專利名稱:一種同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及半導(dǎo)體光刻設(shè)備中一種同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng)。
背景技術(shù):
在半導(dǎo)體封裝光刻設(shè)備及平板顯示光刻中,位置對(duì)準(zhǔn)裝置是非常重要的裝置之一,從結(jié)構(gòu)上講可將位置對(duì)準(zhǔn)裝置分為同軸位置對(duì)準(zhǔn)裝置和離軸位置對(duì)準(zhǔn)裝置兩大類。采用離軸位置對(duì)準(zhǔn)裝置可降低對(duì)光學(xué)投影系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、加工及裝校要求,其對(duì)準(zhǔn)方式經(jīng)常采用基于機(jī)器視覺技術(shù)的測(cè)量方法實(shí)現(xiàn),其中成像鏡頭是機(jī)器視覺系統(tǒng)的核心部件之一,其光學(xué)性能的優(yōu)劣將直接決定最終對(duì)準(zhǔn)測(cè)量精度的高低。一般地,高精度的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)需要在保證其圖像銳利度和較大的放大倍率以外,其照明均勻性需要小于5%而畸變最好小于0. 1%,當(dāng)然如果該系統(tǒng)同時(shí)又是雙遠(yuǎn)心系統(tǒng)的話,那么最后的測(cè)量精度將更能得到保證。在美國(guó)專利US5689602中,提出了一種同軸照明的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是照明光路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能量利用率高,缺點(diǎn)是該結(jié)構(gòu)的照明視場(chǎng)大小不可控制,成像系統(tǒng)中容易進(jìn)入雜散光,對(duì)相應(yīng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)消雜光要求和裝配要求會(huì)比較高。在美國(guó)專利US5715050中,提出了一種同軸照明雙遠(yuǎn)心光學(xué)測(cè)量系統(tǒng),這種系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是物象面位置誤差對(duì)測(cè)量精度影響低,但該系統(tǒng)的放大倍率低,照明面積大小不能控制,因此不能得到高的測(cè)量精度;并且它在雙遠(yuǎn)心成像系統(tǒng)后面還需要額外的光學(xué)系統(tǒng)來保證好的對(duì)比圖像,增加了設(shè)計(jì)成本和裝校難度。在美國(guó)專利US6639653B2中,提出了一種雙遠(yuǎn)心物鏡光學(xué)結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)當(dāng)運(yùn)用到小視場(chǎng)高倍率的系統(tǒng)中時(shí),結(jié)構(gòu)會(huì)顯得過于復(fù)雜,增加了系統(tǒng)成本和裝校難度。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提出一種同軸高倍率雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng),使光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單,在保證測(cè)量精度的同時(shí),減少系統(tǒng)的成本和實(shí)現(xiàn)難度。本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的。一種同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng),包括同軸照明系統(tǒng)、 成像系統(tǒng)和擋光元件,所述同軸照明系統(tǒng)從光源至物面方向沿光軸依次包括光源、照明物鏡組、分束元件和前組物鏡組,所述成像系統(tǒng)從物面至像面方向沿光軸依次包括所述前組物鏡組、所述分束元件和后組物鏡組,所述擋光元件用于限制所述同軸照明系統(tǒng)和所述成像系統(tǒng)光束的大小,所述同軸照明系統(tǒng)和所述擋光元件構(gòu)成柯勒照明系統(tǒng),所述成像系統(tǒng)和所述擋光元件構(gòu)成雙遠(yuǎn)心成像系統(tǒng)。其中,所述擋光元件為第一孔徑光闌,設(shè)置于所述前組物鏡組和所述分束元件之間。其中,所述擋光元件包括第一孔徑光闌和第二孔徑光闌,所述第一孔徑光闌設(shè)置于所述照明物鏡組和所述分束元件之間,所述第二孔徑光闌設(shè)置于所述分束元件和所述后組物鏡組之間。