專(zhuān)利名稱(chēng)：光掃描儀以及圖像形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光掃描儀以及圖像形成裝置。
背景技術(shù)：
例如，作為在激光打印機(jī)等中通過(guò)光掃描進(jìn)行描繪的光掃描儀，公知有由扭轉(zhuǎn)振子構(gòu)成的光掃描儀(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中具有如下的光掃描儀(光偏光器)，該光掃描儀具有框狀的支承基板；掃描反射鏡，該掃描反射鏡設(shè)置在支承基板的內(nèi)側(cè)；一對(duì)扭桿，這一對(duì)扭桿連結(jié)支承基板和掃描反射鏡，且同軸地設(shè)置；永磁鐵，該永磁鐵設(shè)置于掃描反射鏡；以及線圈，該線圈用于產(chǎn)生作用于永磁鐵的磁場(chǎng)。在該專(zhuān)利文獻(xiàn)1的光掃描儀中構(gòu)成為對(duì)線圈施加交變電壓而交替地切換作用于永磁鐵的磁場(chǎng)的磁極，由此使一對(duì)扭桿扭轉(zhuǎn)變形，并使掃描反射鏡繞中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)。但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1的光掃描儀中，雖然能夠使掃描反射鏡繞中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，但是， 無(wú)法使該中心軸變位(移動(dòng))。具體地說(shuō)，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1的光掃描1中，在構(gòu)造上，無(wú)法使掃描反射鏡的中心軸在掃描反射鏡(非驅(qū)動(dòng)狀態(tài))的厚度方向任意移動(dòng)。并且，例如，在未使掃描反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)下，也無(wú)法使掃描反射鏡在保持該姿態(tài)的狀態(tài)下在厚度方向變位。 即，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1的光掃描儀中，掃描反射鏡的驅(qū)動(dòng)圖案僅僅是繞固定于1處的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，因此存在便利性低的問(wèn)題。[專(zhuān)利文獻(xiàn)1]日本特開(kāi)2005-181395號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠以多個(gè)驅(qū)動(dòng)圖案驅(qū)動(dòng)、便利性高的光掃描儀以及圖像形成裝置。這種目的借助下述的本發(fā)明達(dá)成。本發(fā)明的光掃描儀的特征在于，上述光掃描儀具有可動(dòng)板，該可動(dòng)板具備光反射部，該光反射部具有光反射性；支承部，該支承部用于支承上述可動(dòng)板；一對(duì)連結(jié)部，該一對(duì)連結(jié)部設(shè)置于上述可動(dòng)板的兩側(cè)，用于連結(jié)上述可動(dòng)板和上述支承部；以及變位構(gòu)件，該變位構(gòu)件使上述可動(dòng)板變位，各上述連結(jié)部具有驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部能夠相對(duì)于上述支承部轉(zhuǎn)動(dòng)；以及軸部，該軸部用于連結(jié)上述驅(qū)動(dòng)部和上述可動(dòng)板，各上述連結(jié)部的上述軸部能夠在該軸部的長(zhǎng)度方向的中途朝上述可動(dòng)板的厚度方向彎折，通過(guò)利用上述變位構(gòu)件使各上述連結(jié)部的上述驅(qū)動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過(guò)該轉(zhuǎn)動(dòng)使上述軸部彎折，由此使上述可動(dòng)板變位。由此，能夠以多個(gè)圖案進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，能夠提供便利性高的光掃描儀。在本發(fā)明的光掃描儀中，當(dāng)將在上述可動(dòng)板的俯視圖中正交的2軸設(shè)為X軸和Y 軸時(shí)，上述一對(duì)連結(jié)部分別具有上述驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部與上述可動(dòng)板在X軸方向離開(kāi)配置；作為上述軸部的第一軸部，該第一軸部連結(jié)上述可動(dòng)板和上述驅(qū)動(dòng)部，且在χ軸方向延伸；以及第二軸部，該第二軸部連結(jié)上述驅(qū)動(dòng)部和上述支承部，且在Y軸方向延伸，利用上述變位構(gòu)件使上述第二軸部扭轉(zhuǎn)變形并使上述驅(qū)動(dòng)部繞Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)，由此使上述第一軸部彎折。由此，連結(jié)部的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選各上述連結(jié)部所具有的上述第一軸部具有節(jié)部，該節(jié)部設(shè)置在延伸方向的中途；可動(dòng)板側(cè)軸部，該可動(dòng)板側(cè)軸部連結(jié)上述節(jié)部和上述可動(dòng)板； 以及驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部，該驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部連結(jié)上述節(jié)部和上述驅(qū)動(dòng)部，并且，上述第一軸部在上述節(jié)部彎折。由此，能夠簡(jiǎn)單地使第一軸部彎折。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選各上述連結(jié)部所具有的上述第一軸部能夠形成為以下兩種變形以形成朝上述可動(dòng)板的厚度方向的一方側(cè)凸出的V字狀的方式在上述節(jié)部彎折的第一變形；以及以形成朝上述可動(dòng)板的厚度方向的另一方側(cè)凸出的V字狀的方式在上述節(jié)部彎折的第二變形。通過(guò)使各第一軸部以上述方式彎折，能夠高效地使可動(dòng)板變位。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選利用上述變位構(gòu)件交替地反復(fù)形成以下?tīng)顟B(tài)，由此使上述可動(dòng)板繞上述Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)使各上述連結(jié)部所具有的上述第一軸部中的一方的上述第一軸部進(jìn)行上述第一變形，同時(shí)使另一方的上述第一軸部進(jìn)行上述第二變形的狀態(tài)；以及使上述一方的第一軸部進(jìn)行上述第二變形，同時(shí)使上述另一方的第一軸部進(jìn)行上述第一變形的狀態(tài)。由此，能夠使可動(dòng)板順暢地轉(zhuǎn)動(dòng)。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選利用上述變位構(gòu)件交替地反復(fù)形成以下?tīng)顟B(tài)，由此使上述可動(dòng)板朝該可動(dòng)板的厚度方向振動(dòng)使各上述連結(jié)部所具有的上述第一軸部進(jìn)行上述第一變形的狀態(tài)；以及使各上述連結(jié)部所具有的上述第一軸部進(jìn)行上述第二變形的狀態(tài)。由此，能夠使可動(dòng)板順暢地振動(dòng)。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選各上述連結(jié)部的上述節(jié)部具有繞Y軸扭轉(zhuǎn)變形的扭轉(zhuǎn)變形部。由此，當(dāng)?shù)谝惠S部彎折時(shí)，扭轉(zhuǎn)變形部扭轉(zhuǎn)變形，由此，能夠有效地緩和通過(guò)彎折產(chǎn)生的應(yīng)力。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選各上述連結(jié)部的上述節(jié)部具有一對(duì)上述扭轉(zhuǎn)變形部，上述一對(duì)扭轉(zhuǎn)變形部中的一方的上述扭轉(zhuǎn)變形部連結(jié)于上述可動(dòng)板側(cè)軸部，另一方的上述扭轉(zhuǎn)變形部連結(jié)于上述驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部。
