專利名稱：防靜電光罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示器制造技術(shù)，尤其涉及一種防靜電光罩。
背景技術(shù)：
在目前液晶顯示面板行業(yè)加工過程中，光罩是一種圖形轉(zhuǎn)移的重要制具，將光罩 上的設(shè)計(jì)圖案通過曝光過程定義在顯示面板的IT0玻璃或芯片的光抗蝕層上后，通過化學(xué) 蝕刻制成與光罩圖案一樣的圖形。因而，光罩上的圖形圖案十分重要，若光罩上的圖形出現(xiàn) 問題或損傷，對(duì)后續(xù)使用光罩加工的產(chǎn)品圖案也無法達(dá)到設(shè)計(jì)所要求的電路及路線圖；所 以如何保證光罩的電路圖形就顯到十分重要。光罩的構(gòu)成是在一塊蘇打特性的玻璃上鍍一層金屬鉻層(Cr)，而其設(shè)計(jì)的圖案就 形成在該金屬鉻層上。然而，眾所周知地，在環(huán)境變化等情況下，特別是在空氣干燥的季節(jié)， 物體間的摩擦很容易產(chǎn)生靜電電荷，摩擦起電所產(chǎn)生的電壓取決于相互摩擦的材料本身的 特性，而人體與玻璃之間是比較常見容易摩擦起電的主體，而光罩表面為金屬層，故在該金 屬層上非常容易累積靜電電荷，當(dāng)其累積的靜電電荷達(dá)到一定程度時(shí)，就會(huì)找尋一個(gè)釋放 的渠道。在這種情況之下，靜電電荷通常會(huì)在相鄰的圖形圖案間，尤其是相對(duì)較細(xì)的圖形間 以角對(duì)角、尖對(duì)尖、大圖形向小圖形的方式釋放靜電，這種釋放靜電過程叫靜電電荷放電。 而靜電放電現(xiàn)象所產(chǎn)生的瞬間熱能、電能足以破壞光罩上的圖形圖案，從而使產(chǎn)品合格率 和可靠性下降，甚至導(dǎo)致光罩圖形損傷無法使用。因此，許多大型的制造廠引進(jìn)專業(yè)技術(shù)以減小生產(chǎn)環(huán)境中的靜電積累，用戶根據(jù) 自己的經(jīng)驗(yàn)也懂得了防治靜電放電損害的重要性。目前，在光罩加工及應(yīng)用領(lǐng)域中，常見的 一種防靜電方法是在光罩表面增加隔膜層或保護(hù)層，以此來減少或防止靜電累積，該方案 制造方法較為繁瑣，而且會(huì)增加光罩制造困難度與成本；而另一種則是從環(huán)境上著手，如通 過增加空氣的濕度來降低靜電產(chǎn)生或在光罩放置位置以及移動(dòng)的路線上噴灑離子以中和 產(chǎn)生的靜電等。這些方案往往都需要大量的設(shè)備和成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種防靜電光罩，該光罩可大大節(jié)省放 靜電光罩的防靜電設(shè)備和成本。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案—種防靜電光罩，包括覆蓋有金屬鉻層的蘇打玻璃，所述金屬鉻層蝕刻有光罩圖 形，繞該光罩邊緣的金屬鉻層表面設(shè)置有一放電環(huán)，該放電環(huán)通過設(shè)置在所述金屬鉻層的 靜電導(dǎo)引線連接到光罩圖形，而該放電環(huán)的首尾通過兩組相對(duì)設(shè)置的放電端子對(duì)接，每組 放電端子由若干以預(yù)設(shè)的間隔并排設(shè)置的放電端子構(gòu)成。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型的實(shí)施例通過圍繞光罩的邊緣設(shè)置帶有尖端放電區(qū)的放電環(huán)，將累積 在光罩上的靜電導(dǎo)引出有效圖形外進(jìn)行釋放，從而有效地避免了光罩受靜電擊傷的可能
3性，并大大降低了光罩對(duì)運(yùn)輸、保存及使用環(huán)境的要求，增加了光罩使用壽命，降低了制造 成本，節(jié)省了大量因靜電破壞報(bào)廢的產(chǎn)品的費(fèi)用。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

