專利名稱：一種化學品輸送裝置、顯影設(shè)備和顯影系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及化學品輸送的技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及ー種化學品輸送裝置、顯影設(shè)備和顯影系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在集成電路、液晶顯示器等制作過程中，利用顯影エ藝對曝光后的光刻膠進行顯影以在基板上獲得電路形，顯影エ藝的質(zhì)量直接影響到集成電路、液晶顯示器等的質(zhì)量。在現(xiàn)有技術(shù)中，利用中央化學品供應系統(tǒng)向顯影設(shè)備中輸送顯影液，顯影設(shè)備利用顯影液對基板上的光刻膠進行顯影。圖I為現(xiàn)有技術(shù)中顯影設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，現(xiàn)有技術(shù)中的顯影設(shè)備包括化學品輸送裝置和顯影槽等，其中，化學品供應裝置包括儲液罐組、配管和水泵102，儲液罐組中的各個儲液罐101與外部的中央化學品供應系統(tǒng)20連接，儲液罐組中的各個儲液罐101將從中央化學品供應系統(tǒng)20接受一定濃度的顯影液等化學品，然后再將顯影液等化學品通過水泵分別輸送到各個顯影槽，顯影槽中放置有完成光刻エ藝的基板，顯影液對經(jīng)過光刻エ藝的基板上的光刻膠進行顯影，以得到電路圖的圖形。利用現(xiàn)有設(shè)備進行顯影エ藝的過程中，在中央化學品控制系統(tǒng)由于停電或其它故障等原因中斷向各個儲液罐101輸送化學品吋，導致正在進行的顯影エ藝突然中斷，由于無法連續(xù)向顯影槽供應化學品，造成正在進行顯影エ藝的產(chǎn)品的嚴重缺陷，導致成本増大。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明提供ー種化學品輸送裝置、顯影設(shè)備和顯影系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中在中央化學品控制系統(tǒng)中斷輸送化學品的情況下，由于無法連續(xù)供應化學品造成正在進行顯影エ藝的產(chǎn)品的缺陷，導致成本増大。為此，本發(fā)明提供ー種化學品輸送裝置，包括儲液罐組，所述儲液罐組中的儲液罐通過配管與目標エ藝槽連接，其中，所述儲液罐組中的一個儲液罐為用于手動配比化學品的手動配比儲液罐，所述手動配比儲液罐分別通過設(shè)置有水泵的配管與其它儲液罐連接，用以向所述其它儲液罐輸送化學品。其中，所述儲液罐組中的各儲液罐上還設(shè)置有用于接收外部設(shè)備輸入的化學品的
連接管。其中，所述儲液罐組中的部分儲液罐還用于回收從所述目標エ藝槽排出的化學品；所述部分儲液罐上安裝有檢測所述化學品電導率的電導率儀。其中，所述儲液罐組中的各儲液罐上分別安裝有檢測所述化學品電導率的電導率儀。 其中，所述各儲液罐與所述電導率儀之間設(shè)置有水泵，所述水泵用于將所述儲液罐中的化學品輸送到所述電導率儀。
本發(fā)明還提供ー種顯影設(shè)備，包括化學品輸送裝置和顯影槽，其中，所述化學品輸送裝置采用上述的任意一種所述的結(jié)構(gòu)；所述化學品輸送裝置中的儲液罐組中的各儲液罐通過設(shè)置有水泵的配管與所述顯影槽連接。其中 ，在所述儲液罐與所述顯影槽之間的配管上還設(shè)置有過濾器，所述過濾器用于過濾化學品中的微粒。其中，所述過濾器的數(shù)量至少為2個。其中，所述儲液罐組中的部分儲液罐用于回收從所述顯影槽排出的顯影液。本發(fā)明還提供ー種顯影系統(tǒng)，其中，包括中央化學品供應系統(tǒng)和上述的任意ー種所述的顯影設(shè)備。本發(fā)明具有下述有益效果本發(fā)明提供的化學品輸送裝置，在中央化學品供應系統(tǒng)發(fā)生故障或其它原因而中斷向化學品輸送裝置供應化學品時，可以在化學品輸送裝置的手動配比儲液罐中配成預設(shè)濃度的化學品，通過水泵將手動配比儲液罐中的化學品輸送到其它儲液罐中，以使儲液罐組中的各個儲液罐都能連續(xù)向目標エ藝槽中輸出化學品，避免由于中斷化學品供應導致產(chǎn)品發(fā)生缺陷，有利于提高產(chǎn)品良率，同時降低產(chǎn)品成本。


