專利名稱:一種標(biāo)記期望位置確定方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,具體而言,涉及一種基于獨立的多個不同波長對準(zhǔn)裝置的標(biāo)記最佳掃描位置確定方法。
背景技術(shù):
光刻裝置是制造集成電路的主要設(shè)備,其作用是使不同的掩膜圖案依次成像到基底(半導(dǎo)體硅片或IXD板)上的精確對準(zhǔn)的位置。然而這個對準(zhǔn)位置卻因為連續(xù)圖形所經(jīng)歷的物理和化學(xué)變化而改變,因此需要一個對準(zhǔn)系統(tǒng),以保證硅片對應(yīng)掩膜的對準(zhǔn)位置每次都能夠被精確的對準(zhǔn)。隨著基底每單位表面積上的電子元件數(shù)量的增長以及電子元件的尺寸合成越來越小,對集成電路的精度要求日益提高,因此依次掩膜成像在基底上的位置必須越來越準(zhǔn)確的固定,對光刻時對準(zhǔn)精度的要求也越來越高。美國專利第5243195號公開了一種對準(zhǔn)系統(tǒng)其中提及一種軸上對準(zhǔn)方式,這種對準(zhǔn)方式的優(yōu)點在于掩膜和基底可以直接被對準(zhǔn),但其缺點在于難以改進(jìn)到更高的精密度和準(zhǔn)確度,而且各種工藝步驟會引起對準(zhǔn)標(biāo)記變化,從而引入不對稱性和基底光柵標(biāo)記的溝槽有效深度的變化。這種現(xiàn)象導(dǎo)致工藝檢測不到光柵標(biāo)記,或在其他情況下僅提供微弱的信號,對準(zhǔn)系統(tǒng)穩(wěn)定性降低。為了解決這個問題,中國專利申請第03164858號公開了一種雙波長對準(zhǔn)系統(tǒng),包括具有第一波長和第二波長的對準(zhǔn)輻射源;具有第一波長通道和第二波長通道的檢測系統(tǒng),第一波長通道接收對準(zhǔn)標(biāo)記第一波長處的對準(zhǔn)輻射,第二波長通道接收對準(zhǔn)標(biāo)記第二波長處的對準(zhǔn)輻射;以及一個定位單元,用以根據(jù)在第一波長處檢測到的對準(zhǔn)輻射相對于在第二波長處檢測到的對準(zhǔn)輻射的相對強(qiáng)度來確定對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。但在該系統(tǒng)中,通過視覺標(biāo)定下發(fā)光源中心(光軸)照射標(biāo)記的位置(標(biāo)記掃描位置),無法精確確定衍射光源照射標(biāo)記的最佳標(biāo)記照射點,將影響各周期輻射信號的收集,進(jìn)而影響各周期的信號多重相關(guān)系數(shù),該系數(shù)直接影響最終對準(zhǔn)位置的精確性,從而增加拒片率并影響產(chǎn)率。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種基于獨立的多個不同波長對準(zhǔn)裝置的標(biāo)記最佳掃描位置確定方法。本發(fā)明的方法包括步驟1 確定掃描方向、光源波長后,獲得同波長下各周期各信號多重相關(guān)系數(shù) MCC,即大周期多重相關(guān)系數(shù)MCCb、中周期多重相關(guān)系數(shù)MCCm ;步驟2 大、中周期的信號多重相關(guān)系數(shù)MCCb、MCCm若均滿足MCC > 閾值 A則認(rèn)為信號多重相關(guān)系數(shù)檢驗滿足要求,直接進(jìn)入步驟3 ;否則認(rèn)為不滿足要求, 進(jìn)一步比較,大、中周期分別對應(yīng)的MCC值是否分別大于閾值C,再以默認(rèn)間距或設(shè)定間距進(jìn)行螺旋查找,重復(fù)步驟2直至滿足要求;
