用于激光束掃描的聲光偏轉(zhuǎn)器的配置的制作方法
【專利摘要】第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收激光束。第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所接收的激光束沿著第一軸衍射。第二聲光偏轉(zhuǎn)器接收經(jīng)衍射的激光束。第二聲光偏轉(zhuǎn)器使所接收的經(jīng)衍射的激光束沿著第二軸衍射。
【專利說明】用于激光束掃描的聲光偏轉(zhuǎn)器的配置
[0001] 背景
[0002] 1.領(lǐng)域
[0003] 本公開涉及一種用于激光束掃描的聲光偏轉(zhuǎn)器的配置的方法和系統(tǒng)。 2.技術(shù)背景
[0004] 基于檢流計(jì)的光學(xué)掃描器用于定位光束以用于工業(yè)、科學(xué)、成像和激光應(yīng)用的廣 泛范圍?；跈z流計(jì)的掃描器可被稱為"振鏡（galvos)"。振鏡系統(tǒng)可由檢流計(jì)、一個或多 個反射鏡、和伺服電路構(gòu)成，伺服電路用于驅(qū)動振鏡系統(tǒng)并且控制一個或多個反射鏡的定 位。
[0005] 基于振鏡的系統(tǒng)可用于激光束掃描和用于諸如集成電路設(shè)計(jì)之類的應(yīng)用中激光 鉆孔。在集成電路設(shè)計(jì)中，通孔是絕緣氧化層中的允許不同層之間導(dǎo)電連接的小開口?；?于振鏡的激光鉆孔在電子行業(yè)中是很平常的，從而允許為一定范圍的產(chǎn)品制造高密度的電 路。在基于振鏡的激光鉆孔中，通過基于振鏡的系統(tǒng)中的反射鏡的機(jī)械運(yùn)動控制激光束，以 在絕緣介電層或一些其他材料上鉆通孔。
[0006] 可通過增加振鏡頻率和通過其他機(jī)制來提高鉆孔的生產(chǎn)率。鑒于對振鏡系統(tǒng)中的 反射鏡機(jī)械運(yùn)動的速度的限制，振鏡頻率難以增加。反射鏡的機(jī)械運(yùn)動還使得難以提高激 光束的定位的精確度。因此，振鏡系統(tǒng)可能相對慢并且振鏡系統(tǒng)的精確度可能是有限的。
[0007] 聲光偏轉(zhuǎn)器還可用于空間地控制激光束。在聲光偏轉(zhuǎn)器的操作中，在聲波頻率被 改變以使激光束偏轉(zhuǎn)至不同的角位置的同時，驅(qū)動聲光偏轉(zhuǎn)器的功率可保持恒定水平。在 聲光偏轉(zhuǎn)器中，激光束的檢測角度和角位置的變化與聲波頻率成線性比例。如果聲波頻率 更高，則衍射角越大。
[0008] 附圖簡述
[0009] 現(xiàn)參照附圖，在附圖通篇中相同的附圖標(biāo)記表示對應(yīng)的部件：
[0010] 圖1示出了根據(jù)某些實(shí)施例的顯示聲光偏轉(zhuǎn)器如何產(chǎn)生可調(diào)節(jié)的衍射光束的框 圖；
[0011] 圖2示出了根據(jù)某些實(shí)施例的第一示例性激光鉆孔系統(tǒng)，其中激光束通過兩個聲 光偏轉(zhuǎn)器衍射；
[0012] 圖3不出了根據(jù)某些實(shí)施例的在第一不例性激光鉆孔系統(tǒng)中的兩個聲光偏轉(zhuǎn)器 的示例性配置；
[0013] 圖4示出了根據(jù)某些實(shí)施例的第二示例性激光鉆孔系統(tǒng)，其中激光束首先通過第 一聲光偏轉(zhuǎn)器衍射并且然后通過多個聲光偏轉(zhuǎn)器中的一個衍射；
[0014] 圖5不出了根據(jù)某些實(shí)施例的在第二不例性激光鉆孔系統(tǒng)中的聲光偏轉(zhuǎn)器的不 例性配置；
[0015] 圖6示出了根據(jù)某些實(shí)施例的第三示例性激光鉆孔系統(tǒng)，其中激光束通過兩個聲 光偏轉(zhuǎn)器衍射并且然后通過放大光學(xué)單兀傳輸；
[0016] 圖7示出了根據(jù)某些實(shí)施例的在第三示例性激光鉆孔系統(tǒng)中的兩個聲光偏轉(zhuǎn)器 和放大光學(xué)單元的示例性配置；
[0017] 圖8示出了根據(jù)某些實(shí)施例的第四示例性激光鉆孔系統(tǒng)，其中激光束通過分束器 或波束切換裝置傳輸并且然后通過多個聲光偏轉(zhuǎn)器衍射；以及
[0018] 圖9示出了根據(jù)某些實(shí)施例的顯示某些操作的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0019] 在以下描述中，參照形成本說明書一部分并且示出數(shù)個實(shí)施例的附圖。應(yīng)理解，可 利用其它實(shí)施例，且可作出結(jié)構(gòu)和操作改變。
[0020] 在某些實(shí)施例中，在鉆孔系統(tǒng)中配置多個聲光偏轉(zhuǎn)器。激光束通過多個聲光偏轉(zhuǎn) 器衍射。多個聲光偏轉(zhuǎn)器的配置允許經(jīng)衍射的激光束的空間定位的范圍的增加超過單個聲 光偏轉(zhuǎn)器所允許的增加。此外，與振鏡系統(tǒng)相比，這種基于聲光的激光鉆孔系統(tǒng)具有更大的 鉆孔生產(chǎn)量和精確度。在某些實(shí)施例中，聲光偏轉(zhuǎn)器可配置用于激光掃描和除鉆孔之外的 其他應(yīng)用。
