專利名稱：光波導(dǎo)路的制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及廣泛應(yīng)用于光通信、光信息處理、位置傳感器及其他的普通光學(xué)的光波導(dǎo)路的制法。
背景技術(shù)：
通常，光波導(dǎo)路通過在下包層的表面以規(guī)定的圖案形成作為光的通路的芯部、并且以覆蓋該芯部的狀態(tài)形成上包層而構(gòu)成。為了實現(xiàn)提高這樣的光波導(dǎo)路的量產(chǎn)性，利用輥對輥工序?qū)嵤┲圃?，作為形成材料的各種樹脂隨著固化會產(chǎn)生應(yīng)力(固化收縮)，作為能夠承受該應(yīng)力的基材，傾向于使用不銹鋼(SUQ等那樣的金屬制基材。上述SUS是能夠抑制由涂膜的收縮應(yīng)力引起的翹曲的低價的材料，但是SUS是金屬，其表面是微細(xì)的粗糙面，因此，有時在形成芯部的曝光工藝中發(fā)生光的漫反射，芯部的壁面產(chǎn)生粗糙。因此，例如，提出有通過將紫外線吸收劑導(dǎo)入到下包層形成材料中來抑制上述SUS等金屬制基板的漫反射的方法(參照專利文獻(xiàn)1)。在使用這種光波導(dǎo)路的光學(xué)式觸摸面板中，由于在上包層中將光的出射部以及入射部形成為透鏡形狀，因此，需要利用壓印工藝制法制作。此時，為了提高用于出射光的芯部端部與上包層(透鏡)之間的位置精度，必須進(jìn)行下述工序預(yù)先在芯部上制作對準(zhǔn)標(biāo)記，一邊使用對準(zhǔn)攝像頭(通過鏡頭觀看物體的裝置)識別上述對準(zhǔn)標(biāo)記一邊進(jìn)行芯部與上包層的對位，將兩者粘合(參照專利文獻(xiàn)2)。專利文獻(xiàn)1 日本特開2009-276724號公報專利文獻(xiàn)2 日本特開2008-203431號公報在以往的光波導(dǎo)路的制造工序中，用于上述對準(zhǔn)攝像頭的光源使用照射可見光區(qū)域(波長400nm 700nm左右)的光的光源，并且作為金屬制基材通常使用SUS，因此，SUS 的表面粗糙會映入到對準(zhǔn)攝像頭中。因此，例如會發(fā)生這種問題設(shè)于芯部的對準(zhǔn)標(biāo)記的邊緣部的對比度下降，結(jié)果，利用對準(zhǔn)攝像頭檢測對準(zhǔn)標(biāo)記的檢測精度變差。針對該問題，例如提出有如下的改善方案在形成對準(zhǔn)標(biāo)記時，使用半色調(diào)掩模進(jìn)行曝光而使形成的對準(zhǔn)標(biāo)記的邊緣圓形化，使對準(zhǔn)標(biāo)記的對比度明顯而提高識別度。然而，在利用上述使用半色調(diào)掩模的曝光方法形成對準(zhǔn)標(biāo)記時，形成的對準(zhǔn)標(biāo)記的精度較低，因此，在提高識別對準(zhǔn)標(biāo)記這一點上并不充分，導(dǎo)致生產(chǎn)效率(成品率)變差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的情況而做成的，其目的在于提供一種減少了光波導(dǎo)路的傳播損失且提高了對準(zhǔn)標(biāo)記的可視性、生產(chǎn)率優(yōu)異的光波導(dǎo)路的制法。為了達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的光波導(dǎo)路的制法包括下述工序在金屬制基板的表面形成下包層；在該下包層的表面形成芯部圖案；在上述下包層的規(guī)定位置形成對準(zhǔn)標(biāo)記；
