用于底片的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本文描述了一種用于定位底片的方法和裝置。更具體地說(shuō)，描述了一種用于精確地對(duì)準(zhǔn)底片的方法和裝置，該方法和裝置能夠使以濕的可硬化的光敏聚合物所覆蓋的基片（例如卷筒紙）光成像，其中，該底片形成成像的基片，該成像的基片適用于形成諸如用于印刷電路板（PCBs）、平板顯示器和柔性電路之類(lèi)的電路的圖像。
【專(zhuān)利說(shuō)明】用于底片的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種用于定位底片的方法和裝置。更具體地，本發(fā)明涉及一種用于精確地定位底片的方法和裝置，該方法和裝置能夠使得覆蓋有濕的可固化的光敏聚合物的基片(例如卷筒紙)光成像，其中，該底片形成成像的基片，該成像的基片適用于形成諸如用于印刷電路板(PCBS)、平板顯示器和柔性電路之類(lèi)的電路的圖像。
【背景技術(shù)】
[0002]在平版印刷(例如印刷電路板)的領(lǐng)域中，通常需要將底片定位成與待印刷的基片精確地對(duì)準(zhǔn)。這可能是針對(duì)軌道與孔周?chē)膲|片及其它特征的對(duì)準(zhǔn)。另一個(gè)需要對(duì)準(zhǔn)的示例是使得將印刷電路板的背面上的圖像與正面上的圖像精確地對(duì)準(zhǔn)。通常，更為精確的對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)生改進(jìn)的成像。
[0003]存在若干已知的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。一種方式是在底片上沖出小公差孔，以使得孔和圖像與第二底片精確地對(duì)準(zhǔn)。如果隨后用精確的別針穿過(guò)孔而將底片別住，則底片將隨后被保持成精確對(duì)準(zhǔn)。有時(shí)，別針設(shè)置成使得它們穿過(guò)正在印刷的基片和前后底片，以致整個(gè)包裝隨后處于所必需的對(duì)準(zhǔn)中。
[0004]在某些情況下，底片被保持在玻璃“書(shū)”中，使得當(dāng)關(guān)閉書(shū)，電路板處于其內(nèi)部時(shí)，所有的事物都是對(duì)準(zhǔn)的。此外，做到這一點(diǎn)的常用方法是利用孔和別針。利用這些類(lèi)型的系統(tǒng)的問(wèn)題是孔和別針的精度決定了什么是全面對(duì)準(zhǔn)。通常，由于已將別針重復(fù)地插入聚酯底片上的孔并從其中插出，因此存在一些磨損一該聚酯底片隨后被機(jī)械地降低質(zhì)量，從而導(dǎo)致失準(zhǔn)。
[0005]本申請(qǐng)的發(fā)明人已經(jīng)研發(fā)了一種如在W02010/007405中所述的新型顯像工藝，該文獻(xiàn)以參引的方式被結(jié)合在本文中。所述工藝涉及利用一種不同于在先現(xiàn)有技術(shù)的光刻膠(resist)的光刻膠,不同之處在于,它由100%的固體構(gòu)成，因而在相關(guān)工藝中不包含溶劑。在該工藝中，將油墨涂覆在面板上，該油墨在成像之前并未固化，而是夾置在透明膜層的下方。在暴露于紫外光的期間，僅在所暴露的區(qū)域中的該光刻膠硬化。在成像之后，將保護(hù)性的聚酯剝掉用于重新使用，并將未輻射過(guò)的(液態(tài)的)光刻膠從面板上洗掉。然而，在該工藝中存在問(wèn)題，即，對(duì)于將底片(雙面)與正在印刷的基片精確地對(duì)準(zhǔn)存在需要。由于該印刷工藝要求在正在印刷該板時(shí)，將底片容易地移除，因此，普通的孔和別針系統(tǒng)將不起作用，這是因?yàn)閯e針的移除會(huì)通常不得不處于正確的角度，以避免損壞聚酯底片。在該印刷方法中，這是不可能的。
[0006]本發(fā)明的至少一個(gè)方面的目的是消除或緩和前述問(wèn)題中的至少一個(gè)或更多個(gè)。
[0007]提供一種用來(lái)在光成像工藝中定位底片的改進(jìn)方法和裝置是本發(fā)明的至少一個(gè)方面的另一個(gè)目標(biāo)。
[0008]本發(fā)明的至少一個(gè)方面的另一目的是提供一種用于在光成像工藝期間定位基片的改進(jìn)的方法和裝置。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，設(shè)置有用于底片的定位裝置，所述定位裝置包括:
