專利名稱：導(dǎo)電圖案的形成方法、導(dǎo)電圖案基板和觸摸面板傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及導(dǎo)電圖案的形成方法、導(dǎo)電圖案基板和觸摸面板傳感器，特別涉及用作液晶顯示元件等平板顯示器、觸摸面板(觸摸屏)、太陽能電池、照明等的裝置的電極配線等的導(dǎo)電圖案的形成方法、導(dǎo)電圖案基板和觸摸面板傳感器。
背景技術(shù)：
在個(gè)人電腦、電視等大型電子設(shè)備、汽車導(dǎo)航裝置、手機(jī)、電子詞典等小型電子設(shè)備、OA FA設(shè)備等顯示設(shè)備中，液晶顯示元件和觸摸面板正在普及。在這些液晶顯示元件和觸摸面板，以及太陽能電池、照明等的器件中，在要求為透明的配線、像素電極或端子的一部分上使用透明導(dǎo)電膜。以前，對(duì)于透明導(dǎo)電膜的材料，從對(duì)可見光顯示高透過率的方面出發(fā)，使用ITO(氧化銦錫、Indium-Tin-Oxide)、氧化銦和氧化錫等。關(guān)于在液晶顯示元件用基板等上設(shè)置的電極，將由上述材料構(gòu)成的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案形成所得的電極已成為主流。作為透明導(dǎo)電膜的圖案形成方法，通常的方法為:在基板上形成透明導(dǎo)電膜后，通過光刻法形成抗蝕圖案，并通過濕蝕刻除去導(dǎo)電膜的規(guī)定部分而形成導(dǎo)電圖案。在ITO膜和氧化銦膜的情況下，蝕刻液常使用由鹽酸和氯化鐵這2液構(gòu)成的混合液。ITO膜、氧化錫膜一般是通過濺射法形成的。在該方法中，根據(jù)濺射方式的不同、濺射功率、氣壓、基板溫度、氛圍氣體種類等，透明導(dǎo)電膜的性質(zhì)容易發(fā)生改變。因?yàn)R射條件的變動(dòng)而引起的透明導(dǎo)電膜的膜質(zhì)的不同會(huì)成為對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行濕蝕刻時(shí)的蝕刻速度偏差的原因，容易發(fā)生圖案形成不良而導(dǎo)致產(chǎn)品的成品率降低。另外，上述導(dǎo)電圖案的形成方法，由于經(jīng)過濺射工序、抗蝕劑形成工序及蝕刻工序，因此工序長(zhǎng),在成本方面也成為大的負(fù)擔(dān)。 近年來，為了消除上述問題，嘗試了使用代替IT0、氧化銦和氧化錫等的材料來形成透明的導(dǎo)電圖案。例如在下述專利文獻(xiàn)I中公開了一種導(dǎo)電圖案的形成方法，其是在基板上形成含有銀纖維等導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層后，在導(dǎo)電層上形成感光性樹脂層，并從其上隔著圖案掩模進(jìn)行曝光、顯影。在下述專利文獻(xiàn)2中公開了使用感光性導(dǎo)電薄膜的導(dǎo)電圖案的形成方法?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:美國(guó)專利公開第2007/0074316號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:國(guó)際專利公開第2010/021224號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題然而，通過本發(fā)明人等的研究表明，在專利文獻(xiàn)I所記載的方法中，難以確?；搴蛯?dǎo)電圖案的粘接性并實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電圖案表面電阻的低電阻化。另外，在將上述導(dǎo)電圖案用作配線、像素電極或端子的情況下，除去感光性樹脂層的工序是必須的，存在使導(dǎo)電圖案形成工序復(fù)雜化這樣的問題。在專利文獻(xiàn)2所記載的方法中，例如如圖10所示，在基板20上層壓具有支撐薄膜
1、導(dǎo)電膜2和感光性樹脂層3的感光性導(dǎo)電薄膜10的感光性樹脂層3 (圖10 (a))，接著，隔著掩模5對(duì)感光性樹脂層3以圖案狀照射活性光線L (圖10 (b))，并通過顯影除去未固化部分(未曝光部分)，從而形成導(dǎo)電圖案(導(dǎo)電膜2a)(圖10(c))。這樣得到的導(dǎo)電圖案除了具有導(dǎo)電膜2a的厚度還具有樹脂固化層3b的厚度。它們的厚度成為與基板的段差Hb，如果該段差大則不易得到顯示器等所要求的平滑性。另外，如果段差大則容易確認(rèn)到導(dǎo)電圖案。另外，例如像靜電容量類型的觸摸面板那樣，在組合設(shè)置2層導(dǎo)電圖案的情況下，有時(shí)會(huì)在形成的導(dǎo)電圖案上貼合新的感光性導(dǎo)電薄膜。這時(shí)，如果段差大，則會(huì)卷入氣泡，更容易確認(rèn)到導(dǎo)電圖案。本發(fā)明是鑒于上述情況而作出的發(fā)明，其目的在于提供能夠在基板上形成段差小的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電圖案的形成方法、使用該方法而得到的導(dǎo)電圖案基板和觸摸面板傳感器。解決問題的方法為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種導(dǎo)電圖案的形成方法，其具有如下工序:對(duì)感光層以圖案狀照射活性光線的第一曝光工序，所述感光層包含在基板上設(shè)置的感光性樹脂層和在感光性樹脂層的與基板相反側(cè)的面上設(shè)置的導(dǎo)電膜；在氧存在下，對(duì)感光層的至少第一曝光工序中的未曝光部的一部分或全部照射活性光線的第二曝光工序；以及在第二曝光工序之后通過對(duì)感光層進(jìn)行顯影而形成導(dǎo)電圖案的顯影工序。根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法，可以將第一曝光工序中的曝光部作為具有導(dǎo)電膜的樹脂固化層即導(dǎo)電圖案，將第二曝光工序中的曝光部中除了第一曝光工序的曝光部以外的部分作為不具有導(dǎo)電膜的樹脂固化層。通過在基板上與導(dǎo)電圖案一起設(shè)置不具有導(dǎo)電膜的樹脂固化層，與在基板上僅設(shè)置導(dǎo)電圖案的情況相比，可以使導(dǎo)電圖案的段差減小。作為通過本發(fā)明的方法能實(shí)現(xiàn)上述效果的理由，本發(fā)明人等推測(cè)是因?yàn)?通過在氧存在下進(jìn)行第二曝光工序，會(huì)妨礙感光層的與基板相反側(cè)的固化，由此即使第一曝光工序的未曝光部在第二曝光工序中曝光，感光層的表層部也僅僅固化至導(dǎo)電膜能夠被除去的程度。另外，通過本發(fā)明的導(dǎo)電圖案形成方法得到的導(dǎo)電圖案，能夠利用樹脂固化層來充分確保與基板的粘接性。在本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法中，優(yōu)選通過將具有支撐薄膜、在支撐薄膜上設(shè)置的導(dǎo)電膜和在導(dǎo)電膜上設(shè)置的感光性樹脂層的感光性導(dǎo)電薄膜以感光性樹脂層在基板上接觸的方式進(jìn)行層壓，從而設(shè)置感光層。在這種情況下，能更簡(jiǎn)便地在基板上形成感光層，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率的提高。另外，通過將在支撐薄膜上設(shè)置的導(dǎo)電膜和感光性樹脂層轉(zhuǎn)印，能夠提高感光層的與基板相反側(cè)的表面的平滑性，從而可以提高形成的導(dǎo)電圖案的平滑性。在本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法中，優(yōu)選使第一曝光工序是對(duì)具有支撐薄膜的感光層照射活性光線的工序，第二曝光工序是對(duì)除去了支撐薄膜的感光層照射活性光線的工序。在這種情況下，關(guān)于第一曝光工序中的曝光部，氧的影響變小而容易固化，關(guān)于第二曝光工序中的曝光部中除第一曝光工序的曝光部以外的部分，容易獲得氧所引起的固化的妨礙效果，容易以充分的分辨率形成段差小的導(dǎo)電圖案。