專利名稱：具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種汞燈燈室，且特別涉及一種具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造技術(shù)中，常常需要使用達(dá)上千瓦或更高功率的汞燈光源，更高功率的光源意味著更大的曝光廣率，有利于提聞半導(dǎo)體器件的制造效率。例如集成電路，液晶顯示器件等。為了保證光源的正常工作溫度，需要對(duì)燈室進(jìn)行冷卻，同時(shí)保證燈室運(yùn)行穩(wěn)定。目前，業(yè)界應(yīng)用在光刻機(jī)等光學(xué)設(shè)備上的高功率汞燈燈室裝置冷卻系統(tǒng)主要是采用風(fēng)冷或風(fēng)冷加水冷的方式。目前汞燈燈室裝置中冷卻系統(tǒng)中，冷卻風(fēng)從燈室底部通過倒流罩對(duì)燈室及汞燈電極進(jìn)行冷卻。這種汞燈燈室裝置僅采用風(fēng)冷，冷卻效果有限，而且有大量冷卻風(fēng)吹到汞燈燈 泡表面，使汞燈運(yùn)行不穩(wěn)定。另一種汞燈燈室裝置中冷卻系統(tǒng)采用水冷加風(fēng)冷的形式,但是冷卻風(fēng)流通不暢；大量冷卻風(fēng)直接吹到汞燈燈泡表面，使汞燈運(yùn)行不穩(wěn)定；橢球反射鏡冷卻水套加工困難，而且橢球反射鏡更換困難。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出一種汞燈冷卻系統(tǒng)，能夠解決上述問題。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出一種具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室，包括汞燈；橢球反射鏡，位于汞燈周圍；平面反射鏡，懸置在橢球反射鏡和汞燈的上方，用以反射橢球反射鏡和汞燈發(fā)出的光線；風(fēng)冷系統(tǒng)，包括進(jìn)風(fēng)風(fēng)機(jī)，產(chǎn)生冷卻風(fēng)；冷卻風(fēng)分流裝置，用于將冷卻風(fēng)分流；第一風(fēng)嘴，對(duì)應(yīng)汞燈設(shè)置；第二風(fēng)嘴，對(duì)應(yīng)橢球反射鏡設(shè)置，其中第一風(fēng)嘴、第二風(fēng)嘴分別與冷卻風(fēng)分流裝置連通；水冷系統(tǒng)，包括平面反射鏡冷卻水套，貼附在平面反射鏡后；以及冷卻水管，與平面反射鏡冷卻水套連通。進(jìn)一步說，風(fēng)冷系統(tǒng)還包括回風(fēng)風(fēng)機(jī)，用以將吹過汞燈和橢球反射鏡之后的冷卻風(fēng)吸出。進(jìn)一步說，具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室還包括支撐框架，橢球反射鏡和平面反射鏡固定在支撐框架上。
進(jìn)一步說，具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室還包括平面反射鏡支架和橢球反射鏡支架，橢球反射鏡和平面反射鏡分別通過平面反射鏡支架和橢球反射鏡支架固定在支撐框架上。進(jìn)一步說，具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室防護(hù)罩，橢球反射鏡和平面反射鏡固定在防護(hù)罩中；以及旋轉(zhuǎn)防護(hù)罩，旋轉(zhuǎn)防護(hù)罩可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于防護(hù)罩。本發(fā)明提供的高功率汞燈燈室裝置，具有冷卻系統(tǒng)，能夠解決現(xiàn)有汞燈燈室冷卻效果不足、汞燈運(yùn)行不穩(wěn)定、日常維護(hù)和維修不方便等問題。


