專利名稱：一種具有標尺結(jié)構(gòu)的彩色濾光基板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示面板領(lǐng)域，尤其涉及液晶顯示面板中彩色濾光基板的結(jié)構(gòu)及其制造方法，具體地說，涉及到在生產(chǎn)過程中遮光圖案層(BM層)與彩色濾光層(RGB層) 之間重疊量的監(jiān)測。
背景技術(shù)：
近年來，液晶顯示不僅在信息通訊裝置，甚至一般的電器中也迅速得到了普及。液晶顯示的主要部件是液晶顯示面板，其中的彩色濾光基板是對顯示質(zhì)量非常重要的關(guān)鍵部件之一，其結(jié)構(gòu)一般包括透明玻璃基板、遮光圖案層、彩色濾光層、公用電極層以及間隔柱等。其中彩色濾光層在覆蓋到遮光圖案層的開口區(qū)域時，在技術(shù)上要求兩者之間有一定的重疊量。其結(jié)構(gòu)請參見圖1所示，圖1示出了一個像素結(jié)構(gòu)。如圖所示，遮光圖案層101具有一開口區(qū)域102，彩色濾光層103(該彩色濾光層為紅色濾光層、藍色濾光層或綠色濾光層之一)覆蓋在該開口區(qū)域102上，并且其四周與遮光圖案層101有一定的重疊量。
在透明玻璃基板上形成遮光圖案層與彩色濾光層的方法通常采用光阻涂布的顏料分散法，即首先將液態(tài)光阻涂布在玻璃基板表面，然后通過帶有指定圖案的曝光掩膜板， 使用近接式曝光機進行曝光，再經(jīng)過顯影及烘烤過程形成預設的圖案。圖2示意性地示出了該曝光過程。
隨著液晶顯示器行業(yè)的不斷發(fā)展，彩色濾光基板的尺寸不斷增加，因此，相應地在曝光過程中使用的曝光掩膜板尺寸也會隨之增大。當彩色濾光基板的尺寸增大至G5(即 1100*1300cm)及以上時，曝光時掩膜板會由于重力而不可避免地產(chǎn)生彎曲(bending)，造成曝光后圖形線幅面內(nèi)分布不均勻，引起遮光圖案層與彩色濾光層重疊區(qū)域的偏移，進行造成彩色像素牛角(Timo)分布不均勻，或者PS高度偏差，偏移嚴重時(即遮光圖案與彩色濾光層的重疊量為0)，還會產(chǎn)生漏光。
為了避免以上問題的產(chǎn)生，提高彩色濾光基板產(chǎn)品的品質(zhì)，在彩色濾光基板實際生產(chǎn)過程中需要監(jiān)測遮光圖案層與彩色濾光層的重疊量，并根據(jù)其偏移情況及時作出調(diào)整。已有技術(shù)中通常使用顯微測長儀來測量上述重疊量，即分別測量遮光圖案層邊緣與彩色濾光層邊緣的位置，通過計算得到其重疊偏移量。這種傳統(tǒng)的方式需要花費較長時間，而且需要購買專用的大型在線顯微測長儀，不利于在線控制同時也增加了成本。發(fā)明內(nèi)容
基于背景技術(shù)中存在的上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種彩色濾光基板，在基板上形成有確認遮光圖案層與彩色濾光層的重疊偏移量的標尺結(jié)構(gòu)，通過這種標尺結(jié)構(gòu)可以使制造者通過目視直接和簡便地確認遮光圖案層與彩色濾光層的重疊偏移量，從而快速、方便且經(jīng)濟地控制和調(diào)整遮光圖案層與彩色濾光層的套合精度，提高彩濾光基板的品質(zhì)。
本發(fā)明還同時提供一種制造上述具有標尺結(jié)構(gòu)的彩色濾光基板的制造方法。
根據(jù)上述目的，本發(fā)明提供一種彩色濾光基板，包括
透明玻璃基板；
遮光圖案層，位于所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上，所述遮光圖案層具有開口區(qū)域；
彩色濾光層，位于所述遮光圖案層的開口區(qū)域上，并與所述遮光圖案層重疊；
多列水平標尺遮光圖案層，沿水平方向以相等間距分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，所述水平標尺遮光圖案層具有開口區(qū)域；
多列水平標尺彩色濾光層，多列所述水平標尺彩色濾光層之間以不等的水平間距分別覆蓋于多列所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域上；
多行垂直標尺遮光圖案層，沿垂直方向以相等間距分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，所述垂直標尺遮光圖案層具有開口區(qū)域；
多行垂直標尺彩色濾光層，多行所述垂直標尺彩色濾光層以不同的垂直間距分別覆蓋于多行所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域上。
