專利名稱：基板檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢測(cè)OLED (Organic Light Emitting Diode,有機(jī) LED)或 LCD 用基板(以下，稱“基板”)的質(zhì)量狀態(tài)的裝置，尤其涉及通過組合分析由具有互不相同的聚焦角度的多個(gè)照相機(jī)拍攝的圖像信息而精密地檢測(cè)基板的表面以及邊緣部分發(fā)生的諸如破裂或破碎等破損狀態(tài)的基板檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
薄膜晶體管液晶顯示裝置主要由形成薄膜晶體管的下部基板、形成彩色濾光片的上部基板以及注入在下部基板與上部基板之間的液晶構(gòu)成，制造上述液晶顯示裝置的工藝可以分為三個(gè)部分，即薄膜晶體管(TET)工藝、單元工藝、模塊工藝。所述TET工藝與半導(dǎo)體制造工藝非常相似,是反復(fù)進(jìn)行沉積工藝(deposition)以及光刻工藝(Photolithography)、蝕刻工藝(Etching)而在基板上排列薄膜晶體管，由此進(jìn)行制造的工藝。所述單元工藝在形成有TET的下部基板和形成有彩色濾光片(Color filter)的上部基板上形成配向膜，在配向膜上進(jìn)行定向以使液晶分子能夠整齊地排列，然后撒布間隔物(spacer)，印刷密封料(Seal)，進(jìn)行粘結(jié)。粘結(jié)之后，利用毛細(xì)管現(xiàn)象，將液晶注入于內(nèi)部，密封注入口，由此完成液晶顯示裝置的制造工藝。所述模塊工藝是最終決定向用戶提供的產(chǎn)品的質(zhì)量的步驟，在完成的面板上粘接偏光板，安裝驅(qū)動(dòng)集成電路(Driver-1C),然后裝配印刷電路板(Printed Circuit Board,PCB)，最終裝配背光單元(Backlight unit)和結(jié)構(gòu)物，由此完成液晶模塊。另外，OLED是在上部基板和下部基板玻璃之間的各單元中沉積有機(jī)物質(zhì)而制造的LED，這種OLED具有可用低電壓驅(qū)動(dòng)，可制造成薄平板的優(yōu)點(diǎn)，并且視角寬、響應(yīng)速率快，因此不同于普通LCD (Liquid Crystal Display,液晶顯示器)，在一旁觀察時(shí),畫質(zhì)也不會(huì)改變，畫面上不會(huì)殘留影像。并且，在小型畫面中，由于OLED具有比IXD更好的畫質(zhì)，且制造工藝簡(jiǎn)單，因此OLED在價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力上更有優(yōu)勢(shì)。對(duì)于這種OLED而言，彩色顯示方式包括三色(紅色、綠色、藍(lán)色)獨(dú)立像素方式、色變換方式(CCM)、彩色濾光方式，并且根據(jù)用在顯示器上的發(fā)光材料分為低分子OLED和高分子0LED,而根據(jù)驅(qū)動(dòng)方式分為被動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式(passive matrix,被動(dòng)矩陣)和主動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式(active matrix,有源矩陣)。并且,OLED與IXD、PDP (Plasma Display Panel,等離子顯示板)相比，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，厚度薄，而且還具有可彎曲的性質(zhì)，因此為軟式顯示器(Flexible display)市場(chǎng)注入新的生機(jī)。此時(shí)，用于制造上述IXD或OLED的設(shè)備，由清洗室、負(fù)荷固定室(load lockchamber)、輸送室以及工藝室等構(gòu)成，向所述工藝室投入基板之前，需要檢測(cè)所述基板的表面以及邊緣部分是否發(fā)生諸如破裂或破碎等破損，為了進(jìn)行這種檢測(cè)，提供照明部和照相機(jī)(camera)。然而，在以往，如圖1所示，當(dāng)用于檢測(cè)基板I的表面以及邊緣部分的質(zhì)量狀態(tài)的照相機(jī)2的聚焦方向與在基板I的表面或邊緣上形成的破裂部分(或破損部分)A位于相同的垂直線上時(shí)，存在發(fā)生不能從由照相機(jī)2拍攝的圖像信息發(fā)現(xiàn)破裂部分A的錯(cuò)誤檢測(cè)的問題。