專利名稱：大型膜用框體及大型膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種大型膜用框體，其用于防止異物附著于在制造例如IC(Integrated Circuit :集成 電路)、LSI (Large Scale Integration :大型集成電路)、TFT型 LCD (Thin Film Transistor, Liquid Crystal Display :薄膜晶體管液晶顯不器)等半導(dǎo)體裝置時的光刻工序中使用的光掩模、標線片(> ^ ^ ^ 上。
背景技術(shù)：
以往，在制造半導(dǎo)體電路圖案等的過程中，在光掩模、標線片的兩面?zhèn)扰渲帽环Q為膜的防塵部件，防止異物附著于光掩模、標線片上。作為膜的一般構(gòu)造，能夠列舉出在金屬、陶瓷或聚合物制的框體的一側(cè)粘貼聚合物或玻璃等透明的薄膜，在其相反側(cè)設(shè)有用于粘貼在掩模上的粘合劑層(粘合材料)的構(gòu)造。例如，膜在具有與光掩模、標線片的形狀相吻合的形狀的厚度為幾毫米左右的框體的一個緣面上展開地粘接厚度為IOym以下的由硝化纖維素或纖維素衍生物等透明的高分子膜構(gòu)成的表膜，且在膜用框體的另一個緣面借助粘合材料粘合在光掩模、標線片的表面上。在異物附著于光掩模、標線片的表面的情況下，該異物在形成于半導(dǎo)體片的光致抗蝕劑上成像而導(dǎo)致電路圖案缺陷，但在將膜配置在光掩模、標線片的至少圖案面的情況下，由于附著于膜表面的異物的聚焦位置偏移，因此，不會在形成于半導(dǎo)體片的光致抗蝕劑上成像，從而不會使電路圖案產(chǎn)生缺陷。另外，近年來，鑒于各種多媒體的普及，期望一種能夠應(yīng)用于在能夠進行高畫質(zhì)、高精細顯示的大型彩色TFTLCD的光刻工序中使用的大型光掩模的大型膜。例如，在專利文獻I中提出了一種能夠應(yīng)用于大型光掩模的大型膜。另外，在專利文獻2中也提出了一種為了應(yīng)對大型膜用框體的撓曲、變形，而利用了框體和彈性模量大于框體的加強材料的框體。另外，在專利文獻3中也提出了利用將彈性模量不同的兩種以上材料在框體的厚度方向上接合而成的框體，作為用于在需要高析像度的曝光過程中使用的200nm以下的紫外光曝光、且不影響掩模的平坦性精度的膜用框體。另外，在專利文獻4中公開了一種液晶顯示器的屏蔽用框架作為其它領(lǐng)域的接合框體。在先技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I :日本特開2001 - 109135號公報專利文獻2 :日本特開2006 - 284927號公報專利文獻3 :日本特開2009 - 063740號公報專利文獻4 :日本特開2005 - 141170號公報
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題但是，膜用框體是通過沖裁一塊片狀母材來制作的，大多是沒有接合部的一體型的膜用框體。這是基于確保膜的平坦性的觀點等。但是，根據(jù)母材的平坦性不同，也存在無法用于制作膜用框體的母材。另外，雖然存在具有平坦性的母材，但是膜用框體越大型化，越不容易實現(xiàn)膜用框體的平坦性的精度。因此，制造工序也花費時間，因此會導(dǎo)致生產(chǎn)率下降，也會導(dǎo)致膜用框體的高成本。另外，伴隨著大型化，鑒于膜用框體本身的自重、表膜的張力、由溫度變化引起的應(yīng)力等各種主要原因，有可能在膜用框體中發(fā)生撓曲、變形。因此，通常使用通過沖裁剛性較高的一塊片狀母材而制作的膜用框體。從膜用框體或膜的操作性的方面考慮，這種膜用框體的撓曲、變形并不理想。另夕卜，若在膜用框體中發(fā)生撓曲、變形，則也有可能在膜用框體與光掩模等之間產(chǎn)生空氣路 徑。另外，這種膜用框體的撓曲、變形是因?qū)⒈砟ふ迟N在膜用框體上之后表膜的張力朝向內(nèi)側(cè)而產(chǎn)生的，但由于光掩模生產(chǎn)商要求確保曝光面積，因此，需要盡可能地減小這種膜用框體的撓曲、變形。另一方面，存在增大膜用框體的截面面積來提升膜用框體的剛性的方法，但考慮到有效曝光面積等，該方法并不理想。鑒于上述理由，從成本方面考慮，作為大型膜用框體利用分割后的框體(以下稱為“分割框體”)較為有利，但在分割后的框體中，有可能在框體中發(fā)生撓曲、變形，而且，不滿足經(jīng)得起實用的剛性特性，因此，目前未作為商品而實用化。關(guān)于這一點，在上述專利文獻2中，為了確保剛性，利用粘接劑等、摩擦攪拌焊接等特殊的方法將剛性高于膜用框體的構(gòu)件接合于分割框體的接合部。但是，將不同原材料的構(gòu)件牢固地粘接并不容易，而且，在粘接劑積存處這樣的接合部需要特殊的加工，而且，存在自曝光過程中的粘接劑產(chǎn)生逸氣的隱患，而且，需要摩擦攪拌焊接等這樣的特殊的焊接技術(shù)。本發(fā)明即是鑒于上述情況而做成的，其目的在于提供操作性良好、而且使用時能夠抑制產(chǎn)生空氣路徑的大型膜用框體及大型膜。用于解決課題的方案本發(fā)明人等基于為了達到上述目的而反復(fù)進行深入研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)具有特定構(gòu)造的大型膜用框體能夠解決上述課題，以完成本發(fā)明。即，本發(fā)明的大型膜用框體具有俯視為矩形狀的開口部，其中，形成上述開口部的周緣的框部沿著該框部的軸向具有3處以上接合部。通過膜框體具有3處以上接合部，分割后的框體部分分別起到增強材料的作用，能夠協(xié)同地減少框體的撓曲。S卩，膜框體的整體剛性反而會上升，能夠抑制撓曲，因此，例如在將大型膜固定在操作夾具上進行檢查時，即便使位置朝各個方向變化，膜也難以自操作夾具掉落。并且，通過剛性進一步上升，粘貼于光掩模等時粘貼精度較佳，且能夠維持該精度，因此難以產(chǎn)生空氣路徑(二 7 A 7)。并且，通過由多個構(gòu)件形成框體，能夠切出母材的平坦性較佳的部位，接合后的框體的平坦性也會上升。也能夠自較小的母材制作較大的框體，也具有成本降低的優(yōu)點。另外，以往，基于確保膜的平坦性的觀點等，大多通過沖裁自一塊片狀母材切出膜框體。本案發(fā)明是逆反該技術(shù)常識而做成的，并且具有上述的優(yōu)異效果。
優(yōu)選在大型膜用框體的角部具有上述接合部。優(yōu)選所述框部由選自鋁及鋁合金的至少I種金屬構(gòu)件構(gòu)成，在所述大型膜用框體的軸向截面的XRD測定結(jié)果中，(111)面的峰值強度/ (200)面的峰值強度的比率為1.0以下。還優(yōu)選在所述大型膜用框體的軸向截面的XRD測定結(jié)果中，(111)面的峰值強度/ (200)面的峰值強度的比率為0.8以下。還優(yōu)選在所述接合部，被接合的一方的構(gòu)件的端部至少設(shè)有一個朝向被接合的另一方的構(gòu)件突出的凸部，在所述另一方的構(gòu)件的端部設(shè)有供凸部嵌合的凹部；通過將凸部嵌合于凹部，一方的構(gòu)件的端部接合于另一方的構(gòu)件的端部。另外，本發(fā)明中的“嵌合”的意思是指如下的狀態(tài)凸部形成得比凹部大一些、或者凹部形成得比凸部小一些、或者凸部與凹部以相同的大小形成，在將凸部插入到凹部的內(nèi)部進行接合時，凸部因凹部的內(nèi)周面而朝內(nèi)方壓縮變形，或者即便沒有壓縮變形凸部也無間隙地嚙合于凹部。
采用該構(gòu)造，不使用剛性比框體更高的加強材料和/或粘接劑、特殊的焊接技術(shù)等，就能夠使彎曲剛性、剪切剛性成為在實用上沒有問題的水平。另外，通過在將膜粘貼在該框體之后利用膜張力使其朝內(nèi)側(cè)撓曲等，接合部的應(yīng)力集中得到緩和，因此，難以在接合部產(chǎn)生間隙、裂痕等，尺寸、形狀穩(wěn)定，且很少由裂痕等導(dǎo)致發(fā)生起塵，因此較為理想。因此，即使在將大型膜固定在操作夾具上進行檢查時使位置朝各個方向變化的情況下，膜也難以自操作夾具掉落。還優(yōu)選開口部的面積為IOOOcm2 35000cm2。而且，優(yōu)選接合部的接合強度為IOkgf以上。在該大型膜框體中，由于使接合部的接合強度為IOkgf以上，即便是分割框體，也能夠抑制撓曲、變形，并且能夠確保剛性。還優(yōu)選接合部通過所接合的構(gòu)件的端部相互間利用化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑接合而成。通過這樣地用化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑使接合部接合，能夠提高大型膜用框體的剛性和尺寸穩(wěn)定性。通過使用化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑，能夠在調(diào)整接合角度、間隙等目標尺寸之后，通過外部刺激使反應(yīng)開始，易于維持固定原本的位置，因此能夠提高尺寸穩(wěn)定性。在這種情況下，優(yōu)選化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑包含選自丙烯酸類粘接劑及環(huán)氧類粘接劑的至少I種粘接劑。本發(fā)明的大型膜包括上述任一種大型膜用框體、及覆蓋開口部并被該大型膜用框體展開支撐的大型表膜。發(fā)明效果采用本發(fā)明，能夠提供操作性良好、而且使用時能夠抑制產(chǎn)生空氣路徑的大型膜用框體、膜及大型膜用框體的制造方法。