由此，當(dāng)?shù)谝惠S部彎折時(shí)，扭轉(zhuǎn)變形部扭轉(zhuǎn)變形，由此，能夠有效地緩和通過(guò)彎折產(chǎn)生的應(yīng)力。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選各上述連結(jié)部的上述節(jié)部具有非變形部，該非變形部設(shè)置在上述一對(duì)扭轉(zhuǎn)變形部之間，沿Y軸方向延伸且并不繞Y軸扭轉(zhuǎn)變形。由此，能夠以非變形部為軸使第一軸部局部地彎折。因此，能夠簡(jiǎn)單且可靠地使第一軸部彎折，能夠使可動(dòng)板穩(wěn)定地變位(轉(zhuǎn)動(dòng))。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選各上述連結(jié)部的上述可動(dòng)板側(cè)軸部和上述驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部分別并不實(shí)質(zhì)性地變形。由此，能夠簡(jiǎn)單地使第一軸部在節(jié)部彎折。因此，能夠進(jìn)行穩(wěn)定的可動(dòng)板的變位 (轉(zhuǎn)動(dòng))。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選各上述連結(jié)部由SOI基板形成，上述SOI基板通過(guò)按照順序?qū)盈B第一 Si層、SiO2層、以及第二 Si層而形成。由此，能夠簡(jiǎn)單地形成各連結(jié)部。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選各上述連結(jié)部的上述可動(dòng)板側(cè)軸部、上述非變形部、 上述驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部、以及上述驅(qū)動(dòng)部分別由上述第一 Si層、上述SW2層、以及上述第二 Si 層構(gòu)成，上述扭轉(zhuǎn)變形部和上述第二軸部分別由上述第二 Si層構(gòu)成。由此，能夠簡(jiǎn)單地形成各連結(jié)部。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選上述變位構(gòu)件與上述一對(duì)連結(jié)部對(duì)應(yīng)地設(shè)置有一對(duì)，各上述變位構(gòu)件具有永磁鐵，該永磁鐵設(shè)置于上述驅(qū)動(dòng)部；以及線圈，該線圈產(chǎn)生作用于上述永磁鐵的磁場(chǎng)。由此，變位構(gòu)件的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選在各上述變位構(gòu)件中，上述永磁鐵以?xún)蓸O在上述可動(dòng)板的厚度方向?qū)χ玫姆绞皆O(shè)置，上述線圈以產(chǎn)生X軸方向的磁場(chǎng)的方式設(shè)置。由此，能夠使可動(dòng)板穩(wěn)定地變位。在本發(fā)明的光掃描儀中，優(yōu)選在各上述變位構(gòu)件中，上述永磁鐵貫通上述驅(qū)動(dòng)部而設(shè)置。由此，能夠使可動(dòng)板穩(wěn)定地變位。本發(fā)明的圖像形成裝置的特征在于，上述圖像形成裝置具備光掃描儀，上述光掃描儀具有可動(dòng)板，該可動(dòng)板具備光反射部，該光反射部具有光反射性；支承部，該支承部用于支承上述可動(dòng)板；一對(duì)連結(jié)部，該一對(duì)連結(jié)部設(shè)置于上述可動(dòng)板的兩側(cè)，用于連結(jié)上述可動(dòng)板和上述支承部；以及變位構(gòu)件，該變位構(gòu)件使上述可動(dòng)板變位，各上述連結(jié)部具有驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部能夠相對(duì)于上述支承部轉(zhuǎn)動(dòng)；以及軸部，該軸部用于連結(jié)上述驅(qū)動(dòng)部和上述可動(dòng)板，各上述連結(jié)部的上述軸部能夠在該軸部的長(zhǎng)度方向的中途朝上述可動(dòng)板的厚度方向彎折，通過(guò)利用上述變位構(gòu)件使各上述連結(jié)部的上述驅(qū)動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過(guò)該轉(zhuǎn)動(dòng)使上述軸部彎折，由此使上述可動(dòng)板變位。由此，能夠以多個(gè)圖案進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，能夠提供便利性高的圖像形成裝置。


圖1是示出本發(fā)明的光掃描儀的第一實(shí)施方式的俯視圖。圖2是圖1所示的光掃描儀的剖視圖(沿圖1中的A-A線的剖視圖)。圖3是圖1所示的光掃描儀所具有的連結(jié)部的立體圖。圖4是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀所具有的振動(dòng)系統(tǒng)的制造方法的剖視圖。圖5是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀所具有的振動(dòng)系統(tǒng)的制造方法的剖視圖。圖6是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀所具有的變位構(gòu)件的圖。圖7是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀的驅(qū)動(dòng)的圖。圖8是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀的驅(qū)動(dòng)的圖。圖9是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀的驅(qū)動(dòng)的圖。圖10是示出本發(fā)明的光掃描儀的第二實(shí)施方式的俯視圖。圖11是示出本發(fā)明的光掃描儀的第三實(shí)施方式的俯視圖。圖12是示出本發(fā)明的光掃描儀的第四實(shí)施方式的立體圖。圖13是示出本發(fā)明的圖像形成裝置的概要的圖。符號(hào)說(shuō)明1...光掃描儀；2...可動(dòng)板；21...面；22...光反射部；3...支承部；4、4C、 5...連結(jié)部；41,51. · ·驅(qū)動(dòng)板；411. · ·貫通孔；42、42C、52. · ·第一軸部；421、421C、 521...節(jié)部；4211、4212、5211、5212· . ·扭轉(zhuǎn)變形部；4213、4213C、5213...非變形部； 4214、4215、5214、5215. · ·連接部；422,522. · ·可動(dòng)板側(cè)軸部；423,523. · ·驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部； 43,53...第二軸部；6...變位構(gòu)件；61、61B...第一變位構(gòu)件；62...第二變位構(gòu)件；611、 611B、621...永磁鐵；612、612Β、622· . ·線圈；613、613B、623...電源；64、64A...線圈固定部；641...突出部；642Α...主體部；8...振動(dòng)系統(tǒng)；9...基座；91...基部；92...框部；100. · · SOI 基板；110. · ·第一 Si 層；120. · · SiO2 層；130. · ·第二 Si 層；200. · ·投影儀；210...光源裝置；211...紅色光源裝置；212...藍(lán)色光源裝置；213...綠色光源裝置； 220. · ·正交二向色棱鏡(cross dichroic prism) ；230,240. · ·光掃描儀；250. · ·固定反射鏡；M1、M2. . . SiO2膜；J1、J2...轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸；J3、J4...中心軸；SC...投影屏。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的光掃描儀和圖像形成裝置的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。<第一實(shí)施方式>首先，對(duì)本發(fā)明的光掃描儀的第一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是示出本發(fā)明的光掃描儀的第一實(shí)施方式的俯視圖，圖2是圖1所示的光掃描儀的剖視圖(沿圖1中的A-A線的剖視圖)，圖3是圖1所示的光掃描儀所具有的連結(jié)部的立體圖，圖4和圖5分別是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀所具有的振動(dòng)系統(tǒng)的制造方法的剖視圖，圖6是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀所具有的變位構(gòu)件的圖，圖7、圖8、以及圖 9分別是用于說(shuō)明圖1所示的光掃描儀的驅(qū)動(dòng)的圖。另外，以下，為了說(shuō)明的方便，將圖1中的左側(cè)稱(chēng)為“左”、將右側(cè)稱(chēng)為“右”，將圖 2 圖9中的上側(cè)稱(chēng)為“上”、將下側(cè)稱(chēng)為“下”。并且，如圖1所示，將相互正交的3軸設(shè)為 X軸、Y軸以及Z軸，非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)的可動(dòng)板的面與由X軸和Y軸形成的面一致(平行)，可動(dòng)板的厚度方向與Z軸一致。并且，以下，將與X軸平行的方向稱(chēng)為“X軸方向”、將與Y軸平行的方向稱(chēng)為“Y軸方向”、將與Z軸方向平行的方向稱(chēng)為“Z軸方向”。圖1和圖2所示的光掃描儀1具有振動(dòng)系統(tǒng)8，該振動(dòng)系統(tǒng)8由可動(dòng)板2、用于支承可動(dòng)板2的支承部3、以及連結(jié)可動(dòng)板2和支承部3的一對(duì)連結(jié)部4、5構(gòu)成；基座9，該基座9用于支承振動(dòng)系統(tǒng)8 ；以及變位構(gòu)件6，該變位構(gòu)件6用于使可動(dòng)板2變位。另外，在光掃描儀1中，作為可動(dòng)板2的變位，大致地進(jìn)行區(qū)分，能夠選擇繞圖1所示的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl轉(zhuǎn)動(dòng)的圖案、可動(dòng)板2在保持其姿態(tài)的狀態(tài)下在Z軸方向振動(dòng)的圖案、 以及可動(dòng)板2在從自然狀態(tài)的位置偏移的位置靜止的圖案，在以下的說(shuō)明中，只要沒(méi)有特意限定，可動(dòng)板2的“變位”就包括上述3種圖案。以下，對(duì)光掃描儀1的各結(jié)構(gòu)依次進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。1-1.振動(dòng)系統(tǒng)8在本實(shí)施方式中，振動(dòng)系統(tǒng)8 (即可動(dòng)板2、支承部3以及一對(duì)連結(jié)部4、5)通過(guò)利用干蝕刻(dry etching)和濕蝕刻(wet etching)等各種蝕刻方法將SOI基板的不需要部位除去而一體地形成。另外，對(duì)于振動(dòng)系統(tǒng)8的制造方法在后面詳細(xì)敘述。支承部3具有支承可動(dòng)板2的功能。這種支承部3形成為框狀，且以包圍可動(dòng)板2 的周?chē)姆绞皆O(shè)置。