專利名稱：基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，特別是一種主要應(yīng)用于液晶面板檢測行業(yè)基于電子、機(jī)械裝置以及圖像處理手段自動(dòng)地完成對被拍攝物體對焦并獲 取清晰圖像的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，屬于基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng) 的改造技術(shù)。
背景技術(shù)：
自動(dòng)對焦是一種通過電子、機(jī)械裝置以及圖像處理手段自動(dòng)地完成對被拍攝物體 對焦并獲取清晰圖像的技術(shù)。其主要優(yōu)點(diǎn)是對焦準(zhǔn)確度高、操作方便、人為干擾少，同時(shí)具 備快速、高效以及自動(dòng)化等特點(diǎn)。自動(dòng)對焦首先被應(yīng)用于照相機(jī)，并在發(fā)展中得到了不斷 地改進(jìn)和提高。隨后，這項(xiàng)技術(shù)又被廣泛應(yīng)用于其他光學(xué)儀器，如攝像機(jī)、顯微鏡、光刻機(jī)、 TFT-IXD檢測設(shè)備、AOI設(shè)備及其他測量檢測儀器中。近幾年來在這一領(lǐng)域投入了大量的人 力和物力，并取得了一定的成果，很多已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)檢測。但是，還有一些問 題沒有很好地解決，主要體現(xiàn)在(1)對焦精確度不夠高，容易產(chǎn)生誤對焦；在TFT-IXD檢測中，厚度0. 4mm的玻璃， 為了檢測Pinhole (針孔)，scratch (抓痕)，Particle (微粒)等缺陷，需要使用倍數(shù)較高 的物鏡，其對焦分辨率高達(dá)0. 078um，重復(fù)定位精度為0. Ium,圖像檢測位置分辨達(dá)到2um靈 敏度。如此高精度的對焦定位，需要高精度的納米級定位工作臺。(2)對焦穩(wěn)定性不強(qiáng)，容易受到環(huán)境和硬件中各種噪聲的影響；如控制鏡頭移動(dòng) 的電機(jī)存在誤差，鏡頭移動(dòng)存在慣性，硬件驅(qū)動(dòng)存在時(shí)間延遲等等。高精度的對焦系統(tǒng)，其 對焦分辨率高達(dá)0. 078um,重復(fù)定位精度為0. Ium,為了實(shí)現(xiàn)對焦，平臺的穩(wěn)定性必須保證 < 0. 2um。(3)對焦速度達(dá)不到要求，智能化程度和實(shí)時(shí)性有待提高?，F(xiàn)代化的設(shè)備，隨著通 信技術(shù)和半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，檢測系統(tǒng)要求能夠快速的檢測、精確的識別對象，對焦作 為圖像采集最重要的一環(huán)，對焦速度更是具有非常高的要求，平臺必須保證在IOOms實(shí)現(xiàn) 精確的定位。(4)行程不夠，難以滿足精密工程的需要；無論是TFT-IXD檢測，還是其他MEMS 中，都要求在平面內(nèi)具有比較大的行程。TFT-LCD檢測在需要更換玻璃，進(jìn)行邊緣檢測時(shí)，都 需要大于4mm的豎直方向行程，一般的精密平臺都難以滿足這個(gè)要求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于考慮上述問題而提供一種對焦精確度高，對焦穩(wěn)定性好、 對焦速度快的基于多平臺的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)。本實(shí)用新型超精密自動(dòng)對 焦系統(tǒng)的平臺工作行程大，可滿足精密工程的需要。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是本實(shí)用新型基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其包 括有大范圍調(diào)節(jié)物鏡到玻璃平臺上表面的距離的Z向大行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、執(zhí)行物鏡的小范圍調(diào)節(jié)的Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)、圖像采集光學(xué)模組、圖像采集處理控制系統(tǒng)、自動(dòng)對 焦執(zhí)行控制系統(tǒng)，其中圖像采集光學(xué)模組將采集到的光斑信息通過接口傳輸?shù)綀D像采集處 理控制系統(tǒng)，圖像采集處理控制系統(tǒng)計(jì)算出物鏡的離焦關(guān)系通過接口傳輸?shù)阶詣?dòng)對焦執(zhí)行 控制系統(tǒng)，自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)完成自動(dòng)對焦過程，并發(fā)送控制指令，使玻璃平臺運(yùn)動(dòng)。