專利名稱：光罩抬取器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種光罩抬取器，特別是一種以抬取裝置將光罩抬升后，再以一滑動(dòng)件將光罩取出的裝置，用以取代傳統(tǒng)以?shī)A取光罩的方式，大幅降低其定位時(shí)間及可能因夾取而使光罩產(chǎn)生破裂的風(fēng)險(xiǎn)。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(OpticalLithography)扮演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattern)定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透光的光罩(Photo mask) 0利用曝光原理，則光源通過(guò)光罩投影至硅晶圓(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩上的塵埃顆粒(如微粒、粉塵或有機(jī)物)都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對(duì)潔凈，因此在一般的晶圓制程中，都提供無(wú)塵室(clean room)的環(huán)境以避免空氣中的顆粒污染。此外，靜電也是對(duì)于光罩表面圖案造成破壞的另一項(xiàng)重要因素，靜電的產(chǎn)生主要來(lái)自于無(wú)塵室中的空氣，或是來(lái)自于工程人員的工作服。由于靜電有可能產(chǎn)生相當(dāng)于700V 的電壓，因此其電壓可能會(huì)使光罩表面的圖案改變或破壞。而在半導(dǎo)體制程當(dāng)中，光罩的使用是非常頻繁的，因此在拿取光罩的過(guò)程中，工程人員手套上的微粒也會(huì)因此附著在光罩表面而造成污染，或是工作服上的靜電經(jīng)由手套接觸而傳導(dǎo)至光罩，使光罩造成電荷集中的現(xiàn)象，間接產(chǎn)生致使光罩損壞的另一隱憂。因此，要解決因人體本身或工作服上所帶有的靜電而導(dǎo)致光罩損壞的隱憂，最為簡(jiǎn)便的方式即為使用光罩夾來(lái)夾取光罩，以進(jìn)行半導(dǎo)體制程、目式檢測(cè)光罩或清洗光罩等步驟。中國(guó)臺(tái)灣專利TW556959即揭露一種適用于夾取一光罩的光罩夾，請(qǐng)參考圖6，此光罩
夾持器由一握把1、一固定夾持臂2、一活動(dòng)夾持臂3、一復(fù)位元件4組成。握把1包含一連接端12 及一握持端14 ；連接端12分別與固定夾持臂2以及活動(dòng)夾持臂3結(jié)合。上述固定夾持臂2 包含一固定端22以及一第一夾持端24 ；其中，固定端22與握把1的連接端12相互結(jié)合固定，而第一夾持端24上設(shè)有一夾持墊6，用以?shī)A持該光罩9的第一側(cè)邊91。上述活動(dòng)夾持臂3包含一第二夾持端34、一控制端36以及一樞接部32。其中，第二夾持端34上設(shè)有一夾持墊6，用以?shī)A持光罩的第二側(cè)邊92，通過(guò)利用光罩夾持器第一夾持端24及第二夾持端 34上的夾持墊6夾取第一側(cè)邊91及第二側(cè)邊92的方式，來(lái)夾取光罩。然而，現(xiàn)有的光罩夾持器是以兩個(gè)夾持墊6進(jìn)行定位并夾持光罩，對(duì)位時(shí)必須同時(shí)對(duì)準(zhǔn)光罩的第一側(cè)邊91及第二側(cè)邊92，精準(zhǔn)完成對(duì)位之后才能利用光罩夾做夾持動(dòng)作，因此不僅定位時(shí)須耗費(fèi)較多的時(shí)間，機(jī)動(dòng)性也較差，此外，利用光罩夾的兩個(gè)夾持墊6夾持光罩時(shí)，如夾取方位稍有不慎， 容易使光罩破裂，而增加成本的損失。