母模20脫模。如果將晶片透鏡1從副母模20稍微剝離而在兩部件間形成間隙，則也可以將空氣 或純水壓送到該間隙中使得晶片透鏡1從副母模20脫模。予以說(shuō)明的是，在以上的說(shuō)明中，對(duì)于在玻璃基板3的單面設(shè)置透鏡部5的方法進(jìn) 行了說(shuō)明，在兩面設(shè)置的情況下，首先，準(zhǔn)備具有多個(gè)與玻璃基板3的一面的透鏡部5的光 學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的正形狀的成型面的母模(未圖示)、和具有多個(gè)與另一面的透鏡部5的光學(xué) 面形狀對(duì)應(yīng)的正形狀的成型面的母模，使用這些各母模形成副母模20C、20D(參照?qǐng)D3(e)、 (f))。由此，副母模20C具有與玻璃基板3的一面的透鏡部5的光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀 的成型面，副母模20D具有與另一面的透鏡部5的光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀的成型面。而 且，在各副母模20C、20D、和玻璃基板3之間填充樹(shù)脂5A后，同時(shí)使樹(shù)脂5A固化，在玻璃基 板3的兩面成型透鏡部5。由此，由于樹(shù)脂5A不會(huì)僅在玻璃基板3的單面固化收縮，而是樹(shù) 脂5A在兩面同時(shí)固化收縮而分別形成透鏡部5，因此與在各面依次設(shè)置透鏡部5的情況不 同，可以防止玻璃基板3的翹曲，因此可以使透鏡部5的形狀精度提高。予以說(shuō)明的是，所 謂使玻璃基板3的兩面的樹(shù)脂5A同時(shí)固化，是指在同一固化工藝中使樹(shù)脂5A完全地固化， 不必要同時(shí)開(kāi)始 結(jié)束固化，例如也可以在使副母模20C和玻璃基板3之間的樹(shù)脂5A增粘 到規(guī)定的粘度后，使該樹(shù)脂5A和另一樹(shù)脂5A完全地固化。在此，在副母模20C、20D和玻璃基板3之間填充樹(shù)脂5A，可以使用3種手法。在第1種手法中，如圖3(e)、(f)所示，將樹(shù)脂5A滴加或排出在副母模20C的上 面后，使該副母模20C和配設(shè)于其上方的玻璃基板3抵接，形成在這些玻璃基板3及副母模 20C之間填充了樹(shù)脂5A的狀態(tài)后，使玻璃基板3及副母模20C在相互抵接的狀態(tài)下一體地 上下反轉(zhuǎn)，將樹(shù)脂5A滴加或排出在副母模20D的上面后，使該副母模20D和配設(shè)于其上方 的玻璃基板3抵接，形成在這些玻璃基板3及副母模20D之間填充了樹(shù)脂5A的狀態(tài)。在使 玻璃基板3及副母模20C以相互抵接的狀態(tài)一體地上下反轉(zhuǎn)時(shí)，在兩者通過(guò)真空卡盤而被 吸引保持的情況下，可以通過(guò)其0FF/0N操作而簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)。在第2種手法中，將樹(shù)脂5A滴加或排出在玻璃基板3的上面后，將該玻璃基板3 和配設(shè)于其上方的副母模20C抵接，形成在這些玻璃基板3及副母模20C之間填充了樹(shù)脂 5A的狀態(tài)，同時(shí)將樹(shù)脂5A滴加或排出在副母模20D的上面后，使該副母模20D和配設(shè)于其 上方的玻璃基板3抵接，形成在這些玻璃基板3及副母模20D之間填充了樹(shù)脂5A的狀態(tài)。在第3種手法中，在玻璃基板3的單側(cè)的每個(gè)光學(xué)面依次進(jìn)行成型固化，但為了防 止固化收縮引起的翹曲，在兩面的成型固化結(jié)束前不進(jìn)行最初的成型面的脫模。因此，在最 初的固化成型中，副母模20C即使在填充了的樹(shù)脂5A固化后也抵接、在該狀態(tài)下通過(guò)副母 模20D進(jìn)行相反面的成型。