圖I為現(xiàn)有技術(shù)中顯影設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明化學品輸送裝置第一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明化學品輸送裝置第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明提供的顯影設(shè)備實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明顯影系統(tǒng)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的化學品輸送裝置、顯影設(shè)備和顯影系統(tǒng)進行詳細描述。本發(fā)明提供的化學品輸送裝置各實施例中，化學品輸送裝置中的儲液罐組包括至少2個儲液罐，其中一個儲液罐為用于手動配比化學品的手動配比儲液罐，手動配比儲液罐通過配管與其它的儲液罐相連接，在手動配比儲液罐與其它儲液罐相連接的配管上設(shè)置有水泵102，水泵102可以為手動配比儲液罐向其它儲液罐輸送化學品提供動力。當中央化學品供應系統(tǒng)正常地向化學品輸送裝置供應化學品時，手動配比儲液罐與其它儲液罐的用途一致，都可以向?qū)哪繕衰ㄋ嚥酃瘜W品。圖2為本發(fā)明化學品輸送裝置第一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實施例化學品輸送裝置中的儲液罐組包括3個儲液罐101，分別為1#儲液罐、2#儲液罐和3#儲液罐，2#儲液罐作為手動配比儲液罐用于配比預設(shè)濃度的化學品；2#儲液罐通過設(shè)置有水泵102的配管分別與1#儲液罐和3#儲液罐連接，設(shè)置在配管上的水泵102將儲存在2#儲液罐的化學品分別輸送到1#儲液罐和3#儲液罐，然后1#儲液罐和3#儲液罐再將預設(shè)濃度的化學品輸送到顯影槽中。將位于1#儲液罐和3#儲液罐之間的2#儲液罐作為手動配比儲液罐，以減少配管的使用量，節(jié)省成本。在實際應用中，儲液罐組中的各個儲液罐上還設(shè)置有用于接收外部設(shè)備輸入的化學品的連接管，夕卜部設(shè)備可以為中央化學品供應系統(tǒng)(Center Chemical Supply System,CCSS)。本實施例提供的化學品輸送裝置，在中央化學品供應系統(tǒng)發(fā)生故障或其它原因而中斷向化學品輸送裝置供應化學品時，可以在化學品輸送裝置的手動配比儲液罐中配成預設(shè)濃度的化學品，通過水泵將手動配比儲液罐中的化學品輸送到其它儲液罐中，以使儲液罐組中的各個儲液罐都能連續(xù)向目標エ藝槽中輸出化學品，避免由于中斷化學品供應導致產(chǎn)品發(fā)生缺陷，有利于提高產(chǎn)品良率，同時降低產(chǎn)品成本。圖3為本發(fā)明化學品輸送裝置第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，在圖2所 示的化學品輸送裝置的基礎(chǔ)上，本實施例化學品輸送裝置中的各個儲液罐101上還連接有電導率儀103，電導率儀103用于檢測各個儲液罐中化學品的電導率，通過化學品的電導率得到化學品的濃度；通常將電導率儀103設(shè)置在儲液罐101的外部，以方便觀察；同時，為了實時檢測化學品的電導率，在儲液罐101上設(shè)置ー個化學品自循環(huán)結(jié)構(gòu)，化學品自循環(huán)結(jié)構(gòu)包括配管、電導率儀103和水泵102，化學品自循環(huán)結(jié)構(gòu)中配管的兩端均與儲液罐101連通，通過水泵102抽取儲液罐中的化學品輸送到電導率儀103以實時檢測化學品的電導率，經(jīng)過電導率儀103檢測后的化學品將重新返回到儲液罐101中；在實現(xiàn)對化學品電導率實時檢測的同吋，將檢測后的化學品重新輸送到儲液罐101中，避免了化學品的浪費，降低了成本。