而傳統(tǒng)的光罩夾通常是以計(jì)算機(jī)數(shù)值化控制(CNC)的加工方式進(jìn)行制作，因此所需加工的時(shí)間較長(zhǎng)，制作成本也會(huì)因此相對(duì)提高，而以CNC方式制作的光罩夾，也會(huì)具有一定的重量，因此工程人員若長(zhǎng)期使用此一光罩夾，不僅會(huì)對(duì)手部造成長(zhǎng)期的負(fù)荷外，也可能會(huì)因手部長(zhǎng)期處于施力握壓的狀態(tài)，而造成手部使用過(guò)度或疲累現(xiàn)象產(chǎn)生，使得光罩夾持作業(yè)產(chǎn)生另一變量。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的一主要目的在于提供一種光罩抬取器，以一抬取裝置將光罩抬升后，再以滑動(dòng)件將光罩取出的裝置，大幅降低其定位時(shí)間。本發(fā)明的另一主要目的在于提供一種光罩抬取器，以一抬取裝置將光罩抬升后， 再以滑動(dòng)件將光罩取出的裝置，大幅降低其因夾取而使光罩產(chǎn)生破裂的風(fēng)險(xiǎn)。本發(fā)明的又一主要目的在于提供一種光罩抬取器，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可使以光罩抬取器抬取一光罩時(shí)，具有較佳的穩(wěn)定度。本發(fā)明的再一主要目的在于提供一種光罩抬取器，提供一導(dǎo)靜電裝置，可將光罩抬取器上的靜電導(dǎo)出，以避免靜電經(jīng)由傳導(dǎo)作用導(dǎo)致金屬線破壞，間接改變光罩的圖案。依據(jù)上述目的，本發(fā)明提供一種光罩抬取器，其包括一接觸部，是由一連接桿、一左右相對(duì)的外定位桿及一左右相對(duì)的內(nèi)定位桿所組成，該左右相對(duì)的外定位桿具有一開(kāi)放端以及相對(duì)于開(kāi)放端的另一端則連接于該連接桿的第一端上，而該左右相對(duì)的內(nèi)定位桿配置于該對(duì)外定位桿內(nèi)側(cè)，并保持一間隙，具有一開(kāi)放端以及相對(duì)于開(kāi)放端的另一端則連接于該連接桿的第一端上。一滑動(dòng)部，具有一前表面與相對(duì)于前表面的后表面，該前表面相鄰配置于該連接桿的第二端，一對(duì)貫穿孔配置于該滑動(dòng)部的兩側(cè)邊上且該對(duì)貫穿孔由該前表面貫穿至該后表面。一左右相對(duì)的導(dǎo)桿，配置于該滑動(dòng)部的該對(duì)貫穿孔中，每一該導(dǎo)桿的第一端均與該連接桿的第二端固接，而其第二端則凸出于該滑動(dòng)部的該后表面。一左右相對(duì)的滑動(dòng)軌，配置于該對(duì)內(nèi)定位桿的內(nèi)側(cè)邊上，該對(duì)滑動(dòng)軌上具有一承接面，且該對(duì)滑動(dòng)軌具有一第一端及一相該第一端的第二端，而該第一端為一自由端，第二端為連接端。一抬升機(jī)構(gòu)，配置于該滑動(dòng)部中，其第一端與該對(duì)滑動(dòng)軌的該第二端連接，而其第二端與一升降旋鈕連接。本發(fā)明接著提供一種配置于光罩抬取器上的導(dǎo)靜電插座，其包括一接觸部，是由一連接桿、一左右相對(duì)的外定位桿及一左右相對(duì)的內(nèi)定位桿所組成，該左右相對(duì)的外定位桿具有一開(kāi)放端以及相對(duì)于開(kāi)放端的另一端則連接于該連接桿的第一端上，而該左右相對(duì)的內(nèi)定位桿配置于該對(duì)外定位桿內(nèi)側(cè)，并保持一間隙，具有一開(kāi)放端以及相對(duì)于開(kāi)放端的另一端則連接于該連接桿的第一端上。一滑動(dòng)部，具有一前表面與相對(duì)于前表面的后表面，該前表面相鄰配置于該連接桿的第二端，一對(duì)貫穿孔配置于該滑動(dòng)部的兩側(cè)邊上且該對(duì)貫穿孔由該前表面貫穿至該后表面。