S卩，在基板I的表面或邊緣部分存在破裂或破損等問題的狀態(tài)下，如附圖2所示，如果破裂或破損部分Al與照相機(jī)2不在相同的垂直線上，而形成偏斜的角度，則當(dāng)照射照明部3的光源時(shí)，光源會(huì)發(fā)生反射或散射而向與原來的照射方向不同的其他方向擴(kuò)散，因此當(dāng)用照相機(jī)拍攝被光照射的破裂或破損部分Al時(shí)，基于該拍攝的圖像信息會(huì)呈現(xiàn)黑暗的部分(圖2的BI部分)，但是如附圖1所示，如果破裂部分A與照相機(jī)2位于相同的垂直線上，則光會(huì)透射所述破裂部分A，因此在針對(duì)破裂部分的圖像信息中不會(huì)出現(xiàn)表示破裂的黑暗的部分(圖1的B部分)，據(jù)此判斷為基板I沒有發(fā)生破裂，從而會(huì)發(fā)生檢測(cè)錯(cuò)誤。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述的現(xiàn)有問題而提出的，其目的在于提供一種基板檢測(cè)裝置，該基板檢測(cè)裝置對(duì)于基板的表面以及邊緣部分，通過構(gòu)成具有互不相同的聚焦角度的多個(gè)照相機(jī)之后組合分析由多個(gè)照相機(jī)拍攝的圖像信息。據(jù)此，能夠精密地檢測(cè)基板的表面以及邊緣部分上的諸如破裂或破碎等破損狀態(tài)，據(jù)此在向工藝室投入基板之前，事先確認(rèn)基板的質(zhì)量狀態(tài)，由此能夠防止工藝中基板發(fā)生破損。為了實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的基板檢測(cè)裝置，包括:拍攝部件、照明部、以及控制單元，用以通過圖像信息分析來檢測(cè)投入的基板的表面以及邊緣部分是否存在破裂或破損。其中，所述照明部布置在所述基板的上側(cè)或下側(cè)，所述拍攝部件包括具有互不相同布置角度的第一照相機(jī)、第二照相機(jī)，用以從互不相同的聚焦方向根據(jù)從所述照明部提供的光源分別拍攝基板的表面和/或緣邊部分。并且，所述第一照相機(jī)相對(duì)于所述基板垂直布置(90° )，所述第二照相機(jī)以所述第一照相機(jī)11的垂直布置線(垂直線)為中心布置在45° 135°的布置角度范圍內(nèi)。并且，一個(gè)以上的相對(duì)于所述基板垂直布置的所述第一照相機(jī)間隔一定距離而并排排列，所述第二照相機(jī)以與所述第一照相機(jī)對(duì)應(yīng)的數(shù)量并排排列而構(gòu)成。并且，所述第一照相機(jī)、所述第二照相機(jī)由行掃描照相機(jī)或區(qū)域照相機(jī)構(gòu)成。并且，所述控制單元安裝有基于由所述第一照相機(jī)、所述第二照相機(jī)拍攝的圖像信息而檢測(cè)基板的表面和/或邊緣部分是否存在破裂或破損的檢測(cè)程序。所述檢測(cè)程序組合由所述第一照相機(jī)拍攝的圖像信息和由所述第二照相機(jī)拍攝的圖像信息，根據(jù)所述組合的圖像信息，分別比較與所述第一照相機(jī)位于相同的垂直線上的存在于基板上的破裂和破損部分的亮度值及其周圍的亮度值，當(dāng)所述比較的亮度值出現(xiàn)差異時(shí)，判斷為在所述基板上存在破裂或破損。如上所述，本發(fā)明構(gòu)成基板檢測(cè)裝置，該基板檢測(cè)裝置對(duì)于基板的表面以及邊緣部分，通過構(gòu)成具有互不相同的聚焦角度的多個(gè)照相機(jī)之后組合分析由多個(gè)照相機(jī)拍攝的圖像信息。據(jù)此可以期待以下效果，即能夠精密地檢測(cè)基板的表面以及邊緣部分上的諸如破裂或破碎等破損狀態(tài)，同時(shí)在向工藝室投入基板之前，事先確認(rèn)基板的質(zhì)量狀態(tài)，由此能夠防止工藝中基板發(fā)生破損。


圖1為在基板的表面和/或邊緣部分上發(fā)生的破裂或破損部分與照相機(jī)位于相同的垂直線上的現(xiàn)有的基板檢測(cè)裝置的主要構(gòu)成圖。圖2為在基板的表面和/或邊緣部分上發(fā)生的破裂或破損部分與照相機(jī)不在相同的垂直線上的現(xiàn)有的基板檢測(cè)裝置的主要構(gòu)成圖。圖3A和圖3B為作為本發(fā)明的實(shí)施例而示出在基板的上側(cè)設(shè)置具有互不相同的聚焦方向的第一、二照相機(jī)且在基板的下側(cè)設(shè)置照明部的狀態(tài)的基板檢測(cè)裝置的主要構(gòu)成圖。圖4A和圖4B為作為本發(fā)明的實(shí)施例而示出在基板的下側(cè)設(shè)置具有互不相同的聚焦方向的第一、二照相機(jī)且在基板的上側(cè)設(shè)置照明部的狀態(tài)的基板檢測(cè)裝置的主要構(gòu)成圖。圖5為作為本發(fā)明的實(shí)施例而示出基板檢測(cè)裝置的主要模塊構(gòu)成圖。主要符號(hào)說明:10為拍攝部件，11為第一照相機(jī)，12為第二照相機(jī)，20為照明部，30為控制單元，100為基板。