排水的處理方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種排水的處理方法，其能夠同時(shí)對(duì)鋁蝕刻排水與濾色器排水或銅蝕刻排水進(jìn)行處理，處理設(shè)備使用1套系統(tǒng)即可，并且產(chǎn)生的污泥量也少。其將鋁蝕刻排水與濾色器排水或銅蝕刻排水混合，在添加鈣化合物后，進(jìn)行固液分離。在鋁蝕刻排水中含有磷酸成分，因此，在將鋁蝕刻排水與濾色器排水或銅蝕刻排水混合后，添加鈣化合物，則會(huì)生成磷酸鈣。因此，氫氧化鋁以及濁質(zhì)或氫氧化銅與磷酸鈣發(fā)生共沉淀，能夠同時(shí)從水中去除鋁及各種金屬。
【專利說(shuō)明】排水的處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及排水的處理方法，特別是涉及將濾色器(color filter)排水或銅蝕刻排水與鋁蝕刻排水進(jìn)行混合而處理的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]電視接收機(jī)或OA用的顯示裝置所使用的濾色器，通常，在由玻璃等所構(gòu)成的透明基板上，將含有金屬鉻(Cr)或黑色顏料的光阻劑等所構(gòu)成的遮光層經(jīng)由光刻法形成規(guī)定圖案，并于此遮光層上形成透明著色層，于此著色層上依次層疊形成透明導(dǎo)電膜、配向膜。著色層與透明導(dǎo)電膜之間有時(shí)會(huì)形成透明保護(hù)膜。 [0003]在通過(guò)光刻法在黑色矩陣(Black Matrix)、著色像素、及伴隨的各層形成圖案時(shí)，例如，首先對(duì)于玻璃基板根據(jù)需要實(shí)施洗凈處理，接著，依次實(shí)施經(jīng)涂布裝置進(jìn)行的光阻劑的涂布、經(jīng)減壓干燥裝置進(jìn)行的預(yù)備干燥處理、經(jīng)預(yù)焙烤裝置進(jìn)行的預(yù)焙烤處理、經(jīng)曝光裝置進(jìn)行的圖案曝光、經(jīng)顯影裝置進(jìn)行的顯影處理、經(jīng)后焙烤裝置進(jìn)行的后焙烤處理，在玻璃基板上形成規(guī)定的圖案。
[0004]在專利文獻(xiàn)I中記載了一種處理來(lái)自濾色器制造裝置的廢水的廢水處理方法，其中，在分離顏料成分后，注入臭氧除去有機(jī)成分，接著，進(jìn)行逆滲透膜分離處理，然后，進(jìn)行生物處理。
[0005]印刷布線基板是通過(guò)使用蝕刻液對(duì)層疊有金屬箔的覆金屬層疊板或?qū)嵤┻^(guò)鍍敷處理基板進(jìn)行蝕刻而制造。當(dāng)金屬是鋁的情形時(shí)，作為蝕刻液，則使用有鹽酸等。
[0006]在使用蝕刻液對(duì)層疊有銅等的金屬箔的覆金屬層疊板或預(yù)先實(shí)施有非電解鍍銅等的鍍敷的印刷布線基板進(jìn)行蝕刻時(shí)，作為蝕刻液，使用含有氯化銅的蝕刻液或含有硫酸及過(guò)氧化氫的蝕刻液等。
[0007]作為含有金屬成分的蝕刻排水的處理方法，廣泛地采用通過(guò)調(diào)整pH值使金屬成分不溶解化，然后，進(jìn)行固液分離的方法。
[0008]作為鋁蝕刻步驟排水的處理方法，在專利文獻(xiàn)2中記載有下述方法:對(duì)排水進(jìn)行蒸餾濃縮，在餾出磷酸以外的酸之后，使磷酸結(jié)晶析出，將鋁作為水溶液進(jìn)行分離回收。
[0009]在專利文獻(xiàn)3的第0004段中記載有下述內(nèi)容:雖然已知在銅蝕刻排水中添加氫氧化鈉，作為氫氧化物進(jìn)行沉淀去除的方法，但是，其生成的污泥量多。
[0010]在專利文獻(xiàn)4中記載有下述內(nèi)容:在銅蝕刻排水中添加稀土類元素后，添加堿，使銅沉淀分離。
[0011]在專利文獻(xiàn)5中記載有下述內(nèi)容:將含銅的含光阻劑排水，首先調(diào)整為酸性使光阻劑不溶解化，接著，調(diào)整PH值為8~9，使銅作為氫氧化銅析出并進(jìn)行分離。
[0012]在通過(guò)pH值調(diào)整來(lái)處理鋁蝕刻排水與銅蝕刻排水時(shí)，因?yàn)殇X與銅的析出pH值不相同，以往都是單獨(dú)處理。
[0013][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0014][專利文獻(xiàn)][0015][專利文獻(xiàn)I]日本特開(kāi)2008-642
[0016][專利文獻(xiàn)2]日本特開(kāi)2006-69845