上述大行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)范圍為4毫米，重復(fù)定位精度1微米。上述Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)在物鏡距離玻璃平臺上表面100微米時(shí)，執(zhí)行物鏡 的小范圍調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍100微米，重復(fù)定位精度6納米。上述圖像采集光學(xué)模組的激光器發(fā)射波段為808微米的紅外光到玻璃平臺表面， 激光經(jīng)過玻璃平臺反射，通過光路返回，然后被光學(xué)模組的CCD芯片捕獲，光學(xué)模組的CCD 芯片將采集到的光斑信息通過1394接口傳輸?shù)綀D像采集處理控制系統(tǒng)。上述圖像采集處理控制系統(tǒng)由DSP和FPGA構(gòu)成，F(xiàn)PGA作為系統(tǒng)各個(gè)部分的時(shí)序 控制協(xié)調(diào)模塊，協(xié)調(diào)DSP和1394接口控制芯片的工作時(shí)序，DSP完成光斑信號的處理。上述Z向大行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)兩個(gè)部分的連接方式為 大行程的傳統(tǒng)滾珠絲杠導(dǎo)軌加直流電機(jī)平臺和壓電陶瓷微動(dòng)臺連接方式，采用宏微二級結(jié) 構(gòu)，以直流電機(jī)與滾珠絲杠直連實(shí)現(xiàn)粗調(diào)節(jié)，由壓電陶瓷微動(dòng)臺實(shí)現(xiàn)微動(dòng)，使相機(jī)實(shí)現(xiàn)納米 級精度的對焦。上述圖像采集光學(xué)模組包括有激光入射光路和出射光路，激光入射光路為發(fā)射激 光的激光二極管，激光經(jīng)過激光聚焦鏡后通過針孔，然后經(jīng)由反射鏡將激光反射到光欄片， 然后經(jīng)過偏振分光片和1/4波片，再經(jīng)過聚焦鏡后由分光鏡反射到顯微鏡目鏡光軸上；反 射光路為玻璃表面將激光反射回目鏡，然后經(jīng)過分光鏡反射后通過聚焦鏡，之后再經(jīng)過1/4 波片、偏振分光片和激光濾光片后，由光學(xué)模組的CCD芯片將光斑信號采集。上述圖像采集光學(xué)模組的激光束與透鏡光軸的夾角為0度。上述圖像采集處理控制系統(tǒng)的1394接口用分立的物理層和鏈路層控制芯片構(gòu)成 1394接口電路，控制相機(jī)和處理器之間的圖像傳輸；時(shí)序協(xié)調(diào)匹配器，用FPGA作為系統(tǒng)各 個(gè)部分的時(shí)序控制協(xié)調(diào)模塊，協(xié)調(diào)DSP和1394控制芯片的工作時(shí)序；圖像處理器，用DSP完 成光斑信號的處理，得出對應(yīng)的離焦關(guān)系。本實(shí)用新型的基于多平臺的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)由于采用使用大 行程的傳統(tǒng)滾珠絲杠導(dǎo)軌加直流電機(jī)平臺和壓電陶瓷微動(dòng)臺連接方式；通過自行設(shè)計(jì)的光 路執(zhí)行一光斑圖像采集流程；通過處理器處理檢測到的光斑圖像；通過控制器啟動(dòng)平臺的 控制信號，進(jìn)行自動(dòng)對焦流程的結(jié)構(gòu)，因此，本實(shí)用新型對焦精確度高，對焦穩(wěn)定性好、對焦 速度快。本實(shí)用新型超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)的平臺工作行程大，可滿足精密工程的需要。本 實(shí)用新型的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方法方便實(shí)用。

圖1為本實(shí)用新型平臺三維結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實(shí)用新型圖像采集光學(xué)模組原理圖；圖3為本實(shí)用新型圖像采集處理器原理圖；圖4為本實(shí)用新型自動(dòng)對焦控制系統(tǒng)原理圖；圖5為本實(shí)用新型直流電機(jī)參數(shù)模型方塊圖；[0023]圖6為本實(shí)用新型平臺速度調(diào)節(jié)流程圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例本實(shí)用新型基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)的三維結(jié)構(gòu)圖結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，其包括有大范圍調(diào)節(jié)物鏡到玻璃平臺6上表面的距離的Z向大行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、 執(zhí)行物鏡的小范圍調(diào)節(jié)的Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)2、圖像采集光學(xué)模組3、圖像采集處理 