專利名稱：觸摸屏及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種觸摸屏及其制備方法。本申請(qǐng)要求于2009年2月6日和2009年12 月21日在韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國(guó)專利申請(qǐng)第10-2009-0009750和10-2009-0127756 號(hào)的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，它們的全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用并入本文。此外，本申請(qǐng)要求于2009年7月 16日在韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國(guó)專利申請(qǐng)第10-2009-0065103和10-2009-0065106號(hào)的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，它們的全部?jī)?nèi)容通過(guò)弓I用并入本文。
背景技術(shù)：
一般而言，通過(guò)圖案化基于ITO的導(dǎo)電層來(lái)使用觸摸屏，但是，當(dāng)將ITO應(yīng)用到大面積觸摸屏上時(shí)，由于自身RC中繼(self-RC relay)導(dǎo)致識(shí)別速度降低。為了解決該問(wèn)題， 許多公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)了通過(guò)使用印刷法來(lái)取代ITO的技術(shù)，但是該技術(shù)難以形成具有高精度的精細(xì)圖案，該圖案在可見(jiàn)度方面是裸眼看不見(jiàn)的。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問(wèn)題為了解決相關(guān)領(lǐng)域中的問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種能夠經(jīng)濟(jì)并有效地制備包含具有高精度和超細(xì)線寬的導(dǎo)電圖案的觸摸屏的制備方法，以及用該方法制備的觸摸屏。技術(shù)方案本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種制備觸摸屏的方法，包含如下步驟a) 在基板上形成導(dǎo)電層；b)在所述導(dǎo)電層上形成防蝕圖案；和C)通過(guò)使用所述防蝕圖案經(jīng)過(guò)度蝕刻所述導(dǎo)電層形成線寬小于所述防蝕圖案的線寬的第一導(dǎo)電圖案。根據(jù)本發(fā)明的制備觸摸屏的方法可以進(jìn)一步包括dl)除了將導(dǎo)電層形成在第一導(dǎo)電圖案上而不是在基板上以外，以與步驟a)至C)相同的方式形成第二導(dǎo)電圖案；d2)在所述基板形成有第一導(dǎo)電圖案的表面的相反面以與步驟a)至c)相同的方式在基板上形成第二導(dǎo)電圖案；或們)在以與步驟a)至c)相同的方式將第二導(dǎo)電圖案形成在另外的基板上后，將帶有第二導(dǎo)電圖案的基板的表面層壓到帶有第一導(dǎo)電圖案的基板的表面上或帶有第一導(dǎo)電圖案的表面上。所述方法可以進(jìn)一步包括e)去除所述防蝕圖案；或f)在步驟C)后重新形成所述防蝕圖案以覆蓋所述導(dǎo)電圖案。所述方案可以進(jìn)一步包括當(dāng)進(jìn)行步驟e)時(shí)，在所述第一導(dǎo)電圖案上形成絕緣層。在步驟dl)至d3)中，在以與步驟a)至c)相同的方式形成所述第二導(dǎo)電圖案后， 可以在所述第二導(dǎo)電圖案上形成額外的絕緣層。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種使用所述制備觸摸屏的方法制備的觸摸屏，所述觸摸屏包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述導(dǎo)電圖案的錐角小。所述導(dǎo)電圖案的錐角可以為大于0至小于90度，優(yōu)選為大于0至45度以下， 并且更優(yōu)選為大于0至30度以下。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述絕緣層圖案的錐角小。所述絕緣層圖案的錐角可以為大于O至小于90度，優(yōu)選為大于0至70度以下，并且更優(yōu)選為大于0至30度以下。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述絕緣層圖案的錐角大于所述導(dǎo)電圖案的錐角。只要大于所述導(dǎo)電圖案的錐角，就對(duì)絕緣層圖案的錐角沒(méi)有特別限制，但是更優(yōu)選比所述導(dǎo)電圖案的錐角大0度至4度以下。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中在所述導(dǎo)電圖案和所述絕緣層圖案之間包含空隙。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種觸摸屏，其包括基板；和形成在所述基板的至少一個(gè)表面上的導(dǎo)電圖案，所述導(dǎo)電圖案的線寬為100微米以下，優(yōu)選為0. 1至 30微米，更優(yōu)選為0. 5至10微米，且更優(yōu)選為1至5微米。根據(jù)所述示例性實(shí)施方式的觸摸屏還可以包括在所述導(dǎo)電圖案上覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案。所述觸摸屏還可以包括絕緣層圖案，該絕緣層圖案具有與所述導(dǎo)電圖案相應(yīng)的圖案并且具有比所述導(dǎo)電圖案的線寬更寬的線寬。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種觸摸屏，其包括基板；形成在所述基板的至少一個(gè)表面上的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案或具有與所述導(dǎo)電圖案相應(yīng)的圖案和比所述導(dǎo)電圖案的線寬更寬的線寬的絕緣層圖案，其中在所述導(dǎo)電圖案線寬方向的橫截面中，從所述導(dǎo)電圖案的一端至所述絕緣層圖案的距離a和從所述導(dǎo)電圖案的另一端至所述絕緣層圖案的距離b之間的百分比a/b*100在90至110的范圍內(nèi)。有益效果根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，因?yàn)橛|摸屏能夠包含具有高精密度和超細(xì)線寬的導(dǎo)電圖案，所以該觸摸屏具有優(yōu)異的性能并且在其制備方法方面是非常有效率和經(jīng)濟(jì)的。 此外，所述導(dǎo)電圖案為高精密度的并且具有超細(xì)線寬，此外，可以具有大面積。


圖1至5為圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的方法的示例性實(shí)施方式的實(shí)例示意圖。圖6為圖示說(shuō)明導(dǎo)電圖案的線寬隨過(guò)度蝕刻程度變化的照片。圖7是圖示說(shuō)明在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏中防蝕圖案包含剩余區(qū)域和具有不同硬度的面積的情況的照片。圖8至11是圖示說(shuō)明如下結(jié)構(gòu)的實(shí)例示意圖其中在導(dǎo)電圖案上設(shè)置具有比該導(dǎo)電圖案的線寬更寬的線寬的防蝕圖案。圖12至15是圖示說(shuō)明相對(duì)于導(dǎo)電圖案以對(duì)稱結(jié)構(gòu)設(shè)置的絕緣層圖案的實(shí)例示意圖。
圖16是圖示說(shuō)明通過(guò)使用根據(jù)本發(fā)明的方法能夠去除短路產(chǎn)生因素的效果的示意圖。圖17至19是圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏的側(cè)邊結(jié)構(gòu)的實(shí)例示意圖。圖20至21是圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式制備觸摸屏的方法的實(shí)例示意圖。圖22至23是圖示說(shuō)明在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏中將導(dǎo)電圖案分開(kāi)的狀態(tài)的實(shí)例示意圖。圖M至25是圖示說(shuō)明如下結(jié)構(gòu)的實(shí)例示意圖其中將根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏連接至外加電壓。圖沈至四是圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏的導(dǎo)電圖案的實(shí)例示意圖。圖30是圖示說(shuō)明使用Voronoi (維諾)圖母點(diǎn)形成圖案的實(shí)例示意圖。圖31至33是圖示說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏的導(dǎo)電圖案的實(shí)例示意圖。圖34是圖示說(shuō)明Delaimay (德洛奈)圖案的形成實(shí)例的示意圖。圖35至37是圖示說(shuō)明Delaimay圖案的實(shí)例示意圖。圖38至39是圖示說(shuō)明在分開(kāi)導(dǎo)電圖案的網(wǎng)狀形狀的情況下和在將導(dǎo)線放在導(dǎo)電圖案的網(wǎng)狀形狀上的情況下評(píng)價(jià)可視性的結(jié)果的實(shí)例示意圖。圖40是圖示說(shuō)明莫爾效應(yīng)(moideffect)隨線寬和節(jié)距變化的實(shí)例示意圖。圖41至43是圖示說(shuō)明在實(shí)施例1中制備的導(dǎo)電圖案的示意圖。圖44是圖示說(shuō)明在實(shí)施例2中制備的導(dǎo)電圖案的示意圖。圖45是圖示說(shuō)明為了形成導(dǎo)電圖案產(chǎn)生不規(guī)則和均勻參考點(diǎn)的方法的實(shí)例示意圖。