在所述的彩色濾光基板中，所述水平標尺彩色濾光層的寬度小于所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的寬度；所述垂直標尺彩色濾光層的高度小于所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的高度。
在所述的彩色濾光基板中，多列所述水平標尺彩色濾光層的寬度相等；多行所述垂直標尺彩色濾光層的高度相等。
在所述的彩色濾光基板中，所述水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的左右兩側(cè)之間留有間隙，其中一列所述水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的左右兩側(cè)之間的間隙相等，稱為水平基準圖案列；在所述水平基準圖案列兩側(cè)的相鄰所述水平標尺彩色濾光層之間的間距如下式P(n) P7M+(|n卜1)A，其中η為所述水平標尺彩色濾光層的列號，A為最小水平偏移量，Ρ*ο為最小間距，P(η)氷為第η列和第η-1列水平基準圖案之間的間距，所述水平基準圖案列左側(cè)的所述水平標尺彩色濾光層的列號按與離所述水平基準圖案列的距離分別為-1、-2、-3···，所述水平基準圖案列右側(cè)的所述水平標尺彩色濾光層的列號按與離所述水平基準圖案列的距離分別為1、2、3···；
所述垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的上下兩側(cè)之間留有間隙，其中一行所述垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的上下兩側(cè)之間的間隙相等，稱為垂直基準圖案行，在所述垂直基準圖案行兩側(cè)的相鄰所述垂直標尺彩色濾光層之間的間距P11如下式P(m) β= Pe Jdm卜1)Β其中m為所述垂直標尺彩色濾光層的行號，B為最小垂直偏移量，PΛ^為最小間距，P(m) Λ為第m行和第m-1行水平基準圖案之間的間距，所述垂直基準圖案行上側(cè)的所述垂直標尺彩色濾光層的行號按與離所述垂直基準圖案行的距離分別為-1、-2、-3···，所述垂直基準圖案行下側(cè)的所述垂直標尺彩色濾光層的行號按與離所述垂直基準圖案行的距離分別為1、2、3…。
在所述的彩色濾光基板中，所述最小水平偏移量和所述最小垂直偏移量的范圍為 0. 3-0. 7 μ m。
在所述的彩色濾光基板，所述最小水平偏移量和所述最小垂直偏移量為0. 5μπι。
在所述的彩色濾光基板中，所述水平標尺遮光圖案層的列數(shù)在20-30列之間；所述垂直標尺遮光圖案層的行數(shù)在20-30行之間。
根據(jù)上述目的，本發(fā)明還提供一種彩色濾光基板制造方法，包括如下步驟
提供一透明玻璃基板；
在所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上形成遮光圖案層，在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上沿水平方向以相等間距形成多列水平標尺遮光圖案層和沿垂直方向以相等間距形成多行垂直標尺遮光圖案層；所述遮光圖案層、所述水平標尺遮光圖案層和所述垂直標尺遮光圖案層均具有開口區(qū)域；以及
在所述遮光圖案層的開口區(qū)域上形成彩色濾光層，并與所述遮光圖案層重疊；在多列所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域上形成水平標尺彩色濾光層，并使多列所述水平標尺彩色濾光層之間的水平間距不等；在多行所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域上形成垂直標尺彩色濾光層，并使多行垂直標尺彩色濾光層之間的垂直間距不等。
在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述水平標尺彩色濾光層的寬度小于所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的寬度；所述垂直標尺彩色濾光層的高度小于所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的高度。
在所述的彩色濾光基板的制造方法中，多列所述水平標尺彩色濾光層的寬度相等；多行所述垂直標尺彩色濾光層的高度相等。
在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的左右兩側(cè)之間留有間隙，其中一列所述水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的左右兩側(cè)之間的間隙相等，稱為水平基準圖案列；在所述水平基準圖案列兩側(cè)的相鄰所述水平標尺彩色濾光層之間的間距如下式P(n)#=P7M+(|n卜1)A，其中η為所述水平標尺彩色濾光層的列號， A為最小水平偏移量，Ρ7Κ0為最小間距，P(η) #為第η列和第η_1列水平基準圖案之間的間距，所述水平基準圖案列左側(cè)的所述水平標尺彩色濾光層的列號按與離所述水平基準圖案列的距離分別為-1、-2、-3···，所述水平基準圖案列右側(cè)的所述水平標尺彩色濾光層的列號按與離所述水平基準圖案列的距離分別為1、2、3…；