[0010]第一承載構(gòu)件，其包括至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件；
[0011]第二承載構(gòu)件，其包括至少一個(gè)位置確定球，該至少一個(gè)位置確定球能夠被接收在設(shè)置于第一承載構(gòu)件上的至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件中；
[0012]底片，其連接于第一承載構(gòu)件或第二承載構(gòu)件；
[0013]其中，第一承載構(gòu)件能夠夾持靠在第二承載構(gòu)件上，并且至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件能夠接收至少一個(gè)位置確定球以提供底片的精確定位。
[0014]本發(fā)明因此涉及一種用于在光成像工藝期間精確地定位至少一個(gè)底片的裝置。
[0015]通常，可存在既連接于第一承載構(gòu)件又連接于第二承載構(gòu)件的底片，該第一承載構(gòu)件和第二承載構(gòu)件在該第一承載構(gòu)件和第二承載構(gòu)件移動(dòng)到閉合構(gòu)造中時(shí)可被集合到一起。
[0016]底片可從第一承載構(gòu)件和第二承載構(gòu)件上大致豎直地向下懸掛。
[0017]第一承載構(gòu)件和第二承載構(gòu)件可因此利用任何適當(dāng)?shù)臋C(jī)械和/或彈性致動(dòng)裝置而被夾持靠在彼此上、處于閉合構(gòu)造中。
[0018]該裝置因此包括定位機(jī)構(gòu)，其中，第二承載構(gòu)件上的位置確定球(例如球形支承件)至少部分地裝配在設(shè)置在第一承載構(gòu)件上的環(huán)形構(gòu)件中。該位置確定球可經(jīng)由連接臂連接至連接于第二承載構(gòu)件的基座構(gòu)件。
[0019]設(shè)置在第一承載構(gòu)件上的至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件可呈襯套(例如球形支承襯套)的形式，該襯套可起到用于位置確定球的基座的作用。
[0020]設(shè)置在第一承載構(gòu)件上的至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件的直徑可略小于位置確定球的直徑，使得在實(shí)際上并未被完全插入到至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件中的情況下，該位置確定球能夠被環(huán)形構(gòu)件的邊界牢固地保持住。位置確定球和環(huán)形構(gòu)件可因此彼此互鎖，并且因此形成對(duì)準(zhǔn)和/或定位系統(tǒng)以底片相對(duì)于彼此精確地對(duì)準(zhǔn)。位置確定球可因此齊平抵靠在環(huán)形構(gòu)件的上表面上、處于精確且預(yù)定的位置中。
[0021]可存在處于第二承載構(gòu)件上的諸如兩個(gè)或更多個(gè)之類(lèi)的任一適當(dāng)數(shù)量的位置確定球以有助于底片的定位。在【具體實(shí)施方式】中，存在處于第二承載構(gòu)件上的三個(gè)位置確定球，這些位置確定球可處于三角形布置中，該三角向布置有助于將第一承載構(gòu)件和第二承載構(gòu)件精準(zhǔn)地放置和對(duì)準(zhǔn)到彼此上，并由此精確地放置和對(duì)準(zhǔn)底片。位置確定球可因此裝配到設(shè)置在第一承載構(gòu)件上的相應(yīng)的環(huán)形構(gòu)件(例如襯套)中。
[0022]在根據(jù)本發(fā)明的光成像工藝中，待成像的基片可通過(guò)利用位置確定球和這些位置定位球能夠被接收在其內(nèi)的相應(yīng)的環(huán)形構(gòu)件、利用相似的工藝設(shè)置在底片之間。正在成像的基片也可在光成像之前被精確地定位，從而提供非常精確和精密的光成像工藝。
[0023]本發(fā)明的定位裝置可被用在光成像工藝中，其中，液態(tài)濕的光敏聚合物(例如利用噴射器、刷子、滾筒和/或浸涂系統(tǒng))沉積到基片上并在此后沉積到紫外透明薄膜上。在不使光敏聚合物干燥的情況下，液態(tài)濕的光敏聚合物可利用底片而成像，該底片利用如上所述的位置確定球定位，并且液態(tài)濕的光敏聚合物可利用諸如任一適合的紫外輻射源(例如紫外燈或發(fā)光二極管)之類(lèi)的輻射源而硬化。在光成像工藝之后，未暴露于紫外輻射的液態(tài)光敏聚合物經(jīng)由洗滌程序利用例如堿性水溶液而被移除掉。隨后可利用標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)刻蝕工藝。例如，可將酸或堿用于產(chǎn)生包含被聚合的光敏聚合物所覆蓋的所需金屬(例如銅)電路的絕緣基片。聚合的光敏聚合物可隨后被移除以產(chǎn)生帶有所需導(dǎo)電線(xiàn)路的基片。