具體實(shí)施例方式以下，將更詳細(xì)地描述本發(fā)明。根據(jù)本發(fā)明的制備觸摸屏的方法包括如下步驟a)在基板上形成導(dǎo)電層；b)在所述導(dǎo)電層上形成防蝕圖案；和c)通過(guò)使用所述防蝕圖案經(jīng)過(guò)度蝕刻所述導(dǎo)電層形成線寬小于所述防蝕圖案的線寬的第一導(dǎo)電圖案。在本說(shuō)明書(shū)中，所述過(guò)度蝕刻目的是蝕刻所述導(dǎo)電層以具有小于所述防蝕圖案的線寬的線寬。在根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏包括兩個(gè)以上導(dǎo)電圖案的情況下，根據(jù)本發(fā)明的制備觸摸屏的方法可以進(jìn)一步包括下列步驟dl)至d3)中的任何一步dl)除了將所述導(dǎo)電層形成在第一導(dǎo)電圖案上而不是在基板上以外，以與步驟a) 至c)相同的方式形成第二導(dǎo)電圖案；d2)在所述基板形成有第一導(dǎo)電圖案的表面的相反面以與步驟a)至C)相同的方式在基板上形成第二導(dǎo)電圖案；或d3)在以與步驟a)至c)相同的方式將所述第二導(dǎo)電圖案形成在另外的基板上后， 將帶有第二導(dǎo)電圖案的基板的表面層壓到帶有第一導(dǎo)電圖案的基板的表面上或帶有第一導(dǎo)電圖案的表面上。在本說(shuō)明書(shū)中，可以將在下面描述的形成導(dǎo)電圖案的方法或材料應(yīng)用于所述第一導(dǎo)電圖案和所述第二導(dǎo)電圖案。所述方法可以進(jìn)一步包括e)去除所述防蝕圖案；或f)在步驟C)后重新形成所述防蝕圖案以覆蓋所述導(dǎo)電圖案。當(dāng)進(jìn)行步驟e)的情況下，所述方法可以進(jìn)一步包括在所述第一導(dǎo)電圖案上形成絕緣層。使用步驟e)的實(shí)例顯示在圖1和3中，而使用步驟f)的實(shí)例顯示在圖2和4中，但是本發(fā)明的范圍并不限于在附圖中顯示的工序，并且在必要時(shí)， 顯示在圖1至4中的一些工序可以忽略或增加。在步驟d)中，在以與步驟a)至c)相同的方式形成所述第二導(dǎo)電圖案后，可以在所述第二導(dǎo)電圖案上形成額外的絕緣層。在本說(shuō)明書(shū)中，當(dāng)所述防蝕圖案具有絕緣性能時(shí)，可以應(yīng)用對(duì)于所述絕緣層圖案的描述。所述基板的材料可以根據(jù)意圖應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的制備導(dǎo)電圖案的方法的領(lǐng)域來(lái)適當(dāng)?shù)剡x擇，并且優(yōu)選的實(shí)例是玻璃或無(wú)機(jī)材料基板、塑料基板、或其他柔性基板，但是所述基板的材料不限于這些。另外，對(duì)所述導(dǎo)電層的材料沒(méi)有特殊限制，但是可以為金屬層。所述導(dǎo)電層材料的具體實(shí)例可以為包含銀、鋁、銅、釹、鉬或它們的合金的單層或多層。這里，對(duì)所述導(dǎo)電層的厚度沒(méi)有特殊限制，但是根據(jù)導(dǎo)電層的導(dǎo)電性和形成工序的經(jīng)濟(jì)效益，可以為0. 01至 10 μ m。對(duì)于形成所述導(dǎo)電層的方法沒(méi)有特殊限制，但是可以使用例如沉積法、濺射法、濕涂法、蒸鍍法、電鍍法或化學(xué)鍍法、金屬箔層合法等的方法。根據(jù)本發(fā)明的方法，包括在用于顯示的電子元件的有效屏幕零件中的導(dǎo)電圖案和用于施加其信號(hào)的導(dǎo)線零件可以同時(shí)形成。具體而言，形成所述導(dǎo)電層的方法可以通過(guò)在將包含有機(jī)金屬、納米金屬或其復(fù)合物的溶液涂布在基板上后焙燒和/或干燥使用賦予導(dǎo)電性的方法。所述有機(jī)金屬可以使用有機(jī)銀，而所述納米金屬可以使用納米銀微粒等。在本發(fā)明中，在形成所述導(dǎo)電層之前，所述方法可以進(jìn)一步包含形成緩沖層以改善基板上的粘合性。根據(jù)本發(fā)明的方法可以進(jìn)一步包含，在步驟a)后洗滌所形成的導(dǎo)電層。本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在步驟b)中形成的防蝕圖案的線邊緣粗糙度(LER)決定了可以通過(guò)過(guò)度蝕刻形成而沒(méi)有斷開(kāi)的導(dǎo)電圖案的最小線寬的臨界尺寸。當(dāng)所述防蝕圖案的線邊緣粗糙度(LER)非常大時(shí)，在過(guò)度蝕刻中在獲得具有所需線寬的導(dǎo)電圖案之前，所述導(dǎo)電圖案就可能斷開(kāi)了。所述防蝕圖案的線邊緣粗糙度(LER)可以為所述導(dǎo)電圖案的最小線寬的一半。因此，所述防蝕圖案的線邊緣粗糙度(LER)可以通過(guò)所需導(dǎo)電圖案的線寬的一半來(lái)控制。因此，所述防蝕圖案的線邊緣粗糙度(LER)優(yōu)選為0. 1至5微米，且更優(yōu)選為 0. 2至5微米。在該范圍的情況下，有利于形成具有10微米以下，優(yōu)選5微米以下的超細(xì)線寬的導(dǎo)電圖案。這里，所述線邊緣粗糙度(LER)指的是在所述防蝕圖案的線邊緣中基于最深的點(diǎn)最凸出的點(diǎn)的高度。在步驟b)中，形成所述防蝕圖案的方法優(yōu)選為印刷法、光刻法、照相法、使用掩膜的方法、或激光轉(zhuǎn)印法(例如熱轉(zhuǎn)印影像法)，并且更優(yōu)選印刷法或光刻法。
所述印刷法可以如下進(jìn)行將包含防蝕材料的膏劑或油墨轉(zhuǎn)印到形成有所需圖案形式的導(dǎo)電層的基板上并焙燒。對(duì)所述轉(zhuǎn)印方法沒(méi)有特殊限制，但是可以如下進(jìn)行在例如凹版或絲網(wǎng)的圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)上形成所述圖案并使用該圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)將所需圖案轉(zhuǎn)印到所述導(dǎo)電層上。在所述圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)上形成所述圖案形式的方法可以使用本領(lǐng)域中的已知方法。對(duì)印刷法沒(méi)有特殊限制，但是可以使用例如照相凹版膠印法、反向膠印法 (reverse offset printing)、絲網(wǎng)印刷法、照相凹版印刷法的印刷法，并且更優(yōu)選照相凹版膠印法或反向膠印法的印刷法以通過(guò)形成在上述線邊緣粗糙度(LER)范圍內(nèi)的防蝕圖案來(lái)獲得具有超細(xì)線寬的導(dǎo)電圖案。所述反向膠印法可以如下進(jìn)行通過(guò)將膏劑涂布在輥型橡皮布上然后使該膏劑與不平坦的鉛版(clich6)接觸來(lái)在橡皮布上形成所需的圖案，然后將在橡皮布上形成的圖案轉(zhuǎn)印到導(dǎo)電層上。所述印刷法顯示在圖1和2中。另外，所述照相凹版膠印法可以如下進(jìn)行將膏劑填充到具有圖案的凹版中，首先用稱為橡皮布的硅橡膠轉(zhuǎn)印該膏劑，然后通過(guò)將所述橡皮布與形成有所述導(dǎo)電層的基板接觸來(lái)進(jìn)行第二轉(zhuǎn)印。所述印刷法顯示在圖3至 5中。但是，在圖1至5中舉例說(shuō)明了實(shí)施本發(fā)明的方法，而本發(fā)明的范圍不限于這些方法。 在必要時(shí)，圖1至5中顯示的某些工序可以省略或增加。在照相凹版膠印法或反向膠印法的情況下，因?yàn)橛捎谙鹌げ嫉尼尫盘匦?，幾乎所有的油墨或膏劑都被轉(zhuǎn)印到帶有導(dǎo)電層的基板上，所以不需要額外洗滌橡皮布。所述凹版可以通過(guò)精確蝕刻所述基板而制備。所述凹版可以通過(guò)蝕刻金屬板而制備或者可以使用聚合物樹(shù)脂通過(guò)光刻圖案化而制備。絲網(wǎng)印刷法可以如下進(jìn)行將膏劑設(shè)置在具有圖案的絲網(wǎng)上，然后通過(guò)具有空檔的絲網(wǎng)將膏劑直接設(shè)置在帶有導(dǎo)電層的基板上同時(shí)推動(dòng)壓模。照相凹版印刷法可以如下進(jìn)行將具有圖案的橡皮布卷繞在輥上，將膏劑填充到圖案中，然后將膏劑轉(zhuǎn)印到帶有導(dǎo)電層的基板上。在本發(fā)明中，可以單獨(dú)使用所述方法，也可以組合使用所述方法。另外，也可以使用本領(lǐng)域普通技術(shù)人員公知的其它印刷法。在本發(fā)明中，可以使用所述印刷法，并且特別地，可以使用膠印法、反向膠印法或照相凹版印刷法。在反向膠印法的情況下，包含所述防蝕圖案材料的印刷油墨的粘度優(yōu)選為大于 Ocps至lOOOcps以下，且更優(yōu)選為5cps至lOcps。另外，在照相凹版印刷法的情況下，油墨的粘度優(yōu)選為6，OOOcps至12，OOOcps,且更優(yōu)選為7，OOOcps至8，OOOcps。當(dāng)油墨的粘度在所述范圍內(nèi)時(shí)，在每一種印刷法中，可以滿意地進(jìn)行油墨的涂布并且能夠保持工序中油墨的穩(wěn)定性(油墨的工序保持能力)。在本發(fā)明中，形成所述防蝕圖案的方法不限于上述的印刷法，并且可以使用光刻法。例如，所述方法可以如下進(jìn)行在導(dǎo)電層上形成具有光敏性和耐酸性(耐蝕刻性)的防蝕層，然后通過(guò)選擇性曝光和顯影圖案化所形成的防蝕層。在通過(guò)使用防蝕圖案作為掩膜蝕刻導(dǎo)電層后重新形成防蝕圖案以覆蓋導(dǎo)電圖案的情況下，所述防蝕圖案的錐角優(yōu)選為大于0至小于90度，且更優(yōu)選為10以上至70度以下。當(dāng)所述防蝕圖案的錐角在該范圍內(nèi)時(shí)，可以容易地重新形成防蝕圖案并且該防蝕圖案可以充分地覆蓋導(dǎo)電圖案。
