專利名稱：表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法及線柵型偏振片的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法及線柵(wire grid)型偏振片的制造方法。
背景技術(shù)：
作為表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品，公知防反射構(gòu)件、線柵型偏振片等光學(xué)構(gòu)件。 作為表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，例如公知如下方法，即，在基材的表面涂敷光固化性組合物，在將表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的翻轉(zhuǎn)構(gòu)造的塑模按壓在光固化性組合物上的狀態(tài)下，對光固化性組合物照射光，使光固化性組合物固化，獲得在基材上形成有凹凸層的物品，該凹凸層的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造(所謂的納米壓印法)。根據(jù)表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的用途的不同，要求采用玻璃板等透明基材作為基材。作為采用玻璃板為基材的線柵型偏振片的制造方法，公知如下方法。方法(1)，其包括如下工序在玻璃板(石英)的表面涂敷光固化性組合物；將表面具有多個槽的塑模按壓在光固化性組合物上；在將塑模按壓在光固化性組合物上的狀態(tài)下，對光固化性組合物照射光，使光固化性組合物固化，從而在玻璃板上形成凹凸層，該凹凸層的表面具有多個與塑模的槽相對應(yīng)的凸條；自凹凸層分離塑模；在凹凸層的凸條上形成金屬層(專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1 國際公開第2007/116972號手冊

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是，方法(1)存在如下問題。(i)在增大線柵型偏振片的面積的情況下，也需要增大玻璃板和塑模的面積。在增大玻璃板和塑模的面積的情況下，需要加大將塑模按壓在玻璃板的表面的光固化性組合物上時的按壓力。但是，由于玻璃板和塑模都是硬質(zhì)的，因此當(dāng)大力地按壓它們時，玻璃板的表面的表面精度下降，而且塑模也容易損壞。(ii)由于基材的玻璃板是硬質(zhì)的，所以無法采用將基材卷繞在滾筒狀的塑模上而進(jìn)行按壓的方法(卷對卷法(roll to roll))。因此，線柵型偏振片的生產(chǎn)率低。(iii)為了選擇性地在凹凸層的凸條上形成金屬層，通常進(jìn)行斜向蒸鍍。在進(jìn)行斜向蒸鍍時，需要使表面形成有凹凸層的基材相對于自蒸鍍源釋放出的蒸鍍物質(zhì)的流向傾斜。理論上講，可以通過在基材的固定用具上安裝使基材旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)來應(yīng)對。但是，考慮到生產(chǎn)率，需要連續(xù)或間歇性地輸送基材。在該情況下，當(dāng)使基材處于水平方向地輸送基材時，自蒸鍍源沿傾斜方向蒸發(fā)過來的蒸發(fā)物質(zhì)雖然也能成膜，但由于傾斜方向的蒸發(fā)物質(zhì)的量比鉛垂方向的蒸發(fā)物質(zhì)的量少，因此成膜的效率低。另外，也有通過使基材處于傾斜狀態(tài)地輸送基材而提高蒸鍍物質(zhì)的利用效率的方法，但需要對基材的固定、輸送系統(tǒng)等進(jìn)行改進(jìn)，裝置復(fù)雜化。(i) (iii)的問題是因?yàn)榛氖怯操|(zhì)的而產(chǎn)生的問題。因而，作為解決該問題的方法，可以考慮將凹凸層形成在軟質(zhì)的基材的表面上的方法，即，如下方法。方法O)利用納米壓印法在樹脂制的基材膜的表面形成凹凸層，然后在凹凸層的凸條上形成金屬層，之后，將由基材膜、凹凸層和金屬層構(gòu)成的層疊體粘貼在玻璃板的表面上。但是，方法⑵存在如下問題。(iv)由于基材膜和凹凸層的線膨脹系數(shù)不同，因此溫度特性差，品質(zhì)隨著溫度的變化而降低。(ν)由于基材膜平坦性差，因此線柵型偏振片的光學(xué)性能下降。(vi)由于線柵型偏振片的厚度增加了基材膜的厚度那么多的量，因此很難應(yīng)用在要求薄度的用途(液晶顯示器等)中。本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠以高品質(zhì)且高生產(chǎn)率制造在透明基材的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品，也容易實(shí)現(xiàn)凹凸層的大面積化的制造方法。另外，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠以高品質(zhì)且高生產(chǎn)率制造在透明基材的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的線柵型偏振片，也容易實(shí)現(xiàn)凹凸層的大面積化的制造方法。用于解決問題的方案本發(fā)明為了解決上述問題，采用如下技術(shù)方案。(1) 一種表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，其特征在于，包括如下工序 (I)、工序(II)和工序(V)0工序(I):在基材膜的表面形成中間層㈧。工序(II):在上述中間層㈧的表面，利用壓印法形成表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層(B)0工序(V)將包括上述中間層㈧和上述凹凸層⑶的層疊體自上述基材膜剝離， 以上述中間層(A)位于透明基材側(cè)的方式將該層疊體粘貼在透明基材的表面上。(2)在上述(1)所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法的基礎(chǔ)上，上述中間層(A)是由固化性材料構(gòu)成的層，該固化性材料在未固化或一部分固化了的狀態(tài)下對基材膜具有粘合性，隨著固化的進(jìn)展降低對基材膜的粘合性。(3)在上述(1)所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法的基礎(chǔ)上，上述基材膜是表面具有離型層的基材膜，上述中間層(A)是在該基材膜的離型層的表面涂敷粘合劑而形成的層。(4)在上述(1) (3)中任一項(xiàng)所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法的基礎(chǔ)上，利用卷對卷法進(jìn)行上述工序(I)和工序(II)。(5)在上述(1) 中任一項(xiàng)所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法的基礎(chǔ)上，在上述工序(II)與工序(V)之間還具有如下工序(IV)。工序(IV):在上述凹凸層(B)的表面貼合保護(hù)膜。(6) 一種線柵型偏振片的制造方法，其包括如下工序(I)、工序(II)、工序(III)和工序(V)。
工序(I):在基材膜的表面形成中間層㈧。工序(II):在上述中間層(A)的表面，利用壓印法形成表面具有多個凸條的凹凸層(B)0工序(III):在上述凹凸層⑶的凸條上形成金屬層(C)。工序(V)將包括上述中間層(A)、上述凹凸層⑶和上述金屬層(C)的層疊體自上述基材膜剝離，以上述中間層(A)位于透明基材側(cè)的方式將該層疊體粘貼在透明基材的表面上。(7)在上述(6)所述的線柵型偏振片的制造方法的基礎(chǔ)上，在上述工序(III)與工序(V)之間還具有如下工序(IV)。工序(IV)在上述凹凸層⑶和金屬層(C)上貼合保護(hù)膜。發(fā)明的效果采用本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，能夠以高品質(zhì)且高生產(chǎn)率制造在透明基材的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品，而且也容易實(shí)現(xiàn)凹凸層的大面積化。另外，采用本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法，能夠以高品質(zhì)且高生產(chǎn)率制造在透明基材的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的線柵型偏振片，而且也容易實(shí)現(xiàn)凹凸層的大面積化。


圖1是表示本發(fā)明的制造方法(方法(α ))中的一工序的剖視圖。圖2是表示本發(fā)明的制造方法(方法(α ))中的一工序的剖視圖。圖3是表示本發(fā)明的制造方法(方法(α ))中的一工序的剖視圖。圖4是表示本發(fā)明的制造方法(方法(α ))中的一工序的剖視圖。圖5是表示本發(fā)明的制造方法(方法(α ))中的一工序的剖視圖。圖6是表示本發(fā)明的制造方法(方法(α ))中的一工序的剖視圖。圖7是表示本發(fā)明的制造方法(方法(α ))中的一工序的剖視圖。圖8是表示本發(fā)明的制造方法(方法(β ))中的一工序的剖視圖。圖9是表示本發(fā)明的制造方法(方法(β ))中的一工序的剖視圖。圖10是表示本發(fā)明的制造方法(方法(β ))中的一工序的剖視圖。圖11是表示本發(fā)明的制造方法(方法(β))中的一工序的剖視圖。圖12是表示本發(fā)明的制造方法(方法(β))中的一工序的剖視圖。圖13是表示本發(fā)明的制造方法(方法(β))中的一工序的剖視圖。圖14是表示本發(fā)明的制造方法(方法(β ))中的一工序的剖視圖。圖15是表示在卷對卷法中應(yīng)用本發(fā)明的制造方法時的一工序的概念圖。圖16是表示本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法中的一工序的剖視圖。圖17是表示本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法中的一工序的剖視圖。圖18是表示本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法中的一工序的剖視圖。圖19是表示本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法中的一工序的剖視圖。圖20是表示本實(shí)施例中的金屬層(C)形成前的狀態(tài)的立體圖。圖21是表示本實(shí)施例中的工序(III)后的層疊體的立體圖。