[0021] 圖1示出了根據(jù)某些實(shí)施例的顯示聲光偏轉(zhuǎn)器102如何產(chǎn)生可調(diào)節(jié)的衍射光束的 框圖100。激光束104入射在聲光偏轉(zhuǎn)器102上，其中激光束104被稱為入射激光束。基于 施加至聲光偏轉(zhuǎn)器102的電輸入106,入射激光束104在聲光偏轉(zhuǎn)器中經(jīng)受衍射并且產(chǎn)生經(jīng) 衍射的激光束108。經(jīng)衍射的激光束108和入射激光束104之間的角經(jīng)由圖1中的附圖標(biāo) 記110示出并且被稱為衍射角。
[0022] 可通過改變聲光偏轉(zhuǎn)器102中的聲波頻率、通過包括在電輸入106中的射頻驅(qū)動 器來控制衍射角110。如果聲波頻率越高，則衍射角越大。然而，如果使用單個聲光偏轉(zhuǎn)器 102,則衍射角可改變的范圍相對小。因此，在聲光偏轉(zhuǎn)器102的示例性實(shí)施例中，當(dāng)經(jīng)衍射 的光束被用于在基板上鉆孔和其他應(yīng)用時，由入射光束104產(chǎn)生的經(jīng)衍射的光束108可呈 現(xiàn)有限的空間范圍（經(jīng)由附圖標(biāo)記112表示的）。
[0023] 此外，單個聲光偏轉(zhuǎn)器102使入射激光束104沿著單一維度偏轉(zhuǎn)。例如，如果通過 彼此垂直的X軸（表不水平方向）和Y軸（表不垂直方向）來表不基板的二維表面，貝 1J在 示例性實(shí)施例中，當(dāng)以某一位置或取向放置時聲光偏轉(zhuǎn)器102可在空間上將經(jīng)衍射的光束 定位在垂直方向中。
[0024] 因此，圖1示出了某些實(shí)施例，其中聲光偏轉(zhuǎn)器102呈現(xiàn)經(jīng)衍射的激光束的一維空 間定位的有限范圍?？梢宰⒁獾剑诼暪馄D(zhuǎn)器102中，入射激光束和聲波傳播方向之間的 角應(yīng)當(dāng)接近于布拉格（Bragg)角以便為第一階經(jīng)衍射的光束提供最大效率。
[0025] 圖2示出了根據(jù)某些實(shí)施例的第一示例性激光鉆孔系統(tǒng)200,其中激光束被兩個 聲光偏轉(zhuǎn)器202、204衍射。
[0026] 除兩個聲光偏轉(zhuǎn)器202、204之外，第一不例性激光鉆孔系統(tǒng)200由激光諧振器 206、孔眼掩模208、反射鏡210、掃描透鏡212和X-Y工作臺214構(gòu)成，在其上鉆有通孔的基 板216被放置在X-Y工作臺214上。
[0027] 激光諧振器206根據(jù)鉆孔的需求產(chǎn)生某些形狀的激光束218?？籽垩谀?08限定 一個或多個孔眼以基于正在使用的孔眼使由激光諧振器206產(chǎn)生的激光束218成形為預(yù)定 的形狀。反射鏡210光學(xué)地反射由于孔眼掩模208的應(yīng)用而產(chǎn)生的成形的激光束220。被 反射鏡210反射之后的激光束220經(jīng)受通過兩個聲光偏轉(zhuǎn)器202、204的連續(xù)衍射，并且然 后完全穿過掃描透鏡212以在定位在X-Y工作臺214上的基板216上鉆孔。
[0028] 圖3示出了根據(jù)某些實(shí)施例的在第一示例性激光鉆孔系統(tǒng)200中的兩個聲光偏轉(zhuǎn) 器202、204的示例性配置300。圖3所示的示例性配置300是圖2所示的第一示例性激光 鉆孔系統(tǒng)200的一部分。
[0029] 可從圖3看出，聲光偏轉(zhuǎn)器202以其中聲光偏轉(zhuǎn)器202與聲光偏轉(zhuǎn)器204垂直地 隔開距離302的配置定位。如果Χ-Υ工作臺214的水平表面由X軸304和Υ軸306二維地 表示，則聲光偏轉(zhuǎn)器204沿著一個軸取向而聲光偏轉(zhuǎn)器204沿另一軸取向。例如，在某些實(shí) 施例中，聲光偏轉(zhuǎn)器202可沿著Υ軸306取向，并且聲光偏轉(zhuǎn)器204可沿著X軸304取向。
[0030] 在某些實(shí)施例中，通過以如圖3所示的配置定位和取向兩個聲光偏轉(zhuǎn)器202、204， 可使激光束308經(jīng)受在二維平面中的偏轉(zhuǎn)。沿著Υ軸306取向的聲光偏轉(zhuǎn)器202使激光束 308沿著Υ軸306偏轉(zhuǎn)，并且然后聲光偏轉(zhuǎn)器204進(jìn)一步使通過聲光偏轉(zhuǎn)器202偏轉(zhuǎn)的激光 束（沿著X軸304)偏轉(zhuǎn)。因此，激光束可投射到二維表面上以用于鉆孔和其他應(yīng)用。
[0031] 圖4示出了根據(jù)某些實(shí)施例的第二示例性激光鉆孔系統(tǒng)400,其中激光束首先通 過第一聲光偏轉(zhuǎn)器402衍射并且然后通過多個聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405中的一個衍射。
