專利名稱：一種無接觸式傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及ー種顯影機組件，尤其涉及ー種用于顯影機的無接觸式傳送裝置。
背景技術(shù)：
在PCB板或PCB掩膜板加工過程中，需要用到顯影機，顯影機的主要作用是將曝光后的圖形區(qū)域顯露出來，從而進行下一歩操作。作為重要的一個環(huán)節(jié)，顯影質(zhì)量的好壞對最終產(chǎn)品的質(zhì)量有很大的影響。傳統(tǒng)顯影容易出現(xiàn)的問題主要是顯影不足或顯影過度，人們一直希望通過控制一些參數(shù)來減少這些問題的發(fā)生。但在現(xiàn)實生產(chǎn)中，這ー問題并不能很好的解決，其主要原因是在顯影過程中，即使是同一基板，不同部分顯影的程度由于各種內(nèi)外部因素影響難以達到一致。

實用新型內(nèi)容由于傳統(tǒng)的顯影機傳送裝置均為滾輪傳送方式，傳統(tǒng)傳送方式的滾輪對顯影液噴淋的阻擋作用易造成顯影局部不均，影響顯影效果，從而會影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量。另外，在顯影過程中，滾輪與顯影基板直接接觸，基板上顯影得到的圖形區(qū)域可能會被滾輪蹭掉。針對上述技術(shù)問題，本實用新型對傳統(tǒng)臥式顯影機的傳輸裝置進行了改進。本實用新型提供了ー種無接觸式傳送裝置，該裝置含有若干結(jié)構(gòu)相同或相似的組成単元；所述組成単元由滾軸、滾輪以及齒輪構(gòu)成；所述滾軸、滾輪以及齒輪的材質(zhì)為金屬材料或高分子材料；所述滾軸兩端附近有起放置作用的空白部分；所述滾輪套在滾軸上，且位于滾軸的兩端附近，在傳送過程中所述滾輪不與基板曝光的圖形區(qū)域接觸，保證了圖形在傳送過程中不被蹭掉；所述滾輪的數(shù)目為兩個及兩個以上；所述齒輪固定于滾軸上，且位于一側(cè)滾輪的附近或位于滾軸的終端附近。在傳送過程中，由齒輪帶動滾輪轉(zhuǎn)動，基板置于滾輪上，基板兩側(cè)與滾輪相接觸，中間區(qū)域滾軸與基板隔離開來。本實用新型所提供的無接觸式傳送裝置，繼承了傳統(tǒng)mask制作的顯影過程中基板傳送的速度穩(wěn)定、不打滑的特性。更重要的是，本實用新型所提供的無接觸式傳送裝置避免了傳送時干膜與滾輪接觸造成干膜脫落的可能；同時由于無接觸式的設(shè)計，噴出的顯影液不會出現(xiàn)由于滾輪的阻擋所造成的噴液不均、壓カ不一致的現(xiàn)象。此外，本實用新型所提供的無接觸式傳送裝置不會劃傷基板，不會對曝光的圖形干膜有刮傷。

圖I為根據(jù)本實用新型一個實施例的傳送裝置傳送基板的示意圖；圖2為根據(jù)本實用新型一個實施例的傳送裝置的組成單元及組成單元的一端放大示意圖；圖3為根據(jù)本實用新型一個實施例的齒輪端的示意圖；以及圖4為根據(jù)本實用新型一個實施例的傳送裝置傳送基板的示意圖。
具體實施方式
以下實施例將對本實用新型的一種上噴模式的臥式單面顯影機結(jié)構(gòu)進行討論。當然，本實用新型亦可用于雙面顯影機中。應理解，以下實施例僅是出于解釋說明的目的，而非對本實用新型保護范圍進行限制，因此所有可通過簡單變換而得到的應用均落入本實用新型的保護范圍。本實用新型提供了ー種無接觸式傳送裝置。如圖I所示，其示出了根據(jù)本實用新型一個實施例的傳送裝置傳送基板的示意圖，該裝置含有若干結(jié)構(gòu)相同的組成單元11。圖2所示為根據(jù)本實用新型一個實施例的傳送裝置的組成單元11及組成單元11的一端放大示意圖，所述組成単元11由滾軸a、滾輪b以及齒輪c構(gòu)成。所述滾軸a材質(zhì)可為不銹鋼，滾軸兩端附近位置有起放置作用的空白部分d。所述滾輪b及齒輪c材質(zhì)可為聚丙烯。所述滾輪b的數(shù)目為4個，分為兩組固定于滾軸a的兩端附近。所述齒輪固定于滾軸a的終端。圖3所示為根據(jù)本實用新型一個實施例的齒輪端的示意圖。圖4所示為從另一角度觀察根據(jù)本實用新型一個實施例的傳送裝置傳送基板e的 示意圖(即與圖I相對應，觀察角度不同)。如圖所示，在傳送過程中，由齒輪c帶動滾輪b轉(zhuǎn)動，基板e置于滾輪b上，基板e兩側(cè)與滾輪b相接觸，而中間位置的滾軸與基板e隔離一段距離，在傳送時滾輪b不與基板e曝光的圖形區(qū)域(即基板中間區(qū)域)接觸，保證了圖形在傳送過程中不被蹭掉；另外，滾軸的中間部分在不同位置上對顯影液噴淋的影響效果一致，保證了顯影的質(zhì)量。
權(quán)利要求1.ー種用于顯影機的無接觸式傳送裝置，該裝置包括多個組成単元，所述組成単元包括 滾軸； 多個滾輪，所述多個滾輪套在滾軸上，且所述多個滾輪分為兩組被分別固定于滾軸的兩端附近；以及 齒輪，所述齒輪固定于滾軸的終端。
2.如權(quán)利要求I所述的無接觸式傳送裝置，其特征在于，所述無接觸式傳送裝置被配置成當傳送基板時，由齒輪帶動滾輪轉(zhuǎn)動，基板置于所述滾輪上，而中間位置的滾軸與基板隔離一段距離。
3.如權(quán)利要求2所述的無接觸式傳送裝置，其特征在干，所述無接觸式傳送裝置被進一歩配置成當傳送基板時，所述滾輪僅與基板的兩側(cè)相接觸且不與基板曝光的圖像區(qū)域相接觸。
4.如權(quán)利要求I所述的無接觸式傳送裝置，其特征在于，所述滾輪的數(shù)目為4個，所述滾軸的兩端附近各有兩個滾輪。
專利摘要本實用新型公開了一種用于顯影機的無接觸式傳送裝置，該裝置包括多個組成單元，所述組成單元包括滾軸；套在滾軸上的多個滾輪，所述多個滾輪分為兩組被分別固定于滾軸的兩端附近；以及固定于滾軸終端的齒輪。本實用新型的這種無接觸式傳送裝置避免了傳送時干膜與滾輪接觸造成干膜脫落的可能；同時由于無接觸式的設(shè)計，噴出的顯影液不會出現(xiàn)由于滾輪的阻擋所造成的噴液不均、壓力不一致的現(xiàn)象。
文檔編號G03F7/30GK202433671SQ20122001479
公開日2012年9月12日 申請日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者樊春雷, 高小平, 魏志凌 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司