一左右相對(duì)的導(dǎo)桿，配置于該滑動(dòng)部的該對(duì)貫穿孔中，每一該導(dǎo)桿的第一端均與該連接桿的第二端固接，而其第二端則凸出于該滑動(dòng)部的該后表面。一左右相對(duì)的滑動(dòng)軌，配置于該對(duì)內(nèi)定位桿的內(nèi)側(cè)邊上，該對(duì)滑動(dòng)軌上具有一承接面，且該對(duì)滑動(dòng)軌具有一第一端及一相該第一端的第二端，而該第一端為一自由端。一抬升機(jī)構(gòu)，配置于該滑動(dòng)部中，其第一端與該對(duì)滑動(dòng)軌的該第二端連接， 而其第二端與一升降旋鈕連接。一導(dǎo)靜電插座，配置于滑動(dòng)部上。本發(fā)明的有益效果經(jīng)由本發(fā)明所提供的設(shè)計(jì)，可大幅降低夾取光罩時(shí)所需的定位時(shí)間及可能因夾取而造成的損壞，并降低接觸所產(chǎn)生的靜電。


圖1為本發(fā)明的光罩抬取器示意圖；圖2為本發(fā)明的滑動(dòng)軌與外、內(nèi)定位桿的前端的放大示意圖；圖3為本發(fā)明的滑動(dòng)部與外、內(nèi)定位桿的后端的放大示意圖；圖4為本發(fā)明滑動(dòng)部的抬升機(jī)構(gòu)的剖面示意圖；圖5A為本發(fā)明的光罩抬取器滑入光罩承座的示意圖；圖5B為本發(fā)明的光罩抬取器取出光罩的示意圖；及圖6為一種傳統(tǒng)的光罩取出器的示意圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明1 握把(現(xiàn)有技術(shù))2 固定夾持臂(現(xiàn)有技術(shù))3 活動(dòng)夾持臂(現(xiàn)有技術(shù))4 復(fù)位元件(現(xiàn)有技術(shù))6 夾持墊(現(xiàn)有技術(shù))9 光罩(現(xiàn)有技術(shù))12 連接端(現(xiàn)有技術(shù))14 握持端(現(xiàn)有技術(shù))22 固定端(現(xiàn)有技術(shù))24 第一夾持端(現(xiàn)有技術(shù))32 樞接部(現(xiàn)有技術(shù))34 第二夾持端(現(xiàn)有技術(shù))36 控制端(現(xiàn)有技術(shù))91 第一側(cè)邊(現(xiàn)有技術(shù))92 第二側(cè)邊(現(xiàn)有技術(shù))10 接觸部11 連接桿12 外定位桿121 外定位桿的開(kāi)放端123 第一夾持面125 定位桿旋鈕13 內(nèi)定位桿131 內(nèi)定位桿的開(kāi)放端133 第二夾持面135 凸出內(nèi)緣20 滑動(dòng)部201 導(dǎo)桿旋鈕203 導(dǎo)靜電插座
205升降旋鈕21前表面23后表面25貫穿孔30導(dǎo)桿31止動(dòng)元件50滑動(dòng)軌51自由端52防滑元件53承接面54連接端60抬升機(jī)構(gòu)61滑動(dòng)元件611滑動(dòng)元件的前端613 滑動(dòng)元件的后端615 第一坡面63 升降元件631 升降元件的前端633 升降元件的后端635 第二坡面637 彈性元件70 光罩80 光罩承座81 溝槽
具體實(shí)施例方式由于本發(fā)明揭露一種拿取光罩的光罩抬取器，特別是利用一種抬升裝置與滑動(dòng)裝置的光罩抬取器；其中所利用到的一些關(guān)于光罩、光罩承座、旋鈕、光罩抬取器上的導(dǎo)靜電插座，是利用現(xiàn)有技術(shù)來(lái)達(dá)成，故在下述說(shuō)明中，并不作完整描述。此外，于下述內(nèi)文中的圖式，亦并未依據(jù)實(shí)際的相關(guān)尺寸完整繪制，其作用僅在表達(dá)與本發(fā)明特征有關(guān)的示意圖。首先，請(qǐng)參閱圖1，為本發(fā)明的光罩抬取器示意圖。