另外，作為支承部3的形狀，只要能夠支承可動(dòng)板2即可，并無(wú)特殊限定，例如，也可以隔著可動(dòng)板2以在X軸方向或者Y軸方向?qū)χ玫姆绞皆O(shè)置有一對(duì)。在支承部3的內(nèi)側(cè)設(shè)置有可動(dòng)板2?？蓜?dòng)板2形成為平板狀，且在一方的面(與基座9相反側(cè)的面)21形成有具有光反射性的光反射部22。光反射部22例如能夠通過(guò)利用蒸鍍等在面21上形成金、銀、鋁等的金屬膜等而得到。另外，在本實(shí)施方式中，可動(dòng)板2的俯視形狀形成為圓形，但是，作為可動(dòng)板2的俯視形狀，并無(wú)特殊限定，例如也可以是長(zhǎng)方形、正方向等多邊形、橢圓形等。這種可動(dòng)板2通過(guò)連結(jié)部4、5與支承部3連結(jié)。連結(jié)部4、5相對(duì)于可動(dòng)板2相互位于相反側(cè)，對(duì)可動(dòng)板2進(jìn)行雙支承。具體地說(shuō)，連結(jié)部4在1中左側(cè)連結(jié)可動(dòng)板2和支承部3，連結(jié)部5在圖1中右側(cè)連結(jié)可動(dòng)板2和支承部3。這種連結(jié)部4、5相對(duì)于可動(dòng)板2(轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl)對(duì)稱(chēng)地形成。連結(jié)部4具有驅(qū)動(dòng)板(驅(qū)動(dòng)部)41 ；第一軸部42，該第一軸部42連結(jié)驅(qū)動(dòng)板41 和可動(dòng)板2 ；以及一對(duì)第二軸部43，這一對(duì)第二軸部43連結(jié)驅(qū)動(dòng)板41和支承部3。同樣地， 連結(jié)部5具有驅(qū)動(dòng)板(驅(qū)動(dòng)部)51 ；第一軸部52，該第一軸部52連結(jié)驅(qū)動(dòng)板51和可動(dòng)板 2 ；以及一對(duì)第二軸部53，這一對(duì)第二軸部53連結(jié)驅(qū)動(dòng)板51和支承部3。通過(guò)將連結(jié)部4 形成為這種結(jié)構(gòu)，能夠簡(jiǎn)單且可靠地使可動(dòng)板2利用前面所述的多個(gè)圖案變位。以下對(duì)連結(jié)部4、5進(jìn)行具體地說(shuō)明，但是，由于連結(jié)部4、5的結(jié)構(gòu)相互是同樣的結(jié)構(gòu)，因此以連結(jié)部4為代表進(jìn)行說(shuō)明，省略對(duì)連結(jié)部5的說(shuō)明。
如圖3所示，一對(duì)第二軸部43隔著驅(qū)動(dòng)板41在Y軸方向?qū)χ门渲?，?duì)驅(qū)動(dòng)板41 進(jìn)行雙支承。并且，一對(duì)第二軸部43分別形成為沿Y軸方向延伸的棒狀。并且，一對(duì)第二軸部43能夠繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形。這樣的一對(duì)第二軸部43同軸地設(shè)置，一對(duì)第二軸部43以該軸(以下也稱(chēng)作“轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J2”為中心扭轉(zhuǎn)變形，同時(shí)驅(qū)動(dòng)板41轉(zhuǎn)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)板41相對(duì)于可動(dòng)板2在X軸方向離開(kāi)設(shè)置。并且，如前面所述，驅(qū)動(dòng)板41由一對(duì)第二軸部43進(jìn)行雙支承。在這種驅(qū)動(dòng)板41形成有貫通孔411，永磁鐵611插通并固定于該貫通孔。永磁鐵611例如通過(guò)嵌合(壓入)或粘接劑固定于驅(qū)動(dòng)板41。永磁鐵611 是變位構(gòu)件6的結(jié)構(gòu)的一部分，因此對(duì)于永磁鐵611在后面進(jìn)行說(shuō)明。并且，在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)板41的俯視形狀形成為以Y軸方向作為長(zhǎng)邊的長(zhǎng)方形。通過(guò)將驅(qū)動(dòng)板41形成為這種形狀，能夠確保用于固定永磁鐵611的空間，并且能夠抑制驅(qū)動(dòng)板41的寬度(X軸方向的長(zhǎng)度)。通過(guò)抑制驅(qū)動(dòng)板41的寬度，能夠抑制當(dāng)驅(qū)動(dòng)板41 繞轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J2轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的慣性矩，驅(qū)動(dòng)板41的響應(yīng)性提高，能夠更高速地轉(zhuǎn)動(dòng)。并且， 當(dāng)驅(qū)動(dòng)板41的響應(yīng)性提高時(shí)，能夠抑制由于驅(qū)動(dòng)板41的轉(zhuǎn)動(dòng)(特別是轉(zhuǎn)動(dòng)方向轉(zhuǎn)換的反轉(zhuǎn)時(shí))而產(chǎn)生非本意的振動(dòng)的情況。因此，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。另外，作為驅(qū)動(dòng)板41的俯視形狀，并無(wú)特殊限定，例如也可以形成為正方形或五邊形以上的多邊形，也可以形成為圓形。這種驅(qū)動(dòng)板41借助第一軸部42與可動(dòng)板2連結(jié)。第一軸部42以整體沿X軸方向延伸的方式設(shè)置。這種第一軸部42具有節(jié)部421，該節(jié)部421設(shè)置在驅(qū)動(dòng)板41與可動(dòng)板2之間；可動(dòng)板側(cè)軸部422，該可動(dòng)板側(cè)軸部422連結(jié)節(jié)部421和可動(dòng)板2 ；以及驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部(驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部)423，該驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423連結(jié)節(jié)部421和驅(qū)動(dòng)板41?？蓜?dòng)板側(cè)軸部422和驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423分別形成為沿X軸方向延伸的棒狀。并且， 可動(dòng)板側(cè)軸部422和驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423同軸地設(shè)置。優(yōu)選上述可動(dòng)板側(cè)軸部422和驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423分別設(shè)定成在光掃描儀1的驅(qū)動(dòng)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生大的變形的硬度，更加優(yōu)選設(shè)定成實(shí)質(zhì)上不會(huì)變形的硬度。由此，如后所述，能夠使可動(dòng)板2穩(wěn)定地變位。另外，上述“變形” 是指朝向Z軸方向的曲折或彎曲以及繞中心軸的扭轉(zhuǎn)變形。這種可動(dòng)板側(cè)軸部422和驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423經(jīng)由節(jié)部421連結(jié)。節(jié)部421設(shè)置在可動(dòng)板側(cè)軸部422與驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423之間，將二者連結(jié)在一起。如圖3所示，節(jié)部421 具有一對(duì)扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212 ；設(shè)置在這一對(duì)扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212之間的非變形部 4213 ；一對(duì)連接部4214，這一對(duì)連接部4214將扭轉(zhuǎn)變形部4211連接于非變形部4213 ；以及一對(duì)連接部4215，這一對(duì)連接部4215將扭轉(zhuǎn)變形部4212連接于非變形部4213。非變形部4213形成為沿Y軸方向延伸的棒狀。這種非變形部4213設(shè)定成在光掃描儀1的驅(qū)動(dòng)時(shí)實(shí)質(zhì)上不會(huì)變形的硬度。由此，如后所述，能夠使第一軸部42以非變形部 4213的中心軸J4為中心彎折(bend)，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。另外，上述“變形”是指非變形部4213的朝向Z軸方向的彎折/彎曲以及繞中心軸J4的扭轉(zhuǎn)變形。相對(duì)于這種非變形部4213對(duì)稱(chēng)地配置有一對(duì)扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212。扭轉(zhuǎn)變形部 4211、4212分別形成為沿Y軸方向延伸的棒狀。并且，扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212相互在X軸方向離開(kāi)地并列設(shè)置。并且，位于可動(dòng)板2側(cè)的扭轉(zhuǎn)變形部4211在其長(zhǎng)度方向的大致中央與可動(dòng)板側(cè)軸部422的一端連結(jié)，同樣，位于驅(qū)動(dòng)板41側(cè)的扭轉(zhuǎn)變形部4212在其長(zhǎng)度方向的大致中央與驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423的一端連結(jié)。這種扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212分別能夠繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。