專(zhuān)利名稱(chēng)：感光性樹(shù)脂組合物和感光性樹(shù)脂組合物的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種感光性樹(shù)脂組合物和感光性樹(shù)脂組合物的制造方法。
背景技術(shù)：
目前，感光性樹(shù)脂組合物在半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜、層間絕緣膜和集成電路、印刷線路板的制造工藝中被廣泛利用。作為感光性樹(shù)脂組合物，可以使用耐熱性?xún)?yōu)異、具有卓越的電特性、機(jī)械特性等的聚苯并噁唑樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等。另外，作為感光性樹(shù)脂組合物，為了簡(jiǎn)化工藝，也可以使用在這些聚苯并噁唑樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等中組合有感光劑的重氮醌化合物的組合物(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。另外，可以使用在感光性樹(shù)脂組合物中添加有表面活性劑的組合物。在該種技術(shù)中，通過(guò)添加表面活性劑，使感光性樹(shù)脂組合物的表面張力降低，謀求涂敷性的均勻化。在該技術(shù)中，通常的方法為一并添加聚苯并噁唑樹(shù)脂、作為感光劑的重氮醌化合物和表面活性劑而得到感光性樹(shù)脂組合物?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)昭56-27140號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題在現(xiàn)有的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法中，從生產(chǎn)率的觀點(diǎn)出發(fā),通過(guò)一并添加聚苯并噁唑樹(shù)脂、作為感光劑的重氮醌化合物和表面活性劑，得到感光性樹(shù)脂組合物。但是，本發(fā)明的發(fā)明人進(jìn)行了研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在聚苯并噁唑樹(shù)脂中直接添加表面活性劑時(shí)，感光性樹(shù)脂組合物中的表面活性劑的分散降低。其結(jié)果，判明了在涂敷于晶片上的涂膜中產(chǎn)生縮孔，感光性樹(shù)脂組合物的涂膜特性降低。用于解決課題的方法本發(fā)明包括以下發(fā)明。[I]一種感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，上述感光性樹(shù)脂組合物至少含有(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光氧發(fā)生劑、(C)表面活性劑和(D)有機(jī)溶劑，上述制造方法包括得到含有上述(C)表面活性劑和上述(D)有機(jī)溶劑、且不含有上述(A)堿可溶性樹(shù)脂和上述(B)光氧發(fā)生劑的分散液的工序，和在上述分散液中添加上述(A)堿可溶性樹(shù)脂和上述(B)光氧發(fā)生劑的工序。[2]如[I]所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其中，在得到上述分散液的上述工序中，上述表面活性劑的分散液中的上述(C)表面活性劑的濃度為臨界膠束濃度以下。[3]
如[I]或[2]所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其中，在得到上述分散液的上述工序中，上述分散液中的直徑為O. 15 μ m以上的粒子數(shù)為500個(gè)/mL以下。[4]如[I] [3]中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其中，在得到上述分散液的上述工序中，相對(duì)于上述(D)有機(jī)溶劑，上述(C)表面活性劑的含量為O. 005質(zhì)量％以上、O. 5質(zhì)量％以下。
[5] 如[I] [4]中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其中，在添加上述(A)堿可溶性樹(shù)脂和上述(B)光氧發(fā)生劑的上述工序中，對(duì)上述分散液進(jìn)一步加入上述(D)有機(jī)溶劑。[6]如[I] [5]中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其中，上述(C)表面活性劑具有全氟烷基。[7]如[I] [6]中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其中，上述(A)堿可溶性樹(shù)脂至少具有下述通式(I)所示的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，所述感光性樹(shù)脂組合物至少含有(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光氧發(fā)生劑、(C)表面活性劑和(D)有機(jī)溶劑，所述制造方法包括得到含有所述(C)表面活性劑和所述(D)有機(jī)溶劑、且不含有所述(A)堿可溶性樹(shù)脂和所述(B)光氧發(fā)生劑的分散液的工序；和在所述分散液中添加所述(A)堿可溶性樹(shù)脂和所述(B)光氧發(fā)生劑的工序。
2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于在得到所述分散液的所述工序中，所述表面活性劑的分散液中的所述(C)表面活性劑的濃度為臨界膠束濃度以下。
3.如權(quán)利要求1或2所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于在得到所述分散液的所述工序中，所述分散液中的直徑為O. 15μπι以上的粒子數(shù)為 500個(gè)/mL以下。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于 在得到所述分散液的所述工序中，相對(duì)于所述(D)有機(jī)溶劑，所述(C)表面活性劑的含量為O. 005質(zhì)量％以上、O. 5質(zhì)量％以下。
5.如權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于 在添加所述(A)堿可溶性樹(shù)脂和所述(B)光氧發(fā)生劑的所述工序中，對(duì)所述分散液進(jìn)一步加入所述(D)有機(jī)溶劑。
6.如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于 所述(C)表面活性劑具有全氟烷基。
7.如權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于 所述(A)堿可溶性樹(shù)脂至少具有下述通式(I)所示的結(jié)構(gòu)，
8.—種感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于其是用權(quán)利要求1 7中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法得到的。
9.如權(quán)利要求8所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于在下述條件測(cè)得的在晶片上涂敷所述感光性樹(shù)脂組合物時(shí)產(chǎn)生的缺陷數(shù)為50pcs以下，<條件>在6英寸的硅晶片上涂敷所述感光性樹(shù)脂組合物，在120°C干燥·分鐘之后，通過(guò)顯微鏡觀察觀察縮孔，測(cè)定每5枚所述晶片的縮孔產(chǎn)生的缺陷數(shù)。
全文摘要
一種至少含有(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光氧發(fā)生劑、(C)表面活性劑和(D)有機(jī)溶劑的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，包括得到含有(C)表面活性劑和(D)有機(jī)溶劑、且不含有(A)堿可溶性樹(shù)脂和(B)光氧發(fā)生劑的分散液的工序，和在該分散液中添加(A)堿可溶性樹(shù)脂和(B)光氧發(fā)生劑的工序。
文檔編號(hào)G03F7/004GK103003752SQ20118002741
公開(kāi)日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2011年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月3日
發(fā)明者田中裕馬, 堀井誠(chéng) 申請(qǐng)人:住友電木株式會(huì)社