[0032] 除四個聲光偏轉(zhuǎn)器402、403、404、405之外，第二示例性激光鉆孔系統(tǒng)400由激光 諧振器406、孔眼掩模408、反射鏡410、掃描透鏡412和Χ-Υ工作臺414構(gòu)成，在其上鉆通孔 的基板416被放置在Χ-Υ工作臺414上。
[0033] 激光諧振器406根據(jù)鉆孔的需求產(chǎn)生某些形狀的激光束418?？籽垩谀?08限定 一個或多個孔眼以基于正在使用的孔眼使由激光諧振器406產(chǎn)生的激光束418成形為預(yù)定 的形狀。反射鏡410光學(xué)地反射由于孔眼掩模408的應(yīng)用而產(chǎn)生的成形的激光束420。激 光束420通過反射鏡410反射并且經(jīng)受首先通過聲光偏轉(zhuǎn)器402并然后通過三個聲光偏轉(zhuǎn) 器403、404、405中的一個的連續(xù)偏轉(zhuǎn)，并且然后完全穿過掃描透鏡412以在定位在Χ-Υ工 作臺414上的基板416上鉆通孔。
[0034] 圖5不出了根據(jù)某些實(shí)施例的在第二不例性激光鉆孔系統(tǒng)400中的聲光偏轉(zhuǎn)器 402、403、404、405的示例性配置500。圖5所示的示例性配置500是圖4所示的第二示例 性激光鉆孔系統(tǒng)400的一部分。
[0035] 可從圖5可以看出，三個聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405定位在聲光偏轉(zhuǎn)器402之下，其 中三個聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405與聲光偏轉(zhuǎn)器402垂直地隔開距離502,距離502可以為零 或多個厘米。如果Χ-Υ工作臺414的水平表面由X軸504和Υ軸506二維地表示，則聲光 偏轉(zhuǎn)器402沿著一個軸取向而聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405沿另一軸取向。例如，在某些實(shí)施 例中，聲光偏轉(zhuǎn)器402可沿著Υ軸506取向，并且聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405可沿著X軸504 取向。雖然X軸504和Υ軸506彼此垂直，但在替代的實(shí)施例中，聲光偏轉(zhuǎn)器402可相對于 聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405成與九十度不同的角度取向。
[0036] 在某些實(shí)施例，通過以如圖5所示的配置定位和取向聲光偏轉(zhuǎn)器402、403、404、 405,可使激光束508經(jīng)受在二維平面中的偏轉(zhuǎn)。沿著Υ軸506取向的聲光偏轉(zhuǎn)器402使激 光束508沿著Υ軸506折射并且經(jīng)折射的激光束可然后落到三個聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405 中的一個上。例如，對于施加至聲光偏轉(zhuǎn)器402的三個不同電輸入106,激光束508可被不 同地衍射，并且三個經(jīng)衍射的激光束經(jīng)由附圖標(biāo)記510、512、514示出?？梢宰⒁獾?，經(jīng)衍射 的激光束510、512、514都被取向成沿著Υ軸506下降。在圖5所示的示例性實(shí)施例中，經(jīng) 衍射的激光束510落到聲光偏轉(zhuǎn)器403上，經(jīng)衍射的激光束512落到聲光偏轉(zhuǎn)器404上，以 及經(jīng)衍射的激光束514落到聲光偏轉(zhuǎn)器405上。經(jīng)衍射的激光束510、512、514然后通過經(jīng) 衍射的激光束510、512、514所入射到其上的聲光偏轉(zhuǎn)器衍射。例如，經(jīng)衍射的激光束510 通過聲光偏轉(zhuǎn)器403沿著X軸衍射。
[0037] 由于如圖5所示定位和取向的三個聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405-起能夠使從聲光偏 轉(zhuǎn)器402出射的激光束與單個聲光偏轉(zhuǎn)器相比衍射更大的角度，因此，與其中來自于聲光 偏轉(zhuǎn)器204的激光束的空間范圍相對較小的圖2和3所示的實(shí)施例相比，多個聲光偏轉(zhuǎn)器 403、404、405的布置使得從多個聲光偏轉(zhuǎn)器403、404、405出來的激光束具有更大的空間范 圍。
[0038] 因此，圖4和5示出了某些實(shí)施例，其中激光束可能不僅投射到二維表面上以用于 鉆孔，而且通過使用多個聲光偏轉(zhuǎn)器以使激光束沿著軸中的一個偏轉(zhuǎn)，經(jīng)投射的激光束可 覆蓋更大的空間范圍。
[0039] 圖6示出了根據(jù)某些實(shí)施例的第三示例性激光鉆孔系統(tǒng)600,其中激光束通過兩 個聲光偏轉(zhuǎn)器602、604衍射并且然后通過放大光學(xué)單兀618傳輸。