玻璃基板3在利用副母模20C的成型中，由于樹(shù)脂5A的固化收縮而在成型面?zhèn)仁艿嚼炝?，但通過(guò)在與副母模20C抵接的狀態(tài)下受該該拉伸力，防止了 翹曲。在該狀態(tài)下，在通過(guò)副母模20D進(jìn)行相反面的樹(shù)脂5A的填充和成型固化時(shí)，與該側(cè)的 固化收縮引起的拉伸力均衡，即使將副母模20C、20D進(jìn)行脫模，玻璃基板3也不產(chǎn)生翹曲。予以說(shuō)明的是，在使玻璃基板3和副母模20C、20D抵接時(shí)，優(yōu)選在其間不殘留有氣 泡地進(jìn)行。另外，作為這里使用的樹(shù)脂5A，可以為熱固性樹(shù)脂，也可以為UV固化性樹(shù)脂，還 可以為揮發(fā)固化性樹(shù)脂(HSQ等)。在使用UV固化性樹(shù)脂的情況下，通過(guò)使副母模20C、20D 的至少一個(gè)為紫外線透射性，可以從該一個(gè)副母模側(cè)對(duì)于玻璃基板3的兩面的樹(shù)脂5A同時(shí) 照射紫外線。在此，在玻璃基板3的表背兩面形成透鏡部5的情況下，如圖7所示，準(zhǔn)備使副母 模20縱橫各放大了 2倍(倍率可以改變)這樣的一體型的大直徑副母模200、和圖8的通 常的副母模20，在玻璃基板3的表面形成透鏡部5的情況下可以使用副母模200，在其相反 側(cè)的背面形成透鏡部5的情況下可以多次使用副母模20。具體而言，對(duì)于玻璃基板3的表面使用大直徑副母模200 —起形成透鏡部5。對(duì)于 其后的玻璃基板3的背面，如圖9所示，一邊使副母模20每個(gè)大直徑副母模200的1/4區(qū) 域分別錯(cuò)開(kāi)、一邊使用四次副母模20，形成透鏡部5。根據(jù)這樣的構(gòu)成，對(duì)于具有使用大直 徑副母模200而形成的透鏡部5的玻璃基板3，副母模20的軸對(duì)準(zhǔn)變?nèi)菀?，可以抑制使用?直徑副母模200而形成的透鏡部5和使用副母模20而形成的透鏡部5在玻璃基板3的表 背中配置偏離這樣的情況。其中，在使用大直徑副母模200的情況下，如從圖10上段到下段所示，對(duì)于該副母 模成型部22有可能產(chǎn)生稍微的翹曲，也存在不能發(fā)揮作為模的本來(lái)的功能的情況。因此， 優(yōu)選如圖11所示，在其中央部以十字狀設(shè)置樹(shù)脂22A不存在的區(qū)域(應(yīng)力緩和部210)以 使得分割大直徑副母模200、形成抑制大直徑副母模200的副母模成型部22的翹曲的產(chǎn)生 (緩和與玻璃基板3的應(yīng)力)這樣的構(gòu)成。在設(shè)置應(yīng)力緩和部210的情況下，例如在樹(shù)脂22k為光固化性樹(shù)脂時(shí)，可對(duì)于玻璃 基板3或副母模基板26進(jìn)行掩蔽而形成光的未照射部、或?qū)τ诠庠?2、54進(jìn)行掩蔽而形成 光的未照射部。予以說(shuō)明的是，也可以代替母模IOA而使用母模10B，不制作副母模20而由母模 IOB直接制作晶片透鏡1。在該情況下，可以對(duì)于母模IOB的凹部16填充樹(shù)脂5A，一邊從其上方擠壓玻璃基 板3 —邊使樹(shù)脂5A固化，其后使玻璃基板3和透鏡部5從母模IOB脫模。樹(shù)脂5A的固化 手段根據(jù)樹(shù)脂材料而不同，例如在使用UV固化性樹(shù)脂的情況下，從玻璃基板3側(cè)照射UV使 其固化，但在使用熱固性樹(shù)脂的情況下，通過(guò)紅外線燈、埋設(shè)于母模IOB內(nèi)的加熱器等進(jìn)行 加熱使其固化。用于從母模IOB剝離樹(shù)脂5A的脫模是重要，作為該脫模方法，可考慮2種方法。作為第1種方法，在樹(shù)脂5A中添加脫模劑。