專利名稱：硅基液晶屏生產(chǎn)線紫外框膠曝光機結(jié)構(gòu)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種框膠曝光機結(jié)構(gòu)，特別涉及硅基液晶屏生產(chǎn)線紫外框膠曝光機結(jié)構(gòu)。
背景技術：
LCOS (Liquid Crystal on Silicon，硅基液晶)液晶顯示技術是 LCD (Liquid Crystal Display,液晶顯不)技術與 CMOS (complementary metal oxide semiconductor, 互補金屬氧化物半導體)集成電路技術有機結(jié)合的反射型新型顯示技術。首先在硅晶圓上運用CMOS工藝制作每行或每列的像素均擁有反射電極的LCOS芯片，然后將LCOS芯片與擁有透明電極的玻璃基板保持適當距離貼合，且在LCOS芯片與擁有透明電極的玻璃基板之間灌入液晶材料，并用適量封結(jié)膠把液晶材料固定在LCOS芯片與擁有透明電極的玻璃基板之間形成反射式液晶屏，通過傳輸不同電壓于LCOS芯片上每行或每列的像素的反射電極，從而控制液晶材料導光強弱，實行對入射光的反射程度調(diào)制完成(灰度)圖像顯示。近年來迅速崛起的便攜移動通訊及無線顯示產(chǎn)品對硅基液晶屏的需求量日趨增大，硅基液晶屏固有的優(yōu)點決定了移動顯示產(chǎn)品的發(fā)展前景。目前批量生產(chǎn)硅基液晶屏的方法有(詳見發(fā)明專利申請公開說明書(申請?zhí)?0061003^20. 7)，發(fā)明名稱“液晶顯示器LCOS的制作方法及其壓合裝置”)主要是在整片硅基板上制作LCOS液晶顯示器，主要材料是，設計多個 LCOS Die的整片的硅基板和作為硅基液晶顯示器公共電極的氧化銦錫玻璃板，工作表面分別經(jīng)過清洗和真空鍍制SiO2取向膜，然后在硅基板上涂布對應的液晶盒邊框膠，再將氧化銦錫玻璃板貼合在硅基板上，經(jīng)壓合預固化和熱固化后成一體，然后分別進行下表面(硅基板)鋸割，上表面(玻璃)金剛刀劃痕，再裂片成一個個液晶盒，經(jīng)對液晶盒灌注后就成為成品。此方法的缺陷是采用熱固化框膠，通常需要200度左右的穩(wěn)定烘烤才能固化框膠，容易引發(fā)硅晶圓和玻璃出現(xiàn)形變差異，從而影響硅基液晶屏的品質(zhì)；所述工序設備沒有具體結(jié)構(gòu)可循，因而缺乏實用價值。目前硅基液晶屏生產(chǎn)線均采用熱固化框膠。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服已有技術的不足，提供一種常溫條件下可以完成框膠固化，避免了硅晶圓與氧化銦錫玻璃材質(zhì)不同帶來的形變差異現(xiàn)象的硅基液晶屏生產(chǎn)線紫外框膠曝光機結(jié)構(gòu)。為了達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是硅基液晶屏生產(chǎn)線紫外框膠曝光機結(jié)構(gòu)，它包括曝光臺、曝光控制系統(tǒng)、曝光臺掃描動力系統(tǒng)和紫外燈集成器，所述曝光臺包括其底部固定在曝光臺基座上的硅基液晶屏承載盤氣缸，在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸的頂部兩側(cè)分別固定有曝光臺A柱和曝光臺B 柱，硅基液晶屏承載盤的下部插在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)，硅基液晶屏承載盤活塞密封圈設置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)壁與所述硅基液晶屏承載盤外壁之間并且與所述硅基液晶屏承載盤氣缸和硅基液晶屏承載盤接觸面均形成緊配合，由硅基液晶屏承載盤、硅基液晶屏承載盤活塞密封圈與硅基液晶屏承載盤氣缸形成的密閉空間構(gòu)成硅基液晶屏承載盤氣腔，進氣孔B設置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸上且與硅基液晶屏承載盤氣腔相連通，在所述的硅基液晶屏承載盤的上部開有硅基液晶屏承載盤真空腔，多個硅基液晶屏承載盤真空孔開在硅基液晶屏承載盤頂面上并與硅基液晶屏承載盤真空腔相連通，安裝在硅基液晶屏承載盤上的真空排氣孔C與硅基液晶屏承載盤真空腔相連通，曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸的兩端分別與固定在所述的曝光臺B柱頂面上的兩個鉸鏈支撐件轉(zhuǎn)動相連，所述曝光臺還包括其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃直徑尺寸的透明石英玻璃的蓋板架， 