圖I是表示實施方式的大型膜的立體圖。圖2是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的俯視圖。圖3是表示圖2所示的大型膜用框體的角部附近的放大立體圖。圖4是本發(fā)明的另一實施方式的大型膜用框體的俯視圖。圖5是表示圖4所示的大型膜用框體的角部附近的一例子的局部放大立體圖。
圖6是本發(fā)明的另一實施方式的大型膜用框體的俯視圖。圖7是用于說明圖4及圖5所示的大型膜用框體的接合部的構(gòu)造的說明圖。圖8的(a)是圖6所示的大型膜用框體的接合部的放大圖，圖8的(b)是表示其變形例的放大圖。圖9的(a)、圖9的(b)、圖9的(C)均是本發(fā)明的各實施方式的膜用框體的接合部的變形例的放大圖。圖10是表示實施例2的接合部的形狀的概略立體圖。圖11是比較例的接合部的放大圖。圖12是參考例的接合部的放大圖。圖13是參考例的接合部的放大圖。圖14是參考例的接合部的放大圖。圖15是參考例的接合部的放大圖。圖16是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的接合部(簡單形狀)的放大立體圖。圖17是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的接合部(復(fù)雜形狀)的放大俯視圖。圖18是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的接合部(復(fù)雜形狀)的放大俯視圖。圖19是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的接合部(復(fù)雜形狀)的放大側(cè)視圖。圖20是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的接合部(復(fù)雜形狀)的放大側(cè)視圖。圖21是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的接合部(復(fù)雜形狀)的放大俯視圖。
圖22的(a)、圖22的(b)、圖22的(C)均是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的接合部(復(fù)雜形狀)的放大俯視圖。圖23是本發(fā)明的實施方式的大型膜用框體的接合部(復(fù)雜形狀)的放大立體圖。圖24是表示本發(fā)明的實施方式的XRD的圖表的圖。圖25是表示本發(fā)明的比較方式的XRD的圖表的圖。
具體實施例方式以下，對用于實施本發(fā)明的最佳方式(以下簡稱為“本實施方式”)進行詳細的說明。另外，本發(fā)明并不限定于下述本實施方式，能夠在其主旨的范圍內(nèi)進行各種變形地實施。首先，對本發(fā)明的實施方式的膜進行說明。圖I是表示本發(fā)明的一實施方式的大型膜的立體圖。大型膜I包括大型膜用框體2、及粘接于大型膜用框體2的上緣面2e而被展開支承的大型表膜3。另外，雖未圖示，但大型膜I還包括涂敷于大型膜用框體2的下緣面的粘合劑層、及粘合于粘合劑層以保護該粘合劑層的保護膜。大型膜用框體2例如由鋁、鋁合金(5000類、6000類、7000類等)、鐵及鐵類合金、陶瓷(SiC、AlN、Al203等)、陶瓷與金屬的復(fù)合材料(Al - SiC、Al-AlN、Al_Al203等)、碳鋼、工具鋼、不銹鋼系列、鎂合金、或者聚碳酸酯樹脂、丙烯酸類樹脂等樹脂等構(gòu)成，在俯視中呈大致矩形狀。大型膜I要經(jīng)由粘合劑層而粘貼于光掩模上，因此優(yōu)選剛性較高且重量較小的材料，優(yōu)選為鋁、鋁合金、鎂合金、樹脂等原材料。另外，大型膜用框體2如后所述地通過接合多個構(gòu)件而構(gòu)成，但優(yōu)選為至少接合的一對構(gòu)件由具有相同的彈性模量的原材料形成。作為大型膜用框體2的表面處理，可以采用氧化鋁膜處理、涂裝、涂料涂敷、鍍敷處理、低熔點玻璃原料處理、CVD處理、利用濺射法等的PVD處理等。該大型膜用框體2由相對的一對長邊2a、2b、及比該長邊2a、2b短的相對的一對短邊2c、2d構(gòu)成，具有矩形狀的開口部4。在該大型膜用框體2中，長邊2a和長邊2b的長度形成得相等，短邊2c和短邊2d的長度形成得相等。開口部4的開口面積優(yōu)選為IOOOcm2以上，更優(yōu)選為3000cm2以上，更優(yōu)選為5000cm2以上，進一步優(yōu)選IOOOOcm2以上，特別優(yōu)選為18000cm2以上，最優(yōu)選為23000cm2以上，上限優(yōu)選為35000cm2以下。某一大型膜用框體2的一對長邊2a、2b例如由16. 5mm寬的柱構(gòu)件構(gòu)成，其長度例如為1750mm。另外，一對短邊2c、2d例如由18. 5mm寬的柱構(gòu)件構(gòu)成，其長度例如為1550mm。即，在俯視(平面視圖)中，短邊2c、2d的寬大于長邊2a、2b的寬度。該大型膜用框體2的角部(也稱為頂部)5的曲率為R = 20mm。另外，以下將假設(shè)角部5不存在曲率時的頂點僅記載為“頂點”。在該大型膜用框體2的側(cè)面6中，沿著長度方向(邊方向)設(shè)有槽部7。另一種大型膜用框體2的一對長邊2a、2b例如由9. Omm寬的柱狀構(gòu)件構(gòu)成，其長 度例如為800mm。另外，一對短邊2c、2d例如由7. Omm寬的柱狀構(gòu)件構(gòu)成，其長度例如為480mm。即，在俯視(俯瞰，平面視圖)中，短邊2c、2d的寬度小于長邊2a、2b的寬度。該大型膜用框體2的角部5的曲率例如為R=2mm。另外，在該大型膜用框體2的短邊2c、2d的側(cè)面6中，沿著長度方向(邊方向)設(shè)有槽部7。大型表膜3例如由硝化纖維素、纖維素衍生物、氟類聚合物、或者環(huán)烯烴類聚合物等透明的高分子膜構(gòu)成，其厚度優(yōu)選為例如0. Iym以上、10 以下。該大型表膜3以覆蓋大型膜用框體2的開口部4的方式展開于上緣面2e被粘合支撐于大型膜用框體2。作為將大型表膜3粘接于大型膜用框體2的上緣面2e上的粘接劑，例如可以使用丙烯酸類樹脂粘接劑、環(huán)氧樹脂粘接劑、聚硅氧烷樹脂粘接劑、或者含氟聚硅氧烷粘接劑等氟類聚合物。另外，作為進行粘合支承的粘合材料，可以使用苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯、苯乙烯一乙烯一丙烯一苯乙烯、或烯烴類等的熱熔粘合材料、聚硅氧烷類粘合材料、丙烯酸類粘合材料、或者以發(fā)泡體為基材的粘合帶。粘合材料層的厚度優(yōu)選在大型膜用框體2的厚度與粘合材料厚度的合計不超過規(guī)定的大型表膜3與光掩模的距離的范圍內(nèi)設(shè)定，例如優(yōu)選為0. 01mm以上、IOmm以下。另外，若將大型表膜3粘貼于光掩模時在粘合劑層的內(nèi)側(cè)存在空間，則異物有可能滯留在該空間內(nèi)。因此，在將粘合劑涂敷在大型膜用框體2的下緣面時，考慮到粘合劑層因?qū)⒋笮湍粘貼于掩模時的加壓而被壓潰并擴展的情況，優(yōu)選以加壓時粘合劑不突出到開口部4的程度涂敷在大型膜用框體2的靠近開口部4的內(nèi)側(cè)。具體地講，優(yōu)選以粘合劑層內(nèi)側(cè)的空間在粘合劑層的涂敷寬度的0. 35倍以內(nèi)的方式涂敷。優(yōu)選為粘合劑層的涂敷寬度是大型膜用框體2的各邊2a 2d的寬度的0. 3倍 0. 6倍，且優(yōu)選沿著大型膜用框體2的各邊2a 2d涂敷。作為保護粘合材料的保護膜，可以使用由聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂或聚乙烯樹脂形成的膜。另外，也可以根據(jù)粘合材料的粘合力將脫模劑、例如聚硅氧烷類脫模劑或氟類脫模劑涂敷在保護膜的表面。保護膜的厚度優(yōu)選為例如0. Olmm以上、Imm以下。接著，參照圖2對大型膜用框體2進行說明。圖2 (8分割構(gòu)造)是從上方看圖I所示的大型膜I所使用的大型膜用框體2的圖(俯視圖)。另外，在圖I中省略了接合部的記載。在大型膜用框體2中，構(gòu)成開口部4的周緣部的框部包括分割框體21a、21b，其分別構(gòu)成一對長邊2a、2b ;分割框體216、2111、21￡、21§，其借助接合部連接設(shè)置于分割框體21a、21b的軸向兩端部，分別形成大型膜用框體2所具有的4處角部5 ;分割框體21c、21d，其借助接合部將分割框體21e、21h、21f、21g的開放端彼此橋接。即，大型膜用框體2沿著構(gòu)成開口部4的周緣部的框部的軸向具有8處接合部。這樣地在角部附近設(shè)置接合部的情況下，也可以將接合部相對于軸向設(shè)置在垂直方向和/或傾斜方向上。另外，在圖2中，大型膜用框體2以分割框體21a為基點，在將開口部4的開口軸線作為基準的順時針方向上按順序連接形成有分割框體21e、分割框體21d、分割框體21f、分割框體21b、分割框體21g、分割框體21c、分割框體21h、分割框體21a。在此，在圖2中表示了接合部位為8處的大型膜用框體2，但接合部位的數(shù)量只要為3處以上即可，優(yōu)選為3處 30處，更優(yōu)選為3處 25處，進一步優(yōu)選為3處 20處。