步驟3 判斷MCCb、MCCm是否滿足MCC > 閾值 B若都滿足,則直接進(jìn)入步驟5,若有任何一個不滿足,則首先判斷MCCb、MCCm兩者之間的大小關(guān)系,在掃描方向上將掃描位置向較小的MCC所對應(yīng)的標(biāo)記周期進(jìn)行調(diào)整;步驟4 再次判斷較小的MCC值是否滿足MCC > 閾值 B若滿足則認(rèn)為垂直掃描方向坐標(biāo)滿足要求,若不滿足,則在垂直掃描方向調(diào)整掃描位置,重復(fù)這一步驟,直至滿足上述條件;步驟5 輸出最終調(diào)整后的坐標(biāo),該坐標(biāo)為最佳掃描位置。其中,閾值B >閾值A(chǔ) >閾值C。其中,閾值B = 0. 9,閾值 λ = 0.7’ 閾值 C = 0. 4。其中,大、中周期分別對應(yīng)的MCC值皆大于閾值C和大、中周期分別對應(yīng)的任一 MCC 值不大于閾值C時默認(rèn)查找間距長度不一樣。其中,當(dāng)大、中周期分別對應(yīng)的MCC值皆大于閾值C時,默認(rèn)間距為標(biāo)記大周期長度。其中,當(dāng)大、中周期分別對應(yīng)的任一 MCC值不大于閾值C時,默認(rèn)間距為(大、中周期尺寸長度的最小公倍數(shù))/2。其中,掃描方向上的掃描位置調(diào)整距離和垂直掃描方向上的掃描位置調(diào)整距離分別為Ss= (SXMCC/MCC)^(掃 χ Se= (SXMCC/MCC) ^(垂 χ其中,MCC為大、中周期分別對應(yīng)的MCC值中的較小值;SxMCC為在基準(zhǔn)標(biāo)記上,根據(jù)工藝特點,選取相關(guān)距離,制定測量用的特定偏移點, 通過基準(zhǔn)標(biāo)記標(biāo)定測量獲得的周期特定偏移點的MCC值,該值在所有特定偏移點的MCC值中最接近實際測得的MCC值,角標(biāo)X,表示該點編號,該值通過數(shù)據(jù)測量和查表獲得;KfiX為該特定測試點在掃描方向距標(biāo)記中心點的距離;K11X為該特定測試點在垂直掃描方向距標(biāo)記中心點的距離。本發(fā)明通過獨立對準(zhǔn)多光源波長照射周期標(biāo)記獲得同波長下各周期各信號多重相關(guān)系數(shù)。利用選定波長照射標(biāo)記后獲得的各周期信號多重相關(guān)系數(shù)信息,通過參照基準(zhǔn)標(biāo)記的標(biāo)準(zhǔn)多重相關(guān)系數(shù),確定修正因子,計算調(diào)整標(biāo)記的掃描位置修正值,使標(biāo)記各周期各級次信號多重相關(guān)系數(shù)達(dá)到最優(yōu),獲得最佳的標(biāo)記掃描位置,進(jìn)而保證周期信號的優(yōu)良率和對準(zhǔn)精度的實現(xiàn)。
圖1所示為本發(fā)明使用的雙周期標(biāo)記的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2所示為螺旋查找及查找間距示意圖;圖3所示為光斑中心偏移在中周期光柵上時的示意圖;圖4所示為特定偏移點的MCC值和距離;圖5所示為垂直掃描方向坐標(biāo)偏移時的示意圖;圖6所示為光斑中心偏移在大周期光柵上時的示意圖5所示為垂直掃描方向坐標(biāo)偏移示意圖;圖8所示為光斑中心未偏移時的示意具體實施例方式下面,結(jié)合附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例。為了便于描述和突出顯示本發(fā)明,附圖中省略了現(xiàn)有技術(shù)中已有的相關(guān)部件,并將省略對這些公知部件的描述。