專利名稱：一種薄片及其固定裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及光刻機設備領域，且特別涉及一種薄片及其固定裝置。
背景技術：
如圖1所示，在光刻機曝光系統(tǒng)中，為了校正照明均勻性或者產(chǎn)生特定形狀、能量分布的照明場，需要添加光闌，而在有些位置上學或者機械部件之間允許的間隙很小，一般小于0. 4mm，這時就需要插入擋光薄片做光闌。擋光薄片受到空間約束，可用空間有限，安裝比較困難。現(xiàn)有技術中對于擋光薄片固定的方法有壓持法、膠結法和電化學附著法。壓持法通常對薄片的安裝采用雙面壓持或者單面點膠。例如將薄片附著于細棒末端的網(wǎng)狀結構上，細棒插入兩個壓持面之間，通過壓持面的壓持固定薄片，此結構通過推拉棒狀物可以調(diào)節(jié)薄片的位置，此結構的缺點一方面是薄片附著在網(wǎng)狀物上的工藝難度比較大，而且此結構缺少校正薄片翹曲和細棒彎曲的機制?；蛘呤褂靡环NU形薄片保持型架，U形架中有夾持部位，通過夾持部位對薄片的壓緊來固定薄片，此結構比較簡練，對于固定整塊的薄片比較有利，能夠有效的抑制薄片變形，但是如果用于固定光學中的多個伸出的薄片，則薄片伸出端很容易搖擺，固定非常困難。在空間要求非常狹小的情況下，擋光薄片厚度很小(0. 2mm以下)，而且還要收到輻射熱，容易翹曲變形。擋光薄片的安裝難度和防翹曲難度比較大。雙面壓持幾乎是不可能的，而單面點膠在光線光能相對集聚的部位又存在很大風險。電化學附著法是一種用電化學原理將金屬薄片固定在基體上的方法，這種方法最終成型出的結構比較簡單，但是加工需要專用設備，而且薄片拆卸也不大方便?，F(xiàn)有技術中對于擋光薄片固定不管使用哪一種方法，都難以抑制薄片伸出端的翹曲。而對于擋光薄片來說，彈性翹曲以及受熱翹曲是比較難解決的問題。因此，急需一種應用于光刻機系統(tǒng)小間隙下?lián)豕獗∑墓潭ㄑb置，能抑制薄片伸出端的彈性翹曲以及受熱翹曲，使得薄片容易固定，方便拆卸。

實用新型內(nèi)容本實用新型提出一種薄片及其固定裝置，能在小間隙情況下安裝薄片，抑制薄片伸出端的彈性翹曲以及受熱翹曲，使得薄片容易固定，方便拆卸。為了達到上述目的，本實用新型提出一種薄片，所述薄片包含一片以上的磁性L 形薄片或磁性平直薄片。進一步的，所述薄片的材料為含有鐵、鈷或者鎳的合金材料。本實用新型還提供一種薄片固定裝置，包括安裝基體和磁性機構，所述薄片通過磁性機構吸附于安裝基體上。進一步的，所述安裝基體中設有垂直于所述薄片安裝方向的開孔，所述磁性機構安裝于所述開孔中。[0014]進一步的，所述薄片為磁性L形薄片，通過螺釘或彈性壓持結構固定安裝在所述安裝基體上。進一步的，所述彈性壓持結構為彈片或帶有平面的彈性柱塞。進一步的，所述薄片為磁性平直薄片，通過耐熱膠固定安裝在所述安裝基體上。進一步的，所述磁性機構為一個柱狀或馬蹄狀的永磁體或電磁鐵。進一步的，所述磁性機構包含多個柱狀或馬蹄狀的，磁極交錯排列的永磁體或電磁鐵。進一步的，所述電磁鐵配有電磁鐵線圈電流調(diào)節(jié)裝置。進一步的，所述開孔靠近所述薄片的一端的孔徑比磁性機構的外徑小，所述開孔遠離所述薄片的一端內(nèi)裝有磁體限位螺釘。 進一步的，所述安裝基體的內(nèi)部或外部設有散熱結構。進一步的，所述散熱結構為冷卻孔，跨度覆蓋所述薄片，設置于所述安裝基體中。進一步的，所述冷卻孔由若干通孔和盲孔組成，并配有密封螺釘。進一步的，所述冷卻孔的兩端設有內(nèi)螺紋，裝有管接頭，連接通入氣體或者液體的管道。與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的薄片是有磁性的，通過配套的磁性機構吸附緊貼到帶有冷卻孔的安裝基體上，實現(xiàn)了在小間隙情況下安裝薄片，抑制薄片伸出端的彈性翹曲以及受熱翹曲的目標，使得薄片容易固定，方便拆卸。