所述蓋板架的一側(cè)與所述的曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動相連并且蓋板架的另一側(cè)架設在安裝在曝光臺基座上的曝光臺C柱上，所述的蓋板架能夠繞所述曝光臺鉸鏈中軸線逆時針旋轉(zhuǎn) 180度后接觸到所述曝光臺A柱頂面與之相接觸配合，所述曝光臺基座與曝光臺掃描動力系統(tǒng)相連并且在所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)的驅(qū)動下能夠沿χ軸和y軸方向運動，工控機B 通過紫外光源總線與至少由6只紫外燈構(gòu)成的紫外燈集成器相連，所述曝光臺與所述的紫外燈集成器相對設置以使紫外燈能夠照射到安裝在硅基液晶屏承載盤頂部的紫外框膠，工控機B通過掃描動力系統(tǒng)總線與所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)相連接并且工控機B通過曝光機面板控制總線與曝光機面板控制器相連接。本實用新型的優(yōu)點在于采用本裝置在硅基液晶屏成盒工藝流程中，實現(xiàn)了一邊壓擠硅基液晶屏達到規(guī)定的硅晶圓與氧化銦錫玻璃之間的間隙值而成型，一邊對紫外框膠進行曝光固化的模式，從而得以實現(xiàn)常溫條件下完成框膠固化，避免了硅晶圓與氧化銦錫玻璃材質(zhì)不同帶來的形變差異現(xiàn)象，可以提高硅基液晶屏組裝品質(zhì)，具有批量生產(chǎn)的重大實用價值。

圖1是本實用新型的硅基液晶屏生產(chǎn)線紫外框膠曝光機結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)框圖；圖2是圖1所示的裝置載入硅基液晶屏時曝光臺的頂視示意圖；圖3是圖2所示的裝置的截面示意圖；圖4是采用圖1所示的裝置進行硅基液晶屏框膠固化曝光時曝光臺的頂視示意圖；圖5是圖4所示的裝置的截面示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合具體實施例對本實用新型進行詳細描述。如附圖所示的本實用新型的硅基液晶屏生產(chǎn)線紫外框膠曝光機結(jié)構(gòu)，它包括曝光臺66、曝光控制系統(tǒng)89、曝光臺掃描動力系統(tǒng)86和紫外燈集成器87，所述曝光臺66包括其底部固定在曝光臺基座59上的硅基液晶屏承載盤氣缸M，在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸M的頂部兩側(cè)分別固定有曝光臺A柱58和曝光臺B柱64，硅基液晶屏承載盤53的下部插在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸M內(nèi)，硅基液晶屏承載盤活塞密封圈55設置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸M內(nèi)壁與所述硅基液晶屏承載盤53外壁之間并且與所述硅基液晶屏承載盤氣缸M和硅基液晶屏承載盤53接觸面均形成緊配合，由硅基液晶屏承載盤53、硅基液晶屏承載盤活塞密封圈陽與硅基液晶屏承載盤氣缸M形成的密閉空間構(gòu)成硅基液晶屏承載盤氣腔56，進氣孔B57設置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸M上且與硅基液晶屏承載盤氣腔56相連通，所述硅基液晶屏承載盤氣腔56通過所述進氣孔B57進行充、放氣。在所述的硅基液晶屏承載盤53的上部開有硅基液晶屏承載盤真空腔52，多個硅基液晶屏承載盤真空孔51開在硅基液晶屏承載盤53頂面上并與硅基液晶屏承載盤真空腔52相連通，安裝在硅基液晶屏承載盤53上的真空排氣孔C50與硅基液晶屏承載盤真空腔52相連通，通過所述真空排氣孔C50對所述硅基液晶(LC0Q屏承載盤真空腔52抽真空或充氣。曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸60與連接在所述的曝光臺B柱64頂面上的兩個鉸鏈支撐件94相連，曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸60與固定在所述的曝光臺B柱64頂面上的兩個鉸鏈支撐件94轉(zhuǎn)動相連，所述曝光臺66 還包括其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃40直徑尺寸的透明石英玻璃61的蓋板架62，所述蓋板架62的一側(cè)與所述的曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸60轉(zhuǎn)動相連并且蓋板架62的另一側(cè)架設在安裝在曝光臺基座上的曝光臺C柱63上，所述的蓋板架62能夠繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48逆時針旋轉(zhuǎn)180度后接觸到所述曝光臺A柱58頂面相接觸配合。蓋板架62 — 端與所述曝光臺C柱63相接觸且能夠繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48逆時針旋轉(zhuǎn)180度后接觸到所述曝光臺A柱58，且能夠停留，并且再順時針繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48轉(zhuǎn)180度后接觸到所述曝光臺C柱63。由氧化銦錫玻璃40、具有灌晶口 47的圖案框膠37、硅晶圓 24構(gòu)成的硅基液晶屏46可以放置在硅基液晶屏承載盤53上。所述曝光臺基座59與曝光臺掃描動力系統(tǒng)86相連并且在所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86的驅(qū)動下能夠沿χ軸92和y 軸91方向運動，所述曝光控制系統(tǒng)89包括紫外光源總線80、工控機B81、掃描動力系統(tǒng)總線82、曝光機面板控制總線83和曝光機面板控制器84，其中所述工控機B81通過所述紫外光源總線80與至少由6只紫外燈87構(gòu)成的所述紫外燈集成器85相連，所述曝光臺66與所述的紫外燈集成器85相對設置以使紫外燈能夠照射到安裝在硅基液晶屏承載盤53頂部的紫外框膠，工控機B81通過掃描動力系統(tǒng)總線82與所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86相連接并且工控機B81通過曝光機面板控制總線83與曝光機面板控制器84相連接以輸入運動控制信號。所述的曝光臺掃描動力系統(tǒng)86可以為導軌滑塊結(jié)構(gòu)或者可以為絲杠螺母等常規(guī)現(xiàn)有結(jié)構(gòu)。本裝置的工作過程如下1)將所述硅基液晶屏46輸送進入所述硅基液晶屏承載盤53上、且硅基液晶屏46 結(jié)構(gòu)中的硅晶圓M與所述硅基液晶屏承載盤53相接觸，接著所述硅基液晶屏承載盤真空腔52通過所述真空排氣孔C50排氣形成真空狀態(tài)、且通過所述硅基液晶屏承載盤真空孔51 將承載的硅基液晶屏46吸附在所述硅基液晶屏承載盤53上，2)所述蓋板架62 (內(nèi)嵌有透明石英玻璃61)繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48逆時針至少旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述蓋板架62的一端接觸到所述曝光臺A柱58，且與所述曝光臺A柱58保持接觸，3)所述硅基液晶屏承載盤氣腔56通過所述進氣孔B57充氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53接近所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61直至所述硅基液晶屏46的氧化銦錫玻璃40與所述透明石英玻璃61緊密接觸，[0021]4)根據(jù)所述硅基液晶屏46使用的圖案框膠37材質(zhì)情況、硅晶圓M與氧化銦錫玻璃40之間的間隙要求，保持對所述進氣孔B57有1個大氣壓 2個大氣壓的壓力1分鐘 10分鐘、且同時通過曝光控制系統(tǒng)89預設程序的控制，使得所述曝光臺66受到所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86的作用、所述硅基液晶屏46在點亮的所述紫外燈87照射下沿χ軸92運動或者沿y軸91運動30秒 2分鐘，使得所述圖案框膠37在所述紫外燈87照射下固化，5)當所述圖案框膠37固化以后，這時對所述進氣孔B57放氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53在自身重力的作用下離開所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61 —定距離，接著將所述蓋板架62繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48順時針至少旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述蓋板架62的一端接觸到所述曝光臺C柱63，且同時對真空排氣孔C50充氣直至解除所述硅基液晶屏承載盤真空孔51對所述硅基液晶屏46的吸附作用，得以完成框膠曝光工藝過程。