在本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法中，上述導(dǎo)電膜可以含有由無機(jī)導(dǎo)電體和有機(jī)導(dǎo)電體所組成的組中選擇的至少一種導(dǎo)電體。另外，上述導(dǎo)電膜優(yōu)選含有導(dǎo)電性纖維。通過使導(dǎo)電膜含有導(dǎo)電性纖維，可以兼顧導(dǎo)電性和透明性，顯影性進(jìn)一步提高，從而可以形成分辨率優(yōu)異的導(dǎo)電圖案。進(jìn)一步，上述導(dǎo)電性纖維優(yōu)選為銀纖維。通過使用銀纖維，能夠容易地調(diào)整形成的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電性。另外，上述導(dǎo)電膜可以含有由聚噻吩、聚噻吩衍生物、聚苯胺、以及聚苯胺衍生物所組成的組中選擇的至少一種導(dǎo)電體。這種情況下，即使是通過顯影工序能夠容易除去的薄膜，也可以得到充分的導(dǎo)電性。在本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法中，上述感光性樹脂層優(yōu)選含有粘合劑聚合物、具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物和光聚合弓I發(fā)劑。通過使感光性樹脂層含有上述成分，可以進(jìn)一步提高基板與導(dǎo)電圖案的粘接性和圖案形成性。本發(fā)明另外還提供一種導(dǎo)電圖案基板，其具有基板和通過本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法在基板上形成的導(dǎo)電圖案。根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案基板，由于導(dǎo)電圖案通過本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法而形成，因此難以確認(rèn)到導(dǎo)電圖案。另外，根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案基板，由于導(dǎo)電圖案的段差小，因此在導(dǎo)電圖案上貼合例如感光性導(dǎo)電薄膜、提高辨認(rèn)性的薄膜(OCA =Optical ClearAdhesive，光學(xué)透明膠)、折射率匹配薄膜(MF)等薄膜的情況下，能夠減少起因于段差的氣泡卷入。根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案基板，可以得到難以確認(rèn)到圖像顯示區(qū)域或傳感區(qū)域的圖
像顯示裝置。本發(fā)明另外還提供一種觸摸面板傳感器，其具有本發(fā)明的導(dǎo)電圖案基板。本發(fā)明的觸摸面板傳感器通過具有本發(fā)明的導(dǎo)電圖案基板，能夠具有良好的辨認(rèn)性和美觀。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可以提供能夠在基板上形成段差小的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電圖案的形成方法、使用該方法而得到的導(dǎo)電圖案基板和觸摸面板傳感器。


圖1是表示感光性導(dǎo)電薄膜的一實(shí)施方式的示意剖面圖。圖2是表示感光性導(dǎo)電薄膜的一實(shí)施方式的部分切口立體圖。圖3是用于說明本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法的一實(shí)施方式的示意剖面圖。圖4是用于說明本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法的其它實(shí)施方式的示意剖面圖。圖5是表不靜電容量式的觸摸面板傳感器的一例的不意俯視圖。圖6是用于說明圖5所示的觸摸面板傳感器的制造方法的一例的示意圖。
圖7是沿著圖5所示的a-a'線的部分剖面圖。圖8是沿著圖5所示的b-b'線的部分剖面圖。圖9是表示通過實(shí)施例1形成的導(dǎo)電圖案的SEM照片和其段差分布圖。圖10是用于說明以前的導(dǎo)電圖案形成方法的一實(shí)施方式的示意剖面圖。
具體實(shí)施例方式下面，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。另外，本說明書中的“(甲基)丙烯酸酯”是指“丙烯酸酯”和與其對(duì)應(yīng)的“甲基丙烯酸酯”。同樣地，“(甲基)丙烯基”是指“丙烯基”和與其相對(duì)應(yīng)的“甲基丙烯基”，“(甲基)丙烯酸”是指“丙烯酸”或“甲基丙烯酸”，“(甲基)丙烯?；笔侵浮氨；焙团c其對(duì)應(yīng)的“甲基丙烯?；?。另外，“(甲基)丙烯酸烷基酯”是指“丙烯酸烷基酯”和與其相對(duì)應(yīng)的“甲基丙烯酸烷基酯”。進(jìn)一步，“E0”表示環(huán)氧乙烷，“E0改性”的化合物是指具有環(huán)氧乙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)的化合物。同樣地，“PO”表示環(huán)氧丙烷，“PO改性”的化合物是指具有環(huán)氧丙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)的化合物。本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法具有如下工序:對(duì)感光層以圖案狀照射活性光線的第一曝光工序，所述感光層包含在基板上設(shè)置的感光性樹脂層和在感光性樹脂層的與基板相反側(cè)的面上設(shè)置的導(dǎo)電膜；在氧存在下，對(duì)感光層的至少第一曝光工序中的未曝光部的一部分或全部照射活性光線的第二曝光工序；以及在第二曝光工序之后通過對(duì)感光層進(jìn)行顯影而形成導(dǎo)電圖案的顯影工序。在本說明書中，導(dǎo)電膜和感光性樹脂層的邊界不需要一定明確。導(dǎo)電膜只要在感光層的面方向能獲得導(dǎo)電性即可，可以是在導(dǎo)電膜中混合有感光性樹脂層的形態(tài)。例如，可以在導(dǎo)電膜中浸潰有構(gòu)成感光性樹脂層的組合物，或者構(gòu)成感光性樹脂層的組合物存在于導(dǎo)電膜的表面。根據(jù)上述的方法，將第一曝光工序中的曝光部作為具有導(dǎo)電膜的樹脂固化層即導(dǎo)電圖案，將第二曝光工序中的曝光部中除了第一曝光工序的曝光部以外的部分作為不具有導(dǎo)電膜的樹脂固化層。通過在基板上與導(dǎo)電圖案一起設(shè)置不具有導(dǎo)電膜的樹脂固化層，與在基板上僅設(shè)置導(dǎo)電圖案的情況相比，可以使導(dǎo)電圖案的段差減小。作為通過上述的方法可實(shí)現(xiàn)上述效果的理由，本發(fā)明人等推測(cè)是因?yàn)?通過在氧存在下進(jìn)行第二曝光工序，會(huì)妨礙感光層的與基板相反側(cè)的固化，由此即使第一曝光工序的未曝光部在第二曝光工序中曝光，感光層的表層部也僅僅被固化至導(dǎo)電膜能夠被除去的程度。從這個(gè)觀點(diǎn)考慮，感光性樹脂層優(yōu)選包含利用氧而使活性降低的光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選使用自由基聚合引發(fā)劑。在本實(shí)施方式中，可以通過將具有支撐薄膜、在支撐薄膜上設(shè)置的導(dǎo)電膜和在導(dǎo)電膜上設(shè)置的感光性樹脂層的感光性導(dǎo)電薄膜以感光性樹脂層在基板上接觸的方式進(jìn)行層壓而設(shè)置上述感光層，將對(duì)具有支撐薄膜的感光層照射活性光線的工序作為第一曝光工序，將對(duì)除去了支撐薄膜的感光層照射活性光線的工序作為第二曝光工序。下面，對(duì)該實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是表不在本實(shí)施方式中使用的感光性導(dǎo)電薄膜的優(yōu)選的一實(shí)施方式的不意剖面圖。圖1所示的感光性導(dǎo)電薄膜10具有支撐薄膜I和在支撐薄膜I上設(shè)置的感光層