如上所述，在大型膜用框體2中，長邊2a和長邊2b的長度形成得相等，短邊2c和短邊2d的長度形成得相等。另外，分割框體21a和分割框體21b的形狀實質(zhì)上相同，分割框體21c和分割框體21d的形狀實質(zhì)上相同，并且，分別形成角部5的分割框體21e、21h、21f、21g的形狀也實質(zhì)上相同。具體地講，在圖2中，分割框體21a、21b的長度例如為700mm，分割框體21c、21d的長度例如為380mm。上述接合部中至少一個接合部與處于最靠近該接合部的距離的角部之間的距離優(yōu)選為設(shè)有該接合部的邊部的長度的45%以下，更優(yōu)選為35%以下，進一步優(yōu)選為25%以下，下限優(yōu)選為0%以上，更優(yōu)選為5%以上。在此，更優(yōu)選為上述接合部中的兩個接合部夾著共同的角部而設(shè)置，并且該角部與接合部的距離均為上述范圍。另外，長邊的長度Le被定義為相對的短邊之間的長邊軸向的最大距離，短邊的長度Ls被定義為相對的長邊之間的短邊軸向的最大距離。另外，接合部與處于最靠近該接合部的距離的角部的距離Lp被定義為在形成角部的分割框體的端面中最遠離開口部4的中心的點與頂點的距離。具體地講，在圖2中，分割框體21a、21b的長度例如為875mm，分割框體21c、21d的長度例如為775mm。因而，Lp是Le的長度的例如25%，此外，Lp為Ls的長度的例如25%。另外，分割框體的長度被定義為分割框體的兩端面間的沿著框體周向(框部軸向)的最大長度。圖3是表示圖2所示的大型膜用框體2的角部附近的放大立體圖。大型膜用框體2中的角部5例如由構(gòu)成長邊2b的一部分的分割框體21b、構(gòu)成短邊2d的一部分的分割框體21d、及將這些分割框體實質(zhì)性地連接設(shè)置在直角方向上的分割框體21f形成。在此，在分割框體21b的端面及分割框體21d的端面分別形成有凸部，在分割框體21f的兩端面分別形成有與上述凸部形狀相對應(yīng)的凹部，上述凸部密合于上述凹部地連接設(shè)置各構(gòu)件。另外，通過在密合面適當?shù)赝糠笳辰觿┑龋軌驅(qū)⑦@些分割框體接合起來。從確保曝光面積的方面考慮，大型膜用框體2的各邊2a 2d的寬度越窄越好，但若過窄，則有可能產(chǎn)生在大型表膜3展開時大型膜用框體2因大型表膜3的張力而撓曲這樣的問題。因此，為了做成對于各邊的長度考慮了剛性的寬度的粗度，能夠使各邊2a 2d的寬度成為3mm 25mm左右。另外，大型膜用框體2的厚度越薄，剛可成為越輕且越易于處理的大型膜1，但若過薄，則有可能產(chǎn)生在大型表膜3展開時大型膜用框體2因大型表膜3的張力而撓曲這樣的問題。因此，鑒于與各邊2a 2d的長度相應(yīng)的兩者的平衡，能夠使大型膜用框體2的厚度優(yōu)選成為3. 5mm 12mm左右。本發(fā)明并不限定于上述實施方式。例如 ，在上述實施方式中，使各分割框體的形狀在某種程度上一致，但各分割框體的形狀也可以互不相同。在上述實施方式中，接合部設(shè)有8處，但也可以為4處。在這種情況下，例如可以將分割框體21c、21h、21g形成為一個分割框體，將分割框體21e、21d、21f形成為一個分割框體。另外，接合部的接合方法也沒有特別的限制，除了利用粘接劑的粘接之外，既可以使用粘接劑，也可以是螺紋固定。另外，優(yōu)選為大型膜用框體具有俯視為矩形狀的開口部，其中，具有通過端部彼此接合而形成開口部的周緣的構(gòu)件，在接合的一個構(gòu)件的端部至少設(shè)有一個朝向被接合的另一個構(gòu)件突出的凸部，在另一個構(gòu)件的端部設(shè)有供凸部嵌合的凹部，通過使凸部嵌合于凹部而使一個構(gòu)件的端部接合于另一個構(gòu)件的端部。另外，本實施方式中的“嵌合”的意思是指如下的狀態(tài)凸部形成得比凹部大一些、或者凹部形成得比凸部小一些、或者凸部與凹部以相同的大小形成，在將凸部插入到凹部的內(nèi)部進行接合時，凸部因凹部的內(nèi)周面而朝內(nèi)方壓縮變形，或者即便沒有壓縮變形凸部也無間隙地嚙合于凹部。采用該構(gòu)造，不使用剛性比大型膜用框體高的加強材料、粘接劑、特殊的焊接技術(shù)等，就能夠使彎曲剛性、剪切剛度成為在實用上沒有問題的水平。另外，通過利用在將大型表膜粘貼在該大型膜用框體之后的膜張力使其朝內(nèi)側(cè)撓曲等，接合部的應(yīng)力集中得到緩和，因此，難以在接合部產(chǎn)生間隙、裂痕(力夕，配合偏斜)等，尺寸、形狀穩(wěn)定，且很少由裂痕等導(dǎo)致發(fā)生起塵，因此較為理想。因此，即使在將大型膜固定在操作夾具上進行檢查時使位置朝各個方向變化的情況下，大型膜也難以自操作夾具掉落。另外，與自一塊母材的切出相比，通過使用構(gòu)件(具有接合部的框體)，切削加工工時減少，加工時施加于框體的殘留應(yīng)力變小。另外，考慮到原材料的各向異性，分割框體可以使用相同方向性的構(gòu)件，因此框體整體的各向異性變小。由于殘留應(yīng)力、各向異性這樣地變小，因此，大型膜制造工序內(nèi)的加熱工序中由應(yīng)力應(yīng)變等引起的釋放變小，大型膜的尺寸(熱尺寸)穩(wěn)定，因此較為理想。因此，不必為了釋放殘留應(yīng)力而事先進行加熱處理等，也產(chǎn)生工序數(shù)減少這樣的制造上的優(yōu)點。另外，由于應(yīng)力應(yīng)變隨著時效而朝向釋放方向，因此，殘留應(yīng)力較小的分割框體即使長時間保管，尺寸也穩(wěn)定，因此較為理想。特別是，在框體由金屬構(gòu)件構(gòu)成時，優(yōu)選在膜用框體的軸向截面的XRD測定結(jié)果中，(111)面的峰值強度/ (200)面的峰值強度的比率為1.0以下。(200)面的峰值強度為支配地位即意味著金屬構(gòu)件的結(jié)晶更整齊地配置在與膜用框體的軸向垂直的面方向上(各向同性變大，各向異性變小)。因而，成形的時刻的內(nèi)部應(yīng)力進一步減少，因此，易于形成尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異的框體。另外，在對框體進行加熱時，由于內(nèi)部應(yīng)力本來就少，而且結(jié)晶整齊地配置在與軸向垂直的面方向上，因此，應(yīng)力容易均勻地釋放，難以產(chǎn)生變形。
(111)面的峰值強度/ (200)面的峰值強度的比率更優(yōu)選為0.8以下，進一步優(yōu)選為0.4以下。在此，(111)面的峰值是指在利用Cu — Ka線進行的X射線衍射測定中，衍射角度(2 0 )處于37. 0度 39. 5度的范圍內(nèi)的衍射峰值，(200)面峰值是指在利用Cu — K a線進行的X射線衍射測定中，衍射角度(2 0 )處于43. 0度 45. 5度的范圍內(nèi)的衍射峰值。并且，通過由多個構(gòu)件形成框體，能夠切出母材的平坦性較佳的部位，接合后的框體的平坦性也會上升。也能夠自較小的母材制作較大的框體，也具有成本降低的優(yōu)點。在上述大型膜用框體中，從尺寸穩(wěn)定性的方面考慮，優(yōu)選將凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸(t)形成得短于前端側(cè)的最大橫尺寸(V)。并且，優(yōu)選將凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸(t)設(shè)定為設(shè)有凸部的構(gòu)件寬度的5% 80%的長度，將凸部的前端側(cè)的最大橫尺寸(V)設(shè)定為設(shè)有凸部的構(gòu)件寬度的10% 90%的長度。在此，也設(shè)想數(shù)值根據(jù)構(gòu)件的寬度方向的位置選取的不同而變化的情況，但寬度方向的測定位置并沒有特別的限制，只要利用寬度 方向上的任一個測定位置滿足上述條件即可。另外，寬度的尺寸只要大型表膜面?zhèn)鹊膶挾燃肮庋谀Ｕ澈蟿﹤?cè)的寬度中的任一個寬度進入到上述數(shù)值范圍內(nèi)即可。另外，在上述大型膜用框體中，優(yōu)選將凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸(t)設(shè)定為設(shè)有凸部的構(gòu)件的厚度的5% 80%的長度，將凸部的前端側(cè)的最大橫尺寸(V)設(shè)定為設(shè)有凸部的構(gòu)件厚度的10% 90%的長度。在此，也設(shè)想數(shù)值根據(jù)構(gòu)件的厚度方向位置選取的不同而變化的情況，但厚度方向的測定位置并沒有特別的限制，只要利用厚度方向上的任一個測定位置滿足上述條件即可。另外，凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸(t)的意思是指，在構(gòu)件的接合端面連接著凸部的根部部分的最大尺寸(例如在俯視中圖7的(a)所示的兩點間的距離t)，凸部的前端側(cè)的最大橫尺寸(V )的意思是指，與構(gòu)件的長度方向大致成直角的方向上的凸部的前端側(cè)部分(除根部部分之外的部分)的最大尺寸。另外，通過將接合部設(shè)成3處以上，容易調(diào)整平坦性，因此是優(yōu)選的。通過這樣地做成3處以上，提高了構(gòu)成大型膜用框體的各個零件的加工精度，從而與由一塊母材形成相比，能夠容易地實現(xiàn)平坦性的精度，提高尺寸精度。另外，在上述大型膜用框體中，凸部具有在與凹部嵌合時因凹部的內(nèi)周面而朝內(nèi)方壓縮變形的多余外周部分，或者凹部具有在與凸部嵌合時因凸部的外周面而朝內(nèi)方壓縮變形的多余外周部分。采用該構(gòu)造，通過使構(gòu)件的端部彼此從上下方向嵌合，多余外周部分被壓潰而朝外方向鼓出，從而使各接合部分無間隙地緊密且牢固地接合，因此，即使不使用剛性高于框體的加強材料等，彎曲剛性、剪切剛度等也會升高。另外，通過存在多余外周部分，不需要粘接劑，也不用擔心曝光過程中的逸氣。優(yōu)選多余外周部分的尺寸至少為
