專利名稱：振動促動器、透鏡鏡筒及相機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種振動促動器、具有該振動促動器的透鏡鏡筒及相機(jī)。
背景技術(shù)：
壓電促動器利用壓電體的伸縮而在彈性體的驅(qū)動面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動波，通過該 行進(jìn)波在驅(qū)動面產(chǎn)生橢圓運(yùn)動，對橢圓運(yùn)動的波峰加壓接觸的移動元件被驅(qū)動(JP特公平 1-17354號公報(bào))。這種壓電促動器具有即使在低轉(zhuǎn)速下也具有高轉(zhuǎn)矩的特征。因此，在搭 載于驅(qū)動裝置上時能夠省略驅(qū)動裝置的齒輪，從而具有無齒輪噪音、能提高定位精度的優(yōu)
點(diǎn)o近年來伴隨數(shù)碼相機(jī)和透鏡鏡筒的緊湊化，配置振動促動器的空間也逐漸受限。 但是，使振動促動器與空間相對應(yīng)地整體小型化時，振動元件的直徑變短，因此具有發(fā)生轉(zhuǎn) 矩降低的傾向。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于提供一種在有限的空間中也能夠配置且驅(qū)動性能良好的振動 促動器、具有該振動促動器的透鏡鏡筒以及相機(jī)。本發(fā)明通過以下解決手段而解決上述課題。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種振動促動器，包括彈性體，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接 觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件，與上述彈性體加壓 接觸，并通過上述振動波而相對于上述彈性體移動，所述振動促動器的特征在于，上述彈性 體的上述相對移動部件側(cè)形成多個槽以成為梳齒狀，與上述相對移動部件的相對移動方向 交叉的方向上的上述槽的深度，沿著上述相對移動部件的相對移動方向而不同。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種振動促動器，包括彈性體，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接 觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件，與上述彈性體加壓 接觸，并通過上述振動波而相對于上述彈性體移動，所述振動促動器的特征在于，上述彈性 體包括設(shè)于上述相對移動部件側(cè)的梳齒部以及設(shè)于上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件側(cè)的基底部，與上述 相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的上述基底部的厚度，沿著上述相對移動部件 的相對移動方向而不同。根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種振動促動器，包括彈性體，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接 觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件，與上述彈性體加壓 接觸，并通過上述振動波而相對于上述彈性體移動，所述振動促動器的特征在于，上述彈性 體的楊氏模量，沿著上述相對移動部件的相對移動方向而不同。根據(jù)本發(fā)明的第四方面，提供一種振動促動器，包括彈性體，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接 觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件，與上述彈性體加壓 接觸，并通過上述振動波而相對于上述彈性體移動，所述振動促動器的特征在于，上述彈性 體的密度，沿著上述相對移動部件的相對移動方向而不同。
優(yōu)選，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的厚度， 沿著上述相對移動部件的相對移動方向而一定。優(yōu)選，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的寬度， 沿著上述相對移動部件的相對移動方向而不同。優(yōu)選，上述彈性體的外形為橢圓形狀。根據(jù)本發(fā)明的第五方面，提供一種透鏡鏡筒，具有上述振動促動器。根據(jù)本發(fā)明的第六方面，提供一種相機(jī)，具有上述振動促動器。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種在有限的空間中也能夠配置且驅(qū)動性能良好的振動促 動器、具有該振動促動器的透鏡鏡筒以及相機(jī)。