[0040] 除兩個聲光偏轉(zhuǎn)器602、604和掃描透鏡618之外，第三示例性激光鉆孔系統(tǒng)600 由激光諧振器606、孔眼掩模608、反射鏡610、掃描透鏡612和X-Y工作臺614構(gòu)成，在其上 鉆通孔的基板616被放置在X-Y工作臺614上。
[0041] 激光諧振器606根據(jù)鉆孔的需求產(chǎn)生某些形狀的激光束618?？籽垩谀?08限定 一個或多個孔眼以基于正在使用的孔眼使由激光諧振器606產(chǎn)生的激光束618成形為預(yù)定 的形狀。反射鏡610光學(xué)地反射由于孔眼掩模608的應(yīng)用而產(chǎn)生的成形的激光束620。通 過反射鏡610反射的激光束620經(jīng)受通過兩個聲光偏轉(zhuǎn)器602、604的連續(xù)衍射，并且然后 完全穿過放大光學(xué)單元618然后穿過掃描透鏡612以在定位在X-Y工作臺614上的基板 616上鉆孔。
[0042] 圖7示出了根據(jù)某些實(shí)施例的在第三示例性激光鉆孔系統(tǒng)600中的兩個聲光偏轉(zhuǎn) 器602、604和放大光學(xué)單元618的示例性配置700。圖7所示的示例性配置700是圖6所 示的第三示例性激光鉆孔系統(tǒng)600的一部分。
[0043] 可從圖7看出，兩個聲光偏轉(zhuǎn)器602、604被定位成彼此垂直地隔開零或多個厘米， 并且彼此垂直地取向。例如，在圖7中，聲光偏轉(zhuǎn)器602可沿著Y軸706取向，并且聲光偏 轉(zhuǎn)器604可沿著X軸704取向。在替代的實(shí)施例中，聲光偏轉(zhuǎn)器602、604不垂直但可形成 在80和100度之間的角。
[0044] 在某些實(shí)施例，通過以如圖7所示的配置定位和取向兩個聲光偏轉(zhuǎn)器602、204,可 使激光束710經(jīng)受在二維平面中的偏轉(zhuǎn)。因此，激光束可投射到用于鉆孔的二維表面上。然 而，為了增加激光束可投射到二維平面上的空間面積，設(shè)置在聲光偏轉(zhuǎn)器604之下的放大 光學(xué)單元618使從聲光偏轉(zhuǎn)器604出射的激光束折射，其中通過放大光學(xué)單元618的折射 通過光學(xué)機(jī)制產(chǎn)生。在放大光學(xué)單元618中不發(fā)生通過電輸入控制的衍射。放大光學(xué)單元 618可以是使激光束折射并且增加激光束被允許落入的面積。
[0045] 在圖7所示的配置700中，提供至聲光偏轉(zhuǎn)器的電輸入使激光束710被連續(xù)兩次 衍射，并且然后放大光學(xué)單元618使激光束折射以使激光束落到掃描透鏡612上并然后到 用于鉆孔的基板616上。與其中不使用放大光學(xué)單元618的實(shí)施例相比，放大光學(xué)單元618 通過光學(xué)折射使激光束投射到更大的面積上。
[0046] 圖8示出了根據(jù)某些實(shí)施例的第四示例性激光鉆孔系統(tǒng)800,其中激光束通過分 束器801傳輸并且然后通過多個聲光偏轉(zhuǎn)器802、803、804、805衍射。在某些替代實(shí)施例中， 分束器801可由波束切換裝置代替。
[0047] 除多個聲光偏轉(zhuǎn)器802、803、804、805和分束器或波束切換裝置801之外，第四示 例性激光鉆孔系統(tǒng)800由激光諧振器806、孔眼掩模808、反射鏡810、掃描透鏡812和X-Y 工作臺814構(gòu)成，在其上鉆通孔的基板816被放置在X-Y工作臺814上。
[0048] 激光諧振器806根據(jù)鉆孔的需求產(chǎn)生某些形狀的激光束818。孔眼掩模808限定 一個或多個孔眼以基于正在使用的孔眼使由激光諧振器806產(chǎn)生的激光束818成形為預(yù)定 的形狀。反射鏡810光學(xué)地反射由于孔眼掩模808的應(yīng)用而產(chǎn)生的成形的激光束820。
[0049] 通過反射鏡810反射的激光束820被傳輸并且被分束器806分成多個激光束822、 824、826。多個激光束822、824、826基本上同時（即，在大致相同的時間）產(chǎn)生。在其中使 用波束切換裝置代替分束器806的某些實(shí)施例中，波束切換裝置806在連續(xù)的時刻處產(chǎn)生 激光束822、824、826。換句話說，分束器使光束沿著空間維度分離，然而波束切換裝置使光 束沿著時間維度分離。
[0050] 多個激光束822、824、826的每一個然后通過一個聲光偏轉(zhuǎn)器衍射。例如，激光束 822通過聲光偏轉(zhuǎn)器802衍射，激光束824通過聲光偏轉(zhuǎn)器803衍射，以及激光束826通過 聲光偏轉(zhuǎn)器804衍射。通過聲光偏轉(zhuǎn)器802、803、804產(chǎn)生的三個經(jīng)衍射的激光束然后沿著 聲光偏轉(zhuǎn)器805的長軸偏轉(zhuǎn)。