如圖1所示，光罩抬取器包括， 一接觸部10、一滑動(dòng)部20及一左右相對(duì)的導(dǎo)桿30所組成。接觸部10是由以一連接桿11 連接一左右相對(duì)的外定位桿12及一左右相對(duì)的內(nèi)定位桿13。在此要強(qiáng)調(diào)，接觸部10的連接桿11、左右相對(duì)的外定位桿12及左右相對(duì)的內(nèi)定位桿13可為組裝對(duì)象或一體成型的對(duì)象，本發(fā)明并不限定接觸部10的組成方式。左右相對(duì)的外定位桿12具有一開(kāi)放端121以及相對(duì)于開(kāi)放端的另一端則連接于連接桿10的第一端上，而左右相對(duì)的內(nèi)定位桿13具有一開(kāi)放端131以及相對(duì)于開(kāi)放端的另一端則連接于連接桿11的第一端上，且內(nèi)定位桿13 位于外定位桿12內(nèi)側(cè)，并保持一間隙，同時(shí)利用連接桿11的寬度使得一左右相對(duì)的內(nèi)定位桿13間保持一距離，例如此一距離接近一光罩的寬度。一滑動(dòng)部20，具有一前表面21以及相對(duì)于前表面21的后表面23，其中，滑動(dòng)部20的前表面21與連接桿11的第二端成相對(duì)配置，且滑動(dòng)部20的一左右兩端的側(cè)邊上各形成一貫穿孔25，此對(duì)貫穿孔25是由前表面21貫穿至后表面23。一左右相對(duì)的導(dǎo)桿30，配置于滑動(dòng)部20的左右兩端的貫穿孔25 中，此兩導(dǎo)桿30的第一端均與連接桿11的第二端固接；而兩導(dǎo)桿30的第二端則凸出于滑動(dòng)部20的后表面23，且凸出的第二端再配置一止動(dòng)元件31。特別要說(shuō)明，此一左右相對(duì)的導(dǎo)桿30，是由左右相對(duì)的外定位桿12的末端向后延伸，并貫穿滑動(dòng)部20的左右相對(duì)的貫穿孔25，且在延伸末端有一止動(dòng)元件31，此止動(dòng)元件31可防止滑動(dòng)部20自導(dǎo)桿30上脫落； 其中，滑動(dòng)部20可自由在導(dǎo)桿30上滑動(dòng)，且其滑動(dòng)位置介于滑動(dòng)部20的前表面21接觸于連接桿11至滑動(dòng)部20的后表面23接觸于止動(dòng)元件31處。本發(fā)明實(shí)施例的導(dǎo)桿30為圓桿，但本發(fā)明并不限定其導(dǎo)桿30的桿狀，只要是可讓滑動(dòng)部20滑動(dòng)的桿狀皆可應(yīng)用于本發(fā)明。此外，每一個(gè)內(nèi)定位桿13的內(nèi)側(cè)邊的下沿處均形成有一向內(nèi)側(cè)凸出的內(nèi)緣135(請(qǐng)參考圖2)；接著，一對(duì)滑動(dòng)軌50，配置于內(nèi)定位桿13的內(nèi)側(cè)邊并且與凸出內(nèi)緣135接觸，即每一滑動(dòng)軌50均依托在凸出內(nèi)緣135上；每一滑動(dòng)軌50具有一自由端51，且每一自由端51 的長(zhǎng)度均大于內(nèi)定位桿13，而相對(duì)自由端的另一端為一連接端54，則固接于滑動(dòng)部20的前表面21上。接著，請(qǐng)參閱圖2，為本發(fā)明的滑動(dòng)軌與外、內(nèi)定位桿的前端的放大示意圖。如圖 2所示，外定位桿12的開(kāi)放端121與內(nèi)定位桿13的開(kāi)放端131均為一 R角設(shè)計(jì)，此設(shè)計(jì)有助于在將外定位桿12與內(nèi)定位桿13滑入光罩承座80的溝槽81 (請(qǐng)參考圖5A)時(shí)，能順利且快速的滑入。光罩抬取器的滑動(dòng)軌50，具有一承接面53，例如形成一凹面的承接面；此夕卜，本發(fā)明也可在承接面53上的外側(cè)邊緣與前端進(jìn)一步配置一凸起的防滑元件52，此防滑元件52的功用在于，當(dāng)一光罩70置于左右相對(duì)的滑動(dòng)軌50時(shí)，其凸起的防滑元件52可防止光罩的滑落。