在該情況下，由于作為后工序的防反 射涂層的密合性降低、或與玻璃基板3的附著性降低，因此對(duì)于后者優(yōu)選將偶聯(lián)劑等涂布 于玻璃基板3上而強(qiáng)化附著力。作為第2種方法，在母模IOB的表面涂覆脫模劑。作為該脫模劑，可以使用形成三 嗪二硫醇、氟系、硅系的單分子層的脫模劑。通過(guò)使用該脫模劑，成膜厚度為IOnm左右時(shí)，可以以不影響光學(xué)面形狀的厚度進(jìn)行涂覆。為了提高密合性以使得該脫模劑在成型時(shí)不剝 落，可將偶聯(lián)劑涂布于母模10B、或?qū)⒃谠撁撃┖湍改OB之間創(chuàng)制交聯(lián)的SiO2等涂覆于 母模IOB時(shí)，密合性增強(qiáng)。[第2實(shí)施方式]第2實(shí)施方式與第1實(shí)施方式主要有以下方面不同，除此之外，大致相同。在晶片透鏡1的制造中，作為成型用的模，使用圖4所示的母模10、副母模30、次 副母模40。在第1實(shí)施方式中，在由母模IO(IOA)制造晶片透鏡1時(shí)使用副母模20，相對(duì) 于此，在第2實(shí)施方式中，主要在由母模IO(IOB)制造晶片透鏡1時(shí)使用副母模30、次副母 模40這2種模這方面不同。特別是由母模IOB制作副母模30的工序、由次副母模40制作 晶片透鏡1的工序與第1實(shí)施方式大致相同，由副母模30制作次副母模40方面與第1實(shí) 施方式不同。如圖4所示，母模IOB為對(duì)于立方體狀的基底部12以陣列狀形成了多個(gè)凹部16 的模。凹部16的形狀形成與晶片透鏡1的透鏡部5對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀，在該圖中以大致半球形 狀凹陷。母模IOB的外形狀可以不是四角形，也可以為圓形狀，在此以四角形狀為例進(jìn)行說(shuō)明。母模IOB可以將鎳磷、鋁合金、易切削加工黃銅等的材料通過(guò)金剛石切削而高精 度地切削創(chuàng)制有光學(xué)面，也可以將超硬等的高硬度材料進(jìn)行研削加工而進(jìn)行創(chuàng)制。由母模 IOB創(chuàng)制的光學(xué)面優(yōu)選如圖4所示以陣列狀配置有多個(gè)凹部16，也可以只配置有單一的凹 部16。如圖4所示，副母模30由副母模成型部32和副母模基板36構(gòu)成。在副母模成型 部32中以陣列狀形成多個(gè)凸部34。凸部34的形狀形成與晶片透鏡1的透鏡部5對(duì)應(yīng)的正 形狀，在該圖中以大致半球形狀突出。該副母模成型部32由樹(shù)脂32A形成。樹(shù)脂32A基本上可以使用與第1實(shí)施方式的副母模20的樹(shù)脂22A同樣的材料，特 別優(yōu)選使用具有脫模性及耐熱性、線膨脹系數(shù)小的樹(shù)脂(即，表面能小的樹(shù)脂)。具體而言， 可以為上述的光固化性樹(shù)脂、熱固性樹(shù)脂及熱塑性樹(shù)脂的任意一種，也可以為透明或不透 明，例如，如果為熱固性樹(shù)脂，就需要為上述的氟系樹(shù)脂。這是因?yàn)?，為有機(jī)硅系樹(shù)脂時(shí)，線 膨脹系數(shù)大，因此在熱轉(zhuǎn)印于次副母模40的情況下發(fā)生變形、不能正確地轉(zhuǎn)印微細(xì)結(jié)構(gòu)。副母?；?6可以使用與副母?；?6同樣的材料。如圖4所示，次副母模40由次副母模成型部42和次副母?；?6構(gòu)成。在次副 母模成型部42中以陣列狀形成多個(gè)凹部44。凹部44為與晶片透鏡1的透鏡部5對(duì)應(yīng)的部 位，以大致半球形狀凹陷。該次副母模成型部42由樹(shù)脂42A形成。樹(shù)脂42A也可以使用與第1實(shí)施方式的副母模20的樹(shù)脂22A同樣的材料，但從可 以使其彎曲、容易脫模的方面考慮，優(yōu)選使用有機(jī)硅系樹(shù)脂或烯烴系樹(shù)脂。次副母?；?6也可以使用與副母?