[0051] 聲光偏轉(zhuǎn)器805使三個激光束沿著另一軸偏轉(zhuǎn)以跟蹤X-Y工作臺814的運(yùn)動。X-Y 工作臺隨著跟蹤聲光偏轉(zhuǎn)器805連續(xù)移動以消除在聲光偏轉(zhuǎn)器域之間的工作臺步長時間。 X-Y工作臺814還可以步進(jìn)模式移動，但是在這種情況下產(chǎn)出時間可能更長。
[0052] 因此，圖8示出了某些實(shí)施例，其中激光束被分束器或波束切換裝置分成多個激 光束，并且多個激光束通過多個聲光偏轉(zhuǎn)器衍射，并且在穿過掃描透鏡之后用于在定位在 X-Y工作臺814上的基板816上鉆孔。
[0053] 圖9示出了根據(jù)某些實(shí)施例的顯示某些操作的流程圖900。第一聲光偏轉(zhuǎn)器202 接收激光束。第一聲光偏轉(zhuǎn)器202使所接收的激光束沿著第一軸306衍射。第二聲光偏轉(zhuǎn) 器204接收經(jīng)衍射的激光束。第二聲光偏轉(zhuǎn)器使所接收的經(jīng)衍射的激光束沿著第二軸304 衍射。
[0054] 因此，圖1-9示出了某些實(shí)施例，其中以某些位置和取向放置的多個聲光偏轉(zhuǎn)器 使激光束衍射并且用于在基板上鉆孔、激光掃描、或其他應(yīng)用。在某些實(shí)施例中，使用分束 器或波束切換裝置來增加用于鉆孔的激光束的數(shù)量。在某些實(shí)施例中，放大光學(xué)裝置用于 使用于鉆孔的激光束的空間范圍增加超過多個聲光偏轉(zhuǎn)器所提供的空間范圍。在某些實(shí)施 例中，調(diào)節(jié)聲光偏轉(zhuǎn)器的電輸入來改變聲光偏轉(zhuǎn)器的聲波頻率以控制使激光束偏轉(zhuǎn)的衍射 的角度，同時避免使用任何機(jī)械移動部件來偏轉(zhuǎn)激光束。
[0055] 在圖1-9中所示或所提及的部件被描述為執(zhí)行具體類型的操作。在替代的實(shí)施例 中，結(jié)構(gòu)部件可被不同地構(gòu)造并且具有比附圖中所示或所提及的更少、更多或不同的功能。
[0056] 因此，實(shí)施例的上述描述被呈現(xiàn)用于說明和描述的目的。它們不旨在窮舉或?qū)⒈?發(fā)明限制為所公開的精確形式。根據(jù)上述示教，許多修改和變化是可能的。
【權(quán)利要求】
1. 一種方法，包括： 通過第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收激光束； 通過第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所接收的激光束沿著第一軸衍射； 通過第二聲光偏轉(zhuǎn)器接收經(jīng)衍射的激光束；以及 通過第二聲光偏轉(zhuǎn)器使所接收的經(jīng)衍射的激光束沿著第二軸衍射。
2. 如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于： 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器和所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器相隔垂直距離； 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器沿著所述第一軸取向；以及 所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器沿著第二軸取向，所述第二軸與所述第一軸垂直。
3. 如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，通過所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器衍射的激光束通 過放大光學(xué)裝置折射，以在基板上產(chǎn)生通孔或暴露光致抗蝕劑材料以用于激光直接成像來 制造電路。
4. 如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，激光束由一個或多個脈沖構(gòu)成，所述方法進(jìn) 一步包括： 通過第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收激光束的脈沖； 通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所接收的激光束的脈沖沿著第一軸衍射； 通過第三聲光偏轉(zhuǎn)器接收經(jīng)衍射的激光束的脈沖，所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器沿著第二軸取 向并且與所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器相隔垂直距離；以及 通過所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器使所接收的經(jīng)衍射的激光束的脈沖沿著第二軸衍射，所述第 二軸與所述第一軸垂直。