圖1是用于說明本發(fā)明的一個實(shí)施方式的相機(jī)的圖。圖2是從被拍攝體側(cè)看相機(jī)中的透鏡鏡筒內(nèi)部的圖。圖3是一個實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)的剖視圖。圖4是表示一個實(shí)施方式的振動元件的圖。圖5是表示比較方式的振動元件的圖。圖6是以移動體的行進(jìn)方向?yàn)闄M軸、槽的深度為縱軸的圖表。圖7是表示變形方式的振動元件的圖。
具體實(shí)施例方式以下參照附圖等說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，以下的實(shí)施方式中，作為振動促動 器以超聲波馬達(dá)為例進(jìn)行說明。圖1是用于說明本發(fā)明的一個實(shí)施方式的相機(jī)1的圖。圖2是從被拍攝體側(cè)看相 機(jī)1中的透鏡鏡筒3內(nèi)部的圖。相機(jī)1包括具有攝像元件8的相機(jī)主體2 ；和具有透鏡7 的透鏡鏡筒3。透鏡鏡筒3是可相對于相機(jī)主體2拆裝的可換透鏡。另外，在本實(shí)施方式 中，示出了透鏡鏡筒3為可換透鏡的例子，但不限于此，例如也可以是與相機(jī)主體一體型的 透鏡鏡筒。透鏡鏡筒3包括透鏡7 ；凸輪筒6 ；齒輪4、5 ；超聲波馬達(dá)10 ；以及包圍上述各部 的框體9等。在本實(shí)施方式中，超聲波馬達(dá)10如圖2所示，配置在凸輪筒6和框體9之間的 圓環(huán)狀間隙中。超聲波馬達(dá)10作為在相機(jī)1的聚焦動作時驅(qū)動透鏡7的驅(qū)動源使用。從 超聲波馬達(dá)10獲得的驅(qū)動力經(jīng)由齒輪4、5而傳遞到凸輪筒6。透鏡7是聚焦透鏡，保持在 凸輪筒6中，通過超聲波馬達(dá)10的驅(qū)動力與光軸方向(圖1中所示的箭頭L方向)大致平 行地移動而進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)節(jié)。在圖1中，通過設(shè)于透鏡鏡筒3內(nèi)的未圖示的透鏡組(包括透鏡7)，將被拍攝體像 成像到攝像元件8的攝像面上。通過攝像元件8將成像的被拍攝體像轉(zhuǎn)換為電信號，并對 該信號進(jìn)行A/D變換，從而獲得圖像數(shù)據(jù)。圖3是第一實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)10的剖視圖。另外，為了容易理解，在圖3及 后述的圖4中設(shè)置了 XYZ正交坐標(biāo)系。將與輸出軸18的軸向平行的方向設(shè)為Z軸方向，并 在Z軸方向中將朝向移動元件15側(cè)的方向設(shè)為Z軸正向。并且，將與從Z軸正向(移動元件15側(cè))看的振動元件11的外形的橢圓形狀的長徑(長軸，參照圖4)平行的方向設(shè)為X 軸方向，將與短徑(短軸，參照圖4)平行的方向設(shè)為Y軸方向。第一實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)10包括振動元件11、移動元件15、輸出軸18、加壓部 件19等，成為振動元件11側(cè)固定而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動移動元件15的方式。振動元件11是具有彈 性體12和與彈性體12接合的壓電體13的中空形狀的部件。彈性體12是由諧振尖銳度大 的金屬材料形成的部件。彈性體12是外形為大致橢圓形狀的中空形狀(參照圖4(a))，該 彈性體12具有梳齒部12a、基底部12b、凸緣部12c等。梳齒部12a通過在與移動元件15接觸的一側(cè)的面上切割多個槽30而形成，該梳 齒部12a的前端面與移動元件15加壓接觸，成為驅(qū)動移動元件15的驅(qū)動面12d。對該驅(qū)動 面進(jìn)行Ni-P(鎳-磷)鍍敷等潤滑性的表面處理。設(shè)置梳齒部12a的理由是，使通過壓電 體13的伸縮而在驅(qū)動面12d產(chǎn)生的行進(jìn)波的中立面盡可能地向壓電體13側(cè)靠近，從而放 大驅(qū)動面12d的行進(jìn)波的振幅?；撞?2b是在彈性體12的圓周方向上連續(xù)的部分，在基底部12b的與梳齒部 12a相反側(cè)的面上接合有壓電體13。凸緣部12c是向彈性體12的內(nèi)徑方向突出的凸緣狀 的部分，配置在基底部12b的厚度方向的中央。通過該凸緣部12c，振動元件11被固定在固 定部件16上。壓電體13是將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的機(jī)電轉(zhuǎn)換元件。另外，在本實(shí)施方式中，作為 壓電體13使用了壓電元件，但也可以使用電致伸縮元件等。壓電體13為大致平板形狀，利 用粘結(jié)劑等與彈性體12接合。在該壓電體13上形成有用于輸入驅(qū)動信號的未圖示的電極 部。柔性印刷基板14的配線與壓電體13的電極部連接。柔性印刷基板14具有向壓電 體13供給驅(qū)動信號的功能。通過從該柔性印刷基板14供給的驅(qū)動信號，壓電體13伸縮， 從而使彈性體12起振，在彈性體12的驅(qū)動面上產(chǎn)生行進(jìn)波。