；?6同樣的材料。接著，一邊參照?qǐng)D5、圖6，一邊對(duì)于晶片透鏡1的制造方法簡(jiǎn)單地進(jìn)行說(shuō)明。如圖5 (a)所示，在母模IOB上涂布樹(shù)脂32A，使樹(shù)脂32A固化，將母模IOB的凹部 16轉(zhuǎn)印于樹(shù)脂32A，對(duì)于樹(shù)脂32A形成多個(gè)凸部34。由此，形成副母模成型部32。如圖5(b)所示，對(duì)于副母模成型部32粘接副母?；?6。其后，如圖5 (c)所示，從母模IOB將副母模成型部32和副母?；?6脫模，制作副母模30。其后，如圖5 (d)所示，在副母模30上涂布樹(shù)脂42A,使樹(shù)脂42A固化，將副母模30 的凸部34轉(zhuǎn)印于樹(shù)脂42A，對(duì)于樹(shù)脂42A形成多個(gè)凹部44。由此，形成次副母模成型部42。其后，如圖5(e)所示，對(duì)于次副母模成型部42安裝次副母?；?6。如圖6 (f)所示，從副母模30將次副母模成型部42和次副母?；?6脫模，制作 次副母模40。如圖6(g)所示，對(duì)于次副母模40的凹部44填充樹(shù)脂5A，一邊從其上方擠壓玻璃 基板3 —邊使樹(shù)脂5A固化。其結(jié)果，由樹(shù)脂5A形成透鏡部5。其后，從次副母模40將透鏡 部5和玻璃基板3脫模，制造晶片透鏡1 (該晶片透鏡1只在玻璃基板3的表面形成透鏡部 5 ο ) ο在玻璃基板3的背面也形成透鏡部5而對(duì)于玻璃基板3的表背兩面形成透鏡部5 的情況下，準(zhǔn)備具有多個(gè)與玻璃基板3的一面的透鏡部5的光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀的成 型面的母模(未圖示)、和具有多個(gè)與另一面的透鏡部5的光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀的成型 面的母模，使用這些各母模，形成具有正形狀的成型面的副母模，進(jìn)而，使用這些各副母模 形成次副母模。而且，在各次副母模和玻璃基板3之間填充樹(shù)脂5A后，使樹(shù)脂5A固化，在 玻璃基板3的兩面成型透鏡部5。
權(quán)利要求
一種成型體的制造方法，其特征在于，其是在玻璃基板的表面形成了與由固化性樹(shù)脂形成的凸或凹的多個(gè)成型部對(duì)應(yīng)的形狀的成型體的制造方法，具有以下工序準(zhǔn)備具有多個(gè)與所述多個(gè)成型部對(duì)應(yīng)的形狀的負(fù)形狀的成型面的第1成型模的工序；在所述第1成型模的形成了多個(gè)成型面的面上涂布固化性樹(shù)脂的工序；進(jìn)行被涂布了的所述固化性樹(shù)脂的固化的固化工序，所述固化工序含有以下工序?qū)τ谒龉袒詷?shù)脂通過(guò)光照射而進(jìn)行固化的光固化工序；通過(guò)對(duì)于在所述光固化工序中進(jìn)行了固化的所述固化性樹(shù)脂進(jìn)行加熱處理而進(jìn)一步進(jìn)行固化的加熱固化工序。
2.如權(quán)利要求1所述的成型體的制造方法，其特征在于，所述加熱固化工序在第1溫度 下進(jìn)行所述固化性樹(shù)脂的固化后，在比所述第1溫度還高的第2溫度下進(jìn)一步進(jìn)行所述固 化性樹(shù)脂的固化。
3.如權(quán)利要求2所述的成型體的制造方法，其特征在于，所述第1溫度為70 90°C的 范圍內(nèi)，所述第2溫度為100 250°C的范圍內(nèi)。