具體實(shí)施例方式^M ‘碰 M mam^m 口口口 _臘誠本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法包括如下工序(I)、工序 (II)、工序(IV)和工序(V)0工序(I):在基材膜的表面形成中間層㈧。工序(II):在上述中間層(A)的表面，利用壓印法形成表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層(B)0工序(IV)根據(jù)需要，在上述凹凸層⑶的表面貼合保護(hù)膜。工序(V)將包括上述中間層㈧和上述凹凸層⑶的層疊體自上述基材膜剝離， 以上述中間層(A)位于透明基材側(cè)的方式將該層疊體粘貼在透明基材的表面上。作為本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，根據(jù)中間層(A)的種類的不同，可舉出如下的方法(α)或方法(β)。方法(α)中間層(A)是由固化性材料構(gòu)成的層的情況，該固化性材料在未固化或一部分固化了的狀態(tài)下對基材膜具有粘合性，隨著固化的進(jìn)展降低對基材膜的粘合性。方法(β )中間層(A)是通過在基材膜的離型層的表面上涂敷粘合劑而形成的層的情況。方法(α )中的中間層㈧在工序⑴中由未固化狀態(tài)的固化性材料構(gòu)成，對基材膜具有粘合性。另外，中間層(A)當(dāng)在工序(II)中利用壓印法形成凹凸層(B)的時，由一部分固化了的狀態(tài)的固化性材料構(gòu)成，在分離塑模的沖擊下能保持層的形狀，并且對基材膜具有粘合性。另外，當(dāng)在工序(V)中自基材膜剝離層疊體時，中間層(A)由固化進(jìn)展了的狀態(tài)的固化性材料構(gòu)成，對基材膜的粘合性降低，容易剝離。這樣，在方法(α)中，中間層(A)包含固化性材料未固化的狀態(tài)、一部分固化了的狀態(tài)以及固化進(jìn)展了的狀態(tài)這些不同狀態(tài)。另外，作為方法(α)，根據(jù)壓印法的種類，有如下的方法(α 1)、方法(α 2)或方法 (α 3)。方法(α )是利用光壓印法形成表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層⑶的方法，作為固化性材料，使用含有光固化性化合物和熱固化性化合物的固化性材料(al)。方法(α 2)是利用光壓印法形成表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層⑶的方法，作為固化性材料，使用含有熱塑性樹脂和熱固化性化合物的固化性材料(a2)。方法(α 3)是利用熱壓印法形成表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層⑶的方法，作為固化性材料，使用含有熱塑性樹脂和光固化性化合物的固化性材料(a3)。下面，分別詳細(xì)地說明方法(α 1) (α 3)和方法(β)。方法(α1}工序(I)將含有光固化性化合物和熱固化性化合物的固化性材料(al)涂敷在基材膜11的表面Ila上，如圖1所示，在基材膜11的表面Ila上形成中間層(A) 12。當(dāng)在工序(I)中未使固化性材料(al)所含有的光固化性化合物固化的情況下，在中間層(A) 12與凹凸層(B) 13之間形成相容層，提高該中間層㈧12和凹凸層⑶13的密合性。在該情況下，在工序(II)中，當(dāng)照射光而形成凹凸層(B) 13時，也能使中間層(A) 12的光固化性化合物同時固化。另外，在工序(I)中，在涂敷了固化性材料(al)后，也可以依據(jù)需要照射光而使固化性材料(al)所含有的光固化性化合物固化，使中間層(A) 12處于一部分固化了的狀態(tài)。 當(dāng)在工序(I)中使固化性材料(al)所含有的光固化性化合物固化的情況下，能夠提高中間層(A) 12的形狀保持性。在將本發(fā)明的制造方法應(yīng)用在卷對卷法中時，通過在工序(I)中使固化性材料(al)所含有的光固化性化合物固化，能夠在實(shí)施工序(II)之前，將形成有中間層(A) 12的基材膜11暫時收卷起來。當(dāng)在上述工序(I)或工序(II)中的任一工序中使光固化性化合物固化的情況下， 由于在后述的工序(II)中分離塑模時光固化性化合物是固化的，因此中間層(A) 12均能在分離塑模時的沖擊下保持形狀。另一方面，由于在分離塑模時，固化性材料(al)所含有的熱固化性化合物是未固化的，因此中間層(A) 12對基材膜11具有粘合性。涂敷方法例如有灌封法(〒4 > V法)、旋涂法、滾涂法、模涂法(義4 - 一卜)法、噴涂法、鑄涂法(* ~ 7卜法)、浸涂法(〒1 7 二一卜法)、網(wǎng)版印刷和轉(zhuǎn)印法。如果基材膜11具有透光性，光的照射可以從基材膜11側(cè)進(jìn)行，也可以從所涂敷的固化性材料(al)的上方進(jìn)行。在基材膜11不具有透光性的情況下，從所涂敷的固化性材料(al)的上方照射光。本發(fā)明中的透光性是指光能夠透射。上述光的波長范圍具體為 400nm 800nm的范圍。作為照射光的光源，使用高壓水銀燈等。在照射光時，從能同時獲得良好的深部固化性和表面固化性且不會使有機(jī)材料劣化的方面出發(fā)，優(yōu)選照射250mJ 1200mJ的波長為365nm的光。作為基材膜11，例如使用樹脂制的膜。作為構(gòu)成上述樹脂制的膜的樹脂，例如可以舉出聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物、乙烯-ι- 丁烯共聚物、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物、乙烯-丙烯酸乙酯共聚物、乙烯-乙烯醇共聚物、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、尼龍6、尼龍6，6、聚碳酸酯。固化性材料(al)是含有光固化性化合物和熱固化性化合物的固化性材料。光固化性化合物是在光的照射下固化而形成固化物的化合物。光固化性化合物為具有聚合性基團(tuán)的化合物時，可以為聚合性單體、聚合性低聚物、聚合性聚合物中的任一種，優(yōu)選為聚合性單體。光固化性化合物為聚合性單體時，可以使固化性材料(al)低粘度化，能夠容易地涂敷薄膜。光固化性化合物優(yōu)選具有丙烯?；蚣谆；膯误w、具有乙烯基的單體、 具有烯丙基的單體、具有環(huán)氧乙烷基的單體，更優(yōu)選具有丙烯?；蚣谆；膯误w。具體而言，優(yōu)選(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺、乙烯基醚、 乙烯基酯、烯丙基醚、烯丙基酯、苯乙烯系化合物，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸酯。(甲基)丙烯酸為丙烯酸及甲基丙烯酸的統(tǒng)稱，(甲基)丙烯酸酯為丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯的統(tǒng)稱， (甲基)丙烯酰胺為丙烯酰胺及甲基丙烯酰胺的統(tǒng)稱。作為(甲基)丙烯酸酯的具體例，可以舉出下述化合物。單(甲基)丙烯酸酯(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基) 丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸N，N-二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N，N-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、甲基金剛烷基(甲基)丙烯酸酯、乙基金剛烷基(甲基)丙烯酸酯、羥基金剛烷基(甲基)丙烯酸酯、金剛烷基(甲基) 丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯等。二(甲基)丙烯酸酯1，3_丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4_丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙烯二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯等。三(甲基)丙烯酸酯三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等。具有4個以上聚合性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯寸。作為乙烯基醚的具體例，可以舉出烷基乙烯基醚(乙基乙烯基醚、丙基乙烯基醚、異丁基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、環(huán)己基乙烯基醚等。)