5. 如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，與在不操作所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器的情況下 操作第二聲光偏轉(zhuǎn)器相比，當(dāng)?shù)诙偷谌暪馄D(zhuǎn)器兩者都操作時，落到基板上用于產(chǎn)生 通孔的激光束的空間范圍更大。
6. 如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括： 調(diào)節(jié)第一和第二聲光偏轉(zhuǎn)器的電輸入來改變第一和第二聲光偏轉(zhuǎn)器中的聲波頻率以 控制使激光束偏轉(zhuǎn)的衍射角度，同時避免使用任何機(jī)械移動部件來偏轉(zhuǎn)激光束。
7. 如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括： 通過激光諧振器產(chǎn)生激光束； 通過孔眼掩模傳輸由所述激光諧振器產(chǎn)生的激光束； 通過反射鏡反射所傳輸?shù)募す馐允蛊渎涞剿龅谝宦暪馄D(zhuǎn)器上； 將基板定位到平面表面上；以及 通過第二聲光偏轉(zhuǎn)器的經(jīng)衍射的激光束在所述基板上鉆通孔。
8. 如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，由所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收的激光束是通 過分束器傳輸?shù)亩鄠€激光束中的一個激光束，所述方法進(jìn)一步包括： 在通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所述一個激光束衍射的同時，通過附加的聲光偏轉(zhuǎn)器使 其他多個激光束沿著所述第一軸衍射。
9. 如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，由所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收的激光束是通 過波束切換裝置傳輸?shù)亩鄠€激光束中的一個激光束，所述方法進(jìn)一步包括： 在通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所述一個激光束衍射之后，通過附加的聲光偏轉(zhuǎn)器使其 他多個激光束逐一沿著所述第一軸衍射。
10. -種系統(tǒng)，包括： 第一聲光偏轉(zhuǎn)器，所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器被配置成接收激光束，并且被配置成使所接收 的激光束沿著第一軸衍射；以及 第二聲光偏轉(zhuǎn)器，所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器稱合至所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器，其中所述第二聲 光偏轉(zhuǎn)器被配置成接收經(jīng)衍射的激光束，并且使所接收的經(jīng)衍射的激光束沿著第二軸衍 射。
11. 如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于： 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器和所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器相隔垂直距離； 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器沿著所述第一軸取向；以及 所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器沿著第二軸取向，所述第二軸垂直于所述第一軸。
12. 如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于，通過所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器衍射的激光束 通過放大光學(xué)裝置折射，以在基板上產(chǎn)生通孔或暴露光致抗蝕劑材料以用于激光直接成像 來制造電路。
13. 如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述激光束由一個或多個脈沖構(gòu)成，所述 系統(tǒng)進(jìn)一步包括： 第三聲光偏轉(zhuǎn)器，所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器稱合至所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器并且沿著與第一 軸垂直的第二軸取向，其中所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器與所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器相隔垂直距離，其 中： 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收激光束的脈沖并且使所接收的激光束的脈沖沿著第一軸衍 射；以及 第三聲光偏轉(zhuǎn)器被配置成接收經(jīng)衍射的激光束的脈沖；以及 所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器被配置成使所接收的經(jīng)衍射的激光束的脈沖沿著所述第二軸衍 射，所述第二軸與所述第一軸垂直。