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施例。圖3A和圖3B為作為本發(fā)明的實(shí)施例而示出在基板的上側(cè)設(shè)置具有互不相同的聚焦方向的第一、二照相機(jī)且在基板的下側(cè)設(shè)置照明部的狀態(tài)的基板檢測(cè)裝置的主要構(gòu)成圖，圖4A和圖4B為作為本發(fā)明的實(shí)施例而示出在基板的下側(cè)設(shè)置具有互不相同的聚焦方向的第一、二照相機(jī)且在基板的上側(cè)設(shè)置照明部的狀態(tài)的基板檢測(cè)裝置的主要構(gòu)成圖，圖5為作為本發(fā)明的實(shí)施例而示出基板檢測(cè)裝置的主要模塊構(gòu)成圖。參照附圖3至附圖5，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢測(cè)裝置包括:拍攝部件10、照明部20以及控制單元30，用以通過圖像信息分析來檢測(cè)投入的基板100的表面以及邊緣部分是否存在破裂或破損，其中，所述照明部20布置在所述基板100的上側(cè)或下側(cè)，所述拍攝部件10包括具有互不相同布置角度的第一照相機(jī)11、第二照相機(jī)12,用以從互不相同的聚焦方向根據(jù)從所述照明部20提供的光源分別拍攝基板的表面和/或緣邊部分。此時(shí)，所述第一照相機(jī)11相對(duì)于所述基板100垂直布置(90° )，所述第二照相機(jī)12以所述第一照相機(jī)11的垂直布置線(垂直線)為中心布置在45° 135°的布置角度范圍內(nèi)，并且所述第一照相機(jī)11、第二照相機(jī)12以所述基板100為中心布置在與所述照明部20的相反側(cè)。并且，一個(gè)以上的相對(duì)于所述基板100垂直布置的所述第一照相機(jī)11間隔一定距離而并排排列，所述第二照相機(jī)12以與所述第一照相機(jī)11對(duì)應(yīng)的數(shù)量并排排列而構(gòu)成，據(jù)此所述第一照相機(jī)11、第二照相機(jī)12由行掃描照相機(jī)或區(qū)域照相機(jī)(area camela)構(gòu)成，從而當(dāng)所述基板100進(jìn)行通過基板檢測(cè)裝置的移動(dòng)時(shí)，可以連續(xù)拍攝所述基板100的整個(gè)表面以及邊緣部分。另外，所述控制單元30安裝有基于由所述第一照相機(jī)11、第二照相機(jī)12拍攝的圖像信息而檢測(cè)基板100的表面和/或邊緣部分是否存在破裂或破損的檢測(cè)程序。所述檢測(cè)程序組合由所述第一照相機(jī)11拍攝的圖像信息和由所述第二照相機(jī)12拍攝的圖像信息，根據(jù)所述組合的圖像信息，分別比較與第一照相機(jī)11位于相同的垂直線上的存在于基板100上的破裂和破損部分的亮度值以及其周圍的亮度值，當(dāng)所述比較的亮度值出現(xiàn)差異時(shí)，判斷為在所述100上存在破裂或破損。S卩，如附圖3至附圖5所示，對(duì)于根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢測(cè)裝置而言，當(dāng)向基板檢測(cè)裝置投入基板100時(shí)，首先控制單元30啟動(dòng)照明部20和拍攝部件10所包括的所述第一照相機(jī)11、第二照相機(jī)12。如果完成上述動(dòng)作，則如附圖3及附圖4所示，照明部20向基板100的下面或上面的表面和邊緣部分照射光源。此時(shí)，相對(duì)于所述基板100垂直布置(90° )的第一照相機(jī)11維持垂直地朝向所述基板100的表面和邊緣的聚焦方向，同時(shí)拍攝所述基板100的表面和邊緣部分，然后將其圖像信息傳送到控制單元30。并且，以所述第一照相機(jī)11的垂直布置線(垂直線)為中心布置在45° 135°的布置角度范圍內(nèi)的第二照相機(jī)12維持在45° 135°的布置角度范圍內(nèi)朝向所述基板100的表面和邊緣部分的聚焦方向，同時(shí)拍攝所述基板100的表面和邊緣部分，然后將其圖像信息傳送到控制單元30。如果完成上述動(dòng)作，則所述控制單元30的檢測(cè)程序組合由所述第一照相機(jī)11拍攝的圖像信息和由所述第二照相機(jī)12拍攝的圖像信息，然后根據(jù)所述組合的圖像信息，當(dāng)假設(shè)在基板100上存在與第一照相機(jī)11位于相同的垂直線上的破裂和破損部分(圖3A、3B、4A、4B的P部分)時(shí)，分別比較所述破裂和破損部分的亮度值以及其周圍的亮度值，然后當(dāng)所述比較的亮度值出現(xiàn)差異時(shí)，可以判斷為在所述基板100上存在破裂或破損。