這種扭轉(zhuǎn)變形部4211借助一對(duì)連接部4214連接于非變形部4213，扭轉(zhuǎn)變形部 4212借助一對(duì)連接部4215連接于非變形部4213。一對(duì)連接部4214中的一方的連接部以將扭轉(zhuǎn)變形部4211和非變形部4213的一端部彼此連結(jié)在一起的方式設(shè)置，另一方的連接部以將扭轉(zhuǎn)變形部4211和非變形部4213 的另一端部彼此連結(jié)在一起的方式設(shè)置。并且，一對(duì)連接部4215中的一方的連接部以將扭轉(zhuǎn)變形部4212和非變形部4213的一端部彼此連結(jié)在一起的方式設(shè)置，另一方的連接部以將扭轉(zhuǎn)變形部4212和非變形部4213的另一端部彼此連結(jié)在一起的方式設(shè)置。這種各連接部4214、4215形成為沿X軸方向延伸的棒狀。并且，各連接部4214、 4215能夠朝Z軸方向彎曲且能夠繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。以上對(duì)振動(dòng)系統(tǒng)8的結(jié)構(gòu)(形狀)進(jìn)行了具體地說(shuō)明。如前面所述，這種結(jié)構(gòu)的振動(dòng)系統(tǒng)8由SOI基板一體地形成。由此，振動(dòng)系統(tǒng)8的形成容易。具體地說(shuō)，如前面所述，在振動(dòng)系統(tǒng)8中共存有積極地變形的部位和不變形(不想使其變形)的部位。另一方面，SOI基板是通過(guò)按照順序?qū)盈B第一 Si層、SiO2層、以及第二 Si層而成的基板。此處，通過(guò)利用上述3個(gè)層的所有層構(gòu)成不變形的部位、且僅利用第二 Si層構(gòu)成積極地變形的部位，即使SOI基板的厚度不同，也能夠簡(jiǎn)單地形成共存有變形部位和不變形部位的振動(dòng)系統(tǒng)8。另外，積極地變形的部位也可以由第二 Si層和SiO2層這 2層構(gòu)成。在上述“積極地變形的部位”中包括第二軸部43、53、扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212、 5211,5212以及各連接部4214、4215、5214、5215，在上述“不變形的部位”中包括可動(dòng)板側(cè)軸部422、522、驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523、驅(qū)動(dòng)板41,51以及非變形部4213、5213。并且，除了連結(jié)部4、5以外的可動(dòng)板2和支承部3也包括在上述“不變形的部位”中。以下，根據(jù)圖4和圖5對(duì)振動(dòng)系統(tǒng)8的制造方法的一例進(jìn)行簡(jiǎn)單地說(shuō)明。另外，振動(dòng)系統(tǒng)8的制造方法并不限定于此。首先，如圖4(a)所示，準(zhǔn)備按照第一 Si層110工102層120、第二 Si層130的順序從上側(cè)層疊而成的SOI基板(硅基板)100。接著，如圖4(b)所示，在SOI基板100的兩面形成SiO2膜Ml、M2。接著，如圖4(c) 所示，通過(guò)對(duì)SW2膜M2進(jìn)行蝕刻而形成可動(dòng)板2、支承部3、以及一對(duì)連結(jié)部4、5的俯視形狀的圖案，同時(shí)，通過(guò)對(duì)SW2膜Ml進(jìn)行蝕刻而形成與可動(dòng)板2、支承部3、驅(qū)動(dòng)板41、51、可動(dòng)板側(cè)軸部422、522、驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523、以及非變形部4213、5213對(duì)應(yīng)的形狀的圖案。接著，如圖5 (a)所示，經(jīng)由SiO2膜Ml對(duì)SOI基板100進(jìn)行蝕刻。此時(shí)，作為SOI 基板100的中間層的SiA層120作為上述蝕刻的停止層發(fā)揮功能。在該蝕刻結(jié)束之后，此次經(jīng)由SiA膜M2對(duì)SOI基板100進(jìn)行蝕刻。此時(shí)，作為SOI基板100的中間層的SiA層 120作為上述蝕刻的停止層發(fā)揮功能。另外，作為蝕刻方法，并無(wú)特殊限定，例如能夠使用等離子體蝕刻、反應(yīng)離子蝕刻、 電子束蝕刻、光輔助蝕刻等物理蝕刻方法、濕蝕刻等化學(xué)蝕刻方法中的1種方法，或者組合使用2種以上的方法。另外，在以下的各工序中的蝕刻中也能夠使用同樣的方法。接著，如圖5(b)所示，通過(guò)利用Bra (Buffered Hydrogen Fluoride 緩沖氫氟酸) 等將3102膜機(jī)、112以及SiO2層120的露出的部分蝕刻除去而加工出可動(dòng)板2、支承部3、以及一對(duì)連結(jié)部4、5的外形形狀。進(jìn)一步，如圖5(c)所示，在可動(dòng)板2的上表面21形成金屬膜，從而形成光反射部 22。作為金屬膜(光反射部22)的形成方法，能夠舉出真空蒸鍍、濺射(低溫濺射)、離子鍍等干鍍法、電解電鍍、非電解電鍍等濕鍍法、噴鍍法、金屬箔的接合等。能夠以這種方式得到振動(dòng)系統(tǒng)8。1-2.基座 9如圖2所示，基座9具有平板狀的基部91和沿基部91的邊緣部設(shè)置的框部92，且形成為箱狀(斗狀)。這種基座9利用框部92與振動(dòng)系統(tǒng)8的支承部3下表面接合。由此，利用基座9支承振動(dòng)系統(tǒng)8。另外，作為基座9與支承部3的接合方法，并無(wú)特殊限定， 例如可以使用粘接劑進(jìn)行接合，也可以使用陽(yáng)極接合等各種接合方法。1-3.變位構(gòu)件6如圖1所示，變位構(gòu)件6具有第一變位構(gòu)件61和第二變位構(gòu)件62，第一變位構(gòu)件 61具有永磁鐵611、線圈612以及電源613，第二變位構(gòu)件62具有永磁鐵621、線圈622以及電源623。第一變位構(gòu)件61與連結(jié)部4對(duì)應(yīng)地設(shè)置，第二變位構(gòu)件62與連結(jié)部5對(duì)應(yīng)地設(shè)置。由此，變位構(gòu)件的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。另外，由于第一變位構(gòu)件61和第二變位構(gòu)件62的結(jié)構(gòu)相互為同樣的結(jié)構(gòu)，因此， 以下以第一變位構(gòu)件61作為代表進(jìn)行說(shuō)明，省略對(duì)第二變位構(gòu)件62的說(shuō)明。如圖6所示，永磁鐵611形成為棒狀，且沿長(zhǎng)度方向被磁化。S卩，永磁鐵611的長(zhǎng)度方向的一端側(cè)為S極、另一端側(cè)為N極。這種永磁鐵611插通在形成于驅(qū)動(dòng)板41的貫通孔411，且在長(zhǎng)度方向的大致中央被固定于驅(qū)動(dòng)板41。進(jìn)而，永磁鐵611在驅(qū)動(dòng)板41的上方和下方突出相同的長(zhǎng)度，且S極和N極隔著驅(qū)動(dòng)板41對(duì)置。由此，如后所述，能夠使可動(dòng)板2穩(wěn)定地變位。并且，永磁鐵611以長(zhǎng)度方向與驅(qū)動(dòng)板41的面方向正交的方式設(shè)置。并且，永磁鐵611以中心軸與轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J2交叉的方式設(shè)置。作為這種永磁鐵611，并無(wú)特殊限定，例如能夠適當(dāng)?shù)厥褂免S磁鐵、鐵氧體磁鐵、釤鈷磁鐵、鋁鐵鎳鈷磁鐵、粘結(jié)磁鐵(bond magnet)等對(duì)硬磁體進(jìn)行磁化而成的磁鐵。另外，在本實(shí)施方式中，永磁鐵611形成為棒狀，但是，作為永磁鐵的形狀，并無(wú)特殊限定，例如也可以形成為板狀。在該情況下，只要使永磁鐵611在面方向磁化，并以面方向與X軸方向正交的方式固定于驅(qū)動(dòng)板41即可。由此，能夠縮短永磁鐵611的X軸方向長(zhǎng)度，因此能夠抑制伴隨著驅(qū)動(dòng)板41的轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的慣性矩。線圈612產(chǎn)生作用于永磁鐵611的磁場(chǎng)。這種線圈612在振動(dòng)系統(tǒng)8的外側(cè)附近以在X軸方向與永磁鐵611對(duì)置的方式配置。并且，線圈612以能夠產(chǎn)生X軸方向的磁場(chǎng)的方式設(shè)置，即以能夠產(chǎn)生線圈612的永磁鐵611側(cè)為N極且相反側(cè)為S極的狀態(tài)和線圈 612的永磁鐵611側(cè)為S極且相反側(cè)為N極的狀態(tài)的方式設(shè)置。本實(shí)施方式的光掃描儀1在振動(dòng)系統(tǒng)8的外側(cè)具有與基座9固定設(shè)置的線圈固定部64。線圈612卷繞于該線圈固定部64所具有的沿X軸方向延伸的突出部641。通過(guò)形成為這種結(jié)構(gòu)，能夠使線圈612相對(duì)于振動(dòng)系統(tǒng)8固定，并且，能夠簡(jiǎn)單地產(chǎn)生如前面所述的磁場(chǎng)。并且，通過(guò)利用鐵等軟磁體構(gòu)成突出部641，能夠?qū)⑼怀霾?41用作線圈612的磁芯，能夠更高效地產(chǎn)生如前面所述的磁場(chǎng)。