圖1是本實(shí)用新型提供的防靜電光罩一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型提供的防靜電光罩一個(gè)實(shí)施例中放電端子的放大圖。圖3是提供的防靜電光罩一個(gè)實(shí)施例中放電組的放大圖。
具體實(shí)施方式
下面參考圖1-圖3詳細(xì)描述本實(shí)用新型提供的防靜電光罩的一個(gè)實(shí)施例。如圖1所示，本實(shí)施例主要包括覆蓋有金屬鉻層1的蘇打玻璃，所述金屬鉻層蝕刻 有光罩圖形(圖中未示出)，繞該光罩邊緣的金屬鉻層1表面設(shè)置有一放電環(huán)10，該放電環(huán) 10通過設(shè)置在金屬鉻層1的靜電導(dǎo)引線20連接到光罩圖形，而該放電環(huán)10的首尾通過兩 組相對(duì)設(shè)置的放電端子101、102對(duì)接，每組放電端子由若干以預(yù)設(shè)的間隔并排設(shè)置的放電 端子1012構(gòu)成。具體實(shí)現(xiàn)時(shí)，放電環(huán)10可為黑色的矩形環(huán)，其環(huán)邊寬可為8-10厘米。其中，放電端子101、102起到釋放累積的靜電的作用，其具體結(jié)構(gòu)如圖2所示。具 體實(shí)現(xiàn)時(shí)，同一組中放電端子101(102)中每個(gè)放電端子1012間的間隔及單個(gè)放電端子 1012的寬度均小于所述光罩圖形的最小線寬，為其1/2最好，如光罩圖形中最小線條的寬 度為lOum，則同一組放電端子101 (102)間的間隔及單個(gè)放電端子1012的寬度分別為5um ； 而兩組放電端子101、102間的相對(duì)距離則不超過每個(gè)放電端子1012寬度的二分之一，如 其端子1012寬度與間隔均為5um，則兩組放電端子101、102間的相對(duì)距離為2. 5um,即兩組 放電端子101、102間的相對(duì)距離是單個(gè)放電端子1012寬度的1/2。其中，靜電導(dǎo)引線20的作用是將光罩圖形上累積的靜電電荷導(dǎo)引到放電環(huán)10，使 靜電電荷在整個(gè)金屬鉻層1最細(xì)小的線條中進(jìn)行釋放，從而避免光罩圖形被靜電擊傷。具 體實(shí)現(xiàn)時(shí)，靜電導(dǎo)引線20的線條寬度應(yīng)小于制造光罩圖案所采用的微影刻蝕工藝的最小 精度，如果該微影刻蝕工藝精細(xì)到5um，則其導(dǎo)引線20線條寬度可設(shè)置為l-3um，由于在蝕 刻工藝精細(xì)度為5um的條件下，lum的導(dǎo)引線20在刻蝕時(shí)無法被保存，從而不會(huì)體現(xiàn)到后續(xù) 的產(chǎn)品中，因而既達(dá)到了導(dǎo)引靜電的作用，又不會(huì)影響光罩圖形的圖形性能。另外，由于有些光罩圖形的復(fù)雜性，為了防止有無法通過靜電導(dǎo)引線20連接到放 電環(huán)10的光罩圖形考慮，在這些光罩圖形之間的空白區(qū)域還可設(shè)置放電組30，放電組30包 括有四個(gè)排列成矩陣狀的環(huán)矩形放電體301，每個(gè)放電體301上設(shè)置有兩個(gè)相互垂直的放 電尖角3010，放電尖角3010分別從放電體301相鄰的兩邊朝外延伸，且每個(gè)放電尖角3010 與其相鄰放電體301的一個(gè)放電尖角3010相對(duì)設(shè)置。放電組30的作用是將光罩圖案上累積的靜電進(jìn)行提前減小或釋放，避免光罩圖 形被累積的大量靜電擊傷。具體實(shí)現(xiàn)時(shí)，環(huán)矩形放電體301的外環(huán)寬度應(yīng)小于制造光罩圖 案所采用的微影刻蝕工藝的最小精度，并設(shè)置于在光罩圖形之間的對(duì)后續(xù)產(chǎn)品無影響或無 要求的空白區(qū)域的中心處，其外正方形寬度可為5um，內(nèi)正方形寬度可為2. 5um，放電尖角3010與其相鄰放電體301的放電尖角3010之間距離可為2. 