所述防蝕圖案優(yōu)選通過(guò)使用如下的材料形成所述材料具有耐酸性，具有與導(dǎo)電層足夠的粘附性，同時(shí)不與在導(dǎo)電層的蝕刻中使用的蝕刻劑反應(yīng)。另外，在通過(guò)使用防蝕圖案作為掩膜蝕刻導(dǎo)電層后重新形成防蝕圖案以覆蓋導(dǎo)電圖案的情況下，所述防蝕圖案的材料可以具有絕緣性能。此外，在步驟f)中，所述防蝕圖案的材料優(yōu)選使用通過(guò)在重新形成該防蝕圖案過(guò)程中使用的條件(例如，加熱、溶劑、熏蒸(溶劑熏蒸)、等離子體等)下加工具有流動(dòng)性和耐酸性的聚合物材料，且更優(yōu)選使用具有交聯(lián)性的聚合物材料。所述防蝕圖案的材料可以具有泄漏電流為10—1安培以下的絕緣性。所述防蝕圖案材料的泄漏電流可以為IO-"5安培以上。所述防蝕圖案材料優(yōu)選對(duì)于在相應(yīng)方法中使用的導(dǎo)電層的蝕刻劑具有耐酸性，并且，例如優(yōu)選為這樣一種材料當(dāng)該材料通過(guò)浸入法或噴霧法與相應(yīng)導(dǎo)電層的蝕刻劑接觸時(shí)，其在10分鐘內(nèi)形狀沒(méi)有變化。此外，所述防蝕圖案材料優(yōu)選在下面將要描述的步驟f)的加工條件下具有流動(dòng)性。特別地，所述防蝕圖案材料可以使用具有塑性和可固化性的聚合物材料。在本發(fā)明中， 所述防蝕圖案材料可以使用熱固性樹(shù)脂和UV可固化樹(shù)脂。與熱固性樹(shù)脂相比，UV可固化樹(shù)脂可以不使用溶劑，從而沒(méi)有由于溶劑蒸發(fā)導(dǎo)致的問(wèn)題，并且有利于形成穩(wěn)定形狀的精細(xì)圖案。圖5舉例說(shuō)明了通過(guò)使用UV可固化樹(shù)脂制備防蝕圖案的情況。具體而言，所述防蝕圖案材料可以使用，例如，基于酰亞胺的聚合物、基于雙酚的聚合物、基于環(huán)氧的聚合物、基于丙烯酸酯的聚合物、基于酯的聚合物、基于酚醛樹(shù)脂的聚合物或它們的組合。在這些聚合物中，優(yōu)選使用基于丙烯酸酯的聚合物、基于酰亞胺的聚合物或基于酚醛樹(shù)脂的聚合物。另外，所述防蝕圖案材料可以使用基于酰亞胺的單體、基于雙酚的單體、基于環(huán)氧的單體、基于丙烯酸酯的單體和基于酯的單體中的兩種或更多種的組合或者共聚物，并且，例如可以使用環(huán)氧樹(shù)脂和丙烯酸酯樹(shù)脂或環(huán)氧單體和丙烯酸酯單體的共聚物。在通過(guò)印刷法形成防蝕圖案的情況下，通過(guò)控制固體含量或適當(dāng)選擇溶劑可以增加加工裕度(proce ss margin)。在用于形成防蝕圖案的油墨組合物中的固體含量可以根據(jù)印刷方法的種類或防蝕圖案的厚度進(jìn)行不同的控制。例如，在照相凹版膠印法的情況下，防蝕圖案組合物的固體含量?jī)?yōu)選為70至80重量％。此外，在通過(guò)使用反向膠印法形成厚度為IOOnm至10微米且更優(yōu)選500nm至2微米的防蝕圖案的情況下，所述防蝕圖案組合物的固體含量?jī)?yōu)選為10至 25重量％。但是，本發(fā)明的范圍不限于所述實(shí)例，并且所述防蝕圖案組合物的固體含量可以由本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)其他材料或加工條件進(jìn)行控制。能夠加入到防蝕圖案組合物中的溶劑可以使用本領(lǐng)域中使用的溶劑，并且可以使用單種溶劑或兩種或更多種的混合溶劑。例如，對(duì)在所述印刷法中使用的橡皮布材料(例如PDMS)不會(huì)產(chǎn)生損害的任何溶劑都沒(méi)有特殊限制。例如，可以使用丙二醇甲醚乙酸酯 (PGMEA)、乙醇、丙烯碳酸酯、丁基溶纖劑、二甲基乙酰胺(DMAc)、甲基乙基酮(MEK)、甲基異丁基酮(MIBK)等。用于形成防蝕圖案的組合物可以進(jìn)一步包含粘合增進(jìn)劑、表面活性劑等。在通過(guò)使用防蝕圖案作為掩膜蝕刻導(dǎo)電層后重新形成防蝕圖案以覆蓋導(dǎo)電圖案的情況下，為了用防蝕圖案充分覆蓋導(dǎo)線，優(yōu)選防蝕圖案的厚度大于導(dǎo)線的厚度，但是并不限于此。另外，防蝕圖案的寬度可以由本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)使用本發(fā)明方法的領(lǐng)域來(lái)
10適當(dāng)選擇，但是沒(méi)有特殊限制。例如，防蝕圖案的下限寬度優(yōu)選具有同時(shí)包覆所述導(dǎo)線的上表面和側(cè)面的尺寸。在步驟C)中，通過(guò)使用所述防蝕圖案作為掩膜經(jīng)過(guò)度蝕刻形成導(dǎo)電圖案以具有比防蝕圖案的線寬小的線寬。所述蝕刻方法可以是使用蝕刻劑的濕法蝕刻或使用等離子體或激光的干法蝕刻， 但是并不限于這些。在濕法蝕刻中，所述蝕刻劑可以是硝酸溶液、磷酸/硝酸/乙酸的混合酸溶液、硝酸(HNO3)溶液中的一種或兩種或更多種、磷酸/硝酸/乙酸的混合酸溶液，可以使用過(guò)氧化氫、高氯酸、氫氯酸、氫氟酸、和草酸、或它們的水溶液作為蝕刻溶液，并且在必要時(shí)，可以向其中加入添加劑或其他成分以蝕刻所需的導(dǎo)電層，但是所述溶液并不限于這些。通常，可以使用已知為相應(yīng)導(dǎo)電層的蝕刻溶液的蝕刻劑。在步驟c)中，當(dāng)蝕刻導(dǎo)電層時(shí)，通過(guò)進(jìn)行所述過(guò)度蝕刻在所述防蝕圖案的邊緣的下側(cè)部分形成側(cè)蝕(undercut)。所述“側(cè)蝕”指的是，在基板上形成第一層和在第一層上形成第二層后，當(dāng)通過(guò)使用該第二層作為掩膜僅僅選擇性蝕刻第一層時(shí)，通過(guò)在第一層側(cè)進(jìn)行過(guò)度蝕刻形成的第一層的面積小于第二層的面積的形狀。這里，“通過(guò)使用第二層作為掩膜”指的是所述第二層沒(méi)有被所述蝕刻弄變形或去除，而是保持原狀。在常規(guī)蝕刻工藝中，當(dāng)通過(guò)使用第二層作為掩膜蝕刻第一層時(shí)，第一層的圖案被實(shí)現(xiàn)為與第二層的圖案相同的形狀，并且防止形成側(cè)蝕。然而，在本發(fā)明中，通過(guò)蝕刻導(dǎo)電層以在防蝕圖案的下面部分形成側(cè)蝕可以獲得線寬比防蝕圖案的線寬更細(xì)的導(dǎo)電圖案。在步驟c)中，當(dāng)通過(guò)過(guò)度蝕刻形成側(cè)蝕時(shí)，防蝕圖案的線寬或長(zhǎng)度大于導(dǎo)電圖案的線寬或長(zhǎng)度。此外，當(dāng)產(chǎn)生側(cè)蝕時(shí)，導(dǎo)電圖案的錐角為大于0至小于90度，更優(yōu)選大于0至45 度以下，且更優(yōu)選大于0至30度以下，但是并不限于這些。這里，錐角指的是在導(dǎo)電圖案的末端和其下層(也即，基板的表面)之間的角度。錐角可以用如下的角測(cè)量，該角為具有從導(dǎo)電圖案的一個(gè)末端點(diǎn)至導(dǎo)電圖案的上表面開(kāi)始扁平的點(diǎn)的正切的平均斜率的直線和其下層表面之間的角。在本發(fā)明中，所述具有小錐角的導(dǎo)電圖案可以通過(guò)使用與相關(guān)領(lǐng)域不同的方法提供。在步驟C)中，所述導(dǎo)電圖案的線寬可以根據(jù)用于形成所述導(dǎo)電圖案的蝕刻時(shí)間進(jìn)行控制。蝕刻時(shí)間越長(zhǎng)，所形成的導(dǎo)電圖案的線寬就會(huì)越細(xì)。在本發(fā)明中，形成導(dǎo)電圖案的蝕刻時(shí)間可以根據(jù)條件，例如在導(dǎo)電圖案的形成中使用的蝕刻劑的種類或濃度、導(dǎo)電層的種類、蝕刻溫度等，變化。例如，所述蝕刻時(shí)間為剛好蝕刻時(shí)間(just-etching time)至比所述剛好蝕刻時(shí)間延長(zhǎng)2000%的時(shí)間，優(yōu)選比剛好蝕刻時(shí)間延長(zhǎng)1至1000%的時(shí)間，更優(yōu)選比剛好蝕刻時(shí)間延長(zhǎng)1至500%的時(shí)間，且進(jìn)一步更優(yōu)選比剛好蝕刻時(shí)間延長(zhǎng)5至100%的時(shí)間。這里，所述剛好蝕刻時(shí)間指的是當(dāng)將圖案蝕刻成與掩膜形狀相同的形狀時(shí)所需的時(shí)間。導(dǎo)電圖案的線寬隨蝕刻時(shí)間的變化顯示在圖6 中。導(dǎo)電層的蝕刻溫度也可以根據(jù)條件，例如在導(dǎo)電層的圖案化過(guò)程中使用的蝕刻劑的種類和濃度、導(dǎo)電層的種類、蝕刻溫度等，變化，并且，例如，可以為室溫至80度，優(yōu)選30 至70度。蝕刻方法可以是深度蝕刻法、噴霧法等，但是更優(yōu)選噴霧法以均勻蝕刻。當(dāng)導(dǎo)電層是多層膜時(shí)，可以使用同時(shí)和幾乎以相同速度蝕刻所述多層膜的蝕刻劑。在通過(guò)使用防蝕圖案作為掩膜蝕刻導(dǎo)電層以后，可以如步驟e) —樣去除防蝕圖案，但是沒(méi)有去除防蝕圖案的導(dǎo)電層可以原樣用作觸摸屏。進(jìn)而，如步驟f) 一樣，可以通過(guò)重新形成防蝕圖案包覆導(dǎo)電圖案。在步驟e)中，可以根據(jù)防蝕圖案材料的種類通過(guò)使用本領(lǐng)域中已知的方法去除所述防蝕圖案。在步驟f)中，“包覆”指的是在形狀變化的同時(shí)回熔的防蝕圖案接觸導(dǎo)電圖案的側(cè)面和基板以使導(dǎo)電層與外界絕緣。另外，在本發(fā)明中，在說(shuō)明書(shū)中定義的“重新形成”指的是防蝕圖案具有流動(dòng)性并且改變其形狀以覆蓋設(shè)置在下部的導(dǎo)電圖案。在步驟f)中，可以如下方式重新形成防蝕圖案通過(guò)用加熱、溶劑或熏蒸(溶劑熏蒸)或等離子體處理改變具有流動(dòng)性的防蝕圖案，然后用加熱或等離子體的額外處理或去除溶劑(其是一個(gè)化學(xué)處理)固化防蝕圖案。或者，可以向防蝕圖案施加壓力以使其物理變形?？