專利名稱：曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將印刷基板或液晶面板用玻璃基板等進(jìn)行曝光的曝光裝置。
背景技術(shù)：
圖10表示在印刷基板或液晶面板等(以下也稱為工件)的制造工程中，使用于配線等的圖案形成的現(xiàn)有的曝光裝置的概略構(gòu)成及其動(dòng)作的一例。這種曝光裝置主要具備有光照射部10 ；形成有復(fù)制在工件上的圖案的掩模M ；保 持該掩模的掩模臺20 ；保持進(jìn)行曝光處理的印刷基板或液晶面板等的工件W的工件臺30 ； 及將形成于掩模M的圖案投影在工件臺30上的工件W的投影透鏡40。另外，也有不具備投 影透鏡40而使掩模M與工件W接近或緊貼來進(jìn)行曝光的曝光裝置。光照射部10具備作為放射包含紫外線的光的光源的燈11、及將來自燈11的光 反射的反射鏡12。此外，該圖的工件臺30為利用平面電動(dòng)機(jī)(Surface Motor)的平面臺，工件臺30 具備有臺板(platen) 31與滑動(dòng)件(移動(dòng)體)32。臺板31是具有以棋盤格子狀設(shè)有磁性體凸極的平面的構(gòu)件。在該臺板31上，滑 動(dòng)件32利用空氣的作用而懸浮。在該狀態(tài)下對滑動(dòng)件32施加磁力，使滑動(dòng)件32與臺板31 的凸極之間的磁場產(chǎn)生變化，由此使滑動(dòng)件32在臺板31上移動(dòng)。作為如上所示的工件臺 的例，有專利文獻(xiàn)1中所記載的平面臺裝置。在滑動(dòng)件32之上安裝有連接真空配管(未圖示)的吸附平臺33，吸附保持進(jìn)行曝 光處理的工件W。此外，在滑動(dòng)件32上安裝有用于測定滑動(dòng)件32的位置的激光干涉儀34，此外，在 臺板31上安裝有將來自該激光干涉儀34的激光光線36反射的反射鏡35。由激光干涉儀 34所射出的激光光線36通過該反射鏡35予以反射而返回至激光干涉儀34，來測定滑動(dòng)件 32的位置(移動(dòng)距離)。被吸附在吸附平臺33的工件W，使滑動(dòng)件32在通過上述激光干涉儀34來檢測位 置的同時(shí)移動(dòng)，由此將曝光區(qū)域分割成多個(gè)而逐次予以曝光。此外，曝光裝置是具備有預(yù)對準(zhǔn)臺50。進(jìn)行曝光處理前的工件W被置放在該預(yù)對 準(zhǔn)臺50，對工件臺30進(jìn)行粗略的定位(預(yù)對準(zhǔn))。預(yù)對準(zhǔn)的方法有將工件抵碰在定位銷的方法、或通過傳感器在多個(gè)部位檢測工件 的邊緣而使位置對位的方法等。進(jìn)行曝光的工件的從預(yù)對準(zhǔn)臺50向工件臺30的搬入、或已完成曝光的工件從工 件臺30的搬出，通過工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)60的機(jī)械手(handler) 61來進(jìn)行。機(jī)械手61是利用安 裝在臂部的多吸附墊62來吸附工件W而懸吊進(jìn)行搬運(yùn)的。作為利用吸附墊吸附如上所示的工件而懸吊進(jìn)行搬運(yùn)的機(jī)械手的例，有專利文獻(xiàn) 2所記載的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。使用圖10(a)、(b)、(c)，說明通過機(jī)械手61搬運(yùn)工件W(向工件臺30的搬入與搬出)。另外，在圖10(b)、(C)中，省略表示了曝光裝置的光照射部10與掩模M及掩模臺20。圖10(a)。在工件臺30的吸附平臺33上吸附保持工件Wl而進(jìn)行曝光處理。接 著，進(jìn)行曝光處理的工件W2被置放在預(yù)對準(zhǔn)臺50而進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)。