控制系統(tǒng)4、自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)5，其中圖像采集光學(xué)模組3將采集到的光斑信息通過 接口傳輸?shù)綀D像采集處理控制系統(tǒng)4，圖像采集處理控制系統(tǒng)4計(jì)算出物鏡的離焦關(guān)系通 過接口傳輸?shù)阶詣?dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)5，自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)5完成自動(dòng)對焦過程，并發(fā) 送控制指令，使玻璃平臺6運(yùn)動(dòng)。Z向大行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，大范圍調(diào)節(jié)物鏡到玻璃上表面 的距離，其調(diào)節(jié)范圍達(dá)到4毫米，重復(fù)定位精度達(dá)到1微米；Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)，物鏡 距離玻璃上表面100微米時(shí)，Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)執(zhí)行物鏡的小范圍調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍 100微米，重復(fù)定位精度達(dá)到6納米。Z向大行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1與Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)2兩個(gè)部分的連接方式為 大行程的傳統(tǒng)滾珠絲杠導(dǎo)軌加直流電機(jī)平臺和壓電陶瓷微動(dòng)臺連接方式，采用宏微二級結(jié) 構(gòu)，以直流電機(jī)與滾珠絲杠直連實(shí)現(xiàn)粗調(diào)節(jié)，由壓電陶瓷微動(dòng)臺實(shí)現(xiàn)微動(dòng)，使相機(jī)實(shí)現(xiàn)納米 級精度的對焦。上述圖像采集光學(xué)模組3的光路圖如圖2所示，圖像采集光學(xué)模組3包括有激光 入射光路和出射光路，激光入射光路為激光二極管32，發(fā)射808微米波段的激光，激光33 經(jīng)過激光聚焦鏡后通過針孔，然后經(jīng)由反射鏡34將激光反射到光欄片35，然后經(jīng)過偏振分 光片36和1/4波片37，再經(jīng)過聚焦鏡38后由分光鏡39反射到顯微鏡目鏡310光軸上；反 射光路為玻璃表面將激光反射回目鏡，然后經(jīng)過分光鏡反射后通過聚焦鏡，之后再經(jīng)過1/4 波片、偏振分光片和激光濾光片后，由光學(xué)模組的CCD芯片將光斑信號采集；根據(jù)光路的原 理和三角測距法，由于本方法設(shè)計(jì)的光路使得激光束與透鏡光軸的夾角為0度，所以得出 的離焦關(guān)系為線性函數(shù)；再根據(jù)光斑的形成原理，當(dāng)沒有對焦成功時(shí)分光鏡反射回來的激 光在CCD上形成的光斑圖像是一個(gè)圓，圓的大小由離焦關(guān)系決定，光斑越大，離焦量越大， 當(dāng)對焦成功時(shí)反射回來的激光在CCD上形成的光斑圖像是一個(gè)亮點(diǎn)，所以可以根據(jù)光斑的 大小判斷是否對焦成功。附圖3是圖像采集處理控制系統(tǒng)4的原理圖，具有連續(xù)采集光斑信息和處理光斑 圖像得出離焦關(guān)系的功能，該圖像采集處理控制系統(tǒng)包括光學(xué)模組將采集到的光斑信息 通過1394接口傳輸?shù)綀D像采集處理控制系統(tǒng)；1394接口，用分立的物理層和鏈路層控制芯 片構(gòu)成1394接口電路，控制相機(jī)和處理器之間的圖像傳輸；時(shí)序協(xié)調(diào)匹配器，用FPGA作為 系統(tǒng)各個(gè)部分的時(shí)序控制協(xié)調(diào)模塊，協(xié)調(diào)DSP和1394控制芯片的工作時(shí)序；圖像處理器，用 DSP完成光斑信號的處理，得出對應(yīng)的離焦關(guān)系。為了保證快速的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對焦，系統(tǒng)不斷 的對光斑圖像進(jìn)行檢測，然后處理，當(dāng)?shù)谝淮喂獍咛幚硗旰?，給出一個(gè)離焦量的大小，自動(dòng) 對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)控制平臺進(jìn)行第一次對焦，完成這個(gè)過程后再檢測一個(gè)光斑信號，如果 光斑變成一個(gè)亮點(diǎn)，則對焦完成，如果光斑還是一個(gè)圓，那么進(jìn)行第二次對焦，處理器給出 第二個(gè)離焦量，自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)控制平臺進(jìn)行第二次對焦，由于本方法設(shè)計(jì)的光路使得激光束與透鏡光軸的夾角為O度，所以得出的離焦關(guān)系為線性函數(shù)，所以完成第二次對焦過程后，光斑將一定變成一個(gè)亮點(diǎn)，完成自動(dòng)對焦過程。