4.一種晶片透鏡的制造方法，其特征在于，其是對(duì)于基板的兩面設(shè)置了第1固化性樹(shù) 脂制的光學(xué)部件的晶片透鏡的制造方法，具有以下工序由具有多個(gè)與設(shè)置于基板的一面的所述光學(xué)部件的光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的正形狀的成型 面的第1成型模，形成具有多個(gè)與該光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀的成型面的由第2固化性樹(shù) 脂形成的第1復(fù)制成型部，同時(shí)在該第1復(fù)制成型部?jī)?nèi)襯第1復(fù)制成型用基板，由此形成第 1復(fù)制成型模的工序；由具有多個(gè)與設(shè)置于基板的另一面的所述光學(xué)部件的光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的正形狀的成 型面的第2成型模，形成具有多個(gè)與該光學(xué)面形狀對(duì)應(yīng)的負(fù)形狀的成型面的由第2固化性 樹(shù)脂形成的第2復(fù)制成型部，同時(shí)在該第2復(fù)制成型部?jī)?nèi)襯第2復(fù)制成型用基板，由此形成 第2復(fù)制成型模的工序；在所述第1復(fù)制成型模和所述基板的一面之間填充所述第1固化性樹(shù)脂的第1填充工序；在所述第2復(fù)制成型模和所述玻璃基板的另一面之間填充所述第1固化性樹(shù)脂的第2 填充工序；在所述第1及第2填充工序后，使所述基板的分別被填充了的所述第1固化性樹(shù)脂固 化的固化工序，同時(shí)，在所述固化工序內(nèi)，在所述基板的至少一面進(jìn)行的固化工序含有以下工序?qū)τ诒惶?充了的所述第1固化性樹(shù)脂通過(guò)光照射而進(jìn)行固化的光固化工序、通過(guò)對(duì)于在所述光固化 工序中進(jìn)行了固化的所述第1固化性樹(shù)脂進(jìn)行加熱處理而進(jìn)一步進(jìn)行固化的加熱固化工序。
5.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述加熱固化工序通過(guò)加 熱進(jìn)行了所述光固化工序的填充于所述第1或第2復(fù)制成型模和基板之間的狀態(tài)的第1固 化性樹(shù)脂而進(jìn)行，具有使通過(guò)所述加熱固化工序而進(jìn)行了固化的所述第1固化性樹(shù)脂從所 述復(fù)制成型模脫模的脫模工序。
6.如權(quán)利要求5所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，在所述脫模工序后，具有通過(guò)對(duì)于脫模了的所述第1固化性樹(shù)脂加熱而進(jìn)行固化的第2加熱固化工序，所述加熱固化 工序中的加熱溫度比所述第2加熱固化工序中的加熱溫度還低。
7.如權(quán)利要求6所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述加熱固化工序在70 90°C的范圍內(nèi)的加熱溫度下進(jìn)行，所述第2加熱固化工序在100 250°C的范圍內(nèi)的加熱溫 度下進(jìn)行。
8.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述加熱固化工序含有在 第1加熱溫度下加熱而進(jìn)行固化的第1階段、在比所述第1加熱溫度還高的加熱溫度下加 熱而進(jìn)行固化的第2階段。
9.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述基板為玻璃，所述第1 或第2復(fù)制成型用基板也為玻璃，所述基板用玻璃的線膨脹系數(shù)與所述第1或第2復(fù)制成 型用基板用玻璃的線膨脹系數(shù)的差為3X 10_5[/K]以下。
10.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述第1或第2復(fù)制成型 模在所述多個(gè)成型面間分別具有平坦部，所述第1或第2填充工序時(shí)的所述第1或第2復(fù) 制成型模的平坦部與所述基板的間隔維持為100 μ m以下。