5um,以放電組30不對(duì)產(chǎn)品的其 他性能產(chǎn)生影響為準(zhǔn)，如有影響，將其按比例相應(yīng)縮小即可，并可根據(jù)實(shí)際需要在每個(gè)Cell 與Cell之前都擺放一組放電組30。由于放電組30是整個(gè)光罩最小線寬的圖形，累積在光罩圖形的靜電會(huì)聚集在最 小處進(jìn)行放電，所以該放電組能夠?qū)⒗鄯e在光罩圖形上的靜電進(jìn)行釋放，以避免光罩被靜 電擊傷。本實(shí)用新型在光罩圖形的各部分都能將累積在光罩上的靜電導(dǎo)引出有效圖形外 進(jìn)行釋放，保障了有效圖形圖案的完整性；同時(shí)不影響產(chǎn)品設(shè)計(jì)電路圖形的性能。本實(shí)用新 型可廣泛用于各行業(yè)中類似圖案的光罩設(shè)計(jì)，大大節(jié)省后續(xù)為防靜電所做的成本。以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤 飾也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求一種防靜電光罩，包括覆蓋有金屬鉻層的蘇打玻璃，所述金屬鉻層蝕刻有光罩圖形，其特征在于繞該光罩邊緣的金屬鉻層表面設(shè)置有一放電環(huán)，該放電環(huán)通過設(shè)置在所述金屬鉻層的靜電導(dǎo)引線連接到光罩圖形，而該放電環(huán)的首尾通過兩組相對(duì)設(shè)置的放電端子對(duì)接，每組放電端子由若干以預(yù)設(shè)的間隔并排設(shè)置的放電端子構(gòu)成。
2.如權(quán)利要求1所述的防靜電光罩，其特征在于同一組放電端子中每個(gè)放電端子間 的間隔及單個(gè)放電端子的寬度均小于所述光罩圖形的最小線寬。
3.如權(quán)利要求2所述的防靜電光罩，其特征在于所述兩組放電端子間的相對(duì)距離不 超過每個(gè)放電端子寬度的二分之一。
4.如權(quán)利要求3所述的防靜電光罩，其特征在于所述靜電導(dǎo)引線的寬度小于制造所 述光罩圖形所采用的微影蝕刻工藝的最小精度。
5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的防靜電光罩，其特征在于所述放電環(huán)為黑色的矩 形環(huán)，其環(huán)邊寬為8-10厘米。
6.如權(quán)利要求1所述的防靜電光罩，其特征在于在光罩圖形之間的空白區(qū)域還設(shè)置 有放電組，所述放電組包括有四個(gè)排列成矩陣狀的環(huán)矩形放電體，每個(gè)放電體上設(shè)置有兩 個(gè)相互垂直的放電尖角，所述放電尖角分別從所述放電體相鄰的兩邊朝外延伸，且每個(gè)放 電尖角與其相鄰放電體的一個(gè)放電尖角相對(duì)設(shè)置。
7.如權(quán)利要求6所述的防靜電光罩，其特征在于所述環(huán)矩形的外環(huán)寬度小于制造所 述光罩圖形所采用的微影蝕刻工藝的最小精度。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種防靜電光罩，包括覆蓋有金屬鉻層的蘇打玻璃，所述金屬鉻層蝕刻有光罩圖形，繞該光罩邊緣的金屬鉻層表面設(shè)置有一放電環(huán)，該放電環(huán)通過設(shè)置在所述金屬鉻層的靜電導(dǎo)引線連接到光罩圖形，而該放電環(huán)的首尾通過兩組相對(duì)設(shè)置的放電端子對(duì)接，每組放電端子由若干以預(yù)設(shè)的間隔并排設(shè)置的放電端子構(gòu)成。本實(shí)用新型可大大節(jié)省放靜電光罩的防靜電設(shè)備和成本。
文檔編號(hào)G03F1/08GK201607608SQ20102030109
公開日2010年10月13日 申請(qǐng)日期2010年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月20日
發(fā)明者杜武兵 申請(qǐng)人:深圳市路維電子有限公司