0.OOlmm以上(例如0. 005mm以上、0. Imm以下)。另外，在多余外周部分大致為Omm的情況下，也可以使用粘接劑等。圖4是表示使用與圖2不同的分割框體構(gòu)成的大型膜用框體的一例子(另一實施方式)的圖。圖4是4分割框體的例子，在大型膜用框體2中，構(gòu)成開口部4的周緣部的框部由作為分別構(gòu)成一對長邊4a、4b的構(gòu)件的分割框體41a、41b、及作為分別構(gòu)成一對短邊4c、4d的構(gòu)件的分割框體41c、41d形成。即，大型膜用框體2沿著構(gòu)成開口部4的周緣部的框部的軸向具有4處接合部。在大型膜用框體2中，長邊4a和長邊4b的長度形成得相等，短邊4c和短邊4d的長度形成得相等。另外，圖5是表示圖4所示的大型膜用框體的角部附近的一例子的放大立體圖。通過做成圖5這樣的接合部，不使用剛性高于框體的構(gòu)件、粘接劑等，就能夠維持大型膜用框體在實用上沒有問題的剛性及尺寸穩(wěn)定性，而且提高成品率。圖6也是表示使用與圖2不同的分割框體構(gòu)成的大型膜用框體的一例子(另一實施方式)的圖。圖6所示的大型膜用框體2為8分割構(gòu)造，通過8個分割框體接合而構(gòu)成。在該大型膜用框體2中，構(gòu)成開口部4的周緣部的框部由作為分別構(gòu)成一對長邊5a、5b的構(gòu)件的分割框體51a、51a’、51b、51b’、及作為分別構(gòu)成一對短邊5c、5d的構(gòu)件的分割框體51c、51c’、51d、51d’形成。即，大型膜用框體2沿著構(gòu)成開口部4的周邊部的框部的軸向具有8處接合部。在大型膜用框體2中，長邊5a和長邊5b的長度形成得相等，短邊5c和短邊5d的長度形成得相等。在圖2 圖5所示的實施方式的大型膜用框體中，以將接合部設(shè)置在角部附近的 形狀為例進行了圖示，但如圖6所示，也可以將接合部設(shè)置在各邊的各個所需部位。在將接合部設(shè)置在各邊的各個所需部位的情況下，能夠利用接合部緩和由大型膜制作工序內(nèi)的加熱等引起的熱膨張，因此較為理想，但更優(yōu)選將接合部設(shè)置在角部附近。在圖2所示的實施方式的大型膜用框體中，也可以采用構(gòu)成相對的一對長邊的兩根長邊用構(gòu)件、構(gòu)成相對的一對短邊的兩根短邊用構(gòu)件、及構(gòu)成4個角部的角部用構(gòu)件，將長邊用構(gòu)件及短邊用構(gòu)件的端部分別接合于角部用構(gòu)件，通過角部用構(gòu)件連結(jié)長邊用構(gòu)件及短邊用構(gòu)件，從而做成俯視為長方形狀的框體。另外，在圖4或圖5所示的實施方式的大型膜用框體中，也可以采用構(gòu)成相對的一對長邊的兩根長邊用構(gòu)件、及構(gòu)成相對的一對短邊的兩根短邊用構(gòu)件，將長邊用構(gòu)件及短邊用構(gòu)件的端部彼此接合而做成俯視為長方形狀的框體。通過這樣地在各個角部具有接合部，能夠?qū)⒔雍喜颗渲迷诟┮暈殚L方形狀的框體的角部附近。而且，在將接合部設(shè)置在角部附近的情況下，由于可切出一條邊，因此生產(chǎn)率升高，并且，通過將剛性較高的角部附近接合，能夠保持與來自一塊母材的切出物相同的剛性，并且，由于角部保持直角性，能夠保持曝光過程中的有效曝光面積(尺寸穩(wěn)定)，因此較為理想。圖7是圖4及圖5所示的實施方式的大型膜用框體的接合部的放大圖。另外，圖8的(a)是圖6所示的實施方式的大型膜用框體的接合部的放大圖，圖8的(b)是其變形例。圖9是各實施方式的大型膜用框體的接合部的變形例的放大圖。在圖9中，能夠采取(a)、
(b)、(c)中任一種形狀。另外，這些只是例示，并未限制接合部的形狀。如圖7的(a)所示，在本發(fā)明的各實施方式的大型膜用框體中，在被接合的一個構(gòu)件(分割框體)的端部至少設(shè)有一個朝向被接合的另一個構(gòu)件(分割框體)突出的凸部P，在另一個構(gòu)件(分割框體)的端部設(shè)有供該凸部P嵌合的凹部C。而且，通過使凸部P嵌合于凹部C，一個構(gòu)件(分割框體)的端部接合于另一個構(gòu)件(分割框體)的端部。通過這樣地做成將接合部作為嵌合部的形狀，接合部的彎曲剛性、剪切剛性成為在實用上沒有問題的水平，雖然在粘貼有大型表膜時框體朝內(nèi)側(cè)撓曲，但在這種情況下，應(yīng)力集中也得到緩和，因此，難以在接合部產(chǎn)生間隙、裂痕等，即使利用分割框體，尺寸也穩(wěn)定，因此較為理想。在本實施方式的大型膜用框體中，如圖7所示，優(yōu)選設(shè)定為設(shè)置于一個構(gòu)件的端部(接合部端面S)的凸部P的根部側(cè)部分的最大橫尺寸t短于該凸部P的前端側(cè)部分(嵌入到形成于另一個構(gòu)件的接合部內(nèi)部U的凹部C中的部分)的最大橫尺寸V。該構(gòu)造既可以處于構(gòu)件(分割框體)的寬度方向上，也可以處于厚度方向上。在該構(gòu)造處于寬度方向上時，防止使膜展開之后框體朝內(nèi)側(cè)撓曲，因此較為理想，在該構(gòu)造處于厚度方向上時，即便在內(nèi)壁、外壁上存在隆起，涂敷有掩模粘合材料、膜粘接劑的寬度方向也變得平坦，因此較為理
本巨
o優(yōu)選凸部P的根部側(cè)的最大橫尺寸t被設(shè)定為設(shè)有凸部P的構(gòu)件的寬度的5% 80%的長度。另外，優(yōu)選凸部P的前端側(cè)的最大橫尺寸V被設(shè)定為設(shè)有凸部P的構(gòu)件寬度的10% 90%的長度。并且，更優(yōu)選凸部P的根部側(cè)的最大橫尺寸t被設(shè)定為構(gòu)件寬度的7% 60%的長度，進一步優(yōu)選設(shè)定為10% 40%的長度。另外，更優(yōu)選凸部P的前端側(cè)的最大橫尺寸V被設(shè)定為構(gòu)件寬度的15% 75%的長度，進一步優(yōu)選設(shè)定為20% 50%的長度。另外，上述各個最大橫尺寸在接合部的寬度上存在有多個的情況下，表示各自的最大接合距離的總和。在凸部P的根部側(cè)的最大橫尺寸t小于構(gòu)件寬度的5%的情況下，有可能接合部(嵌合部)處的勾掛較弱，左右的拉伸強度降低，或者有可能在粘貼有大型表膜時框體朝內(nèi)側(cè)撓曲時，對接合端面接合部施加較大的集中應(yīng)力，在接合端面部產(chǎn)生間隙、裂痕，因此并不理想。另外，在凸部P的根部側(cè)的最大橫尺寸t大于構(gòu)件寬度的80%的情況下，在從上下嵌合時，凸部P被壓潰而朝外方向鼓出，因此，框體的內(nèi)外側(cè)面有可能隆起，并不理想。并且，在凸部P的前端側(cè)的最大橫尺寸V小于構(gòu)件寬度的10%的情況下，有可能接合部(嵌合部)處的勾掛較弱，左右的拉伸強度降低，或者有可能在粘貼有大型表膜時框體朝內(nèi)側(cè)撓曲時，對接合端面接合部施加較大的集中應(yīng)力，在接合端面部產(chǎn)生間隙、裂痕，因此并不理想。另外，在凸部P的前端側(cè)的最大橫尺寸V大于構(gòu)件寬度的90%的情況下，在從上下嵌合時，凸部P被壓潰而朝外方向鼓出，因此，框體的內(nèi)外側(cè)面有可能隆起，并不理想。另外，優(yōu)選凸部P的根部側(cè)的最大橫尺寸t被設(shè)定為設(shè)有凸部P的構(gòu)件(分割框體)厚度的5% 80%的長度。另外，優(yōu)選凸部P的前端側(cè)的最大橫尺寸V被設(shè)定為設(shè)有凸部P的構(gòu)件(分割框體)厚度的10% 90%的長度。并且，更優(yōu)選凸部P的根部側(cè)的最大橫尺寸t被設(shè)定為構(gòu)件厚度的7% 60%的長度，進一步優(yōu)選設(shè)定為10% 40%的長度。更優(yōu)選凸部P的前端側(cè)的最大橫尺寸V被設(shè)定為構(gòu)件厚度的15% 75%的長度,進一步優(yōu)選設(shè)定為20% 50%的長度。另外，上述各個最大橫尺寸在接合部的厚度上存在有多個的情況下，表示各自的最大接合距離的總和。在凸部P的根部側(cè)的最大橫尺寸t小于構(gòu)件厚度的5%的情況下，有可能在框體因大型表膜的膜張力而朝內(nèi)側(cè)撓曲時，接合部變得容易松動，因此并不理想。另外，在凸部P的根部側(cè)的最大橫尺寸t大于構(gòu)件厚度的80%的情況下，在從左右嵌合時，凸部P被壓潰而朝外方向鼓出，因此，框體的上下側(cè)面有可能隆起，并不理想。并且，在凸部P的前端側(cè)的最 大橫尺寸V小于構(gòu)件厚度的10%的情況下，有可能在框體因大型表膜的膜張力而朝內(nèi)側(cè)撓曲時，接合部變得容易松動，因此并不理想。另外，在凸部P的前端側(cè)的最大橫尺寸V大于構(gòu)件厚度的90%的情況下，在從左右嵌合時，凸部P被壓潰而朝外方向鼓出，因此，框體的上下側(cè)面有可能隆起，并不理想。在上下側(cè)面隆起的情況下，也有可能框體的平坦性變差，粘貼精度變差，因此并不理想。