由于只需要1到2次的對焦過 程，所以本方法就保證了自動(dòng)對焦的快速性；由于離焦關(guān)系式線性的，所以本方法就保證了 自動(dòng)對焦的穩(wěn)定性，同時(shí)也保證了自動(dòng)對焦的快速性。 圖4為本實(shí)用新型自動(dòng)對焦控制系統(tǒng)原理圖，圖5為本實(shí)用新型直流電機(jī)參數(shù)模 型方塊圖，圖6為本實(shí)用新型平臺速度調(diào)節(jié)流程圖，自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)5，具有執(zhí)行自 動(dòng)對焦的功能，該控制系統(tǒng)包括通過直接辨識算法得出平臺驅(qū)動(dòng)電機(jī)的數(shù)學(xué)模型，首先利 用傳統(tǒng)方法求解得的直流電機(jī)模型參數(shù)，直流電機(jī)的數(shù)學(xué)模型來自于它的兩個(gè)方程，即電 氣方程和機(jī)械特性方程，利用電機(jī)的性能參數(shù)可以求得方程的各個(gè)參數(shù)，那么就可以獲得 電機(jī)的模型參數(shù)；為了求出精確的直流電機(jī)模型參數(shù)，其次利用階躍輸入構(gòu)建系統(tǒng)的線性 方程，加入一個(gè)階躍信號，線性方程得到一個(gè)輸出，然后利用反拉普拉斯變換，得到輸出的 時(shí)域函數(shù)，當(dāng)電機(jī)轉(zhuǎn)速趨于穩(wěn)定時(shí)，得到實(shí)際的數(shù)據(jù)結(jié)果，并記為采樣點(diǎn)i ；然后使用輸出 的采樣數(shù)據(jù)，對模型參數(shù)進(jìn)行最小二乘運(yùn)算，求解系統(tǒng)階躍響應(yīng)的線性方程組，令采樣點(diǎn)的 輸出為y(i)，根據(jù)積分定義近似求出y(t)；最后利用最小二乘法對各個(gè)參數(shù)進(jìn)行最大似然 估計(jì)，得出直流電機(jī)模型的精確參數(shù)；通過模糊控制算法調(diào)節(jié)平臺運(yùn)行的速度，模糊推理首 先要求出某時(shí)刻的E(k)值，從而得到Ec(k) =E(k)-E(k-l)，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)公式求出E(k)和 E(k-l)的隸屬度，再根據(jù)控制規(guī)則表進(jìn)行相應(yīng)的推理運(yùn)算，得出Kp、Ki、Kd各語言的對應(yīng)隸 屬度，最后用反模糊化進(jìn)行模糊判斷，便可以得出Kp、Ki、Kd各語言的精確調(diào)整值；通過檢 測算法計(jì)算平臺發(fā)出脈沖當(dāng)量，最后得出平臺的移動(dòng)距離。
權(quán)利要求一種基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于包括有大范圍調(diào)節(jié)物鏡到玻璃平臺(6)上表面的距離的Z向大行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(1)、執(zhí)行物鏡的小范圍調(diào)節(jié)的Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)(2)、圖像采集光學(xué)模組(3)、圖像采集處理控制系統(tǒng)(4)、自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)(5)，其中圖像采集光學(xué)模組(3)將采集到的光斑信息通過接口傳輸?shù)綀D像采集處理控制系統(tǒng)(4)，圖像采集處理控制系統(tǒng)(4)計(jì)算出物鏡的離焦關(guān)系通過接口傳輸?shù)阶詣?dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)(5)，自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)(5)完成自動(dòng)對焦過程，并發(fā)送控制指令，使玻璃平臺(6)運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于上述大行程 精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(1)調(diào)節(jié)范圍為4毫米，重復(fù)定位精度1微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于上述Z向小 行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)(2)在物鏡距離玻璃平臺(6)上表面100微米時(shí)，執(zhí)行物鏡的小范圍調(diào) 節(jié)，調(diào)節(jié)范圍100微米，重復(fù)定位精度6納米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于上述圖像采 