在本實(shí)施方式中，產(chǎn)生4波的 行進(jìn)波。移動元件15是由在彈性體12的驅(qū)動面上產(chǎn)生的行進(jìn)波旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的部件。移動元 件15是通過鋁等輕金屬形成的大致圓盤形狀的部件，具有與振動元件11 (彈性體12的驅(qū) 動面12d)接觸的接觸面15a。接觸面15a為大致圓環(huán)形狀，對接觸面15a的表面進(jìn)行了用 于提高耐磨損性的陽極化處理等表面處理。輸出軸18是大致圓柱形狀的部件。輸出軸18 被設(shè)置成其一個端部經(jīng)由橡膠部件23與移動元件15相接，以與移動元件15 —體地旋轉(zhuǎn)。橡膠部件23是由橡膠形成的大致圓環(huán)形狀的部件。該橡膠部件23具有能通過橡 膠的粘彈性而一體地旋轉(zhuǎn)移動元件15和輸出軸18的功能、以及吸收振動以避免將來自移 動元件15的振動傳遞到輸出軸18的功能，該橡膠部件23使用丁基橡膠、硅橡膠、丙烯橡膠等。加壓部件19是產(chǎn)生使振動元件11和移動元件15加壓接觸的加壓力的部件。該 加壓部件19設(shè)置在齒輪4和軸承支架部件21之間。在本實(shí)施方式中，加壓部件19使用壓 縮螺旋彈簧，但不限于此。齒輪4被插入成與輸出軸18的D切口嵌合，并由E環(huán)等止動器22固定，而被設(shè)置 成在旋轉(zhuǎn)方向及軸向上與輸出軸18成為一體。齒輪4隨著輸出軸18的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，從而 向齒輪5(參照圖1)傳遞驅(qū)動力。
此外，形成如下結(jié)構(gòu)，其中，軸承支架部件21配置在軸承17的內(nèi)徑側(cè)，軸承17配 置于固定部件16的內(nèi)徑側(cè)。加壓部件19在輸出軸18的軸向上向移動元件15側(cè)對振動元 件11加壓，通過該加壓力，移動元件15與振動元件11的驅(qū)動面加壓接觸而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。另 外，可以在加壓部件19和軸承支架部件21之間設(shè)置加壓力調(diào)整墊圈，以便為超聲波馬達(dá)10 的驅(qū)動獲得適當(dāng)?shù)募訅毫?。接下來對本?shí)施方式的振動元件11進(jìn)行詳細(xì)說明。圖4是表示振動元件11的圖。 圖4(a)是從移動元件15側(cè)看振動元件11的圖，圖4(b)是與XZ平面平行的箭頭S1-S2截 面下的振動元件11的剖視圖，圖4(c)是與YZ平面平行的箭頭S3-S4截面下的振動元件11 的剖視圖。此外，圖4(a)中虛線所示的形狀是與驅(qū)動面12d相接的移動元件15的接觸面 15a的形狀，接觸面15a在該虛線所示的區(qū)域中與驅(qū)動面12d相接。如圖所示，在本實(shí)施方 式中振動元件11包括彈性體12及壓電體13，外形為橢圓形狀。這樣使振動元件11的外形為橢圓形狀基于以下理由。在本實(shí)施方式的情況下，如 圖2所示，超聲波馬達(dá)10配置在凸輪筒6和框體9之間的圓環(huán)狀的間隙中。振動元件11 的外形若不是橢圓形狀而是正圓形，則其直徑的大小被限定為凸輪筒6和框體9之間的寬 度，因此壓電體的靜電容量受限。但是，若壓電體為橢圓形，則隨著長徑變大，靜電容量變大。這是由于，在厚度、介 電常數(shù)等條件一定的情況下，壓電體的靜電容量與壓電體被極化的區(qū)域的面積成比例，因 此通過增大壓電體的面積就能夠增大極化的區(qū)域。也就是說，若壓電體和彈性體的接合面 的面積增大，就能夠增大壓電體被極化的區(qū)域，能夠增大壓電體的靜電容量。從而獲得更大 的驅(qū)動力。這樣一來，根據(jù)本實(shí)施方式，振動元件11 (壓電體13)為橢圓形狀，因此能夠配置 在無法在一個方向(在本實(shí)施方式中為Y方向)得到足夠的空間的、例如凸輪筒6和框體 9之間的圓環(huán)狀的間隙這種場所，并且能夠利用該空間獲得最大限度的大的轉(zhuǎn)矩。但是，在振動元件11 (壓電體13、彈性體12)的形狀為橢圓形狀這種正圓以外的形 狀時，在圖5所示的比較方式的情況下，在長徑a側(cè)彈性體12的徑向的寬度較大，因此與短 徑b側(cè)相比彎曲剛性增高。也就是說，彎曲剛性在移動體的移動方向e上不同，有可能在 移動元件15的移動方向e上不均等地產(chǎn)生振動振幅。因此，在本實(shí)施方式中，如圖4(b)及圖4(c)所示，使梳齒部12a的槽30的深度不 均勻。也就是說，在長徑a側(cè)槽30較深，而在短徑b側(cè)槽30較淺。圖6(a)是以移動體的 移動方向e (在直徑為a的位置0 =0)為橫軸、以槽的深度(即基底的厚度)為縱軸的 圖表。圖中實(shí)線是圖4所示的本實(shí)施方式，虛線是圖5所示的比較方式。此外，圖6(b)是以移動體的移動方向e (在直徑為a的位置e =0)為橫軸、以 彎曲剛性為縱軸的圖表。圖中實(shí)線是圖4所示的本實(shí)施方式，虛線是圖5所示的比較方式。 如圖所示，在比較方式中，在短徑b附近(0 = Ji/^dJi/^)彎曲剛性較低，在長徑a附近 (9 = 0、Ji、2JI)彎曲剛性較高。