準(zhǔn)備成形模具，該成形模具形成有具有與上包層的形狀相對應(yīng)的模具面的凹部， 并且在規(guī)定位置形成有與形成于上述下包層的對準(zhǔn)標(biāo)記相對應(yīng)的對準(zhǔn)標(biāo)記；使該成形模具與形成有上述芯部以及下包層的金屬制基板相對，以上述相對應(yīng)的一對對準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)將金屬制基板與成形模具對位，在該對位時從成形模具側(cè)照射波長 400nm 700nm的光并利用該照射光進(jìn)行對位；以覆蓋上述芯部的狀態(tài)形成上包層，作為形成于上述下包層的規(guī)定位置的對準(zhǔn)標(biāo)記的形成材料，使用含有下述的(A) 以及(B)的光固化性組合物，(A)是具有(甲基)丙烯酸酯基的聚合性化合物，(B)是光自由基聚合引發(fā)劑。為了解決在使用對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對位時、由于SUS的表面粗糙映入到對準(zhǔn)攝像頭中而使對準(zhǔn)標(biāo)記的檢測精度變差、制造作業(yè)性下降的問題，本發(fā)明人反復(fù)進(jìn)行了專心研究。因此，首先，為了相對于映入到對準(zhǔn)攝像頭中的上述SUS表面的粗糙度提高對準(zhǔn)標(biāo)記的對比度而使對準(zhǔn)標(biāo)記清楚、并提高利用對準(zhǔn)攝像頭檢測對準(zhǔn)標(biāo)記的檢測精度，對于形成對準(zhǔn)標(biāo)記的材料本身反復(fù)進(jìn)行了研究。結(jié)果，查明了作為對準(zhǔn)標(biāo)記的形成材料，使用具有(甲基) 丙烯酸酯基的聚合性化合物(A)和光自由基聚合引發(fā)劑(B)時，對準(zhǔn)標(biāo)記的最表層部分發(fā)生由光自由基聚合時的氧阻聚引起的固化不良，顯影后的固化物的上部形狀的直徑比該固化物的中間部分以及底部的形狀的直徑細(xì)，形成為帶有圓角的形狀。S卩，通常，在利用光固化制作光波導(dǎo)路時，擔(dān)心由其形狀異常導(dǎo)致光波導(dǎo)路的損失變嚴(yán)重，從而在減輕上述氧阻聚的影響的方向進(jìn)行多種研究。但是，本發(fā)明者特意違反上述技術(shù)常識，利用含有上述(A)以及(B)的光固化性組合物因氧阻聚而產(chǎn)生固化不良這種性質(zhì)，將對準(zhǔn)標(biāo)記的上部形成為上述那樣的形狀，從而相對于映入到對準(zhǔn)攝像頭的SUS表面的粗糙度提高上述對準(zhǔn)標(biāo)記的對比度。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，與之前所述那樣的以往的、因利用半色調(diào)掩模曝光將邊緣部分圓形化導(dǎo)致的成品精度較低的對準(zhǔn)標(biāo)記的形成相比，提高了對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀精度，并且相對于由SUS表面的粗糙引起的映入，提高了對準(zhǔn)標(biāo)記的對比度，從而完成了本發(fā)明。這樣，在本發(fā)明的光波導(dǎo)路的制法中，作為對準(zhǔn)標(biāo)記的形成材料，使用含有聚合性化合物㈧和光自由基聚合引發(fā)劑⑶的光固化性組合物，該聚合性化合物㈧具有上述 (甲基)丙烯酸酯基。因此，所形成的對準(zhǔn)標(biāo)記的最表層部分發(fā)生由光自由基聚合時的氧阻聚引起的固化不良，顯影后的固化物(芯部)的上部形狀形成為帶圓角的錐形形狀，提高了對準(zhǔn)標(biāo)記的對比度，并且提高了利用對準(zhǔn)攝像頭檢測對準(zhǔn)標(biāo)記的可視性。因而，提高了光波導(dǎo)路的生產(chǎn)成品率，能夠得到優(yōu)異的生產(chǎn)率。


圖1的(a) (c)是示意地表示本發(fā)明的光波導(dǎo)路的制法的說明圖。圖2是示意地表示本發(fā)明的光波導(dǎo)路的制法的說明圖。圖3是示意地表示本發(fā)明的光波導(dǎo)路的制法的說明圖。圖4是示意地表示本發(fā)明的光波導(dǎo)路的制法的說明圖。圖5是示意地表示利用上述制法得到的光波導(dǎo)路的剖視圖。
圖6是示意地表示利用本發(fā)明的光波導(dǎo)路的制法形成的對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀的放大側(cè)視圖。