[0017][專利文獻(xiàn)3]日本特開(kāi)2010-77521
[0018][專利文獻(xiàn)4]日本特開(kāi)2004-183036
[0019][專利文獻(xiàn)5]日本特開(kāi)2006-255668

【發(fā)明內(nèi)容】

[0020][發(fā)明要解決的課題]
[0021]在處理鋁蝕刻排水與濾色器排水或銅蝕刻排水時(shí)，以往都是單獨(dú)處理。因此，處理設(shè)備需要2套系統(tǒng)，并且，從各設(shè)備分別產(chǎn)生大量的污泥。
[0022]本發(fā)明的目的是提供一種蝕刻排水的處理方法，其能夠?qū)︿X蝕刻排水與濾色器排水或與銅蝕刻排水進(jìn)行處理，并且處理設(shè)備使用I套系統(tǒng)即可，并且產(chǎn)生的污泥量也少。
[0023][解決課題的方法]
[0024]本發(fā)明的排水的處理方法，其將濾色器排水或銅蝕刻排水與鋁蝕刻排水混合，在添加鈣化合物后，進(jìn)行固液分離。
[0025]作為此鈣化合物，可以適宜使用氯化鈣或氫氧化鈣。在添加鈣化合物后，可將pH值設(shè)為7~12，也可添加高分子凝集劑。
[0026][發(fā)明的效果]
[0027]在鋁蝕刻排水中含有磷酸成分。因此，在將鋁蝕刻排水與濾色器排水混合后，添加鈣化合物，則會(huì)生成磷酸鈣，氫氧化鋁及濾色器中的濁質(zhì)與磷酸鈣共同沉淀，從而能夠同時(shí)從水中去除鋁及各種金屬。
[0028]在鋁蝕刻排水與銅蝕刻排水混合后，添加鈣化合物，則會(huì)生成磷酸鈣，氫氧化銅及氫氧化鋁與磷酸鈣共同沉淀，從而能夠同時(shí)從水中去除鋁及銅。
【具體實(shí)施方式】
[0029][將濾色器排水與鋁蝕刻排水進(jìn)行混合而進(jìn)行處理的第I實(shí)施方式]
[0030]在第I實(shí)施方式中，作為處理對(duì)象的通常的濾色器排水，濁度100~5000度、色度1000~50000度、總有機(jī)碳(TOC)成分100~5000mg/L、pH值8~14。
[0031]第I實(shí)施方式中，作為處理對(duì)象的鋁蝕刻排水，其是從集成電路、印刷基板、濾色器、液晶顯示器等的電子部件的制造步驟來(lái)的排水。通常的鋁蝕刻排水中，含有鋁I~50mg/L、來(lái)自醋酸的TOC成分50~1000mg/L、來(lái)自磷酸的PO4-P成分50~3000mg/L，pH值I~5。
[0032]在第I實(shí)施方式中，此濾色器排水與鋁蝕刻排水，以較優(yōu)選的容量比為20:1~1:20、特優(yōu)選的容量比為5:1~1:5的范圍內(nèi)進(jìn)行混合。此混合可于槽內(nèi)使用攪拌機(jī)進(jìn)行，也可于管路混合器中進(jìn)行。
[0033]對(duì)于此混合排水添加鈣化合物，鋁蝕刻排水中所含有的PO4-P成分與該鈣化合物進(jìn)行反應(yīng)而生成磷酸鈣。作為鈣化合物，可適宜使用氯化鈣、或氫氧化鈣。鈣化合物的添加量，優(yōu)選為排水中的PO4-P成分的化學(xué)當(dāng)量的0.5~20倍，特優(yōu)選為0.5~10倍，更加優(yōu)選為I~5倍左右。添加氯化鈣的情形，優(yōu)選以其水溶液的形式添加。[0034]在添加鈣化合物后，優(yōu)選添加氫氧化鈉或氫氧化鈣等的堿使pH值調(diào)整為7~12，特別優(yōu)選為9~11。由此，鋁及其他金屬(例如，鉻、銅)作為氫氧化物析出，附著或吸附于先析出的磷酸鈣，形成共沉淀。
[0035]在第I實(shí)施方式中，優(yōu)選在調(diào)整pH值后，進(jìn)而添加高分子凝集劑使其凝集物增長(zhǎng)，促進(jìn)沉降。作為高分子凝集劑，可適宜使用陽(yáng)離子系高分子凝集劑、陰離子系高分子凝集齊?、兩性高分子凝集劑等。高分子凝集劑的添加量?jī)?yōu)選為I~50mg/L，特優(yōu)選為I~20mg/L，更優(yōu)選為I~10mg/L左右。
[0036]將凝集處理后的液體進(jìn)行固液分離使污泥分離。作為固液分離方法，可以使用沉淀槽、膜分離裝置、離心分離機(jī)等各種的固液分離裝置。
[0037][將銅蝕刻排水與鋁蝕刻排水進(jìn)行混合而進(jìn)行處理的第2實(shí)施方式]
[0038]在第2實(shí)施方式中，作為處理對(duì)象的鋁蝕刻排水、銅蝕刻排水，其是從集成電路、印刷基板、濾色器、液晶顯示器等的電子部件的制造步驟來(lái)的排水。通常的鋁蝕刻排水中，含有鋁I~50mg/L、來(lái)自醋酸的TOC成分50~1000mg/L、來(lái)自磷酸的PO4-P成分50~3000mg/L, pH值I~5。另外，通常的銅蝕刻排水中，含有銅I~50mg/L、來(lái)自感光性有機(jī)物的TOC成分10~1000mg/L, pH值2~8。