圖I所示為汞燈燈室冷卻系統(tǒng)的側(cè)面剖視圖和冷卻風(fēng)流動(dòng)方向示意圖。圖2所示為汞燈燈室冷卻系統(tǒng)的立體示意圖。 圖3所示為汞燈燈室冷卻系統(tǒng)的內(nèi)部立體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為了更了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實(shí)施例并配合所附圖式說明如下。請(qǐng)結(jié)合參看圖I 圖3，圖I所示為汞燈燈室冷卻系統(tǒng)的側(cè)面剖視圖和冷卻風(fēng)流動(dòng)方向示意圖；圖2所示為汞燈燈室冷卻系統(tǒng)的立體示意圖；圖3所示為汞燈燈室冷卻系統(tǒng)的內(nèi)部立體結(jié)構(gòu)示意圖。汞燈燈室包括汞燈8、橢球反射鏡7和平面反射鏡4。橢球反射鏡7位于汞燈8周圍，用以反射汞燈8發(fā)出的光線。平面反射鏡4懸置在橢球反射鏡7和汞燈8上方，用以沿射出路徑I反射汞燈8和橢球反射鏡7發(fā)出的光線。在一實(shí)施例中，汞燈燈室還包括防護(hù)罩15和旋轉(zhuǎn)防護(hù)罩17。汞燈8、橢球反射鏡7和平面反射鏡4固定在防護(hù)罩15中。旋轉(zhuǎn)防護(hù)罩17可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于防護(hù)罩15。防護(hù)罩15和旋轉(zhuǎn)防護(hù)罩17合攏時(shí)，將汞燈8、橢球反射鏡7和平面反射鏡4容置在其中。在一實(shí)施例中，汞燈燈室還包括支撐框架5、平面反射鏡支架3、橢球反射鏡支架6、平面反射鏡支架定位銷10、橢球反射鏡支架定位銷11。支撐框架5固定在防護(hù)罩15中。平面反射鏡支架3通過平面反射鏡支架定位銷10固定在支撐框架5上，平面反射鏡4固定在平面反射鏡支架3上。橢球反射鏡支架6通過橢球反射鏡支架定位銷11固定在支撐框架5上，橢球反射鏡7固定在橢球反射鏡支架6上。汞燈燈室中的冷卻系統(tǒng)包括風(fēng)冷系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)。風(fēng)冷系統(tǒng)包括進(jìn)風(fēng)風(fēng)機(jī)13、冷卻風(fēng)分流裝置12、導(dǎo)風(fēng)管14、第一風(fēng)嘴9a、第二風(fēng)嘴％、回風(fēng)風(fēng)機(jī)I。進(jìn)風(fēng)風(fēng)機(jī)13產(chǎn)生冷卻風(fēng)，進(jìn)入冷卻風(fēng)分流裝置12。冷卻風(fēng)分流裝置12將冷卻風(fēng)分流。第一風(fēng)嘴9a通過導(dǎo)風(fēng)管14與冷卻風(fēng)分流裝置12連通。第二風(fēng)嘴9b與冷卻風(fēng)分流裝置12連通。第一風(fēng)嘴9a對(duì)應(yīng)于汞燈4，第二風(fēng)嘴9b對(duì)應(yīng)于橢球反射鏡7。一部分冷卻風(fēng)通過冷卻風(fēng)分流裝置12、導(dǎo)風(fēng)管14、第一風(fēng)嘴9a吹到汞燈4 ;另一部分冷卻風(fēng)通過冷卻風(fēng)分流裝置12、第二風(fēng)嘴9b吹到橢球反射鏡7?；仫L(fēng)風(fēng)機(jī)I將吹過汞燈4和橢球反射鏡7之后的冷卻風(fēng)吸出。
橢球反射鏡7、汞燈4為燈室中發(fā)熱較高零部件，風(fēng)冷系統(tǒng)能夠?qū)@些零件進(jìn)行冷卻。風(fēng)冷系統(tǒng)帶走汞燈燈室內(nèi)部熱量，同時(shí)減小了汞燈4燈泡表面風(fēng)量，保證汞燈4在正常工作溫度下穩(wěn)定運(yùn)行。水冷系統(tǒng)包括平面反射鏡冷卻水套2和冷卻水管16。平面反射鏡冷卻水套2貼附在平面反射鏡4后，與冷卻水管16連通。冷卻水從冷卻水管16流經(jīng)平面反射鏡冷卻水套2并帶走透過平面反射鏡4的光在平面反射鏡冷卻水套產(chǎn)生的熱量，進(jìn)一步降低燈室溫度。本發(fā)明提供一種高功率汞燈燈室裝置，具有冷卻系統(tǒng)，能夠解決現(xiàn)有汞燈燈室冷卻效果不足、汞燈運(yùn)行不穩(wěn)定、日常維護(hù)和維修不方便等問題。