專利名稱：基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體印刷線路板激光直寫(xiě)曝光成像設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置。
背景技術(shù)：
[0002]光刻機(jī)投影光路中的全反射(TIR)棱鏡是光刻機(jī)的重要部件之一，其作用是銜接照明系統(tǒng)與成像系統(tǒng)，同時(shí)具有轉(zhuǎn)折光路，使整個(gè)光路布局更加緊湊合理。[0003]隨著光刻技術(shù)的發(fā)展，對(duì)曝光線條質(zhì)量的要求越來(lái)越高，其中的光學(xué)元件的加工精度要求也不斷提高，TIR棱鏡的膠合面的平行度對(duì)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的像差與畸變有很大的影響，平行度所能達(dá)到的精度直接決定了最終成像的質(zhì)量。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]為了檢測(cè)出全反射棱鏡膠合面平行度的問(wèn)題，達(dá)到區(qū)分好壞目的，本實(shí)用新型提出了一種基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置。[0005]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為[0006]基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置，其特征在于包括有光源、準(zhǔn)直透鏡、待檢測(cè)全反·射棱鏡、圖形接收器，所述的光源、準(zhǔn)直透鏡、待檢測(cè)全反射棱鏡依次放置并處于同一水平線上，圖形接收器置于待檢測(cè)全反射棱鏡的反射光路上，光源發(fā)出的發(fā)散光束經(jīng)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后直射在待檢測(cè)全反射棱鏡上，光束在待檢測(cè)全反射棱鏡的膠合面反射出兩束反射光，兩束反射光在反射光路上發(fā)生干涉后形成干涉條紋，干涉條紋被圖形接收器接收。[0007]所述光源為405nm激光二極管。[0008]所述準(zhǔn)直透鏡為一個(gè)平凸透鏡，把發(fā)光二極管光源發(fā)出的發(fā)散光束轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄馐?。[0009]所述的圖形接收器為一個(gè)光屏，用于觀測(cè)干涉條紋情況。[0010]通過(guò)單位長(zhǎng)度里干涉條紋的數(shù)目，就可以得出全反射棱鏡的兩個(gè)膠合面的平行度情況。[0011]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是[0012]本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，方便快捷，所需要的儀器很普通，易于實(shí)現(xiàn)。


[0013]圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0014]
以下結(jié)合附圖，通過(guò)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地說(shuō)明。[0015]實(shí)施例[0016]如圖I所示，基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置，包括有光源I、準(zhǔn)直透鏡2、待檢測(cè)全反射棱鏡3、圖形接收器4，光源I、準(zhǔn)直透鏡2、待檢測(cè)全反射棱鏡3依次放置并處于同一水平線上，圖形接收器4置于待檢測(cè)全反射棱鏡3的反射光路上， 光源I發(fā)出的發(fā)散光束經(jīng)準(zhǔn)直透鏡2準(zhǔn)直后直射在待檢測(cè)全反射棱鏡3上，光束在待檢測(cè)全反射棱鏡3的膠合面反射出兩束反射光，兩束反射光在反射光路上發(fā)生干涉后形成干涉條紋，干涉條紋被圖形接收器4接收。[0017]光源I為405nm激光二極管。[0018]準(zhǔn)直透鏡2為一個(gè)平凸透鏡，把發(fā)光二極管光源發(fā)出的發(fā)散光束轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄馐?。[0019]圖形接收器4為一個(gè)光屏，用于觀測(cè)干涉條紋情況。[0020]如圖I所示，激光二極管發(fā)出的激光束發(fā)散角為23°，經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直透鏡2后，光束轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄猓叫泄饨?jīng)過(guò)全反射棱鏡的膠合面反射形成兩束光(這里需要使光束的入射角要小于棱鏡的全發(fā)射臨界角)，這兩束光在達(dá)到光屏?xí)r會(huì)發(fā)生干涉，形成干涉條紋，通過(guò)單位長(zhǎng)度里干涉條紋的數(shù)目，就可以得出兩個(gè)面的平行度情況。
權(quán)利要求1.一種基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置，其特征在于包括有光源、準(zhǔn)直透鏡、待檢測(cè)全反射棱鏡、圖形接收器，所述的光源、準(zhǔn)直透鏡、待檢測(cè)全反射棱鏡依次放置并處于同一水平線上，圖形接收器置于待檢測(cè)全反射棱鏡的反射光路上，光源發(fā)出的發(fā)散光束經(jīng)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后直射在待檢測(cè)全反射棱鏡上，光束在待檢測(cè)全反射棱鏡的膠合面反射出兩束反射光，兩束反射光在反射光路上發(fā)生干涉后形成干涉條紋，干涉條紋被圖形接收器接收。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置，其特征在于所述光源為405nm激光二極管。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置，其特征在于所述準(zhǔn)直透鏡為一個(gè)平凸透鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置，其特征在于所述的圖形接收器為一個(gè)光屏。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置，包括有光源、準(zhǔn)直透鏡、待檢測(cè)全反射棱鏡、圖形接收器，光源、準(zhǔn)直透鏡、待檢測(cè)全反射棱鏡依次放置并處于同一水平線上，圖形接收器置于待檢測(cè)全反射棱鏡的反射光路上，光源發(fā)出的發(fā)散光束經(jīng)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后直射在待檢測(cè)全反射棱鏡上，光束在待檢測(cè)全反射棱鏡的膠合面反射出兩束反射光，兩束反射光在反射光路上發(fā)生干涉后形成干涉條紋，干涉條紋被圖形接收器接收。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，能夠在不需要特殊儀器前提下，快速的得到兩個(gè)面的平行度準(zhǔn)確結(jié)果。
文檔編號(hào)G03F7/20GK202734770SQ20122027122
公開(kāi)日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月8日
發(fā)明者談軍軍, 張寬, 張昌清 申請(qǐng)人:合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司