、(羥基烷基)乙烯基 (4-羥基丁基乙烯基醚等。)等。作為乙烯基酯的具體例，可以舉出醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、(異)丁酸乙烯酯、 戊酸乙烯酯、環(huán)己烷羧酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等。作為烯丙基醚的具體例，可以舉出烷基烯丙基醚(乙基烯丙基醚、丙基烯丙基醚、(異)丁基烯丙基醚、環(huán)己基烯丙基醚等。)等。作為烯丙基酯的具體例，可以舉出烷基烯丙基酯(乙基烯丙基酯、丙基烯丙基酯、異丁基烯丙基酯等。)等。作為具有環(huán)氧乙烷基的單體，可以舉出具有環(huán)氧基的單體、具有氧雜環(huán)丁烷基的單體、具有噁唑啉基的單體。這些光固化性化合物可以單獨(dú)使用1種，也可以組合2種以上使用。優(yōu)選光固化性化合物的分子量為100 1000，更優(yōu)選為200 800。從光固化性化合物的固化物能表現(xiàn)出高的機(jī)械強(qiáng)度方面考慮，上述光固化性化合物優(yōu)選包含具有2個以上聚合性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯。具體而言，可以舉出1，3_ 丁二醇二丙烯酸酯、1，4_ 丁二醇二丙烯酸酯、1，6_己二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、聚氧乙烯二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯等。固化性材料(al)的100質(zhì)量％中的上述光固化性化合物的質(zhì)量比例優(yōu)選為20質(zhì)量％ 80質(zhì)量％，更優(yōu)選為30質(zhì)量％ 70質(zhì)量％，特別優(yōu)選為35質(zhì)量％ 65質(zhì)量％。當(dāng)上述光固化性化合物的比例為20質(zhì)量％以上時，能夠容易地體現(xiàn)中間層(A) 12的粘合性， 而且易于降低固化后的中間層(A) 12的粘合性。當(dāng)上述光固化性化合物的質(zhì)量比例為80 質(zhì)量％以下時，易于降低中間層㈧12的流動性，容易保持形狀。優(yōu)選固化性材料(al)含有光聚合引發(fā)劑。光聚合引發(fā)劑是在光作用下引起自由基反應(yīng)或離子反應(yīng)的化合物。
作為光聚合引發(fā)劑，例如可以舉出下述引發(fā)劑。苯乙酮系光聚合引發(fā)劑苯乙酮、對(叔丁基)-1’，1’，1’-三氯苯乙酮、氯苯乙酮、 2’，2’ - 二乙氧基苯乙酮、羥基苯乙酮、2，2_ 二甲氧基-2’ -苯基苯乙酮、2-氨基苯乙酮、二
烷基氨基苯乙酮等。苯偶姻系光聚合引發(fā)劑苯偶酰、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-2-甲基丙烷-1-酮、1- (4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、苯偶酰二甲基縮酮等。二苯甲酮系光聚合引發(fā)劑二苯甲酮、苯甲酰基苯甲酸、苯甲?；郊姿峒柞?、甲基-鄰苯甲?；郊姿狨ァ?-苯基二苯甲酮、羥基二苯甲酮、羥丙基二苯甲酮、丙烯?；郊淄?acryl benzophenone)、4，4’ -雙(二甲基氨基)二苯甲酮等。噻噸酮系光聚合引發(fā)劑噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、二乙基噻噸酮、二甲基噻噸酮等。含有氟原子的光聚合引發(fā)劑全氟(叔丁基過氧化物)、全氟苯甲?；^氧化物寸。其他光聚合引發(fā)劑α -?；旷?、芐基-(O-乙氧基羰基)-α -單肟、?；趸ⅰ⒁胰┧狨?、3-香豆素酮、2-乙基蒽醌、樟腦醌、硫化四甲基秋蘭姆、偶氮二異丁腈、過氧化苯甲酰、二烷基過氧化物、過氧化新戊酸叔丁酯等。固化性材料(al)的100質(zhì)量％中的光聚合引發(fā)劑的質(zhì)量比例優(yōu)選為0. 1質(zhì)量％ 8質(zhì)量％，更優(yōu)選為0. 2質(zhì)量％ 5質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0. 5質(zhì)量％ 2質(zhì)量％。當(dāng)光聚合引發(fā)劑的比例為0. 1質(zhì)量％以上時，容易使光固化性化合物聚合而形成固化物。當(dāng)光聚合引發(fā)劑的比例為8質(zhì)量％以下時，光聚合引發(fā)劑的殘?jiān)鼫p少，不易影響中間層(A) 12 的物性。熱固化性化合物是在通過光照射使上述光固化性化合物固化時不固化、通過熱處理可以以化合物自身、或與不同的化合物間形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)的化合物。作為可以以化合物自身形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)的熱固化性化合物，優(yōu)選熱固化性樹脂。作為可以與不同的化合物間形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)的化合物，優(yōu)選為具有可與羥基反應(yīng)的官能團(tuán)的固化劑。作為熱固化性樹脂，可以舉出環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、聚酰亞胺等。熱固化性樹脂優(yōu)選組合使用固化劑。作為熱固化性樹脂的固化劑，例如可以舉出2-甲基-4-甲基咪唑等咪唑類、四亞
乙基五胺等脂肪族胺類、二氨基二甲基甲烷等芳香族胺類、偏苯三酸酐等酸酐類、三羥甲基丙烷三(3-巰基丙酸酯)等硫醇類等。固化性材料(al)中所含的光固化性化合物具有羥基等官能團(tuán)時，優(yōu)選使用具有可與羥基反應(yīng)的官能團(tuán)的固化劑來形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。該情況下，光固化性化合物在光作用下固化的工序和光固化性化合物的羥基發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)的工序優(yōu)選盡可能分開實(shí)施。通過分開實(shí)施這兩個工藝，能夠明確地分開實(shí)現(xiàn)①中間層(A) 12的形狀保持性及粘合性的體現(xiàn)；② 粘合性的降低、即剝離性的體現(xiàn)。為了達(dá)到上述工藝，優(yōu)選使用將可與羥基反應(yīng)的官能團(tuán)預(yù)先用在熱作用下可以脫離的保護(hù)基團(tuán)保護(hù)了的固化劑。作為被上述保護(hù)基團(tuán)保護(hù)的官能團(tuán)的例子，可以舉出封端異氰酸酯基。作為固化劑，可以舉出分子中具有多個封端異氰酸酯基的封端異氰酸酯系固化劑等。作為封端異氰酸酯系固化劑，優(yōu)選用己內(nèi)酰胺、異佛爾酮、二酮等將異氰酸酯固化劑的異氰酸酯基封端而成的物質(zhì)。固化性材料(al)的100質(zhì)量％中的熱固化性化合物的質(zhì)量比例、即熱固化性樹脂和固化劑的總和或具有可與羥基反應(yīng)的官能團(tuán)的固化劑的質(zhì)量比例，優(yōu)選為20質(zhì)量％ 80質(zhì)量％，更優(yōu)選為30質(zhì)量％ 70質(zhì)量％，特別優(yōu)選為35質(zhì)量％ 65質(zhì)量％。當(dāng)上述質(zhì)量比例為20質(zhì)量％以上時，容易使中間層(A) 12體現(xiàn)粘合性，而且易于降低固化后的中間層㈧的粘合性。另外，當(dāng)上述質(zhì)量比例為80質(zhì)量％以下時，中間層㈧的流動性降低，容易保持形狀。在涂敷固化性材料(al)時不使用溶劑，或在調(diào)制固化性材料(al)時使用了溶劑時極力去除溶劑。通過在實(shí)際不含有溶劑的狀態(tài)下使固化性材料(al)固化，能夠減少固化性材料(al)的體積收縮。固化性材料(al)或固化性材料(al)的溶液的在25°C時的粘度優(yōu)選為ImPa-s 2000mPa · s，特別優(yōu)選為5mPa · s IOOOmPa · S。當(dāng)粘度處于該范圍內(nèi)時，可以采用旋涂等方法容易地制作光滑的涂膜。本發(fā)明中的粘度使用旋轉(zhuǎn)式粘度計(jì)在25°C的溫度下測量。優(yōu)選中間層(A) 12的厚度為0. 5μπι ΙΟμπι。工序(II)如圖2所示在中間層(Α)12的表面1 涂敷光固化性組合物13a，如圖3所示將表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31的塑模30，以翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31與光固化性組合物13a相接觸的方式按壓于光固化性組合物13a，在具有翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31的塑模30的塑模面與中間層 (A) 12的表面1 之間夾持有光固化性組合物13a的狀態(tài)下照射光，使光固化性組合物13a 固化而形成為固化物，然后如圖4所示自光固化性組合物13a的固化物分離塑模30，形成表面具有與翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31相對應(yīng)的微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層(B) 13。光固化性組合物13a在光的照射下固化，在進(jìn)行該光的照射時，中間層(A) 12所含有的熱固化性化合物的固化不發(fā)生進(jìn)展。