[0024]如在本發(fā)明中所述的裝置還可被完全地容納在小型潔凈室中，這因此提供了在光成像工藝中的顯著的成本節(jié)約。
[0025]利用如本發(fā)明中所述的方法來(lái)獲得適用于電路的呈高清晰度的細(xì)線(xiàn)或管道的形式的溝槽或跡線(xiàn)。細(xì)線(xiàn)或管道具有如下任一尺寸的寬度和直徑:小于或等于約200μπι ;小于或等于約150 μ m ;小于或等于約140 μ m ;小于或等于約130 μ m ;小于或等于約120 μ m ;小于或等于約110 μ m ;小于或等于約100 μ m ;小于或等于約90 μ m ;小于或等于約80 μ m ;小于或等于約75 μ m ;小于或等于約70 μ m ;小于或等于約60 μ m ;小于或等于約50 μ m ;小于或等于約40 μ m;小于或等于約30 μ m;小于或等于約20 μ m;小于或等于約IOym;或者小于或等于約5 μ m。作為選擇，細(xì)線(xiàn)或管道可具有如下任一尺寸的寬度或者直徑:約
0.1-200 μ m ;約1-150 μ m ;約1-1OOym ;約20-100 μ m或者約5-75 μ m?？膳c印刷電路板和其它電氣部件協(xié)作來(lái)利用細(xì)線(xiàn)或管道。
[0026]可將本發(fā)明中的工藝用于形成包括印刷電路板(PCBs )、平板顯示器和柔性電路在內(nèi)的多種電氣部件，其適用于在卷軸內(nèi)制造以蹣跚前行于市場(chǎng)。
[0027]在根據(jù)本發(fā)明的定位裝置中存在多個(gè)優(yōu)勢(shì):
[0028]1.易于獲得制成精度公差的球形支承件和襯套。
[0029]2.匹配構(gòu)件(例如位置確定球和環(huán)形構(gòu)件)無(wú)需被精確地對(duì)準(zhǔn)，這是由于它們彼此呈現(xiàn)一這與現(xiàn)有技術(shù)的別針和孔系統(tǒng)不同。
[0030]3.位置確定球(例如球形支承件)具有沉到相應(yīng)的環(huán)形構(gòu)件(例如襯套)中的最低位置中的趨勢(shì)，這是由于它們被按壓在一起，這導(dǎo)致了位置確定球非常精確地設(shè)置在環(huán)形構(gòu)件的中央中。
[0031]4.在該工藝中存在非常高的可重復(fù)性。
[0032]5.利用三個(gè)位置確定球和環(huán)形構(gòu)件構(gòu)成的三角形，定位精度可實(shí)際上相當(dāng)于+/-3微米。這將遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)的別針和孔系統(tǒng)。
[0033]6.當(dāng)光成像暴露(操作)是整個(gè)的時(shí)，該裝置僅在釋放夾持壓力時(shí)就被瓦解了一使得無(wú)需復(fù)雜的行為來(lái)拆卸。
[0034]7.該組件允許底片和基片面板的無(wú)縫分離，這是利用別針和孔所不可能的。
[0035]8.利用該系統(tǒng)，存在少許磨損。
[0036]本發(fā)明因此涉及一種使得覆蓋有濕的可硬化的光敏聚合物(即濕的光刻膠)的基片光成像的方法，其中，可將光成像的基片用于形成諸如印刷電路板、平板顯示器和柔性電路之類(lèi)的電路。本發(fā)明還可涉及形成電介電圖像和絕緣介質(zhì)。與多種現(xiàn)有工藝技術(shù)相比，本發(fā)明因此涉及使用濕膜而非諸如Riston (商標(biāo))之類(lèi)的昂貴的干膜。干膜比利用濕膜昂貴得多。濕膜的利用也克服了對(duì)于濕膜的硬化的需要，并因此導(dǎo)致了可控的工藝。
[0037]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了根據(jù)第一方面形成的光成像的基片。
[0038]可將光成像基片用于形成光成像的線(xiàn)路。
[0039]通常，光成像電路可以是可被用在生產(chǎn)例如印刷電路板、平板顯示器和柔性電路中的電路。