電源613與線圈612電連接。進(jìn)而，通過(guò)從電源613對(duì)線圈612施加期望的電壓， 能夠從線圈612產(chǎn)生如前面所述的磁場(chǎng)。在本實(shí)施方式中，電源613能夠選擇施加交變電壓和直流電壓。并且，當(dāng)施加交變電壓時(shí)，能夠變更交變電壓的強(qiáng)度、頻率，進(jìn)一步，能夠重疊偏置電壓(直流電壓)。2.光掃描儀1的動(dòng)作接著，對(duì)光掃描儀1的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。如前面所述，在光掃描儀1中，能夠選擇使可動(dòng)板2轉(zhuǎn)動(dòng)的圖案、使可動(dòng)板2振動(dòng)的圖案、以及使可動(dòng)板2在預(yù)定位置靜止的圖案。以下，依次對(duì)上述3個(gè)圖案進(jìn)行說(shuō)明。另外，以下，為了說(shuō)明的方便，以永磁鐵611、612都以N極位于上側(cè)的方式配置的結(jié)構(gòu)作為代表進(jìn)行說(shuō)明。2-1.轉(zhuǎn)動(dòng)首先，以第一狀態(tài)和第二狀態(tài)交替且周期性地轉(zhuǎn)換的方式從電源613、623對(duì)線圈 612、622施加交變電壓，在第一狀態(tài)下，線圈612的永磁鐵611側(cè)為N極、線圈622的永磁鐵 621側(cè)為S極，在第二狀態(tài)下，線圈612的永磁鐵611側(cè)為S極、線圈622的永磁鐵621側(cè)為 N極。優(yōu)選從電源613、623對(duì)線圈612、622施加的交變電壓相互為相同的波形(強(qiáng)度和頻率相同)。在圖7(a)所示的第一狀態(tài)下，永磁鐵611的S極被向線圈612吸引、同時(shí)N極遠(yuǎn)離線圈612，因此，一對(duì)第二軸部43扭轉(zhuǎn)變形，并且，驅(qū)動(dòng)板41以上表面朝向可動(dòng)板2側(cè)的方式繞轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J2傾斜。與此同時(shí)，永磁鐵621的N極被向線圈622吸引、同時(shí)S極遠(yuǎn)離線圈622，因此，一對(duì)第二軸部53扭轉(zhuǎn)變形，并且，驅(qū)動(dòng)板51以下表面朝向可動(dòng)板2側(cè)的方式繞轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J3傾斜。即、驅(qū)動(dòng)板41、51都朝圖7(a)中的順時(shí)針?lè)较騼A斜。在該驅(qū)動(dòng)板41、51傾斜的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423以位于可動(dòng)板2側(cè)的端部朝向下側(cè)的方式傾斜，驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部523以位于可動(dòng)板2側(cè)的端部朝向上側(cè)的方式傾斜。由此， 成為驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523的位于可動(dòng)板2側(cè)的端部彼此在Z軸方向偏移的狀態(tài)。進(jìn)而，通過(guò)驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523的位于可動(dòng)板2側(cè)的端部彼此在Z軸方向偏移， 一邊使扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212、5211、5212繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形并使各連接部4214、4215、 5214,5215彎曲變形，一邊使可動(dòng)板側(cè)軸部422、522以及可動(dòng)板2 —體地朝圖7(a)中的逆時(shí)針?lè)较騼A斜。這樣，在第一狀態(tài)下，連結(jié)部4的第一軸部42以位于其中途的節(jié)部421為中心朝下側(cè)彎折的方式(即、朝下側(cè)凸出的V字狀)變形，同時(shí)，連結(jié)部5的第一軸部52以位于其中途的節(jié)部521為中心朝上側(cè)彎折的方式(即、朝上側(cè)凸出的V字狀)變形，由此，可動(dòng)板 2以轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl為中心朝圖7(a)中的逆時(shí)針?lè)较騼A斜。另一方面，在圖7(b)所示的第二狀態(tài)下，會(huì)產(chǎn)生與前面所述的第一狀態(tài)相反的變形。即，在第二狀態(tài)下，連結(jié)部4的第一軸部42以節(jié)部421作為中心朝上側(cè)彎折變形，同時(shí)， 連結(jié)部5的第一軸部52以節(jié)部521作為中心朝下側(cè)彎折變形，由此，可動(dòng)板2以轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl為中心朝圖7(b)中的逆時(shí)針?lè)较騼A斜。通過(guò)交替地切換上述的第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，能夠使可動(dòng)板2繞轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，作為對(duì)線圈612、622施加的交變電壓的頻率，并無(wú)特殊限定，可以與由可動(dòng)板2和連結(jié)部4、5構(gòu)成的振動(dòng)系統(tǒng)的共振頻率相等，也可以是在該共振頻率以下，優(yōu)選在上述共振頻率以下。即，優(yōu)選以非共振方式驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)光掃描儀1的更穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)。此處，在本實(shí)施方式的光掃描儀1中，在連結(jié)部4中，驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423和可動(dòng)板側(cè)軸部422分別實(shí)質(zhì)上不變形，因此，能夠使第一軸部42在節(jié)部421簡(jiǎn)單地彎折。對(duì)于連結(jié)部5也同樣。因此，能夠進(jìn)行如上所述的穩(wěn)定的可動(dòng)板2的轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，在連結(jié)部4中，節(jié)部421具有非變形部4213，因此，能夠以該非變形部4213 為軸使第一軸部42局部地彎折。對(duì)于連結(jié)部5也同樣。因此，能夠簡(jiǎn)單且可靠地使第一軸部42、52彎折，能夠使可動(dòng)板2穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，在連結(jié)部4中，節(jié)部421具有與可動(dòng)板側(cè)軸部422連結(jié)的扭轉(zhuǎn)變形部4211 和與驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423連結(jié)的扭轉(zhuǎn)變形部4212，當(dāng)?shù)谝惠S部42彎折時(shí)，扭轉(zhuǎn)變形部4211、 4212扭轉(zhuǎn)變形，由此，能夠有效地緩和(消除)由彎折產(chǎn)生的應(yīng)力。對(duì)于連結(jié)部5也同樣。 因此，能夠以前面所述的方式使第一軸部42、52可靠地彎折，同時(shí)，能夠防止第一軸部42、 52的破壞。即，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。另外，可動(dòng)板2的轉(zhuǎn)動(dòng)能夠以下述方式進(jìn)行。即，可以對(duì)從電源613、623施加于線圈612、622的交變電壓重疊(+)或者(-)的偏置電壓(直流電壓)。換言之，可以使永磁鐵611、621的N極被向線圈612、622吸引的強(qiáng)度(以下僅稱(chēng)為“N極吸引強(qiáng)度”)和永磁鐵 611、621的S極被向線圈612、622吸引的強(qiáng)度(以下僅稱(chēng)為“S極吸引強(qiáng)度”)不同。以下進(jìn)行具體地說(shuō)明，將前面所述的N極吸引強(qiáng)度和S極吸引強(qiáng)度相等的狀態(tài)稱(chēng)為“通常狀態(tài)”。在線圈612、622的S極吸引強(qiáng)度比N極吸引強(qiáng)度大的情況下，與通常狀態(tài)相比較， 驅(qū)動(dòng)板41、51的轉(zhuǎn)動(dòng)的上死點(diǎn)和下死點(diǎn)(轉(zhuǎn)動(dòng)方向轉(zhuǎn)換的點(diǎn))分別朝上側(cè)移動(dòng)。結(jié)果，如圖8所示，可動(dòng)板2的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl比通常狀態(tài)朝上側(cè)移動(dòng)。相反，在線圈612、622的S 極吸引強(qiáng)度比N極吸引強(qiáng)度弱的情況下，與通常狀態(tài)相比較，驅(qū)動(dòng)板41、51的轉(zhuǎn)動(dòng)的上死點(diǎn)和下死點(diǎn)分別朝下側(cè)移動(dòng)。結(jié)果，可動(dòng)板2的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl比通常狀態(tài)朝下側(cè)移動(dòng)。這樣，通過(guò)對(duì)從電源613、623對(duì)線圈612、622施加的交變電壓重疊偏置電壓，能夠使可動(dòng)板2的轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl在Z軸方向偏移。由此，例如在將光掃描儀1組裝于投影儀等圖像形成裝置的情況下，即便在裝配圖像形成裝置之后也能夠調(diào)整從光源射出的光距離可動(dòng)板2的光路長(zhǎng)度。即，當(dāng)裝配圖像形成裝置時(shí)，雖然精密地進(jìn)行了光源與可動(dòng)板2的定位，但是，即便是在假設(shè)光源和可動(dòng)板的位置相對(duì)于設(shè)定值偏移的情況下，也能夠在裝配后對(duì)光源和可動(dòng)板2的位置進(jìn)行補(bǔ)正。2-2.振動(dòng)首先，以第一狀態(tài)和第二狀態(tài)交替且周期性地轉(zhuǎn)換的方式從電源613、623對(duì)線圈 612,622施加交變電壓，在第一狀態(tài)下，線圈612的永磁鐵611側(cè)和線圈622的永磁鐵621 側(cè)都是N極，在第二狀態(tài)下，線圈612的永磁鐵611側(cè)和線圈622的永磁鐵621側(cè)都是S極。 優(yōu)選從電源613、623對(duì)線圈612、622施加的交變電壓相互為相同的波形。在圖9(a)所示的第一狀態(tài)下，與前面所述的轉(zhuǎn)動(dòng)的情況同樣，驅(qū)動(dòng)板41、51都以上表面朝向可動(dòng)板2側(cè)的方式繞轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J2、J3傾斜。