11.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述第1填充工序形成如下?tīng)顟B(tài)將所述第1固化性樹(shù)脂滴加或排出在所述基板的上 面后，使該基板與配設(shè)于該基板的上方的所述第1復(fù)制成型模抵接，在這些基板及第1復(fù)制 成型模之間填充了所述第1固化性樹(shù)脂，所述第2填充工序形成如下?tīng)顟B(tài)將所述第1固化性樹(shù)脂滴加或排出在所述第2復(fù)制 成型模的上面后，使該第2復(fù)制成型模和配設(shè)于該第2復(fù)制成型模的上方的所述基板抵接， 在這些基板及第2復(fù)制成型模之間填充了所述第1固化性樹(shù)脂。
12.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述第1填充工序在將所述第1固化性樹(shù)脂滴加或排出在所述第1復(fù)制成型模的上面后，使該第1復(fù)制 成型模和配設(shè)于該第1復(fù)制成型模的上方的所述基板抵接，在這些基板及第1復(fù)制成型模 之間填充所述第1固化性樹(shù)脂，其后，使所述基板及所述第1復(fù)制成型模在相互抵接的狀態(tài)下一體地上下反轉(zhuǎn)，然后，作為所述第2填充工序，將所述第1固化性樹(shù)脂滴加或排出在所述第2復(fù)制成型模的 上面后，使該第2復(fù)制成型模和配設(shè)于該第2復(fù)制成型模的上方的所述基板抵接，在這些基 板及第2復(fù)制成型模之間填充所述第1固化性樹(shù)脂。
13.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述固化工序同時(shí)使分別 填充于所述第1、第2復(fù)制成型模和所述基板之間的所述第1固化性樹(shù)脂固化。
14.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，使填充于所述第1復(fù)制成 型模和所述基板之間的所述第1固化性樹(shù)脂增粘到規(guī)定的粘度后，在所述第2復(fù)制成型模 和所述基板之間填充所述第1固化性樹(shù)脂。
15.如權(quán)利要求4所述的晶片透鏡的制造方法，其特征在于，所述第1或第2復(fù)制成型 模的成型面的一部分上為了應(yīng)力緩和而具備所述第2固化性樹(shù)脂不存在的區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明提供一種成型體的制造方法，其為了提高在玻璃基板的兩面上設(shè)置由固化性樹(shù)脂形成的凸或凹的多個(gè)成型體的情況下的成型體的形狀精度，具有以下工序準(zhǔn)備具有多個(gè)與多個(gè)成型部的形狀的負(fù)形狀的成型面對(duì)應(yīng)的第1成型模的工序、在第1成型模的形成了多個(gè)成型面的面上涂布固化性樹(shù)脂的工序、進(jìn)行涂布的所述固化性樹(shù)脂的固化的固化工序，固化工序含有以下工序?qū)τ诠袒詷?shù)脂通過(guò)光照射而進(jìn)行固化的光固化工序、通過(guò)對(duì)于在所述光固化工序中進(jìn)行了固化的所述固化性樹(shù)脂進(jìn)行加熱處理而進(jìn)一步進(jìn)行固化的加熱固化工序。
文檔編號(hào)G02B3/00GK101970220SQ20098010917
公開(kāi)日2011年2月9日 申請(qǐng)日期2009年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月19日
發(fā)明者岡崎直子, 齋藤正, 細(xì)江秀 申請(qǐng)人:柯尼卡美能達(dá)精密光學(xué)株式會(huì)社