梢酝ㄟ^(guò)使用加熱或溶劑(或溶劑熏蒸)來(lái)重新形成防蝕圖案，而在這種情況下， 如上所述，可以使用塑性或可固化的聚合物材料作為防蝕圖案的材料。在通過(guò)加熱重新形成防蝕圖案的情況下，當(dāng)加熱時(shí)，防蝕圖案材料具有流動(dòng)性，從而流入基板和防蝕圖案之間的空間中，然后，當(dāng)進(jìn)一步加熱時(shí)，所述材料固化而喪失其流動(dòng)性。在這種情況下，加熱溫度可以由本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)防蝕圖案的材料適當(dāng)?shù)剡x擇。 可以控制加熱條件，從而使得防蝕圖案具有理想的交聯(lián)度，例如10至100%，或理想的絕緣性能，例如，泄漏電流為KT1安培以下。例如，加熱可以在120°C至350°C的溫度下進(jìn)行以 50C /min至60°C /min的速度升溫。另外，也可以進(jìn)行相同溫度的加熱或不同溫度的雙重加熱。作為一個(gè)具體實(shí)例，當(dāng)基于酰亞胺的樹(shù)脂用作防蝕圖案材料時(shí)，加熱可以在250°C至 300°C的溫度下進(jìn)行。作為另一個(gè)實(shí)例，當(dāng)基于酚醛樹(shù)脂的樹(shù)脂用作防蝕圖案材料時(shí)，加熱可以在120°C至140°C的溫度下進(jìn)行。當(dāng)使用溶劑或溶劑熏蒸重新形成防蝕圖案時(shí)，所述防蝕圖案可以被暴露在溶劑熏蒸(溶劑退火)的氣氛下。因此，當(dāng)防蝕圖案材料與溶劑反應(yīng)時(shí)，防蝕圖案材料具有流動(dòng)性， 從而防蝕圖案變形以接觸基板。然后，當(dāng)通過(guò)在使溶劑變干的預(yù)定溫度下加熱來(lái)去除溶劑時(shí)，防蝕圖案材料固化而喪失流動(dòng)性。這樣的重新形成方法是優(yōu)選的。在這種情況下，所述溶劑可以由本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)防蝕圖案材料適當(dāng)?shù)剡x擇，并且可以選自在其中防蝕圖案材料可以溶解的溶劑組中。例如，當(dāng)使用基于酚醛樹(shù)脂的樹(shù)脂作為防蝕圖案材料時(shí)，可以使用IPA作為溶劑。此外，干燥溫度可以在所選溶劑的熔化溫度附近，并且優(yōu)選為室溫至 300°C，但是并不限于這些。在本發(fā)明中，在步驟b)形成所述防蝕圖案的過(guò)程中或之后可以進(jìn)行烘焙處理(圖 1至4)。具體而言，所述烘焙處理可以在步驟b)過(guò)程中在基板上形成所述防蝕層后在形成所述防蝕圖案后進(jìn)行，或者在步驟c)的形成導(dǎo)電圖案之前進(jìn)行。進(jìn)行所述烘焙可以通過(guò)在防蝕圖案和其相鄰層之間產(chǎn)生粘附，同時(shí)至少部分固化防蝕圖案以防止防蝕圖案在烘焙步驟或隨后步驟中發(fā)生變化，然后在必要時(shí)，在防蝕圖案的重新形成中穩(wěn)定形成防蝕圖案的回熔形狀。在烘焙處理中希望實(shí)現(xiàn)的防蝕圖案的可固化性可以由本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)防蝕圖案的材料或在必要時(shí)隨后將要進(jìn)行的重新形成的條件確定，例如，可固化性可以在0 至100%的范圍內(nèi)。烘焙處理的條件可以由本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)防蝕圖案的材料、防蝕圖案的厚度以及用于形成導(dǎo)線的蝕刻條件(例如蝕刻劑的種類、蝕刻時(shí)間、蝕刻溫度等)選擇。如果烘焙溫度非常高，則防蝕圖案的交聯(lián)度會(huì)非常高，從而會(huì)發(fā)生圖案面積的改變，例如變形。作為一個(gè)實(shí)例，當(dāng)使用基于酚醛樹(shù)脂的聚合物和光刻法形成防蝕圖案時(shí)，烘焙可以在80至150°C的溫度下進(jìn)行2至3分鐘。作為另一個(gè)實(shí)例，當(dāng)使用基于酚醛樹(shù)脂的聚合物和印刷法形成防蝕圖案時(shí)，烘焙可以在125至130°C的溫度下進(jìn)行2至3分鐘。作為另一個(gè)實(shí)例，當(dāng)使用基于丙烯酸酯的聚合物形成防蝕圖案時(shí)，烘焙可以在170至230°C的溫度下進(jìn)行5至60分鐘。作為另一個(gè)實(shí)例，當(dāng)使用PSPI聚合物形成防蝕圖案時(shí)，烘焙可以在120 至300°C的溫度下進(jìn)行1至60分鐘。當(dāng)烘焙溫度非常低時(shí)，根據(jù)烘焙難以獲得交聯(lián)效果，而當(dāng)烘焙溫度非常高時(shí)，由于防蝕圖案的變形會(huì)導(dǎo)致形狀變形。烘焙時(shí)間可以隨著上述的材料或加工條件而變化，例如可以為約2至3分鐘，但是并不限于此。在本發(fā)明中，當(dāng)使用UV可固化樹(shù)脂作為防蝕圖案材料時(shí)，在步驟b)中或之后可以進(jìn)行曝光和焙燒。實(shí)例顯示在圖5中。根據(jù)本發(fā)明的方法可以進(jìn)一步包括，在步驟c)、e)和f)之后的洗滌。所述洗滌可以通過(guò)使用在步驟c)中使用的蝕刻劑進(jìn)行。所述洗滌可以去除外來(lái)物質(zhì)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏具有導(dǎo)電圖案的小錐角，并且所述錐角小于90度，優(yōu)選45度以下，且更優(yōu)選30度以下。在本發(fā)明中，當(dāng)進(jìn)行步驟f)時(shí)，在根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏中，防蝕圖案可以包含剩余區(qū)域和取決于防蝕圖案材料的具有不同硬度的區(qū)域。所述剩余區(qū)域和具有不同硬度的區(qū)域會(huì)發(fā)生在防蝕圖案沒(méi)有重新形成的區(qū)域和防蝕圖案重新形成的區(qū)域的界面處，并且會(huì)形成為在該界面處的帶狀。與在該截面處的其余區(qū)域相比，所述帶會(huì)具有向上凸起的形狀。該帶狀可以在圖7中觀察到。在本發(fā)明中，通過(guò)重新形成防蝕圖案，可以將導(dǎo)電圖案的端點(diǎn)和防蝕圖案的端點(diǎn)之間的距離控制在0至1微米或5微米或更多。特別地，當(dāng)使用熱固性樹(shù)脂作為防蝕圖案材料時(shí)，導(dǎo)電圖案的端點(diǎn)和防蝕圖案的端點(diǎn)之間的距離會(huì)短很多，如0至1微米。同時(shí)，當(dāng)使用熱塑性樹(shù)脂作為防蝕圖案材料時(shí)，導(dǎo)電圖案的端點(diǎn)和防蝕圖案的端點(diǎn)之間的距離會(huì)相對(duì)長(zhǎng)，如5微米或更多。在本發(fā)明中，當(dāng)重新形成防蝕圖案時(shí)，在導(dǎo)電圖案和防蝕圖案之間會(huì)觀察到空隙。 這與現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)在導(dǎo)電圖案上形成絕緣層時(shí)不會(huì)觀察到空隙是不同的。在本發(fā)明中，空隙的厚度(最長(zhǎng)側(cè)和最短側(cè)之間的最短距離)優(yōu)選為大于0至導(dǎo)電圖案的厚度以下，并且更優(yōu)選為大于O至導(dǎo)電圖案的厚度的0. 7以下。在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏中，所述重新形成的防蝕圖案的錐角可以大于導(dǎo)電圖案的錐角。
在根據(jù)本發(fā)明的方法制備的觸摸屏中，所述重新形成的防蝕圖案的橫截面的形狀可以為半圓形。在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏中，對(duì)導(dǎo)電圖案的線寬沒(méi)有特殊限制，但是導(dǎo)電圖案的精細(xì)線寬可以為100微米以下，優(yōu)選0. 1至30微米，更優(yōu)選0. 5至10 微米，且進(jìn)一步更優(yōu)選1至5微米。特別地，在所述方法中，當(dāng)通過(guò)使用所示防蝕圖案作為掩膜蝕刻所述導(dǎo)電層時(shí)，通過(guò)過(guò)度蝕刻形成側(cè)蝕可以實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的線寬。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏可以進(jìn)一步包括設(shè)置在導(dǎo)電圖案上并覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案或具有與所述導(dǎo)電圖案相應(yīng)的圖案并具有比所述導(dǎo)電圖案的線寬更大的線寬的防蝕圖案。所述覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案可以具有如圖12和13所示的結(jié)構(gòu)，而所述具有與所述導(dǎo)電圖案相應(yīng)的圖案并具有比所述導(dǎo)電圖案的線寬更大的線寬的防蝕圖案可以具有如圖8至11所示的結(jié)構(gòu)。然而，本發(fā)明的范圍不限于所述附圖。在通過(guò)所述方法形成導(dǎo)電圖案后，可以在不去除用作形成所述導(dǎo)電圖案的掩膜的防蝕圖案的情況下制備所述結(jié)構(gòu)。在這種情況下，所述防蝕圖案可以具有絕緣性能。當(dāng)在導(dǎo)電圖案上形成防蝕圖案時(shí)，通過(guò)控制防蝕圖案材料的種類及其三維形狀能夠額外賦予光學(xué)性能。圖8至11顯示了根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，其中在導(dǎo)電圖案上設(shè)置具有比導(dǎo)電圖案的線寬更大的線寬的防蝕圖案。但是，并不僅僅限于這些附圖所示的結(jié)構(gòu)，而是可以具有其他結(jié)構(gòu)，并且可以去除所述防蝕圖案。