具體實施例方式接下來，根據(jù)附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實施方式。光波導(dǎo)路的制法首先，詳細(xì)說明光波導(dǎo)路的制法。首先，準(zhǔn)備形成下包層1時所使用的平板狀的金屬制基板10 (參照圖1的(a))。作為該基板10的形成材料，可以列舉出例如各種金屬，但從對熱的抗伸縮性優(yōu)異、在上述光波導(dǎo)路的制造過程中能將各種尺寸大致維持在設(shè)計值這樣的觀點考慮，優(yōu)選SUS制基板。 另外，基板10的厚度被設(shè)定在例如20μπι(膜狀) 5mm(板狀)的范圍內(nèi)。(下包層的形成)接下來，如圖1的(a)所示，在上述基板10的表面形成下包層1。作為該下包層 1的形成材料，可列舉出熱固性樹脂或者感光性樹脂。在使用上述熱固性樹脂的情況下，在涂敷將該熱固性樹脂溶解于溶劑中而成的清漆之后對該清漆進(jìn)行加熱，從而形成下包層1。 另一方面，在使用上述感光性樹脂的情況下，在涂敷將該感光性樹脂溶解于溶劑中而成的清漆之后用紫外線等照射線對該清漆進(jìn)行曝光，從而形成下包層1。下包層1的厚度被設(shè)定在例如5 μ m 30 μ m的范圍內(nèi)。(芯部的形成以及對準(zhǔn)標(biāo)記的形成)接下來，如圖1的(b)所示，利用光刻法在上述下包層1的表面形成規(guī)定圖案的芯部2以及對準(zhǔn)標(biāo)記la。上述芯部2以及對準(zhǔn)標(biāo)記Ia例如這樣形成在上述下包層1的表面涂敷芯部形成材料(對準(zhǔn)標(biāo)記形成材料)并使其在規(guī)定的條件下干燥，從而形成涂膜層。 接下來，利用規(guī)定的光掩模(芯部圖案形成用以及對準(zhǔn)標(biāo)記形成用)進(jìn)行曝光，接著進(jìn)行加熱處理。隨后，利用顯影液對未曝光部分進(jìn)行顯影，除去未曝光部分，之后，進(jìn)行水洗、干燥，從而形成芯部2的圖案并且形成對準(zhǔn)標(biāo)記la。上述形成的芯部2的寬度被設(shè)定在例如 ΙΟμπι 500μπι的范圍內(nèi)。另外，芯部2的厚度(高度)被設(shè)定在例如25μπι ΙΟΟμπι的范圍內(nèi)。詳細(xì)說明上述對準(zhǔn)標(biāo)記Ia的形成方法，如上述那樣，利用涂敷器將作為上述芯部形成材料(對準(zhǔn)標(biāo)記形成材料)的感光性材料涂敷在下包層1上并使其干燥。干燥之后， 隔著規(guī)定形狀的光掩模(芯部形成用以及對準(zhǔn)標(biāo)記形成用)照射紫外線等照射線而進(jìn)行曝光，之后，通過進(jìn)行加熱處理使曝光部固化。此時，對準(zhǔn)標(biāo)記Ia的最表層部分發(fā)生由光自由基聚合時的氧阻聚引起的固化不良。接下來，使用顯影液(Y-丁內(nèi)酯等)對未曝光部進(jìn)行顯影，進(jìn)行水洗而除去未曝光部，并進(jìn)行干燥，從而與規(guī)定形狀的芯部2的圖案一起形成對準(zhǔn)標(biāo)記la。此時，顯影后的固化物的上部形狀的直徑比其中間部分以及底部的形狀的直徑細(xì)，形成為帶有圓角的形狀。另外，作為上述芯部形成材料(對準(zhǔn)標(biāo)記形成材料)，可以使用含有聚合性化合物 (A)和光自由基聚合引發(fā)劑⑶的光固化性組合物，該聚合性化合物㈧具有(甲基)丙烯酸酯(methacrylate)基。另外，在本發(fā)明中，(甲基)丙烯酸酯(methacrylate)是指丙烯酸酯(acrylate)或者甲基丙烯酸酯。
作為具有上述(甲基)丙烯酸酯(methacrylate)基的聚合性化合物(A)，具體而言，可以列舉出雙酚A型二官能環(huán)氧丙烯酸酯與均苯四甲酸酐系的四羧酸酐的共聚物(例如，Nagase Chemtex公司制的FNR系列等)、甲酚酚醛清漆型(cresol novolak types)和苯酚酚醛清漆型(phenol novolak types)多官能環(huán)氧丙烯酸酯改性聚合物等。上述聚合物可以單獨使用或者兩者以上一起使用。作為上述光自由基聚合引發(fā)劑，可列舉出例如2，2_ 二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、1-羥基-環(huán)己基-苯基-酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、1-(4- -羥基乙氧基)-苯基)-2-羥基-2-甲基-1-丙烷、2-羥基-1- {4- (4- (2-羥基-2-甲基-丙?