[0040]根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供了一種精確定位底片的方法，所述方法包括:[0041]提供包括至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件的第一承載構(gòu)件；
[0042]提供包括至少一個(gè)位置確定球的第二承載構(gòu)件，該至少一個(gè)位置確定球能夠被接收在設(shè)置在第一承載構(gòu)件上的至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件中；
[0043]將底片連接于第一承載構(gòu)件或第二承載構(gòu)件；
[0044]其中，第一承載構(gòu)件能夠夾持靠在第二承載構(gòu)件上，并且至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件能夠接收至少一個(gè)位置確定球以提供底片的精確定位。
[0045]用于執(zhí)行底片的定位的裝置可以如在第一方面中所限定的那樣。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0046]現(xiàn)將僅作為示例參照附圖描述本發(fā)明的實(shí)施方式，其中:
[0047]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的處于閉合構(gòu)造中的定位裝置的立體圖；
[0048]圖2是圖1中所示的處于閉合構(gòu)造中的定位裝置的截面圖；
[0049]圖3是圖1和2中所示的處于打開(kāi)構(gòu)造中的定位裝置的立體圖；
[0050]圖4是圖3中所示的處于打開(kāi)構(gòu)造中的定位裝置的另一側(cè)的立體圖；并且
[0051]圖5是圖3和4中所示的處于打開(kāi)構(gòu)造中的定位裝置的側(cè)視截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0052]一般來(lái)說(shuō)，本申請(qǐng)?jiān)谟谔峁┮环N用于定位底片(phototool)和/或基片的改進(jìn)的方法和裝置。
[0053]圖1是根據(jù)本發(fā)明的定位裝置的表示，該定位裝置主要表示為100。如圖1中所示，定位裝置100處于閉合構(gòu)造中并包括第一承載構(gòu)件114和第二承載構(gòu)件116，該第一承載構(gòu)件114和該第二承載構(gòu)件116可經(jīng)由定位機(jī)構(gòu)彼此夾持和附接，該定位機(jī)構(gòu)將在下文中更為詳細(xì)地描述。通過(guò)夾持和附接該第一承載構(gòu)件114和第二承載構(gòu)件114和116在一起，這具有了將兩個(gè)單獨(dú)的底片110、112集合在一起的功能。
[0054]圖2是定位裝置100的側(cè)視截面圖，其示出了定位機(jī)構(gòu)。該定位機(jī)構(gòu)包括位置確定球118 (例如球形支承件)。位置確定球118經(jīng)由連接臂120附接于基座構(gòu)件122，該基座構(gòu)件122連接于第二承載構(gòu)件116。如圖2中所示，位置確定球118位于從第二承載構(gòu)件116上伸出的環(huán)形構(gòu)件124中。在圖2中，定位裝置100處于閉合位置中，并且該位置確定球118示出為保持在從第一承載構(gòu)件114伸出的環(huán)形構(gòu)件128內(nèi)。因此，位置確定球118被牢固地保持在適當(dāng)?shù)奈恢弥?。環(huán)形構(gòu)件128可呈襯套(bush)(例如球形支承襯套)的形式。在環(huán)形構(gòu)件128內(nèi)以及基座構(gòu)件138的前面設(shè)置有圓筒形腔室132。該圓筒形腔室132的直徑略小于該位置確定球118的直徑，以使得該位置確定球118能夠在實(shí)際上并未完全插入到腔室132中的情況下，被環(huán)形構(gòu)件128的邊界牢固地保持住。該位置確定球118和環(huán)形構(gòu)件128可因此被彼此互鎖，并因此形成對(duì)準(zhǔn)和/或定位系統(tǒng)以使底片110、112彼此精確地對(duì)準(zhǔn)。該位置確定球118可因此齊平抵靠在環(huán)形構(gòu)件128的上表面處于精確且預(yù)定的位置中。
[0055]該位置確定球118和環(huán)形構(gòu)件128 (例如襯套)均是非常精確的部件，并且當(dāng)將一個(gè)部件壓靠在另一個(gè)上時(shí)，位置確定球118傾向于在環(huán)形構(gòu)件128的中央中自對(duì)準(zhǔn)。