4。感光層4由在支撐薄膜I上設(shè)置的導(dǎo)電膜2和在導(dǎo)電膜2上設(shè)置的感光性樹脂層3構(gòu)成。作為支撐薄膜1，可以使用聚合物薄膜，優(yōu)選具有耐熱性和耐溶劑性的聚合物薄膜。作為這樣的聚合物薄膜，例如可列舉聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜、聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚碳酸酯薄膜。這些之中，從透明性、耐熱性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜。為了之后容易從感光層4剝離，上述聚合物薄膜也可以進(jìn)行脫模處理。在第二曝光工序中剝離支撐薄膜的情況下，支撐薄膜I也可以進(jìn)一步具有阻氣層等層。支撐薄膜I的厚度，從機(jī)械強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5 y m以上，更優(yōu)選為10 y m以上，進(jìn)一步優(yōu)選為15 P m以上。通過將支撐薄膜I的厚度設(shè)為上述數(shù)值以上，例如在為了形成導(dǎo)電膜2而涂布導(dǎo)電體分散液或?qū)щ婓w溶液的工序、為了形成感光性樹脂層3而涂布感光性樹脂組合物的工序、或者在第二曝光工序時(shí)從感光層4剝離支撐薄膜I的工序中，可以防止支撐薄膜I破裂。另外，從隔著支撐薄膜I對(duì)感光性樹脂層3照射活性光線時(shí)充分確保導(dǎo)電圖案的分辨率的觀點(diǎn)考慮，支撐薄膜I的厚度優(yōu)選為300i!m以下，更優(yōu)選為200i!m以下，進(jìn)一步優(yōu)選為IOOiim以下。從上述的觀點(diǎn)考慮，支撐薄膜I的厚度優(yōu)選為5 300 ii m,更優(yōu)選為10 200 U m，特別優(yōu)選為15 IOOum0從可使靈敏度和分辨率良好的觀點(diǎn)考慮，支撐薄膜I的霧度值優(yōu)選為0.01
5.0%，更優(yōu)選為0.01 3.0%，特別優(yōu)選為0.01 2.0%，極其優(yōu)選為0.01 1.5%。另外，霧度值可以根據(jù)JIS K7105而測(cè)定，例如可以通過NDH-1001DP (日本電色工業(yè)(株)制，商品名)等市售的濁度計(jì)等測(cè)定。導(dǎo)電膜2可以含有由無機(jī)導(dǎo)電體和有機(jī)導(dǎo)電體所組成的組中選擇的至少一種導(dǎo)電體。只要能得到導(dǎo)電膜2的導(dǎo)電性即可，可以沒有特別限制地使用無機(jī)導(dǎo)電體和有機(jī)導(dǎo)電體，這些導(dǎo)電體可以單獨(dú)使用或者組合2種以上使用。作為無機(jī)導(dǎo)電體，可列舉后述的金屬纖維。作為有機(jī)導(dǎo)電體，可列舉導(dǎo)電性聚合物。作為導(dǎo)電性聚合物，可使用由聚噻吩、聚噻吩衍生物、聚苯胺、以及聚苯胺衍生物所組成的組中選擇的至少一種導(dǎo)電體。例如可使用聚亞乙二氧基噻吩、聚己基噻吩和聚苯胺中的I種或者組合2種以上使用。在導(dǎo)電膜2包含有機(jī)導(dǎo)電體而構(gòu)成的情況下，優(yōu)選包含有機(jī)導(dǎo)電體和感光性樹脂。導(dǎo)電膜2優(yōu)選含有導(dǎo)電性纖維。通過使導(dǎo)電膜含有導(dǎo)電性纖維，可以兼顧導(dǎo)電性和透明性，顯影性進(jìn)一步提高，從而能夠形成分辨率優(yōu)異的導(dǎo)電圖案。作為上述導(dǎo)電性纖維，例如可列舉金、銀、鉬等金屬纖維、和碳納米管等碳纖維。這些物質(zhì)可以單獨(dú)使用或者組合2種以上使用。從導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用金纖維和/或銀纖維，從可容易地調(diào)整導(dǎo)電膜的導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選使用銀纖維。上述金屬纖維，例如可以通過利用NaBH4等還原劑還原金屬離子的方法、或多元醇法來調(diào)制。另外，上述碳納米管可以使用Unidym公司的Hipco單層碳納米管等市售品。導(dǎo)電性纖維的纖維直徑優(yōu)選為Inm 50nm,更優(yōu)選為2nm 20nm,特別優(yōu)選為3nm 10nm。另夕卜，導(dǎo)電性纖維的纖維長(zhǎng)優(yōu)選為I ii m 100 u m,更優(yōu)選為2 y m 50 y m,特別優(yōu)選為3 y m 10 y m。纖維直徑和纖維長(zhǎng)可以通過掃描型電子顯微鏡來測(cè)定。
圖2是表示感光性導(dǎo)電薄膜的一實(shí)施方式的部分切口立體圖。如圖2所示，導(dǎo)電膜2優(yōu)選具有導(dǎo)電性纖維彼此接觸而形成的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。具有這樣網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電膜2可以在感光性樹脂層3的支撐薄膜I側(cè)的表面上形成，但如果在剝離支撐薄膜I時(shí)露出的感光層4的表面上在其面方向能獲得導(dǎo)電性，則可以以感光性樹脂層3的一部分進(jìn)入導(dǎo)電膜2的方式形成，也可以以在感光性樹脂層3的支撐薄膜I側(cè)的表層包含導(dǎo)電膜2的方式形成。導(dǎo)電膜2，例如可以通過將包含上述的無機(jī)導(dǎo)電體和有機(jī)導(dǎo)電體中的一種以上、水和/或有機(jī)溶劑以及根據(jù)需要的表面活性劑等分散穩(wěn)定劑的導(dǎo)電體分散液或?qū)щ婓w溶液涂布在支撐薄膜I上后，進(jìn)行干燥而形成。涂布例如可通過輥涂法、逗號(hào)涂布法、凹版涂布法、氣刀涂布法、模涂法、棒涂法、噴涂法等公知方法來進(jìn)行。另外，干燥可以在30 150°C用熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)等進(jìn)行I 30分鐘左右。在導(dǎo)電膜2中，無機(jī)導(dǎo)電體、有機(jī)導(dǎo)電體可以與表面活性劑、分散穩(wěn)定劑共存。導(dǎo)電膜2也可以是由將多個(gè)導(dǎo)電體分散液或?qū)щ婓w溶液依次涂布在支撐薄膜I上并干燥所得到的多個(gè)膜構(gòu)成的膜。導(dǎo)電膜2的厚度根據(jù)形成的導(dǎo)電圖案的用途、所要求的導(dǎo)電性而有所不同，但優(yōu)選為I μ m以下,更優(yōu)選為Inm 0.5 μ m,進(jìn)一步優(yōu)選為5nm 0.1 μ m。如果導(dǎo)電膜2的厚度為I μ m以下，則在450 650nm的波長(zhǎng)區(qū)域中的光透過率充分高，圖案形成性也優(yōu)異，特別適合于透明電極的制作。另外，導(dǎo)電膜2的厚度是指利用掃描型電子顯微鏡照片測(cè)定所得到的值。在本實(shí)施方式中，在支撐薄膜I上形成導(dǎo)電膜2后，進(jìn)一步設(shè)置了感光性樹脂層3，但根據(jù)需要，也可以將在支撐薄膜I上形成的導(dǎo)電膜2層壓在基板上設(shè)置的感光性樹脂層上。感光性樹脂層3可以由含有(a)粘合劑聚合物、(b)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物和(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物形成。通過使感光性樹脂層3含有上述成分，可進(jìn)一步提高基板與導(dǎo)電圖案的粘接性和圖案形成性。作為(a)粘合劑聚合物，例如可列舉丙烯酸樹脂、苯乙烯樹脂、環(huán)氧樹脂、酰胺樹月旨、酰胺環(huán)氧樹脂、醇酸樹脂、酚醛樹脂、酯樹脂、氨基甲酸酯樹脂、環(huán)氧樹脂與(甲基)丙烯酸反應(yīng)所得到的環(huán)氧丙烯酸酯樹脂、環(huán)氧丙烯酸酯樹脂與酸酐反應(yīng)所得到的酸改性環(huán)氧丙烯酸酯樹脂。這些樹脂可以單獨(dú)使用或組合2種以上使用。上述中，從堿顯影性和成膜性優(yōu)異的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用丙烯酸樹脂。