權(quán)利要求1.硅基液晶屏生產(chǎn)線紫外框膠曝光機結(jié)構(gòu)，它包括曝光臺、曝光控制系統(tǒng)、曝光臺掃描動力系統(tǒng)和紫外燈集成器，其特征在于所述曝光臺包括其底部固定在曝光臺基座上的硅基液晶屏承載盤氣缸，在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸的頂部兩側(cè)分別固定有曝光臺A柱和曝光臺B柱，硅基液晶屏承載盤的下部插在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)，硅基液晶屏承載盤活塞密封圈設置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)壁與所述硅基液晶屏承載盤外壁之間并且與所述硅基液晶屏承載盤氣缸和硅基液晶屏承載盤接觸面均形成緊配合，由硅基液晶屏承載盤、硅基液晶屏承載盤活塞密封圈與硅基液晶屏承載盤氣缸形成的密閉空間構(gòu)成硅基液晶屏承載盤氣腔，進氣孔B設置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸上且與硅基液晶屏承載盤氣腔相連通，在所述的硅基液晶屏承載盤的上部開有硅基液晶屏承載盤真空腔， 多個硅基液晶屏承載盤真空孔開在硅基液晶屏承載盤頂面上并與硅基液晶屏承載盤真空腔相連通，安裝在硅基液晶屏承載盤上的真空排氣孔C與硅基液晶屏承載盤真空腔相連通，曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸的兩端分別與固定在所述的曝光臺B柱頂面上的兩個鉸鏈支撐件轉(zhuǎn)動相連，所述曝光臺還包括其上開有凹槽的蓋板架，所述蓋板架的一側(cè)與所述的曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動相連并且蓋板架的另一側(cè)架設在安裝在曝光臺基座上的曝光臺C柱上，所述的蓋板架能夠繞所述曝光臺鉸鏈中軸線逆時針旋轉(zhuǎn)180度后接觸到所述曝光臺A柱頂面與之相接觸配合，所述曝光臺基座與曝光臺掃描動力系統(tǒng)相連并且在所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)的驅(qū)動下能夠沿χ軸和y軸方向運動，工控機B通過紫外光源總線與至少由6只紫外燈構(gòu)成的紫外燈集成器相連，所述曝光臺與所述的紫外燈集成器相對設置以使紫外燈能夠照射到安裝在硅基液晶屏承載盤頂部的紫外框膠，工控機B通過掃描動力系統(tǒng)總線與所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)相連接并且工控機B通過曝光機面板控制總線與曝光機面板控制器相連接。
專利摘要本實用新型公開了硅基液晶屏生產(chǎn)線紫外框膠曝光機結(jié)構(gòu)，它包括曝光臺、曝光控制系統(tǒng)、曝光臺掃描動力系統(tǒng)和紫外燈集成器，曝光臺包括其底部固定在曝光臺基座上的硅基液晶屏承載盤氣缸，在硅基液晶屏承載盤氣缸的頂部兩側(cè)固定有曝光臺A柱和B柱，硅基液晶屏承載盤的下部插在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)，由硅基液晶屏承載盤、硅基液晶屏承載盤活塞密封圈與硅基液晶屏承載盤氣缸形成的密閉空間構(gòu)成硅基液晶屏承載盤氣腔，曝光臺還包括其中央鑲嵌有透明石英玻璃的蓋板架，蓋板架能夠接觸到曝光臺A柱頂面與之相接觸配合。本結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了一邊壓擠硅基液晶屏達到規(guī)定的硅晶圓與氧化銦錫玻璃之間的間隙值而成型，一邊對紫外框膠進行曝光固化的模式。
文檔編號G03F7/20GK202230270SQ20112032432
公開日2012年5月23日 申請日期2011年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月31日
發(fā)明者代永平, 范義, 范偉, 董續(xù)懷 申請人:深圳市長江力偉股份有限公司