；?-芐基)苯基} -2-甲基-丙烷-1-酮、2-芐基-2- 二甲胺基-1- (4-嗎啉基苯基)-丁烷-1-酮、2-甲基甲基硫代)苯基)-2-嗎啉基丙基-1-酮、雙(2，4，6_三甲基苯甲?；?-苯基氧化膦、2，4，6_三甲基苯甲?；?二苯基-氧化膦、雙(η5-2，4-環(huán)戊二烯-1-基)_雙(2，6_ 二氟-3(1Η-吡咯-1-基)-苯基)鈦等。上述光自由基聚合引發(fā)劑可以單獨使用或者兩者以上一起使用。尤其是從圖案化性的觀點考慮，可以使用2-甲基甲基硫代)苯基)-2-嗎啉基丙基-1-酮。上述光自由基聚合引發(fā)劑的含量優(yōu)選相對于具有上述(甲基)丙烯酸酯 (methacrylate)基的聚合性化合物(A) 100重量份設(shè)定成0. 5 10重量份，尤其優(yōu)選1 5重量份。其原因在于，在含量過少時，難以得到充分的光聚合作用，顯影時出現(xiàn)圖案歪斜的傾向。另外，在含量過多時，出現(xiàn)由以圖案變粗為代表的圖案形狀的異常、圖案的連結(jié)引起的分辨率變差的傾向。另外，作為上述芯部2的形成材料，使用折射率比上述下包層1以及后述的上包層 3(參照圖幻的形成材料的折射率高、并且對所傳播的光的波長的透光性高的材料。上述折射率的調(diào)整能夠通過使導(dǎo)入到作為上述下包層1、芯部2、上包層3的各形成材料的樹脂中的有機基的種類和含量中的至少一個變化來適當(dāng)?shù)卦黾踊蛘邷p小。例如，能夠通過將環(huán)型芳香族性的基(苯基等)導(dǎo)入到樹脂分子中或者使該芳香族性基在樹脂分子中的含量增加來增大折射率。另一方面，能夠通過將直鏈或者環(huán)形脂肪族性的基(甲基、降冰片烯基等) 導(dǎo)入到樹脂分子中或者使該脂肪族性基在樹脂分子中的含量增加來減小折射率。另外，如上所述，使用上述形成材料，在形成上述芯部2的同時在作為上述下包層 1的規(guī)定位置的兩端部分(參照圖1的(b))形成對準(zhǔn)標(biāo)記la。作為上述對準(zhǔn)標(biāo)記Ia的形狀，不是特別地限定的形狀，只要是能夠作為對準(zhǔn)標(biāo)記Ia進(jìn)行識別的形狀即可。具體而言， 如圖6所示，可列舉出呈大致圓柱狀、且其頭頂面周緣部形成為錐形的形狀。S卩，通過使用上述芯部形成材料(對準(zhǔn)標(biāo)記形成材料)，所形成的對準(zhǔn)標(biāo)記Ia的最表層部分發(fā)生由光自由基聚合時的氧阻聚引起的固化不良，顯影后的固化物的上部形狀形成為帶圓角的錐形形狀。在上述圖6所示的對準(zhǔn)標(biāo)記Ia的形狀中，其錐形角度θ優(yōu)選為30° 45°，尤其優(yōu)選為35° 40°。另外，其錐形的寬度W優(yōu)選為3. 5μπι以上，尤其優(yōu)選為4μπι 6μπι。 通過做成上述那樣的錐形角度θ以及錐形寬度W，提高了所形成的對準(zhǔn)標(biāo)記Ia的對比度， 結(jié)果，易于利用對準(zhǔn)攝像頭檢測到對準(zhǔn)標(biāo)記la。(上包層的形成)另一方面，如圖1的(C)所示，準(zhǔn)備上包層形成用的成形模具M(jìn)。上述成形模具M(jìn) 例如能夠這樣制作成將透光性樹脂(例如硅樹脂、丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂等)和透光性支承板G(例如石英玻璃、青板玻璃、聚碳酸酯、丙烯酸等)作為形成材料，使用形狀與上包層的形狀相同的模具構(gòu)件進(jìn)行模具成形，從而使上述透光性樹脂固化而使其粘合于上述透光性支承板G上。上述成形模具M(jìn)(參照圖1的(C))在上述透光性樹脂的固化體20的下表面粘合有上述透光性支承板G，在上述透光性樹脂的固化體20的上表面形成有兩個具有與上述上包層3的形狀相對應(yīng)的模具面的凹部21，各凹部21的一端部分(在圖1的(c)中的左端部分)形成為透鏡曲面21a。