根據(jù)本發(fā)明一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏包括基板；形成在所述基板的至少一個(gè)表面上的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案或具有與所述導(dǎo)電圖案相應(yīng)的圖案和比所述導(dǎo)電圖案的線寬更寬的線寬的絕緣層圖案，其中在所述導(dǎo)電圖案線寬方向的橫截面中，從所述導(dǎo)電圖案的一端至所述絕緣層圖案的距離a和從所述導(dǎo)電圖案的另一端至所述絕緣層圖案的距離b之間的百分比a/b*100在90至110的范圍內(nèi)。所述百分比優(yōu)選為95至105，且更優(yōu)選為99至101。在根據(jù)本發(fā)明的方法中，所述絕緣層圖案和導(dǎo)電圖案沒(méi)有通過(guò)使用額外的掩膜或額外的印刷法形成，而是通過(guò)使用所述絕緣層圖案作為掩膜形成所述導(dǎo)電圖案，并且之后重新形成所述絕緣層圖案來(lái)使用，使得設(shè)置在所述導(dǎo)電圖案上的該絕緣層可以與所述導(dǎo)電圖案對(duì)稱。所述對(duì)稱結(jié)構(gòu)在圖12至15中進(jìn)行了舉例說(shuō)明，但是本發(fā)明的范圍不限于所述結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的方法，雖然在觸摸屏的制備工藝過(guò)程中在防蝕圖案或?qū)щ妶D案的形成時(shí)會(huì)發(fā)生圖案缺陷，但是可以提供沒(méi)有短路的絕緣導(dǎo)電圖案(insulated conductive pattern)。這里，所述圖案缺陷指的是所述用于形成導(dǎo)電圖案的絕緣圖案被形成為部分而不是圖案形狀。在本發(fā)明中，所述用于形成導(dǎo)電圖案的防蝕圖案沒(méi)有被去除，而是重新形成其形狀，從而使用該防蝕圖案來(lái)使所述導(dǎo)電圖案絕緣。因此，不存在沒(méi)有被絕緣圖案絕緣的導(dǎo)電圖案。相應(yīng)地，雖然在防蝕圖案或?qū)щ妶D案的形成時(shí)會(huì)發(fā)生圖案缺陷，但是在基板上沒(méi)有留下例如導(dǎo)電材料的外來(lái)物質(zhì)，從而不會(huì)發(fā)生短路。在現(xiàn)有技術(shù)中，由于絕緣層圖案的圖案缺陷導(dǎo)致導(dǎo)電圖案沒(méi)有被完全覆蓋或者由于導(dǎo)電圖案的圖案缺陷導(dǎo)致存在沒(méi)有被絕緣層圖案覆蓋的導(dǎo)電圖案，從而會(huì)發(fā)生短路。相反，在本發(fā)明中，通過(guò)上述的原因可以極大地降低出錯(cuò)率，而且可以不需要用于去除導(dǎo)電圖案的缺陷區(qū)域的額外的洗滌或蝕刻工序(這是現(xiàn)有技術(shù)中需要的)。本發(fā)明的效果顯示在圖16中。因此，根據(jù)本發(fā)明的方法，能夠提供這樣一種絕緣導(dǎo)電圖案，其中基本上不發(fā)生由于有缺陷的圖案導(dǎo)致的短路。
圖17和18舉例說(shuō)明了包括根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的觸摸屏。 圖17顯示了這樣一種結(jié)構(gòu)，其中在單層或多層基板的一個(gè)表面上設(shè)置導(dǎo)電圖案，而圖18顯示了這樣一種結(jié)構(gòu)，其中在單層或多層基板的兩個(gè)表面上都設(shè)置導(dǎo)電圖案。作為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的電子元件的一個(gè)實(shí)例，圖19顯示了觸摸屏的結(jié)構(gòu)。圖19所述的觸摸屏包括基板；設(shè)置在基板上的第一導(dǎo)電圖案；設(shè)置在所述第一導(dǎo)電圖案上的第一絕緣層；設(shè)置在所述第一絕緣層上的第二導(dǎo)電圖案；以及設(shè)置在所述第二導(dǎo)電圖案上的第二絕緣層。然而，本發(fā)明的范圍并不限于圖17至19。圖20和21舉例說(shuō)明了根據(jù)本發(fā)明的制備觸摸屏的方法。圖20顯示了這樣一個(gè)實(shí)例，其中通過(guò)使用單個(gè)基板制備觸摸屏，而圖21顯示了這樣一個(gè)實(shí)例，其中通過(guò)形成導(dǎo)電圖案，然后通過(guò)使用兩片基板層壓該導(dǎo)電圖案來(lái)制備觸摸屏。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏的導(dǎo)電圖案可以用直線和曲線隔開(kāi)。這里，所述隔開(kāi)指的是導(dǎo)電圖案被特殊的圖案斷開(kāi)。通過(guò)所述隔開(kāi)，可以增加對(duì)外界觸摸的識(shí)別并且可以改善透明度。對(duì)隔開(kāi)形狀沒(méi)有特殊限制，并且考慮到制備工藝的容易性可以為直線、曲線、鋸齒形線條等，例如可以為在圖22和23中所示的形狀。當(dāng)將具有15微米的線寬和200微米的節(jié)距的網(wǎng)格分隔成其中各個(gè)線寬最高改變5至90的線時(shí)和當(dāng)將導(dǎo)線置于該網(wǎng)格上時(shí)，可視性評(píng)價(jià)結(jié)果顯示在圖38中。此外，當(dāng)將具有30微米的線寬和200微米的節(jié)距的網(wǎng)格分隔成其中各個(gè)線寬最高改變5至90的線時(shí)和當(dāng)將導(dǎo)線置于該網(wǎng)格上時(shí)，可視性評(píng)價(jià)結(jié)果顯示在圖39中。所述可視性評(píng)結(jié)果的陰影標(biāo)識(shí)區(qū)域(右)對(duì)應(yīng)于人不易識(shí)別的區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏可以被連接至外接電壓，而在此情況下，可以具有圖對(duì)和25 所示的結(jié)構(gòu)，但是并不特別限制于此?？梢匀コB接至外接電壓的導(dǎo)線的PAD部分的絕緣層。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏的導(dǎo)電圖案的表面電阻可以為200至0. 001歐姆/平方。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏的導(dǎo)電圖案的厚度優(yōu)選為10微米以下，更優(yōu)選為300nm以下，且進(jìn)一步更優(yōu)選為100至300nm。比電阻值可以根據(jù)所述導(dǎo)電圖案的組合物的種類確定，而表面電阻值可以根據(jù)所述導(dǎo)電圖案的厚度控制。在本發(fā)明中，通過(guò)使用如上所述的通過(guò)使用防蝕圖案作為掩膜形成導(dǎo)電圖案的方法，與直接印刷導(dǎo)電圖案的情況相比，可以獲得具有更薄厚度的導(dǎo)電圖案。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏的導(dǎo)電圖案具有85%至98%的開(kāi)口率、1歐姆至200歐姆的表面電阻、100至300nm的厚度以及0. 1至10微米的線寬，并且滿足下面的公式1。[公式1]^!/(丄-開(kāi)口率丨二八在公式1中，a為由構(gòu)成所述導(dǎo)電圖案的材料制成的層在厚度t上的表面電阻，以及A為導(dǎo)電圖案在厚度t上的表面電阻。根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案可以滿足下面的公式2和3。[公式2]a/[I-(R-L)VR2] =A[公式3]
在公式2和3中，R為導(dǎo)電圖案的節(jié)距，L為導(dǎo)電圖案的線寬，a為由構(gòu)成所述導(dǎo)電圖案的材料制成的層在厚度t上的表面電阻，A為導(dǎo)電圖案在厚度t上的表面電阻，Ts為基板本身的透光率，以及Tc是帶有所述導(dǎo)電圖案的基板的透光率。在本說(shuō)明書(shū)中，所述開(kāi)口率指的是在整個(gè)層壓體中沒(méi)有形成導(dǎo)電圖案的面積的比例，而透光率指的是當(dāng)可見(jiàn)光通過(guò)該基板時(shí)顯示的光的透射比。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏的導(dǎo)電圖案優(yōu)選具有的導(dǎo)電圖案的厚度偏差為對(duì)于每一位置在3%以內(nèi)，且更優(yōu)選在2%以內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案優(yōu)選具有的線寬偏差為對(duì)于每一位置在30 %以內(nèi)，且更優(yōu)選在20 %以內(nèi)。在本發(fā)明中，通過(guò)在形成導(dǎo)電圖案中使用防蝕圖案作為掩膜，與通過(guò)直接印刷導(dǎo)電油墨和膏劑形成導(dǎo)電圖案的現(xiàn)有技術(shù)相比，可以降低導(dǎo)電圖案的厚度偏差和/或線寬偏差。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏的導(dǎo)電圖案優(yōu)選具有在7英寸以上的面積，優(yōu)選在10至50 英寸的面積上連續(xù)形成的圖案形狀。這里，連續(xù)形成的圖案形式指的是不存在連接痕跡。在本發(fā)明中，通過(guò)使用上述的過(guò)度蝕刻方法，可以在大面積上形成具有超細(xì)線寬的導(dǎo)電圖案而沒(méi)有連接痕跡?，F(xiàn)有技術(shù)中還沒(méi)有實(shí)現(xiàn)在大面積上具有超細(xì)線寬的導(dǎo)電圖案。所述連接痕跡指的是為了實(shí)現(xiàn)大面積通過(guò)將具有小面積的導(dǎo)電圖案彼此連接在一起留下的痕跡，例如可以使用通過(guò)使用焊接部分將小面積的導(dǎo)電圖案連接起來(lái)的方法。在這種情況下，透光率優(yōu)選為85%至98%，而導(dǎo)電率優(yōu)選為0. 