所述垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的上下兩側(cè)之間留有間隙，其中一行所述垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的上下兩側(cè)之間的間隙相等，稱為垂直基準圖案行，在所述垂直基準圖案行兩側(cè)的相鄰所述垂直標尺彩色濾光層之間的間距P11如下式P(m) β= Pe Jdm卜1)Β其中m為所述垂直標尺彩色濾光層的行號，B為最小垂直偏移量，PΛ^為最小間距，P(m) Λ為第m行和第m-1行水平基準圖案之間的間距，所述垂直基準圖案行上側(cè)的所述垂直標尺彩色濾光層的行號按與離所述垂直基準圖案行的距離分別為-1、-2、-3···，所述垂直基準圖案行下側(cè)的所述垂直標尺彩色濾光層的行號按與離所述垂直基準圖案行的距離分別為1、2、3…。
在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述最小水平偏移量和所述最小垂直偏移量的范圍為0. 3-0. 7 μ m。
在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述最小水平偏移量和所述最小垂直偏移量為0. 5 μ m。
在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述水平標尺遮光圖案層的列數(shù)在20-30 列之間；所述垂直標尺遮光圖案層的行數(shù)在20-30行之間。


圖1示意性的示出了傳統(tǒng)的彩色濾光基板中遮光圖案層與彩色濾光層的結(jié)構(gòu)；
圖2是采用光阻涂布顏料分散法形成遮光圖案層與彩色濾光層的示意圖3是本發(fā)明的彩色濾光基板的示意圖4是本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的標尺結(jié)構(gòu)的示意圖5是本發(fā)明的在形成遮光圖案層和彩色濾光層的過程中發(fā)生水平偏移的效果圖6是本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的另一種標尺結(jié)構(gòu)的示意圖7是本發(fā)明的在形成遮光圖案層和彩色濾光層的過程中發(fā)生垂直偏移的效果圖。
具體實施方式
以下將結(jié)合附圖，詳細描述本發(fā)明的實施例。但是，應當理解，以下所示的實施例是為使本發(fā)明的技術(shù)思路具體化而進行的舉例說明，并非特指本發(fā)明。沒有脫離本發(fā)明專利申請的范圍所示的技術(shù)思路，均可同等地應用在各種變形例子上。
圖3從整體上示意性的示出了彩色濾光基板的示意圖。如圖3所示，根據(jù)最終切割成的顯示面板的大小，整塊彩色濾光基板包含有多個顯示區(qū)域301，在顯示區(qū)域301之外， 都為非顯示區(qū)域。在本發(fā)明中，在顯示區(qū)域301內(nèi)形成遮光圖案層和彩色濾光層的結(jié)構(gòu)仍與傳統(tǒng)技術(shù)相同，但在非顯示區(qū)域302中，本發(fā)明作了改進，即在彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302內(nèi)形成本發(fā)明的標尺結(jié)構(gòu)。下面將結(jié)合圖4-圖7描述本發(fā)明在非顯示區(qū)域302內(nèi)形成的標尺結(jié)構(gòu)以及形成方法。
請參見圖4，圖4局部地示出了本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的一種標尺結(jié)構(gòu)。如圖4所示，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿水平方向先形成多列水平標尺遮光圖案層401，相鄰水平標尺遮光圖案層401之間的間距相等，每列水平標尺遮光圖案層401通?？梢园辽僖恍幸陨?。在圖4的局部示意圖中，示出了三行遮光圖案層，但應當理解，這僅是示例，具體的行數(shù)可以根據(jù)需要而變化。水平標尺遮光圖案層 401的列數(shù)可以根據(jù)彩色濾光基板的大小而定，一般取20-30列，然后在其它位置上重復這組水平標尺遮光圖案層。形成的多列水平標尺遮光圖案層401具有一個開口區(qū)域402。