另外，上述丙烯酸樹脂更優(yōu)選具有源于(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸烷基酯的單體單元作為構(gòu)成單元。這里所謂“丙烯酸樹脂”是指主要具有源于具有(甲基)丙烯?；木酆闲詥误w的單體單元的聚合物。上述丙烯酸樹脂例如可通過使具有(甲基)丙烯?；木酆闲詥误w進(jìn)行自由基聚合來制造。該丙烯酸樹脂可以單獨(dú)使用或組合2種以上使用。作為上述具有(甲基)丙烯?；木酆闲詥误w，例如可列舉雙丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、2，2，2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2，2，3，3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸、α-溴代(甲基)丙烯酸、α-氯代(甲基)丙烯酸、呋喃基(甲基)丙烯酸、苯乙烯基(甲基)丙烯酸。另外，上述丙烯酸樹脂除了如上所述的具有(甲基)丙烯?；木酆闲詥误w外，還可以將由苯乙烯、乙烯基甲苯、a-甲基苯乙烯等在a-位或芳香族環(huán)上進(jìn)行了取代的能夠聚合的苯乙烯衍生物；丙烯腈、乙烯基-正丁基醚等乙烯醇的酯類；馬來酸、馬來酸酐、馬來酸單甲酯、馬來酸單乙酯、馬來酸單異丙酯等馬來酸單酯；富馬酸、肉桂酸、a-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸等的I種或2種以上的聚合性單體共聚。作為上述(甲基)丙烯酸烷基酯，例如可列舉(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯。它們可以單獨(dú)使用或2種以上組合使用。從使堿顯影性更良好的觀點(diǎn)考慮，Ca)粘合劑聚合物優(yōu)選具有羧基。作為用于得到這樣的粘合劑聚合物的具有羧基的聚合性單體，可列舉上述那樣的(甲基)丙烯酸。關(guān)于(a)粘合劑聚合物所具有的羧基的比率，作為具有羧基的聚合性單體相對(duì)于為了得到粘合劑聚合物所使用的全部聚合性單體的比例，優(yōu)選為10 50質(zhì)量％，更優(yōu)選為12 40質(zhì)量％，特別優(yōu)選為15 30質(zhì)量％，極其優(yōu)選為15 25質(zhì)量％。從堿顯影性優(yōu)異方面考慮，優(yōu)選為10質(zhì)量％以上,從耐堿性優(yōu)異方面考慮,優(yōu)選為50質(zhì)量％以下。(a)粘合劑聚合物的酸值，從在顯影工序中提高對(duì)于公知的各種顯影液的顯影性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為50mgK0H/g以上150mgK0H/g以下。(a)粘合劑聚合物的酸值，可以如下測(cè)定。精確稱量Ig應(yīng)測(cè)定酸值的粘合劑聚合物。向上述粘合劑聚合物中添加30g丙酮，將其均勻溶解。接著，在上述溶液中適量添加作為指示劑的酚酞，并使用0.1N的KOH水溶液進(jìn)行滴定，從而能夠測(cè)定。另外，酸值可通過下面式子算出。

酸值=10X Vf X 56.1/ (Wp X I)式中，Vf表示酹酞的滴定量(mL), Wp表示測(cè)定的樹脂溶液的重量(g), I表示測(cè)定的樹脂溶液中的不揮發(fā)成分的比例(質(zhì)量％)。另外，在粘合劑聚合物中包含合成溶劑、稀釋溶劑的情況下，在精確稱量之前預(yù)先在比上述溶劑的沸點(diǎn)高10°C左右的溫度下加熱I 4小時(shí)，預(yù)先除去揮發(fā)成分。這時(shí)，低分子量的光聚合性化合物等揮發(fā)性成分也有時(shí)被除去。從實(shí)現(xiàn)機(jī)械強(qiáng)度和堿顯影性的平衡的觀點(diǎn)考慮，Ca)粘合劑聚合物的重均分子量?jī)?yōu)選為5000 300000，進(jìn)一步優(yōu)選為20000 150000，特別優(yōu)選為30000 100000。從耐顯影液性優(yōu)異方面考慮，重均分子量?jī)?yōu)選為5000以上。另外，從顯影時(shí)間的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為300000以下。另外，重均分子量的測(cè)定條件設(shè)為與本申請(qǐng)說明書的實(shí)施例相同的測(cè)定條件。(a)粘合劑聚合物可以將上述的樹脂單獨(dú)使用或組合2種以上使用。在將2種以上的樹脂組合使用的情況下，例如可列舉由包含由不同的共聚成分構(gòu)成的2種以上樹脂的混合物構(gòu)成的粘合劑聚合物、由包含不同重均分子量的2種以上樹脂的混合物構(gòu)成的粘合劑聚合物、由包含不同分散度的2種以上樹脂的混合物構(gòu)成的粘合劑聚合物。作為(b)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物，例如可列舉使a，0 -不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而獲得的化合物；使a，￠-不飽和羧酸與含有縮水甘油基的化合物反應(yīng)而得到的化合物；具有氨基甲酸酯鍵的(甲基)丙烯酸酯化合物等氨基甲酸酯單體；Y-氯-β-輕丙基-β(甲基)丙烯酰氧乙基-鄰苯二甲酸酯、β-羥乙基-β(甲基)丙烯酰氧乙基-鄰苯二甲酸酯、β -羥丙基-β ’ -(甲基)丙烯酰氧乙基-鄰苯二甲酸酯等鄰苯二甲酸系化合物；(甲基)丙烯酸烷基酯。它們可以單獨(dú)使用或2種以上組合使用。作為上述使α，不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得到的化合物，例如可列舉2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷等雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物；亞乙基數(shù)為2 14的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亞丙基數(shù)為2 14的聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亞乙基數(shù)為2 14且亞丙基數(shù)為2 14的聚乙二醇聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷四乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷五乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、亞丙基數(shù)為2 14的聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。作為上述氨基甲酸酯單體，例如可列舉β位上具有羥基的(甲基)丙烯酸單體與異佛爾酮二異氰酸酯、2，6 —甲苯二異氰酸酯、2，4 一甲苯二異氰酸酯、1，6 —六亞甲基二異氰酸酯等二異氰酸酯化合物的加成反應(yīng)物；三[(甲基)丙烯酰氧基四乙二醇異氰酸酯]六亞甲基異氰脲酸酯；Ε0改性氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯；Ε0、Ρ0改性氨基甲酸酯二(甲基)丙稀Ife酷。作為EO改性氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯，例如可列舉“UA - 11”(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制，商品名)。另外，作為Ε0、PO改性氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯，例如可列舉“UA - 13”(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制，商品名)。(b)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物的含有比例相對(duì)于(a)粘合劑聚合物和(b)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物的總量100質(zhì)量份優(yōu)選為30 80質(zhì)量份，更優(yōu)選為40 70質(zhì)量份。