工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)60是在一支臂部63的兩側(cè)具備工件搬出用的機(jī)械手61a、及工件搬 入用的 機(jī)械手61b。在各自的機(jī)械手61a、61b安裝有多個(gè)吸附墊62，通過該吸附墊62，將 工件W吸附保持而懸吊進(jìn)行搬運(yùn)。在臂部63安裝有移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)，工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)60 作為全體沿圖示左右與上下方向移動(dòng)。圖10 (b)。若工件Wl的曝光處理與工件W2的預(yù)對準(zhǔn)結(jié)束，則工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)60下 降，由工件搬入用機(jī)械手61a保持預(yù)對準(zhǔn)臺50的工件W2，此外，由工件搬出用機(jī)械手61b保 持吸附平臺33上的工件W1。保持兩工件的工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)60上升而沿圖示右方向移動(dòng)。圖10(c)。若保持工件W2的工件搬入用機(jī)械手61a來到吸附平臺33之上，則工件 搬運(yùn)機(jī)構(gòu)60下降而將工件W2置放在吸附平臺33上。吸附平臺33吸附保持工件W2。此 夕卜，工件搬出用機(jī)械手61b也將所保持的工件Wl置放在進(jìn)行后序工程的顯影處理的裝置的 工作臺(未圖示)。工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)向圖示左方移動(dòng)而返回至圖10(a)的位置。工件W2的曝光處理開 始，在預(yù)對準(zhǔn)臺50上，將接下來予以曝光處理的工件，通過其他搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(未圖示)搬運(yùn)來。(專利文獻(xiàn)1)日本特開2004-138878號公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)日本特開2000-340635號公報(bào)工件W尤其為印刷基板時(shí)，有在工件W發(fā)生較大翹曲的情形。其原因之一，考慮到 印刷基板是在樹脂制基板上粘貼銅箔等金屬所形成的，因此，因兩者的熱膨脹率的差異而 發(fā)生的。被安裝在機(jī)械手61的吸附墊62的與工件W相接觸的部分，是柔軟的樹脂(橡膠) 制，對于工件W的稍微翹曲，進(jìn)行變形對應(yīng)。但是，若翹曲較大時(shí)，有在吸附墊62與工件W 之間產(chǎn)生間隙，用于吸附保持工件W的真空會漏氣而慢慢失去保持力。在此，例如，工件搬入用機(jī)械手61a將工件W從預(yù)對準(zhǔn)臺50抬起時(shí)，可吸附保持工 件W，但是若在將其搬運(yùn)至工件臺30的途中失去吸附保持力，工件W也如圖11所示那樣落 下，而夾在工件臺30的激光干涉儀用反射鏡35與滑動(dòng)件32之間。如上所示，工件W在搬運(yùn)途中從機(jī)械手61落下時(shí)，滑動(dòng)件32發(fā)生移動(dòng)等，尤其會 有滑動(dòng)件32接觸工件W而使工件W損傷的情形。此外，也有落下的工件W損傷安裝在工件 臺30的激光干涉儀34或反射鏡35等精密部件的情形。為防止這些情形，考慮當(dāng)使工件W從預(yù)對準(zhǔn)臺50換載置于工件臺30時(shí)，先使滑動(dòng) 件32靠近預(yù)對準(zhǔn)臺50 —側(cè)。若事先如此，即使工件W落下，也不會有工件W載置于工件臺 30的吸附平臺33上而使工件W或工件臺30的精密部件損傷的情形等。但是因此，如圖12所示，機(jī)械手61a、61b拿起預(yù)對準(zhǔn)臺50的工件Wl、及吸附平臺 33的工件W1、W2后，滑動(dòng)件32向預(yù)對準(zhǔn)臺50的方向移動(dòng)(圖12 (a))，之后，在機(jī)械手61將 工件W置放在吸附平臺33以后，滑動(dòng)件32移動(dòng)至投影透鏡40下的曝光位置(圖12(b))。如此一來，與在上述圖10中所示的工件W的搬運(yùn)順序相比，滑動(dòng)件32向預(yù)對準(zhǔn)臺 50方向的移動(dòng)與向曝光位置的返回的順序增加，因此，曝光處理的時(shí)間(生產(chǎn)節(jié)拍)相應(yīng)變長