然后在水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域402分別形成(覆蓋)水平標尺彩色濾光層403，多列水平標尺彩色濾光層之間的水平間距不等。如圖4所示，在中間一列(列號為 0)上，形成的水平標尺彩色濾光層403的偏移量為零；在其左側(cè)的一列(列號為-1)上，形成的水平標尺彩色濾光層403的偏移量為負一個單位(向左偏一個單位)；在中間一列的左側(cè)第二列(列號為_2，未圖示)上，形成的水平標尺彩色濾光層403的偏移量為負二個單位；然后依次類推。同理，在中間一列右側(cè)的一列(列號為+1)上，形成的水平標尺彩色濾光層403的偏移量為正一個單位(向右偏一個單位)；在中間一列的右側(cè)第二列(列號為 +2，未圖示)上，形成的水平標尺彩色濾光層403的偏移量為正二個單位；然后依次類推。換句話說，多列水平標尺彩色濾光層之間的水平間距是不同的。
通常，對于彩色液晶顯示器，一般包含紅(R)、藍⑶、綠(G)三個有顏色的像素，因此，在垂直方向上，第0列(中間一列)的第一行上，形成水平標尺紅色濾光層403R，在第二行上，形成水平標尺藍色濾光層40;3B，在第三行上，形成水平標尺綠色濾光層403G ；然后依次循環(huán)重復。當然，由于在非顯示區(qū)域中形成的水平標尺彩色濾光層403在最終產(chǎn)品中并非用于顯示，而僅作為制作過程中測試(監(jiān)視)遮光圖案層與彩色濾光層的重疊偏移量，因此，在其它的實施例中，所有水平標尺彩色濾光層可以采用同一種顏色的濾光層，而不會影響本發(fā)明的效果。
再請參見圖4，如圖4所示，一般將水平標尺彩色濾光層403的寬度制作成小于水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域402的寬度，每列水平標尺彩色濾光層403的寬度相等，以方便目視觀察。
如圖4所示，水平標尺彩色濾光層403的左右兩側(cè)邊與水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域402的左右兩側(cè)之間留有間隙al和a2，中間一列(列號為0)的水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與相應的水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域402的左右兩側(cè)之間的間隙相等(即al = a2)，我們稱之為水平基準圖案列。在水平基準圖案列兩側(cè)的相鄰水平標尺彩色濾光層之間的間距可根據(jù)下式獲得
p(n)水=P水0+(|n 卜l)A，
其中η為水平標尺彩色濾光層的列號，A為最小水平偏移量，為最小間距，P(n) #為第η列和第η-1列水平基準圖案之間的間距，水平基準圖案列左側(cè)的水平標尺彩色濾光層的列號按與離水平基準圖案列的距離分別為-1、-2、-3···，水平基準圖案列右側(cè)的水平標尺彩色濾光層的列號按與離水平基準圖案列的距離分別為1、2、3…；
上述最小間距和最小水平偏移量的單位的選擇視監(jiān)視的偏移量的精度而定，最小水平偏移量一般在0. 3-0. 7 μ m之間選擇，在本發(fā)明的一個較佳的實施例中，該一個單位確定為0. 5 μ m。
請參見圖5，圖5示出了在形成遮光圖案層和彩色濾光層的過程中發(fā)生了偏移的效果圖。如圖5所示，原設計中第0列是沒有偏移的，而完成后的產(chǎn)品在第0列上發(fā)生的向左偏移，沒有發(fā)生偏移的情況出現(xiàn)在第1列上，因此，可以據(jù)此得出，完成后的產(chǎn)品發(fā)生了一個單位的向左偏移。可以以此為基準及時調(diào)整曝光掩膜板和曝光機的位置，消除這一水平偏移。如果沒有發(fā)生偏移的情況出現(xiàn)在第2列上，則可以得出，完成后的產(chǎn)品發(fā)生了二個單位的向左偏移，以此類推。為方便觀察，如圖4和圖5所示，在每列水平標尺遮光圖案層的上方(或下方)，形成指示標記，在本實施例中，采用了與列號相同的指示標記。
同樣，請參見圖6，圖6局部地示出了本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的另一種標尺結(jié)構(gòu)。如圖6所示，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿垂直方向先形成多行垂直標尺遮光圖案層601，相鄰垂直標尺遮光圖案層601之間的間距相等，每行垂直標尺遮光圖案層601通?？梢园辽僖涣幸陨?。在圖6的局部示意圖中，示出了三列遮光圖案層，但應當理解，這僅是示例，具體的列數(shù)可以根據(jù)需要而變化。垂直標尺遮光圖案層601的行數(shù)可以根據(jù)彩色濾光基板的大小而定，一般取20-30行，然后在其它位置上重復這組水平標尺遮光圖案層。形成的多行垂直標尺遮光圖案層601具有一個開口區(qū)域602。