[0056]圖3是處于打開(kāi)構(gòu)造中的定位裝置100的視圖，其示出了在第二承載構(gòu)件116上設(shè)置有三個(gè)位置確定球118、134、136。這三個(gè)位置確定球118、134、136設(shè)置在三角形布置中，該三角形布置有助于第一承載構(gòu)件114和第二承載構(gòu)件116在彼此上的精確放置和對(duì)準(zhǔn)，并由此有助于底片110、112的精確放置和對(duì)準(zhǔn)。可存在任何適當(dāng)數(shù)量的位置確定球。位置確定球118、134、136裝配在第一承載構(gòu)件114上的環(huán)形構(gòu)件142、144、146中。圖4中清楚地示出了環(huán)形構(gòu)件142、144、146。
[0057]圖5是處于打開(kāi)構(gòu)造中的定位裝置100的截面圖。示出了位置確定球118以及另一位置確定球134 (第三個(gè)位置確定球位于球134之后)。
[0058]本申請(qǐng)的定位裝置100可用在光成像工藝中，其中，將液態(tài)濕的光敏聚合物沉積(例如利用噴射器、刷子、滾筒和/或浸涂系統(tǒng))到基片上。在光敏聚合物并未干燥的情況下，液態(tài)濕的光敏聚合物可隨后利用底片110、112成像，并利用諸如任何適當(dāng)?shù)淖贤廨椛湓?例如紫外燈或發(fā)光二極管)之類(lèi)的輻射源硬化。盡管未示出，但位于底片110、112之間的正被成像的基片可具有類(lèi)似的利用位置確定球和將它們接收在其內(nèi)的相應(yīng)的環(huán)形構(gòu)件的定位機(jī)構(gòu)。正成像的基片可因此同樣被在光成像之前被精確地定位，從而提供非常精確且準(zhǔn)確的光成像工藝。在光成像工藝之后，利用例如堿性水溶液經(jīng)由洗滌程序來(lái)移除尚未暴露于紫外輻射的液態(tài)光敏聚合物。可隨后利用標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)蝕刻工藝。例如，可將酸或堿用于生產(chǎn)包含被聚合的光敏聚合物所覆蓋的所需要的金屬(例如銅)電路的絕緣基片?？呻S后移除聚合的光敏聚合物以產(chǎn)生帶有所需導(dǎo)電線(xiàn)路。
[0059]本發(fā)明中所述的裝置100可被完全容納在小型潔凈室中，這因此提供了光成像工藝中的顯著的成本節(jié)約。
[0060]能夠利用如本發(fā)明中所述的方法來(lái)獲得適用于電路的呈高清晰度的細(xì)線(xiàn)或管道的形式的溝槽或跡線(xiàn)。細(xì)線(xiàn)或管道可具有如下任一尺寸的寬度或直徑:小于或等于約200 μ m ;小于或等于約150 μ m ;小于或等于約140 μ m ;小于或等于約130 μ m ;小于或等于約120 μ m ;小于或等于約110 μ m ;小于或等于約IOOym ;小于或等于約90 μ m ;小于或等于約80 μ m ;小于或等于約75 μ m ;小于或等于約70 μ m ;小于或等于約60 μ m ;小于或等于約50 μ m;小于或等于約40 μ m;小于或等于約30 μ m;小于或等于約20 μ m;小于或等于約10 μ m ;或者小于或等于約5 μ m。作為選擇，細(xì)線(xiàn)或管道也可具有如下任一尺寸的寬度或直徑:約 0.1-200 μ m ;約 1-150 μ m ;約 1-1OOym ;約 20-100 μ m 或約 5-75 μ m。可與印刷電路板和其它電氣部件協(xié)作來(lái)利用細(xì)線(xiàn)或管道。
[0061]可將本發(fā)明中的工藝用于形成包括印刷電路板(PCBs)、平板顯示器和柔性電路在內(nèi)的多種電氣部件。
[0062]盡管已經(jīng)在上文中描述了本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但將會(huì)了解的是，對(duì)于所述實(shí)施方式的偏離可仍舊落入到本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，可將任何適用類(lèi)型的位置確定球和環(huán)形構(gòu)件用于提供底片和/或基片的精確定位和放置。而且，也可將本發(fā)明的裝置用于其它類(lèi)型的精確定位和放置。
【權(quán)利要求】