因此，形成凹凸層(B) 13時的中間層㈧12仍然具有粘合性。另外，即使在工序(I)中未使中間層(A) 12所含有的光固化性化合物固化，也能通過形成凹凸層(B) 13時的光照射，使中間層㈧12所含有的光固化性化合物固化，因此中間層(A) 12能夠在分離塑模30時的沖擊下保持形狀。光固化性組合物13a的涂敷方法采用與上述固化性材料(al)的涂敷方法相同的方法。優(yōu)選將塑模30按壓于光固化性組合物13a時的加壓壓力(表壓)大于OMPa且在 IOMPa以下。在基材膜11、中間層(A) 12和塑模30具有透光性的情況下，可以從基材膜11側(cè)照射光，也可以從塑模30側(cè)照射光。在基材膜11和中間層(A) 12具有透光性而塑模30不具有透光性，或者基材膜11和中間層(A) 12不具有透光性而塑模30具有透光性的情況下，從具有透光性的一側(cè)照射光。作為照射光的光源，使用高壓水銀燈等。從能同時獲得良好的深部固化性和表面固化性且不會使有機(jī)材料劣化的方面出發(fā)，優(yōu)選照射250mJ 1200mJ的波長為365nm的光。塑模30在表面具有與要形成在凹凸層(B) 13的表面的微細(xì)凹凸構(gòu)造相對應(yīng)的翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31。作為塑模30的材料，優(yōu)選石英、硅和鎳。在基材膜11不具有透光性的情況下，作為塑模30的材料，優(yōu)選使用石英等透光性的材料。翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31具有微小的凸部和/或凹部。作為凸部，可以是在塑模的表面延伸的長條的凸條和散布在表面上的突起等。作為凹部，可以是在塑模的表面延伸的長條的槽和散布在表面上的孔等。作為凸條或槽的形狀，可以是直線、曲線和彎折形狀等。凸條或槽也可以平行地存在多個而形成為條紋狀。作為凸條或槽的與長度方向正交的方向的截面形狀，可以是長方形、梯形、三角形和半圓形等。作為突起或孔的形狀，可以是三棱柱、四棱柱、六棱柱、圓柱、三棱錐、四棱錐、六棱錐、圓錐、半球和多面體等。凸條或槽的寬度優(yōu)選平均為50nm 500 μ m,更優(yōu)選為70nm 300 μ m。凸條的寬
度是指在與長度方向正交的方向的截面上的底邊的長度。槽的寬度是指在與長度方向正交的方向的截面上的上邊的長度。突起或孔的寬度優(yōu)選平均為50nm 500 μ m,更優(yōu)選為70nm 300 μ m。突起的寬度在該突起的底面為細(xì)長形狀的情況下，是指在與該突起的長度方向正交的方向的截面上的底邊的長度，在該突起的底面不是細(xì)長形狀的情況下，是指突起的底面上的最大長度。孔的寬度在開口部為細(xì)長形狀的情況下，是指在與孔的長度方向正交的方向的截面上的上邊的長度，在開口部不是細(xì)長形狀的情況下，是指孔的開口部的最大長度。凸部的高度優(yōu)選平均為50nm 500 μ m,更優(yōu)選為70nm 300 μ m。凹部的深度優(yōu)選平均為50nm 500 μ m,更優(yōu)選為70nm 300 μ m。在翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31中的凸部(或凹部)密集的區(qū)域，相鄰的凸部(或凹部)間的間隔優(yōu)選平均為50nm 500μπι，更優(yōu)選為70nm 300 μ m。相鄰的凸部間的間隔是指，從凸部的截面上的底邊的末端到相鄰的凸部的截面上的底邊的始端的距離。相鄰的凹部間的間隔是指從凹部的截面上的上邊的末端到相鄰的凹部的截面的上邊的始端的距離。凸部的最小尺寸優(yōu)選為20nm 20μπι，更優(yōu)選為30nm ΙΟμπι，特別優(yōu)選為 40nm 5 μ m。凸部的最小尺寸是指凸部的寬度、長度及高度中最小的尺寸。凹部的最小尺寸優(yōu)選為20nm 20μπι，更優(yōu)選為30nm lOym，特別優(yōu)選為 40nm 5μπι。凹部的最小尺寸是指凹部的寬度、長度及深度中最小的尺寸。光固化性組合物13a可以是在光壓印法中通常使用的公知的光固化性組合物，例如可以使用國際公開第2007/116972號手冊和國際公開第2009/041646號手冊所示的光固化性組合物。作為光固化性組合物13a，可以使用與在固化性材料(al)中提到的光固化性化合物相同的光固化性化合物，優(yōu)選具有光聚合弓I發(fā)劑。光固化性組合物13a可以含有含氟化合物。含氟化合物可以是單體、低聚物或聚合物，也可以是具有表面活性的化合物。
光固化性組合物13a中的含氟化合物的含量優(yōu)選為0. 1質(zhì)量％ 20質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.5質(zhì)量％ 10質(zhì)量％，特別優(yōu)選為1質(zhì)量％ 5質(zhì)量％。當(dāng)在上述范圍內(nèi)時，容易調(diào)制光固化性組合物13a，且易于形成自塑模30的離型性優(yōu)異的固化物(凹凸層(B)13)。作為光固化性組合物13a，優(yōu)選光固化后的凹凸層(B) 13與水的接觸角為90°以上。當(dāng)該固化膜與水的接觸角為90°以上時，在利用光壓印法形成微細(xì)凹凸構(gòu)造時，能夠提高與塑模30的離型性，能夠形成精度更高的微細(xì)凹凸構(gòu)造。在涂敷光固化性組合物13a時，不使用溶劑，或者在調(diào)制光固化性組合物13a時使用了溶劑時極力去除溶劑。通過在實(shí)際不含有溶劑的狀態(tài)下使光固化性組合物13a固化， 能夠減少光固化性組合物13a的體積收縮。光固化性組合物13a或光固化性組合物13a的溶液的在25°C時的粘度優(yōu)選為 ImPa · s 2000mPa · s，特別優(yōu)選為5mPa · s IOOOmPa · S。當(dāng)粘度在該范圍內(nèi)時，能夠采用旋涂等方法容易地制作光滑的涂膜。凹凸層(B) 13的厚度優(yōu)選為0. 5 μ m 20 μ m。從中間層㈧12和凹凸層(B) 13的密合性出發(fā)，優(yōu)選在中間層(A) 12與凹凸層 (B) 13之間形成有相容層。通過使形成中間層(A) 12的固化性材料(al)中的光固化性化合物，和形成凹凸層(B) 13的光固化性組合物13a中的光固化性化合物為同種化合物，在工序(II)使中間層㈧所含有的光固化性化合物和光固化性組合物13a中的光固化性化合物同時固化，能夠容易地形成上述相容層。工序(IV)如圖5所示，在凹凸層⑶13的表面貼合保護(hù)膜14。通過貼合保護(hù)膜14，能夠保護(hù)凹凸層(B) 13的微細(xì)凹凸構(gòu)造。粘貼保護(hù)膜14的做法在將本發(fā)明的制造方法應(yīng)用在卷對卷法中時特別有效。貼合保護(hù)膜14的方法可以是如下方法，即，例如當(dāng)在凹凸層(B) 13的表面配置了保護(hù)膜14后，利用壓熱器(autoclave)進(jìn)行處理。優(yōu)選該壓熱器處理在室溫 50°C的溫度下，以0. 5kgf/cm2 5kgf/cm2的條件進(jìn)行5分鐘 60分鐘。保護(hù)膜14只要是能夠保護(hù)凹凸層(B) 13的表面的微細(xì)凹凸構(gòu)造的膜即可。作為保護(hù)膜14，例如可以用帶粘合劑的膜。作為上述粘合劑，優(yōu)選微粘合性的丙烯酸類粘合劑。 作為具體例，可以使用MASTACK()PC-751(商品名，藤森工業(yè)公司生產(chǎn))等。工序(V)進(jìn)行熱處理而使中間層(A) 12含有的熱固化性化合物固化，在使中間層(A) 12完全固化后，如圖6所示，將由中間層(A) 12、凹凸層(B) 13和保護(hù)膜14構(gòu)成的層疊體15自基材膜11剝離，在透明基材16表面涂敷粘接劑而形成粘接層17，如圖7所示，將層疊體15 以中間層㈧12朝向透明基材16側(cè)的方式粘貼在透明基材16上。利用熱處理進(jìn)行熱固化性化合物的固化反應(yīng)，使中間層(A) 12完全固化，從而使中間層(A) 12的粘合性消失，能夠容易地自基材膜11剝離層疊體15。熱處理的條件只要是能夠使中間層(A) 12完全固化的條件即可，優(yōu)選以50°C 200°C的溫度進(jìn)行0. 5小時 2小時。粘接劑的涂敷方法采用與上述固化性材料(al)的涂敷方法相同的方法。粘貼方法例如可以使用如下方法，即，在形成于透明基材16的表面上的粘接層17