14. 如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其特征在于，與在不操作所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器的情況 下操作第二聲光偏轉(zhuǎn)器相比，當(dāng)?shù)诙偷谌暪馄D(zhuǎn)器兩者都操作時，落到基板上用于產(chǎn) 生通孔的激光束的空間范圍更大。
15. 如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，調(diào)節(jié)第一和第二聲光偏轉(zhuǎn)器的電輸入來 改變第一和第二聲光偏轉(zhuǎn)器中的聲波頻率以控制使激光束偏轉(zhuǎn)的衍射角度，同時避免使用 任何機(jī)械移動部件來偏轉(zhuǎn)激光束。
16. 如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，激光調(diào)諧器產(chǎn)生激光束，并且通過所述激 光調(diào)諧器產(chǎn)生的激光束通過孔眼掩模傳輸，并且所傳輸?shù)募す馐环瓷溏R反射以落到所述 第一聲光偏轉(zhuǎn)器上，并且其中基板定位在平面表面上，且通過所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器的經(jīng)衍 射的激光束在所述基板上鉆孔。
17. 如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括： 附加的聲光偏轉(zhuǎn)器；以及 分束器，其中通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收的激光束為通過分束器傳輸?shù)亩鄠€激光束 中的一個激光束，并且其中在通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所述一個激光束衍射的同時，通 過附加的聲光偏轉(zhuǎn)器使其他多個激光束沿著所述第一軸衍射。
18. 如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括： 附加的聲光偏轉(zhuǎn)器；以及 波束切換裝置，其中通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收的激光束為通過所述波束切換裝置 傳輸?shù)亩鄠€激光束中的一個激光束，并且其中在通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所述一個激光 束衍射之后，通過附加的聲光偏轉(zhuǎn)器使其他多個激光束逐一沿著所述第一軸衍射。
19. 一種用于在基板上鉆孔的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括： 激光調(diào)諧器，所述激光調(diào)諧器配置成產(chǎn)生激光束； 孔眼掩模，所述孔眼掩模耦合所述激光調(diào)諧器，其中所述孔眼掩模被配置成傳輸所述 激光束； 第一聲光偏轉(zhuǎn)器，所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器被配置成接收激光束，并且被配置成使所接收 的激光束沿著第一軸衍射；以及 第二聲光偏轉(zhuǎn)器，所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器稱合至所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器，其中所述第二聲 光偏轉(zhuǎn)器被配置成接收經(jīng)衍射的激光束，并且使所接收的經(jīng)衍射的激光束沿著第二軸衍 射；以及 平面表面，所述平面表面具有定位在平面表面上的基板，其中通過所述第二聲光偏轉(zhuǎn) 器產(chǎn)生的經(jīng)衍射的激光束在所述基板上鉆孔。
20. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于： 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器和所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器相隔垂直距離； 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器沿著所述第一軸取向；以及 所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器沿著第二軸取向，所述第二軸垂直于所述第一軸。