然后在垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域602分別形成(覆蓋)垂直標尺彩色濾光層603，多行垂直標尺彩色濾光層之間的垂直間距不等。如圖6所示，在中間一行(行號為 0)上，形成的垂直標尺彩色濾光層603的偏移量為零；在其上側(cè)的一行(行號為-1)上，形成的垂直標尺彩色濾光層603的偏移量為負一個單位(向向偏一個單位)；在中間一行的上側(cè)第二行(行號為_2，未圖示)上，形成的垂直標尺彩色濾光層603的偏移量為負二個單位；然后依次類推。同理，在中間一行下側(cè)的一行(行號為+1)上，形成的垂直標尺彩色濾光層603的偏移量為正一個單位(向下偏一個單位)；在中間一行的下側(cè)第二行(行號為 +2，未圖示)上，形成的垂直標尺彩色濾光層603的偏移量為正二個單位；然后依次類推。 換句話說，多行垂直標尺彩色濾光層之間的垂直間距是不同的。
通常，對于彩色液晶顯示器，一般包含紅(R)、藍(B)、綠(G)三個有顏色的像素，因此，在水平方向上，第0行(中間一行)的第一列上，形成垂直標尺紅色濾光層603R，在第二列上，形成垂直標尺藍色濾光層60;3B，在第三列上，形成垂直標尺綠色濾光層603G ；然后依次循環(huán)重復。當然，由于在非顯示區(qū)域中形成的垂直標尺彩色濾光層603在最終產(chǎn)品中并非用于顯示，而僅作為制作過程中測試(監(jiān)視)遮光圖案層與彩色濾光層的重疊偏移量，因此，在其它的實施例中，所有垂直標尺彩色濾光層可以采用同一種顏色的濾光層，而不會影響本發(fā)明的效果。
再請參見圖6，如圖6所示，一般將垂直標尺彩色濾光層603的寬度制作成小于垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域602的寬度，每行水平標尺彩色濾光層603的寬度相等，以方便目視觀察。
如圖6所示，垂直標尺彩色濾光層603的上下兩側(cè)邊與垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域402的上下兩側(cè)之間留有間隙bl和b2，中間一行(行號為0)的垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與相應的垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域602的上下兩側(cè)之間的間隙相等(即bl = 1^2)，我們稱之為垂直基準圖案行。在垂直基準圖案行兩側(cè)的相鄰垂直標尺彩色濾光層之間的間距？_可根據(jù)下式獲得
POn)垂=P垂0+(|m卜 1)B
其中，m為垂直標尺彩色濾光層的行號，B為最小垂直偏移量，Plltl為最小間距， P(Hi)ll為第m行和第m-1行水平基準圖案之間的間距，垂直基準圖案行上側(cè)的垂直標尺彩色濾光層的行號按與離垂直基準圖案行的距離分別為-1、-2、-3···，垂直基準圖案行下側(cè)的垂直標尺彩色濾光層的行號按與離垂直基準圖案行的距離分別為1、2、3…。
上述最小間距和最小垂直偏移量的單位的選擇視監(jiān)視的偏移量的精度而定，最小垂直偏移量一般在0. 3-0. 7 μ m之間選擇，在本發(fā)明的一個較佳的實施例中，該一個單位確定為0. 5 μ m。
請參見圖7，圖7示出了在形成遮光圖案層和彩色濾光層的過程中發(fā)生了偏移的效果圖。如圖7所示，原設計中第0行是沒有偏移的，而完成后的產(chǎn)品在第0行上發(fā)生的向左偏移，沒有發(fā)生偏移的情況出現(xiàn)在第1行上，因此，可以據(jù)此得出，完成后的產(chǎn)品發(fā)生了一個單位的向下偏移?？梢砸源藶榛鶞始皶r調(diào)整曝光掩膜板和曝光機的位置，消除這一垂直偏移。如果沒有發(fā)生偏移的情況出現(xiàn)在第2行上，則可以得出，完成后的產(chǎn)品發(fā)生了二個單位的向下偏移，以此類推。為方便觀察，如圖6和圖7所示，在每行垂直標尺遮光圖案層的左方(或右方)，形成指示標記，在本實施例中，采用了與行號相同的指示標記。
權(quán)利要求