發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明監(jiān)于上述問題點(diǎn)，目的在提供一種曝光裝置，在通過工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)來搬運(yùn) 工件時(shí)，即使工件從工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)落下，也不會發(fā)生工件本身或工件臺的部件損傷的情形， 并且，與現(xiàn)有技術(shù)相比，生產(chǎn)節(jié)拍(tact)不會變長。在本發(fā)明中，將上述課題如下進(jìn)行解決。曝光裝置，將通過機(jī)械手所搬運(yùn)的工件載置于工件臺，對載置于該工件臺的工件 通過掩模來照射光，在上述工件上對形成于上述掩模的圖案進(jìn)行曝光，在機(jī)械手搬運(yùn)工件 的區(qū)域，即從機(jī)械手搬運(yùn)工件的搬運(yùn)高度(搬運(yùn)位級)至工件臺的吸附平臺表面高度之間 的空間，鋪設(shè)橫穿工件臺的纜線。該纜線起如下作用在當(dāng)工件從機(jī)械手脫落而落下時(shí)，將工件在工件臺之上接住。另外，也考慮到若將纜線僅在一個(gè)方向鋪設(shè)，接住的工件會從纜線與纜線之間落 下，因此也可從上述纜線，在相對該纜線呈正交的方向鋪設(shè)第2纜線。此外，也可鋪設(shè)網(wǎng)狀物來取代纜線。發(fā)明的效果在本發(fā)明中，可得到以下效果。即使工件從機(jī)械手落下，也通過橫穿工件臺的纜線或網(wǎng)狀物接住，而不會有工件 落下在工件臺上的情形。由此，不會有基板或工件臺的部件損傷的情形等。此外，工件的搬運(yùn)順序不會改 變，也不會對生產(chǎn)節(jié)拍造成影響。此外，當(dāng)防止工件落下的機(jī)構(gòu)為纜線時(shí)，在相對直線狀纜線(第1纜線)呈正交的 方向上鋪設(shè)第2纜線，由此可防止工件從第1纜線與第1纜線之間落下。


圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的曝光裝置的概略構(gòu)成的圖。圖2是放大表示第1實(shí)施例的工件臺的立體圖。圖3是從圖2的箭頭A方向觀看纜線安裝構(gòu)件A的圖。圖4是從圖2的箭頭B方向觀看纜線安裝構(gòu)件B的圖。圖5是表示纜線的彎曲與施加于纜線的力的關(guān)系的6是表示本發(fā)明的第2實(shí)施例的曝光裝置的工件臺的立體圖。圖7是從圖6的箭頭C方向觀看第2纜線安裝構(gòu)件的圖。圖8是表示纜線的其他鋪設(shè)方式的例子的圖。圖9是表示在工件臺上設(shè)置網(wǎng)狀物的例子的圖。圖10是表示現(xiàn)有的曝光裝置的概略構(gòu)成及其動(dòng)作的一例的圖。圖11是表示工件落下在工件臺的狀態(tài)圖。圖12是表示滑動(dòng)件在預(yù)對準(zhǔn)臺50與曝光位置之間移動(dòng)的圖。圖中，10 光照射部；20 掩模臺；30 工件臺；31 臺板；32 滑動(dòng)件(移動(dòng)體)；33 吸附平臺；34 激光干涉儀；35 反射鏡；36 激光光線；40 投影透鏡；50 預(yù)對準(zhǔn)臺；60 工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)；61 機(jī)械手；62 吸附墊；63 臂部；70 纜線；71 纜線安裝構(gòu)件A ;72 纜線安裝構(gòu)件B ;73 第2纜線；74 第2纜線安裝構(gòu)件；80 彈簧；81 纜線折疊構(gòu)件；82 壓板；83 卷繞螺栓；90 網(wǎng)狀物；91 :網(wǎng)狀物的細(xì)繩(線)；M 掩模；W 工件；Ll 工件的搬運(yùn)高度(搬運(yùn)位級)；L2 吸附平臺的表面高度。