本發(fā)明的外定位桿12、內(nèi)定位桿13與滑動(dòng)軌50，皆采用耐磨材質(zhì)，如聚醚醚酮(PEEK)，以降低滑動(dòng)軌50滑動(dòng)摩擦所產(chǎn)生的微粒，降低光罩可能產(chǎn)生的污染。接著，請(qǐng)參閱圖3，為本發(fā)明的滑動(dòng)部與外、內(nèi)定位桿的后端的放大示意圖。如圖3 所示，外定位桿12具有一第一夾持面123，內(nèi)定位桿13具有一第二夾持面133。而在相對(duì)于第一夾持面123的另一面上具有一定位桿旋鈕125。當(dāng)外定位桿12與內(nèi)定位桿13滑入光罩承座80的溝槽81時(shí)，可通過(guò)定位桿旋鈕125將外定位桿12的第一夾持面123與內(nèi)定位桿13的第二夾持面133夾緊，如將定位桿旋鈕125順時(shí)針旋轉(zhuǎn)即可鎖緊，反之，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)即可松開(kāi)，用以穩(wěn)定光罩抬取器放置在光罩承座80的穩(wěn)定度。而在滑動(dòng)部20的左右相對(duì)的貫穿孔25上方配置一導(dǎo)桿旋鈕201，當(dāng)滑動(dòng)部20滑動(dòng)至一定位時(shí)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)桿旋鈕201 (如順時(shí)針鎖緊，逆時(shí)針?biāo)砷_(kāi))，便可將滑動(dòng)部20定位在導(dǎo)桿30上。另外，本發(fā)明還可以在滑動(dòng)部20上配置一導(dǎo)靜電插座203，通過(guò)將插頭(未顯示于圖中)插入導(dǎo)靜電插座 203，便可將因工程人員或光罩承座80接觸光罩抬取器所產(chǎn)生的靜電導(dǎo)出，以保護(hù)載送光罩時(shí)，可能對(duì)光罩造成的損壞。再接著，請(qǐng)參閱圖4，為本發(fā)明滑動(dòng)部的抬升機(jī)構(gòu)的剖面示意圖。如圖4所示，本發(fā)明的抬升機(jī)構(gòu)60配置在滑動(dòng)部20內(nèi)部，其具有一滑動(dòng)元件61，滑動(dòng)元件61具有一前端 611與一后端613，且由前端611往上方處形成一第一坡面615 ；—升降元件63，其具有一前端631與一后端633，且由后端633往下方處形成一第二坡面635。第一坡面615與第二坡面635其坡面傾斜角度相同且為相同傾斜方向，其差別在于第一坡面615其坡面為向上，第二坡面635其坡面為向下，且第二坡面635的后端633部分疊至于第一坡面615上。而在滑動(dòng)元件61的后端613連接一升降旋鈕205 ；另在升降元件63的前端631則與左右相對(duì)的滑動(dòng)軌50固接(未顯示于圖中)。此抬升機(jī)構(gòu)60的實(shí)施方式為，將升降旋鈕205向前推并轉(zhuǎn)動(dòng)(如順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng))，這時(shí)滑動(dòng)元件61會(huì)往前移動(dòng)，并因其第一坡面615與第二坡面635交疊的關(guān)系，當(dāng)兩坡面交疊的面積越大，升降元件63則會(huì)越往上抬升，因此，進(jìn)而帶動(dòng)左右相對(duì)的滑動(dòng)軌50向上抬升。當(dāng)需要將滑動(dòng)軌50向下放下時(shí)，則將升降旋鈕205反方向轉(zhuǎn)動(dòng)(如逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng))，這時(shí)滑動(dòng)元件61便會(huì)往后移動(dòng)，而升降元件63便會(huì)因交疊面積減少，而往下降，在通過(guò)配置于上方的彈性元件637，輔助將升降元件63降回原位，升降元件63則帶動(dòng)將左右相對(duì)的滑動(dòng)軌50降下。