從光固化性和在形成的導(dǎo)電膜2上的涂布性優(yōu)異方面考慮，優(yōu)選為30質(zhì)量份以上，從作為薄膜卷繞時(shí)的保管穩(wěn)定性優(yōu)異方面考慮，優(yōu)選為80質(zhì)量份以下。作為(C)光聚合引發(fā)劑，只要是通過活性光線的照射能使感光性樹脂層3固化的物質(zhì)即可，沒有特別的限制，但從光固化性優(yōu)異的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用自由基聚合引發(fā)齊U。例如可列舉二苯甲酮、N，N’ -四甲基-4，4’ - 二氨基二苯甲酮(米氏酮)、N，N’ -四乙基-4，4’ - 二氨基二苯甲酮、4-甲氧基_4’ - 二甲基氨基二苯甲酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)-丁酮-1，2-甲基-1- [4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮；苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯醚等苯偶姻醚化合物；苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；1，2-辛二酮-1- [4-(苯基硫代)苯基]-2- (O-苯甲酰肟)、
1-[9-乙基-6- (2-甲基苯甲酰)-9H-咔唑-3-基]乙酮1- (O-乙酰肟)等肟酯化合物；苯偶酰二甲基縮酮等苯偶酰衍生物；2-(鄰氯苯基)_4，5-二苯基咪唑二聚體、2-(鄰氯苯基)-4，5- 二(甲氧基苯基)咪唑二聚體、2-(鄰氟苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚體、2-(鄰甲氧基苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚體、2-(對(duì)甲氧基苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚體等2，4，5-三芳基咪唑二聚體；9_苯基吖啶、1，7-雙(9，9’-吖啶基)庚烷等吖啶衍生物；N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物、香豆素系化合物、噁唑系化合物。另外，2個(gè)2，4，5-三芳基咪唑的芳基取代基可以相同而提供對(duì)稱的化合物，也可以不同而提供非對(duì)稱的化合物。另外，像二乙基噻噸酮和二甲基氨基安息香酸的組合那樣，也可以組合噻噸酮系化合物和叔胺化合物。這些中，從透明性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選含有芳香族酮化合物或肟酯化合物，優(yōu)選含有
2-芐基-2-二甲基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)-丁酮-1或1,2-辛二酮-1- [4-(苯基硫代)苯基]-2- (O-苯甲酰肟)。它們可以單獨(dú)使用或2種以上組合使用。(c)光聚合引發(fā)劑的含有比例相對(duì)于(a)粘合劑聚合物和(b)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物的總量100質(zhì)量份優(yōu)選為0.1 20質(zhì)量份,更優(yōu)選為I 10質(zhì)量份，特別優(yōu)選為I 5質(zhì)量份。從感光度優(yōu)異方面考慮，優(yōu)選為0.1質(zhì)量份以上，從感光性樹脂層3內(nèi)部的光固化性優(yōu)異方面考慮，優(yōu)選為20質(zhì)量份以下。在感光性樹脂層3中，根據(jù)需要可以含有各種添加劑。作為添加劑，可以單獨(dú)含有或組合含有2種以上的對(duì)甲苯磺酰胺等增塑劑、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、密合性賦予劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、防氧化劑、香料、成像劑、熱交聯(lián)劑等添加劑。這些添加劑的添加量相對(duì)于(a)粘合劑聚合物和光聚合性化合物的總量100質(zhì)量份優(yōu)選分別為0.01 20質(zhì)量份。感光性樹脂層3可通過在支撐薄膜上形成的導(dǎo)電膜2上涂布根據(jù)需要溶解在甲醇、乙醇、丙酮、甲基乙基酮、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、甲苯、N，N 一二甲基甲酰胺、丙二醇單甲醚等溶劑或它們的混合溶劑中的固體成分為10 60質(zhì)量％左右的感光性樹脂組合物的溶液后，進(jìn)行干燥而形成。但是，這種情況下，為了防止其后工序中有機(jī)溶劑的擴(kuò)散，干燥后的感光性樹脂層中的殘存有機(jī)溶劑量?jī)?yōu)選為2質(zhì)量％以下。涂布可通過公知方法來進(jìn)行。例如可列舉輥涂法、逗號(hào)涂布法、凹版涂布法、氣刀涂布法、模涂法、棒涂法、噴涂法。涂布后，用于除去有機(jī)溶劑等的干燥可以在70 150°C用熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)等進(jìn)行5 30分鐘左右。感光性樹脂層3的厚度根據(jù)用途而有所不同，以干燥后的厚度計(jì)優(yōu)選為I 200 μ m,更優(yōu)選為I 15 μ m，特別優(yōu)選為I 10 μ m。如果該厚度為I μ m以上，則具有容易通過涂布而形成層的傾向，從光透過性良好，可得到充分的靈敏度，感光性樹脂層3的光固化性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為200 μ m以下。感光性樹脂層3的厚度可以通過掃描型電子顯微鏡來測(cè)定。在感光性導(dǎo)電薄膜10中，優(yōu)選使感光層4 (上述導(dǎo)電膜2和上述感光性樹脂層3的層疊體)在450 650nm的波長(zhǎng)區(qū)域中的最小光透過率為80%以上，更優(yōu)選為85%以上。在感光層4滿足這樣條件的情況下，在顯示器面板等中容易高亮度化。另外，在將感光層4的膜厚設(shè)為I 10 μ m時(shí)優(yōu)選在450 650nm的波長(zhǎng)區(qū)域中的最小光透過率為80%以上，更優(yōu)選為85%以上。在感光層4 (導(dǎo)電膜2和感光性樹脂層3的層疊體)滿足這樣的條件的情況下，在顯不器面板等中容易聞売度化。本實(shí)施方式中使用的感光性導(dǎo)電薄膜10，可以以與在感光性樹脂層3的與支撐薄膜I側(cè)相反側(cè)的面接觸的方式，進(jìn)一步設(shè)置保護(hù)薄膜。作為保護(hù)薄膜，可以使用具有耐熱性和耐溶劑性的聚合物薄膜。例如可列舉聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜、聚丙烯薄膜、聚乙烯薄膜。另外，作為保護(hù)薄膜，也可以使用與上述支撐體薄膜同樣的聚合物薄膜。