1至100歐姆。當(dāng)具有最小導(dǎo)電率和使用所述觸摸屏的電子器件被連接到例如顯示器的電子裝置時(shí)，它們被設(shè)計(jì)成在防止該連接被顯著識(shí)別出來(lái)的數(shù)值內(nèi)。包括在觸摸屏中的導(dǎo)電圖案可以是規(guī)則或不規(guī)則的。規(guī)則圖案的節(jié)距可以為幾微米至2000微米，優(yōu)選500微米以下，且更優(yōu)選250微米以下。觸摸屏的導(dǎo)線圖案的節(jié)距可以小于顯示裝置的像素的尺寸。在一個(gè)示例性實(shí)施方式中，在觸摸屏中包括的導(dǎo)電圖案可以由在基板整體面積的 30%以上、優(yōu)選70%以上且更優(yōu)選90%以上的面積上連續(xù)分布的封閉圖形成，且可以具有這樣一種形狀，其中對(duì)于該封閉圖的面積的平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差比率(面積分布比)可以為 2%以上。因此，可以避免出現(xiàn)Moire現(xiàn)象，并且可以滿足優(yōu)異導(dǎo)電性和光學(xué)性能的需要。封閉圖的數(shù)目可以為至少100。所述對(duì)于該封閉圖的面積的平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差比率(面積分布比)優(yōu)選為2%以上，更優(yōu)選為10%以上，且進(jìn)一步更優(yōu)選為20%以上。由具有2%以上的對(duì)于該封閉圖的面積的平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差比率(面積分布比) 的封閉圖案形成的圖案可以為基板總面積的30%以上。其它形狀的導(dǎo)電圖案可以至少部分地形成在帶有導(dǎo)電圖案的基板的表面上。圖沈舉例說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的觸摸屏的導(dǎo)電圖案。該圖案的面積分布比為20%以上，例如20%至35%。在另一個(gè)示例性實(shí)施方式中，當(dāng)在觸摸屏中包括的導(dǎo)電圖案顯示穿過(guò)在基板總面積的30%以上、優(yōu)選70%以上且更優(yōu)選90%以上的面積上的導(dǎo)電圖案的直線時(shí)，對(duì)于在該直線和該導(dǎo)電圖案的相鄰接觸點(diǎn)之間的距離的平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差比率(距離分布比)可以為2%以上。因此，可以避免出現(xiàn)Moire現(xiàn)象，并且可以滿足優(yōu)異導(dǎo)電性和光學(xué)性能的需要。
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所述穿過(guò)所述導(dǎo)電圖案的直線可以為具有在該導(dǎo)電圖案和相鄰接觸點(diǎn)之間的距離的最小標(biāo)準(zhǔn)偏差的線。另外，所述穿過(guò)所述導(dǎo)電圖案的直線可以為在垂直方向上延伸至所述導(dǎo)電圖案的任一點(diǎn)的正切上的直線。所述穿過(guò)所述導(dǎo)電圖案的直線可以與所述導(dǎo)電圖案具有80以上的接觸點(diǎn)。對(duì)于所述穿過(guò)所述導(dǎo)電圖案的直線和所述導(dǎo)電圖案的相鄰接觸點(diǎn)之間的距離的平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差比率(距離分布比)優(yōu)選為2%以上，更優(yōu)選為10%以上，且進(jìn)一步更優(yōu)選為20%以上。具有2%以上的對(duì)于所述穿過(guò)所述導(dǎo)電圖案的直線和所述導(dǎo)電圖案的相鄰接觸點(diǎn)之間的距離的平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差比率(距離分布比)的圖案可以形成在所述基板總面積的 30%以上的面積上。其它形狀的導(dǎo)電圖案可以至少部分地形成在帶有導(dǎo)電圖案的基板的表面上。圖27和觀顯示了其中在導(dǎo)電圖案上畫(huà)出任一線的情況。然而，本發(fā)明的范圍不限于這些。圖27顯示了其中導(dǎo)電圖案沒(méi)有彼此穿越的一維形式，而圖28顯示了其中導(dǎo)電圖案彼此穿越且在至少某些區(qū)域上形成了封閉圖形狀的二維形式。所述導(dǎo)電圖案的另一個(gè)實(shí)例顯示在圖四中，但是本發(fā)明的范圍并不限于這些。在根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏中，為了實(shí)現(xiàn)均勻的導(dǎo)電性和可視性，所述圖案的開(kāi)口率可以在單位面積上是均勻的。所述具有所述導(dǎo)電圖案的基板可以具有5%以下的透光率偏差(基于沒(méi)有人工圖案斷開(kāi)部分的面積)，這是在有效屏幕部分中具有0. 5cm的直徑的任一圓的內(nèi)部和在該觸摸屏的η個(gè)位置處測(cè)定的。在這種情況下，可以防止具有所述導(dǎo)電圖案的基板中的局部導(dǎo)電性。在本發(fā)明中，所述導(dǎo)電圖案可以由直線形成，但是可以以曲線、波浪線、鋸齒形線進(jìn)行各種改變。另外，這些形狀線條中的至少兩種可以混合。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式，所述導(dǎo)電圖案可以具有形成Voronoi圖的圖的邊界形狀。在本發(fā)明中，通過(guò)在形成Voronoi圖的圖的邊界形狀中形成導(dǎo)電圖案可以防止發(fā)生Moire現(xiàn)象。所述Voronoi圖是通過(guò)如下方法形成的圖案當(dāng)將稱為Voronoi圖母點(diǎn)的點(diǎn)設(shè)置在要填充的區(qū)域上時(shí)，填充其中各個(gè)點(diǎn)和相應(yīng)點(diǎn)之間的距離與其他點(diǎn)的距離相比是最近的區(qū)域。例如，當(dāng)將全國(guó)性的大型零售商標(biāo)識(shí)為點(diǎn)，而消費(fèi)者光顧最近的大型零售商， 標(biāo)識(shí)各個(gè)大型零售商的商業(yè)區(qū)的圖案可以是典型的實(shí)例。也就是說(shuō)，其中空間用規(guī)則六角形填充且所述規(guī)則六角形的各個(gè)點(diǎn)用Voronoi圖母點(diǎn)進(jìn)行選擇的蜂巢結(jié)構(gòu)可以形成所述導(dǎo)電圖案。在本發(fā)明中，當(dāng)通過(guò)使用Voronoi圖母點(diǎn)形成所述導(dǎo)電圖案時(shí)，可以容易地確定能夠防止由其它規(guī)則圖案的干涉產(chǎn)生的Moire現(xiàn)象發(fā)生的復(fù)雜圖案形式。圖30舉例說(shuō)明了使用Voronoi圖母點(diǎn)的圖案形成。所述導(dǎo)電圖案的一個(gè)實(shí)例顯示在圖31至33中，但是本發(fā)明的范圍并不限于這些。在本發(fā)明中，所述Voronoi圖母點(diǎn)為規(guī)則設(shè)置或不規(guī)則設(shè)置的，從而可以使用有所述母點(diǎn)衍生的圖案。即使以形成Voronoi圖的圖的邊界形狀形成所述導(dǎo)電圖案，為了解決上述在可視知覺(jué)上的問(wèn)題，產(chǎn)生Voronoi圖母點(diǎn)以使得適當(dāng)控制規(guī)則性和不規(guī)則性。例如，可以通過(guò)在具有該圖案的區(qū)域中指定預(yù)定大小的面積作為基本單元并在該基本單元上產(chǎn)生具有不規(guī)則分布的點(diǎn)來(lái)制備所述Voronoi圖案。通過(guò)使用該方法，線的分布沒(méi)有集中在任一點(diǎn)上，從而可以實(shí)現(xiàn)可視性。如上所述，為了實(shí)現(xiàn)均勻的導(dǎo)電性和可視性，當(dāng)圖案的開(kāi)口率在單位面積上是均勻的時(shí)候，可以控制單位面積上的Voronoi圖母點(diǎn)的數(shù)目。在這種情況下，當(dāng)均勻控制單位面積上的Voronoi圖母點(diǎn)的數(shù)目時(shí)，所述單位面積優(yōu)選為5cm2以下，且更優(yōu)選為Icm2以下。 單位面積上的Voronoi圖母點(diǎn)的數(shù)目?jī)?yōu)選為25至2，500個(gè)/cm2且更優(yōu)選為100至2，000 個(gè)/cm2。在單位面積上形成所述圖案的圖中的至少一個(gè)可以具有與其他圖不同的形狀。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式，所述導(dǎo)電圖案可以具有通過(guò)形成Delaimay 圖案的至少一個(gè)三角形形成的圖的邊界形狀。具體而言，所述導(dǎo)電圖案的形狀可以為形成 Delaunay圖案的三角形的邊界形狀、通過(guò)形成Delaimay圖案的至少兩個(gè)三角形形成的圖的邊界形狀、或它們的組合形狀。所述導(dǎo)電圖案被形成為通過(guò)形成Delaimay圖案的至少一個(gè)三角形形成的圖的邊界形狀，從而可以最大程度地降低由于光的衍射和干涉導(dǎo)致的副作用。Delaimay圖案是這樣一種圖案，其中被稱為Delaimay圖案母點(diǎn)的點(diǎn)被設(shè)置在區(qū)域中以填充該圖案，而三個(gè)相鄰點(diǎn)彼此連接以畫(huà)出三角形，但是，當(dāng)畫(huà)出包含所述三角形的所有邊的外接圓時(shí)，畫(huà)出該三角形以使得其他點(diǎn)在該外接圓中不存在。為了形成所述圖案，根據(jù)所述Delaimay圖案母點(diǎn)會(huì)重復(fù)進(jìn)行Delaimay三角形劃分和畫(huà)圓?？梢酝ㄟ^(guò)最大化所述三角形的所有角中的最小角來(lái)進(jìn)行所述Delaimay三角形劃分以避免細(xì)三角形。