優(yōu)選地,所述前組物鏡組從物面至像面方向沿光軸依次包括正光焦度的第一透鏡、負(fù)光焦度的第二透鏡、正光焦度的第三透鏡、正光焦度的第四透鏡、負(fù)光焦度的第五透鏡,滿足如下條件0. 5 ^ f2/f4 ^ 1. 5,0. 5 ^ f3/f4 ^ 1. 5,0. 5 ^ f5/f4 ^ 1. 5,0. 5 ^ f6/ f4 ( 1. 5.n3-n2 > 0. 1, n3_n4 > 0. 1, n3_n5 > 0. 1 ;n6-n2 > 0. 1, n6_n4 > 0. 1, n6_n5 > 0. 1 ;其中f2,f3,f4,f5,f6分別對(duì)應(yīng)第一到第五透鏡的焦距,n2, n3, n4, n5, n6分別對(duì)應(yīng)第一到第五透鏡所使用材料的折射率。其中,所述第一透鏡為平凸透鏡,所述第二透鏡為凸凹透鏡,所述第三透鏡為雙凸透鏡,所述第四透鏡為平凸透鏡,所述第五透鏡為雙凹透鏡。其中,所述分束元件由兩個(gè)直角棱鏡膠合組成。其中,上述兩個(gè)直角棱鏡之一的斜面上鍍有用于對(duì)50%的光束進(jìn)行反射,對(duì)50% 的光束進(jìn)行透射的薄膜。優(yōu)選地,所述后組物鏡組從物面至像面方向沿光軸依次包括負(fù)光焦度的第六透鏡和正光焦度的第七透鏡。其中,所述第六透鏡為雙凹透鏡,第七透鏡為凹凸透鏡。優(yōu)選地,所述照明物鏡組從光源至物面方向沿光軸依次包括第八透鏡、第九透鏡、 第三孔徑光闌、第十透鏡、第十一透鏡和第十二透鏡。其中,所述光源和所述第一孔徑光闌共軛,所述第三孔徑光闌和所述物面共軛。其中,所述第三孔徑光闌是一可變光闌,控制照明面積的大小。其中,所述第八透鏡為正光焦度,第九透鏡為負(fù)光焦度,第十透鏡為負(fù)光焦度,第十一透鏡為正光焦度,第十二透鏡為正光焦度。其中,所述第八透鏡為平凸透鏡,第九透鏡為雙凹透鏡,第十透鏡為平凹透鏡,第十一透鏡為平凸透鏡,第十二透鏡為平凸透鏡。其中,所述第八透鏡為正光焦度,第九透鏡為負(fù)光焦度,第十透鏡為正光焦度,第十一透鏡為正光焦度,第十二透鏡為負(fù)光焦度。其中,所述第八透鏡為雙凸透鏡,第九透鏡為平凹透鏡,第十透鏡為凹凸透鏡,第十一透鏡為平凸透鏡,第十二透鏡為凸凹透鏡。其中,所述光源是鹵素?zé)艋蛘週ED或者引導(dǎo)鹵素?zé)艋蛘週ED光能的光纖。其中,所述照明物鏡組還包括用于改變光線傳播方向的棱鏡或反射鏡。其中,在物面和前組物鏡組之間還設(shè)置有改變光束傳播方向的棱鏡或反射鏡。其中,所述物面為近紅外散射面或硅片前表面。其中,像面接收器為電荷耦合器件CCD或者互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體CMOS攝像機(jī)。本發(fā)明光學(xué)系統(tǒng)的照明方式采用的是同軸柯勒照明,而成像系統(tǒng)采用的是高倍率雙遠(yuǎn)心成像系統(tǒng),優(yōu)點(diǎn)如下1)采用同軸柯勒照明方式,可以得到很高的照明均勻性,使成像圖像有好的對(duì)比度,最終提高整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度。
2)采用同軸柯勒照明方式,在柯勒照明系統(tǒng)中的視場(chǎng)光闌上放置可變光闌,可以控制被照物面的照明面積大小,以達(dá)到控制整個(gè)系統(tǒng)的雜散光,保證測(cè)量精度的作用;這樣,對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)的消雜光要求會(huì)比較低,可以減小光學(xué)系統(tǒng)的裝校難度。3)成像系統(tǒng)采用高倍率雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),可以提供高的測(cè)量精度。4)成像系統(tǒng)的畸變小于0. 1%,可以提供高的測(cè)量精度。5)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,減少了系統(tǒng)的成本和實(shí)現(xiàn)難度。6)成像系統(tǒng)采用了一種適用于高倍率小視場(chǎng)的全新的非對(duì)稱型的雙遠(yuǎn)心光學(xué)結(jié)構(gòu),可以減小鏡片數(shù)量,節(jié)約成本。
圖1為本發(fā)明光學(xué)系統(tǒng)實(shí)施圖2為本發(fā)明光學(xué)系統(tǒng)實(shí)施圖3為本發(fā)明光學(xué)系統(tǒng)實(shí)施圖4為本發(fā)明光學(xué)系統(tǒng)實(shí)施圖5為本發(fā)明光學(xué)系統(tǒng)實(shí)施圖6為本發(fā)明光學(xué)系統(tǒng)實(shí)施