保護(hù)薄膜的厚度優(yōu)選為I lOOiim，更優(yōu)選為5 50iim，進(jìn)一步優(yōu)選為5 40 u m,特別優(yōu)選為15 30 y m。保護(hù)薄膜的厚度從機(jī)械強(qiáng)度優(yōu)異方面考慮，優(yōu)選為IumW上，從價(jià)格比較便宜方面考慮優(yōu)選為IOOiim以下。為了容易從感光性樹脂層3剝離保護(hù)薄膜，優(yōu)選使保護(hù)薄膜與感光性樹脂層3之間的粘接力比支撐薄膜I與感光層4 (導(dǎo)電膜2和感光性樹脂層3)之間的粘接力更小。另外，保護(hù)薄膜優(yōu)選使保護(hù)薄膜中所含的直徑80 Pm以上的魚眼數(shù)為5個(gè)/ m2以下。另外，所謂“魚眼”是指通過對(duì)材料進(jìn)行熱熔融、混煉、擠出、2軸拉伸、澆鑄法等制造薄膜時(shí)，材料的異物、未溶解物、氧化劣化物等進(jìn)入到薄膜中而產(chǎn)生的東西。感光性導(dǎo)電薄膜10也可以在保護(hù)薄膜上進(jìn)一步具有粘接層、阻氣層等層。感光性導(dǎo)電薄膜10例如可以以原樣的平板狀形態(tài)儲(chǔ)存，或者卷繞在圓筒狀等的卷芯上而以卷狀的形態(tài)儲(chǔ)存。另外，此時(shí)，優(yōu)選按照支撐薄膜I在最外側(cè)的方式卷繞。另外，在感光性導(dǎo)電薄膜10不具有保護(hù)薄膜的情況下，這樣的感光性導(dǎo)電薄膜10可以以原樣的平板狀形態(tài)儲(chǔ)存。作為卷芯，只要是以往使用的卷芯就沒有特別限制，例如可列舉聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚氯乙烯樹脂、ABS樹脂(丙烯腈一丁二烯一苯乙烯共聚物)等塑料。另外，在卷繞成卷狀的感光性導(dǎo)電薄膜的端面上，從保護(hù)端面的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選設(shè)置端面隔板，此外從耐邊緣熔接的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選設(shè)置防濕端面隔板。另外，捆包感光性導(dǎo)電薄膜時(shí)，優(yōu)選包入透濕性小的黑薄板中進(jìn)行包裝。圖3是用于說明本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法的示意剖面圖。本實(shí)施方式的方法具有如下工序: 將上述感光性導(dǎo)電薄膜10以感光性樹脂層3在基板20上接觸的方式層壓的層壓工序(圖3 (a));對(duì)具有支撐薄膜I的感光層4的規(guī)定部分照射活性光線的第一曝光工序(圖3 (b ;之后，剝離支撐薄膜1，然后在氧存在下，對(duì)第一曝光工序中的曝光部和未曝光部的一部分或全部照射活性光線的第二曝光工序(圖3 (c));以及在第二曝光工序之后對(duì)感光層4進(jìn)行顯影的顯影工序(圖3 (d))。作為基板20，例如可列舉玻璃基板、聚碳酸酯等塑料基板?；?0的厚度可以根據(jù)使用的目的而適宜選擇，可以使用膜狀基板。作為膜狀基板，例如可列舉聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜、聚碳酸酯薄膜、環(huán)烯烴聚合物薄膜。優(yōu)選使基板20在450 650nm的波長(zhǎng)區(qū)域中的最小光透過率為80%以上。在基板20滿足這樣條件的情況下，在顯示器面板等中容易
高亮度化。層壓工序例如可列舉如下方法:在具有保護(hù)薄膜的情況下將其除去后，邊加熱感光性導(dǎo)電薄膜10邊將感光性樹脂層3側(cè)壓接在基板20上，從而進(jìn)行層疊。另外，從密合性和追隨性的觀點(diǎn)考慮，該工序優(yōu)選在減壓下層疊。關(guān)于感光性導(dǎo)電薄膜10的層疊，優(yōu)選將感光性樹脂層3和/或基板20加熱至70 130°C，壓接壓力優(yōu)選設(shè)為0.1 1.0MPa左右(I IOkgf / cm2左右)，但是這些條件沒有特別限制。另外，如上述那樣將感光性樹脂層3加熱至70 130°C的話，無需預(yù)先對(duì)基材20進(jìn)行預(yù)熱處理，但是為了進(jìn)一步提高層疊性，也可以進(jìn)行基材20的預(yù)熱處理。根據(jù)本實(shí)施方式的方法，通過將另外制作的感光性導(dǎo)電薄膜10層壓在基板20上從而設(shè)置感光層4，能夠更簡(jiǎn)便地在基板20上形成感光層4，可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)率的提高。作為在第一曝光工序中的曝光方法，可列舉如圖3 (b)所示的、通過被稱為原圖(artwork)的負(fù)或正掩模圖案5而以圖像狀照射活性光線L的方法(掩模曝光法)。作為在第一曝光工序中的活性光線的光源，可列舉公知的光源。例如可使用能有效放射紫外線、可見光等的碳弧燈、汞蒸氣弧燈、超高壓汞燈、高壓汞燈、氙燈。另外，也可以使用Ar離子激光器、半導(dǎo)體激光器。進(jìn)一步，也可以使用照相用泛光電燈泡、太陽能燈等有效放射可見光的光源。另外，也可以采用通過使用了激光曝光法等的直接描繪法而以圖像狀照射活性光線的方法。第一曝光工序中的曝光量，根據(jù)使用的裝置、感光性樹脂組合物的組成而有所不同，但優(yōu)選為5mJ/cm2 1000mJ/cm2,更優(yōu)選為10mJ/cm2 200mJ/cm2。從使光固化性優(yōu)異方面考慮優(yōu)選為10mJ/cm2以上,從分辨率方面考慮優(yōu)選為200mJ/cm2以下。在本實(shí)施方式中，通過不剝離支撐薄膜I將感光層4曝光，氧的影響變小而容易固化。第一曝光工序可以在空氣中、真空中等進(jìn)行，曝光的氛圍沒有特別的限制。作為第二曝光工序中的曝光方法，根據(jù)需要，可以選擇掩模曝光法、和如圖3 (c)所示不使用掩模而對(duì)感光性樹脂層3的整體照射活性光線的方法。在進(jìn)行掩模曝光法的情況下，可以如圖4 (c)所示，例如通過掩模圖案5而以圖像狀照射活性光線L。在本實(shí)施方式中，在第二曝光工序中也曝光了第一曝光工序中的曝光部，通過進(jìn)行這樣的2次曝光，與在第二曝光工序中不曝光第一曝光工序中的曝光部分的情況相比，可以防止在第一曝光工序中的曝光部分和第二曝光工序中的曝光部分之間產(chǎn)生邊界部分，可以防止段差變大。另外，在第一曝光工序中將曝光部充分固化的情況下，該部分可以在第二曝光工序中不曝光。作為第二曝光工序中的活性光線的光源，可使用公知的光源，例如碳弧燈、汞蒸氣弧燈、超高壓汞燈、高壓汞燈、氙燈等有效放射紫外線、可見光等的光源。另外，也可使用Ar離子激光器、半導(dǎo)體激光器的有效放射紫外線、可見光等的光源。進(jìn)一步，也可使用照相用泛光電燈泡、太陽能燈等有效放射可見光的光源。第二曝光工序中的曝光量，根據(jù)使用的裝置、感光性樹脂組合物的組成而有所不同，但優(yōu)選為5mJ/cm2 1000mJ/cm2,更優(yōu)選為10mJ/cm2 200mJ/cm2,進(jìn)一步優(yōu)選為30mJ/cm2 150mJ/cm2。從光固化性優(yōu)異方面考慮優(yōu)選為10mJ/cm2以上,從操作效率方面考慮優(yōu)選為200mJ/cm2以下。在本實(shí)施方式的第二曝光工序中，通過在氧存在下，除去支撐薄膜I而曝光感光層4，從而可以在感光層4 (導(dǎo)電膜2和感光性樹脂層3)的露出面?zhèn)壤醚跏褂梢l(fā)劑產(chǎn)生的反應(yīng)種失活，在感光性樹脂層3的導(dǎo)電膜2側(cè)設(shè)置固化不充分的區(qū)域。由于過度的曝光會(huì)使感光性樹脂組合物整體充分固化，因此第二曝光工序的曝光量?jī)?yōu)選設(shè)為上述范圍。第二曝光工序優(yōu)選在氧存在下進(jìn)行，例如在空氣中進(jìn)行。另外，在增加了氧濃度的條件下進(jìn)行也沒關(guān)系。本實(shí)施方式的顯影工序中，將第二曝光工序中曝光的感光性樹脂層3的未充分固化的表面部分除去。具體地說，通過濕法顯影將感光性樹脂層3的未充分固化的表面部分、也就是包含導(dǎo)電膜2的表面層除去。由此，具有規(guī)定圖案的導(dǎo)電膜2殘留在第一和第二曝光工序中曝光區(qū)域的樹脂固化層上，在通過顯影工序而被除去的部分上形成不具有導(dǎo)電膜2的樹脂固化層。這樣，如圖3 (d)所示，在樹脂固化層3a上形成的導(dǎo)電圖案2a的段差Ha變小，可得到具有段差小的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電圖案基板40。另外，在第二曝光工序中進(jìn)行掩模曝光法的情況下，如圖4 (d)所示，可得到通過顯影而除去了在第一和第二曝光工序中未曝光的部分的導(dǎo)電圖案基板42。濕法顯影例如使用堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑系顯影液，通過噴霧、搖動(dòng)浸潰、刷涂、刮涂等公知的方法來進(jìn)行。作為顯影液，優(yōu)選使用堿性水溶液，由于其安全且穩(wěn)定、操作性良好。作為堿性水溶液，優(yōu)選0.1 5質(zhì)量％碳酸鈉水溶液、0.1 5質(zhì)量％碳酸鉀水溶液、0.1 5質(zhì)量％氫氧化鈉水溶液、0.1 5質(zhì)量％四硼酸鈉水溶液等。