伴隨著驅(qū)動(dòng)板41、51的這種傾斜，驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523都以可動(dòng)板2側(cè)的端部位于比驅(qū)動(dòng)板41側(cè)的端部更靠下側(cè)的位置的方式傾斜。由此，驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523的可動(dòng)板2側(cè)的端部相對(duì)于自然狀態(tài)朝下側(cè)移動(dòng)相同的距離。這樣，通過(guò)驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523的可動(dòng)板2側(cè)的端部都朝下側(cè)移動(dòng)相同的距離， 節(jié)部421的扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212以及節(jié)部521的扭轉(zhuǎn)變形部5211、5212產(chǎn)生繞其中心軸的扭轉(zhuǎn)變形，可動(dòng)板側(cè)軸部422、522以及可動(dòng)板2 —體地、且在將可動(dòng)板2的姿態(tài)(即面方向)保持為一定的姿態(tài)的狀態(tài)下朝下側(cè)移動(dòng)。另一方面，在圖9(b)所示的第二狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)板41、51都以下表面朝向可動(dòng)板2 側(cè)的方式繞轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J2、J3傾斜。伴隨著驅(qū)動(dòng)板41、51的這種傾斜，驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、 523都以可動(dòng)板2側(cè)的端部位于比驅(qū)動(dòng)板41側(cè)的端部更靠上側(cè)的位置的方式傾斜。由此， 驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523的可動(dòng)板2側(cè)的端部相對(duì)于自然狀態(tài)朝上側(cè)移動(dòng)相同的距離。這樣，通過(guò)驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423、523的可動(dòng)板2側(cè)的端部都朝上側(cè)移動(dòng)相同的距離， 節(jié)部421的扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212以及節(jié)部521的扭轉(zhuǎn)變形部5211、5212產(chǎn)生繞其中心軸的扭轉(zhuǎn)變形，可動(dòng)板側(cè)軸部422、522以及可動(dòng)板2 —體地、且在將可動(dòng)板2的姿態(tài)保持為一定的姿態(tài)的狀態(tài)下朝上側(cè)移動(dòng)。通過(guò)交替地轉(zhuǎn)換這種第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，能夠使可動(dòng)板2在保持其姿態(tài)的同時(shí)、即保持光反射部22的表面(反射面)與X-Y平面平行的同時(shí)在Z軸方向振動(dòng)。另外，作為施加于線圈612、622的交變電壓的頻率并無(wú)特殊限定，可以與由可動(dòng)板2和連結(jié)部4、5構(gòu)成的振動(dòng)系統(tǒng)的共振頻率相等，也可以在該共振頻率以下，優(yōu)選與上述共振頻率相等。即，優(yōu)選以共振方式驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)光掃描儀1的更穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)。即便是這種振動(dòng)圖案，與前面所述的轉(zhuǎn)動(dòng)圖案同樣，也能夠通過(guò)對(duì)施加于線圈 612,622的交變電壓重疊偏置電壓而使其從自然狀態(tài)朝上側(cè)(與基座9相反側(cè))移位并使可動(dòng)板2振動(dòng)，或者使其從自然狀態(tài)朝下側(cè)(基座9側(cè))移位并使可動(dòng)板2振動(dòng)。2-3.靜止圖案例如，以形成線圈612的永磁鐵611側(cè)和線圈622的永磁鐵621側(cè)都是N極的狀態(tài)的方式從電源613、623對(duì)線圈612、622施加直流電壓。優(yōu)選從電源613、623對(duì)線圈612、 622施加的直流電壓相互為相同的強(qiáng)度。當(dāng)對(duì)線圈612、622施加這種電壓時(shí)，可動(dòng)板2在如圖9(a)所示的狀態(tài)下靜止。另一方面，當(dāng)以形成線圈612的永磁鐵611側(cè)和線圈622的永磁鐵621側(cè)都是S極的狀態(tài)的方式從電源613、623對(duì)線圈612、622施加直流電壓時(shí)，可動(dòng)板2在如圖9(b)所示的狀態(tài)靜止。即，可動(dòng)板2被維持在與自然狀態(tài)不同的位置。根據(jù)這種驅(qū)動(dòng)，例如能夠使由光反射部22反射的光的光路相對(duì)于自然狀態(tài)時(shí)偏移，因此例如當(dāng)將光掃描儀1作為光開(kāi)關(guān)利用時(shí)特別有效。并且，例如在光掃描儀1組裝于投影儀等圖像形成裝置的情況下，在由于從光源射出異常的激光等的原因而不得不停止朝裝置外部射出激光的情況下，通過(guò)使可動(dòng)板2退避至與自然狀態(tài)不同的位置(不與激光的光路交叉的位置)，能夠防止由光反射部22引起的激光的反射。由此，能夠防止朝裝置外部射出激光。并且，也可以通過(guò)使可動(dòng)板2變位來(lái)變更由光反射部22反射的激光的光路，由此來(lái)防止朝裝置外部射出激光。由此，可以不另外組裝用于解決這種問(wèn)題的安全機(jī)構(gòu)，圖像形成裝置的制造工序簡(jiǎn)單化，并且能夠削減制造成本。
通過(guò)應(yīng)用這種可動(dòng)板2的靜止驅(qū)動(dòng)，并使對(duì)線圈612、622施加的直流電壓的強(qiáng)度相互不同，能夠以相對(duì)于自然狀態(tài)傾斜的狀態(tài)維持可動(dòng)板2。并且，通過(guò)使對(duì)線圈612、622 施加的直流電壓的強(qiáng)度隨時(shí)間推移而變化，能夠使可動(dòng)板2連續(xù)地或者階段性地不規(guī)則地變位。以上對(duì)光掃描儀1的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明。此處，返回對(duì)光掃描儀1的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明，如圖1所示，當(dāng)將轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸Jl與非變形部4213的中心軸J4之間的間隔距離設(shè)為L(zhǎng)i、將非變形部4213的中心軸J4與轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸 J2之間的間隔距離設(shè)為L(zhǎng)2時(shí)，Ll與L2的大小關(guān)系并無(wú)特殊限定，可以是Ll > L2，也可以是Ll =L2，也可以是Ll <L2(對(duì)于連結(jié)部5也同樣)。在Ll = L2的情況下，當(dāng)使可動(dòng)板2轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)(第一軸部42彎折時(shí))的可動(dòng)板側(cè)軸部422和驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423相對(duì)于X軸的傾斜相互相等。因此，在該情況下，在扭轉(zhuǎn)變形部 4211,4212施加有大致相等的扭矩，結(jié)果，能夠更高效地使第一軸部42彎折。在Ll > L2的情況下，與Ll = L2的情況相比較能夠縮小可動(dòng)板2的轉(zhuǎn)動(dòng)角，相反地，在Ll < L2的情況下，與Ll = L2的情況相比較能夠增大可動(dòng)板2的轉(zhuǎn)動(dòng)角。這樣，L1、L2的關(guān)系可以根據(jù)光掃描儀1的使用用途而適當(dāng)設(shè)定。并且，如前面所述，在Ll = L2的情況下，在扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212施加有大致相等的扭矩，因此，優(yōu)選構(gòu)成為扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212相互顯示相同的形狀(物理特性扭轉(zhuǎn)變形的容易度)。由此，能夠防止在扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212中的某一方產(chǎn)生過(guò)度的扭轉(zhuǎn)、或者與此相反某一方的扭轉(zhuǎn)不足，能夠使第一軸部42順暢地彎折。并且，在Ll > L2的情況下，由于第一軸部42彎曲時(shí)驅(qū)動(dòng)板側(cè)軸部423相對(duì)于X 軸的傾斜比可動(dòng)板側(cè)軸部422相對(duì)于X軸的傾斜大，因此施加于扭轉(zhuǎn)變形部4212的扭矩比施加于扭轉(zhuǎn)變形部4211的扭矩大。因此，在該情況下，優(yōu)選構(gòu)成為扭轉(zhuǎn)變形部4212比扭轉(zhuǎn)變形部4211容易扭轉(zhuǎn)變形。具體地說(shuō)，例如優(yōu)選使扭轉(zhuǎn)變形部4212的寬度比扭轉(zhuǎn)變形部 4211的寬度細(xì)。這是因?yàn)?，如前面所述，由于連結(jié)板4通過(guò)在厚度方向?qū)OI基板100進(jìn)行蝕刻而形成，因此能夠簡(jiǎn)單地且無(wú)需增加工序就能夠進(jìn)行與SOI基板100的面方向一致的寬度的控制。并且，在Ll < L2的情況下，與Ll > L2的情況相反，優(yōu)選構(gòu)成為扭轉(zhuǎn)變形部4211 比扭轉(zhuǎn)變形部4212容易扭轉(zhuǎn)變形。