另外，在上述成形模具M(jìn)的兩端部分設(shè)有與設(shè)于上述下包層1上的對準(zhǔn)標(biāo)記Ia相對應(yīng)的對準(zhǔn)標(biāo)記22。上述對準(zhǔn)標(biāo)記22的形狀只要是與設(shè)于上述下包層1上的對準(zhǔn)標(biāo)記Ia 相對應(yīng)的形狀即可，不是特別限定的形狀，另外，該對準(zhǔn)標(biāo)記22的形成方法也與上述對準(zhǔn)標(biāo)記Ia的形成方法相同。接下來，將上述成形模具M(jìn)以凹部21朝上的方式設(shè)置在成形臺(未圖示)上，在其凹部21內(nèi)填充作為上包層3 (參照圖5)的形成材料的液狀的感光性樹脂3A。作為上述感光性樹脂3A，例如可列舉出通過將在紫外線固化樹脂中適當(dāng)?shù)嘏浜瞎饩酆弦l(fā)劑以及其他的添加劑的混合物溶解在各種溶劑中而成的呈液狀的樹脂，該紫外線固化樹脂可列舉出例如環(huán)氧系紫外線固化樹脂、硅氧烷系紫外線固化樹脂、降冰片烯系紫外線固化樹脂、聚酰亞胺系紫外線固化樹脂等。接下來，如圖2所示，使形成有芯部2的圖案的下包層1與在凹部21內(nèi)填充有液狀的感光性樹脂3A的成形模具M(jìn)相對。此時，通過下述方法對設(shè)在下包層1上的對準(zhǔn)標(biāo)記 Ia與設(shè)于成形模具M(jìn)上的對準(zhǔn)標(biāo)記22進(jìn)行對位，即，使用對準(zhǔn)攝像頭從成形模具M(jìn)側(cè)沿著箭頭L方向照射光來確認(rèn)對準(zhǔn)標(biāo)記Ia和對準(zhǔn)標(biāo)記22對齊。上述對準(zhǔn)攝像頭的光通常使用可見光區(qū)域的波長400nm 700nm的光。接下來，如圖3所示，在將于上述下包層1的表面上形成了圖案的芯部2浸入作為上述上包層3的形成材料的感光性樹脂3A內(nèi)的狀態(tài)下，將該芯部2相對于成形模具M(jìn)的凹部21定位，向上述成形模具M(jìn)按壓上述下包層1。進(jìn)行上述定位后向成形模具M(jìn)按壓下包層1時的載荷被設(shè)定在例如49N 980N的范圍內(nèi)。在此，上述成形模具M(jìn)的凹部21的形成部分由于是樹脂制，因此具有耐壓性。因此，能夠通過如上述那樣向成形模具M(jìn)按壓下包層1而使兩者緊密貼合，從而能夠防止形成毛刺。接下來，如圖4(與圖3上下相反地圖示)所示，通過透過上述成形模具M(jìn)向上述感光性樹脂3A照射紫外線等照射線而對該感光性樹脂3A進(jìn)行曝光。由此，上述感光性樹脂3A固化，形成一端部分形成為透鏡部3a的上包層3。另外，在利用紫外線等的照射進(jìn)行曝光時，金屬制基板10被吸附固定于作業(yè)臺(未圖示)上。上述上包層3的厚度(距下包層1的表面的厚度)被設(shè)定在例如25 μ m 1500 μ m的范圍內(nèi)。然后，將上述上包層3與上述金屬制基板10、下包層1以及芯部2 —起從上述成形模具M(jìn)脫模，如圖5所示，得到形成于金屬制基板10的表面的、由下包層1、芯部2和上包層3構(gòu)成的光波導(dǎo)路。在本實施方式中，形成有兩個光波導(dǎo)路，通常，形成兩個以上的多個光波導(dǎo)路，在使用光波導(dǎo)路時，將各個光波導(dǎo)路切離出來再用于各種用途。另外，在上述上包層3的脫模之前或者脫模之后，根據(jù)需要適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行加熱處理 (例如70°C 90°C左右)?；蛘撸鶕?jù)需要也可以將上述金屬制基板10從下包層1剝離。CN 102455464 A說明書6/8 頁另外，在上述實施方式中，將上包層3的一端部分形成為透鏡部3a，但也可以與另一端部分同樣地形成為平面狀。光波導(dǎo)路的用涂上述光波導(dǎo)路例如通過形成為L字板狀，能夠用作觸摸面板的手指等的接觸位置的檢測部件(位置傳感器)。即，在上述L字板狀的光波導(dǎo)路中，將多個芯部2形成為從上述L字板狀的角部向內(nèi)側(cè)端緣部以等間隔排列的狀態(tài)延伸的圖案。制作兩個這樣的L字板狀的光波導(dǎo)路。