本發(fā)明提供一種最佳掃描位置確定方法,該方法在多個不同波長對準(zhǔn)光源中,選定光源波長,確定標(biāo)記需要的掃描方向,使用選定波長照射標(biāo)記,如圖1所示,獲得選定光源波長照射各周期后的各信號多重相關(guān)系數(shù),檢測多重相關(guān)系數(shù)后并確認(rèn)是否需要重新查找后,根據(jù)多重相關(guān)系數(shù)與閾值的關(guān)系選擇對應(yīng)策略,通過參照標(biāo)記標(biāo)準(zhǔn)多重相關(guān)系數(shù),確定修正因子,計算調(diào)整標(biāo)記的掃描位置,使該方向各周期信號的多重相關(guān)系數(shù)達(dá)到最優(yōu),獲得標(biāo)記的最佳掃描位置。其中標(biāo)記為雙周期標(biāo)記,由大周期(B)、中周期(M)組成,選定光源波長,確定標(biāo)記需要執(zhí)行的掃描方向,獲得選定光源波長照射各周期后的各信號的多重相關(guān)系數(shù)(MCC),多重相關(guān)系數(shù)(MCC)表示測得信號與理想對準(zhǔn)標(biāo)記所預(yù)期的信號的相似程度。大周期的多重相關(guān)系數(shù)為MCCb,中周期的多重相關(guān)系數(shù)為MCCm。在獲得各周期的多重相關(guān)系數(shù)后,對各周期的多重相關(guān)系數(shù)(MCC)進(jìn)行閾值檢測,閾值檢測策略包括檢驗查找和位置修正兩部分。先確定大、中周期多重相關(guān)系數(shù)是否需要重新查找。若MCC<閾值A(chǔ)(例如,0.7),則需要重新查找。此時,進(jìn)一步判定大、中周期 MCC值是否大于閾值C(例如,0. 4),當(dāng)大中周期多重相關(guān)系數(shù)皆大于閾值C(例如,0. 4)時, 以現(xiàn)有掃描中心為起點,采用螺旋掃描查找的方式更換掃描中心點,如圖2所示,在該點按要求掃描方向掃描標(biāo)記,獲得新的各周期的多重相關(guān)系數(shù),并重新輸入進(jìn)行閾值檢測,直到各周期多重相關(guān)系數(shù)大于閾值A(chǔ) (例如,0. 7),結(jié)束檢驗查找過程。在該過程中,每次更換掃描的默認(rèn)間距為大周期長度,也可根據(jù)需要人工設(shè)置;當(dāng)大、中周期多重相關(guān)系數(shù)有一項不大于閾值C(例如,0.4)時,以現(xiàn)有掃描中心為起點,采用螺旋掃描查找的方式更換掃描中心點,在該點按要求掃描方向掃描標(biāo)記,獲得新的各周期的多重相關(guān)系數(shù),并重新輸入進(jìn)行閾值檢測,直到各周期多重相關(guān)系數(shù)大于閾值A(chǔ)(例如,0. 7),結(jié)束檢驗查找過程。在該過程中,每次更換掃描中心點的默認(rèn)間距為(大、中周期尺寸長度的最小公倍數(shù))/2,也可根據(jù)需要人工設(shè)置。閾值A(chǔ),閾值B,閾值C由相關(guān)工藝測試及數(shù)據(jù)積累獲得。當(dāng)MCC >閾值A(chǔ)時,不需重新查找,直接根據(jù)MCC值確定掃描位置修正策略。根據(jù) MCC值,可分為以下三種情形情形一大、中周期任一多重相關(guān)系數(shù),在閾值B (例如,0.9) > MCC >閾值A(chǔ) (例如,0.7)之間,且大周期的多重相關(guān)系數(shù)為(MCCb) <中周期的多重相關(guān)系數(shù)為(MCCm);情形二 大、中周期任一多重相關(guān)系數(shù),在閾值B (例如,0.9) > MCC >閾值A(chǔ) (例如,0.7)之間,且大周期的多重相關(guān)系數(shù)為(MCCb) >中周期的多重相關(guān)系數(shù)為(MCCm);情形三大、中周期多重相關(guān)系數(shù)MCC >閾值B (例如,0. 9)。