專利名稱：多光源感光油墨曝光機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種多光源感光油墨曝光機(jī)。
背景技術(shù)：
曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的 復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱為電 子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一 定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。目前，現(xiàn)有的曝光機(jī)都 是在工件正上方設(shè)有單獨(dú)光源，下方有單獨(dú)光源，即傳統(tǒng)的曝光機(jī)只能針對(duì)平面工件表面 進(jìn)行曝光。如對(duì)立體工件表面感光油墨曝光時(shí)，則會(huì)在工件側(cè)面出現(xiàn)曝光死角，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì) 量不合格。因此，單光源曝光機(jī)無法對(duì)立體工件進(jìn)行曝光，只能針對(duì)平面工件進(jìn)行曝光。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種多光源感光油墨曝光機(jī)，在對(duì)立體工件表面感光油 墨曝光時(shí)，不留曝光死角，使曝光技術(shù)可應(yīng)用于立體工件。本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)一種多光源感光油墨曝光機(jī)，包括底座、工作臺(tái)和曝光室，所述工作臺(tái)固定在底座 的頂端，工作臺(tái)的中部設(shè)有凹槽，凹槽的內(nèi)部設(shè)有滑軌，滑軌上設(shè)有曝光平臺(tái)，曝光平臺(tái)由 相互扣合的頂蓋和支座構(gòu)成，支座與頂蓋活動(dòng)連接，支座和頂蓋的前端相對(duì)位置處均固定 把手，所述曝光室固定在工作臺(tái)的頂端，曝光室的底面、四個(gè)內(nèi)側(cè)面以及相鄰兩內(nèi)側(cè)面的夾 角處均設(shè)有光源。本實(shí)用新型的有益效果為在工件上部的東、南、西、北、東南、東北、西南、西北等 各方向根據(jù)立體工件的形狀，加裝多處光源，使立體工件在曝光時(shí)，所有側(cè)面均有光源直接 照射，不留曝光死角，使曝光技術(shù)可應(yīng)用于立體工件。

下面根據(jù)附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的多光源感光油墨曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、底座；2、工作臺(tái)；3、曝光室；4、凹槽；5、滑軌；6、曝光平臺(tái)；7、頂蓋；8、支座；9、 把手；10、光源。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種多光源感光油墨曝光機(jī)，包括底座1、 工作臺(tái)2和曝光室3，所述工作臺(tái)2固定在底座1的頂端，工作臺(tái)2的中部設(shè)有凹槽4，凹槽 4的內(nèi)部設(shè)有滑軌5，滑軌5上設(shè)有曝光平臺(tái)6，曝光平臺(tái)6由相互扣合的頂蓋7和支座8構(gòu)成，支座8與頂蓋7活動(dòng)連接，支座8和頂蓋7的前端相對(duì)位置處均固定把手9，所述曝光室 3固定在工作臺(tái)2的頂端，曝光室3的底面、四個(gè)內(nèi)側(cè)面以及相鄰兩內(nèi)側(cè)面的夾角處均設(shè)有 光源10。 具體使用時(shí)，將曝光平臺(tái)6沿滑軌5拉出，打開曝光平臺(tái)6，放入工件，合上曝光平 臺(tái)6并將其內(nèi)部抽成真空，使工件緊緊包裹在曝光平臺(tái)6中，將曝光平臺(tái)6推入曝光室3，打 開光源10，開始曝光，曝光完畢后拉出曝光平臺(tái)6，取出工件。由于在曝光的過程中，在工件 上部的東、南、西、北、東南、東北、西南、西北等各方向根據(jù)立體工件的形狀，加裝多處光源， 使立體工件在曝光時(shí)，所有側(cè)面均有光源直接照射，不留曝光死角，使曝光技術(shù)可應(yīng)用于立 體工件。
權(quán)利要求一種多光源感光油墨曝光機(jī)，包括底座(1)、工作臺(tái)(2)和曝光室(3)，所述工作臺(tái)(2)固定在底座(1)的頂端，工作臺(tái)(2)的中部設(shè)有凹槽(4)，凹槽(4)的內(nèi)部設(shè)有滑軌(5)，滑軌(5)上設(shè)有曝光平臺(tái)(6)，曝光平臺(tái)(6)由相互扣合的頂蓋(7)和支座(8)構(gòu)成，支座(8)與頂蓋(7)活動(dòng)連接，支座(8)和頂蓋(7)的前端相對(duì)位置處均固定把手(9)，其特征在于所述曝光室(3)固定在工作臺(tái)(2)的頂端，曝光室(3)的底面、四個(gè)內(nèi)側(cè)面以及相鄰兩內(nèi)側(cè)面的夾角處均設(shè)有光源(10)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多光源感光油墨曝光機(jī)，包括底座、工作臺(tái)和曝光室，所述工作臺(tái)固定在底座的頂端，工作臺(tái)的中部設(shè)有凹槽，凹槽的內(nèi)部設(shè)有滑軌，滑軌上設(shè)有曝光平臺(tái)，曝光平臺(tái)由相互扣合的頂蓋和支座構(gòu)成，支座與頂蓋活動(dòng)連接，支座和頂蓋的前端相對(duì)位置處均固定把手，所述曝光室固定在工作臺(tái)的頂端，曝光室的底面、四個(gè)內(nèi)側(cè)面以及相鄰兩內(nèi)側(cè)面的夾角處均設(shè)有光源。本實(shí)用新型的有益效果為在工件上部的東、南、西、北、東南、東北、西南、西北等各方向根據(jù)立體工件的形狀，加裝多處光源，使立體工件在曝光時(shí)，所有側(cè)面均有光源直接照射，不留曝光死角，使曝光技術(shù)可應(yīng)用于立體工件。
文檔編號(hào)G03F7/20GK201732247SQ20102024082
公開日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月29日
發(fā)明者沈再清 申請(qǐng)人:三軸電子(蘇州)有限公司