具體實(shí)施例方式圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施例的曝光裝置的概略構(gòu)成的圖。其中，關(guān)于與圖10相 同的構(gòu)成，標(biāo)注相同的符號。本發(fā)明的曝光裝置具備光照射部10 ；形成有復(fù)制在工件的圖案的掩模M ；保持該 掩模的掩模臺20 ；保持進(jìn)行曝光處理的印刷基板或液晶面板等的工件W的工件臺30 ；及將 形成在掩模M的圖案投影在工件臺30上的工件W的投影透鏡40。光照射部10具備放射包含紫外線的光的光源即燈11，及將來自燈11的光反射 的反射鏡12。此外，工件臺30為利用平面電動(dòng)機(jī)的平面臺，具備有臺板31與滑動(dòng)件(移動(dòng) 體)32。臺板31是具有棋盤格子狀地設(shè)有磁性體凸極的平面的構(gòu)件，在臺板31上，滑動(dòng) 件32利用空氣的作用而懸浮。對滑動(dòng)件32施加磁力，使滑動(dòng)件32與臺板31的凸極之間 的磁場產(chǎn)生變化，由此使滑動(dòng)件32在臺板31上移動(dòng)。本實(shí)施例中的臺板31的一邊長度為 900mm 1200mm，滑動(dòng)件32的一邊長度為約300mm。在滑動(dòng)件32上安裝有連接真空配管(未圖示)的吸附平臺33，吸附保持進(jìn)行曝光 處理的工件W。本實(shí)施例中的吸附平臺33的一邊長度為500mm 600mm。此外，在滑動(dòng)件32上安裝有用于測定滑動(dòng)件32的位置的激光干涉儀34，此外，在 臺板31上安裝有將來自該激光干涉儀34的激光光線36反射的反射鏡35。來自激光干涉儀34的激光光線36通過該反射鏡35反射而返回至激光干涉儀34， 來測定滑動(dòng)件32的位置(移動(dòng)距離)。被吸附在吸附平臺33的工件W，使滑動(dòng)件32在通過激光干涉儀34來檢測位置的 同時(shí)移動(dòng)，由此將曝光區(qū)域分割成多個(gè)而逐次予以曝光。此外，在預(yù)對準(zhǔn)臺50中，進(jìn)行在進(jìn)行曝光處理前的工件W2的對工件臺30的粗略定位(預(yù)對準(zhǔn))。工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)60的機(jī)械手61a、61b，將曝光前的工件從預(yù)對準(zhǔn)臺50搬入至吸附平 臺33，此外，將已完成曝光的工件從吸附平臺33搬出。機(jī)械手61利用安裝在臂部的多個(gè)吸 附墊62來吸附工件W而以懸吊進(jìn)行搬運(yùn)。在如上所示的曝光裝置中，為了防止工件W落下到工件臺30上，在工件臺30之上 以橫穿工件臺30的方式鋪設(shè)纜線(wire) 70。如圖1所示，設(shè)置纜線70的高度方向的范圍是從由機(jī)械手61搬運(yùn)工件W的搬運(yùn) 高度(搬運(yùn)位級(level))Ll起至工件臺30的吸附平臺33表面的高度L2之間。在該范圍 的空間鋪設(shè)橫穿工件臺30的長度的纜線。在圖1中，纜線70向圖示面前內(nèi)側(cè)鋪設(shè)，僅看到纜線70的剖面。纜線70的直徑 為約1mm。