在圖3所示的結(jié)構(gòu)中，1#儲液罐和2#儲液罐同時具備向顯影槽中供應顯影液、以及回收顯影槽中排出的顯影液兩種功能，也就是說1#儲液罐和2#儲液罐中的顯影液一直處于循環(huán)狀態(tài)，顯影液濃度會實時變化，因此需要對其中的顯影液濃度進行實時監(jiān)測；故而，在本實施例中，需要在1#儲液罐和2#儲液罐上設(shè)置電導率儀103來測定其中顯影液的電導率，并進一歩得到顯影液的濃度數(shù)據(jù)。而對于另外的3#儲液罐，由于3#儲液罐是單向地向顯影槽供應顯影液，因此其中的顯影液濃度變化不大。如果從成本上考慮，在3#儲液罐上可以不用設(shè)置電導率儀103 ；而從系統(tǒng)控制精度上考慮的話，則優(yōu)選在每個儲液罐上均設(shè)置電導率儀103。圖4為本發(fā)明提供的顯影設(shè)備實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，本實施例顯影設(shè)備包括化學品輸送裝置和顯影槽，其中，化學品輸送裝置采用圖2或圖3所示的結(jié)構(gòu)，本實施例以圖3所示的結(jié)構(gòu)來介紹技術(shù)方案，選擇2#儲液罐作為手動配比儲液罐，目標エ藝槽為顯影槽。在本實施例中，將外部的中央化學品供應系統(tǒng)與化學品輸送裝置中的各個儲液罐101連接，每個儲液罐101通過配管連接至少ー個顯影槽104，其中，1#儲液罐和2#儲液罐均與I 4#顯影槽連接，3#儲液罐連接到5#顯影槽。由于待顯影產(chǎn)品對顯影液的濃度要求并不相同，對顯影液濃度的精度要求高的待顯影產(chǎn)品可以放置在5#顯影槽中，對顯影液濃度的精度要求相對不高的待顯影產(chǎn)品放置在1-4#顯影槽中；為了節(jié)省顯影液，還可以將完成顯影エ藝后從1-5#顯影槽排出的部分顯影液回收到1#儲液罐中，以充分利用顯影液。連接到各個顯影槽104的配管上設(shè)置有水泵102，以從各個儲液罐101中抽取顯影液而到達對應的顯影槽104 ;同時，為防止沙子等細小顆粒進入顯影槽104，還可以在儲液罐101和顯影槽104之間的配管上設(shè)置ー個或多個過濾器105，避免細小顆粒從儲液罐101中進入顯影槽104而導致待顯影產(chǎn)品被污染或損傷，從而提聞廣品的良率。在中央化學品供應系統(tǒng)正常向化學品輸送裝置輸送顯影液的情況下，1#儲液罐向1-4#顯影槽供應顯影液，3#儲液罐向5#顯影槽供應顯影液，此時，作為手動配比儲液罐的2#儲液罐為備用灌，2#儲液罐也可以向1-4#顯影槽供應顯影液；當中央化學品供應系統(tǒng)斷電或發(fā)生故障等原因而中斷向顯影設(shè)備輸送顯影液時，在作為手動配比儲液罐的2#儲液罐中迅速配比出預設(shè)濃度的顯影液，通過2#儲液罐上化學品自循環(huán)結(jié)構(gòu)中的水泵102抽取正在配比的顯影液到達電導率儀103，電導率儀103實時檢測正在配比的顯影液的電導率以得到其濃度，當顯影液的濃度到達預設(shè)濃度范圍時，2#儲液罐與1#儲液罐、3#儲液罐之間配管上的水泵102將符合濃度要求的顯影液從2#儲液罐輸送到1#儲液罐和3#儲液罐，然后1#儲液罐向1-4#顯影槽供應顯影液，3#儲液罐向5#顯影槽供應顯影液，各個顯影槽104 中。 本實施例中，當中央化學品供應系統(tǒng)中斷向化學品輸送裝置供應化學品時，將儲液罐組中的一個儲液罐作為手動配比儲液罐，在手動配比儲液罐中配成預設(shè)濃度的顯影液，然后通過水泵將手動配比儲液罐中的化學品輸送到其它的儲液罐中，以使儲液罐組中的各個儲液罐都能連續(xù)向顯影槽中輸出顯影液，避免由于中斷顯影液供應導致正在進行顯影エ藝的產(chǎn)品發(fā)生缺陷，有利于提高產(chǎn)品良率，同時可以降低產(chǎn)品成本。