J1的同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖; J1中同軸照明系統(tǒng)的照明均勻性; J1中成像系統(tǒng)的畸變圖; J2的同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖; J3的同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖; J4的同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的具體實(shí)施例。本發(fā)明一種同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng),照明系統(tǒng)采用了照明均勻性好且更容易控制雜散光的柯勒照明系統(tǒng),而成像系統(tǒng)采用了非對(duì)稱型的小畸變高倍率雙遠(yuǎn)心系統(tǒng)?;诖?,本發(fā)明提供的同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng)可以得到比背景技術(shù)高的測(cè)量精度和較低的機(jī)械設(shè)計(jì)裝配難度,并且能減少成像系統(tǒng)的成本。如圖1所示,本發(fā)明的成像光學(xué)系統(tǒng)包括同軸照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和擋光元件,其中前組物鏡組G1、孔徑光闌AS和分束元件L7為同軸照明系統(tǒng)和成像系統(tǒng)所共用,光源、照明物鏡組G2、分束元件L7、孔徑光闌AS和前組物鏡組Gl組成柯勒照明系統(tǒng)為物面提供均勻性很好的照明,孔徑光闌ID可控制物面被照明的面積;而前組物鏡組G1、孔徑光闌AS、分束元件L7和后組物鏡組G3組成小畸變高倍率雙遠(yuǎn)心成像系統(tǒng)。實(shí)施例1如圖1所示,本實(shí)施例一種同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng)包括同軸照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和擋光元件,所述的同軸照明系統(tǒng)從光源至物面方向沿光軸依次包括光源、照明物鏡組 G2,分束元件L7和前組物鏡組G1,對(duì)物面進(jìn)行均勻照明。所述擋光元件在該實(shí)施例中為孔徑光闌AS,位于所述分束元件L7和前組物鏡組Gl之間,為所述同軸照明系統(tǒng)和所述成像系統(tǒng)所共用。所述的光源可以為鹵素?zé)?、LED、傳導(dǎo)鹵素?zé)艋騆ED光能的光纖。本實(shí)施例中采用的照明光源為近紅外光源,有效波長(zhǎng)為IOOOnm到1300nm。所述的照明物鏡組G2從光源至物面方向沿光軸依次包括平凸透鏡L15、雙凹透鏡L14、孔徑光闌ID和平凹透鏡L13、平凸透鏡L11、平凸透鏡LlO組成,平凸透鏡L15為正光焦度、雙凹透鏡L14為負(fù)光焦度、平凹透鏡L13為負(fù)光焦度、平凸透鏡Lll為正光焦度、平凸透鏡LlO為正光焦度。該同軸照明系統(tǒng)和孔徑光闌AS構(gòu)成柯勒照明系統(tǒng),光源和孔徑光闌AS共軛,孔徑光闌ID和物面(被照明面)共軛。而孔徑光闌ID可以是可變光闌,可以根據(jù)需要用可變光闌控制柯勒照明系統(tǒng)照明面積大小,從而達(dá)到控制系統(tǒng)雜散光的目的。所述的分束元件L7由兩個(gè)直角棱鏡膠合組成,在其中一個(gè)直角棱鏡斜面上鍍有用于對(duì)50 %的光束進(jìn)行反射,50 %的光束進(jìn)行透射的薄膜,進(jìn)行反射和投射的光束比例可以選擇其他數(shù)值,比如40%和60%等,這可以通過選擇合適的薄膜來實(shí)現(xiàn)。所述的孔徑光闌AS,用于限制光路中光束的大小,具體是限制接收光源出射光線的發(fā)散角度,以及限制用于成像的光束發(fā)散角度。所述的前組物鏡組Gl從物面至光源方向沿光軸依次包括平凸透鏡L2、凸凹透鏡L3、雙凸透鏡L4、平凸透鏡L5和雙凹透鏡L6,采用的光焦度依次為正光焦度、負(fù)光焦度、正光焦度、正光焦度、負(fù)光焦度,該前組物鏡組Gl主要校正系統(tǒng)中的球差和軸上色差,用于對(duì)照明光束進(jìn)行會(huì)聚以及對(duì)成像光束進(jìn)行會(huì)聚。所述的前組物鏡Gl滿足如下條件0. 5 ^ f2/f4 ^ 1. 5,0. 5 ^ f3/f4 ^ 1. 5,0. 5 ^ f5/f4 ^ 1. 5,0. 5 ^ f6/ f4 ( 1. 5.n3-n2 > 0. 1, n3_n4 > 0. 1, n3_n5 > 0. 1 ;n6-n2 > 0. 1, n6_n4 > 0. 1, n6_n5 > 0. 1 ;其中f2,f3, f4, f5, f6 分別對(duì)應(yīng)著透鏡 L2,L3,L4,L5,L6 的焦距;n2,n3,n4,n5,n6 分別對(duì)應(yīng)著透鏡L2,L3,L4,L5,L6所使用材料的折射率(Nd)。