13的表面配置層疊體15，從保護(hù)膜14的上方施加0. 5kgf/cm2 5kgf/cm2的壓力。透明基材16是具有透光性的片狀、膜狀或其他形狀的成形體。能透過透明基材16 的光是普通可見光，也可以是具有紫外區(qū)域、紅外區(qū)域的可見光。另外，可以是不含有紫外區(qū)域到紅外區(qū)域的波長區(qū)域中的一部分的波長的光，相反也可以是僅由上述波長區(qū)域的光中的一部分的波長構(gòu)成的光。作為除片狀透明基材、膜狀透明基材以外的形狀的成形體，有具有用作透鏡等光學(xué)物品的曲面表面的成形體。作為透明基材的材質(zhì)，有玻璃等透明的無機(jī)物質(zhì)、合成樹脂等透明的有機(jī)物質(zhì)。詳細(xì)而言，作為無機(jī)物質(zhì)，例如可以舉出堿石灰類玻璃、硼硅酸鹽類玻璃、無堿玻璃(不含有堿金屬成分的硼硅酸鹽類玻璃等)、石英玻璃、水晶等。作為有機(jī)物質(zhì)，例如可以舉出聚碳酸酯類聚合物、甲基丙烯酸酯類聚合物、環(huán)烯烴類聚合物、纖維素類聚合物(三醋酸纖維素等)、聚苯乙烯類聚合物等。特別優(yōu)選的透明基材是由上述那樣的玻璃、水晶等構(gòu)成的片、膜。透明基材可以是具有光學(xué)功能的透明基材、具有功能膜的透明基材。作為具有光學(xué)功能的透明基材，例如可以使用稱作波長板的具有雙折射(birefringence)的透明基材(水晶板和單軸拉伸膜等)。作為具有功能膜的透明基材，例如可以使用具有如下的光學(xué)功能膜的透明基材，即，具有1層或多層構(gòu)造的防反射膜、具有帶通濾波器(band pass filter)功能的多層膜、具有低通濾波器(low pass filter)功能的多層膜等。這樣的功能膜通常設(shè)在透明基材的不與中間層(A) 12接觸的表面上。也可以對透明基材的與中間層 (A) 12接觸的表面實(shí)施用于提高與中間層(A) 12的密合性的表面處理。作為這樣的表面處理，可以是底漆(primer)涂敷處理、臭氧處理、等離子體蝕刻處理等。作為底漆，可以使用硅烷偶聯(lián)劑、硅氮烷等。在透明基材為片、膜等具有恒定厚度的成形體的情況下，透明基材16的厚度優(yōu)選為0. Imm 1. Omm,更優(yōu)選為0. 2mm 0. 7mm。另外，在透明基材為透鏡等不具有恒定厚度的成形體的情況下，優(yōu)選該透明基材的最厚的部分的厚度為0. 5mm 5mm，更優(yōu)選為1. Omm 3. Omm0作為形成粘接層17的粘接劑，只要是能夠牢固地粘接透明基材16和中間層㈧12 的材料即可，例如可以使用光固化性粘接劑。另外，也可以使用光固化性粘接劑和硅烷偶聯(lián)劑的混合物。作為光固化性粘接劑的具體例，可以使用LCR0632(商品名，東亞合成公司生產(chǎn))寸。粘接層17的厚度優(yōu)選為0. 2 μ m 5 μ m。更優(yōu)選的粘接層17的厚度為0. 5 μ m 3 μ m0經(jīng)過上述工序(I)、工序(II)、工序(IV)和工序(V)，獲得由透明基材16、粘接層 17、中間層(A) 12、凹凸層(B) 13和保護(hù)膜14層疊而成的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品10。方法(α2)工序(I)如圖1所示，將含有熱塑性樹脂和熱固化性化合物的固化性材料(a2)涂敷在基材膜11的表面Ila上而形成中間層(A) 12。工序(I)中的中間層(A) 12利用熱塑性樹脂保持形狀，熱固化性化合物并未固化、即處于未固化狀態(tài)，具有粘合性。
固化性材料(a2)的涂敷方法采用與上述固化性材料(al)的涂敷方法相同的方法。固化性材料(a2)是含有熱塑性樹脂和熱固化性化合物的固化性材料。熱固化性化合物可以舉出與在固化性材料(al)中提到的熱固化性化合物相同的化合物。作為上述熱塑性樹脂，優(yōu)選使用?；瘻囟?Tg)為10°C 40°C的樹脂。當(dāng)Tg為 IO0C以上時，在使熱固化性化合物固化時，易于使中間層㈧12的粘合性消失。當(dāng)Tg為40°C 以下時，在使熱固化性化合物固化之前，易于使中間層(A) 12具有充分的粘合性。熱塑性樹脂的種類沒有特別限定，但從與熱固化性化合物的相容性的觀點(diǎn)出發(fā)， 優(yōu)選使用丙烯酸類樹脂、烯烴類樹脂。作為熱塑性樹脂，例如可以使用SK-DYNE(SK ￥ λ > )1604(商品名，總研化學(xué)公司生產(chǎn))等粘合劑。固化性材料(a2)的100質(zhì)量％中的上述熱塑性樹脂的質(zhì)量比例優(yōu)選為20質(zhì)量％ 80質(zhì)量％，更優(yōu)選為30質(zhì)量％ 70質(zhì)量％。固化性材料(a2)的100質(zhì)量％中的上述熱固化性化合物的質(zhì)量比例優(yōu)選為20質(zhì)量％ 80質(zhì)量％，更優(yōu)選為30質(zhì)量％ 70
質(zhì)量％。在涂敷固化性材料(a2)時，優(yōu)選使用甲苯等有機(jī)溶劑作為固化性材料(a2)的溶液或分散液而進(jìn)行涂敷。固化性材料(a2)或固化性材料(a2)的溶液的在25°C時的粘度優(yōu)選為ImPa-s 2000mPa · s，特別優(yōu)選為5mPa · s IOOOmPa · S。當(dāng)粘度在該范圍內(nèi)時，能夠采用旋涂等方法容易地制作光滑的涂膜。中間層(A) 12的厚度與方法(α )的情況相同。工序(II)、工序(IV)、工序(V)工序(II)、工序(IV)和工序(V)與方法(α )中的工序(II)、工序(IV)和工序 (V)相同。另外，在工序(II)中，光固化性組合物13a在光的照射下固化，中間層㈧12所含有的熱固化性化合物并不固化。因此，工序(II)中的中間層(A) 12仍然具有粘合性。另夕卜，由于中間層㈧12含有熱塑性樹脂，因此在分離塑模30時的沖擊下，中間層㈧12能夠保持形狀，而且有時熱塑性樹脂本身也顯示出粘合性。方法(α3)工序(I)
如圖1所示，將含有熱塑性樹脂和光固化性化合物的固化性材料(a3)涂敷在基材膜11的表面Ila上形成中間層(A) 12。工序(I)中的中間層(A) 12利用熱塑性樹脂保持形狀，光固化性化合物并未固化，即處于未固化狀態(tài)，具有粘合性。固化性材料(a3)的涂敷方法采用與上述固化性材料(al)的涂敷方法相同的方法。固化性材料(a3)是含有熱塑性樹脂和光固化性化合物的固化性材料。光固化性化合物可以舉出與在固化性材料(al)中提到的光固化性化合物相同的化合物。上述熱塑性樹脂可以舉出與在固化性材料(a2)中提到的熱塑性樹脂相同的樹脂。
固化性材料(a3)的100質(zhì)量％中的上述光固化性化合物的質(zhì)量比例優(yōu)選為20質(zhì)量％ 80質(zhì)量％，更優(yōu)選為30質(zhì)量％ 70質(zhì)量％。固化性材料(a3)的100質(zhì)量％中的上述熱塑性樹脂的質(zhì)量比例優(yōu)選為20質(zhì)量％ 80質(zhì)量％，更優(yōu)選為30質(zhì)量％ 70質(zhì)量％。在涂敷固化性材料(a3)時不使用溶劑，或者當(dāng)在調(diào)制固化性材料(a3)時使用了溶劑時極力去除溶劑。通過在實(shí)際不含有溶劑的狀態(tài)下使固化性材料(a3)固化，能夠減少固化性材料(a3)的體積收縮。固化性材料(a3)或光固化性組合物(a3)的溶液的在25 °C時的粘度優(yōu)選為 ImPa · s 2000mPa · s，特別優(yōu)選為5mPa · s IOOOmPa · S。當(dāng)粘度在該范圍內(nèi)時，能夠采用旋涂等方法容易地制作光滑的涂膜。中間層(A) 12的厚度與方法(α 1)的情況相同。工序(II)如圖2所示，在中間層㈧12的表面12a上形成熱塑性樹脂層13b，如圖3所示，將表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31的塑模30，在加熱了的狀態(tài)下以翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31與熱塑性樹脂層13b相接觸的方式按壓于熱塑性樹脂層13b，在具有翻轉(zhuǎn)圖案31的塑模30的塑模面與中間層(A) 12的表面12a之間夾持有熱塑性樹脂層13b，如圖4所示使塑模30的溫度下降，自熱塑性樹脂層13b分離塑模30，形成表面具有與翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31相對應(yīng)的微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層(B) 13。即使將加熱后的塑模30按壓于熱塑性樹脂層13b，中間層(A) 12所含有的光固化性化合物也并未固化，因此形成凹凸層(B) 13時的中間層(A) 12仍然具有粘合性。作為熱塑性樹脂層13b的形成方法，有涂敷、干燥熱塑性樹脂的溶液的方法、粘貼熱塑性樹脂的膜的方法。按壓于熱塑性樹脂層13b的塑模30的溫度只要在熱塑性樹脂層13b的?；瘻囟?(Tg)或熔點(diǎn)(Tm)以上即可，優(yōu)選為50°C 150°C。將塑模30按壓于熱塑性樹脂層13b時的加壓壓力(表壓)優(yōu)選大于OMPa且在 IOMPa以下。作為形成熱塑性樹脂層13b的熱塑性樹脂，可以使用在熱壓印中通常使用的熱塑性樹脂，例如可以使用聚丙烯、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、環(huán)烯烴聚合物和環(huán)烯烴共聚物等。熱塑性樹脂的溶液可以舉出將熱塑性樹脂溶解在有機(jī)溶劑中得到的溶液。作為有機(jī)溶劑，可以舉出甲苯等。凹凸層(B) 13的厚度與方法(α )的情況相同。工序(IV)與方法(α )的工序(IV)同樣，如圖5所示在凹凸層(B) 13的表面貼合保護(hù)膜 14。工序(V)在照射光而使中間層(A) 12含有的光固化性化合物固化后，如圖6所示，將由中間層(A) 12、凹凸層⑶13和保護(hù)膜14構(gòu)成的層疊體15自基材膜11剝離，在透明基材16的表面涂敷粘接劑而形成粘接層17，然后如圖7所示，將層疊體15以中間層(A) 12朝向透明基材16側(cè)的方式粘貼在透明基材16上。