S卩，如果在所述基板100上存在與所述第一照相機(jī)11位于相同的垂直線上的破裂或破損部分P，則雖然所述破裂或破損部分P無法從由所述第一照相機(jī)11拍攝的圖像信息檢測(cè)出來，但是在由布置在與所述第一照相機(jī)11形成45° 135°的布置角度范圍內(nèi)的第二照相機(jī)12拍攝的圖像信息上，因光源的折射或散射現(xiàn)象而導(dǎo)致破裂或破損部分的亮度較暗(圖3A、3B、4A、4B的Q部分)。所述控制單元30的檢測(cè)程序基于由所述第二照相機(jī)12拍攝的圖像信息，比較所述破裂和破損部分的亮度值以及其周圍的亮度值，根據(jù)所述比較結(jié)果，當(dāng)亮度值出現(xiàn)差異時(shí)，可檢測(cè)出在所述基板100上存在破裂或破損。雖然在以上說明中，參照附圖敘述本發(fā)明的基板檢測(cè)裝置的技術(shù)思想，但是這僅僅是舉例說明本發(fā)明的最為優(yōu)選的實(shí)施例，并不是對(duì)本發(fā)明進(jìn)行限定。因此，本發(fā)明不限于上述的特定的優(yōu)選實(shí)施例，在不脫離權(quán)利要求書中要求保護(hù)的本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，只要是本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的具有普通知識(shí)的技術(shù)人員，均可以進(jìn)行各種變形實(shí)施，并且這種變更應(yīng)當(dāng)包含于權(quán)利要求書記載的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種基板檢測(cè)裝置，其特征在于，該基板檢測(cè)裝置包括:拍攝部件、照明部以及控制單元，用以通過圖像信息分析來檢測(cè)投入的基板的表面和/或邊緣部分是否存在破裂或破損，其中， 所述照明部布置在所述基板的上側(cè)或下側(cè)， 所述拍攝部件包括具有互不相同布置角度的第一照相機(jī)、第二照相機(jī)，用以從互不相同的聚焦方向根據(jù)從所述照明部提供的光源分別拍攝基板的表面和/或緣邊部分。
2.如權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一照相機(jī)相對(duì)于所述基板垂直布置， 所述第二照相機(jī)布置在相對(duì)所述第一照相機(jī)的垂直布置線朝兩側(cè)傾斜45°的布置角度范圍內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，一個(gè)以上的相對(duì)于所述基板垂直布置的所述第一照相機(jī)間隔一定距離而并排排列， 所述第二照相機(jī)以與所述第一照相機(jī)對(duì)應(yīng)的數(shù)量并排排列而構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求3所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一照相機(jī)、所述第二照相機(jī)由行掃描照相機(jī)或區(qū)域照相機(jī)構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求3所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制單元組合由所述第一照相機(jī)拍攝的圖像信息和由所述第二照相機(jī)拍攝的圖像信息，根據(jù)組合的圖像信息，分別比較與所述第一照相機(jī)位于相同的垂直線上的存在于基板上的破裂或破損部分的亮度值及其周圍的亮度值，當(dāng)比較的亮度值出現(xiàn)差異時(shí)，判斷為在所述基板上存在破裂或破損。
全文摘要
本發(fā)明公開一種基板檢測(cè)裝置，這種本發(fā)明構(gòu)成基板檢測(cè)裝置，該基板檢測(cè)裝置對(duì)于基板的表面以及邊緣部分，構(gòu)成具有互不相同的聚焦角度的多個(gè)照相機(jī)之后組合分析由多個(gè)照相機(jī)拍攝的圖像信息。據(jù)此，能夠精密地檢測(cè)基板的表面以及邊緣部分上的諸如破裂或破碎等破損狀態(tài)，同時(shí)在向工藝室投入基板之前，事先確認(rèn)基板的質(zhì)量狀態(tài)，由此能夠防止工藝中基板發(fā)生破損。
文檔編號(hào)G02F1/13GK103105401SQ20111046157
公開日2013年5月15日 申請(qǐng)日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月10日
發(fā)明者李淳鐘, 禹奉周, 樸炳澯 申請(qǐng)人:塞米西斯科株式會(huì)社