一種顯影噴頭的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體晶片上獲得光刻膠圖形的顯影處理設(shè)備，具體地說(shuō)是一種顯影噴頭，包括顯影供液管、固定托架調(diào)節(jié)塊、顯影管接頭、顯影管固定托架及顯影噴管，顯影管固定托架的兩端分別安裝有沿其長(zhǎng)度方向往復(fù)移動(dòng)的固定托架調(diào)節(jié)塊，每個(gè)固定托架調(diào)節(jié)塊上均設(shè)有顯影管接頭；顯影噴管安裝在顯影管固定托架上、兩端分別與顯影管接頭的一端連通，每個(gè)顯影管接頭的另一端通過(guò)顯影供液管與顯影液源相連通；顯影噴管通過(guò)固定托架調(diào)節(jié)塊在顯影管固定托架上的移動(dòng)水平拉伸，在顯影噴管上均布有多個(gè)噴孔。采用本發(fā)明的顯影噴頭，顯影液在晶圓上的停留時(shí)間沒有差異，顯影噴管保證水平拉伸，使顯影液均勻覆蓋，提高了顯影均勻性。
【專利說(shuō)明】一種顯影卩員頭【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體晶片上獲得光刻膠圖形的顯影處理設(shè)備，具體地說(shuō)是一種顯影嗔頭。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻后圖形需要顯影來(lái)獲取圖形，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，對(duì)顯影的要求越來(lái)越高；因此，如何將顯影液均勻涂布在晶片上成為相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)人員不斷努力的方向，從而推動(dòng)了顯影噴頭的不斷革新。顯影噴頭噴到晶片上的顯影液覆蓋越來(lái)越均勻，促使顯影效果逐漸提高；但卻導(dǎo)致了顯影噴頭制造成本越來(lái)越高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種組合式顯影噴頭。該顯影噴頭在保證顯影效果的情況下，提高關(guān)鍵部件加工精度，保證顯影均勻性，降低制造成本。
[0004]本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種顯影噴頭，位于放置晶片的承片臺(tái)上方，包括顯影供液管、固定托架調(diào)節(jié)塊、顯影管接頭、顯影管固定托架及顯影噴管，其中顯影管固定托架的兩端分別安裝有沿其長(zhǎng)度方向往復(fù)移動(dòng)的固定托架調(diào)節(jié)塊，每個(gè)固定托架調(diào)節(jié)塊上均設(shè)有顯影管接頭；所述顯影噴管安裝在顯影管固定托架上、兩端分別與顯影管接頭的一端連通，每個(gè)顯影管接頭的另一端通過(guò)顯影供液管與顯影液源相連通；所述顯影噴管通過(guò)固定托架調(diào)節(jié)塊在顯影管固定托架上的移動(dòng)水平拉伸，在顯影噴管上均布有多個(gè)噴孔。
[0006]其中:所述固定托架調(diào)節(jié)塊上設(shè)有滑塊，該滑塊與顯影管固定托架沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的滑槽相連接，并在滑槽`內(nèi)往復(fù)移動(dòng)；所述固定托架調(diào)節(jié)塊分為上下兩部分，并且上部與下部交錯(cuò)設(shè)置，所述下部中間挖空、形成滑塊；所述顯影管接頭位于上部的下方，顯影管接頭的另一端固接在上部的底面，在所述上部開有通孔，顯影供液管的一端穿過(guò)該通孔與顯影管接頭連通，另一端連接至顯影液源；所述顯影管固定托架高度方向的截面為“T”形，“T”形下部的兩側(cè)為滑槽，“T”形下部的中間沿長(zhǎng)度方向開有直孔，所述顯影噴管容置在該直孔內(nèi)；所述直孔的徑向截面為圓形，底部開口，該直孔的孔壁與顯影噴管緊密貼合；所述顯影噴頭由兩端的顯影供液管供液。
[0007]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為:
[0008]1.采用本發(fā)明的顯影噴頭，顯影液在晶圓上的停留時(shí)間沒有差異，通過(guò)調(diào)整固定托架調(diào)節(jié)塊的位置，可以保證顯影噴管水平拉伸，使顯影液均勻覆蓋，提高了顯影均勻性。
[0009]2.本發(fā)明的顯影噴頭由兩端供液，使得顯影供液管的內(nèi)部壓力更加均勻。
[0010]3.本發(fā)明的顯影噴管為外購(gòu)的PFA管，通過(guò)提高顯影噴管上噴孔的加工精度，保證顯影均勻性，降低了制造成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】[0011]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視圖；
[0012]圖2為圖1的俯視圖；
[0013]圖3為圖1中拿掉承片臺(tái)及晶片的仰視圖；
[0014]圖4為本發(fā)明固定托架調(diào)節(jié)塊的結(jié)構(gòu)主視圖；
[0015]圖5為圖4的左視圖；
[0016]圖6為本發(fā)明顯影管固定托架的結(jié)構(gòu)主視圖；
[0017]圖7為圖6的左視圖；
[0018]其中:1為顯影供液管，2為固定托架調(diào)節(jié)塊，3為顯影管接頭，4為承片臺(tái)，5為顯影管固定托架，6為晶片，7為顯影噴管，8為滑槽，9為滑塊，10為直孔。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。
