專利名稱：感光性樹脂組合物、固化膜、固化膜的形成方法、有機(jī)el顯示裝置以及液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、固化膜、固化膜的形成方法、有機(jī)EL顯示裝置以 及液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
在有機(jī)EL顯示裝置或液晶顯示裝置等中設(shè)置有經(jīng)圖案形成得到的層間絕緣膜。 為了形成該層間絕緣膜，從用于獲得所需的圖案形狀的工序數(shù)少并且能夠獲得充分的平坦 性的角度出發(fā)，廣泛地使用感光性樹脂組合物。使用上述感光性樹脂組合物進(jìn)行圖案形成得到的層間絕緣膜或平坦化膜要求是 不僅透明性而且耐溶劑性也優(yōu)異的、可靠性高的固化膜。作為這樣的感光性樹脂組合物，例如，專利文獻(xiàn)1中提出了一種感光性樹脂組合 物，其具有(A)可溶于堿性水溶液的樹脂和(B)感放射線性產(chǎn)酸化合物，所述樹脂是(a) 不飽和羧酸或不飽和羧酸酐、(b)具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物和(C)其他的自由基 聚合性化合物的共聚物。作為能夠確保感光性樹脂組合物所需的保存穩(wěn)定性、感度、所形成的固化膜的高 的可靠性(透明性、耐溶劑性)的感光性樹脂組合物，例如已知下述感放射線性樹脂組合 物，其含有下述樹脂和通過放射線的照射能夠產(chǎn)生PKa為4. 0以下的酸的化合物，所述樹脂 是具有縮醛結(jié)構(gòu)或縮酮結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合 物和其他的自由基聚合性化合物的共聚物(例如參照專利文獻(xiàn)2)。已知一種感放射線性樹脂組合物，其含有下述樹脂、光產(chǎn)酸劑和交聯(lián)劑，所述樹脂 是被特定的縮醛結(jié)構(gòu)保護(hù)的對羥基苯乙烯化合物、未被保護(hù)的對羥基苯乙烯化合物的共聚 物(例如參照日本專利文獻(xiàn)3)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開平5-165214號公報專利文獻(xiàn)2 日本專利第4207604號公報專利文獻(xiàn)3 日本特開2008-304902號公報上述的專利文獻(xiàn)1 3所記載的技術(shù)中，還未見有在確保具有保存穩(wěn)定性和高感 度、且所形成的固化膜的可靠性(透明性、耐溶劑性等)高的同時，顯影邊界(顯影寬容度) 也寬的感光性樹脂組合物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的課題在于提供一種保存穩(wěn)定性、感度和顯影邊界(顯影寬容 度)優(yōu)異的感光性樹脂組合物，利用該組合物能夠獲得透明性和耐溶劑性優(yōu)異的固化膜。 本發(fā)明的另一課題在于提供具備以利用該感光性樹脂組合物形成的固化膜為層間絕緣膜 的、可靠性和生產(chǎn)率高的有機(jī)EL顯示裝置以及液晶顯示裝置。
其中，“顯影寬容度”是指在顯影工序中，即使顯影條件如下述(1)、(2)或(3)那 樣發(fā)生變動，也能夠形成得到的與未曝光部對應(yīng)的顯影圖案不會發(fā)生溶脹或膜厚損失的良 好的顯影圖案。(1)顯影液濃度比最適濃度高或低(2)顯影液溫度比最適溫度高或低。(3)顯影時間比最適時間長或短。其中，上述的“最適”是指感光性組合物的已成為標(biāo)準(zhǔn)的特定顯影條件。本發(fā)明的上述課題通過下述的<1>、<13>、<14>、<15>、<17>或<18>中記載的手段 得以解決。這些手段與其優(yōu)選的實施方式即<2> <12>和<16> —起記述如下。<1> 一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有㈧共聚物、⑶光產(chǎn)酸劑以及(C) 溶劑，所述(A)共聚物含有具有酚性羥基的單體單元(1)，具有羧基被酸分解性基團(tuán)保護(hù) 而成的殘基的單體單元、或具有酚性羥基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元(2)， 和具有3元環(huán)和/或4元環(huán)的環(huán)狀醚殘基的單體單元(3)。<2>根據(jù)<1>中所述的感光性樹脂組合物，其為化學(xué)放大正型感光性樹脂組合物。<3>根據(jù)<1>或<2>中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述㈧共聚物中的所述 單體單元( 具有羧基或酚性羥基被叔烷基保護(hù)而成的殘基、或具有羧基或酚性羥基被縮 醛或縮酮保護(hù)而成的殘基。<4>根據(jù)<1> <3>任一項中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述㈧共聚物中 的所述單體單元( 具有羧基或酚性羥基被下述式(a)表示的叔烷基保護(hù)而成的殘基、或 具有羧基或酚性羥基被下述式(b)表示的縮醛或縮酮保護(hù)而成的殘基；
權(quán)利要求