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤飾。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室，其特征是，包括 汞燈； 橢球反射鏡，位于所述汞燈周圍； 平面反射鏡，懸置在所述橢球反射鏡和所述汞燈的上方，用以反射所述橢球反射鏡和所述汞燈發(fā)出的光線； 風(fēng)冷系統(tǒng)，包括 進(jìn)風(fēng)風(fēng)機(jī)，產(chǎn)生冷卻風(fēng)； 冷卻風(fēng)分流裝置，用于將所述冷卻風(fēng)分流； 第一風(fēng)嘴，對(duì)應(yīng)所述汞燈設(shè)置； 第二風(fēng)嘴，對(duì)應(yīng)所述橢球反射鏡設(shè)置，其中所述第一風(fēng)嘴、所述第二風(fēng)嘴分別與冷卻風(fēng)分流裝置連通； 水冷系統(tǒng)，包括 平面反射鏡冷卻水套，貼附在所述平面反射鏡后；以及 冷卻水管，與所述平面反射鏡冷卻水套連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室，其特征是，所述風(fēng)冷系統(tǒng)還包括回風(fēng)風(fēng)機(jī)，用以將吹過所述汞燈和所述橢球反射鏡之后的冷卻風(fēng)吸出。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室，其特征是，還包括支撐框架，所述橢球反射鏡和所述平面反射鏡固定在所述支撐框架上。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室，其特征是，還包括平面反射鏡支架和橢球反射鏡支架，所述橢球反射鏡和所述平面反射鏡分別通過所述平面反射鏡支架和所述橢球反射鏡支架固定在所述支撐框架上。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室，其特征是，還包括 防護(hù)罩，所述橢球反射鏡和所述平面反射鏡固定在所述防護(hù)罩中；以及 旋轉(zhuǎn)防護(hù)罩，所述旋轉(zhuǎn)防護(hù)罩可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述防護(hù)罩。
全文摘要
本發(fā)明提出一種具有冷卻系統(tǒng)的汞燈燈室，包括汞燈、橢球反射鏡、平面反射鏡、風(fēng)冷系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)。橢球反射鏡位于汞燈周圍。平面反射鏡懸置在橢球反射鏡和汞燈的上方，用以反射橢球反射鏡和汞燈發(fā)出的光線。風(fēng)冷系統(tǒng)包括進(jìn)風(fēng)風(fēng)機(jī)、冷卻風(fēng)分流裝置、第一風(fēng)嘴和第二風(fēng)嘴。第一風(fēng)嘴對(duì)應(yīng)汞燈設(shè)置；第二風(fēng)嘴對(duì)應(yīng)橢球反射鏡設(shè)置，第一風(fēng)嘴、第二風(fēng)嘴分別與冷卻風(fēng)分流裝置連通。水冷系統(tǒng)包括冷卻水管和平面反射鏡冷卻水套。平面反射鏡冷卻水套貼附在平面反射鏡后。與冷卻水管連通。本發(fā)明提供的汞燈燈室，具有冷卻系統(tǒng)，能夠解決現(xiàn)有汞燈燈室冷卻效果不足、汞燈運(yùn)行不穩(wěn)定、日常維護(hù)和維修不方便等問題。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102809139SQ20111014539
公開日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2011年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月31日
發(fā)明者夏洪發(fā), 李仲禹, 張祥翔 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司