當(dāng)大、中周期多重相關(guān)系數(shù)介于閾值B(例如,0.9)和閾值A(chǔ)(例如,0.7)之間,且 MCCb < MCCm時,可知中周期多重相關(guān)系數(shù)好于大周期多重相關(guān)系數(shù),即光軸中心并未在標(biāo)記中心,而是在中周期光柵上,如圖3所示,判定掃描中心點應(yīng)向大周期方向移動。移動距離通過以下公式計算獲得Ss= (SXMCCB/MCCB)*K 掃 χ其中Ss 表示在掃描方向移動的距離;MCCb 實際測得的大周期多重相關(guān)系數(shù)(MCC)值;SxMCCb 在基準(zhǔn)標(biāo)記上,根據(jù)工藝特點,選取相關(guān)距離,制定測量用的特定偏移點, 通過基準(zhǔn)標(biāo)記標(biāo)定測量獲得的周期特定偏移點的MCC值,如圖4所示,并記錄存儲,經(jīng)過查找,該值在所有特定偏移點的MCC值中最接近實際測得的MCC值;角標(biāo)X,表示該點編號,角標(biāo)B表示為大周期,中周期用M表示;KfiX 該特定測試點在掃描方向距標(biāo)記中心點的距離。移動掃描中心距離后,執(zhí)行掃描,獲得新的大、中周期多重相關(guān)系數(shù)(MCC),若大周期的多重相干系數(shù)MCCb >閾值B(例如,0. 9)則輸出該坐標(biāo)位置,此位置為該方向掃描的最佳掃描位置。若大周期的多重相干系數(shù)MCCb <閾值B(例如,0.9),則判定光軸在垂直于該標(biāo)記的掃描方向,存在偏移,如圖5所示,需要調(diào)整垂直掃描方向的坐標(biāo),根據(jù)以下公式計算獲得移動距離Se= (SXMCCB/MCCB)*K 垂 χ其中,Se 表示在垂直掃描方向移動的距離;MCCb 實際測得的大周期多重相關(guān)系數(shù)(MCC)值;SxMCCb 在基準(zhǔn)標(biāo)記上,根據(jù)工藝特點,選取相關(guān)距離,制定測量用的特定偏移點, 通過基準(zhǔn)標(biāo)記標(biāo)定測量獲得的周期特定偏移點的MCC值,如圖4所示,并記錄存儲,經(jīng)過查找,該值在所有特定偏移點的MCC值中最接近實際測得的MCC值;角標(biāo)X,表示該點編號,角標(biāo)B表示為大周期,中周期用M表示;Κβχ 該特定測試點在垂直掃描方向距標(biāo)記中心點的距離。調(diào)整后,掃描,獲得新的大周期多重相關(guān)系數(shù)MCCb,如果MCCb >閾值B (例如,0. 9) 則輸出該坐標(biāo)位置,此位置為該方向掃描的最佳掃描下發(fā)位置。若沒有,重復(fù)垂直掃描方向距離調(diào)整過程。當(dāng)大、中周期多重相關(guān)系數(shù)介于閾值B(例如,0.9)和閾值A(chǔ)(例如,0.7)之間,且大、中周期多重相干系數(shù)(MCC)滿足MCCb > MCCm時,可知大周期多重相關(guān)系數(shù)好于中周期多重相關(guān)系數(shù),即光軸中心并未在標(biāo)記中心,而是在大周期光柵上,如圖6所示,判定掃描中心點應(yīng)向中周期方向移動。移動距離通過以下公式計算獲得
Ss= (SxMCCm/MCCm) *K 掃 χ其中,Ss:表示在掃描方向移動的距離;MCCm 實際測得的中周期多重相關(guān)系數(shù)(MCC)值;SxMCCm 在基準(zhǔn)標(biāo)記上,根據(jù)工藝特點,選取相關(guān)距離,制定測量用的特定偏移點, 通過基準(zhǔn)標(biāo)記標(biāo)定測量獲得的周期特定偏移點的MCC值,如圖4所示,并記錄存儲,經(jīng)過查找,該值在所有特定偏移點的MCC值中最接近實際測得的MCC值;角標(biāo)X,表示該點編號,角標(biāo)B表示為大周期,中周期用M表示;KfiX 該特定測試點在掃描方向距標(biāo)記中心點的距離。