此外，工件的搬運(yùn)高度(搬運(yùn)位級)Ll至吸附平臺的表面高度L2的間隔為約 20mm，在該圖中，為易于了解，纜線W的直徑、與工件搬運(yùn)位級Ll至吸附平臺的表面高度L2 的間隔均放大表示。此外，作為設(shè)置纜線70的水平方向的范圍，除了用于將工件W載置在吸附平臺33 的范圍、及照射用于將工件W曝光的曝光光線的范圍以外，為機(jī)械手61懸吊工件W進(jìn)行搬 運(yùn)的區(qū)域。在本實(shí)施例中，表示將纜線70設(shè)在預(yù)對準(zhǔn)臺50與吸附平臺33之間的例。但是， 纜線70可設(shè)在將工件W從吸附平臺33搬出的側(cè)，也可設(shè)在吸附平臺33的兩側(cè)。此外，為 了確實(shí)接住工件W，希望纜線70設(shè)置多列。纜線70的材質(zhì)可為金屬，也可為樹脂。纜線70為樹脂，也如上所述在照射曝光光 線的范圍，由于會形成曝光光線的陰影而未設(shè)置，因此不用擔(dān)心曝光光線(紫外線)所造成 的劣化。圖2是放大表示第1實(shí)施例的工件臺的立體圖。在臺板31的兩側(cè)(在圖1中為面前側(cè)與里側(cè))設(shè)置用于安裝纜線70的纜線安裝 構(gòu)件A71與纜線安裝構(gòu)件B72，在該2個(gè)纜線安裝構(gòu)件71、72之間架設(shè)纜線70。在本實(shí)施 例中，纜線安裝構(gòu)件71、72的間隔為約1800mm，纜線70的直徑為約1mm。工件W依序移動(dòng)而被曝光時(shí)，會有已載置工件W的吸附平臺33的一部分從臺板31 超出的情形。因此，為了防止吸附平臺33與纜線安裝構(gòu)件71、72接觸，纜線安裝構(gòu)件71、72 的間隔比臺板31的寬度更長，與臺板31的兩邊間隔距離。纜線70從纜線安裝構(gòu)件A71延伸至纜線安裝構(gòu)件B72，然后折疊，而再次返回至纜 線安裝構(gòu)件A71加以固定。也即，1條纜線在纜線安裝構(gòu)件71，72間往返而形成2列纜線 線。在圖2中通過2條纜線70，形成4列纜線線。纜線70之下，為了曝光處理，安裝有已載置工件W的吸附平臺33的滑動(dòng)件32進(jìn) 行移動(dòng)。因此，在纜線安裝構(gòu)件71、72之間并無法設(shè)置如支持纜線70那樣的支柱。圖3是從圖2的箭頭A方向觀看纜線安裝構(gòu)件A71的圖，圖4是從圖2的箭頭B 方向觀看纜線安裝構(gòu)件B72的圖。使用圖3與圖4，關(guān)于纜線70的鋪設(shè)方式加以說明。如圖3所示，在纜線70的一端安裝有彈簧80，該彈簧80的未安裝有纜線70的一側(cè)被固定在纜線安裝構(gòu)件A71。通過彈簧80而將一端固定在纜線安裝構(gòu)件A71的纜線70，以從纜線安裝構(gòu)件A71 橫穿工件臺30的臺板31上的方式延伸至纜線安裝構(gòu)件B72。已到達(dá)纜線安裝構(gòu)件B72的纜線70，如圖4所示，通過被安裝在纜線安裝構(gòu)件B72 的2個(gè)纜線折疊構(gòu)件81，具有預(yù)先設(shè)定的寬幅而折疊，再次橫穿工件臺30的臺板31上而朝 向纜線安裝構(gòu)件A71。已到達(dá)纜線安裝構(gòu)件A71的纜線70，通過防止纜線70的位置偏移的壓板82，利用 卷繞螺栓83予以卷繞。當(dāng)卷繞卷繞螺栓83時(shí)，彈簧80延伸，對在纜線安裝構(gòu)件A71與纜 線安裝構(gòu)件B72間往返的纜線70施加張力(tension)。纜線70因歷時(shí)而發(fā)生松弛時(shí)，可通過卷繞該卷繞螺栓83，再次對纜線70施加張 力。圖5是表示1800mm的纜線的彎曲與施加于纜線的力(重力)的關(guān)系的圖。
如上所述，供設(shè)置纜線70的從工件搬運(yùn)高度(搬運(yùn)位級)Ll至工件臺30的吸附 平臺33的表面高度L2的間隔為約20mm，第1與第2纜線安裝構(gòu)件71、72的間隔，也即纜線 70的單程的長度為1800mm。當(dāng)在纜線70有較大彎曲時(shí)，則纜線70掛住在其下移動(dòng)的滑動(dòng)件32上的吸附平臺 33而造成裝置不良。
因此，發(fā)明人就長度1800mm的纜線(tplmm)的彎曲ω與施加于纜線的張力(重