圖1所示為現(xiàn)有技術的擋光薄片安裝于光刻機系統(tǒng)示意圖；圖2所示為本實用新型較佳實施例的薄片固定裝置結構示意圖；圖3所示為本實用新型較佳實施例的薄片固定裝置的斷面結構示意圖；圖4所示為本實用新型較佳實施例的磁性結構剖面示意圖；圖5所示為本實用新型較佳實施例的安裝基體剖面示意圖。
具體實施方式
為了更了解本實用新型的技術內(nèi)容，特舉具體實施例并配合所附圖示說明如下。本實用新型提出一種薄片，所述薄片包含一片以上的磁性L形薄片(如圖2中1 所示)或磁性平直薄片，所述薄片采用含有鐵、鈷或者鎳的合金材料制成。請參考圖2和圖3，本實用新型還提供一種薄片固定裝置，包括安裝基體3和磁性機構2，所述薄片通過磁性機構2吸附于安裝基體上，所述安裝基體3上設有安裝孔5，用于將薄片1安裝到光刻機系統(tǒng)中。本實施例中，所述薄片1包含一片以上磁性L形薄片，通過螺釘或彈性壓持結構11固定安裝于所述安裝基體3上，用于安裝所述螺釘或彈性壓持結構11的孔10設于安裝基體3中，方向與開孔20垂直，所述彈性壓持結構11優(yōu)選為彈片或帶有平面的彈性柱塞。在本發(fā)明的其他實施例中，所述薄片1還可以包含多片磁性平直薄片，通過耐熱膠固定安裝在所述安裝基體3上。本實施中，薄片1中的相鄰兩片之間有微小重疊，以防止漏光(微小層疊導致薄片組合在一起后實際厚度有所增加)。對于空間要求嚴酷的地方，可使薄片不連接，但是不連接將可能產(chǎn)生縫隙。具體使用何種布置，視系統(tǒng)對空間和縫隙的容忍程度而定。由于薄片1接受光照，并連同薄片固定裝置安裝在光路附近，輻射熱一方面可能增加薄片1的溫升和變形，另一方面磁性機構11的磁性也會收到溫度的影響。所以為了輻射熱能夠及時傳導出去，安裝基體3設有散熱結構4。請參考圖3和圖4，所述安裝基體3中設有開孔20，磁性機構2安裝于安裝基體3 的開孔20中，所述開孔20靠近所述薄片1的一端的孔徑比磁性機構2的外徑小，使得磁性機構2不能自由伸出，遠離所述薄片1的一端內(nèi)裝有磁體限位螺釘22，磁體限位螺釘22通過限位螺釘孔21安裝入安裝基體3中，使得磁性機構2也不能從磁體限位螺釘22端的開孔20自由伸出。所述磁性機構2包含多個柱狀永磁體或電磁鐵，每一個柱狀永磁體或電磁鐵對應薄片1中的一片，磁力對薄片1的吸引可減小薄片1的翹曲，并且磁性機構2靠近薄片1的一側，S極、N極交錯分布，這種分布可以使薄片1中的相鄰兩片不會因為磁極相同而互相排斥增大縫隙，當磁性機構2包含電磁鐵時，可配電磁鐵線圈電流調(diào)節(jié)裝置，可以通過改變通過電磁鐵線圈中電流，來調(diào)節(jié)吸附磁力的大小，從而提高整個磁性夾持結構的適應性，校正薄片1的彈性翹曲。在其他實施例中，所述磁性機構2也可以為一個柱狀或馬蹄狀的永磁體或電磁鐵，此時用于安裝磁性機構2的安裝基體3的開孔20應盡量設在靠近薄片 1的地方；所述磁性機構2還可以包含多個磁極交錯排列的馬蹄狀永磁體或電磁鐵，每一個馬蹄狀永磁體或電磁鐵對應薄片1中的相鄰兩片。請參考圖5，所述散熱結構4為冷卻孔，由若干通孔42和盲孔41組成，設置于所述安裝基體3中，通孔42的跨度覆蓋所述薄片1的所有單片，便于薄片1、安裝基體3和磁性機構2散熱。