〈第二實(shí)施方式〉其次，對(duì)本發(fā)明的光掃描儀的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖10是示出本發(fā)明的光掃描儀的第二實(shí)施方式的俯視圖。以下，以與前面所述的實(shí)施方式的光掃描儀之間的不同點(diǎn)為中心對(duì)第二實(shí)施方式的光掃描儀進(jìn)行說(shuō)明，省略對(duì)同樣的事項(xiàng)的說(shuō)明。第二實(shí)施方式的光掃描儀除了線圈固定部的結(jié)構(gòu)不同以外都與第一實(shí)施方式的光掃描儀大致同樣。另外，對(duì)于前面所述的第一實(shí)施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予相同的標(biāo)號(hào)。在本實(shí)施方式的光掃描儀1中，線圈固定部64A具有以包圍線圈612和永磁鐵611 的方式(使與第一軸部42相應(yīng)的部分缺損)形成的主體部642A。這種主體部642A使從線圈612產(chǎn)生的磁力作用于永磁鐵611，并且防止或者抑制從線圈612產(chǎn)生的磁力漏出至線圈固定部64A的外側(cè)。即，主體部642A具有防磁性。由此，例如能夠防止從線圈612產(chǎn)生的磁場(chǎng)作用于相反側(cè)的永磁鐵621，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)光掃描儀1。主體部642A的結(jié)構(gòu)只要能夠發(fā)揮前面所述的效果即可，并無(wú)特殊限定，例如可以由用作鐵芯材料的軟磁性體構(gòu)成，也可以在表面涂敷防磁性的涂料。另外，固定線圈622的未圖示的線圈固定部也形成為與線圈固定部64A同樣的結(jié)構(gòu)。根據(jù)這種第二實(shí)施方式，能夠發(fā)揮與第一實(shí)施方式同樣的效果?！吹谌龑?shí)施方式〉其次，對(duì)本發(fā)明的光掃描儀的第三實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖11是示出本發(fā)明的光掃描儀的第三實(shí)施方式的俯視圖。以下，以與前面所述的實(shí)施方式的光掃描儀的不同點(diǎn)為中心對(duì)第三實(shí)施方式的光掃描儀進(jìn)行說(shuō)明，省略對(duì)同樣的事項(xiàng)的說(shuō)明。第三實(shí)施方式的光掃描儀除了變位構(gòu)件的結(jié)構(gòu)以外都與前面所述的光掃描儀大致同樣。另外，在本實(shí)施方式中，由于變位構(gòu)件所具有的第一變位構(gòu)件和第二變位構(gòu)件的結(jié)構(gòu)相互為同樣的結(jié)構(gòu)，因此以第一變位構(gòu)件為代表進(jìn)行說(shuō)明，省略對(duì)第二變位構(gòu)件的說(shuō)明。 并且，對(duì)與前面所述的第一實(shí)施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號(hào)。如圖11所示，第一變位構(gòu)件6IB具有永磁鐵61IB、線圈612B、以及電源61 ;3B。永磁鐵611B形成為平板狀，且固定于驅(qū)動(dòng)板41的下表面(基座9側(cè)的面)。并且，永磁鐵611B 在固定于驅(qū)動(dòng)板41的狀態(tài)下以S極和N極相對(duì)于轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J2對(duì)置的方式設(shè)置。線圈612B設(shè)置在永磁鐵611的下側(cè)。該線圈612B能夠通過(guò)從電源61 施加電壓而產(chǎn)生X軸方向的磁場(chǎng)。進(jìn)而，借助從線圈612B產(chǎn)生的磁場(chǎng)的作用，永磁鐵611B的S極和N極中的一方被向線圈612B吸引，且另一方從線圈612B遠(yuǎn)離，由此，能夠使驅(qū)動(dòng)板41繞轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸J2傾斜。根據(jù)這種第三實(shí)施方式，能夠發(fā)揮與第一實(shí)施方式同樣的效果?！吹谒膶?shí)施方式〉其次，對(duì)本發(fā)明的光掃描儀的第四實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖12是示出本發(fā)明的光掃描儀的第四實(shí)施方式的立體圖。以下，以與前面所述的實(shí)施方式的光掃描儀的不同點(diǎn)為中心對(duì)第四實(shí)施方式的光掃描儀進(jìn)行說(shuō)明，省略對(duì)同樣的事項(xiàng)的說(shuō)明。第四實(shí)施方式的光掃描儀除了各連結(jié)部的節(jié)部所具有的非變形部的結(jié)構(gòu)以外都與前面所述的光掃描儀大致同樣。另外，在本實(shí)施方式中，由于各連結(jié)部4、5中的非變形部的結(jié)構(gòu)相互為同樣的結(jié)構(gòu)，因此以連結(jié)部4作為代表進(jìn)行說(shuō)明，省略對(duì)連結(jié)部5的說(shuō)明。并且，對(duì)與前面所述的第一實(shí)施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號(hào)。如圖12所示，在連結(jié)部4C的節(jié)部421C處設(shè)置有一對(duì)非變形部4213C。一對(duì)非變形部4213C相互沿Y軸方向離開(kāi)，且位于與Y軸平行的1條軸線上。在這種結(jié)構(gòu)的連結(jié)部 4C中也能夠以連結(jié)一對(duì)非變形部4213C的線段為軸使第一軸部42C局部地彎折。根據(jù)這種第四實(shí)施方式，能夠發(fā)揮與第一實(shí)施方式同樣的效果。以上所說(shuō)明的光掃描儀例如能夠適當(dāng)?shù)貞?yīng)用于投影儀、激光打印機(jī)、成像用顯示器、條形碼閱讀器、掃描型共聚焦顯微鏡等圖像形成裝置。結(jié)果，能夠提供具有優(yōu)異的描繪特性的圖像形成裝置。
具體地說(shuō)，對(duì)如圖13所示的投影儀200進(jìn)行說(shuō)明。另外，為了說(shuō)明的方便，將投影屏SC的長(zhǎng)度方向稱(chēng)為“橫方向”，將與長(zhǎng)度方向成直角的方向稱(chēng)為“縱方向”。投影儀200具有光源裝置210，該光源裝置210射出激光等光；正交二向色棱鏡 220 ；—對(duì)本發(fā)明的光掃描儀230J40 (例如與光掃描儀1同樣結(jié)構(gòu)的光掃描儀)；以及固定反射鏡250。光源裝置210具備紅色光源裝置211，該紅色光源裝置211射出紅色光；藍(lán)色光源裝置212，該藍(lán)色光源裝置212射出藍(lán)色光；以及綠色光源裝置213，該綠色光源裝置213 射出綠色光。正交二向色棱鏡220通過(guò)粘接4個(gè)直角棱鏡構(gòu)成，是用于對(duì)分別從紅色光源裝置 211、藍(lán)色光源裝置212、以及綠色光源裝置213照出的光進(jìn)行合成的光學(xué)元件。這種投影儀200利用正交二向色棱鏡220對(duì)分別從紅色光源裝置211、藍(lán)色光源裝置212、綠色光源裝置213根據(jù)來(lái)自為圖示的主機(jī)的圖像信息照出的光進(jìn)行合成，該合成后的光由光掃描儀230、240掃描，進(jìn)一步由固定反射鏡250反射而在投影屏SC上形成彩色圖像。此處，對(duì)光掃描儀230J40的光掃描進(jìn)行具體說(shuō)明。首先，利用正交二向色棱鏡220合成的光借助光掃描儀230在橫方向進(jìn)行掃描 (主掃描)。進(jìn)而，該在橫方向進(jìn)行掃描的光借助光掃描儀240進(jìn)一步在縱方向進(jìn)行掃描 (副掃描)。由此，能夠在投影屏SC上形成二維彩色圖像。這種掃描方法是被稱(chēng)為所謂的光柵掃描的方法，此外，也可以使用所謂的矢量掃描在投影屏SC上對(duì)光進(jìn)行掃描。所謂矢量掃描是指以下述方式進(jìn)行掃描的技術(shù)使從光源裝置210射出的光相對(duì)于投影屏SC以依次形成連結(jié)該投影屏SC上的不同的2點(diǎn)的線段的方式進(jìn)行掃描。即，是通過(guò)使微少的直線集合而在投影屏SC形成期望的圖像的技術(shù)。此處， 在本發(fā)明的光掃描儀中，如前面所述，能夠使可動(dòng)板2不規(guī)則地連續(xù)地變位，因此能夠應(yīng)用這種矢量掃描。通過(guò)作為這種光掃描儀230、240使用本發(fā)明的光掃描儀，能夠發(fā)揮極其優(yōu)異的描繪特性。但是，作為掃描儀200，只要能夠利用光掃描儀對(duì)光進(jìn)行掃描、并在對(duì)象物形成圖像即可，并不限定于此，例如也可以省略固定反射鏡250。以上根據(jù)圖示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的光掃描儀和圖像形成裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明并不限定于此。例如，在本發(fā)明的光掃描儀和圖像形成裝置中，各部分的結(jié)構(gòu)能夠替換成發(fā)揮同樣的功能的任意的結(jié)構(gòu)，并且能夠附加任意的結(jié)構(gòu)。并且，例如在本發(fā)明的光掃描儀中也可以適當(dāng)組合前面所述的實(shí)施方式。
權(quán)利要求