量)F的關(guān)系進(jìn)行調(diào)查。如圖5所示，當(dāng)以纜線的張力F為ION的方式設(shè)定砝碼的重量時(shí)，纜線的彎曲量ω 為約1mm。當(dāng)以張力F為20N的方式設(shè)定砝碼的重量時(shí)，纜線的彎曲量ω為約0.5mm。此 夕卜，當(dāng)以張力F為40N的方式設(shè)定砝碼的重量時(shí)，纜線的彎曲量ω為0. 5mm以下。由該結(jié)果可知，若事先通過圖3所示的彈簧81與卷繞螺栓83，對纜線70施加20N 以上(最好為40N以上)的張力，并不會有纜線70與在其下移動(dòng)的吸附平臺33相接觸的 情形。另外，作為接住工件從機(jī)械手落下的構(gòu)件，也可考慮如屋頂般地設(shè)置金屬桿或板 狀構(gòu)件而非纜線。但是，其會發(fā)生如以下所示的問題，由成本或制作難易度、裝置小型化、而且在其 構(gòu)件發(fā)生彎曲時(shí)的修正作業(yè)的難易度等方面來考慮，以纜線較為適合。接住工件落下的構(gòu)件為金屬桿或板狀構(gòu)件時(shí)，例如若為1800mm的長度時(shí)，無法如 上所述在途中設(shè)置支柱，因此桿的粗細(xì)較細(xì)或板的厚度較薄時(shí)，會因本身重量而彎曲，其一 部分會從可設(shè)置工件防落構(gòu)件的工件搬運(yùn)位級Ll至吸附平臺表面高度L2的范圍突出，而 會與在其下移動(dòng)的吸附平臺33相接觸。因此，桿狀構(gòu)件或板狀構(gòu)件必須加粗桿的粗細(xì)或加厚板的厚度，以免從工件搬運(yùn) 位級Ll至吸附平臺表面高度L2的間隔即20mm突出。但是，如此一來，圓桿或板的重量會 增加，價(jià)格也變得較高，工件臺也大型化。此外，在僅為約20mm的從工件搬運(yùn)位級Ll至吸附平臺表面高度L2之間，難以安 裝重且粗的圓桿或厚的板狀構(gòu)件。此外，雖考慮到如上所示的桿狀構(gòu)件或板狀構(gòu)件會因歷時(shí)而發(fā)生彎曲，但是若一 旦彎曲，只能替換成新品，而會發(fā)生部件替換的費(fèi)用，并且替換作業(yè)時(shí)間也變長。相對于此，纜線細(xì)而輕量，價(jià)格也較為廉價(jià)。此外，即使因歷時(shí)而發(fā)生彎曲，也可僅 通過卷繞卷繞螺栓而再次施加張力。圖6是表示本發(fā)明第2實(shí)施例的曝光裝置的工件臺的立體圖。在圖5所示的第1實(shí)施例中，纜線70是設(shè)有多列，但是這下為朝相同方向延伸。因 此，當(dāng)工件W從機(jī)械手61落下時(shí)，即使暫時(shí)利用纜線70加以接住，也會有從纜線與纜線之 間落下在下面的情形。作為其對策，如圖6所示，在相對上述第1實(shí)施例所示的纜線(第1纜線)70呈正 交的方向設(shè)置第2纜線73。第2纜線73將其中一方設(shè)在第1纜線70，將另一方安裝在第2纜線安裝構(gòu)件74 地設(shè)置。圖7是從圖6的箭頭C方向觀看第2纜線安裝構(gòu)件74的圖。
第2纜線73是將其中一方形成為鉤(hook)狀或形成為圓而與第1纜線70相連， 將另一方卷繞在第2纜線安裝構(gòu)件74的卷繞螺栓83。由此可將第2纜線73設(shè)在相對第1 纜線70呈正交的方向。第1纜線70被第2纜線73的張力牽拉而彎曲，但是只要能接住工件W即可，因此 即使稍微彎曲也不會有問題。通過設(shè)置第2纜線73，纜線被鋪設(shè)成十字，因此工件從纜線與纜線之間落下在下 方的擔(dān)心會消失。另外，第2纜線73也為了確實(shí)接住工件W，希望設(shè)置多列。
