專利名稱：一種低溫型水系正膠剝離液及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種正膠剝離液及其制備方法，尤其涉及一種用于FPD面板生產(chǎn)的光阻剝離的低溫型水系正膠剝離液及其制備方法。
背景技術(shù)：
低溫型水系正膠剝離液，透明易揮發(fā)性液體，易燃，密度(20°C )約為1. Og/ml。低溫型水系正膠剝離液主要用于FPD (Flat Panel Display，平板顯示器)面板生產(chǎn)的光阻剝離，其使用工藝溫度為80°C左右；目前正膠剝離液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亞砜(DMSO) 和超純水組成，該產(chǎn)品主要存在以下幾點(diǎn)缺點(diǎn)1)用該低溫型水系正膠剝離液進(jìn)行光阻剝離時(shí)容易對(duì)光阻保護(hù)的金屬層產(chǎn)生攻擊，導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低；2)該低溫型水系正膠剝離液的使用工藝溫度要求較高，需加熱到80°C左右，能耗較大；3)乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜(DMSO)對(duì)環(huán)境污染大且對(duì)人體健康有較大傷害。 因此有必要提供低溫型水系正膠剝離液及其制備方法，提高產(chǎn)品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來使用的正膠剝離液造成的對(duì)人體和環(huán)境造成的損害。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種低溫型水系正膠剝離液及其制備方法，能夠提高產(chǎn)品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來使用的正膠剝離液造成的對(duì)人體和環(huán)境造成的損害。本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是提供一種低溫型水系正膠剝離液，包括以下重量百分比的組合物N-甲基吡咯烷酮四％ 31%;二甲基乙酰胺 23. 7% 27. 7%;二乙二醇丁醚 24% 水17% 23%。上述的低溫型水系正膠剝離液，其中，所述N-甲基吡咯烷酮的濃度大于99% (重量百分比)。上述的低溫型水系正膠剝離液，其中，所述二甲基乙酰胺的濃度大于99% (重量百分比)。上述的低溫型水系正膠剝離液，其中，所述二乙二醇丁醚的濃度大于99% (重量百分比)。本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題還提供一種低溫型水系正膠剝離液的制備方法，包括如下步驟先通過自動(dòng)上料系統(tǒng)將一定量N-甲基吡咯烷酮和水加入到反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢?0 30分鐘；然后繼續(xù)通過自動(dòng)上料系統(tǒng)加入二甲基乙酰胺、二乙二醇丁醚和水，使得N-甲基吡咯烷酮的重量百分含量為 31%，二甲基乙酰胺的重量百分含量為23. 7% 27.7%, 二乙二醇丁醚的重量百分含量為M% 沈％，水的重量百分含量為17% 23%時(shí)停止上料，攪拌10 30分鐘；最后開動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過0. 5um過濾器循環(huán)過濾2 3小時(shí)，再經(jīng) 0. 2 μ m的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0. 2 μ m的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。本發(fā)明對(duì)比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果本發(fā)明提供的低溫型水系正膠剝離液及其制備方法，能夠提高產(chǎn)品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來使用的正膠剝離液造成的對(duì)人體和環(huán)境造成的損害。
具體實(shí)施例方式下面通過實(shí)施例進(jìn)一步描述本發(fā)明，但不限于所舉的實(shí)施例。選用含量99%的N-甲基吡咯烷酮(NMP)，電子級(jí)，江陰市江化微電子材料有限公司生產(chǎn)；其指標(biāo)如表1 :
權(quán)利要求
1.一種低溫型水系正膠剝離液，其特征在于，包括以下重量百分比的組合物N-甲基吡咯烷酮四％ 31% ；二甲基乙酰胺 23. 7% 27.7%;二乙二醇丁醚 24% 水17% 23%。
2.如權(quán)利要求1所述的低溫型水系正膠剝離液，其特征在于，所述N-甲基吡咯烷酮的濃度大于99% (重量百分比)。
3.如權(quán)利要求1所述的低溫型水系正膠剝離液，其特征在于，所述二甲基乙酰胺的濃度大于99% (重量百分比)。
4.如權(quán)利要求1所述的低溫型水系正膠剝離液，其特征在于，所述二乙二醇丁醚的濃度大于99% (重量百分比)。
5.一種如權(quán)利要求1所述的低溫型水系正膠剝離液的制備方法，其特征在于，包括如下步驟先通過自動(dòng)上料系統(tǒng)將一定量N-甲基吡咯烷酮和水加入到反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢?0 30分鐘；然后繼續(xù)通過自動(dòng)上料系統(tǒng)加入二甲基乙酰胺、二乙二醇丁醚和水，使得N-甲基吡咯烷酮的重量百分含量為四％ 31%，二甲基乙酰胺的重量百分含量為23. 7% 27.7%，二乙二醇丁醚的重量百分含量為對(duì)^ 沈1^，水的重量百分含量為17% 23%時(shí)停止上料， 攪拌10 30分鐘；最后開動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過0. 5um過濾器循環(huán)過濾2 3小時(shí)，再經(jīng) 0. 2 μ m的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0. 2 μ m的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種低溫型水系正膠剝離液及其制備方法，所述低溫型水系正膠剝離液包括以下重量百分比的組合物N-甲基吡咯烷酮29％～31％；二甲基乙酰胺23.7％～27.7％；二乙二醇丁醚24％～26％；水17％～23％。本發(fā)明提供的低溫型水系正膠剝離液及其制備方法，能夠提高產(chǎn)品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來使用的正膠剝離液造成的對(duì)人體和環(huán)境造成的損害。
文檔編號(hào)G03F7/42GK102566333SQ20111046173
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者季文慶, 朱龍, 欒成, 殷福華, 邵勇 申請(qǐng)人:江陰江化微電子材料股份有限公司