作為凸部P的形狀，可以采用圓形的穿孔(n )形狀、楔形狀、角形狀、三角形狀、其它各種形狀(在拼圖玩具中采用的那樣的形狀等)。凸部P的個數(shù)也可以在構(gòu)件(分割框體)的寬度、厚度方向上存在I個 多個。在I個的情況下，相對于框體的朝內(nèi)側(cè)的撓曲，應(yīng)力集中地施加于自接合部端面起的起始端部，因此，也有可能在接合部端面產(chǎn)生裂痕、間隙。因此，也可以通過鉚接、粘接劑等輔助性地利用其它接合方法將接合部端面接合。由于大型膜用框體的寬度、厚度并沒有那么大，因此更優(yōu)選為I個 4個，進一步優(yōu)選為I個 2個。另外，在采用圖9的(C)所示的特殊形狀的凸部P的情況下，也可以將凸部P的根部側(cè)部分的最大橫尺寸t設(shè)定為與凸部P的前端側(cè) 部分的最大橫尺寸V相同程度的長度。另外，在本實施方式的大型膜用框體中，如圖7的(b)所示，設(shè)置于被接合的一個構(gòu)件的端部的凸部P具有在與設(shè)置于被接合的另一個構(gòu)件的端部的凹部C嵌合時因凹部C的內(nèi)周面而朝內(nèi)方壓縮變形的多余外周部分(以下，稱為“接合間隙”)G。接合間隙G的尺寸優(yōu)選為0. Imm以下。在接合時，從上下或左右進行嵌合，該接合間隙G在嵌合時被壓潰而朝外方向鼓出，因此能夠緊密地接合。若接合間隙G的尺寸大于0. Imm,則壓潰的部分變大，在框體的上下左右方向上產(chǎn)生隆起，因此并不理想。通過具有該接合間隙G，不需要粘接劑等，僅進行嵌合就能夠牢固地接合。接合間隙G的尺寸優(yōu)選為0. 005mm 0. 06mm,更優(yōu)選為
0.Olmm 0. 04mm。另外，為了即使在將大型膜用框體做成分割框體的情況下也是不在接合部使用剛性較高的構(gòu)件等就能夠維持剛性及尺寸穩(wěn)定性，并且提高成品率，優(yōu)選使接合部的接合強度為IOkgf以上。通過做成IOkgf以上，即便是分割框體，也能夠抑制撓曲、變形，并且能夠確保剛性。另外，通過由分割后的框構(gòu)件構(gòu)成大型膜用框體，能夠容易地調(diào)整尺寸，從而能夠確保尺寸精度，并且能夠使制造工序簡化。因此，能夠容易地獲得與不具有接合部的框體相同的尺寸精度。因此，即使在做成分割框體的情況下，也是不在接合部使用剛性較高的構(gòu)件等就能夠維持剛性及尺寸穩(wěn)定性，并且能夠提高成品率。另外，通過做成分割框體，與自一塊片材狀母材的切出相比，切削加工工時減少，加工時施加于框構(gòu)件之殘留應(yīng)力變小。另外，考慮到原材料的各向異性，能夠使用相同方向性的框構(gòu)件，因此，大型膜用框體整體的各向異性變小。由于殘留應(yīng)力、各向異性這樣地變小，因此，大型膜制造工序內(nèi)的加熱工序中由應(yīng)力應(yīng)變等引起的釋放變小，大型膜的尺寸穩(wěn)定。因此，不必為了釋放殘留應(yīng)力而事先進行加熱處理等，也產(chǎn)生工序數(shù)減少這樣的制造上的優(yōu)點。另外，由于應(yīng)力應(yīng)變隨著時效而朝向釋放方向進行，因此，殘留應(yīng)力較小的分割框體即便長時間保管，也能夠確保尺寸的穩(wěn)定性。并且，通過由多個框構(gòu)件形成大型膜用框體，能夠切出母材的平坦性較佳的部位，接合后的大型膜用框體的平坦性也會上升。另外，能夠自較小的母材制作較大的大型膜用框體，也具有成本降低這樣的優(yōu)點。優(yōu)選接合部由形成在框構(gòu)件的一端部的凸部、及與形成在框構(gòu)件的一端部的凸部接合的凹部構(gòu)成。通過做成該構(gòu)造，能夠良好地使接合部的接合強度成為IOkgf以上。優(yōu)選接合部利用嵌合、粘接劑及鉚接中的任一種方式接合。通過使用這些接合方法，能夠充分地確保接合部的接合強度。優(yōu)選框構(gòu)件以相對的一對長邊和相對的一對短邊形成角部的方式構(gòu)成，接合部中的至少一個接合部與處于最靠近接合部的距離的角部之間的距離為設(shè)有接合部的邊的長度的45%以下。采用該構(gòu)造，框體為矩形狀，角部附近的剛性較高，因此，通過將接合部配置在角部附近，能夠維持剛性，從而能夠抑制大型膜用框體的撓曲等。另外，通過將接合部設(shè)置在角部附近，直角性也變佳，成為保持矩形形狀的方向，因此，能夠使大型膜用框體的撓曲量處于公差的范圍內(nèi)(0% 3%)。另外，通過對大型膜用框體施加負荷來將大型表膜粘貼于大型膜用框體，但該負荷根據(jù)裝置而有所不同，為IOkgf 70kgf。因此，需要不會由根據(jù)裝置而各不相同的負荷導(dǎo)致接合部變形的對策。另外，在大型膜 用框體的形狀偏離規(guī)定尺寸的情況下，為了校正尺寸，對接合部局部地加重，接合部有可能變形。為了解決這些課題，接合部的接合強度優(yōu)選為IOkgf以上，更優(yōu)選為15kgf以上，進一步優(yōu)選為25kgf以上。作為達到上述的接合部的接合強度，且在外觀上也可用作大型膜的接合方法，優(yōu)選使分割框體嵌合、或者使用粘接劑等。在嵌合的情況下，優(yōu)選為在接合的端部設(shè)置凸部，在另一端部設(shè)置進行嵌合的凹部的形狀。并且，凸部的根部尺寸(基端側(cè)尺寸)小于前端側(cè)的最大橫尺寸的形狀也經(jīng)得起朝向長度方向的拉伸，因此更優(yōu)選。像以上說明的那樣，在大型膜的大型膜用框體中，使分割框體的接合部的接合強度為IOkgf以上，因此，即便是分割框體，也能夠抑制撓曲、變形，并且能夠確保剛性。另外，通過由分割框體構(gòu)成大型膜用框體，能夠容易地調(diào)整尺寸，從而能夠確保尺寸精度，并且能夠使制造工序簡化。因此，能夠容易地實現(xiàn)與不具有接合部的框體相同的尺寸精度。因而，在使用分割框體時，不在接合部22a 22h使用剛性較高的構(gòu)件等就能夠維持剛性及尺寸穩(wěn)定性，并且能夠提高成品率。特別是，在大型膜I為大型的情況下，本實施方式的構(gòu)造更有效。本發(fā)明的大型膜用框體的框部也可以利用化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑來將框部的端部彼此接合。作為粘接劑，例如可以使用丙烯酸類樹脂粘接劑(7々'J力樹脂接著剤)、環(huán)氧樹脂粘接劑、聚硅氧烷樹脂粘接劑、或者含氟聚硅氧烷粘接劑等氟類聚合物。另外，作為粘合支承的粘合材料，可以使用苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯、苯乙烯一乙烯一丙烯一苯乙烯、或烯烴類等熱熔粘合材料、聚硅氧烷類粘合材料、丙烯酸類粘合材料、或者以發(fā)泡體為基材的粘合帶或發(fā)泡熱熔粘合材料等。粘合材料層的厚度優(yōu)選為在大型膜用框體2的厚度與粘合材料厚度的合計不超過規(guī)定的大型表膜3與掩模的距離的范圍內(nèi)設(shè)定，例如優(yōu)選為0. Olmm以上、IOmm以下。另外，若將大型表膜3粘貼于光掩模時在粘合劑層的內(nèi)側(cè)存在空間，貝U異物有可能滯留在該空間內(nèi)。因此，在將粘合劑涂敷于大型膜用框體2的下緣面時，考慮到粘合劑層因?qū)⒋笮湍粘貼于光掩模時的加壓而被壓潰并擴展的情況，優(yōu)選以加壓時粘合劑不突出到開口部4的程度涂敷在大型膜用框體2的靠近開口部4的內(nèi)側(cè)。具體地講，優(yōu)選以粘合劑層內(nèi)側(cè)的空間寬度在粘合劑層的涂敷寬度的0. 35倍以內(nèi)的方式涂敷。優(yōu)選為粘合劑層的涂敷寬度是大型膜用框體2的各邊2a 2d的寬度的0. 3倍 0. 6倍，且優(yōu)選沿著大型膜用框體2的各邊2a 2d涂敷。作為保護粘合材料的保護膜，可以使用由聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂或聚乙烯樹脂形成的膜。另外，也可以根據(jù)粘合材料的粘合力將脫模劑、例如聚硅氧烷類脫模劑或氟類脫模劑涂敷在保護膜的表面。保護膜的厚度優(yōu)選為例如0. Olmm以上、Imm以下。