圖8是表示橫穿工件臺而設(shè)的纜線的其他鋪設(shè)方式的例子的圖。在上述第1實(shí)施例中，纜線是以在工件臺的四方臺板的相對置的2邊之間橫斷工 件臺的方式而設(shè)置。但是，如圖8所示，也可將纜線70在與臺板31相鄰的邊之間相對臺板31的邊斜 向而設(shè)置。即使如上所示設(shè)置纜線，也可防止工件落下在工件臺。圖9是表示在工件臺上設(shè)置網(wǎng)狀物來取代直線狀纜線的例子的圖。即使使用網(wǎng)狀物，也可防止工件落下在工件臺。但是，在使用網(wǎng)狀物時(shí)，為了防止 發(fā)生松弛，必須設(shè)法對網(wǎng)狀物以縱橫方向施加張力。因此，如圖9所示，網(wǎng)狀物90形成有四角網(wǎng)眼，以可將其網(wǎng)眼的四角的各頂點(diǎn)朝對 角線方向拉緊的方式，使網(wǎng)狀物90的細(xì)繩(線)91朝4個(gè)方向延伸。朝4個(gè)方向延伸的細(xì)繩91的中，1個(gè)方向的細(xì)繩被安裝在橫穿臺板31而施加張力 而設(shè)置的纜線70上。剩下的3個(gè)方向的細(xì)繩安裝在設(shè)置于臺板31的3個(gè)邊的網(wǎng)狀物安裝 構(gòu)件92的卷繞螺栓83。當(dāng)通過各卷繞螺栓83來拉緊各細(xì)繩91時(shí)，網(wǎng)狀物90也被纜線70所拉緊，因此朝 四角網(wǎng)眼的對角線方向延伸而對網(wǎng)狀物90全體在縱橫方向施加張力。由此，可無松弛地設(shè) 置網(wǎng)狀物90。即使因歷時(shí)而在網(wǎng)狀物90上發(fā)生松弛，也可通過卷繞卷繞螺栓83，容易地重 新施加張力。另外，設(shè)置網(wǎng)狀物90的范圍是與上述設(shè)置纜線的范圍相同。關(guān)于高度方向，在從 機(jī)械手61搬運(yùn)工件W的搬運(yùn)高度(搬運(yùn)位級)Ll至工件臺30的吸附平臺33表面高度L2 之間，關(guān)于水平方向，除了用于將工件W載置在吸附平臺33的范圍、及照射用于將工件W進(jìn) 行曝光的曝光光線的范圍以外，為機(jī)械手61搬運(yùn)工件W的區(qū)域。此外，與纜線同樣地，網(wǎng)狀物的材質(zhì)可為金屬制，也可為樹脂制。
權(quán)利要求
一種曝光裝置，將通過機(jī)械手所搬運(yùn)的工件載置于工件臺，對載置于該工件臺的工件通過掩模來照射光，在上述工件上對形成于上述掩模的圖案進(jìn)行曝光，其特征在于在機(jī)械手搬運(yùn)工件的區(qū)域，即從機(jī)械手搬運(yùn)工件的搬運(yùn)高度至工件臺的表面高度之間的空間，橫穿上述工件臺鋪設(shè)有纜線。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，從上述纜線在相對該纜線呈正交的方 向鋪設(shè)有第2纜線。
3.—種曝光裝置，將通過機(jī)械手所搬運(yùn)的工件載置于工件臺，對載置于該工件臺的工 件通過掩模來照射光，在上述工件上對形成于上述掩模的圖案進(jìn)行曝光，其特征在于在機(jī)械手搬運(yùn)工件的區(qū)域，即從機(jī)械手搬運(yùn)工件的搬運(yùn)高度至工件臺的表面高度之間 的空間，橫穿上述工件臺鋪設(shè)有網(wǎng)狀物。
全文摘要
本發(fā)明提供一種曝光裝置，即使工件從工件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)落下，也不會損傷工件本身或工件臺的部件，并且，與現(xiàn)有技術(shù)相比，生產(chǎn)節(jié)拍不變長。本發(fā)明的曝光裝置，將通過機(jī)械手所搬運(yùn)的工件載置在工件臺，對載置在該工件臺的工件通過掩模來照射光，在上述工件上對形成在上述掩模的圖案進(jìn)行曝光，在機(jī)械手搬運(yùn)工件的區(qū)域，即從機(jī)械手搬運(yùn)工件的搬運(yùn)高度(搬運(yùn)位級)至工件臺的吸附平臺表面高度之間的空間，鋪設(shè)橫穿工件臺的纜線。
文檔編號G03F7/20GK101840160SQ20101014305
公開日2010年9月22日 申請日期2010年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月19日
發(fā)明者佐藤善彥, 岡野達(dá)廣, 小池雄輝 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會社