專利名稱：集成光子應用的具有電感負載的傳輸線的制作方法
技術領域：
本發(fā)明一般地涉及用于集成光子應用的傳輸線。
背景技術：
超高速光學調(diào)制器(例如，大于20千兆字節(jié)/秒)經(jīng)常被實施為行進波(Traveling Wave，TW)結構。TW配置試圖分散長調(diào)制器的電容，以便其將合理的特征阻抗(而非龐大的集總電容)提供給驅動器電路。TW配置試圖使沿著電極行進的微波調(diào)制信號的速度匹配同樣沿著所述電極行進的被調(diào)制的光波。理想的無損耗傳輸線被設計成具有特征阻抗(Zciu)及微波速度(Vpu)，兩者皆高于傳輸線無負載時的最終有負載設計目標(Zcilj, Vpl)。本文中,無負載意味著傳輸線并未接觸包含光學信號的波導。無負載條件的理想無損耗傳輸線公式包括
權利要求
1.一種傳輸線,包括 多個區(qū)段，其形成一電路徑； 連續(xù)光學路徑，其通過所述區(qū)段；以及 分離電感器，所述分離電感器被形成在相鄰區(qū)段之間并連接所述相鄰區(qū)段，所述電感器被形成在集成電路的多個金屬層中，用以平衡包含所述傳輸線的光學調(diào)制器的電容，以便獲得所述傳輸線的特征阻抗。
2.如權利要求I中所述的傳輸線,其中所述集成電路包括襯底,所述襯底包括半導體材料和聚合材料中的至少一個。
3.如權利要求I或2中所述的傳輸線，其中所述多個區(qū)段包含用于保持物理尺寸在所述傳輸線中行進的電信號的波長以下的區(qū)段數(shù)。
4.如任一上述權利要求中所述的傳輸線，其中電感線圈包括在大約I皮亨與10納亨之間的電感。
5.如任一上述權利要求中所述的傳輸線，其中電感線圈包括小于50歐姆的串聯(lián)電阻。
6.如任一上述權利要求中所述的傳輸線，其中所述傳輸線包括至少I千兆字節(jié)/秒的帶寬。
7.如任一上述權利要求中所述的傳輸線，還包括延遲機構，其被配置為匹配在所述電路徑上行進的電信號與在所述光學路徑上行進的光學信號之間的相位。
8.如權利要求7中所述的傳輸線，其中所述延遲機構包括插入所述光學路徑中的光學延遲線。
9.如權利要求7中所述的傳輸線，其中所述延遲機構包括用于比較所述電信號和所述光學信號的相位的延遲鎖定回路。
10.如權利要求9中所述的傳輸線，還包括耦合到區(qū)段電容的變?nèi)萜鳎渲杏伤鲅舆t鎖定回路控制所述變?nèi)萜鳌?br> 11.一種用于實施寬帶傳輸線的方法，所述方法包括 通過在寬帶傳輸線的相鄰區(qū)段之間連接分離電感器來平衡所述傳輸線的光學調(diào)制器的電容，以獲得所述傳輸線的特征阻抗；以及 調(diào)諧控制電路以匹配在所述傳輸線中行進的電信號與光學信號之間的速度。
12.如權利要求11中所述的方法，還包括在集成電路的多個金屬層中形成所述電感器以便減小串聯(lián)電阻并增大電感。
13.如權利要求11或12中所述的方法，其中調(diào)諧包括在所述光學路徑中插入光學延遲線。
14.如權利要求11或12中所述的方法，其中調(diào)諧包括使用延遲鎖定回路來比較所述電信號與所述光學信號的相位。
15.如權利要求11或12中所述的方法，其中調(diào)諧包括調(diào)整耦合到區(qū)段電容的變?nèi)萜鳌?br> 16.如權利要求11中所述的方法，還包括使用光學分接電路監(jiān)視所述光學路徑中的光學信號。
全文摘要
一種傳輸線(304)，包括形成電路徑(203)的多個區(qū)段以及通過所述區(qū)段的連續(xù)光學波導(205)。多個分離電感器(102)被形成在相鄰區(qū)段之間并連接所述相鄰區(qū)段。所述電感器(102)被形成在集成電路的多個金屬層中，以便平衡包含在所述光學波導(205)上形成的所述傳輸線(304)的光學調(diào)制器的電容，由此獲得所述傳輸線的預定特征阻抗。使用延遲鎖定回路(305)控制變?nèi)萜?302)以匹配光學信號和電信號的延遲?？梢允褂霉鈱W波導區(qū)段(210)來匹配所述延遲。
文檔編號G02F1/025GK102906632SQ201180024639
公開日2013年1月30日 申請日期2011年5月24日 優(yōu)先權日2010年6月8日
發(fā)明者A·雷利亞科夫, C·L·朔, W·M·格林, Y·弗拉索夫 申請人:國際商業(yè)機器公司