利用光處理使中間層㈧12含有的光固化性化合物固化，從而使中間層㈧12的粘合性消失，能夠容易地自基材膜11剝離層疊體15。在基材膜11、凹凸層⑶13和保護(hù)膜14具有透光性的情況下，可以從基材膜11側(cè)照射光，也可以從保護(hù)膜14側(cè)照射光。在基材膜11具有透光性而凹凸層(B) 13和保護(hù)膜 14不具有透光性，或基材膜11不具有透光性而凹凸層(B) 13和保護(hù)膜14具有透光性的情況下，從具有透光性的一側(cè)照射光。作為照射光的光源，使用高壓水銀燈等。從能同時獲得良好的深部固化性和表面固化性且不會使有機(jī)材料劣化的方面出發(fā)，優(yōu)選照射250mJ 1200mJ的波長為365nm的光。方法(β)工序(I)如圖8所示，在膜主體21a的表面具有離型層21b的基材膜21的離型層21b的表面上涂敷粘合劑而形成中間層(A) 22。粘合劑的涂敷方法采用與固化性材料(al)的涂敷方法相同的方法?；哪?1例如使用在膜主體21a的表面貼合離型膜而形成離型層21b的結(jié)構(gòu)。作為膜主體21a，可以舉出與基材膜11相同的膜。作為離型膜的材料，從離型性、耐熱性、強(qiáng)度、高溫下的延伸性的方面出發(fā)，優(yōu)選氟原子含有率為10質(zhì)量％以上的氟樹脂。作為氟原子含有率為10質(zhì)量％以上的氟樹脂，例如可舉出聚四氟乙烯、四氟乙烯_六氟丙烯共聚物、四氟乙烯_全氟烷氧基乙烯基醚共聚物、乙烯_四氟乙烯共聚物、聚偏氟乙烯、聚氟乙烯、四氟乙烯-六氟丙烯-偏氟乙烯共聚物、聚三氟氯乙烯、乙烯-三氟氯乙烯共聚物。上述離型膜可以是僅使用了 1種上述氟樹脂的膜，也可以是組合了 2種上述氟樹脂而成的膜。另外，也可以是組合了上述氟樹脂和非氟樹脂的膜，也可以是混合有無機(jī)添加齊U、有機(jī)添加劑等的膜。作為上述離型膜，從高溫下的延伸性較大的方面出發(fā)，特別優(yōu)選使用了乙烯-四氟乙烯共聚物的膜。作為形成中間層㈧22的粘合劑，使用在丙烯酸系彈性體、天然橡膠、硅系彈性體和聚氨酯系彈性體等作為基底的彈性體中，添加交聯(lián)材料、粘合付與材料而得到的材料。工序(II)工序(II)與方法(α 1)中的工序(II)相同，或與方法(α 3)中的工序(II)相同。 艮口，采用光納米壓印法或熱納米壓印法中的任一方法形成凹凸層(Β)23。下面，以采用光納米壓印法的情況為例進(jìn)行說明。如圖9所示，在中間層(A) 22的表面22a涂敷光固化性組合物23a，如圖10所示將表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31的塑模30，以翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31與光固化性組合物23a 相接觸的方式按壓于光固化性組合物23a，以在具有翻轉(zhuǎn)圖案31的塑模30的塑模面與中間層(A) 22的表面22a之間夾持有光固化性組合物23a的狀態(tài)照射光，使光固化性組合物 23a固化而形成為固化物，然后如圖11所示，自光固化性組合物23a的固化物分離塑模30， 形成表面具有與翻轉(zhuǎn)構(gòu)造31相對應(yīng)的微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層(B) 23。
光固化性組合物23a使用與光固化性組合物13a相同的組合物。以與方法(α )中的光的照射方式相同的方式照射光。工序(IV)如圖12所示，與方法(α )的工序(IV)同樣，在凹凸層(B) 23的表面貼合保護(hù)膜 24。保護(hù)膜24可以使用與保護(hù)膜14相同的膜。工序(V)如圖13所示，將由中間層(Α)22、凹凸層(B) 23和保護(hù)膜24構(gòu)成的層疊體25自基材膜21剝離，如圖14所示，將自基材膜21剝離了的層疊體25以中間層㈧22朝向透明基材側(cè)的方式粘貼在透明基材26上。由于基材膜21具有離型層21b，因此即使在中間層(A) 22具有粘合性的狀態(tài)下，也能容易地自基材膜21剝離層疊體25。另外，由于中間層(A) 22具有粘合性，因此即使不在透明基材26的表面形成粘接層，也能將層疊體25粘貼在透明基材26上。經(jīng)過上述工序(I)、工序(II)、工序(IV)和工序(V)，獲得由透明基材26、中間層 (A) 22、凹凸層(B) 23和保護(hù)膜24層疊而成的物品20。本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，在軟質(zhì)的作為基材的基材膜上形成凹凸層，所以能夠應(yīng)用在卷對卷法中。因此，能夠容易地獲得高生產(chǎn)率，而且也容易實(shí)現(xiàn)凹凸層(B)的大面積化。作為本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，優(yōu)選采用卷對卷法進(jìn)行工序(I)和工序(II)。S卩，優(yōu)選一邊利用輥輸送基材膜，一邊持續(xù)在該基材膜的表面形成中間層(A)(工序(I))，然后再在中間層(A)表面涂敷光固化性組合物或熱塑性樹脂，使用滾筒狀的塑模， 一邊使該塑模旋轉(zhuǎn)而將該塑模按壓于光固化性組合物或熱塑性樹脂，一邊使光固化性組合物或熱塑性樹脂固化，連續(xù)地形成凹凸層(B)(工序(II))。另外，也可以采用如下方法，S卩，利用卷對卷法進(jìn)行工序(I)、工序(II)和工序 (IV)，連續(xù)地形成由基材膜、中間層(A)、凹凸層(B)和保護(hù)膜構(gòu)成的層疊體，然后再如圖15 所示，從輥41輸送基材膜11 (21)和層疊體15 (25)，在輥42與輥43之間自基材膜11 (21) 剝離層疊體15 (25)，接著利用輥43和輥44將層疊體15 (25)粘貼在透明基材16 (26)上。采用以上說明的本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，能夠以高品質(zhì)且高生產(chǎn)率制造在透明基材上具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品。而且，也容易實(shí)現(xiàn)該物品的大面積化。另外，本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法也可以是不進(jìn)行工序 (IV)的方法。作為本發(fā)明中的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品，例如可以是線柵型偏振片、棱鏡、 導(dǎo)光板、蛾眼”等光學(xué)構(gòu)件用透光性基板、生化傳感器用支承基板、細(xì)胞培養(yǎng)片用圖案形成基板、用于制作半導(dǎo)體用構(gòu)件的工藝構(gòu)件、用于制作磁盤用構(gòu)件的工藝構(gòu)件。線柵型偏振片本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法包括如下的工序(I)、工序(II)、工序(III)、工序(IV)和工序(V)。工序(I):在基材膜的表面形成中間層㈧。工序(II):在上述中間層(A)的表面，利用壓印法形成表面具有多個凸條的凹凸層(B)0工序(III):在上述凹凸層⑶的凸條上形成金屬層(C)。工序(IV)依據(jù)需要，在上述凹凸層⑶和金屬層(C)上貼合保護(hù)膜。剝離粘貼工序(V)將包括上述中間層(A)、上述凹凸層⑶和金屬層(C)的層疊體自上述基材膜剝離，以上述中間層(A)位于透明基材側(cè)的方式將層疊體粘貼在透明基材的表面上。本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法的除工序(III)以外的工序(I)、工序(II)、工序(IV)和工序(V)，采用方法(α ) (α 3)或方法(β)中的任一方法。以下，對采用了方法(α )的例子進(jìn)行說明。工序(I)與方法(α )中的工序(I)同樣，如圖1所示在基材膜11的表面1 Ia形成中間層 ⑷12。工序(II)與方法(α )中的工序(II)同樣，如圖4所示在中間層㈧12的表面12a形成凹凸層(B) 13。工序(III)如圖16所示，在凹凸層(B) 13的凸條13a上形成金屬層(C) 18。作為金屬層(C) 18的形成方法，可以使用蒸鍍法、濺射法和鍍覆法等。從選擇性地在凸條13a上形成金屬層(C)18的方面出發(fā)，優(yōu)選使用斜向蒸鍍法。例如在凸條13a的間距Pp較窄且凸條13a的高度較高的情況下，通過從適當(dāng)?shù)慕嵌冗M(jìn)行斜向蒸鍍，能夠選擇性地在凸條13a上形成金屬的層。另外，也可以利用斜向蒸鍍法形成較薄的金屬的層，然后利用鍍覆法使其他金屬的層層疊在該金屬的層上，形成期望厚度的金屬層。作為金屬層(C) 18的材料，從對可見光的反射率高、對可見光的吸收少且具有高電導(dǎo)率的方面出發(fā)，優(yōu)選使用銀、鋁、鉻、鎂，特別優(yōu)選使用鋁。工序(IV)如圖17所示，在形成于凹凸層(B) 13的凸條13a上的金屬層(C) 18上貼合保護(hù)膜 14。保護(hù)膜14的貼合方法采用在方法(α 1)中提到的方法。工序(V)進(jìn)行熱處理而使中間層(Α)12含有的熱固化性化合物固化，使中間層(Α)12完全固化，然后如圖18所示，將由中間層(A) 12、凹凸層(B) 13、金屬層(C) 18和保護(hù)膜14構(gòu)成的層疊體19自基材膜11剝離，如圖19所示，將層疊體19以中間層(A) 12位于透明基材16 側(cè)的方式，借助在表面涂敷粘接劑而形成的粘接層17而粘貼在透明基材16上。熱處理的條件、粘接劑的涂敷方法和層疊體19的粘貼方法采用在方法(α 1)中提到的條件和方法。經(jīng)過上述工序(I)、工序(II)、工序(III)、工序(IV)和工序(V)，獲得線柵型偏振