[0020]如圖1?圖3所示，本發(fā)明的顯影噴頭位于放置晶片6的承片臺(tái)4上方，包括顯影供液管1、固定托架調(diào)節(jié)塊2、顯影管接頭3、顯影管固定托架5及顯影噴管7，其中顯影管固定托架5的兩端分別安裝有固定托架調(diào)節(jié)塊2，每個(gè)固定托架調(diào)節(jié)塊2上均設(shè)有顯影管接頭3 ;顯影噴管7安裝在顯影管固定托架5上、兩端分別與顯影管接頭3的一端連通，每個(gè)顯影管接頭3的另一端通過(guò)顯影供液管I與顯影液源相連通；顯影噴管7通過(guò)固定托架調(diào)節(jié)塊2在顯影管固定托架5上的移動(dòng)水平拉伸，在顯影噴管7上均布有多個(gè)噴孔，該噴孔向由承片臺(tái)4帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的晶片6上噴灑顯影液。
[0021]如圖6、圖7所示，顯影管固定托架5高度方向的截面為“T”形，“T”形下部的兩側(cè)為滑槽8，“T”形下部的中間沿長(zhǎng)度方向開有直孔10，該直孔10的徑向截面為圓形，底部開口 ；顯影噴管7容置在該直孔10內(nèi)，直孔10的孔壁與顯影噴管7緊密貼合，防止顯影噴管7竄動(dòng)。
[0022]如圖4、圖5所示，固定托架調(diào)節(jié)塊2分為上下兩部分，并且上部與下部交錯(cuò)設(shè)置，其中下部中間挖空、形成與顯影管固定托架5沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的滑槽8相對(duì)應(yīng)的滑塊9，固定托架調(diào)節(jié)塊2通過(guò)滑塊9在滑槽8內(nèi)往復(fù)移動(dòng)；顯影管接頭3位于上部的下方，顯影管接頭3的另一端固接在上部的底面，在上部開有通孔，顯影供液管I的一端穿過(guò)該通孔與顯影管接頭3連通，另一端連接至顯影液源。
[0023]本發(fā)明由顯影管固定托架2將顯影供液管11固定，防止其竄動(dòng)；顯影噴管7為市購(gòu)的PFA (特氟龍)管，購(gòu)置于日本SMC公司，型號(hào)為TL0604-20。
[0024]本發(fā)明的工件原理為:
[0025]本發(fā)明的顯影方式為顯影噴頭通過(guò)晶片6旋轉(zhuǎn)而顯影噴頭不動(dòng)來(lái)進(jìn)行，當(dāng)顯影噴頭移動(dòng)到晶片6的中心位置上方時(shí)，顯影液依次經(jīng)過(guò)顯影供液管1、顯影管接頭3、顯影噴管7，然后由噴孔噴灑顯影液；同時(shí)晶片6轉(zhuǎn)動(dòng)，保證顯影液的均勻覆蓋，圖2中的箭頭為晶片6的旋轉(zhuǎn)方向。
[0026]本發(fā)明可通過(guò)調(diào)整固定托架調(diào)節(jié)塊2從而帶動(dòng)兩端的顯影管接頭3和顯影供液管1，沿滑槽8向外移動(dòng)，保證顯影噴管7水平拉伸，提高顯影均勻性。另外，顯影供液管I與顯影管接頭3從兩端供液，使顯影供液管I的內(nèi)部壓力更加均勻，保證顯影液的均勻覆蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種顯影噴頭，位于放置晶片的承片臺(tái)上方，其特征在于:所述顯影噴頭包括顯影供液管(I)、固定托架調(diào)節(jié)塊(2)、顯影管接頭(3)、顯影管固定托架(5)及顯影噴管(7)，其中顯影管固定托架(5)的兩端分別安裝有沿其長(zhǎng)度方向往復(fù)移動(dòng)的固定托架調(diào)節(jié)塊(2)，每個(gè)固定托架調(diào)節(jié)塊(2)上均設(shè)有顯影管接頭(3);所述顯影噴管(7)安裝在顯影管固定托架(5)上、兩端分別與顯影管接頭(3)的一端連通，每個(gè)顯影管接頭(3)的另一端通過(guò)顯影供液管(I)與顯影液源相連通；所述顯影噴管(7)通過(guò)固定托架調(diào)節(jié)塊(2)在顯影管固定托架(5)上的移動(dòng)水平拉伸，在顯影噴管(7)上均布有多個(gè)噴孔。
2.按權(quán)利要求1所述的顯影噴頭，其特征在于:所述固定托架調(diào)節(jié)塊(2)上設(shè)有滑塊(9)，該滑塊(9)與顯影管固定托架(5)沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的滑槽(8)相連接，并在滑槽(8)內(nèi)往復(fù)移動(dòng)。
3.按權(quán)利要求2所述的顯影噴頭，其特征在于:所述固定托架調(diào)節(jié)塊(2)分為上下兩部分，并且上部與下部交錯(cuò)設(shè)置，所述下部中間挖空、形成滑塊(9);所述顯影管接頭(3)位于上部的下方，顯影管接頭(3)的另一端固接在上部的底面，在所述上部開有通孔，顯影供液管(I)的一端穿過(guò)該通孔與顯影管接頭(3)連通，另一端連接至顯影液源。
4.按權(quán)利要求1所述的顯影噴頭，其特征在于:所述顯影管固定托架(5)高度方向的截面為“T”形，“T”形下部的兩側(cè)為滑槽(8)，“T”形下部的中間沿長(zhǎng)度方向開有直孔(10)，所述顯影噴管(7)容置在該直孔(10)內(nèi)。
5.按權(quán)利要求4所述的顯影噴頭，其特征在于:所述直孔(10)的徑向截面為圓形，底部開口，該直孔(10)的孔壁與顯影噴管(7)緊密貼合。
6.按權(quán)利要求1所述的顯影噴頭，其特征在于:所述顯影噴頭由兩端的顯影供液管(I)供液。
【文檔編號(hào)】G03F7/30GK103809390SQ201210456790
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月14日
【發(fā)明者】張浩淵 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司