21. 如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征在于，通過所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器衍射的激光束 通過放大光學(xué)裝置折射，以在基板上產(chǎn)生通孔或暴露光致抗蝕劑材料以用于激光直接成像 來制造電路。
22. 如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述激光束由一個或多個脈沖構(gòu)成，所述 系統(tǒng)進(jìn)一步包括： 第三聲光偏轉(zhuǎn)器，所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器稱合至所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器并且沿著與第一軸 垂直的第二軸取向，其中所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器與所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器相隔垂直距離，并且 其中： 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收激光束的脈沖并且使所接收的激光束的脈沖沿著第一軸衍 射；以及 第三聲光偏轉(zhuǎn)器被配置成接收經(jīng)衍射的激光束的脈沖；以及 所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器被配置成使所接收的經(jīng)衍射的激光束的脈沖沿著所述第二軸衍 射，所述第二軸與所述第一軸垂直。
23. 如權(quán)利要求22所述的系統(tǒng)，其特征在于，與在不操作所述第三聲光偏轉(zhuǎn)器的情況 下操作第二聲光偏轉(zhuǎn)器相比，當(dāng)?shù)诙偷谌暪馄D(zhuǎn)器兩者都操作時，落到基板上用于產(chǎn) 生通孔的激光束的空間范圍更大。
24. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于，調(diào)節(jié)第一和第二聲光偏轉(zhuǎn)器的電輸入來 改變第一和第二聲光偏轉(zhuǎn)器中的聲波頻率以控制使激光束偏轉(zhuǎn)的衍射角度，同時避免使用 任何機(jī)械移動部件來偏轉(zhuǎn)激光束。
25. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述激光調(diào)諧器產(chǎn)生激光束，并且通過所 述激光調(diào)諧器產(chǎn)生的激光束通過孔眼掩模傳輸，并且所傳輸?shù)募す馐环瓷溏R反射以落到 所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器上，并且其中通過所述第二聲光偏轉(zhuǎn)器的經(jīng)衍射的激光束在所述基板 上鉆孔。
26. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括： 附加的聲光偏轉(zhuǎn)器；以及 分束器，其中通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收的激光束為通過分束器傳輸?shù)亩鄠€激光束 中的一個激光束，并且其中在通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所述一個激光束衍射的同時，通 過附加的聲光偏轉(zhuǎn)器使其他多個激光束沿著所述第一軸衍射。
27. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括： 附加的聲光偏轉(zhuǎn)器；以及 波束切換裝置，其中通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器接收的激光束為通過所述波束切換裝置 傳輸?shù)亩鄠€激光束中的一個激光束，并且其中在通過所述第一聲光偏轉(zhuǎn)器使所述一個激光 束衍射之后，通過附加的聲光偏轉(zhuǎn)器使其他多個激光束逐一沿著所述第一軸衍射。
【文檔編號】G02B26/10GK104105994SQ201180076303
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2011年12月22日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月22日
【發(fā)明者】李永剛, I·薩拉瑪, C·張 申請人:英特爾公司