盲孔41的孔端設有內(nèi)螺紋，裝有管接頭43，連接通入氣體或者液體的管道，拓展氣路或液路，用于抑制薄片1的受熱翹曲。對于不使用的孔端，使用密封螺釘44封堵。綜上所述，本實用新型的薄片是有磁性的，通過配套的磁性機構吸附緊貼到帶有冷卻孔的安裝基體上，實現(xiàn)了在小間隙情況下安裝薄片，抑制薄片伸出端的彈性翹曲以及受熱翹曲的目標，使得薄片容易固定，方便拆卸。雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更動與潤飾，因此本實用新型的保護范圍當視權利要求書所界定者為準。
權利要求1.一種薄片，其特征在于，包含一片以上的磁性L形薄片或磁性平直薄片。
2.如權利要求1所述的薄片，其特征在于，所述薄片的材料為含有鐵、鈷或者鎳的合金材料。
3.一種應用如權利要求1所述薄片的固定裝置，其特征在于，包括安裝基體和磁性機構，所述薄片通過磁性機構吸附于安裝基體上。
4.如權利要求3所述的固定裝置，其特征在于，所述安裝基體中設有垂直于所述薄片安裝方向的開孔，所述磁性機構體安裝于所述開孔中。
5.如權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述薄片為磁性L形薄片，通過螺釘或彈性壓持結構固定安裝在所述安裝基體上。
6.如權利要求5所述的固定裝置，其特征在于，所述彈性壓持結構為彈片或帶有平面的彈性柱塞。
7.如權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述薄片為磁性平直薄片，所述薄片通過耐熱膠固定安裝在所述安裝基體上。
8.如權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述磁性機構為一個柱狀或馬蹄狀的永磁體或電磁鐵。
9.如權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述磁性機構包含多個柱狀或馬蹄狀的，磁極交錯排列的永磁體或電磁鐵。
10.如權利要求8或9所述的固定裝置，其特征在于，所述電磁鐵配有電磁鐵線圈電流調(diào)節(jié)裝置。
11.如權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述開孔靠近所述薄片的一端的孔徑比磁性機構的外徑小，所述開孔遠離所述薄片的一端內(nèi)裝有磁體限位螺釘。
12.如權利要求3所述的固定裝置，其特征在于，所述安裝基體的內(nèi)部或外部設有散熱結構。
13.如權利要求12所述的固定裝置，其特征在于，所述散熱結構為冷卻孔，跨度覆蓋所述薄片，設置于所述安裝基體中。
14.如權利要求13所述的固定裝置，其特征在于，所述冷卻孔由若干通孔和盲孔組成， 并配有密封螺釘。
15.如權利要求13所述的固定裝置，其特征在于，所述冷卻孔的兩端設有內(nèi)螺紋，裝有管接頭，連接通入氣體或者液體的管道。
專利摘要本實用新型提出一種薄片及其固定裝置，所述薄片包含一片以上的磁性L形薄片或磁性平直薄片；所述固定裝置包括安裝基體和磁性機構，所述薄片通過磁性機構吸附于安裝基體上。本實用新型的薄片是有磁性的，通過配套的磁性機構對薄片的吸附磁力，將薄片緊貼到帶有冷卻孔的安裝基體上，并實現(xiàn)了在小間隙情況下安裝薄片，抑制薄片伸出端的彈性翹曲以及受熱翹曲的目標，使得薄片容易固定，方便拆卸。
文檔編號G02B5/00GK202008537SQ20112010052
公開日2011年10月12日 申請日期2011年4月8日 優(yōu)先權日2011年4月8日
發(fā)明者湛賓洲 申請人:上海微電子裝備有限公司