1.一種彩色濾光基板，包括透明玻璃基板；遮光圖案層，位于所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上，所述遮光圖案層具有開口區(qū)域；彩色濾光層，位于所述遮光圖案層的開口區(qū)域上，并與所述遮光圖案層重疊；多列水平標尺遮光圖案層，沿水平方向以相等間距分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，所述水平標尺遮光圖案層具有開口區(qū)域；多列水平標尺彩色濾光層，多列所述水平標尺彩色濾光層之間以不等的水平間距分別覆蓋于多列所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域上；多行垂直標尺遮光圖案層，沿垂直方向以相等間距分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，所述垂直標尺遮光圖案層具有開口區(qū)域；多行垂直標尺彩色濾光層，多行所述垂直標尺彩色濾光層以不同的垂直間距分別覆蓋于多行所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域上。
2.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述水平標尺彩色濾光層的寬度小于所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的寬度；所述垂直標尺彩色濾光層的高度小于所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的高度。
3.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光基板，其特征在于，多列所述水平標尺彩色濾光層的寬度相等；多行所述垂直標尺彩色濾光層的高度相等。
4.如權(quán)利要求1、2、3之一所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的左右兩側(cè)之間留有間隙，其中一列所述水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的左右兩側(cè)之間的間隙相等，稱為水平基準圖案列；在所述水平基準圖案列兩側(cè)的相鄰所述水平標尺彩色濾光層之間的間距如下式P(n) 7K= Ρ7Κ0+(|η|-1) Α，其中η為所述水平標尺彩色濾光層的列號，A為最小水平偏移量，P7ko為最小間距，P(η) #為第η列和第η-1列水平基準圖案之間的間距，所述水平基準圖案列左側(cè)的所述水平標尺彩色濾光層的列號按與離所述水平基準圖案列的距離分別為-1、-2、-3···，所述水平基準圖案列右側(cè)的所述水平標尺彩色濾光層的列號按與離所述水平基準圖案列的距離分別為1、 2、3…；所述垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的上下兩側(cè)之間留有間隙，其中一行所述垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的上下兩側(cè)之間的間隙相等，稱為垂直基準圖案行，在所述垂直基準圖案行兩側(cè)的相鄰所述垂直標尺彩色濾光層之間的間距P垂如下式P(m) β= Peo+(|m|-l) B其中m為所述垂直標尺彩色濾光層的行號，B為最小垂直偏移量，Plltl為最小間距，P (m) β 為第m行和第m-1行水平基準圖案之間的間距，所述垂直基準圖案行上側(cè)的所述垂直標尺彩色濾光層的行號按與離所述垂直基準圖案行的距離分別為-1、-2、-3···，所述垂直基準圖案行下側(cè)的所述垂直標尺彩色濾光層的行號按與離所述垂直基準圖案行的距離分別為1、 2、3 * * * ο
5.如權(quán)利要求4所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述最小水平偏移量和所述最小垂直偏移量的范圍為0. 3-0. 7 μ m。
6.如權(quán)利要求5所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述最小水平偏移量和所述最小垂直偏移量為0. 5 μ m。
7.如權(quán)利要求1或5所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述水平標尺遮光圖案層的列數(shù)在20-30列之間；所述垂直標尺遮光圖案層的行數(shù)在20-30行之間。
8.一種彩色濾光基板制造方法，包括如下步驟提供一透明玻璃基板；在所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上形成遮光圖案層，在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上沿水平方向以相等間距形成多列水平標尺遮光圖案層和沿垂直方向以相等間距形成多行垂直標尺遮光圖案層；所述遮光圖案層、所述水平標尺遮光圖案層和所述垂直標尺遮光圖案層均具有開口區(qū)域；以及在所述遮光圖案層的開口區(qū)域上形成彩色濾光層，并與所述遮光圖案層重疊；在多列所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域上形成水平標尺彩色濾光層，并使多列所述水平標尺彩色濾光層之間的水平間距不等；在多行所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域上形成垂直標尺彩色濾光層，并使多行垂直標尺彩色濾光層之間的垂直間距不等。