1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)共聚物、(B)光產(chǎn)酸劑以及(C)溶劑， 所述(A)共聚物含有具有酚性羥基的單體單元(1)，具有羧基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的 殘基的單體單元、或具有酚性羥基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元O)，和具有 3元環(huán)和/或4元環(huán)的環(huán)狀醚殘基的單體單元(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其為化學(xué)放大正型感光性樹脂組合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)共聚物中的所述單體單 元(2)具有羧基或酚性羥基被叔烷基保護(hù)而成的殘基、或具有羧基或酚性羥基被縮醛或縮 酮保護(hù)而成的殘基。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)共聚物中的所述單體單 元(2)具有羧基或酚性羥基被下述式(a)表示的叔烷基保護(hù)而成的殘基、或具有羧基或酚性羥基被下述式(b)表示的縮醛或縮酮保護(hù)而成的殘基；
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)共聚物中的所述單體單 元⑴由下述式⑵表示；
6.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，所述(A)共聚物中的所述單體單元 (1)由下述式⑶表示；
7.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)共聚物中的所述單體 單元(3)具有選自下述式(3a-l)、(3a-2)、(3a_3)、(3b_l)和/或(3b_2)表示的環(huán)狀醚殘 基；
8.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)光產(chǎn)酸劑為通過照射波長為300nm 450nm的活性光線而生成酸的化合物。
9.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)光產(chǎn)酸劑為具有下述式(4) 表示的肟磺酸酯殘基的化合物；
10.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)光產(chǎn)酸劑為式(0S-3)、式 (0S-4)或式(OS-幻表示的化合物；
11.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)光產(chǎn)酸劑為下述式(5)表 示的化合物；
12.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其進(jìn)一步含有(D)抗氧化劑。
13.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其進(jìn)一步含有(E)交聯(lián)劑。
14.一種固化膜，其是通過對權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物施予光和/或熱而形成的
15.一種固化膜的形成方法，其包含下述工序(1)將權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物涂布到基板上的涂布工序、(2)從已涂布的感光性樹脂組合物中除去溶劑的溶劑除去工序、(3)用活性放射性進(jìn)行曝光的曝光工序、(4)用水性顯影液進(jìn)行顯影的顯影工序、和(5)進(jìn)行熱固化的后烘焙工序。
16.一種固化膜，其是通過權(quán)利要求15中所述的方法形成的。
17.根據(jù)權(quán)利要求14中所述的固化膜，其為層間絕緣膜。
18.一種有機(jī)EL顯示裝置，其具備權(quán)利要求14、16或17中所述的固化膜。
19.一種液晶顯示裝置，其特征在于，其具備權(quán)利要求14、16或17中所述的固化膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種保存穩(wěn)定性、感度和顯影邊界(顯影寬容度)優(yōu)異的感光性樹脂組合物，利用該組合物能夠獲得透明性和耐溶劑性優(yōu)異的固化膜。所述感光性樹脂組合物的特征在于，其含有(A)共聚物、(B)光產(chǎn)酸劑以及(C)溶劑，所述(A)共聚物含有具有酚性羥基的單體單元(1)，具有羧基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元、或具有酚性羥基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元(2)，和具有3元環(huán)和/或4元環(huán)的環(huán)狀醚殘基的單體單元(3)。
文檔編號G03F7/00GK102043335SQ20101051172
公開日2011年5月4日 申請日期2010年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月16日
發(fā)明者山田悟, 河邊保雅, 疋田政憲 申請人:富士膠片株式會社