移動掃描中心距離后,執(zhí)行掃描,獲得新的大、中周期多重相關(guān)系數(shù)(MCC),若中周期的多重相干系數(shù)MCCm>閾值B(例如,0. 9)則輸出該坐標(biāo)位置,此位置為該方向掃描的最佳掃描位置。若中周期的多重相干系數(shù)MCCm <閾值B(例如,0.9),則判定光軸在垂直于該標(biāo)記的掃描方向的方向上存在偏移,如圖7所示,需要調(diào)整垂直掃描方向的坐標(biāo),根據(jù)以下公式計算獲得移動距離Se= (SxM(Xm/M(Xm)氺!(垂 χS11 表示在掃描方向移動的距離MCCm 實際測得的中周期多重相關(guān)系數(shù)(MCC)值SxMCCm 在基準(zhǔn)標(biāo)記上,根據(jù)工藝特點,選取相關(guān)距離,制定測量用的特定偏移點, 通過基準(zhǔn)標(biāo)記標(biāo)定測量獲得的周期特定偏移點的MCC值,如圖4所示,并記錄存儲,經(jīng)過查找,該值在所有特定偏移點的MCC值中最接近實際測得的MCC值;角標(biāo)X,表示該點編號,角標(biāo)B表示為大周期,中周期用M表示。Κβχ 該特定測試點在垂直掃描方向距標(biāo)記中心點的距離調(diào)整后,進(jìn)行掃描,獲得新的中周期多重相關(guān)系數(shù)MCCm,如果MCCm >閾值B (例如, 0. 9)則輸出該坐標(biāo)位置,此位置為該方向掃描的最佳掃描下發(fā)位置。若沒有,重復(fù)垂直掃描方向距離調(diào)整過程。當(dāng)大、中周期MCC >閾值B(例如,0.9)時,坐標(biāo)不需要調(diào)整,如圖8所示,該坐標(biāo)為該方向掃描的最佳掃描位置。下面通過三個實施例具體描述三種情形下的不同的處理步驟。第一實施例在本實施例中以波長632um的紅光和波長533um的綠光為不同波長照射光源,采用雙周期標(biāo)記。步驟1 確定掃描方向為X向、光源波長為紅光后,掃描獲得紅光波長下大、中周期的信號多重相關(guān)系數(shù)MCCb、MCCm。步驟2 判斷大、中周期的信號多重相關(guān)系數(shù)MCCB、MCCm關(guān)系,兩者若滿足MCCb < 閾值 A ;MCCm < 閾值 A則認(rèn)為信號多重相關(guān)系數(shù)檢驗不滿足要求,應(yīng)使用螺旋查找,并判斷查找間距。進(jìn)一步比較,若MCCb <閾值C、MCCm >閾值C,可知查找默認(rèn)間距為(大、中周期尺寸長度的最小公倍數(shù))/2,將查找掃描后的大、中周期信號的多重相關(guān)系數(shù)進(jìn)一步檢測,重復(fù)這一步驟, 直至滿足要求。步驟3 查找后,若獲得的大、中周期信號相關(guān)系數(shù)具有下述關(guān)系閾值B > MCCb > 閾值 AMCCm > 閾值 BMCCb < MCCm則認(rèn)為掃描位置需要向大周期調(diào)整,根據(jù)掃描方向距離修正公式(Ss= (SxMCCb/ MCCb)*Kf3χ)計算標(biāo)記掃描位置的修正值,并按修正值移動。步驟4:掃描方向距離調(diào)整后,再次掃描,若獲得的大、中周期信號相關(guān)系數(shù)情況如下閾值B > MCCb > 閾值 AMCCm > 閾值 B