但是，在本實(shí)施方式中，如圖6(a)中實(shí)線所示，與短徑b附近(0 = ji/2、3JI/2) 相比，在長徑a附近(e =0、ji、2ji)槽30較深(基底部12b較薄)。因此，在長徑a側(cè) 在徑向上寬度較大而槽30較深，在短徑b側(cè)在徑向上寬度較小而槽30較淺，徑向上的寬度 和槽30的深度相對于剛性的影響彼此抵消，從而長徑a側(cè)和短徑b側(cè)的剛性的差如圖6 (b)中實(shí)線所示，與比較方式相比較小。本實(shí)施方式具有以下效果。(1)由于振動元件11 (壓電體13)為橢圓柱形狀，因此能夠配置在無法在一個方 向(在本實(shí)施方式中為Y方向)得到足夠的空間的場所，并且能夠利用該空間獲得最大限 度的大的轉(zhuǎn)矩。(2)在長徑a側(cè)在徑向上寬度較大而槽30較深，在短徑b側(cè)在徑向上寬度較小而 槽30較淺。因此，徑向上的寬度和槽30的深度相對于剛性的影響彼此抵消，從而長徑a側(cè) 和短徑b側(cè)的剛性的差變小。因此，能夠提供在有限的空間也能夠配置且驅(qū)動性能良好的 超聲波馬達(dá)、具有該超聲波馬達(dá)的透鏡鏡筒以及相機(jī)。(變形方式)不限于以上說明的實(shí)施方式，可以進(jìn)行各種變形、變更。(1)在上述實(shí)施方式中，彈性體12的外形為橢圓形狀，但本發(fā)明不限于此。也可以 如圖7所示，使彈性體32的外形為切除了橢圓錐形狀的上部后的形狀。此時，與上述實(shí)施 方式同樣地在長徑a側(cè)剛性較高，但由于沒有上端的角部，因此較之實(shí)施方式，與短徑側(cè)的 剛性的差較小。也可以使槽40的深度的長徑a側(cè)和短徑側(cè)的差比實(shí)施方式小。(2)在上述實(shí)施方式中，說明了通過槽的深度抵消直徑對剛性的影響的方式，但也 可以通過彈性體的材質(zhì)來抵消直徑對剛性的影響。例如，長徑側(cè)的材質(zhì)可以使用楊氏模量 比短徑側(cè)的材質(zhì)小的材質(zhì)。從而，即使是橢圓形狀的彈性體，也可以與上述實(shí)施方式同樣地 使剛性均勻。(3)在上述實(shí)施方式中，說明了通過槽的深度抵消直徑對剛性的影響的方式，但也 可以通過彈性體的密度來抵消直徑對剛性的影響。例如，可以使長徑側(cè)的密度比短徑側(cè)小。 從而，即使是橢圓形狀的彈性體，也可以與上述實(shí)施方式同樣地使剛性均勻。(4)在上述實(shí)施方式中，示出了壓電體13及彈性體12的外形為橢圓形狀的例子， 但不限于此，例如也可以使之為多邊形形狀，并對應(yīng)于其形狀來變更槽的深度、材質(zhì)等。(5)在各實(shí)施方式中，舉例說明了旋轉(zhuǎn)驅(qū)動移動元件的超聲波馬達(dá)，但不限于此， 也可以適用于在直線方向驅(qū)動移動元件的線性的振動促動器。(6)在各實(shí)施方式中，舉例說明了使用超聲波區(qū)域的振動的超聲波馬達(dá)，但不限于 此，例如也可以適用于使用超聲波區(qū)域以外的振動的振動促動器。(7)在各實(shí)施方式中，示出了超聲波馬達(dá)在聚焦動作時用于透鏡的驅(qū)動的例子，但 不限于此，也可以為用于透鏡的變焦動作時的驅(qū)動的超聲波馬達(dá)。(8)在各實(shí)施方式中，示出了超聲波馬達(dá)用于相機(jī)的例子，但不限于此，例如也可 以用于復(fù)印機(jī)的驅(qū)動部、汽車的轉(zhuǎn)向盤擺動裝置、頭枕的驅(qū)動部等。另外，上述實(shí)施方式及變形方式也可以適當(dāng)組合使用，但省略詳細(xì)的說明。此外， 本發(fā)明并不由以上說明的各實(shí)施方式限定。
權(quán)利要求
一種振動促動器，包括彈性體，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件，與上述彈性體加壓接觸，并通過上述振動波而相對于上述彈性體移動，所述振動促動器的特征在于，上述彈性體的上述相對移動部件側(cè)形成多個槽以成為梳齒狀，與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的上述槽的深度，沿著上述相對移動部件的相對移動方向而不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動促動器，其特征在于， 上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的厚度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而一定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的寬度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而不同。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體的外形為橢圓形狀。