所述的成像系統(tǒng)從物面至像面方向沿光軸依次包括前組物鏡組G1、分束元件L7 和后組物鏡組G3。前組物鏡組G1、孔徑光闌AS、分束元件L7和后組物鏡組G3組成小畸變高倍率雙遠(yuǎn)心成像系統(tǒng)。其中,所述成像系統(tǒng)和所述同軸照明系統(tǒng)共用所述前組物鏡組G1、 所述孔徑光闌AS、所述分束棱鏡L7。所述后組物鏡組G3從物面至像面方向沿光軸依次包括雙凹透鏡L8和凹凸透鏡L9,光焦度依次為負(fù)光焦度、正光焦度,該后組物鏡組G3用于對(duì)前組物鏡組Gl會(huì)聚的光線進(jìn)行擴(kuò)大,其光焦度的分配由系統(tǒng)的放大倍率決定,并校正放大過程中產(chǎn)生的畸變。像面接收器一般為電荷耦合器件CCD或者互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體CMOS 攝像機(jī)。本實(shí)施例1中,上述各透鏡表面的曲率半徑,透鏡的中心厚度,透鏡所采用的材料及透鏡有效口徑均列在表1中。表1中的具體數(shù)據(jù)是按照一個(gè)照明光纖端面直徑為4mm,放大倍率為-1倍和物面照明均勻性小于5%的設(shè)計(jì)所得到的結(jié)果。最終設(shè)計(jì)得到的照明系統(tǒng)的照明均勻性如圖2所示,經(jīng)計(jì)算得到該系統(tǒng)的照明均勻性為1. 2%,滿足照明均勻性小于 5%的設(shè)計(jì)要求。在表1中,朝向光源一側(cè)的為光學(xué)元件前表面,朝向被照明面(物面)的為光學(xué)元件的后表面,從光源沿光軸至物面,曲率半徑中心朝向物面一側(cè)的曲率半徑為正, 曲率半徑中心朝向光源一側(cè)的曲率半徑為負(fù)。
權(quán)利要求
1.一種同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng),包括同軸照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和擋光元件,其特征在于所述同軸照明系統(tǒng)從光源至物面方向沿光軸依次包括光源、照明物鏡組、分束元件和前組物鏡組,所述成像系統(tǒng)從物面至像面方向沿光軸依次包括所述前組物鏡組、所述分束元件和后組物鏡組,所述擋光元件用于限制所述同軸照明系統(tǒng)和所述成像系統(tǒng)光束的大小, 所述同軸照明系統(tǒng)和所述擋光元件構(gòu)成柯勒照明系統(tǒng),所述成像系統(tǒng)和所述擋光元件構(gòu)成雙遠(yuǎn)心成像系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于,所述擋光元件為第一孔徑光闌,設(shè)置于所述前組物鏡組和所述分束元件之間。
3.如權(quán)利要求1所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于,所述擋光元件包括第一孔徑光闌和第二孔徑光闌,所述第一孔徑光闌設(shè)置于所述照明物鏡組和所述分束元件之間,所述第二孔徑光闌設(shè)置于所述分束元件和所述后組物鏡組之間。
4.如權(quán)利要求1至3之一所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述前組物鏡組從物面至像面方向沿光軸依次包括正光焦度的第一透鏡、負(fù)光焦度的第二透鏡、正光焦度的第三透鏡、正光焦度的第四透鏡、負(fù)光焦度的第五透鏡,滿足如下條件0. 5^ I f2/f4 ^ 1. 5,0. 5^ I f3/f4 ^ 1. 5,0. 5^ | f5/f4 ^ 1. 5,0. 5^ | f6/f41 ^ 1. 5.n3_n2 > 0. 1, n3_n4 > 0. 1, n3_n5 > 0. 1 ;n6-n2 > 0. 1, n6-n4 > 0. 1, n6_n5 > 0. 1 ;其中f2,f3,f4,f5,f6分別對(duì)應(yīng)第一到第五透鏡的焦距,n2, n3, n4, n5, n6分別對(duì)應(yīng)第一到第五透鏡所使用材料的折射率。
5.如權(quán)利要求4所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述第一透鏡為平凸透鏡,所述第二透鏡為凸凹透鏡,所述第三透鏡為雙凸透鏡,所述第四透鏡為平凸透鏡,所述第五透鏡為雙凹透鏡。
6.如權(quán)利要求1所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述分束元件由兩個(gè)直角棱鏡膠合組成。
7.如權(quán)利要求6所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于,上述兩個(gè)直角棱鏡之一的斜面上鍍有用于對(duì)50%的光束進(jìn)行反射,對(duì)50%的光束進(jìn)行透射的薄膜。