再接著，請(qǐng)參閱圖5A與圖5B，為本發(fā)明在光罩承座上的實(shí)施示意圖。如圖5A所示，當(dāng)要將光罩70由光罩承座80上取下時(shí)，首先，將光罩抬取器的外定位桿12與內(nèi)地位桿 13(請(qǐng)參閱圖1)插入光罩承座80的溝槽81，并轉(zhuǎn)動(dòng)(順時(shí)針)定位桿旋鈕125將其鎖緊， 固定住光罩抬取器。接著滑動(dòng)滑動(dòng)部20至最前方與連接桿11 (請(qǐng)參閱圖1)接觸處，轉(zhuǎn)動(dòng) (順時(shí)針)導(dǎo)桿旋鈕201固定住滑動(dòng)部20。此時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)(順時(shí)針)升降旋鈕205，連動(dòng)滑動(dòng)部20內(nèi)部的抬升機(jī)構(gòu)60 (請(qǐng)參閱圖4)，帶動(dòng)左右相對(duì)的滑動(dòng)軌50，并將光罩70由光罩承座80上抬升起來(lái)。如圖5B所示，此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)(逆時(shí)針)導(dǎo)桿旋鈕201將滑動(dòng)部20松開(kāi)，并將滑動(dòng)部20往后滑動(dòng)至末端與止動(dòng)元件31接觸處。此時(shí)，光罩70已從光罩承座80中移出，接著只需將定位桿旋鈕205轉(zhuǎn)松(逆時(shí)針)，取出外定位桿12與內(nèi)定外桿13，再將滑動(dòng)部20移回前方以導(dǎo)桿旋鈕201固定住，即完成整個(gè)由光罩承座80中取出光罩70的流程。而反之，要將光罩70放入光罩承座80中時(shí)，其動(dòng)作皆與取出時(shí)相同，為一不同處為需反方向轉(zhuǎn)動(dòng)(逆時(shí)針)升降旋鈕205，連動(dòng)滑動(dòng)部20內(nèi)部的抬升機(jī)構(gòu)60，帶動(dòng)左右相對(duì)的滑動(dòng)軌50下降，并將光罩70由滑動(dòng)軌50上放置回光罩承座80上，其余步驟皆與前述取出光罩70相同，故不再重復(fù)贅述之。雖然本發(fā)明以前述的較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉相像技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的專利保護(hù)范圍須視本說(shuō)明書(shū)所附的申請(qǐng)專利范圍所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一光罩抬取器，其特征在于包括一接觸部，由一連接桿、一左右相對(duì)的外定位桿及一左右相對(duì)的內(nèi)定位桿所組成，該左右相對(duì)的外定位桿具有一開(kāi)放端以及相對(duì)于開(kāi)放端的另一端則連接于該連接桿的第一端上，而該左右相對(duì)的內(nèi)定位桿配置于該對(duì)外定位桿內(nèi)側(cè)，并保持一間隙，具有一開(kāi)放端以及相對(duì)于開(kāi)放端的另一端則連接于該連接桿的第一端上；一滑動(dòng)部，具有一前表面與相對(duì)于前表面的后表面，該前表面相鄰配置于該連接桿的第二端，一對(duì)貫穿孔配置于該滑動(dòng)部的兩側(cè)邊上且該對(duì)貫穿孔由該前表面貫穿至該后表面；一左右相對(duì)的導(dǎo)桿，配置于該滑動(dòng)部的該對(duì)貫穿孔中，每一該導(dǎo)桿的第一端均與該連接桿的第二端固接，而其第二端則凸出于該滑動(dòng)部的該后表面；一左右相對(duì)的滑動(dòng)軌，配置于該對(duì)內(nèi)定位桿的內(nèi)側(cè)邊上，該對(duì)滑動(dòng)軌上具有一承接面， 且該對(duì)滑動(dòng)軌具有一第一端及一相對(duì)該第一端的第二端，而該第一端為一自由端，第二端為連接端；及一抬升機(jī)構(gòu)，配置于該滑動(dòng)部中，其第一端與該對(duì)滑動(dòng)軌的該第二端連接，而其第二端與一升降旋鈕連接。