MCCB < MCCM則認(rèn)為垂直掃描方向的坐標(biāo)需要調(diào)整,根據(jù)垂直掃描方向移動距離公式(S11 = (SxMCCB/MCCB)*Kex)計算標(biāo)記垂直掃描位置的修正值·,并調(diào)整。重復(fù)上述步驟,直至調(diào)整后再次掃描所獲得的大、中周期信號相關(guān)系數(shù)情況滿足MCCB > 閾值 BMCCM > 閾值 B則認(rèn)為垂直掃描方向坐標(biāo)調(diào)整滿足要求。步驟5 輸出最終調(diào)整后的坐標(biāo),該坐標(biāo)為最佳掃描位置。第二實施例本實施例以波長632um的紅光和波長533um的綠光為不同波長照射光源,采用雙周期標(biāo)記。步驟1 確定掃描方向為X向、光源波長為紅光后,掃描獲得紅光波長下大、中周期的信號多重相關(guān)系數(shù)MCCB、MCCM。步驟2 經(jīng)判斷,若大、中周期的信號多重相關(guān)系數(shù)MCCB、MCCm關(guān)系如下MCCb > 閾值 A ;MCCm > 閾值 A則認(rèn)為信號多重相關(guān)系數(shù)滿足檢驗要求,不需要重新查找。步驟3 若獲得的大、中周期信號相關(guān)系數(shù)情況如下閾值B > MCCB > 閾值 AMCCm > 閾值 BMCCb < MCCm則認(rèn)為掃描位置需要向大周期調(diào)整,根據(jù)掃描方向距離修正公式(Ss= (SXMCCB/ MCCb)*Kf3χ)計算標(biāo)記掃描位置的修正值,并按修正值移動。步驟4:掃描方向距離調(diào)整后,再次掃描,若獲得的大、中周期信號相關(guān)系數(shù)情況如下MCCB > 閾值 BMCCM > 閾值 B則認(rèn)為垂直掃描方向的坐標(biāo)不需要調(diào)整,垂直掃描方向坐標(biāo)調(diào)整滿足要求。步驟5 輸出最終調(diào)整后的坐標(biāo),該坐標(biāo)為最佳掃描位置。第三實施例本實施例以波長632um的紅光和波長533um的綠光為不同波長照射光源,采用雙周期標(biāo)記。步驟1 確定掃描方向為X向、光源波長為紅光后,掃描獲得紅光波長下大、中周期的信號多重相關(guān)系數(shù)MCCB、MCCM。步驟2 經(jīng)判斷,若大、中周期的信號多重相關(guān)系數(shù)MCCB、MCCm關(guān)系如下MCCb > 閾值 A ;MCCm > 閾值 A則認(rèn)為信號多重相關(guān)系數(shù)滿足檢驗要求,不需要重新查找,滿足要求后,選擇修正策略。步驟3 查找后,若獲得的大、中周期信號相關(guān)系數(shù)情況如下
MCCB > 閾值 BMCCm > 閾值 B則認(rèn)為大、中周期信號多重相關(guān)系數(shù)滿足要求,不需計算標(biāo)記掃描位置的修正值。步驟4 因掃描方向多重相關(guān)系數(shù)合格,故認(rèn)為垂直掃描方向的坐標(biāo)不需要調(diào)整, 垂直掃描方向坐標(biāo)調(diào)整滿足要求。步驟5 輸出最終調(diào)整后的坐標(biāo),該坐標(biāo)為最佳掃描位置。本說明書中所述的只是本發(fā)明的幾種較佳具體實施例,以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對本發(fā)明的限制。凡本領(lǐng)域技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思通過邏輯分析、 推理或者有限的實驗可以得到的技術(shù)方案,皆應(yīng)在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種標(biāo)記最佳掃描位置確定方法,具有如下步驟步驟1 確定掃描方向、光源波長后,獲得同波長下各周期各信號多重相關(guān)系數(shù)MCCdP 大周期多重相關(guān)系數(shù)MCCb、中周期多重相關(guān)系數(shù)MCCm ;步驟2 大、中周期的信號多重相關(guān)系數(shù)MCCB、MCCm若均滿足 MCC >閾值A(chǔ)則認(rèn)為信號多重相關(guān)系數(shù)檢驗滿足要求,直接進(jìn)入步驟3 ;否則認(rèn)為不滿足要求,進(jìn)一步比較,大、中周期對應(yīng)的MCC值是否大于閾值C,再以默認(rèn)間距或設(shè)定間距進(jìn)行螺旋查找, 重復(fù)步驟2直至滿足要求;步驟3 判斷MCQ、MCCm是否滿足 MCC >閾值B若都滿足,則直接進(jìn)入步驟5,若有任何一個不滿足,則首先判斷兩者之間的大小關(guān)系, 在掃描方向上將掃描位置向較小的MCC所對應(yīng)的標(biāo)記進(jìn)行調(diào)整; 步驟4 再次判斷MCCb、MCCm中較小的MCC值是否滿足 MCC >閾值B若滿足則認(rèn)為垂直掃描方向坐標(biāo)滿足要求,若不滿足,則在垂直掃描方向調(diào)整掃描位置,重復(fù)這一步驟,直至滿足上述條件;步驟5 輸出最終調(diào)整后的坐標(biāo),該坐標(biāo)為最佳掃描位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,閾值B>閾值A(chǔ) >閾值C。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中,閾值B= 0. 9,閾值A(chǔ) = 0. 7,閾值C = 0. 4。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,大、中周期分別對應(yīng)的MCC值皆大于閾值C時和大、中周期任一 MCC值不大于閾值C時的默認(rèn)查找間距不一樣。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其中,當(dāng)大、中周期分別對應(yīng)的MCC值皆大于閾值C時, 默認(rèn)間距為標(biāo)記大周期長度。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其中,當(dāng)大、中周期分別對應(yīng)的任一MCC值不大于閾值 C時,默認(rèn)間距為(大、中周期尺寸長度的最小公倍數(shù))/2。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任意一個所述的方法,其中,掃描方向上的掃描位置調(diào)整距離和垂直掃描方向上的掃描位置調(diào)整距離分別為Sfi= (SXMCC/MCC) *Kf3x Se= (SXMCC/MCC) *Κβχ 其中,MCC為大、中周期分別對應(yīng)的MCC值中的較小值;SxMCC為在基準(zhǔn)標(biāo)記上,根據(jù)工藝特點,選取相關(guān)距離,制定測量用的特定偏移點,通過基準(zhǔn)標(biāo)記標(biāo)定測量獲得的周期特定偏移點的MCC值,該值在所有特定偏移點的MCC值中最接近實際測得的MCC值,角標(biāo)X,表示該點編號,該值通過數(shù)據(jù)測量和查表獲得; KfiX為該特定測試點在掃描方向距標(biāo)記中心點的距離; K11X為該特定測試點在垂直掃描方向距標(biāo)記中心點的距離。
全文摘要
一種用于基于獨立的多個不同波長對準(zhǔn)裝置的標(biāo)記最佳掃描位置確定方法,在確定掃描方向、光源波長后,獲得同波長下大周期多重相關(guān)系數(shù)MCCB和中周期多重相關(guān)系數(shù)MCCM,根據(jù)MCC值判斷是否需要重新查找,再根據(jù)MCC值和閾值的大小關(guān)系判斷是否需要在掃描方向和垂直掃描方向上進(jìn)行位置調(diào)整,最終得到最佳掃描位置。
文檔編號G03F7/20GK102566337SQ20101061905
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月28日
發(fā)明者李運鋒, 韓悅 申請人:上海微電子裝備有限公司