圖5為本發(fā)明顯影系統(tǒng)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖5所示，本實施例顯影系統(tǒng)包括顯影設(shè)備和中央化學品供應系統(tǒng)，其中顯影設(shè)備中的化學品輸送裝置可以采用圖2或圖3所示的結(jié)構(gòu)，中央化學品供應系統(tǒng)向顯影設(shè)備供應顯影液或其它化學品，以完成顯影エ藝?？梢岳斫獾氖?，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.ー種化學品輸送裝置，包括儲液罐組，所述儲液罐組中的儲液罐通過配管與目標エ藝槽連接，其特征在于，所述儲液罐組中的一個儲液罐為用于手動配比化學品的手動配比儲液罐，所述手動配比儲液罐分別通過設(shè)置有水泵的配管與其它儲液罐連接，用以向所述其它儲液罐輸送化學品。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學品輸送裝置，其特征在于，所述儲液罐組中的各儲液罐上還設(shè)置有用于接收外部設(shè)備輸入的化學品的連接管。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學品輸送裝置，其特征在于，所述儲液罐組中的部分儲液罐還用于回收從所述目標エ藝槽排出的化學品；所述部分儲液罐上安裝有檢測所述化學品電導率的電導率儀。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學品輸送裝置，其特征在于，所述儲液罐組中的各儲液罐上分別安裝有檢測所述化學品電導率的電導率儀。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的化學品輸送裝置，其特征在于，所述各儲液罐與所述電導率儀之間設(shè)置有水泵，所述水泵用于將所述儲液罐中的化學品輸送到所述電導率儀。
6.ー種顯影設(shè)備，包括化學品輸送裝置和顯影槽，其特征在于，所述化學品輸送裝置采用權(quán)利要求1-5任一所述的結(jié)構(gòu)； 所述化學品輸送裝置中的儲液罐組中的各儲液罐通過設(shè)置有水泵的配管與所述顯影槽連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影設(shè)備，其特征在于，在所述儲液罐與所述顯影槽之間的配管上還設(shè)置有過濾器，所述過濾器用于過濾化學品中的微粒。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯影設(shè)備，其特征在于，所述過濾器的數(shù)量至少為2個。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影設(shè)備，其特征在于，所述儲液罐組中的部分儲液罐用于回收從所述顯影槽排出的顯影液。
10.ー種顯影系統(tǒng)，其特征在于，包括中央化學品供應系統(tǒng)和權(quán)利要求6-9任一所述的顯影設(shè)備。
全文摘要
本發(fā)明提供一種化學品輸送裝置、顯影設(shè)備和顯影系統(tǒng)，化學品輸送裝置包括儲液罐組，儲液罐組中的儲液罐通過配管與目標工藝槽連接，其中，儲液罐組中的一個儲液罐為用于手動配比化學品的手動配比儲液罐，手動配比儲液罐分別通過設(shè)置有水泵的配管與其它儲液罐連接，用以向所述其它儲液罐輸送化學品。本發(fā)明提供的化學品輸送裝置，可以避免由于中央化學品供應系統(tǒng)中斷化學品供應導致產(chǎn)品發(fā)生缺陷，有利于提高產(chǎn)品良率，同時降低產(chǎn)品成本。
文檔編號G03F7/30GK102662311SQ20121010968
公開日2012年9月12日 申請日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
發(fā)明者萬冀豫, 吳洪江, 汪棟, 魏崇喜 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司