具有3處以上接合部的框體至少能夠?qū)?gòu)成框體的構(gòu)件分成2個以上，因此在制造工序上，容易提高構(gòu)成大型膜用框體的各零件的加工精度、尺寸精度，結(jié)果，與接合部為一處的情況相比，能夠提高框體的尺寸精度。因此，通過使控制框體的尺寸精度本身變得容易，控制將大型表膜粘貼于框體時框體的撓曲量本身變得容易，能夠提高大型膜用框體的尺寸穩(wěn)定性。在此，從加工上的偏差的觀點考慮，優(yōu)選各構(gòu)件盡可能地小，即越由多個構(gòu)件制作框體越理想。另外，通過用化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑使接合部粘接，能夠提高框體的剛性和尺寸穩(wěn)定性。通過使用化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑，能夠在調(diào)整接合角度、間隙等目標尺寸之后，通過外部刺激使反應(yīng)開始，易于維持固定原本的位置，因此能夠提高尺寸穩(wěn)定性。其中，粘接劑優(yōu)選為液狀，若使用液狀的粘接劑，則粘接劑滲入到接合部中，液體遍布整個接合部，因此從制造上及剛性的方面考慮較為理想。并且，在液狀中，優(yōu)選為丙烯酸類或環(huán)氧類的粘接劑。丙烯酸類粘接劑是指反應(yīng)前的單體具有下述化學(xué)式(I)的粘接齊U，其中，更優(yōu)選為利用紫外線固化的UV固化型粘接劑、利用熱量固化的熱固化型粘接劑、通過阻斷空氣進行固化的厭氧性固化型(嫌気性硬化型)粘接劑、將微量的水分作為引發(fā) 劑而開始反應(yīng)的氰基丙烯酸酯(R = CN)型瞬間粘接劑等(R為H或C)。ICH2 = CR (C = 0) 0 —另外，作為環(huán)氧類的粘接劑，存在一液型和二液型，可以使用任一種，但在膜制造制程上，一液型的環(huán)氧類熱固化型的粘接劑與二液型的環(huán)氧類熱固化型粘接劑相比更為有效，因此較為理想。實際上使用的粘接劑的總量為微量，一液型的粘接劑也不必一邊考慮計量、混合、使用期限一邊使用，因此與二液型的粘接劑相比更為理想。在使用二液型的情況下，有時為了提高計量精度也要使用所需量以上的大量的粘接劑，對環(huán)境造成負擔，若過于在意環(huán)境負擔而少量混合，則存在計量精度下降的傾向，若從計量到反應(yīng)開始為止的時間不恒定，則反應(yīng)性產(chǎn)生偏差。因此，有可能固化度產(chǎn)生差異，物性產(chǎn)生差異。該固化度的差異有可能根據(jù)接合部位而粘接劑的厚度變得不均勻、或者有可能導(dǎo)致變形、或者有可能導(dǎo)致尺寸的偏差，因此，在使用二液型的情況下需要注意。但是，作為即便是二液型也有效的粘接劑，在丙烯酸類中可以使用改性丙烯酸類的粘接劑、或者在環(huán)氧類中可以使用熱固化型的粘接劑。改性丙烯酸類的粘接劑雖然為二液型，但無需混合，僅通過在接合的一個面分別涂敷一液并進行壓接，就能夠使其固化。并且，從耐光性的方面考慮，優(yōu)選為丙烯酸類的粘接劑，具體地講，優(yōu)選為ThreeBond 2247、2242、2249G (均為 Three Bond 公司(7 一術(shù) > F 社)制造)、Three Bond2083、2081D、2082C、2087L (均為 Three Bond 公司制造)、Three Bond3923、3928、3920、3925B、3921、3926、3055、3097(均為 Three Bond 公司制造)、7* a > 7* 卟 7 7* (Aron Alpha)系列(東京合成社制造)、Three Bond 1735、1721、1797、17X — 050、1796、1735 (均為 ThreeBond 公司制造)、Loctite 638、Loctite 601 (均為 Henkel Japan (、> > 卟 '7' \ > )制造)，Three Bond 1401 系列(Three Bond 制造)等。在丙烯酸類粘合劑中，更優(yōu)選為通過阻斷空氣來促進反應(yīng)的厭氧性固化型粘接齊U。作為具體的厭氧性固化型粘接劑，能夠列舉Loctite 638、Loctite 601 (均為HenkelJapan制造)。若為厭氧性固化型粘接劑，則在自接合部突出的部位難以發(fā)生反應(yīng)，且容易拭去，因此能夠?qū)⒁輾夂推饓m抑制到最小限度，并且接合也很牢固，因此較為理想。特別是，通過使用厭氧性固化型粘接劑，極難發(fā)生反應(yīng)，能夠?qū)⒁輾夂推饓m抑制到最小限度這一點應(yīng)該大書特書。其原因在于，迄今為止不存在像本領(lǐng)域這樣要求粘接劑抑制逸氣的領(lǐng)域，由本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)了具有防止由逸氣引起模糊的效果的厭氧性固化型粘接劑。作為除了本發(fā)明所使用的粘接劑之外的接合方法，也可以利用鉚接來加強粘接齊U。利用粘接劑能夠?qū)崿F(xiàn)各種接合形狀，接合強度也能夠保持在實用上可使用的水平的剛性，因此較為理想。另一方面，在不使用粘接劑而通過激光焊接進行接合的情況下，接合強度較高，但在接合部產(chǎn)生凹凸，因此僅是接合部的平坦性變得極差，而且，外觀也不理想。另夕卜，在不使用粘接劑而通過熱壓配合(焼1，熱套)進行接合的情況下，嵌合時不需要沖壓等多余的壓力，因此在外觀上較佳，但在導(dǎo)熱系數(shù)較高的鋁合金的情況下，無法期待熱壓配合的效果，接合強度有可能降低，因此并不理想。冷縮配合(冷L )也成為與熱壓配合相同的效果，并不理想。若接合的粘接劑厚度為I. Omm以下，則接合部的形狀可以是任何形狀。關(guān)于接合部的平面形狀(從上方或側(cè)方看接合部時的形狀)，復(fù)雜形狀優(yōu)于簡單形狀。在此，簡單形狀 如圖16所示，是指接合部J的平面形狀成為在與構(gòu)件的長度方向大致成直角的方向上延伸的直線。另外，復(fù)雜形狀是指與簡單形狀相比接合面積相對地變大的形狀(例如，組合多個直線或曲線而成的形狀)。作為復(fù)雜形狀，例如可以采用圖17的形狀，更優(yōu)選為如圖18所示地極力抑制粘接劑使用部在大型膜用框體的接合面的側(cè)面露出的形狀。另外，可以采用如圖19所示地從框體的厚度方向看時呈臺階形狀、圖20的傾斜形狀、圖21的構(gòu)成接合部J的一個構(gòu)件的端部做成凸形狀、圖22的縮頸形狀、如圖23所示地框體的端部中央成為四棱柱狀的凸形狀等各種形狀。在縮頸形狀的情況下，可以采用圓形的穿孔形狀、楔形狀、角形狀、三角形狀、其它各種形狀(例如在拼圖玩具中采用的形狀等)。另外，雖然也取決于粘接劑的涂敷量，但為了減少接合時粘接劑向框體表面的突出量，也可以在接合部的內(nèi)部設(shè)計粘接劑積存處等，制作能夠在其中吸收多余的粘接劑的形狀。在大型膜制造工序中，具有在框體上展開有大型表膜之后切割無用膜的工序，但此時存在框體因膜的張力而朝內(nèi)側(cè)撓曲的傾向。因此，粘接面積變大的復(fù)雜形狀與簡單形狀相比，更能夠緩和朝內(nèi)側(cè)撓曲時的應(yīng)力，成為不在接合部產(chǎn)生裂痕、間隙等的形狀，因此較為理想。接著，對圖2所示的大型膜用框體2的制造方法進行說明。首先，通過對從由鋁及鋁合金構(gòu)成的組中選擇的至少一種金屬構(gòu)件進行擠出加工，形成分割框體21a 21h。該形成的分割框體21a 21h在接合部中接合的一端部設(shè)有朝向接合于該一端部的另一個構(gòu)件突出的至少一個凸部，且在另一端部設(shè)有與凸部嵌合的凹部。另外，分割框體21a 21d是在大型膜用框體2的4個角部5接合的直線狀的構(gòu)件，分割框體21e 21h是構(gòu)成大型膜用框體2的4個角部5的構(gòu)件。然后，通過將該形成的分割框體21a 21h的凸部嵌合于凹部中，將一個分割框體的端部接合于另一個分割框體的端部。由此，制造圖2所示的大型膜用框體2。接著，對圖4所示的大型膜用框體2的制造方法進行說明。首先，通過對選自鋁及鋁合金的至少一種金屬構(gòu)件進行擠出加工，形成分割框體41a 41d。該形成的分割框體41a 41d在接合部中被接合的一端部設(shè)有朝向接合于該一端部的另一個構(gòu)件突出的至少一個凸部，且在另一端部設(shè)有與凸部嵌合的凹部。另外，分割框體41a 41d是在大型膜用框體2的4個角部5接合的直線狀的構(gòu)件。然后，通過將該形成的分割框體41a 41d的凸部嵌合于凹部中，將一個分割框體的端部接合于另一個分割框體的端部。由此，制造圖4所示的大型膜用框體2。本發(fā)明并不限定于上述實施方式。例如，在上述實施方式中，使各分割框體的形狀在某種程度上一致，但各分割框體的形狀也可以互不相同。實施例其次，列舉實施例及比較例更具體地說明本實施方式，但本實施方式只要不超出其主旨，就并不限定于下述的實施例。
