專利名稱：有機光刻膠剝離液制備裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種剝離液的制備裝置，具體涉及一種有機光刻膠剝離液制備裝置，主要用于半導體行業(yè)、TFT行業(yè)中面板表面光刻膠的去除。
背景技術(shù)：
剝離是將材料使用化學反應或物理溶解作用而移除光刻膠的技術(shù)。剝離技術(shù)分為濕法去膠和干法去膠，其中，濕法去膠是采用化學試劑，經(jīng)由物理溶解或者化學反應光刻膠達到剝離的目的。剝離液為無色透明液體，在現(xiàn)有技術(shù)中，薄膜場效應晶體管液晶顯示器OFTLCD)、發(fā)光二極管(LED)、有機發(fā)光二極管(OLED)等行業(yè)用作面板制備過程中光刻膠的去除主要采用由氟化物和過氧化氫等危險的化學試劑制成的剝離液，但上述剝離液存在如下缺點剝離速率難以控制，不同金屬層的剝離效果有差異，剝離液處理后的基板有殘 留，影響產(chǎn)品的良率；剝離液對圖形深孔處的光刻膠剝離效果不理想；影響產(chǎn)品的氟化物和過氧化氫等化學試劑對工作人員的安全操作帶來一定的威脅。中國專利200810011907. 2中公開了一種光刻膠剝離液，其中由表面活性劑、有機胺、有機溶劑、螯合劑、緩蝕劑和水直接混合而成，制得的成品雜質(zhì)含量高、純度低，使用時在金屬層分散不均勻，剝離后金屬表面仍有殘留物質(zhì)，制得的液晶顯示器顯影后會有雜質(zhì)，從而降低了畫面的精度，使得產(chǎn)品質(zhì)量難以提升。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種雜質(zhì)少、純度高的有機光刻膠剝離液制備裝置。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的一種有機光刻膠剝離液制備裝置，所述制備裝置包括有機溶劑儲罐、有機胺儲罐、表面活性劑儲罐、第一過濾器、第二過濾器、配料罐、第三過濾器和成品罐；所述有機溶劑儲罐出口與第一過濾器進口相連，所述第一過濾器出口與配料罐進口相連；所述有有機胺儲罐出口與第二過濾器進口相連，所述第二過濾器出口與配料罐進口相連；所述配料罐進口還與表面活性劑儲罐出口相連；所述配料罐出口與第三過濾器進口相連，所述第三過濾器出口與成品罐進口相連。所述第一過濾器、第二過濾器、第三過濾器均采用微濾膜，其孔徑為0.05
0.15 u m0與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是本實用新型，將純水加熱后再進行混合，使得各組分混合更均勻，采用氮氣進行攪拌，無腐蝕無污染，易控制，成本低，超濾裝置除雜更徹底，制得的剝離液顆粒度小，顆粒雜質(zhì)含量少、純度高，蝕刻銦錫氧化物半導體透明導電膜速率適中，反應穩(wěn)定，無殘留。

圖I為本實用新型有機光刻膠剝離液制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。其中有機溶劑儲罐I、有機胺儲罐2、表面活性劑儲罐3、第一過濾器4、第二過濾器5、配料罐6、第三過濾器7、成品罐8。
具體實施方式
·[0016]參見圖1，本實用新型涉及的一種有機光刻膠剝離液制備裝置，所述制備裝置包括有機溶劑儲罐I、有機胺儲罐2、表面活性劑儲罐3、第一過濾器4、第二過濾器5、配料罐6、第三過濾器7和成品罐8;所述有機溶劑儲罐I出口與第一過濾器4進口相連，所述第一過濾器4出口與配料罐6進口相連；所述有有機胺儲罐2出口與第二過濾器5進口相連，所述第二過濾器5出口與配料罐6進口相連；所述配料罐6進口還與表面活性劑儲罐3出口相連；所述配料罐6出口與第三過濾器7進口相連，所述第三過濾器7出口與成品罐8進口相連。所述第一過濾器4、第二過濾器5、第三過濾器7均采用微濾膜，其孔徑為0. 05
0.15 u m0本實用新型有機光刻膠剝離液制備裝置使用方法，包括如下加工步驟先將機溶劑、有機胺經(jīng)過微濾膜過濾，去除雜質(zhì)，然后加入配料罐，并向配料罐中加入表面活性劑，攪拌混合均勻后，在經(jīng)過過濾，最終制成純凈度高、雜質(zhì)少的有機光刻膠剝離液成品。所得有機光刻膠剝離液中雜質(zhì)顆粒度大于0. 3 y m的顆粒數(shù)不超過100個，雜質(zhì)陰離子不超過Ippb,雜質(zhì)陽離子不超過50ppb。
權(quán)利要求1.一種有機光刻膠剝離液制備裝置，其特征在于所述制備裝置包括有機溶劑儲罐(I)、有機胺儲罐(2)、表面活性劑儲罐(3)、第一過濾器(4)、第二過濾器(5)、配料罐(6)、第三過濾器(7)和成品罐(8)； 所述有機溶劑儲罐(I)出口與第一過濾器(4)進口相連，所述第一過濾器(4)出口與配料罐(6)進口相連； 所述有有機胺儲罐(2)出口與第二過濾器(5)進口相連，所述第二過濾器(5)出口與配料罐(6)進口相連； 所述配料罐(6)進口還與表面活性劑儲罐(3)出口相連； 所述配料罐(6)出口與第三過濾器(7)進口相連，所述第三過濾器(7)出口與成品罐(8)進口相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種有機光刻膠剝離液制備裝置，其特征在于所述第一過濾器(4)、第二過濾器(5)、第三過濾器(7)均采用微濾膜，其孔徑為0. 05 0. 15 u m0
專利摘要本實用新型涉及一種有機光刻膠剝離液制備裝置，所述制備裝置包括有機溶劑儲罐(1)、有機胺儲罐(2)、表面活性劑儲罐(3)、第一過濾器(4)、第二過濾器(5)、配料罐(6)、第三過濾器(7)和成品罐(8)；所述有機溶劑儲罐(1)出口與第一過濾器(4)進口相連，所述第一過濾器(4)出口與配料罐(6)進口相連；所述有有機胺儲罐(2)出口與第二過濾器(5)進口相連，所述第二過濾器(5)出口與配料罐(6)進口相連；所述配料罐(6)進口還與表面活性劑儲罐(3)出口相連；所述配料罐(6)出口與第三過濾器(7)進口相連，所述第三過濾器(7)出口與成品罐(8)進口相連。本實用新型，制得的雜質(zhì)含量少、純度高。
文檔編號G03F7/42GK202522843SQ20122004931
公開日2012年11月7日 申請日期2012年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月16日
發(fā)明者戈士勇, 沈翠芬, 盛建偉 申請人:江陰潤瑪電子材料股份有限公司