9.如權(quán)利要求8所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述水平標尺彩色濾光層的寬度小于所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的寬度；所述垂直標尺彩色濾光層的高度小于所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的高度。
10.如權(quán)利要求8所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，多列所述水平標尺彩色濾光層的寬度相等；多行所述垂直標尺彩色濾光層的高度相等。
11.如權(quán)利要求8、9、10之一所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的左右兩側(cè)之間留有間隙，其中一列所述水平標尺彩色濾光層的左右兩側(cè)邊與所述水平標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的左右兩側(cè)之間的間隙相等，稱為水平基準圖案列；在所述水平基準圖案列兩側(cè)的相鄰所述水平標尺彩色濾光層之間的間距如下式P(n) 7K= Ρ7Κ0+(|η|-1) Α，其中η為所述水平標尺彩色濾光層的列號，A為最小水平偏移量，P7ko為最小間距，P(η) #為第η列和第η-1列水平基準圖案之間的間距，所述水平基準圖案列左側(cè)的所述水平標尺彩色濾光層的列號按與離所述水平基準圖案列的距離分別為-1、-2、-3···，所述水平基準圖案列右側(cè)的所述水平標尺彩色濾光層的列號按與離所述水平基準圖案列的距離分別為1、 2、3…；所述垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的上下兩側(cè)之間留有間隙，其中一行所述垂直標尺彩色濾光層的上下兩側(cè)邊與所述垂直標尺遮光圖案層的開口區(qū)域的上下兩側(cè)之間的間隙相等，稱為垂直基準圖案行，在所述垂直基準圖案行兩側(cè)的相鄰所述垂直標尺彩色濾光層之間的間距P垂如下式P(m) β= Peo+(|m|-l) B其中m為所述垂直標尺彩色濾光層的行號，B為最小垂直偏移量，Plltl為最小間距，P (m) β 為第m行和第m-1行水平基準圖案之間的間距，所述垂直基準圖案行上側(cè)的所述垂直標尺彩色濾光層的行號按與離所述垂直基準圖案行的距離分別為-1、-2、-3···，所述垂直基準圖案行下側(cè)的所述垂直標尺彩色濾光層的行號按與離所述垂直基準圖案行的距離分別為1、 2、3 * * * ο
12.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述最小水平偏移量和所述最小垂直偏移量的范圍為0. 3-0. 7 μ m。
13.如權(quán)利要求12所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述最小水平偏移量和所述最小垂直偏移量為0. 5 μ m。
14.如權(quán)利要求8或12所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述水平標尺遮光圖案層的列數(shù)在20-30列之間；所述垂直標尺遮光圖案層的行數(shù)在20-30行之間。
全文摘要
本發(fā)明提供一種彩色濾光基板及其制造方法。為避免曝光掩膜板彎曲造成的遮光圖案層與彩色濾光層重疊區(qū)域的偏移，需要監(jiān)測遮光圖案層與彩色濾光層的重疊量，現(xiàn)有技術(shù)中需要用到專用的大型在線顯微測長儀，不利于在線控制同時也增加了成本。本發(fā)明在透明玻璃基板的非顯示區(qū)域增設了多列水平標尺遮光圖案層、多列水平標尺彩色濾光層、多行垂直標尺遮光圖案層和多行垂直標尺彩色濾光層。在實際生產(chǎn)過程中，通過這些起標尺作用的遮光層和濾光層，可以使制造者通過目視直接和簡便地確認遮光圖案層與彩色濾光層的重疊偏移量，從而快速、方便且經(jīng)濟地控制和調(diào)整遮光圖案層與彩色濾光層的套合精度，提高彩濾光基板的品質(zhì)。
文檔編號G02F1/1335GK102540553SQ20101062214
公開日2012年7月4日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者張莉, 金子若彥 申請人:上海廣電富士光電材料有限公司