19片。采用本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法，能夠以高品質(zhì)且高生產(chǎn)率制造在透明基材上具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的線柵型偏振片。而且，也容易實(shí)現(xiàn)線柵型偏振片的大面積化。另外，本發(fā)明的線柵型偏振片的制造方法并不限定于上述制造方法。例如，也可以是除了工序(III)以外的工序采用方法(α2)、方法(α3)或方法(β)中的任一方法中的各工序的方法。另外，也可以是不進(jìn)行在形成于凹凸層(B)的表面的金屬層(C)上貼合保護(hù)膜的工序(IV)的方法。另外，在上述制造方法中，線柵型偏振片中的凸條的截面形狀是矩形，但也可以是三角形、梯形、圓形、橢圓形和其他各種形狀。另外，金屬層(C)只要形成在凸條上即可，并不限定于只形成在凸條的上表面的方式。實(shí)施例下面，利用實(shí)施例和比較例詳細(xì)說明本發(fā)明。但是，本發(fā)明并不受以下內(nèi)容限定。例1 例4是實(shí)施例。誘射率使用紫外可見分光光度計(jì)(JASC0公司生產(chǎn)，V-7200)測量了透射率。在光源與線柵型偏振片之間，以使附屬偏振片的吸收軸與線柵型偏振片的金屬細(xì)線的長軸平行的方向設(shè)置該附屬偏振片，從線柵型偏振片的表面?zhèn)?形成有金屬層的面?zhèn)?入射偏振光而進(jìn)行了測量。測量波長為 450nm、550nm、650nm。將ρ偏振光透射率在80%以上的情況設(shè)為A，在70%以上且小于80%的情況設(shè)為 B，小于70%的情況設(shè)為X。反射率使用紫外可見分光光度計(jì)(JASC0公司生產(chǎn)，V-7200)測量了反射率。在光源與線柵型偏振片之間，以使附屬偏振片的吸收軸與線柵型偏振片的金屬細(xì)線的長軸平行的方向設(shè)置該附屬偏振片，從相對于線柵型偏振片的表面成5°的角度入射偏振光，進(jìn)行了測量。測量波長為450nm、550nm、650nm。將s偏振光反射率為80%以上的情況設(shè)為A，在70%以上且小于80%的情況設(shè)為 B，小于70%的情況設(shè)為X。偏振度偏振度利用下式算出。偏振度=((Tp-Ts)/(Tp+Ts))ο·5。其中，Tp是ρ偏振光透射率，Ts是s偏振光透射率。將偏振度為99. 5%以上的情況設(shè)為A，小于99. 5的情況設(shè)為X。光固化性組合物的調(diào)制在安裝有攪拌機(jī)和冷卻管的IOOOmL的4 口燒瓶中，放入單體1 (新中村化學(xué)工業(yè)公司生產(chǎn)，NK Ester A-DPH，二季戊四醇六丙烯酸脂(Di-pentaerythritol Polyacrylate))60g、單體2(新中村化學(xué)工業(yè)公司生產(chǎn)，NK Ester A-NPG，新戊二醇二丙烯酸酯(Neopentyl Glycol Dimethacrylate)) 40g、光聚合引發(fā)劑(汽巴精化(Cibaspecialty che micals)公司生產(chǎn)，IRGACURE907)4. 0g、含氟表面活性劑(旭硝子公司生產(chǎn)， 氟化丙烯酸酯(CH2 = CHCoo(CH2)2(CF2)8F)與丙烯酸丁酯的共低聚物(co-oligomer)，氟含量約30質(zhì)量％，重均分子量約3000)0. lg、阻聚劑(和光純藥公司生產(chǎn)，Q1301)1.0g以及環(huán)己酮65. 0g。在常溫及遮光的狀態(tài)下，在燒瓶內(nèi)攪拌1小時而使上述物質(zhì)均勻化。然后，一邊在燒瓶內(nèi)進(jìn)行攪拌，一邊慢慢加入膠質(zhì)狀的二氧化硅100g(固體量30g)，再以常溫及遮光的狀態(tài)在燒瓶內(nèi)攪拌1小時，使燒瓶內(nèi)的物質(zhì)均勻化。然后，加入環(huán)己酮340g，以常溫及遮光的狀態(tài)在燒瓶內(nèi)攪拌1小時，獲得光固化性組合物1的溶液。固化件材料Ml 1的調(diào)制在安裝有攪拌機(jī)和冷卻管的IOOOmL的4 口燒瓶中，放入封端異氰酸酯(旭化成公司生產(chǎn)多耐德(〒”才、一卜)TPA-B80E)20g、丙烯酸乙酯(純正化學(xué)公司生產(chǎn))10g、丙烯酸正丁酯(純正化學(xué)公司生產(chǎn))45g、丙烯酸2-羥基乙酯(純正化學(xué)公司生產(chǎn))20g、丙烯酸(純正化學(xué)公司生產(chǎn))5g以及光聚合引發(fā)劑(汽巴精化公司生產(chǎn)，IRGA⑶RE184)5g。使燒瓶內(nèi)處于常溫及遮光的狀態(tài)，攪拌1小時，使上述物質(zhì)均勻化，獲得固化性材料(al) 1的溶液。固化件材料(a2) 1的調(diào)制在安裝有攪拌機(jī)和冷卻管的IOOOmL的4 口燒瓶中，放入粘合劑(總研化學(xué)公司生產(chǎn)SK-DYNE 1604N)200g、環(huán)氧樹脂(DIC 公司生產(chǎn)EPICL0N EXA-4170)98g、固化劑(東京化成公司生產(chǎn)2_甲基-4-甲基咪唑)2g以及甲苯(東京化成公司生產(chǎn))200g。使燒瓶內(nèi)處于常溫的狀態(tài)，攪拌1小時，使上述物質(zhì)均勻化，獲得固化性材料 (a2)l的溶液。固化性材料(a3) 1的調(diào)制在安裝有攪拌機(jī)和冷卻管的IOOOmL的4 口燒瓶中，放入粘合劑(總研化學(xué)公司生產(chǎn)SK-DYNE 1604N)200g、丙烯酸正丁酯(純正化學(xué)公司生產(chǎn))45g、丙烯酸2-羥基乙酯(純正化學(xué)公司生產(chǎn))20g、丙烯酸(純正化學(xué)公司生產(chǎn))5g以及光聚合引發(fā)劑(汽巴精化公司生產(chǎn)，IRGACURE184)5g。使燒瓶內(nèi)處于常溫及遮光的狀態(tài)，攪拌1小時而使上述物質(zhì)均勻化，獲得固化性材料(a3) 1的溶液。M 1工序(I)在作為基材膜的厚度為200 μ m的高透射聚萘二甲酸乙二醇脂(PEN)膜(帝人杜邦公司生產(chǎn)，TEONEX Q65FA,150mmX 150mm)的表面，利用旋涂法涂敷固化性材料(al)l，以 50 V的溫度、30分鐘的條件干燥溶劑，制成厚度為3 μ m的中間層(A) 60。工序(II)利用旋涂法在中間層(A)上涂敷光固化性組合物1，形成厚度為5μπι的光固化性組合物1的涂膜。將隔著形成在多個槽間的平坦部彼此平行且以規(guī)定間距形成有該多個槽的石英制塑模(面積150mmX150mm，圖案面積100mmX 100mm，槽的間距Pp :160nm，槽的寬度 Dbp :65nm，槽的深度Hp :200nm，槽的長度100mm，槽的截面形狀大致等邊三角形)，以該槽與光固化性組合物1的涂膜相接觸的方式，在25°C的溫度下以0. 5MPa(表壓)的壓力按壓于光固化性組合物1的涂膜。保持該狀態(tài)不變地，從PEN膜側(cè)照射15秒的高壓水銀燈(頻率1. 5kHz 2. OkHz, 主波長光255nm、315nm及365nm，365nm下的照射能量1000mJ。)的光，使光固化性組合物 1固化，慢慢分離石英制塑模。由此，形成凹凸層(B)(凸條的間距Pp:160nm，凸條的底部的寬度Dbp :65nm，凸條的高度Hp :200nm，Θ1及θ 2 :80. 8° )，該凹凸層⑶具備與石英制塑模的槽相對應(yīng)的多個凸條和該凸條間的平坦部。工序(III)使用能改變與蒸鍍源相面對的上述凹凸層(B)的傾斜度的真空蒸鍍裝置(昭和真空公司生產(chǎn)，SEC-16CM)，在凹凸層(B)的凸條上利用斜向蒸鍍法進(jìn)行鋁的蒸鍍，從而形成金屬層(C)。此時，如圖20所示，進(jìn)行1次自與凸條71的長度方向L大致正交，且在第1側(cè)面 72側(cè)與凸條71的高度方向H成角度eL的方向Vl(即第1側(cè)面?zhèn)?的蒸鍍，且將該蒸鍍的角度θ L，和利用該蒸鍍形成在未形成有凸條71的平坦區(qū)域上的金屬層的厚度Hm’，設(shè)定為表1所示的角度和厚度。另外，利用采用水晶振動器作為膜厚傳感器的膜厚監(jiān)控器測量了 Hm，。在工序(III)中獲得的由基材膜50、中間層(A)60、凹凸層(B)70和金屬層(C)SO 構(gòu)成的層疊體如圖21所示。另外，測量金屬層(C)80(金屬細(xì)線)的各尺寸而得到的值如表1所示。在由基材膜50、中間層(A)60、凹凸層(B)70和金屬層(C)SO構(gòu)成的層疊體的截面的透射型電子顯微鏡像上，測量5個凸條上的金屬層(C)SO的各尺寸的最大值(其中，Dm、Dml、Dm2、Hml和Hm2 是根據(jù)如下內(nèi)容定義的值。)，平均5個該最大值而求得金屬層(C)80(金屬細(xì)線)的各尺寸。Dml 覆蓋凸條71的第1側(cè)面72的金屬層(C)SO的在凸條的寬度方向上的厚度的
最大值。Dm2 覆蓋凸條71的第2側(cè)面73的金屬層(C) 80的在凸條的寬度方向上的厚度的
最大值。Dm 凸條71的頂部的金屬層(C) 80的寬度，與Dml和Dm2的和大致相等。Hml 覆蓋凸條71的第1側(cè)面72的金屬層(C)SO的高度。Hm2 覆蓋凸條71的第2側(cè)面73的金屬層(C)80的高度。工序(IV)在金屬層(C)的Al面上貼合厚度為55 μ m的保護(hù)膜(藤森工業(yè)公司生產(chǎn)MASTACK PC-751，150mmX 150mm)，在壓熱器內(nèi)以40°C的溫度5kgf/cm2的條件進(jìn)行30分鐘的加熱加