然后，在一個光波導(dǎo)路的角部的外側(cè)光耦合發(fā)光元件，在另一個光波導(dǎo)路的角部的外側(cè)光耦合受光元件。然后，將上述光波導(dǎo)路沿著觸摸面板的四邊形的顯示器的窗口周緣部設(shè)置，此時上述光波導(dǎo)路能夠用作觸摸面板的手指等的接觸位置的檢測部件。實施例接下來，與比較例一起對實施例進(jìn)行說明。但是，本發(fā)明不限定于實施例。(實施例1)(下包層形成用清漆的調(diào)制)將環(huán)氧樹月旨(DaicelChemicallndustries, Ltd.(夕■ 4 七卟社)制、EHPE-3150) 75 重量份、環(huán)氧樹脂(NOF Corporation (日油社)制、MARPR00FG-0150M) 25重量份、紫外線吸收劑(Ciba Japan KK (千八 ” ^ “ >社)制、TINUVIH479) 5 重量份、光產(chǎn)酸劑(San-Apro Ltd.(寸>、7 口社)制、CPI-200K)4重量份添加到70重量份的溶劑(Wako Pure Chemical Industries Ltd.(和光純薬社)制、環(huán)己酮)中，在80°C的加熱條件下攪拌而使它們完全溶解。這樣調(diào)制出了下包層形成用清漆。(下包層的制作)利用旋涂器將得到的上述清漆涂敷在SUS基材(厚50 μ m)上(5000rpmX 10秒)， 在干燥爐內(nèi)以150°C進(jìn)行了 3分鐘的干燥。通過利用UV照射機(B線、IOOOmJ(365nm))對得到的未固化的下包層進(jìn)行曝光而制成了下包層(膜厚15μπι)。曝光之后不進(jìn)行加熱，而利用曝光時產(chǎn)生的熱使環(huán)氧基進(jìn)行聚合反應(yīng)。(芯部以及對準(zhǔn)標(biāo)記形成用清漆的調(diào)制)在100重量份的丙烯酸樹脂-醋酸丁酯溶液(固形物濃度55重量％ =Nagase ChemteX Corporation ( f if七* A〒^7夕^社)制、FNR-040)中添加光自由基聚合引發(fā)劑 (Ciba JapanKK 制、IRGACURE907)0. 55 重量份、光自由基聚合引發(fā)劑(Ciba Japan KK 制、 IRGA⑶RE184)5. 5重量份，在50°C的加熱條件下進(jìn)行攪拌而使它們完全溶解。這樣調(diào)制出了芯部以及對準(zhǔn)標(biāo)記形成用清漆(丙烯酸系清漆)。(芯部圖案以及對準(zhǔn)標(biāo)記的制作)利用涂敷器在制作成的下包層上涂敷上述丙烯酸系清漆(涂敷器間隙約 150 μ m)，在干燥爐內(nèi)以150°C進(jìn)行了 3分鐘的干燥。干燥之后，隔著光掩模對光波導(dǎo)路圖案部(芯部圖案)以及對準(zhǔn)標(biāo)記一起進(jìn)行了曝光(I線、3000mJ)。接下來，利用噴涂顯影機， 使用Y-丁內(nèi)酯進(jìn)行顯影、水洗而除去未曝光部，進(jìn)行干燥，從而在下包層上制作成了芯部圖案以及對準(zhǔn)標(biāo)記。對于得到的對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀以下述方式進(jìn)行了確認(rèn)、測量。即，關(guān)于對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀，使用掃描型電子顯微鏡(SEM)，通過其圖像進(jìn)行確認(rèn)。另外，由上述SEM的圖像確認(rèn)并測量了對準(zhǔn)標(biāo)記的錐形角度以及錐形寬度。結(jié)果，確認(rèn)了對準(zhǔn)標(biāo)記呈大致圓柱狀、且其頭頂面周緣部形成為錐形，是圖6所示的對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀，錐形角度θ為30° 45°，錐形寬度 W 為 4· Ομ 。(實施例2)在芯部以及對準(zhǔn)標(biāo)記形成用清漆中，將光自由基聚合引發(fā)劑(Ciba Japan KK制、 IRGA⑶RE907)的添加量改變?yōu)?. 37重量份。