1.一種光掃描儀，其特征在于， 所述光掃描儀具有光反射部，該光反射部具有光反射性；可動(dòng)板，該可動(dòng)板具備所述光反射部，且能夠變位；一對(duì)連結(jié)部，該一對(duì)連結(jié)部連接于所述可動(dòng)板的端部的對(duì)置的位置；支承部，該支承部用于支承所述連結(jié)部；以及變位賦予部，該變位賦予部用于使所述一對(duì)連結(jié)部轉(zhuǎn)動(dòng)，各所述連結(jié)部具有驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)；以及軸部，該軸部連接所述可動(dòng)板和所述驅(qū)動(dòng)部，且通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)部的轉(zhuǎn)動(dòng)朝所述可動(dòng)板的厚度方向彎折。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掃描儀，其特征在于， 所述光掃描儀構(gòu)成為當(dāng)將在所述可動(dòng)板的俯視圖中正交的2軸設(shè)為X軸和Y軸時(shí)， 所述一對(duì)連結(jié)部分別具有所述驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部與所述可動(dòng)板在X軸方向離開(kāi)配置； 作為所述軸部的第一軸部，該第一軸部連結(jié)所述可動(dòng)板和所述驅(qū)動(dòng)部，且沿X軸方向延伸； 以及第二軸部，該第二軸部連結(jié)所述驅(qū)動(dòng)部和所述支承部，且沿Y軸方向延伸，利用所述變位賦予部使所述第二軸部扭轉(zhuǎn)變形并使所述驅(qū)動(dòng)部繞Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)，由此使所述第一軸部彎折。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光掃描儀，其特征在于，各所述連結(jié)部所具有的所述第一軸部具有節(jié)部，該節(jié)部設(shè)置在延伸方向的中途；可動(dòng)板側(cè)軸部，該可動(dòng)板側(cè)軸部連結(jié)所述節(jié)部和所述可動(dòng)板；以及驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部，該驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部連結(jié)所述節(jié)部和所述驅(qū)動(dòng)部，并且，所述第一軸部在所述節(jié)部彎折。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光掃描儀，其特征在于，各所述連結(jié)部所具有的所述第一軸部能夠形成為以下兩種變形 以形成朝所述可動(dòng)板的厚度方向的一方側(cè)凸出的V字狀的方式在所述節(jié)部彎折的第一變形；以及以形成朝所述可動(dòng)板的厚度方向的另一方側(cè)凸出的V字狀的方式在所述節(jié)部彎折的第二變形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光掃描儀，其特征在于，利用所述變位賦予部交替地反復(fù)形成以下兩種狀態(tài)，由此使所述可動(dòng)板繞所述Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述兩種狀態(tài)為使各所述連結(jié)部所具有的所述第一軸部中的一方的所述第一軸部進(jìn)行所述第一變形， 同時(shí)使另一方的所述第一軸部進(jìn)行所述第二變形的狀態(tài)；以及使所述一方的第一軸部進(jìn)行所述第二變形，同時(shí)使所述另一方的第一軸部進(jìn)行所述第一變形的狀態(tài)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光掃描儀，其特征在于，利用所述變位賦予部交替地反復(fù)形成以下兩種狀態(tài)，由此使所述可動(dòng)板朝該可動(dòng)板的厚度方向振動(dòng)，所述兩種狀態(tài)為使各所述連結(jié)部所具有的所述第一軸部進(jìn)行所述第一變形的狀態(tài)；以及使各所述連結(jié)部所具有的所述第一軸部進(jìn)行所述第二變形的狀態(tài)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光掃描儀，其特征在于，各所述連結(jié)部的所述節(jié)部具有繞Y軸扭轉(zhuǎn)變形的扭轉(zhuǎn)變形部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光掃描儀，其特征在于，各所述連結(jié)部的所述節(jié)部具有一對(duì)所述扭轉(zhuǎn)變形部，所述一對(duì)扭轉(zhuǎn)變形部中的一方的所述扭轉(zhuǎn)變形部連結(jié)于所述可動(dòng)板側(cè)軸部，另一方的所述扭轉(zhuǎn)變形部連結(jié)于所述驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光掃描儀，其特征在于，各所述連結(jié)部的所述節(jié)部具有非變形部，該非變形部設(shè)置在所述一對(duì)扭轉(zhuǎn)變形部之間，沿Y軸方向延伸且并不繞Y軸扭轉(zhuǎn)變形。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光掃描儀，其特征在于，各所述連結(jié)部的所述可動(dòng)板側(cè)軸部和所述驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部分別并不實(shí)質(zhì)性地變形。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光掃描儀，其特征在于，各所述連結(jié)部由SOI基板形成，所述SOI基板通過(guò)按照順序?qū)盈B第一 Si層、SiO2層、以及第二 Si層而形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光掃描儀，其特征在于，各所述連結(jié)部的所述可動(dòng)板側(cè)軸部、所述非變形部、所述驅(qū)動(dòng)部側(cè)軸部、以及所述驅(qū)動(dòng)部分別由所述第一 Si層、所述SW2層、以及所述第二 Si層構(gòu)成，所述扭轉(zhuǎn)變形部和所述第二軸部分別由所述第二 Si層構(gòu)成。
13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光掃描儀，其特征在于，所述變位賦予部與所述一對(duì)連結(jié)部對(duì)應(yīng)地設(shè)置有一對(duì)，各所述變位賦予部具有永磁鐵，該永磁鐵設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)部；以及線圈，該線圈產(chǎn)生作用于所述永磁鐵的磁場(chǎng)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光掃描儀，其特征在于，在各所述變位賦予部中，所述永磁鐵以?xún)蓸O在所述可動(dòng)板的厚度方向?qū)χ玫姆绞皆O(shè)置，所述線圈以產(chǎn)生X軸方向的磁場(chǎng)的方式設(shè)置。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光掃描儀，其特征在于，在各所述變位賦予部中，所述永磁鐵貫通所述驅(qū)動(dòng)部而設(shè)置。
16.一種光掃描儀，其特征在于，所述光掃描儀具有可動(dòng)板，該可動(dòng)板具有光反射部，該光反射部具有光反射性；支承部，該支承部用于支承所述可動(dòng)板；一對(duì)連結(jié)部，該一對(duì)連結(jié)部設(shè)置在所述可動(dòng)板的兩側(cè)，并連結(jié)所述可動(dòng)板和所述支承部；以及變位構(gòu)件，該變位構(gòu)件用于使所述可動(dòng)板變位，各所述連結(jié)部具有驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部能夠相對(duì)于所述支承部轉(zhuǎn)動(dòng)；以及軸部，該軸部連結(jié)所述驅(qū)動(dòng)部和所述可動(dòng)板，各所述連結(jié)部的所述軸部能夠在該軸部的長(zhǎng)度方向的中途朝所述可動(dòng)板的厚度方向彎折，所述光掃描儀構(gòu)成為利用所述變位構(gòu)件使各所述連結(jié)部的所述驅(qū)動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過(guò)該轉(zhuǎn)動(dòng)使所述軸部彎折，由此使所述可動(dòng)板變位。
17. 一種圖像形成裝置，其特征在于， 所述圖像形成裝置具備 光源；以及光掃描儀，該光掃描儀用于掃描來(lái)自所述光源的光，所述光掃描儀具有光反射部，該光反射部具有光反射性；可動(dòng)板，該可動(dòng)板具備所述光反射部，且能夠變位；一對(duì)連結(jié)部，該一對(duì)連結(jié)部連接于所述可動(dòng)板的端部的對(duì)置的位置；支承部，該支承部用于支承所述連結(jié)部；以及變位賦予部，該變位賦予部用于使所述一對(duì)連結(jié)部轉(zhuǎn)動(dòng)，各所述連結(jié)部具有驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)；以及軸部，該軸部連接所述可動(dòng)板和所述驅(qū)動(dòng)部，且通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)部的轉(zhuǎn)動(dòng)朝所述可動(dòng)板的厚度方向彎折。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光掃描儀，其特征在于，上述光掃描儀具有光反射部，該光反射部具有光反射性；可動(dòng)板，該可動(dòng)板具備上述光反射部，且能夠變位；一對(duì)連結(jié)部，該一對(duì)連結(jié)部連接于上述可動(dòng)板的端部的對(duì)置的位置；支承部，該支承部用于支承上述連結(jié)部；以及變位賦予部，該變位賦予部用于使上述一對(duì)連結(jié)部轉(zhuǎn)動(dòng)，各上述連結(jié)部具有驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)；以及軸部，該軸部連接上述可動(dòng)板和上述驅(qū)動(dòng)部，且通過(guò)上述驅(qū)動(dòng)部的轉(zhuǎn)動(dòng)朝上述可動(dòng)板的厚度方向彎折。
文檔編號(hào)G02B26/10GK102162917SQ20111004285
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2011年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月23日
發(fā)明者溝口安志 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社