另外，顯影所用的堿性水溶液的pH優(yōu)選設(shè)為9 11的范圍，其溫度可根據(jù)感光性樹脂層的顯影性進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，堿性水溶液中也可以混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量的有機(jī)溶劑等。另外,可以使用包含水或堿水溶液和一種以上有機(jī)溶劑的水系顯影液。這里,作為堿水溶液中所含的堿，除了上述堿以外，例如還可列舉硼砂、偏硅酸鈉、四甲基氫氧化銨、乙醇胺、乙二胺、二乙烯二胺、2-氨基-2-輕甲基-1，3-丙二醇、1，3- 二氨基丙醇_2、嗎啉。作為有機(jī)溶劑，例如可列舉甲基乙基酮、丙酮、乙酸乙酯、具有碳原子數(shù)I 4的烷氧基的烷氧基乙醇、乙醇、異丙醇、丁醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚。它們可以單獨(dú)使用或2種以上組合使用。關(guān)于水系顯影液，優(yōu)選將有機(jī)溶劑的濃度設(shè)為2 90質(zhì)量％，其溫度可以根據(jù)顯影性來調(diào)整。進(jìn)而，水系顯影液的PH優(yōu)選在抗蝕劑的顯影可充分進(jìn)行的范圍內(nèi)盡可能地小，優(yōu)選為PH8 12，更優(yōu)選為pH9 10。另外，水系顯影液中也可以少量添加表面活性劑、消泡劑等。作為有機(jī)溶劑系顯影液，例如可列舉1，I, I 一三氯乙烷、N—甲基吡咯烷酮、N，N —二甲基甲酰胺、環(huán)己酮、甲基異丁酮、Y —丁內(nèi)酯。為了防止引燃，這些有機(jī)溶劑優(yōu)選以I 20質(zhì)量％的范圍添加水。上述的顯影液根據(jù)需要也可以并用2種以上。作為顯影的方式，例如可列舉浸潰方式、攪動(dòng)方式、噴霧方式、刷涂、拍擊等。這些中，從分辨率提高的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用高壓噴霧方式。在本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法中，顯影后根據(jù)需要可以通過進(jìn)行60 250°C左右的加熱或者0.2 10J/cm2左右的曝光進(jìn)一步固化導(dǎo)電圖案。由此，根據(jù)本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法，可以不像ITO等無機(jī)膜那樣形成抗蝕劑，而在玻璃、塑料等基板上容易地形成透明的導(dǎo)電圖案。另外，根據(jù)本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法，可以使得到的導(dǎo)電圖案的段差Ha變小。該段差Ha優(yōu)選為I 以下。通過將段差Ha設(shè)為上述范圍，難以確認(rèn)到導(dǎo)電圖案2a且在與新的感光性導(dǎo)電薄膜10貼合時(shí)可抑制氣泡的卷入，因此能夠制作美觀優(yōu)異的導(dǎo)電圖案基板。從同樣的觀點(diǎn)考慮，段差Ha更優(yōu)選為0.7 y m以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5 y m以下。導(dǎo)電圖案2a的段差Ha可以通過控制第二曝光工序中的曝光量進(jìn)行調(diào)整。導(dǎo)電圖案2a的段差Ha可以通過用掃描型電子顯微鏡照片來觀察而測(cè)定。關(guān)于源于段差Ha的氣泡卷入，可以通過光學(xué)顯微鏡觀察而測(cè)定。本發(fā)明的導(dǎo)電圖案基板可以通過上述的本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法而獲得。從可有效地用作透明電極的觀點(diǎn)考慮，導(dǎo)電圖案的表面電阻優(yōu)選為2000Q / □以下，更優(yōu)選為1000Ω / □以下，特別優(yōu)選為500 Ω / □以下。表面電阻可以通過例如導(dǎo)電體的種類、導(dǎo)電體的分散液或溶液的濃度或涂布量來調(diào)整。導(dǎo)電圖案基板優(yōu)選在450 650nm的波長(zhǎng)區(qū)域中的最小光透過率為80%以上，更優(yōu)選為85%以上。導(dǎo)電圖案基板滿足這樣條件的情況下，顯示器面板等中容易高亮度化。接著對(duì)本發(fā)明的觸摸面板傳感器進(jìn)行說明。圖5是表示靜電容量式的觸摸面板傳感器的一例的示意俯視圖。關(guān)于圖5所示的觸摸面板傳感器，在透明基板101的一面上具有用于檢測(cè)觸摸位置的觸摸畫面102，在該區(qū)域中具有檢測(cè)靜電容量變化、設(shè)為X位置坐標(biāo)的透明電極103和設(shè)為Y位置坐標(biāo)的透明電極104。在這些分別設(shè)為X、Y位置坐標(biāo)的透明電極103、104中，配置有用于與作為觸摸面板的控制電信號(hào)的驅(qū)動(dòng)器元件電路連接的引出配線105，和連接該引出配線105和透明電極103、104的連接電極106。進(jìn)一步，在引出配線105的與連接電極106相反側(cè)的端部上配置有與驅(qū)動(dòng)器元件電路連接的連接端子107。圖6是表示圖5所示的觸摸面板傳感器的制造方法的一例的示意圖。在本實(shí)施方式中，通過本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法而形成透明電極103、104。首先，如圖6 (a)所示在透明基板101上形成透明電極(X位置坐標(biāo))103。具體地說，按照感光性樹脂層3與透明基板101接觸的方式層壓感光性導(dǎo)電薄膜10。對(duì)于轉(zhuǎn)印的感光層4 (導(dǎo)電膜2和感光性樹脂層3)，隔著遮光掩模以圖案狀照射活性光線而成為希望的形狀(第一曝光工序)。之后，除去遮光掩模，進(jìn)而剝離支撐薄膜之后對(duì)感光層4照射活性光線(第二曝光工序)。曝光工序之后進(jìn)行顯影，從而與固化不充分的感光性樹脂層3 —起將導(dǎo)電膜2除去，形成導(dǎo)電圖案2a。通過該導(dǎo)電圖案2a而形成檢測(cè)X位置坐標(biāo)的透明電極103 (圖6 (b))。圖6 (b)是圖6 (a)的1-1剖面的示意剖面圖。通過利用本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法而形成透明電極103，可以設(shè)置段差小的透明電極103。接著，如圖6 (C)所示形成透明電極(Y位置坐標(biāo))104。在具有通過上述工序形成的透明電極103的基板101上進(jìn)一步層壓新的感光性導(dǎo)電薄膜10，通過上述同樣的操作，形成檢測(cè)Y位置坐標(biāo)的透明電極104 (圖6 (d))。圖6 (d)是圖6 (c)的I1-1I剖面的示意剖面圖。通過利用本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法而形成透明電極104，從而即使在透明電極103上形成透明電極104的情況下，也可以制作充分地抑制了由段差、氣泡的卷入所引起的美觀降低的平滑性高的觸摸面板傳感器。接著，在透明基板101的表面上形成用于與外部電路連接的引出線105和連接該引出線和透明電極103、104的連接電極106。在圖6中顯示出引出線105和連接電極106在透明電極103和104形成后形成，但也可以在各透明電極形成時(shí)同時(shí)地形成。引出線105例如可以使用薄片狀的含有銀的導(dǎo)電糊劑材料，使用絲網(wǎng)印刷，與形成連接電極106同時(shí)地形成。圖7和圖8分別是沿著圖5所示的a-a’和b_b’的部分剖面圖。它們表示XY位置坐標(biāo)的透明電極的交叉部。如圖7和圖8所示，通過利用本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法而形成了透明電極，可以得到段差小、平滑性高的觸摸面板傳感器。
實(shí)施例下面，基于實(shí)施例具體地說明本發(fā)明，但是本發(fā)明不限于此。