除此之外與實施例1同樣地在下包層上制作成了芯部圖案以及對準(zhǔn)標(biāo)記。對于得到的對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀，與實施例1同樣地進(jìn)行了確認(rèn)、測量。結(jié)果，確認(rèn)了對準(zhǔn)標(biāo)記呈大致圓柱狀、且其頭頂面周緣部形成為錐形，是圖6所示的對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀，錐形角度θ為30° 45°，錐形寬度W為6.0 μ m。(比較例1)(芯部以及對準(zhǔn)標(biāo)記形成用清漆的調(diào)制)將環(huán)氧樹脂(JapanEpoxy Resin Co.，Ltd. ( ” Y “ > 工水。矢 * > ” >社)制、 157S70)85 重量份、環(huán)氧樹月旨(NOFCorporation 制、MARPROOF G-0250SP) 10 重量份、環(huán)氧樹月旨(Japan Epoxy Resin Co.，Ltd.制、EPI COAT 擬8) 5 重量份、光產(chǎn)酸劑(San-Apro Ltd. 制、CPI-200K)4 重量份添加到 55 重量份的溶劑(Wako Pure Chemical Industries Ltd. 制、乳酸乙酯)中，在80°C的加熱條件下攪拌而使它們完全溶解。這樣調(diào)制出了芯部以及對準(zhǔn)標(biāo)記形成用清漆(環(huán)氧系清漆)。(芯部圖案以及對準(zhǔn)標(biāo)記的制作)利用涂敷器在制作成的下包層上涂敷上述環(huán)氧系清漆(涂敷器間隙約125 μ m)， 在干燥爐內(nèi)以150°C進(jìn)行了 3分鐘的干燥。干燥之后，隔著光掩模對光波導(dǎo)路圖案部(芯部圖案)以及對準(zhǔn)標(biāo)記一起進(jìn)行了曝光(I線、3000mJ)，之后進(jìn)行了 120°C XlO分鐘的加熱處理。接下來，利用噴涂顯影機，使用Y-丁內(nèi)酯進(jìn)行顯影、水洗而除去未曝光部，進(jìn)行干燥， 從而在下包層上制作成了芯部圖案以及對準(zhǔn)標(biāo)記。對于得到的對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀，與實施例1同樣地進(jìn)行了確認(rèn)、測量。結(jié)果，確認(rèn)了對準(zhǔn)標(biāo)記呈大致圓柱狀、且其頭頂面周緣部僅稍微形成為錐形，是圖6所示的對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀，錐形角度θ為30° 45°，錐形寬度W非常窄，為1.4μπι。對于如上述那樣制作成的實施例品以及比較例品，測量、評價了下述所示的特性。 將該結(jié)果一起表示在下述的表1中。(可視性)使用圖像處理系統(tǒng)(包括對準(zhǔn)攝像頭在內(nèi)的制造系統(tǒng)、Sharp Corporation制、 IV-S210X)從下包層側(cè)照射光(波長660nm)，確認(rèn)并評價了對準(zhǔn)標(biāo)記的機械可視性。結(jié)果， 以下述方式進(jìn)行了評價將SUS的映入得到抑制、能清楚地確認(rèn)到正常情況下的對準(zhǔn)標(biāo)記的情況記為〇；將由于SUS的映入而難以識別對準(zhǔn)標(biāo)記的情況記為X。(光波導(dǎo)路的傳播損失)對于得到的實施例品以及比較例品，利用截斷法(Cut-back method)測量了長 5cm的、波長850nm的傳播損失(dB/5cm)。表 權(quán)利要求