集光學(xué)模組(3)的激光器發(fā)射紅外光到玻璃平臺(6)表面，激光經(jīng)過玻璃平臺(6)反射，通 過光路返回，然后被光學(xué)模組的CCD芯片捕獲，光學(xué)模組的CCD芯片將采集到的光斑信息通 過1394接口傳輸?shù)綀D像采集處理控制系統(tǒng)(4)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于上述圖像采 集處理控制系統(tǒng)(4)由DSP和FPGA構(gòu)成，F(xiàn)PGA作為系統(tǒng)各個(gè)部分的時(shí)序控制協(xié)調(diào)模塊，協(xié) 調(diào)DSP和1394接口控制芯片的工作時(shí)序，DSP完成光斑信號的處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于上述Z向大 行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)兩個(gè)部分的連接方式為大行程的傳統(tǒng)滾珠 絲杠導(dǎo)軌加直流電機(jī)平臺和壓電陶瓷微動(dòng)臺連接方式，采用宏微二級結(jié)構(gòu)，以直流電機(jī)與 滾珠絲杠直連實(shí)現(xiàn)粗調(diào)節(jié)，由壓電陶瓷微動(dòng)臺實(shí)現(xiàn)微動(dòng)，使相機(jī)實(shí)現(xiàn)納米級精度的對焦。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于 上述圖像采集光學(xué)模組(3)包括有激光入射光路和出射光路，激光入射光路為發(fā)射激光的 激光二極管(32)，激光(33)經(jīng)過激光聚焦鏡后通過針孔，然后經(jīng)由反射鏡(34)將激光反射 到光欄片(35)，然后經(jīng)過偏振分光片(36)和1/4波片(37)，再經(jīng)過聚焦鏡(38)后由分光 鏡(39)反射到顯微鏡目鏡(310)光軸上；反射光路為玻璃表面將激光反射回目鏡，然后經(jīng) 過分光鏡反射后通過聚焦鏡，之后再經(jīng)過1/4波片、偏振分光片和激光濾光片后，由光學(xué)模 組的CXD芯片將光斑信號采集。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于上述圖像采 集光學(xué)模組(3)的激光束與透鏡光軸的夾角為0度。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)，其特征在于上述圖像采 集處理控制系統(tǒng)(4)的1394接口用分立的物理層和鏈路層控制芯片構(gòu)成1394接口電路， 控制相機(jī)和處理器之間的圖像傳輸；時(shí)序協(xié)調(diào)匹配器，用FPGA作為系統(tǒng)各個(gè)部分的時(shí)序控 制協(xié)調(diào)模塊，協(xié)調(diào)DSP和1394控制芯片的工作時(shí)序；圖像處理器，用DSP完成光斑信號的處 理，得出對應(yīng)的離焦關(guān)系。
專利摘要本實(shí)用新型是一種基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)。包括有大范圍調(diào)節(jié)物鏡到玻璃平臺上表面的距離的Z向大行程精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、執(zhí)行物鏡的小范圍調(diào)節(jié)的Z向小行程精密微調(diào)機(jī)構(gòu)、圖像采集光學(xué)模組、圖像采集處理控制系統(tǒng)、自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)，其中圖像采集光學(xué)模組將采集到的光斑信息通過接口傳輸?shù)綀D像采集處理控制系統(tǒng)，圖像采集處理控制系統(tǒng)計(jì)算出物鏡的離焦關(guān)系通過接口傳輸?shù)阶詣?dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)，自動(dòng)對焦執(zhí)行控制系統(tǒng)完成自動(dòng)對焦過程，并發(fā)送控制指令，使玻璃平臺運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型的自動(dòng)對焦系統(tǒng)對焦精確度高，對焦穩(wěn)定性好、對焦速度快，平臺工作行程大，可滿足精密工程的需要。本實(shí)用新型的基于多平臺的超精密自動(dòng)對焦系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方法方便實(shí)用。
文檔編號G02B7/32GK201576122SQ20102002656
公開日2010年9月8日 申請日期2010年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月12日
發(fā)明者程良倫 申請人:廣東工業(yè)大學(xué)