8.如權(quán)利要求1至3之一所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述后組物鏡組從物面至像面方向沿光軸依次包括負(fù)光焦度的第六透鏡和正光焦度的第七透鏡。
9.如權(quán)利要求8所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于,所述第六透鏡為雙凹透鏡,第七透鏡為凹凸透鏡。
10.如權(quán)利要求2或3所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于,所述照明物鏡組從光源至物面方向沿光軸依次包括第八透鏡、第九透鏡、第三孔徑光闌、第十透鏡、第十一透鏡和第十二透鏡。
11.如權(quán)利要求10所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述光源和所述第一孔徑光闌共軛,所述第三孔徑光闌和所述物面共軛。
12.如權(quán)利要求10所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述第三孔徑光闌是一可變光闌,控制照明面積的大小。
13.如權(quán)利要求12所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述第八透鏡為正光焦度,第九透鏡為負(fù)光焦度,第十透鏡為負(fù)光焦度,第十一透鏡為正光焦度,第十二透鏡為正光焦度。
14.如權(quán)利要求13所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述第八透鏡為平凸透鏡,第九透鏡為雙凹透鏡,第十透鏡為平凹透鏡,第十一透鏡為平凸透鏡,第十二透鏡為平凸透鏡。
15.如權(quán)利要求12所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述第八透鏡為正光焦度,第九透鏡為負(fù)光焦度,第十透鏡為正光焦度,第十一透鏡為正光焦度,第十二透鏡為負(fù)光焦度。
16.如權(quán)利要求15所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述第八透鏡為雙凸透鏡,第九透鏡為平凹透鏡,第十透鏡為凹凸透鏡,第十一透鏡為平凸透鏡,第十二透鏡為凸凹透鏡。
17.如權(quán)利要求1所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述光源是鹵素?zé)艋蛘週ED或者引導(dǎo)鹵素?zé)艋蛘週ED光能的光纖。
18.如權(quán)利要求1所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述照明物鏡組還包括用于改變光線傳播方向的棱鏡或反射鏡。
19.如權(quán)利要求1所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于在物面和前組物鏡組之間還設(shè)置有改變光束傳播方向的棱鏡或反射鏡。
20.如權(quán)利要求1所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于所述物面為近紅外散射面或硅片前表面。
21.如權(quán)利要求1所述的成像光學(xué)系統(tǒng),其特征在于像面接收器為電荷耦合器件CCD或者互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體CMOS攝像機(jī)。
全文摘要
一種同軸雙遠(yuǎn)心成像光學(xué)系統(tǒng),包括同軸照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和擋光元件,前組物鏡組和分束元件為同軸照明系統(tǒng)和成像系統(tǒng)所共用,光源、照明物鏡組、分束元件和前組物鏡組組成同軸照明系統(tǒng),上述同軸照明系統(tǒng)和擋光元件構(gòu)成柯勒照明系統(tǒng),為物面提供均勻性很好的照明;前組物鏡組、分束元件、后組物鏡組和擋光元件構(gòu)成小畸變高倍率雙遠(yuǎn)心成像系統(tǒng)。本發(fā)明可以得到很高的照明均勻性,使成像圖像有好的對(duì)比度,最終提高整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度。同時(shí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,減少了系統(tǒng)的成本和實(shí)現(xiàn)難度。
文檔編號(hào)G02B13/22GK102346291SQ20101024268
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月2日
發(fā)明者徐兵, 楊曉青, 蔡巍, 陳躍飛 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司