1.一種光波導(dǎo)路的制法，其特征在于，該光波導(dǎo)路的制法包括下述工序在金屬制基板的表面形成下包層；在該下包層的表面形成芯部圖案；在上述下包層的規(guī)定位置形成對準(zhǔn)標(biāo)記；準(zhǔn)備成形模具，該成形模具形成有具有與上包層的形狀相對應(yīng)的模具面的凹部，并且在規(guī)定位置形成有與形成于上述下包層的對準(zhǔn)標(biāo)記相對應(yīng)的對準(zhǔn)標(biāo)記；使該成形模具與形成有上述芯部以及下包層的金屬制基板相對，以上述相對應(yīng)的一對對準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)將金屬制基板與成形模具對位，在該對位時從成形模具側(cè)照射波長 400nm 700nm的光并利用該照射光進(jìn)行對位；以覆蓋上述芯部的狀態(tài)形成上包層，作為形成于上述下包層的規(guī)定位置的對準(zhǔn)標(biāo)記的形成材料，使用含有下述的(A)以及 (B)的光固化性組合物，(A)是具有(甲基)丙烯酸酯基的聚合性化合物，(B)是光自由基聚合引發(fā)劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)路的制法，其中，上述對位是利用對準(zhǔn)攝像頭進(jìn)行的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光波導(dǎo)路的制法，其中，在上述下包層的規(guī)定位置形成的對準(zhǔn)標(biāo)記的形狀呈大致圓柱形狀，其頭頂面周緣部形成為錐形，其錐形角度為30° 45°，且該錐形的寬度為3. 5μπι以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項所述的光波導(dǎo)路的制法，其中，在上述下包層的規(guī)定位置形成對準(zhǔn)標(biāo)記的工序與在下包層的表面形成芯部圖案的工序同時進(jìn)行，芯部形成材料與對準(zhǔn)標(biāo)記形成材料是相同的材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項所述的光波導(dǎo)路的制法，其中，上述成形模具是透光性樹脂制的成形模具，以上述對準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)將金屬制基板與成形模具對位的工序是這樣進(jìn)行的利用對準(zhǔn)攝像頭，從透光性樹脂制的成形模具側(cè)的背側(cè)透過該成形模具確認(rèn)金屬制基板和成形模具的對準(zhǔn)標(biāo)記使兩者的對準(zhǔn)標(biāo)記對齊；并且形成上述上包層的工序是這樣進(jìn)行的在上述透光性樹脂制的成形模具的凹部內(nèi)填充上包層形成用的感光性樹脂，在將上述芯部埋入到該感光性樹脂內(nèi)的狀態(tài)下透過上述成形模具對上述感光性樹脂進(jìn)行曝光使其固化，從而形成上包層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的光波導(dǎo)路的制法，其中，上述成形模具的凹部的、與覆蓋上述芯部的前端部的上包層部分相對應(yīng)的模具面部分形成為透鏡曲面。
全文摘要
本發(fā)明提供減少了傳播損失且提高了對準(zhǔn)標(biāo)記的可視性、生產(chǎn)率優(yōu)異的光波導(dǎo)路的制法。在金屬制基板(10)的表面形成下包層(1)、芯部(2)、對準(zhǔn)標(biāo)記(1a)。另一方面，準(zhǔn)備形成有凹部(21)和與上述對準(zhǔn)標(biāo)記(1a)相對應(yīng)的對準(zhǔn)標(biāo)記(22)的成形模具(M)。接下來，在以上述相對應(yīng)的一對對準(zhǔn)標(biāo)記(1a、22)為基準(zhǔn)將金屬制基板(10)和成形模具(M)對位時，從成形模具(M)側(cè)照射光并利用該照射光進(jìn)行對位。然后，以覆蓋上述芯部的狀態(tài)形成上包層(3)。上述對準(zhǔn)標(biāo)記(1a)利用含有下述的(A)以及(B)的光固化性組合物形成。(A)是具有(甲基)丙烯酸酯基的聚合性化合物。(B)是光自由基聚合引發(fā)劑。
文檔編號G02B6/138GK102455464SQ201110303868
公開日2012年5月16日 申請日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月27日
發(fā)明者平山智之 申請人:日東電工株式會社