5.一種振動促動器，包括彈性體，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件 的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件，與上述彈性體加壓接觸，并通過上述振動波而相對 于上述彈性體移動，所述振動促動器的特征在于，上述彈性體包括設(shè)于上述相對移動部件側(cè)的梳齒部以及設(shè)于上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件側(cè)的基底部，與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的上述基底部的厚度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而不同。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的厚度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而一定。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的寬度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而不同。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體的外形為橢圓形狀。
9.一種振動促動器，包括彈性體，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件 的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件，與上述彈性體加壓接觸，并通過上述振動波而相對 于上述彈性體移動，所述振動促動器的特征在于，上述彈性體的楊氏模量，沿著上述相對移動部件的相對移動方向而不同。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的厚度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而一定。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的寬度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而不同。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的振動促動器，其特征在于， 上述彈性體的外形為橢圓形狀。
13.—種振動促動器，包括彈性體，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元 件的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件，與上述彈性體加壓接觸，并通過上述振動波而相 對于上述彈性體移動，所述振動促動器的特征在于，上述彈性體的密度，沿著上述相對移動部件的相對移動方向而不同。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的厚度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而一定。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的振動促動器，其特征在于，上述彈性體在與上述相對移動部件的相對移動方向交叉的方向上的寬度，沿著上述相 對移動部件的相對移動方向而不同。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的振動促動器，其特征在于， 上述彈性體的外形為橢圓形狀。
17.—種透鏡鏡筒，具有權(quán)利要求1所述的振動促動器。
18.一種相機(jī)，具有權(quán)利要求1所述的振動促動器。
全文摘要
提供一種在有限的空間中也能夠配置且驅(qū)動性能良好的振動促動器、具有該振動促動器的透鏡鏡筒以及相機(jī)。本發(fā)明的振動促動器(10)包括彈性體(12)，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件(13)接觸設(shè)置，通過上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件(13)的驅(qū)動而產(chǎn)生振動波；和相對移動部件(15)，與上述彈性體(12)加壓接觸，并通過上述振動波而相對于上述彈性體(12)移動，其特征在于，上述彈性體(12)的上述相對移動部件(15)側(cè)形成多個槽(30)以成為梳齒狀，與上述相對移動部件(15)的相對移動方向(θ)交叉的方向上的上述槽(30)的深度，沿著上述相對移動部件(15)的相對移動方向(θ)而不同。
文檔編號G02B7/00GK101854129SQ201010158260
公開日2010年10月6日 申請日期2010年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月31日
發(fā)明者森桶利和 申請人:株式會社尼康