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實施例I大型膜用框體的材質(zhì)(所有分割框體的材質(zhì))為鋁合金，厚度為6. 5mm，長邊的寬度設(shè)為16. 5mm,長度設(shè)為1750mm。另外,短邊的寬度為18. 5mm,長度為1550mm,在其短邊側(cè)全長上設(shè)有槽，槽的深度為5mm，槽的高度為2mm。另外，角部的曲率為20mm。此外，如圖2(角部為圖3)所示地形成大型膜用框體。分割框體21a、21b的長度為875mm，分割框體21c、21d的長度為775mm。因而，Lp為Le的長度的25%，另外，Lp為Ls的長度的25%。接合部的粘接劑使用Loctite (口 'y夕夕4卜)638 (Henkel制造)。將該大型膜用框體以短邊為上下方向、長邊為與地面水平的方向的方式垂直地豎立于地面之后，從上下方向安裝操作夾具。操作夾具由被作業(yè)人員把持的把手部、及連結(jié)于把手部并保持大型膜的保持部構(gòu)成，保持部呈-字狀。該保持部由插入到形成于大型膜用框體的短邊的槽部地進行卡合的一對卡合部、及連結(jié)把手部并支承長邊的支承部構(gòu)成?？ê喜渴蔷哂信c形成于短邊的槽部的寬度相同厚度的縱長狀的構(gòu)件，將構(gòu)件卡合部的長度設(shè)為700mm,將卡合部的寬度設(shè)為33mm。而且,一對卡合部之間的間隔達到1742mm。另外,支承部是具有與大型膜用框體的長邊相同厚度的縱長狀的構(gòu)件，支承部的長度達到1752mm。接著，在安裝有操作夾具的狀態(tài)下使位置變化為大型膜用框體成為水平，而且，再將位置恢復(fù)到垂直方向。將該操作進行10次。結(jié)果，能夠獲得本實施方式的大型膜用框體不會自操作夾具脫落這樣的結(jié)果。接著，對于該大型膜用框體，使用苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯類的熱熔粘合劑作為粘合劑，以厚度為I. 8_、涂敷寬度為6_且自開口部起具有2_的間隔的方式，沿著大型膜用框體的各邊進行涂敷。然后，在無塵室中，將大型膜用框體粘貼在青板玻璃(青板力' 7 >)上而不粘貼在光掩模上。大型膜用框體的粘貼是使用粘貼裝置，沿著將各邊的角部彼此連接的直線以與大型膜用框體的寬度相應(yīng)的量施加壓力。結(jié)果，能夠按壓粘合劑層的整個面，從而能夠均勻地按壓粘合劑層。并且，在該狀態(tài)下粘貼大型膜用框體而在垂直狀態(tài)下放置了 I個月，但也未產(chǎn)生空氣路徑等。實施例2將長邊的寬度設(shè)為9mm，將長邊的長度設(shè)為780mm，將短邊的寬度設(shè)為7mm，將短邊的長度設(shè)為470_，將接合部的形狀設(shè)為自框體的內(nèi)周頂點朝向外周頂點的平面形狀，除此以外，與實施例I同樣地形成大型膜用框體。另外，圖10是表示實施例2的接合部的形狀的概略立體圖。在這種情況下，Lp為Le的長度的0%，而且，Lp為Ls的長度的0%。與實施例I同樣地評價是否產(chǎn)生空氣路徑的結(jié)果，未產(chǎn)生空氣路徑等。比較例I除了不具有接合部之外，與實施例I同樣地形成大型膜用框體。與實施例I同樣地對該大型膜用框體確認操作性的結(jié)果，獲得了該大型膜用框體自操作夾具脫落兩次的結(jié)果。另外，與實施例I同樣地確認是否存在空氣路徑的結(jié)果，通過目測確認到在長邊中央部分的幾處產(chǎn)生了空氣路徑。比較例2除了將接合部設(shè)置在一對長邊的邊方向中心位置(S卩，設(shè)有兩處接合部)之外，與 比較例I同樣地形成大型膜用框體。與實施例I同樣地對該大型膜用框體確認是否存在空氣路徑的結(jié)果，通過目測確認到在長邊中央部分的幾處產(chǎn)生了空氣路徑。實施例3將大型膜用框體的材質(zhì)(所有分割框體的材質(zhì))設(shè)為鋁合金，將厚度設(shè)為4. 0mm，將長邊的寬度設(shè)為6. 0mm，將長度設(shè)為430mm。另外，短邊的寬度為6. 0mm，長度為300mm，在短邊側(cè)全長上設(shè)有槽，槽的深度為2mm，槽的高度為I. 5mm。另外，角部的曲率為R = 2mm。除此之外，如圖2所示地形成大型膜用框體。分割框體21a、21b的長度為370mm，分割框體21c、21d的長度為240_。接合部做成如圖7所示地在一個構(gòu)件的端部設(shè)有I個圓形凸部的形狀。凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為I. 6mm的長度，凸部的前端側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為3. 0mm，將接合間隙的尺寸設(shè)定為0. 03mm，不使用粘接劑地從上下方向進行嵌合。進行目測檢查的結(jié)果，在外觀上沒有問題。尺寸穩(wěn)定測定對上述框體進行外形尺寸測定，在加熱板上以140°C進行10分鐘的加熱處理之后，對長邊中央部進行外形尺寸測定，測定其變形量。外形尺寸測定是利用三豐(S 7卜3，Mitutoyo) FAL 一 1600系列進行測定。將其結(jié)果記載于表I中。接合強度試驗接著,進行接合強度試驗。制作包含與上述同樣的接合形狀部的IOOmm的棒狀構(gòu)件的樣品。接合部處于IOOmm的棒狀構(gòu)件一半的50mm的位置。使寬度方向朝向上表面地自接合部起空開IOmm進行夾持(夾持是自接合部起IOmm 30mm的范圍),對自接合部起IOmm的部位施加力來測定夾持的相反側(cè)。測定裝置使用Imada ( 4 I夕'')的數(shù)字型測力儀。將結(jié)果記載于表I中。接著，對于該大型膜用框體，使用苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯類的熱熔粘合劑作為粘合劑，以I. 4mm的厚度沿著大型膜用框體的各邊進行涂敷。另外，利用旋涂法將纖維素酯的大型表膜在基板上成膜，使該膜粘接在臨時框體上，之后自基板剝離。該臨時框體使用鋁制的材料。之后，在涂敷有上述熱熔粘合材料的大型膜用框體上，在未涂敷有熱熔粘合劑的相反側(cè)的面上涂敷丙烯酸類的膜粘接劑，使臨時框體的大型表膜粘接并固化，切斷多余膜而制作大型膜，通過目測檢查外觀，確認沒有問題。切斷之后，框體朝內(nèi)側(cè)撓曲，因此在形狀穩(wěn)定之后，通過目測確認接合部的接合面。其結(jié)果如表I所示。實施例4長邊的寬度被設(shè)定為9. Omm,長度被設(shè)定為800mm,短邊寬度被設(shè)定為7. Omm,長度被設(shè)定為480mm，角部的曲率被設(shè)定為R = 0mm。除此之外的槽的長度和深度、框體的厚度與實施例I相同。此次是做成圖4那樣的分割框體，41c、41d設(shè)為480mm，41a、41b設(shè)為790mm。接合部做成如圖8的(a)所示地在一個構(gòu)件的端部設(shè)有兩個圓形凸部的形狀。凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為I. 5mm的長度，凸部的前端側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為2. Omm,將接合間隙的尺寸設(shè)定為0. 02mm，不使用粘接劑地從上下方向進行嵌合。進行目測檢查的結(jié)果，在外觀上沒有問題。之后，除了將熱熔粘合材料的厚度設(shè)為2. Omm之外，與實施例3同樣地制作大型膜，同樣地進行評價。將其結(jié)果記載于表I中。實施例5長邊的寬度被設(shè)定為21. Omm,長度被設(shè)定為2000mm,短邊的寬度被設(shè)定為19. 5mm,長度被設(shè)定為1800mm,角部的曲率被設(shè)定為R = Omm,將框體的厚度設(shè)為6. 0mm。除此之外的槽的長度和深度與實施例I相同。此次做成圖6那樣的分割框體，將51c、51c’、51d、51d，分別設(shè)為900mm，將51a、51a’、51b、51b’分別設(shè)為982mm。接合部做成如圖9的Ca)所示地設(shè)有3個梯形形狀的凸部的形狀。凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為2. Imm的長度，凸部的前端側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為4. 2mm,將接合間隙的尺寸設(shè)定為0. 015mm,不使用粘接劑地從上下方向進行嵌合。進行目測檢查的結(jié)果，在外觀上沒有問題。之后，除了將熱熔粘合材料的厚度設(shè)為2. Omm之外，與實施例3同樣地制作大型膜，同樣地進行評價。將其結(jié)果記載于表I中。比較例3準備沒有接合部的來自一塊母材的切出框體。長邊的寬度設(shè)為9. 0mm，長度設(shè)為800mm,短邊的寬度設(shè)為7. Omm,長度設(shè)為480mm。材質(zhì)為招合金,使用厚度為4. Omm的大型膜用框體。在短邊側(cè)全長上設(shè)有槽，槽的深度為2mm，槽的高度為1.5mm。另外，角部的曲率為R= 2mm。除此之外，與實施例3同樣地制作大型膜，同樣地進行評價。將其結(jié)果記載于 表I中。但是，由于沒有接合部，因此未進行接合強度試驗。比較例4將接合部的形狀設(shè)為圖11那樣的形狀，使用二液性的常溫固化型聚氨酯粘接劑進行接合，除此之外，與實施例3同樣地制作大型膜用框體之后，與實施例3同樣地制作大型膜，同樣地進行評價。將其結(jié)果記載于表I中。在制作大型膜用框體之后進行目測檢查的結(jié)果，粘接劑產(chǎn)生松動(流掛，夕' >)，在外觀上也看到了由粘接劑的松動引起的污垢(斑點，'>安)等。參考例I接合部做成如圖12所示地在一個構(gòu)件的端部設(shè)有兩個正三角形狀的凸部的形狀。凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為2. Omm的長度,接合間隙的尺寸被設(shè)定為Omm,利用激光焊接進行接合而制作大型膜用框體之后，與實施例3同樣地制作大型膜，同樣地進行評價。將其結(jié)果記載于表I中。制作大型膜用框體之后進行目測檢查的結(jié)果，在接合部產(chǎn)生焊接后的凹凸，外觀也不佳。另外，制作大型膜之后的外觀也是凹凸部分閃閃發(fā)光而看上去像異物，檢查性也不佳。