〈導(dǎo)電體分散液的調(diào)制〉(碳納米管(CNT)分散液)在純水中，以0.4質(zhì)量％的濃度分散Unidym公司的Hipco單層碳納米管的高純度品，以0.1質(zhì)量％的濃度分散作為表面活性劑的十二烷基-五乙二醇，從而得到碳納米管分散液。(銀纖維分散液)[通過多元醇法調(diào)制銀纖維]在2000mL的三口燒瓶中加入乙二醇500mL，在氮?dú)夥障?，邊用磁力攪拌器攪拌邊通過油浴加熱至60°C。向其中滴加另外準(zhǔn)備的在50mL乙二醇中溶解有2mg PtCl2的溶液。4 5分鐘后，將在300mL乙二醇中溶解有5g AgNO3的溶液和在150mL乙二醇中溶解有5g重均分子量為4萬的聚乙烯吡咯烷酮(和光純藥(株)制)的溶液從分別的滴液漏斗以I分鐘滴下，之后在160°C攪拌60分鐘。將上述反應(yīng)溶液放置直到為30°C以下，之后用丙酮稀釋至10倍，通過離心機(jī)以2000轉(zhuǎn)離心20分鐘，將上清液傾析。向沉淀物中加入丙酮攪拌后以與上述同樣的條件進(jìn)行離心，將丙酮傾析。之后，使用蒸餾水同樣地離心2次，獲得銀纖維。通過掃描型電子顯微鏡照片觀察得到的銀纖維時(shí)，纖維直徑(直徑)約為5nm、纖維長(zhǎng)約為5pm。[銀纖維分散液的調(diào)制]在純水中，以0.2質(zhì)量％的濃度分散上述得到的銀纖維，以0.1質(zhì)量％的濃度分散十二烷基-五乙二醇，從而獲得銀纖維分散液。(有機(jī)導(dǎo)電體溶液)用甲醇將作為聚亞乙二氧基噻吩的醇溶液的“SEPLEGYDA OC-UI"(信越聚合物公司制，商品名)稀釋至10倍，將其作為有機(jī)導(dǎo)電體溶液?！凑澈蟿┚酆衔锏暮铣伞?丙烯酸樹脂的合成)在具有攪拌機(jī)、回流冷卻器、溫度計(jì)、滴液漏斗和氮?dú)鈱?dǎo)入管的燒瓶中加入甲基溶纖劑和甲苯的混合液(甲基溶纖劑/甲苯=3 / 2 (質(zhì)量比)，下面稱為“溶液s”)400g，邊吹入氮?dú)膺厰嚢瑁訜岬?0°C。另一方面，準(zhǔn)備將作為單體的甲基丙烯酸100g、甲基丙烯酸甲酯250g、丙烯酸乙酯IOOg和苯乙烯50g、以及偶氮二異丁腈0.Sg混合而成的溶液(下面稱為“溶液a”)。接著，在加熱到80°C的溶液s中經(jīng)4小時(shí)滴加溶液a后，在80°C邊攪拌邊保溫2小時(shí)。進(jìn)而，將在IOOg的溶液s中溶解有1.2g偶氮二異丁腈的溶液經(jīng)10分鐘滴加到燒瓶?jī)?nèi)。然后，對(duì)滴加后的溶液邊攪拌邊在80°C保溫3小時(shí)后，經(jīng)30分鐘加熱到90°C。在90°C保溫2小時(shí)后，冷卻而得到粘合劑聚合物溶液。在該粘合劑聚合物溶液中加入丙酮進(jìn)行調(diào)制，使得不揮發(fā)成分(固體成分)為50質(zhì)量％，獲得作為(a)成分的粘合劑聚合物溶液。獲得的粘合劑聚合物的重均分子量為80000，羧基的比率為20質(zhì)量％，酸值為130mgK0H/g。將其作為丙烯酸聚合物(al)。同樣地，作為溶液a，將甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯以表I所記載的配合量(單位:質(zhì)量份)進(jìn)行配合，獲得粘合劑聚合物。獲得的粘合劑聚合物的重均分子量為65000，羧基的比率為12質(zhì)量％，酸值為78mgK0H/g。將其作為丙烯酸聚合物(a2)。將這些結(jié)果示于表I中。另外，重均分子量(Mw)通過凝膠滲透色譜法(GPC)來測(cè)定，通過使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯的標(biāo)準(zhǔn)曲線換算而導(dǎo)出。以下表示GPC的條件。GPC 條件泵:日立L-6000型((株)日立制作所制、產(chǎn)品名)柱:GelpackGL-R420,Gelpack GL-R430,Gelpack GL-R440 (以上為日立化成工業(yè)(株)制、產(chǎn)品名)洗提液:四氫呋喃測(cè)定溫度:40°C流量:2.05mL/ 分檢測(cè)器:日立L-3300型RI ((株)日立制作所制、產(chǎn)品名)〈感光性樹脂組合物溶液的調(diào)制〉將表2所示的材料以該表中所示的配合量(單位:質(zhì)量份)進(jìn)行配合，調(diào)制感光性樹脂組合物的溶液I 3。[表I]
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)電圖案的形成方法，具有如下工序: 對(duì)感光層以圖案狀照射活性光線的第一曝光工序，所述感光層包含在基板上設(shè)置的感光性樹脂層和在該感光性樹脂層的與所述基板相反側(cè)的面上設(shè)置的導(dǎo)電膜； 在氧存在下，對(duì)所述感光層的至少第一曝光工序中的未曝光部的一部分或全部照射活性光線的第二曝光工序；以及 在所述第二曝光工序之后通過對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影而形成導(dǎo)電圖案的顯影工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，通過將具有支撐薄膜、在該支撐薄膜上設(shè)置的導(dǎo)電膜和在該導(dǎo)電膜上設(shè)置的感光性樹脂層的感光性導(dǎo)電薄膜以所述感光性樹脂層在所述基板上接觸的方式進(jìn)行層壓，從而設(shè)置所述感光層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，所述第一曝光工序是對(duì)具有所述支撐薄膜的所述感光層照射所述活性光線的工序， 所述第二曝光工序是對(duì)除去了所述支撐薄膜的所述感光層照射所述活性光線的工序。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，所述導(dǎo)電膜含有由無機(jī)導(dǎo)電體和有機(jī)導(dǎo)電體所組成的組中選擇的至少一種導(dǎo)電體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，所述導(dǎo)電膜包含導(dǎo)電性纖維。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，所述導(dǎo)電性纖維為銀纖維。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，所述導(dǎo)電膜含有由聚噻吩、聚噻吩衍生物、聚苯胺以及聚苯胺衍生物所組成的組中選擇的至少一種導(dǎo)電體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，所述感光性樹脂層含有粘合劑聚合物、具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物和光聚合弓I發(fā)劑。
9.一種導(dǎo)電圖案基板，其具有基板和通過權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電圖案的形成方法在該基板上形成的導(dǎo)電圖案。
10.一種觸摸面板傳感器，其具有權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電圖案基板。
全文摘要
本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法具有如下工序?qū)Ω泄鈱右詧D案狀照射活性光線的第一曝光工序，所述感光層包含在基板上設(shè)置的感光性樹脂層和在感光性樹脂層的與基板相反側(cè)的面上設(shè)置的導(dǎo)電膜；在氧存在下，對(duì)感光層的至少第一曝光工序中的未曝光部的一部分或全部照射活性光線的第二曝光工序；以及在第二曝光工序之后通過對(duì)感光層進(jìn)行顯影而形成導(dǎo)電圖案的顯影工序。
文檔編號(hào)G03F7/028GK103210350SQ201280003491
公開日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年10月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月3日
發(fā)明者山崎宏, 五十嵐由三 申請(qǐng)人:日立化成株式會(huì)社