1.一種用于底片的定位裝置，所述定位裝置包括: 第一承載構(gòu)件，所述第一承載構(gòu)件包括至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件； 第二承載構(gòu)件，所述第二承載構(gòu)件包括至少一個(gè)位置確定球，所述至少一個(gè)位置確定球能夠被接收在設(shè)置在所述第一承載構(gòu)件上的至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件中； 底片，所述底片連接于所述第一承載構(gòu)件或所述第二承載構(gòu)件； 其中，所述第一承載構(gòu)件能夠被夾持靠在所述第二承載構(gòu)件中，并且所述至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件能夠接收所述至少一個(gè)位置確定球來(lái)提供所述底片的精確定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于底片的定位裝置，其中，存在既連接于所述第一承載構(gòu)件又連接于所述第二承載構(gòu)件的底片，當(dāng)所述第一承載構(gòu)件和所述第二承載構(gòu)件移動(dòng)到閉合構(gòu)造中時(shí)，所述第一承載構(gòu)件和所述第二承載構(gòu)件能夠被集合到一起。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于底片的定位裝置，其中，所述底片從所述第一承載構(gòu)件和所述第二承載構(gòu)件大致豎直地向下懸掛。
4.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，所述第一承載構(gòu)件和所述第二承載構(gòu)件能夠利用任何適當(dāng)?shù)臋C(jī)械和/或彈性的致動(dòng)裝置被夾持靠在彼此上、處于閉合構(gòu)造中。
5.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，所述裝置包括定位機(jī)構(gòu)，其中，所述第二承載構(gòu)件上的位置確定球(例如球形支承件)至少部分地裝配在設(shè)置在所述第一承載構(gòu)件上的環(huán)形構(gòu)件(例如球形支承襯套)中。
6.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述`的用于底片的定位裝置，其中，所述位置確定球經(jīng)由連接臂連接于基座構(gòu)件，所述基座構(gòu)件連接于所述第二承載構(gòu)件。
7.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，設(shè)置在所述第一承載構(gòu)件上的所述至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件呈襯套(例如球形支承襯套)的形式，所述襯套能夠起到用于所述位置確定球的座部的作用。
8.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，設(shè)置在所述第一承載構(gòu)件上的所述至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件的直徑略小于所述位置確定球的直徑，使得在實(shí)際上并未被完全插入到所述至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件中的情況下，所述位置確定球能夠被所述環(huán)形構(gòu)件的邊界牢固地保持住。
9.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，所述位置確定球和所述環(huán)形構(gòu)件因此能夠彼此互鎖，并且因此形成對(duì)準(zhǔn)和/或定位系統(tǒng)以精確地對(duì)準(zhǔn)底片。
10.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，所述位置確定球能夠齊平抵靠在所述環(huán)形構(gòu)件的上表面上、處于精確且預(yù)定的位置中。
11.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，存在處于所述第二承載構(gòu)件上的兩個(gè)或更多個(gè)位置確定球，以有助于所述底片的定位，所述底片裝配在設(shè)置在所述第一承載構(gòu)件上的相應(yīng)的環(huán)形構(gòu)件(例如襯套)中。