[0039]在第2實(shí)施方式中，此鋁蝕刻排水與銅蝕刻排水，以較優(yōu)選的容量比為20:1~1:20、特優(yōu)選的容量比為5:1~1:5的范 圍內(nèi)進(jìn)行混合。此混合可于槽內(nèi)使用攪拌機(jī)進(jìn)行，也可于管路混合器中進(jìn)行。
[0040]對(duì)于此混合排水添加鈣化合物，鋁蝕刻排水中所含有的PO4-P成分與該鈣化合物進(jìn)行反應(yīng)而生成磷酸鈣。作為鈣化合物，可適宜使用氯化鈣、或氫氧化鈣。鈣化合物的添加量，優(yōu)選為排水中的PO4-P成分的化學(xué)當(dāng)量的0.5~20倍，特優(yōu)選為0.5~10倍，更優(yōu)選為I~5倍左右。添加氯化鈣的情形，優(yōu)選以其水溶液的形式添加。
[0041]在添加鈣化合物后，優(yōu)選添加氫氧化鈉或氫氧化鈣等堿使pH值調(diào)整為7~12，特別優(yōu)選為9~11。由此，鋁及銅均作為氫氧化物析出，附著或吸附于先析出的磷酸鈣，形成共沉淀。與鋁或銅的氫氧化物相比，磷酸鈣的沉降性良好，該氫氧化物與磷酸鈣共沉淀。
[0042]在第2實(shí)施方式中，優(yōu)選在調(diào)整pH值后，進(jìn)而添加高分子凝集劑使其凝集物增長(zhǎng)，促進(jìn)沉降。作為高分子凝集劑，可適宜使用陽(yáng)離子系高分子凝集劑、陰離子系高分子凝集齊?、兩性高分子凝集劑等。高分子凝集劑的添加量?jī)?yōu)選為I~50mg/L，特優(yōu)選為I~20mg/L，更優(yōu)選為I~10mg/L左右。
[0043]將凝集處理后的液體進(jìn)行固液分離使污泥分離。作為固液分離方法，可以使用沉淀槽、膜分離裝置、離心分離機(jī)等各種的固液分離裝置。
[0044][實(shí)施例]
[0045]<第I實(shí)施方式的實(shí)施例及比較例>
[0046]實(shí)施例1-1~1-8及比較例1-1~1-9所使用的鋁蝕刻排水及濾色器排水的性質(zhì)如表1所示。
[0047]表1[0048]
【權(quán)利要求】
1.一種排水的處理方法，其特征在于，將鋁蝕刻排水與濾色器排水或與銅蝕刻排水混合，在添加鈣化合物后，進(jìn)行固液分離。
2.如權(quán)利要求1所述的排水的處理方法，其中，鈣化合物是氯化鈣或氫氧化鈣。
3.如權(quán)利要求1或2所述的排水的處理方法，其中，在添加鈣化合物后，將pH值設(shè)為7~12。
4.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的排水的處理方法，其中，在固液分離前，添加高分子凝集劑。
5.如權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的排水的處理方法，其中，鋁蝕刻排水含有I~50mg/L 的招、50 ~3000mg/L 的 PO4-P,并且，pH 值為 I ~5。
6.如權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的排水的處理方法，其中，添加排水中的PO4-P的化學(xué)當(dāng)量的0.5~20倍的鈣化合物。
7.如權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的排水的處理方法，其中，以容量比是20:1~1:20的范圍進(jìn)行混合濾色器排水與鋁蝕刻排水。
8.如權(quán)利要求7所述的排水的處理方法，其中，濾色器排水含有100~5000mg/L的總有機(jī)碳，并且，pH值為8~14。
9.如權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的排水的處理方法，其中，以容量比是20:1~1:20的范圍進(jìn)行混合銅蝕刻排水與鋁蝕刻排水。
10.如權(quán)利要求9所述的排水的處理方法，其中，銅蝕刻排水含有I~50mg/L的銅，并且，PH值為2~8。
【文檔編號(hào)】G02B5/20GK103687817SQ201280034853
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2012年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月22日
【發(fā)明者】田中有, 吉田太郎 申請(qǐng)人:栗田工業(yè)株式會(huì)社