Delaimay圖案的概念由Boris Delaunay在1934年提出。形成Delaunay圖案的一個(gè)實(shí)例顯示在圖34中。另外，Delaunay 圖案的一個(gè)實(shí)例顯示在圖35至37中。然而，本發(fā)明的范圍不僅僅限于這些。在具有通過(guò)形成Delaimay圖案的至少一個(gè)三角形形成的圖的邊界形狀的圖案中，規(guī)則或不規(guī)則設(shè)置所述Delaimay圖案母點(diǎn)，從而可以使用由所述母點(diǎn)衍生的圖案。在本發(fā)明中，當(dāng)通過(guò)使用Delaimay圖案母點(diǎn)形成所述導(dǎo)電圖案時(shí)，可以容易地確定能夠防止 Moire現(xiàn)象發(fā)生的復(fù)雜圖案形式。即使將所述導(dǎo)電圖案形成為通過(guò)形成Delaimay圖案的至少一個(gè)三角形形成的圖的邊界形狀，為了解決上述在可視知覺(jué)和局部導(dǎo)電性上的問(wèn)題，產(chǎn)生Delaimay圖案母點(diǎn)以使得適當(dāng)控制規(guī)則性和不規(guī)則性。例如，在插入所述圖案的面積中產(chǎn)生不規(guī)則和均勻的參考點(diǎn)。在這種情況下，不規(guī)則性指的是這些點(diǎn)之間的距離是不均勻的，而均勻性指的是包含在單位面積中的點(diǎn)的數(shù)目相同。產(chǎn)生不規(guī)則和均勻的參考點(diǎn)的方法如下所述。如圖45A所示，在整個(gè)面積上產(chǎn)生任意點(diǎn)。然后測(cè)量這些點(diǎn)之間的間隔，并當(dāng)這些點(diǎn)之間的間隔小于預(yù)定值時(shí)，移除所述點(diǎn)。 進(jìn)而，基于這些點(diǎn)產(chǎn)生Delaimay三角形圖案，并且當(dāng)所述三角形的面積大于預(yù)定值時(shí)，在該三角形的內(nèi)部加入點(diǎn)。重復(fù)進(jìn)行該程序以產(chǎn)生不規(guī)則和均勻的參考點(diǎn)，如圖45B所示。 之后，產(chǎn)生包含一個(gè)接一個(gè)的所產(chǎn)生的參考點(diǎn)的Delaimay三角形。這個(gè)步驟可以通過(guò)使用 Delaunay圖案進(jìn)行。通過(guò)使用該方法，線的分布不會(huì)集中在任一點(diǎn)上，從而可以實(shí)現(xiàn)可視性。如上所述，為了具有均勻的導(dǎo)電性和可視性，當(dāng)圖案的開(kāi)口率在單位面積上是均勻的時(shí)候，可以控制單位面積上的Delaimay圖案母點(diǎn)的數(shù)目。在這種情況下，當(dāng)均勻控制單位面積上的Delaimay圖案母點(diǎn)的數(shù)目時(shí)，所述單位面積優(yōu)選為5cm2以下，且更優(yōu)選為 Icm2以下。單位面積上的Delaimay圖案母點(diǎn)的數(shù)目?jī)?yōu)選為25至2，500個(gè)/cm2且更優(yōu)選為 100 至 2，000 個(gè)/cm2。在單位面積上形成所述圖案的圖中的至少一個(gè)可以具有與其他圖不同的形狀。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式，至少一部分導(dǎo)電圖案可以人為地不同于其它圖案。通過(guò)該構(gòu)造可以獲得理想的導(dǎo)電圖案。例如，根據(jù)目的，當(dāng)一些區(qū)域要求具有高于其它區(qū)域的導(dǎo)電性或者當(dāng)在一些區(qū)域要求對(duì)觸摸的感覺(jué)更靈敏時(shí)，相應(yīng)區(qū)域和其他區(qū)域的導(dǎo)電圖案可以不同。為了使至少部分導(dǎo)電圖案不同于其它的印刷圖案，所述印刷圖案的線寬和線間隔可以不同。例如，在電容型觸摸屏的情況下，與側(cè)面焊接區(qū)連接的部分是否具有高導(dǎo)電性已經(jīng)成為一個(gè)大問(wèn)題。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式，所述導(dǎo)體可以包含其中沒(méi)有形成導(dǎo)電圖案的區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式，所述導(dǎo)電圖案可以被弄黑。當(dāng)包含金屬材料的膏劑在高溫下烘烤時(shí)，表現(xiàn)出金屬光澤，從而會(huì)由于光反射導(dǎo)致可視性劣化。這個(gè)問(wèn)題可以通過(guò)使所述導(dǎo)電圖案變黑來(lái)預(yù)防。為了使導(dǎo)電圖案變黑，將致黑材料加入到用于形成導(dǎo)電圖案的膏劑中或者印刷并烘烤膏劑后，進(jìn)行變黑處理以使導(dǎo)電圖案變黑。加入到所述膏劑中的致黑材料可以為金屬氧化物、炭黑、碳納米管、黑色顏料、有色玻璃粉等。在這種情況下，所述膏劑的組成優(yōu)選包含50至90重量％的導(dǎo)電圖案材料、1 至20重量％的有機(jī)粘合劑、1至10重量％的致黑材料、0. 1至10重量％的玻璃粉以及1至 20重量％的溶劑。當(dāng)在烘烤后進(jìn)行變黑處理時(shí)，所述膏劑的組成可以包含50至90重量％的導(dǎo)電圖案材料、1至20重量％的有機(jī)粘合劑、0. 1至10重量％的玻璃粉以及1至20重量％的溶劑。 在烘烤后進(jìn)行的變黑處理如下進(jìn)行，浸入氧化物溶液中，例如，含有狗或Cu離子的溶液， 浸入含有例如氯離子的鹵素離子的溶液，浸入過(guò)氧化氫、硝酸鹽等，以及用鹵素氣體進(jìn)行處理。為了使防止Moire現(xiàn)象發(fā)生的效果最大化，導(dǎo)電圖案可以被形成以使得具有對(duì)稱結(jié)構(gòu)圖的圖案面積為該圖案總面積的10%以上。另外，其中至少一條將形成Voronoi圖的任意一個(gè)圖的中心點(diǎn)與該圖的邊界的相鄰圖的中心點(diǎn)連接起來(lái)的線具有與其他線不同的長(zhǎng)度的圖的面積可以為導(dǎo)電圖案總面積的10%以上。此外，其中形成通過(guò)形成Delaimay圖案的至少一個(gè)三角形形成的案的至少一面具有與其他面不同的長(zhǎng)度的案的圖案面積可以為導(dǎo)電圖案總面積的10%以上。通過(guò)所述圖案可以避免Moire現(xiàn)象，但是通過(guò)控制導(dǎo)電圖案的線寬和節(jié)距可以使避免Moire現(xiàn)象的效果最大化。具體而言，所述導(dǎo)電圖案具有的精細(xì)線寬為100微米以下， 優(yōu)選為0. 1至30微米，更優(yōu)選為0. 5至10微米，且進(jìn)一步更優(yōu)選為1至5微米，從而還可以避免所有剩余的Moire現(xiàn)象。另外，因?yàn)閷?dǎo)線圖案的節(jié)距并沒(méi)有與顯示裝置像素的尺寸單元一致，例如，在縱軸方向具有250微米的亞像素的顯示裝置的情況下，防止了 250節(jié)距的導(dǎo)電圖案的節(jié)距間隔，從而可以防止由于像素干涉導(dǎo)致的顯示裝置的彩色失真。Moire現(xiàn)象隨線寬和節(jié)距的變化顯示在圖40中。作為評(píng)價(jià)Moire現(xiàn)象隨線寬和10微米以下的節(jié)距變化的結(jié)果，在1. 3微米，剩下的Moire沒(méi)有發(fā)生。此外，在250節(jié)距，觀察到彩虹的顏色。因此，能夠證實(shí)在顯示裝置(例如LCD)中與像素的主軸長(zhǎng)的相關(guān)性。這里，通過(guò)下面的實(shí)施例舉例說(shuō)明本發(fā)明。但是，下列實(shí)施例是為了舉例說(shuō)明本發(fā)明，而本發(fā)明的范圍并不限于這些。實(shí)施例實(shí)施例1為了制備觸摸屏，制備了這樣一種玻璃基板，其中通過(guò)使用濺射工藝將厚度30nm 的MoTi合金沉積在0. 5t的玻璃上，再在其上沉積厚度200nm的Cu，并在其上沉積厚度30nm 的Mo。之后，通過(guò)使用具有Voronoi不規(guī)則圖案(具有8微米的線寬和200微米的節(jié)距的尺寸)的鉛版經(jīng)反向膠印印刷防蝕油墨(酚醛樹(shù)脂性組合物(產(chǎn)品號(hào)LG412DF，由韓國(guó)的LG化學(xué)株式會(huì)社制造))。然后，在將印刷后的樣品在130°C烘焙3分鐘后，通過(guò)使用由 ENF (韓國(guó))制備的Cu蝕刻劑(ELCE-100)在40°C蝕刻烘焙后的樣品(剛好蝕刻時(shí)間30秒) 約110秒。隨后，除去所述Voronoi圖案的防蝕油墨。由此制備的導(dǎo)電圖案顯示在圖41中，且該導(dǎo)電圖案的線寬為2. 65微米。在蝕刻后除去防蝕油墨之前的照片顯示在圖42中，而除去防蝕油墨之后的導(dǎo)電圖案的照片顯示在圖43中。之后，使用有LG化學(xué)株式會(huì)社制備的LGS100去除劑部分除去用絕緣層的防蝕涂層覆蓋的電極的焊接(PAD)部分。對(duì)于沉積在厚度150微米的PET上的相同金屬重復(fù)進(jìn)行所述工藝，然后，將厚度 100的(基于丙烯酸酯樹(shù)脂)粘合劑膜粘附在該金屬上(在這種情況下，在粘附中將粘合劑從ACF連接部分去除)。由此，通過(guò)粘附ACF完成了觸摸屏的制備。實(shí)施例2為了制備觸摸屏，制備了這樣一種玻璃基板，其中通過(guò)使用濺射工藝將厚度20nm 的Ni金屬沉積在0. 5t的玻璃上，再在其上沉積厚度200nm的Ag，并在其上沉積厚度20nm 的Ni。之后，通過(guò)使用具有Voronoi不規(guī)則圖案(具有8微米的線寬和200微米的節(jié)距的尺寸)的鉛版經(jīng)照相凹版膠印印刷UV可固化油墨(由ΝΑΤ0Κ0(日本)制造的LGP-7)。之后，在將印刷后的樣品經(jīng)約500mJ/cm2的UV固化曝光后，將基板在130°C烘焙 30分鐘。隨后，通過(guò)使用由觀US (韓國(guó))制備的Al蝕刻劑(磷酸、硝酸、乙酸和水的混合溶液)將烘焙后的基板在40°C蝕刻(剛好蝕刻時(shí)間20秒)約60秒。由此制備的導(dǎo)電圖案顯示在圖15中。因?yàn)閁V可固化油墨是透明的，所以可以測(cè)量?jī)?nèi)部的線寬，并且該導(dǎo)電圖案的線寬為3. 74微米，而絕緣層圖案的線寬為7. 61微米。該導(dǎo)電圖案的照片顯示在圖44中。之后，通過(guò)使用30%的KOH溶液部分除去用絕緣層的防蝕涂層覆蓋的電極的焊接部分。對(duì)于沉積在厚度150微米的PET上的相同金屬重復(fù)進(jìn)行所述工藝，然后，將厚度 100的(基于丙烯酸酯樹(shù)脂)粘合劑膜粘附在該金屬上(在這種情況下，在粘附中將粘合劑從ACF連接部分去除)。由此，通過(guò)粘附ACF完成了觸摸屏的制備。
