專利名稱：干涉測量物鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及測量領(lǐng)域的一種物鏡，特別涉及一種非接觸干涉測量物鏡。
背景技術(shù)：
干涉測量物鏡是一種非接觸測量物鏡，主要應(yīng)用于顯微鏡的機體部分。然而，現(xiàn)有的干涉物鏡，卻不能在物鏡上進行干涉條紋的調(diào)節(jié)，因此當(dāng)需要調(diào)節(jié)干涉條紋時，要在物鏡下方安裝調(diào)角工作臺(X軸Y軸)才能調(diào)節(jié)干涉條紋寬度。這樣操作調(diào)節(jié)難度很高，一般人很難操作，使調(diào)節(jié)過程變的非常復(fù)雜。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的干涉測量物鏡，它不能在物鏡上進行干涉條紋寬度的調(diào)節(jié)，要調(diào)節(jié)干涉條紋的寬度，要在物鏡下方安裝調(diào)角工作臺(X軸Y軸)才能調(diào)節(jié)干涉條紋的寬度，其操作調(diào)節(jié)難度高，一般人很難操作。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是提供一種干涉測量物鏡，其特征包含物鏡、分光鏡、參照鏡三部分；所述的分光鏡，位于物鏡下方且可360度旋轉(zhuǎn)；所述的參照鏡，包含一零位光闌與兩個干涉條紋調(diào)節(jié)手輪，且與所述的分光鏡相連，所述的零位光闌與所述的干涉條紋調(diào)節(jié)手輪都可自由調(diào)節(jié)。本實用新型的有益效果是采用本實用新型，不需要在物鏡下方安裝調(diào)角工作臺 (X軸Y軸)，只需在物鏡上調(diào)節(jié)干涉條紋手輪，即可實現(xiàn)對干涉條紋的寬度、干涉條紋的旋轉(zhuǎn)角度等參數(shù)的調(diào)節(jié)，操作方便，任何人都能操作它。另外，本干涉測量物鏡在不需要使用干涉條紋時，可以關(guān)掉零位光闌，就是無限遠平場復(fù)消色差物鏡，一只物鏡，二種用途，經(jīng)濟頭惠。

圖I是本干涉測量物鏡結(jié)構(gòu)示意圖；其中1、物鏡，2、分光鏡，3、零位光闌，4、干涉條紋調(diào)節(jié)手輪。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖，對本實用新型做進一步說明。如圖I所示干涉測量物鏡，包含物鏡I、分光鏡2、零位光闌3、干涉條紋調(diào)節(jié)手輪4，其中零位光闌3和干涉條紋調(diào)節(jié)手輪4組成參照鏡；所述的分光鏡，位于物鏡下方且可360度旋轉(zhuǎn)；所述的零位光闌與所述的干涉條紋調(diào)節(jié)手輪都可自由調(diào)節(jié)。使用時，只需要調(diào)節(jié)干涉條紋手輪，就可以改變干涉條紋的寬度和干涉條紋的旋轉(zhuǎn)角度等參數(shù)。另外，在不需要使用干涉條紋時，可以關(guān)掉零位光闌，就是無限遠平場復(fù)消色差物鏡。[0013]所述的干涉測量物鏡是非接觸測量物鏡，只要顯微鏡部機體是鏡筒長(F = 200mm)、無限遠鏡筒和帶有同軸照明的，都可以使用本干涉物鏡。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型在漢語應(yīng)用中的部分有效方式，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型適用于任何利用中文語言特征的驗證內(nèi)容，這些驗證內(nèi)容都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種干涉測量物鏡，其特征包含物鏡、分光鏡、參照鏡三部分；所述的分光鏡，位于物鏡下方且可360度旋轉(zhuǎn)；所述的參照鏡，包含一零位光闌與兩個干涉條紋調(diào)節(jié)手輪，且與所述的分光鏡相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的干涉測量物鏡，其特征在于，所述的零位光闌與所述的干涉條紋調(diào)節(jié)手輪都可自由調(diào)節(jié)。
專利摘要一種干涉測量物鏡，其特征包含物鏡、分光鏡、參照鏡三部分；所述的分光鏡，位于物鏡下方且可360度旋轉(zhuǎn)；所述的參照鏡，包含一零位光闌與兩個干涉條紋調(diào)節(jié)手輪，所述的零位光闌與所述的干涉條紋調(diào)節(jié)手輪都可自由調(diào)節(jié)。采用本實用新型，不需要在物鏡下方安裝調(diào)角工作臺，只需在物鏡上調(diào)節(jié)干涉條紋手輪，即可實現(xiàn)對干涉條紋的寬度、干涉條紋的旋轉(zhuǎn)角度等參數(shù)的調(diào)節(jié)，操作方便，任何人都能操作它。另外，本干涉測量物鏡在不需要使用干涉條紋時，可以關(guān)掉零位光闌，就是無限遠平場復(fù)消色差物鏡，一只物鏡，二種用途，經(jīng)濟實惠。
文檔編號G02B21/02GK202351500SQ201120353670
公開日2012年7月25日 申請日期2011年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月20日
發(fā)明者小坂春男 申請人:小坂春男