參考例2接合部做成如圖13所示地在一個構(gòu)件的端部設(shè)有3個梯形形狀的凸部的形狀。凸部的根部側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為4. 2mm的長度，凸部的前端側(cè)的最大橫尺寸被設(shè)定為2. Imm的長度，接合間隙的尺寸被設(shè)定為0_，使用熱壓配合進行接合而制作大型膜用框體。之后，與實施例5同樣地制作大型膜，同樣地進行評價。將其結(jié)果記載于表I中。在制作大型膜用框體之后進行目測檢查的結(jié)果，外觀良好，但接合強度較弱，因此在制作大型膜之后的目測檢查中，看到間隙、裂痕，異物夾在其中。另外，形狀不再是矩形狀。表I
\\接A部形加熱試Ia接A強度目測*t果艇衫脹后
\ 分割位置織劑y接合間隙后的變化接的 \執(zhí)-I-外觀
rd——bL—I—
實施例:！S 「無 G 0.03 mm 0.19 mm kgf_ OO
mm um I* ma^anr|
__i=^n________
實族例,1 I 4 I 無^ 0.02 mm 0,2 mm 40 kgf OO
FF++i
實施例 5 -8--無 50.2 mm 50 kgf OO
__^mm_____
比較例3 —樓件- -- 0.47 mm - OO
().70 mm粘接削的，, r
,,二液性的(產(chǎn)生裂松動變成I3=
V: -I-J I十常溫固化, 痕、間故，污垢邵^
^ —I A-型聚氨酯____尺寸精度J g樣，看上ft:
.1I 枯接劑變差。有去像異f______起塵，)___物..H
1 ■f接合部存
參考例1 I I—4 |1.........\無 0.35mm 25kgf
___.二______it,__
悶性皎弱產(chǎn)生裂H-, 無 ~g— 且產(chǎn)生裂痕、間隙，參考例2 -fS--(熱壓配 > 無痕、間故，5 kgf o 尺寸不穩(wěn)'++-P 合) ~=~■ 無法用作定，產(chǎn)生_____膜根體..____棄物...實施例6大型膜用框體的材質(zhì)(所有分割框體的材質(zhì))為鋁合金，將厚度設(shè)為4. 0mm，將長邊的寬度設(shè)為6. 0mm，將長度設(shè)為430mm。另外，將短邊的寬度設(shè)為6. 0mm，將長度設(shè)為300mm，在短邊的側(cè)面全長上設(shè)置槽，將槽的深度設(shè)為2_，將槽的高度設(shè)為I. 5_。另外，將角部的曲率設(shè)為R = 2mm。其它構(gòu)造利用圖2所示的構(gòu)造來制作大型膜用框體。構(gòu)成長邊的分割框體的長度為370mm，構(gòu)成短邊的分割框體的長度設(shè)為240mm。接合部做成如圖14所示地使分割框體80a的具有高度差的端面81a與分割框體80b的具有高度差的端面81b抵接而成的臺階形狀。在圖14中，具體的尺寸設(shè)為自下表面起在垂直方向上為I. 3_，在長度方向上為10mm，再在垂直方向上為I. 3mm，在長度方向上為10mm，進而在垂直方向上為I. 4mm，并使用粘接劑。粘接劑使用Loctite 638 (Henkel制造)。進行目測檢查的結(jié)果，在外觀上沒有問題。
_7] 尺寸穩(wěn)定測定之測定方法測定裝置使用激光位移計(基恩斯(Keyence)制造的LJ 一 G030)。與框體的外部尺寸相吻合地逐根制作正四邊形的標準樣品。不同于此，在實施例及比較例的條件下分別針對每一例子制作5個樣品，與正四邊形的標準樣品進行比較。即便在5個樣品中的I個樣品中，若差異最大的部分為I. Omm以上，則也記為X ,若為0. 5mm以上、小于I. Omm,則記為A ,若小于0. 5mm,則記為〇。接合強度測試接著，進行接合強度試驗。制作包含與上述相同形狀的接合部的IOOmm的棒狀的 框體的樣品。接合部處于IOOmm的棒狀一半的50mm的位置。使寬度方向朝向上表面地自接合部起空開IOmm進行夾持(夾持是自接合部起IOmm 30mm的范圍),對自接合部起IOmm的部位施加力來測定夾持的相反側(cè)。測定裝置使用Ima da的數(shù)字型測力儀。將結(jié)果記載于表2及表3中。接著，對于該大型膜用框體，使用苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯類的熱熔粘合劑作為粘合劑，以I. 4mm的厚度沿著大型膜用框體的各邊進行涂敷。另外，利用旋涂法將纖維素酯的大型表膜在基板上成膜，使該大型表膜粘接在臨時框體上，之后自基板剝離。該臨時框體使用鋁制的材料。之后，在涂敷有上述熱熔粘合材料的大型膜用框體上，在未涂敷有熱熔粘接劑的相反側(cè)的面上涂敷丙烯酸類的膜粘接劑，使臨時框體的大型表膜粘接并固化。然后，切斷多余膜來制作大型膜，通過目測檢查外觀，確認沒有問題。切斷之后，大型膜用框體朝內(nèi)側(cè)撓曲，因此在形狀穩(wěn)定之后，通過目測確認接合部的接合面。將其結(jié)果表不于表2及表3中。表權(quán)利要求
1.一種大型膜用框體，其具有俯視矩形狀的開口部，其特征在于， 框部形成所述開口部的周緣，該框部沿著自身軸向具有3處以上的接合部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的大型膜用框體，其特征在于， 在所述大型膜用框體的角部具有所述接合部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的大型膜用框體，其特征在于， 所述框部由選自鋁及鋁合金的至少I種金屬構(gòu)件構(gòu)成，在所述大型膜用框體的軸向截面的XRD測定結(jié)果中，(111)面的峰值強度/ (200)面的峰值強度的比率為I. O以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項所述的大型膜用框體，其特征在于， 在所述大型膜用框體的軸向截面的XRD測定結(jié)果中，(111)面的峰值強度/ (200)面的峰值強度的比率為0.8以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任一項所述的大型膜用框體，其特征在于， 在所述接合部，被接合的一方的構(gòu)件的端部至少設(shè)有一個朝向被接合的另一方的構(gòu)件突出的凸部，在所述另一方的構(gòu)件的端部設(shè)有供所述凸部嵌合的凹部； 通過將所述凸部嵌合于所述凹部，所述一方的構(gòu)件的端部接合于所述另一方的構(gòu)件的端部。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任一項所述的大型膜用框體，其特征在于， 所述開口部的面積為IOOOcm2 35000cm2。
7.根據(jù)權(quán)利要求I 6中任一項所述的大型膜用框體，其特征在于， 所述接合部的接合強度為IOkgf以上。
8.根據(jù)權(quán)利要求I 7中任一項所述的大型膜用框體，其特征在于， 所述接合部通過所接合的所述構(gòu)件的端部相互間利用化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑接合而成。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的大型膜用框體，其特征在于， 所述化學(xué)反應(yīng)型的粘接劑包含選自丙烯酸類粘接劑及環(huán)氧類粘接劑的至少I種粘接劑。
10.一種大型膜,其中， 該大型膜包括權(quán)利要求I 9中任一項所述的大型膜用框體、及覆蓋所述開口部并被該大型膜用框體展開支撐的大型表膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種大型膜用框體。該大型膜用框體的操作性良好，而且使用時能夠抑制產(chǎn)生空氣路徑。該大型膜用框體以覆蓋開口部的方式展開支承大型表膜，其中，形成開口部的周緣的框部沿著框部的軸向具有3處以上接合部。
文檔編號G03F1/64GK102782576SQ20118001182
公開日2012年11月14日 申請日期2011年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月10日
發(fā)明者北島慎太郎, 山中幸也, 巖倉誠二, 松榮宏治, 谷典子 申請人:旭化成電子材料株式會社, 株式會社村元工作所