12.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，存在設(shè)置在所述第二承載構(gòu)件上的三個(gè)位置確定球，所述位置確定球設(shè)置在三角形布置中，所述三角形布置裝配在設(shè)置在所述第一承載構(gòu)件上的相應(yīng)的環(huán)形構(gòu)件(例如襯套)中。
13.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，待成像的基片能夠利用位置確定球和相應(yīng)的環(huán)形構(gòu)件而被設(shè)置在底片之間，所述位置確定球能夠被部分地接收在所述相應(yīng)的環(huán)形構(gòu)件內(nèi)。
14.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，所述定位裝置能夠用在光成像工藝中，其中，液態(tài)濕的光敏聚合物被沉積(例如利用噴射器、刷子、滾筒和/或浸涂系統(tǒng))到基片上，并且在不使位于紫外透明膜下方的光敏聚合物干燥的情況下，隨后利用利用位置確定球定位的底片使所述液態(tài)濕的光敏聚合物成像。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于底片的定位裝置，其中，所述光成像系統(tǒng)利用諸如任一適當(dāng)?shù)淖贤廨椛湓?例如紫外燈或發(fā)光二極管)之類(lèi)的輻射源，并且在光成像工藝之后，未暴露于紫外輻射的液態(tài)光敏聚合物被經(jīng)由洗滌程序利用例如堿性水溶液移除。
16.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，所述裝置能夠用在光成像工藝中以形成適用于待獲得的電路的呈高清晰度的細(xì)線(xiàn)或管道的形式的溝槽或跡線(xiàn)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的用于底片的定位裝置，其中，所述細(xì)線(xiàn)或管道具有如下任一寬度或直徑:小于或等于約200 μ m;小于或等于約150 μ m;小于或等于約140 μ m;小于或等于約130 μ m ;小于或等于約120 μ m ;小于或等于約IlOym ;小于或等于約IOOym ;小于或等于約90 μ m ;小于或等于約80 μ m ;小于或等于約75 μ m ;小于或等于約70 μ m ;小于或等于約60 μ m ;小于或等于約50 μ m ;小于或等于約40 μ m ;小于或等于約30 μ m ;小于或等于約20 μ m ;小于或等于約10 μ m ;或者小于或等于約5 μ m。
18.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的用于底片的定位裝置，其中，所述裝置能夠用于形成多種包括印刷電路板、 平板顯示器(PCBs)和柔性電路在內(nèi)的電學(xué)構(gòu)件。
19.利用如在權(quán)利要求1-18中的任一項(xiàng)中所限定的裝置形成的光成像的基片。
20.一種精確定位底片的方法，所述方法包括: 提供包括至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件的第一承載構(gòu)件； 提供包括至少一個(gè)位置確定球的第二承載構(gòu)件，所述至少一個(gè)位置確定球能夠被接收在設(shè)置于所述第一承載構(gòu)件上的所述至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件； 將底片連接于所述第一承載構(gòu)件或所述第二承載構(gòu)件； 其中，所述第一承載構(gòu)件能夠夾持靠在所述第二承載構(gòu)件上，并且所述至少一個(gè)環(huán)形構(gòu)件能夠接收所述至少一個(gè)位置確定球以提供所述底片的精確定位。
21.如上文中所述和/或如圖1-5中所示的一種用于精確地對(duì)準(zhǔn)底片和/或待成像的基片的裝置。
22.如上文中所述和/或如圖1-5中所示的一種用于精確地對(duì)準(zhǔn)底片和/或基片的方法。
【文檔編號(hào)】G03F9/00GK103777477SQ201210405920
【公開(kāi)日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2012年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月23日
【發(fā)明者】喬納森·肯尼特, 約翰·坎寧安 申請(qǐng)人:彩虹科技系統(tǒng)有限公司