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，每一該滑動(dòng)軌的長(zhǎng)度大于該對(duì)外定位桿及該對(duì)內(nèi)定位桿。
3.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該對(duì)內(nèi)定位桿上配置有一凸出內(nèi)緣。
4.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該對(duì)外定位桿進(jìn)一步配置一定位桿旋鈕。
5.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該滑動(dòng)部進(jìn)一步配置一導(dǎo)桿旋鈕，且該導(dǎo)桿旋鈕位于該左右相對(duì)的貫穿孔上方。
6.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該滑動(dòng)部進(jìn)一步配置一導(dǎo)靜電插座。
7.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該左右相對(duì)的滑動(dòng)軌的該承接面上的外側(cè)邊緣與前端進(jìn)一步配置一防滑元件。
8.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該左右相對(duì)的外定位桿與該左右相對(duì)的內(nèi)定位桿的開(kāi)放端為一R角設(shè)計(jì)。
9.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該左右相對(duì)的滑動(dòng)軌、左右相對(duì)的外定位桿及左右相對(duì)的內(nèi)定位桿，其材質(zhì)為耐磨的高分子材質(zhì)。
10.如權(quán)利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該抬升機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)包括一升降旋鈕，配置于該滑動(dòng)部的該后表面；一滑動(dòng)元件，配置于該滑動(dòng)部?jī)?nèi)部，具有一前端與一后端，且由該前端往上方處形成一第一坡面，且該后端與該升降旋鈕連接；及一升降元件，配置于該滑動(dòng)部?jī)?nèi)部，并配置于該滑動(dòng)元件的該前端的前方，具有一前端與一后端，且由該后端往下方處形成一第二坡面，且該第二坡面疊至于該第一坡面上；
11.如權(quán)利要求10所述的光罩抬取器，其特征在于，該升降元件上方配置一彈性元件。
全文摘要
本發(fā)明是一種光罩抬取器，為一種抬取裝置，該裝置將光罩抬升后，再以一滑動(dòng)件將光罩取出的裝置，用以取代傳統(tǒng)以?shī)A取光罩的方式，大幅降低其定位時(shí)間及可能因夾取而使光罩產(chǎn)生破裂的風(fēng)險(xiǎn)。
文檔編號(hào)G03F7/00GK102466974SQ20101053147
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者葛効松, 鐘信義 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司