權(quán)利要求
1.一種制備觸摸屏的方法，該方法包括如下步驟a)在基板上形成導(dǎo)電層；b)在所述導(dǎo)電層上形成防蝕圖案；以及c)通過(guò)使用所述防蝕圖案經(jīng)過(guò)度蝕刻所述導(dǎo)電層形成具有比防蝕圖案的線寬小的線寬的第一導(dǎo)電圖案。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括d)在步驟c)后形成第二導(dǎo)電圖案，并且所述步驟d)包括dl)除了將導(dǎo)電層形成在第一導(dǎo)電圖案上而不是在基板上以外，以與步驟a)至c)相同的方式形成第二導(dǎo)電圖案。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括d)在步驟c)后形成第二導(dǎo)電圖案，并且所述步驟d)包括業(yè))在所述基板的形成有所述第一導(dǎo)電圖案的表面的相反面上以與步驟a)至c)相同的方式形成第二導(dǎo)電圖案；
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括d)在步驟c)后形成第二導(dǎo)電圖案，并且所述步驟d)包括們)在以與步驟a)至c)相同的方式將所述第二導(dǎo)電圖案形成在另外的基板上后，將所述帶有第二導(dǎo)電圖案的基板的表面層壓到帶有第一導(dǎo)電圖案的基板的表面上或帶有第一導(dǎo)電圖案的表面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的制備觸摸屏的方法，其中，在步驟c)中，所述導(dǎo)電層的蝕刻時(shí)間為剛好蝕刻時(shí)間至比所述剛好蝕刻時(shí)間長(zhǎng)2000%的時(shí)間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括e)去除所述防蝕圖案；或f)在步驟c)后重新形成所述防蝕圖案以覆蓋所述第一導(dǎo)電圖案。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備觸摸屏的方法，其中，在步驟f)中，所述重新形成所述防蝕圖案的方法包括加熱處理、與溶劑接觸或溶劑熏蒸、等離子體處理、或加壓。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括在步驟b)過(guò)程中或之后供
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括在進(jìn)行步驟e)后， 在所述第一導(dǎo)電圖案上形成絕緣層。
10.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括在步驟d)后，在所述第二導(dǎo)電圖案上形成絕緣層。
11.一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述觸摸屏用根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的制備觸摸屏的方法制備。
12.一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述導(dǎo)電圖案具有大于0度至小于90度的錐角。
13.一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述絕緣層圖案具有大于0度至小于90度的錐角。
14.一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述絕緣層圖案的錐角大于所述導(dǎo)電圖案的錐角。
15.一種觸摸屏，其包括基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中在所述導(dǎo)電圖案和所述絕緣層圖案之間包含空隙。
16.一種觸摸屏，其包括基板；形成在所述基板的至少一個(gè)表面上的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案或具有與所述導(dǎo)電圖案相應(yīng)的圖案和比所述導(dǎo)電圖案的線寬更寬的線寬的絕緣層圖案，其中在所述導(dǎo)電圖案線寬方向的橫截面中，從所述導(dǎo)電圖案的一端至所述絕緣層圖案的距離a和從所述導(dǎo)電圖案的另一端至所述絕緣層圖案的距離b 之間的百分比a/b*100在90至110的范圍內(nèi)。
17.一種觸摸屏，其包括基板；和在所述基板的至少一個(gè)表面上形成并具有100微米以下的線寬的導(dǎo)電圖案。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其進(jìn)一步包括形成在所述導(dǎo)電圖案上的絕緣層圖案，其中所述絕緣層圖案覆蓋所述導(dǎo)電圖案或具有比所述導(dǎo)電圖案的線寬更大的線寬。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的觸摸屏，其中，所述導(dǎo)電圖案具有大于0度至小于90度的錐角。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的觸摸屏，其中，所述絕緣層圖案具有大于0度至小于90度的錐角。
21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的觸摸屏，其中，所述絕緣層圖案的錐角大于所述導(dǎo)電圖案的錐角。
22.根據(jù)權(quán)利要求18所述的觸摸屏，其中，在所述導(dǎo)電圖案和所述絕緣層圖案之間包含空隙。
23.根據(jù)權(quán)利要求18所述的觸摸屏，其中，在所述導(dǎo)電圖案線寬方向的橫截面中，從所述導(dǎo)電圖案的一端至所述絕緣層圖案的距離a和從所述導(dǎo)電圖案的另一端至所述絕緣層圖案的距離b之間的百分比a/b*100在90至110的范圍內(nèi)。
24.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其中，所述導(dǎo)電圖案具有100歐姆/平方至0.001 歐姆/平方的表面電阻。
25.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其中，所述導(dǎo)電圖案具有300nm以下的厚度。
26.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其中，所述導(dǎo)電圖案具有85%至98%的開(kāi)口率、1 歐姆至200歐姆的表面電阻、100至300nm的厚度以及0. 1至10微米的線寬，并且滿足下面的公式1 [公式1]a/(l_ 開(kāi)口率)=A在公式1中，a為由構(gòu)成所述導(dǎo)電圖案的材料制成的層在厚度t上的表面電阻，以及 A為導(dǎo)電圖案在厚度t上的表面電阻。
27.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其中，所述導(dǎo)電圖案滿足下面的公式2和3 [公式2]a/[I-(R-L)VR2] =A [公式3](R-L) 2/R2XTs = Tc在公式2和3中，R為導(dǎo)電圖案的節(jié)距，L為導(dǎo)電圖案的線寬，a為由構(gòu)成所述導(dǎo)電圖案的材料制成的層在厚度t上的表面電阻，A為導(dǎo)電圖案在厚度t上的表面電阻，Ts為基板本身的透光率，以及Tc是帶有所述導(dǎo)電圖案的基板的透光率。
28.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其中，對(duì)于各個(gè)位置，所述導(dǎo)電圖案具有3%以內(nèi)的厚度偏差。
29.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其中，對(duì)于各個(gè)位置，所述導(dǎo)電圖案具有30%以內(nèi)的線寬偏差。
30.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其中，所述導(dǎo)電圖案具有在7英寸以上的面積上連續(xù)形成的圖案形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種制備觸摸屏的方法和用該方法制備的觸摸屏，所述方法包括如下步驟a)在基板上形成導(dǎo)電層；b)在所述導(dǎo)電層上形成防蝕圖案；和c)通過(guò)使用所述防蝕圖案經(jīng)過(guò)度蝕刻所述導(dǎo)電層形成線寬小于所述防蝕圖案的線寬的導(dǎo)電圖案。根據(jù)本發(fā)明，可以經(jīng)濟(jì)和有效率地提供包含具有超細(xì)線寬的導(dǎo)電圖案的觸摸屏。
文檔編號(hào)G02B5/28GK102308366SQ201080007008
公開(kāi)日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2010年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月6日
發(fā)明者全相起, 具范謨, 孫鏞久, 崔賢, 樸珉春, 李東郁, 李承憲, 洪瑛晙, 金秀珍, 金起煥, 黃仁皙, 黃智泳 申請(qǐng)人:Lg化學(xué)株式會(huì)社