壓處理。工序(V)對由PEN膜、中間層(A)、凹凸層(B)、金屬層(C)和保護(hù)膜構(gòu)成的層疊體以150°C 的溫度進(jìn)行1小時的熱處理。然后，自PEN膜剝離該層疊體。接著，在厚度為0.4mm的由無堿玻璃構(gòu)成的玻璃板(旭硝子公司生產(chǎn)AN100， 150mmX 150mm)的表面上，利用旋涂法涂敷光固化性粘接劑(東亞合成公司生產(chǎn)LCR0632)，制作厚度為2μπι的涂膜(粘接層)。在該涂膜上以中間層(Α)60朝向該涂膜的方式配置自PEN膜剝離的上述層疊體，從保護(hù)膜的上方以IN的壓力進(jìn)行貼合，自保護(hù)膜側(cè)照射15秒的高壓水銀燈(頻率1. 5kHz 2. OkHz，主波長光255nm、315nm及365nm，365nm 下的照射能量1000mJ。)的光，使光固化性粘接劑固化，在玻璃板的表面上粘牢上述層疊體，獲得線柵型偏振片。測量了所獲得的線柵型偏振片的金屬層的各尺寸、透射率、反射率和偏振度。例 2除了使用固化性材料(a2)l以外，其他與例1相同地進(jìn)行工序⑴ 工序(IV)，在工序(V)中，除了將在自PEN膜剝離由中間層(A)、凹凸層(B)、金屬層(C)和保護(hù)膜構(gòu)成的層疊體之前的熱處理的條件設(shè)為180°C、2小時以外，采用與例1相同的方法獲得了線柵型偏振片。測量了所獲得的線柵型偏振片的金屬層的各尺寸、透射率、反射率和偏振度。Ml工序(I)與例1相同，在PEN膜的表面上利用旋涂法涂敷固化性材料(a3) 1，以50°C的溫度干燥溶劑30分鐘，制作厚度為3 μ m的中間層(A)。工序(II)在上述中間層㈧的表面，利用旋涂法涂敷聚甲基丙烯酸甲酯(ACRYPET，分子量約為1. 5萬，住友化學(xué)公司生產(chǎn))的20%甲苯溶液，形成厚度為10 μ m的聚甲基丙烯酸甲酯的涂膜。將隔著形成在多個槽間的平坦部彼此平行且以規(guī)定間距形成有該多個槽的M制塑模(面積150mmX150mm，圖案面積IOOmmX 100mm，槽的間距Pp :160nm，槽的寬度Dbp 65nm，槽的深度Hp :200歷，槽的長度100mm，槽的截面形狀大致為等腰三角形)，以槽與聚甲基丙烯酸甲酯的涂膜相接觸的方式，在120°C的溫度下以6. 5MPa(表壓)的壓力按壓于聚甲基丙烯酸甲酯的涂膜。保持該狀態(tài)不變地，將上述Ni制塑模的溫度調(diào)整為50°C，慢慢分離該Ni制塑模。 由此，形成凹凸層⑶(凸條54a的間距Pp :160nm,凸條54a的底部的寬度Dbp :65nm,凸條 54a的高度Hp :200nm, θ 1及θ 2 80. 8° )，該凹凸層(B)具備與Ni制塑模的槽相對應(yīng)的多個凸條和該凸條間的平坦部。工序(III)采用與例1相同的方法，在凹凸層(B)的凸條上利用斜向蒸鍍法進(jìn)行鋁的蒸鍍，形成金屬層(C)。工序(IV)采用與例1相同的方法在金屬層(C)的Al面上貼合保護(hù)膜。工序(V)除了代替例1中的工序(V)的150°C、1小時的熱處理而從PEN膜側(cè)照射30秒的高壓水銀燈(頻率1. 5kHz 2. 0kHz，主波長光255nm、315nm及365nm，365nm下的照射能量1000mJ。)的光的操作以外，采用與例1相同的方法獲得了線柵型偏振片。測量了所獲得的線柵型偏振片的金屬層的各尺寸、透射率、反射率和偏振度。M4
工序(I)在表面實(shí)施了離型涂敷的厚度為IOOym的PET膜(PANAC公司生產(chǎn)，八f 一 ^ PET100TP-01,150mmX 150mm)的表面，利用旋涂法涂敷粘合劑(總研化學(xué)公司生產(chǎn) SK-DYNE1604N)，以50°C的溫度干燥溶劑30分鐘，制作厚度為8 μ m的中間層(A)。工序(II)除使用了在工序(I)中制成的基材膜和中間層以外，與例1同樣地形成凹凸層(B) (凸條的間距Pp :160nm,凸條的底部的寬度Dbp :65nm，凸條的高度Hp :200nm，θ 1及θ 2 80.8° )，該凹凸層(B)具備與石英制塑模的槽相對應(yīng)的多個凸條和該凸條間的平坦部。工序(III)除使用了在工序(I)中制成的基材膜和中間層以外，與例1同樣地進(jìn)行了真空蒸鍍。工序(IV)除使用了在工序(I)中制成的基材膜和中間層以外，與例1同樣地進(jìn)行了保護(hù)膜的貼合。工序(V)在剝離層與中間層(A)之間剝離由PET膜、剝離層、中間層(Α)、凹凸層(B)、金屬層(C)和保護(hù)膜構(gòu)成的層疊體。在厚度為0.4mm的由無堿玻璃構(gòu)成的玻璃板(旭硝子公司生產(chǎn)AN100，150mmX 150mm)表面，利用旋涂法涂敷氨基硅烷(信越化學(xué)公司生產(chǎn)， KBM603)/水/異丙醇=0. 1/63/47 (體積比)的溶液，以100°C的溫度干燥50分鐘。在該涂膜上以中間層(A)60朝向該涂膜的方式配置自剝離層剝離的上述層疊體，從保護(hù)膜的上方以IN的壓力進(jìn)行貼合，在玻璃板的表面上粘牢上述層疊體，獲得了線柵型偏振片。測量了所獲得的線柵型偏振片的金屬層的各尺寸、透射率、反射率和偏振度。例1 例4中的各測量結(jié)果如表1和表2所示。表 1
Dm Dml Dm2 Hml Hm2Dbp
Pp (nm)Hp(nm)eL (°)Hm'(nm)
(nm) (nm) (nm) (nm) (nm)(nm)
例 15550521010160652003050
例 25550521010160652003050
例 35550521010160652003050
例45550521010160652003050表2
2權(quán)利要求
1.一種表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，其特征在于，包括如下工序(I)、工序(II)和工序(V),工序⑴在基材膜的表面形成中間層㈧；工序(II):在上述中間層(A)的表面，利用壓印法形成表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層⑶；工序(V)將包括上述中間層(A)和上述凹凸層(B)的層疊體自上述基材膜剝離，以上述中間層(A)位于透明基材側(cè)的方式將該層疊體粘貼在透明基材的表面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，其中，上述中間層(A)是由固化性材料構(gòu)成的層，該固化性材料在未固化或一部分固化了的狀態(tài)下對基材膜具有粘合性，隨著固化的進(jìn)展降低對基材膜的粘合性。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，其中，上述固化性材料是含有光固化性化合物和熱固化性化合物的固化性材料(al)、含有熱塑性樹脂和熱固化性化合物的固化性材料(^)或含有熱塑性樹脂和光固化性化合物的固化性材料(a3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，其中， 上述熱塑性樹脂是玻化溫度(Tg)為10°C 40°C的樹脂。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法，其中，上述基材膜是表面具有離型層的基材膜，上述中間層(A)是在該基材膜的離型層的表面涂敷粘合劑而形成的層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法， 其中，利用卷對卷法進(jìn)行上述工序(I)和工序(II)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法， 其中，在上述工序(II)與工序(V)之間還具有如下工序(IV)， 工序(IV)在上述凹凸層(B)的表面貼合保護(hù)膜。
8.一種線柵型偏振片的制造方法，其包括如下工序(I)、工序(II)、工序(III)和工序(V),工序⑴在基材膜的表面形成中間層㈧；工序(II)在上述中間層(A)的表面，利用壓印法形成表面具有多個凸條的凹凸層(B)；工序(III)在上述凹凸層(B)的凸條上形成金屬層(C)；工序(V)將包括上述中間層(A)、上述凹凸層(B)和上述金屬層(C)的層疊體自上述基材膜剝離，以上述中間層(A)位于透明基材側(cè)的方式將該層疊體粘貼在透明基材的表面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線柵型偏振片的制造方法，其中，上述中間層(A)是由固化性材料構(gòu)成的層，該固化性材料在未固化或一部分固化了的狀態(tài)下對基材膜具有粘合性，隨著固化的進(jìn)展降低對基材膜的粘合性。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的線柵型偏振片的制造方法，其中，上述固化性材料是含有光固化性化合物和熱固化性化合物的固化性材料(al)、含有熱塑性樹脂和熱固化性化合物的固化性材料(^)或含有熱塑性樹脂和光固化性化合物的固化性材料(a3)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的線柵型偏振片的制造方法，其中， 上述熱塑性樹脂是玻化溫度(Tg)為10°C 40°C的樹脂。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線柵型偏振片的制造方法，其中，上述基材膜是表面具有離型層的基材膜，上述中間層(A)是在該基材膜的離型層的表面涂敷粘合劑而形成的層。
13.根據(jù)權(quán)利要求8 12中任意一項(xiàng)所述的線柵型偏振片的制造方法，其中， 在上述工序(III)與工序(V)之間還具有如下工序(IV)，工序(IV)在上述凹凸層(B)和金屬層(C)上貼合保護(hù)膜。
全文摘要
本發(fā)明提供表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法及線柵型偏振片的制造方法。目的在于提供一種能夠以高品質(zhì)且高生產(chǎn)率制造在透明基材的表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品及線柵型偏振片，且也容易實(shí)現(xiàn)凹凸層的大面積化的制造方法。表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的物品的制造方法包括工序(I)，在基材膜的表面形成中間層(A)；工序(II)，在上述中間層(A)的表面，利用壓印法形成表面具有微細(xì)凹凸構(gòu)造的凹凸層(B)；工序(IV)，將包括上述中間層(A)和上述凹凸層(B)的層疊體自上述基材膜剝離，將該層疊體以上述中間層(A)位于透明基材側(cè)的方式粘貼在透明基材的表面上。另外，還提供使用了該制造方法的線柵型偏振片的制造方法。
文檔編號G02F1/1335GK102472855SQ20108002883
公開日2012年5月23日 申請日期2010年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月1日
發(fā)明者坂本寬, 海田由里子 申請人:旭硝子株式會社